專(zhuān)利名稱(chēng)：用于檢測(cè)和/或發(fā)送超聲的超聲傳感器裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于檢測(cè)和/或發(fā)送超聲的超聲傳感器元件、一種用于檢測(cè)和/或發(fā)送超聲的超聲傳感器裝置以及一種用于制造用于檢測(cè)和/或發(fā)送超聲的超聲傳感器裝置的方法。
背景技術(shù)：
超聲泊車(chē)裝置用于借助于超聲場(chǎng)檢測(cè)車(chē)輛前面和/或后面的空間中的物體并且為此通常具有4至6個(gè)超聲傳感器裝置，這些超聲傳感器裝置分別設(shè)置在車(chē)輛的后保險(xiǎn)杠和/或前保險(xiǎn)杠中。超聲傳感器裝置中的每一個(gè)在此分別具有超聲傳感器元件，其選擇性地在檢測(cè)運(yùn)行中或者發(fā)送運(yùn)行中工作。超聲傳感器裝置如此相對(duì)彼此地設(shè)置在后保險(xiǎn)杠和/或前保險(xiǎn)杠中，使得超聲傳感器裝置是水平取向的，從而既不檢測(cè)超聲的地面反射也不被超聲的地面反射減弱。通常，超聲泊車(chē)裝置僅僅具有針對(duì)聲場(chǎng)空間中的物體檢測(cè)的警告功 倉(cāng)泛。US 2008/0060439A1描述了一種超聲傳感器元件，其可用于車(chē)輛中的距離測(cè)量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主題是一種用于檢測(cè)和/或發(fā)送超聲的超聲傳感器元件，其中超聲傳感器元件具有基體，其具有開(kāi)口 ；柔性的彎曲元件，其在端側(cè)封閉開(kāi)口的第一端部區(qū)域，其中柔性的彎曲元件具有聚合物、尤其是液晶聚合物；壓電元件，其設(shè)置在開(kāi)口中并且與柔性的彎曲元件連接；阻尼元件，其設(shè)置在開(kāi)口中并且在端側(cè)封閉開(kāi)口的第二端部區(qū)域。本發(fā)明的另一主題是用于檢測(cè)和/或發(fā)送超聲的超聲傳感器裝置，其中超聲傳感器裝置具有多個(gè)超聲傳感器元件，其中每個(gè)超聲傳感器元件具有基體，其具有開(kāi)口 ；柔性的彎曲元件，其在端側(cè)封閉開(kāi)口的第一端部區(qū)域；壓電元件，其設(shè)置在開(kāi)口中并且與柔性的彎曲元件連接；阻尼元件，其設(shè)置在開(kāi)口中并且在端側(cè)封閉開(kāi)口的第二端部區(qū)域，其中多個(gè)超聲傳感器元件的超聲傳感器元件的基體是一體地構(gòu)造的。柔性的彎曲元件尤其可以理解為彎曲柔性的元件,其可以由可彎曲的、柔性的材料制成并且因此可以特別簡(jiǎn)單地在一個(gè)或多個(gè)方向上彎曲。尤其是，柔性的彎曲元件被設(shè)置用于執(zhí)行振動(dòng)。壓電元件尤其可以理解為被構(gòu)造為壓電陶瓷的元件，其例如可以基于鋯鈦酸鉛(PZT)來(lái)構(gòu)造。阻尼元件尤其可以理解為如下元件，其可以減弱或者消除聲學(xué)的(即聲)和/或機(jī)械的振動(dòng)。阻尼元件尤其是可以實(shí)現(xiàn)減弱反向散射的聲和/或改進(jìn)超聲傳感器元件和超聲傳感器裝置的特性，尤其是可以增大超聲傳感器元件和超聲傳感器裝置的傳播特性的帶寬。超聲傳感器元件和超聲傳感器裝置在檢測(cè)與超聲傳感器元件和/或與超聲傳感器裝置相鄰的空間區(qū)域中的物體時(shí)尤其是橫向于超聲傳感器元件的縱向延伸——即例如關(guān)于地面在水平方向上和/或在垂直方向上具有高分辨率。此外，可以通過(guò)多個(gè)超聲傳感器元件來(lái)實(shí)現(xiàn)物體的三維檢測(cè)。此外，可以基于可以借助多個(gè)超聲傳感器元件求得的信息來(lái)確定相對(duì)于物體的距離和/或角度。基于聚合物的柔性的彎曲元件在此有助于超聲傳感器元件和超聲傳感器裝置的周?chē)h(huán)境的精確的、高分辨的掃描，因?yàn)檫@種超聲傳感器元件可以具有高靈敏度。壓電元件、尤其是壓電元件的電極尤其可以與柔性的彎曲元件和基體導(dǎo)電地連接，并且超聲傳感器元件可以具有壓電元件的相對(duì)置的電極與襯底的另外的電接通。柔性的彎曲元件尤其可以被構(gòu)造為導(dǎo)電的。傳感器元件的基體尤其可以被構(gòu)造為空心圓柱體，在所述空心圓柱體中或者在所述空心圓柱體上可以設(shè)置有超聲傳感器元件的其他元件。尤其是在借助于壓鑄的工藝步驟中可以建立被構(gòu)造為聚合物膜片的柔性的彎曲元件以及空心圓柱體的連接和剩余的殼體。 空心圓柱體的橫截面可以根據(jù)開(kāi)口的橫截面是圓形的或矩形的?；w尤其也可以被構(gòu)造為板。替代地或附加地，基體尤其可以具有金屬(尤其是鋁)、金屬氧化物(尤其是氧化鋁)和/或金屬氧化物陶瓷(尤其是氧化鋁陶瓷)。金屬氧化物尤其可以在氧化鋁的情況下相應(yīng)于金屬氧化物陶瓷。這能夠?qū)崿F(xiàn)超聲傳感器元件和超聲傳感器裝置的特別簡(jiǎn)單且成本有利的制造，因?yàn)榛w具有簡(jiǎn)單的形狀和/或可以特別簡(jiǎn)單地加工基體的材料。柔性的彎曲元件的外表面尤其可以與基體的外表面平齊地構(gòu)造，使得超聲傳感器元件不具有暴露的棱邊并且可以避免超聲傳感器元件的損壞。在本申請(qǐng)中，概念“外”上側(cè)可以表示元件的朝向外部的上側(cè)或表面。在一個(gè)實(shí)施方式的范疇中，柔性的彎曲元件具有聚合物、尤其是液晶聚合物(英語(yǔ)liquid crystal polymer)、更尤其是具有泰科納(Tikona)的規(guī)格A950的聚合物。作為液晶聚合物的替代，可以構(gòu)造具有類(lèi)似的彈性模量、類(lèi)似的化學(xué)穩(wěn)定性等等的彈性體。作為泰科納的聚合物材料A950的替代或補(bǔ)充,可以使用由住友化學(xué)工業(yè)(Sumitomo ChemicalIndustry)的Sumikasuper規(guī)格的液晶聚合物、泰科納(Ticona)的Vectra規(guī)格的液晶聚合物、蘇威(Solvay)的Xydar規(guī)格的液晶聚合物和泰科納(Ticona)的Zenite規(guī)格的液晶聚合物組成的組中的至少一種液晶聚合物。具有聚合物的材料尤其可以具有以下特性中的至少一種可以類(lèi)似于橡膠的阻尼特性(并且例如具有大約O. 6的阻尼常數(shù));可以特別小的彈性模量(例如具有> 7GPa和< IOGPa之間的值)；良好的可流動(dòng)性；高熱形狀穩(wěn)定性；可以類(lèi)似于基體的材料的縱向膨脹系數(shù)的縱向膨脹系數(shù)，(并且例如可以在大約>15X10_6/K和大約彡20Χ1(Γ6/Κ之間)。此外，基于聚合物的柔性的彎曲元件能夠?qū)崿F(xiàn)超聲傳感器裝置的相鄰的超聲傳感器元件之間的串?dāng)_阻尼，從而可以附加地改進(jìn)超聲裝置的分辨率。此外，超聲傳感器元件可以具有高密封性，因?yàn)槿嵝缘膹澢幕诰酆衔锏牟牧舷鄬?duì)于周?chē)h(huán)境影響、例如水可以是不可透過(guò)的。此外基于聚合物的柔性的彎曲材料尤其可以提供避免碎石的充分防護(hù)，從而可以避免在柔性的彎曲元件上對(duì)外施加附加的覆蓋層，所述覆蓋層可能降低超聲傳感器元件和超聲傳感器裝置的靈敏度。此外，可以特別簡(jiǎn)單地加工聚合物，從而可以避免柔性的彎曲元件的表面波紋，并且柔性的彎曲元件的表面尤其可在(在線)等離子體處理和/或涂覆之后直接涂裝。由此可以取消制造超聲傳感器元件和超聲傳感器裝置時(shí)的其他工藝步驟。柔性的彎曲元件的聚合物尤其可以是導(dǎo)電的，從而可以實(shí)現(xiàn)壓電元件和基體通過(guò)柔性的彎曲元件的接通。柔性的彎曲元件可以設(shè)置在開(kāi)口的第一端部區(qū)域內(nèi)，所述開(kāi)口可以延伸穿透基體。因此,可以通過(guò)如下方式來(lái)實(shí)現(xiàn)通過(guò)柔性的彎曲元件在端側(cè)封閉開(kāi)口 柔性的彎曲元件可以靠觸在基體的內(nèi)側(cè)壁的一個(gè)區(qū)段上。這實(shí)現(xiàn)了超聲傳感器元件的高密封性。超聲傳感器元件尤其可以在由形狀穩(wěn)定的材料(尤其是金屬、金屬氧化物或金屬氧化物陶瓷)制造基體而由聚合物制造柔性的彎曲元件的情況下具有高密封性和/或經(jīng)受蒸汽噴射試驗(yàn)(如為了超聲泊車(chē)裝置的超聲傳感器元件的測(cè)試目的而實(shí)施的蒸汽噴射試驗(yàn)?zāi)菢?，因?yàn)閺澢跈M向于開(kāi)口的縱向延伸的方向上看、尤其在開(kāi)口的徑向方向上看可以保持位置穩(wěn)定。在基體具有金屬、金屬氧化物或金屬氧化物陶瓷的情況下，在例如在熱沖擊試驗(yàn)中實(shí)施的多次溫度變換期間，尤其通過(guò)如下方式實(shí)現(xiàn)高密封性金屬的導(dǎo)熱性大于聚合物的導(dǎo)熱性并且基體比柔性的彎曲元件冷卻得更快。這可以實(shí)現(xiàn)基體的材料(盡管相應(yīng)的材料的縱 向膨脹系數(shù)可能類(lèi)似)比彎曲元件收縮得更快，由此基體的開(kāi)口在冷卻時(shí)與柔性的彎曲元件的伸展縮小相比變小得更快并且因此可以實(shí)現(xiàn)超聲傳感器元件的高密封性。此外，由于金屬和聚合物的縱向膨脹系數(shù)類(lèi)似，所以可以避免基體和柔性的彎曲元件的材料的由溫度決定的長(zhǎng)期變化。在一個(gè)實(shí)施方式的范疇中，柔性的彎曲元件和基體是一體地構(gòu)造的——即由相同的材料構(gòu)造，其中柔性的彎曲元件和基體的材料尤其具有金屬(尤其是鋁)、金屬氧化物(尤其是氧化鋁)和/或金屬氧化物陶瓷(尤其是氧化鋁陶瓷)。開(kāi)口在此可以不延伸穿透基體，即是盲孔。因此，可以成本有利地且簡(jiǎn)單地制造超聲傳感器元件。柔性的彎曲元件在此可以構(gòu)造得足夠薄，以便確保柔性的彎曲元件的可彎曲性。壓電元件可以在橫向于、尤其是垂直于開(kāi)口的縱向延伸的方向上、尤其是在開(kāi)口的徑向方向上是可變形的。變形可以造成壓電元件中的電荷移動(dòng)或由其引起。為此，尤其是壓電元件的晶體結(jié)構(gòu)可以具有引起變形或者電荷移動(dòng)的相應(yīng)極性。因此，可以例如通過(guò)粘合彼此機(jī)械牢固地連接的柔性的彎曲元件和壓電元件可以在開(kāi)口的縱向伸的方向上、即尤其沿著超聲傳感器元件的縱向延伸執(zhí)行彎曲或機(jī)械振動(dòng)，因?yàn)槿嵝缘膹澢梢匀娴嘏c基體連接。在接收超聲時(shí)，尤其是柔性的彎曲元件上的壓力作用造成柔性的彎曲元件和壓電元件的變形。以此方式可以產(chǎn)生壓電元件的電荷移動(dòng)，所述電荷移動(dòng)可被檢測(cè)為信號(hào)。在發(fā)出超聲時(shí)，在壓電元件上感應(yīng)出的電荷可以引起壓電元件和柔性的彎曲元件的變形，從而可以發(fā)出超聲波。因此，所發(fā)出的超聲可以沿著超聲傳感器元件的縱向延伸定向，并且超聲傳感器裝置對(duì)所接收的沿著開(kāi)口的縱向延伸傳播的超聲的靈敏度可以特別良好。壓電元件尤其可以(在開(kāi)口的橫向方向上、尤其是徑向方向上看)與基體間隔開(kāi)地設(shè)置，由此壓電元件在開(kāi)口的所述方向上的變形不會(huì)受到限制。壓電元件可以盤(pán)狀地構(gòu)造。在另一實(shí)施方式的范疇中，襯底例如僅僅沿著基體的與阻尼元件相鄰地外表面設(shè)置。由此，基體可借助于超聲傳感器元件的背離彎曲元件的一側(cè)固定在襯底上和/或壓電元件可與襯底電接通，而不會(huì)損害超聲傳感器元件的靈敏度。襯底可以柔性地(例如作為柔性的電路板)或者牢固地(例如作為牢固的、不可彎曲的電路板)構(gòu)造。
尤其可以沿著柔性的彎曲元件的朝著壓電元件的一側(cè)、沿著基體的內(nèi)側(cè)壁以及沿著基體的與襯底相鄰的外上側(cè)設(shè)置導(dǎo)電的、尤其是具有金屬的層。鍵合連接、例如鍵合線尤其可以設(shè)置在壓電元件的朝著阻尼元件的一側(cè)與襯底之間并且借助于鍵合或摩擦焊接來(lái)施加。這實(shí)現(xiàn)了壓電元件與襯底的電接通，尤其是在基體不導(dǎo)電并且柔性的彎曲元件不導(dǎo)電的情況下?；w在此可以具有金屬氧化物，并且柔性的彎曲元件可以具有不導(dǎo)電的聚合物。金屬化可以形成壓電元件的地接通，并且鍵合連接可以形成用于向壓電元件輸送信號(hào)或者從壓電元件導(dǎo)出信號(hào)的信號(hào)線路。壓電元件的相應(yīng)的第一接觸部和第二接觸部可以施加在壓電元件的相對(duì)置的表面上。替代地，(尤其是在基體不導(dǎo)電的情況下)在壓電元件的朝著 阻尼元件的一側(cè)與襯底之間例如可以以鍵合線的形式或者以借助于摩擦焊接連接的薄導(dǎo)體的形式設(shè)置尤其是兩個(gè)鍵合連接。這實(shí)現(xiàn)了壓電元件與襯底的電接通。替代地，尤其是在基體導(dǎo)電而(具有聚合物的)柔性的彎曲元件導(dǎo)電的情況下，在壓電元件的朝著阻尼元件的一側(cè)與襯底之間可以例如以鍵合線的形式或者以借助于摩擦焊接連接的薄導(dǎo)體的形式設(shè)置鍵合連接。可以通過(guò)壓電元件與柔性的彎曲元件之間(例如以粘合連接或金屬化的形式)的導(dǎo)電連接以及柔性的彎曲元件與基體之間(例如以粘合連接或金屬化的形式)的導(dǎo)電連接實(shí)現(xiàn)壓電元件的地接通。壓電元件和柔性的彎曲元件尤其也可以借助于各向異性的和/或各向同性的導(dǎo)電粘合劑彼此粘合，以便實(shí)現(xiàn)兩個(gè)元件的導(dǎo)電連接。各向異性的導(dǎo)電粘合劑可以具有基本物質(zhì)(Basissubstanz),在所述基本物質(zhì)中可以嵌入一些小銀球,這些小銀球具有大約> 5微米(ym)至大約< 10微米范圍內(nèi)的直徑。各向異性的導(dǎo)電粘合劑當(dāng)兩個(gè)需彼此粘合的接觸方經(jīng)受壓力和溫度時(shí)才會(huì)變得導(dǎo)電，因?yàn)樵跊](méi)有施加壓力的情況下當(dāng)粘合劑由溫度支持地硬化時(shí)小銀球不會(huì)與兩個(gè)接觸方接觸。各向異性的粘合劑可以實(shí)現(xiàn)對(duì)于超聲傳感器元件和超聲傳感器裝置而言所需的、薄的、具有高彈性模量的粘合層厚度。各向同性的導(dǎo)電粘合劑可以具有基本物質(zhì)，在所述基本物質(zhì)中設(shè)置有一些銀片，這些銀片具有大約>20 μ m至大約< 70 μ m范圍內(nèi)的尺寸，并且在沒(méi)有壓力作用于接觸方的情況下在硬化期間實(shí)現(xiàn)電接觸?；w和襯底尤其可以借助于(各向同性的)導(dǎo)電粘合劑彼此粘合，以便實(shí)現(xiàn)兩個(gè)元件的導(dǎo)電連接。阻尼元件尤其可以構(gòu)造為(尤其是聚合物的，例如聚氨酯的或聚丙烯的或硅酮的)泡沫，使得超聲傳感器元件可以特別簡(jiǎn)單并且成本有利地制造。此外，超聲傳感器元件也可以在阻尼元件的區(qū)域中已經(jīng)具有相當(dāng)高的密封性，因?yàn)榕菽梢栽诤艽蟪潭壬舷鄬?duì)于外部周?chē)h(huán)境影響密封超聲傳感器元件。此外，在另一實(shí)施方式的范疇中，超聲傳感器元件具有覆蓋元件，所述覆蓋元件沿著基體的與彎曲元件相鄰的外上側(cè)和彎曲元件的與壓電元件背離的外上側(cè)延伸。覆蓋元件尤其可以被構(gòu)造為覆蓋層和/或借助于壓鑄技術(shù)制造。覆蓋元件可以實(shí)現(xiàn)超聲傳感器元件的相對(duì)于周?chē)h(huán)境影響的附加保護(hù)。覆蓋兀件尤其可以具有聚合物，尤其是液晶聚合物，更尤其是泰科納(Ticona)的A950規(guī)格的液晶聚合物，并且尤其是也是導(dǎo)電的。覆蓋元件的材料和柔性的彎曲元件的材料尤其可以是相同的和/或可在一個(gè)共同的工藝步驟中例如借助于注塑包封制造。
在另一實(shí)施方式的范疇中，基體的與柔性的彎曲元件相鄰的外上側(cè)和/或柔性的彎曲元件的與壓電元件背離的外上側(cè)和/或覆蓋元件的外上側(cè)被構(gòu)造為至少部分地彎曲的。基體的外上側(cè)、柔性的彎曲元件的外上側(cè)和/或覆蓋元件的外上側(cè)尤其可以被構(gòu)造為相應(yīng)元件的暴露的上側(cè)。由此，超聲傳感器元件的表面輪廓可以與車(chē)輛的防撞架的保險(xiǎn)杠的表面形狀、尤其是半徑相匹配。這在超聲傳感器裝置集成到車(chē)輛的保險(xiǎn)杠的外角部中時(shí)是尤其有利的。在借助于壓鑄技術(shù)制造柔性的彎曲元件、基體和/或彎曲元件時(shí)，基體、柔性的彎曲元件和/或覆蓋元件的表面成型可以特別簡(jiǎn)單地實(shí)現(xiàn)在保險(xiǎn)杠的表面輪廓上。尤其是，僅僅覆蓋元件的上側(cè)可以被構(gòu)造為至少部分地彎曲的，從而不會(huì)損害位于其下方的彎曲元件的功能。在另一實(shí)施方式的范疇中，多個(gè)超聲傳感器兀件的超聲傳感器兀件(在超聲傳感器裝置的俯視圖或仰視圖中)設(shè)置成一維的或二維的圖案。超聲傳感器元件設(shè)置成一維的圖案例如可以線狀地實(shí)現(xiàn)，即實(shí)現(xiàn)為一維的區(qū)域。超聲傳感器元件尤其可以設(shè)置成矩陣圖案(例如在第一方向上具有六個(gè)兀件而在第二方向上具有三個(gè)兀件，所述第二方向可以橫向于、尤其是垂直于第一方向)。二維的圖案尤其可以具有圓形的面和/或超聲傳感器元件可以沿著圓形的面的周邊設(shè)置。超聲傳感器元件的圖案形布置可以實(shí)現(xiàn)超聲傳感器元件的 空間節(jié)省的布置和/或能夠?qū)崿F(xiàn)超聲傳感器裝置關(guān)于超聲傳感器元件的縱向延伸的垂直靈敏度或水平靈敏度并且由此能夠?qū)崿F(xiàn)物體的三維檢測(cè)。在另一實(shí)施方式的范疇中，多個(gè)傳輸傳感器兀件的超聲傳感器兀件被設(shè)置用于發(fā)送和/或接收超聲。在超聲傳感器元件的發(fā)送運(yùn)行中，聲波可基于彎曲元件的變形產(chǎn)生，所述變形可以通過(guò)壓電元件的變形引起。壓電元件的變形可以通過(guò)壓電元件上的高電壓引起。在超聲傳感器元件的接收運(yùn)行中，(電)信號(hào)可通過(guò)電荷在壓電元件中的移動(dòng)產(chǎn)生，所述移動(dòng)基于彎曲元件的變形。變形在此可以通過(guò)柔性的彎曲元件上的壓力作用引起。超聲傳感器裝置可以被設(shè)置用于僅僅發(fā)送或僅僅接收超聲。此外，超聲傳感器裝置可以被設(shè)置用于同時(shí)發(fā)送和接收超聲，其方式是，例如超聲傳感器裝置的超聲傳感器元件的一部分可以被設(shè)置用于發(fā)送超聲而超聲傳感器裝置的超聲傳感器元件的另一部分可以被設(shè)置用于接收超聲。在存在一個(gè)超聲傳感器元件或者僅僅一種運(yùn)行類(lèi)型的超聲傳感器元件的情況下，超聲傳感器元件和這種運(yùn)行類(lèi)型的超聲傳感器元件被設(shè)置用于順序地發(fā)送和接收超聲。至少一個(gè)超聲傳感器元件的運(yùn)行類(lèi)型尤其在超聲傳感器裝置運(yùn)行期間可改變成其他運(yùn)行類(lèi)型。尤其是在襯底的背離基體的上側(cè)上可以設(shè)置有很多尤其是表面安裝的(英語(yǔ)surface mounted device (SMD))電容器,這些電容器可以與超聲元件的壓電元件并聯(lián)。所述措施實(shí)現(xiàn)了超聲傳感器裝置的靈敏度漂移補(bǔ)償。此外，可以通過(guò)超聲傳感器元件的圖案狀布置實(shí)現(xiàn)電容器和超聲傳感器元件在空間上非常近的布置，因?yàn)槌晜鞲衅髟谝r底上的圖案狀布置可以具有小的空間需求。在另一實(shí)施方式的范疇中，超聲傳感器裝置容納在車(chē)輛的泊車(chē)裝置中或操縱輔助系統(tǒng)中。由此，可以借助于超聲傳感器裝置檢測(cè)車(chē)輛的后保險(xiǎn)杠和/或前保險(xiǎn)杠的周?chē)h(huán)境中的物體，以及例如借助于所謂的Bartlett波束成形算法來(lái)確定所述物體相對(duì)于車(chē)輛的角度。在此可以由所發(fā)出的超聲與所接收的超聲之間的時(shí)間信息得出物體的距離，所接收的超聲可以在物體上被反射。
基體尤其可以具有大約50毫米(mm)的長(zhǎng)度和大約30mm的寬度?；w沿著開(kāi)口的縱向延伸的厚度尤其可以在大約5mm與大約6mm之間。在泰科納(Tikona)的A950的情形中，柔性的彎曲元件的厚度尤其可以為最高大約彡1mm。在由金屬構(gòu)成的彎曲元件的情形中，彎曲元件的厚度尤其可以為大約O. 3_。具有圓形橫截面的彎曲元件的直徑尤其可以在大約> 4_至大約< 5_的范圍中。在此情況下，超聲傳感器元件之間的串?dāng)_阻尼可以為大約20分貝(dB)。柔性的彎曲元件的諧振頻率尤其可以為大約50千赫茲(kHz)。柔性的彎曲元件的諧振頻率可根據(jù)柔性的彎曲元件的形狀、尤其是根據(jù)柔性的彎曲元件的厚度和柔性的彎曲元件的所使用的材料的直徑以及彈性模量來(lái)調(diào)節(jié)。覆蓋元件的厚度尤其可以為大約O. 4_。這可以確保不會(huì)由于覆蓋元件而降低超聲傳感器裝置對(duì)超聲的靈敏度。具有圓形橫截面的超聲傳感器元件的半徑尤其可以為大約2. 5_，并且緊鄰的超·聲傳感器元件的距離可以在大約彡Imm至大約彡3mm之間。超聲傳感器裝置中的超聲傳感器元件的數(shù)量可以非常繁多。尤其是在經(jīng)濟(jì)方面，超聲傳感器裝置可以具有直至20個(gè)超聲傳感器元件。所檢測(cè)的橫向于超聲傳感器元件的縱向延伸和以超聲傳感器元件的縱向延伸為中心的角度范圍尤其可以在大約>70度至大約<80度的范圍中。所檢測(cè)的橫向于超聲傳感器裝置的縱向延伸和以超聲傳感器裝置的縱向延伸為中心的角度范圍尤其可以在大約^ 140度至大約< 160度的范圍中。超聲傳感器元件和/或超聲傳感器裝置尤其可以通過(guò)以下描述的方法制造。在根據(jù)本發(fā)明的裝置的其他優(yōu)點(diǎn)和特征方面，在此明確地參考結(jié)合根據(jù)本發(fā)明的方法和附圖描述的闡述。本發(fā)明的另一主題是一種用于制造用于檢測(cè)和/或發(fā)送超聲的超聲傳感器裝置的方法，其中超聲傳感器裝置具有多個(gè)超聲傳感器元件，其中超聲傳感器元件的制造包括提供基體，其具有開(kāi)口，通過(guò)柔性的彎曲元件在端側(cè)封閉開(kāi)口的第一端部區(qū)域，在開(kāi)口中設(shè)置壓電元件，將柔性的彎曲元件和壓電元件彼此連接，在開(kāi)口中設(shè)置阻尼元件，以及通過(guò)阻尼元件在端側(cè)封閉開(kāi)口的第二端部區(qū)域，其中一體地構(gòu)造多個(gè)超聲傳感器元件的超聲傳感器元件的基體。對(duì)于所述方法的效果參考結(jié)合裝置的闡述。此外，可以特別簡(jiǎn)單地執(zhí)行所述方法，因?yàn)榭梢允褂靡阎拇胧?，尤其是壓鑄技術(shù)、元件的注塑包封、擠壓等等和商業(yè)上可獲得的用于制造超聲傳感器元件和/或超聲傳感器裝置的模具。這能夠?qū)崿F(xiàn)超聲傳感器元件的批量制造，從而超聲傳感器裝置的制造成本可以特別低。在一個(gè)實(shí)施方式的范疇中，提供基體包括借助于鉆孔、腐蝕或擠壓——尤其是冷擠壓在基體中開(kāi)設(shè)開(kāi)口。在此，提供基體可以包括在基體中開(kāi)設(shè)孔，所述孔可以形成開(kāi)口。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)超聲傳感器裝置的特別簡(jiǎn)單且成本有利的制造。開(kāi)口可以是穿透基體的開(kāi)口或不穿透的開(kāi)□。通過(guò)腐蝕開(kāi)口能夠?qū)崿F(xiàn)超聲傳感器裝置的特別簡(jiǎn)單且成本有利的制造。開(kāi)口可以是穿透基體的開(kāi)口或不穿透的開(kāi)口?？梢越柚跀D壓來(lái)構(gòu)造基體和/或柔性的彎曲元件。這能夠?qū)崿F(xiàn)基體和/或柔性的彎曲元件的成本特別有利的制造。在可以借助于擠壓、尤其是借助于冷擠壓來(lái)構(gòu)造基體和/或柔性的彎曲元件的情況下，基體和/或柔性的彎曲元件可以是一體地構(gòu)造的。在此，開(kāi)口可以是不穿透基體的開(kāi)口。在由金屬、尤其鋁制造柔性的彎曲元件和基體時(shí)可以使用擠壓。在借助于擠壓來(lái)構(gòu)造基體的情況下，可以通過(guò)擠壓同時(shí)在基體中開(kāi)設(shè)開(kāi)口。
基體尤其可以具有多個(gè)開(kāi)口。 尤其可以同時(shí)制造基體的開(kāi)口。在另一實(shí)施方式的范疇中，注塑包封基體和設(shè)置在開(kāi)口中的壓電元件，以便在開(kāi)口中形成柔性的彎曲元件。在此使用的材料可以具有聚合物、尤其是液晶聚合物。在同一工藝步驟或者隨后的工藝步驟中，可以與彎曲元件和壓電元件一起注塑包封基體，以便形 成超聲傳感器裝置的殼體。這能夠?qū)崿F(xiàn)超聲傳感器裝置的特別簡(jiǎn)單且成本有利的制造。在根據(jù)本發(fā)明的方法的其他優(yōu)點(diǎn)和特征方面在此明確地參考結(jié)合根據(jù)本發(fā)明的裝置和附圖描述的闡述。


通過(guò)附圖示出并且在以下描述中闡述根據(jù)本發(fā)明的主題的其他優(yōu)點(diǎn)和有利構(gòu)型。在此要注意的是，附圖僅僅具有描述性特點(diǎn)并且不能視為以任何形式限制本發(fā)明。附圖示出圖I :根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的超聲傳感器裝置的示意性橫截面；圖2 :圖I的超聲傳感器裝直的不意性俯視圖；圖3 :根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的超聲傳感器裝置的示意性橫截面；圖4 :圖3的超聲傳感器裝直的不意性俯視圖；圖5 :根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的超聲傳感器裝置的示意性橫截面；圖6 :圖5的超聲傳感器裝置的示意性橫截面；圖7 :根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施例的超聲傳感器裝置的示意性俯視圖；圖8 :圖7中的超聲傳感器裝置的示意性橫截面；圖9 :根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施例的超聲傳感器裝置的示意性俯視圖；圖10 :圖9的超聲傳感器裝置的示意性橫截面。
具體實(shí)施例方式圖I示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的用于檢測(cè)和/或發(fā)送超聲2的超聲傳感器裝置I。超聲傳感器裝置I具有多個(gè)超聲傳感器元件，在此為兩個(gè)超聲傳感器元件3a、3b。每個(gè)超聲傳感器元件3a、3b具有一個(gè)基體4，所述基體具有穿透基體4的開(kāi)口 5a、5b，所述開(kāi)口具有圓形的橫截面。超聲傳感器元件3a、3b的基體4是一體地構(gòu)造的并且以下以附圖標(biāo)記4表示。此外，每個(gè)超聲傳感器元件3a、3b具有柔性的彎曲元件6a、6b，其設(shè)置在開(kāi)口5a、5b中并且是導(dǎo)電的；盤(pán)狀的壓電元件7a、7b，其設(shè)置在開(kāi)口 5a、5b中并且與柔性的彎曲元件6a、6b連接；阻尼元件8a、8b，其設(shè)置在開(kāi)口 5a、5b中并且覆蓋壓電元件7a、7b。柔性的彎曲元件5a、5b在端側(cè)封閉在基體4中形成的開(kāi)口 5a、5b的第一端部區(qū)域A，并且阻尼元件8a、8b在端側(cè)封閉開(kāi)口 5a、5b的第二端部區(qū)域B?；w4的表面9和柔性的彎曲元件6a、6b的表面10是平齊地并且平坦地構(gòu)造的，使得彎曲元件6a、6b對(duì)外封閉超聲傳感器元件 3a、3b。柔性的襯底11 (在此為柔性的電路板)沿著基體4的另一外表面12設(shè)置，所述外表面與阻尼元件8a、8b相鄰。柔性的電路板11不沿著阻尼元件5a、5b延伸。表面金屬化形式的導(dǎo)電層13a、13b沿著柔性的彎曲元件6a、6b的與壓電元件7a、7b相鄰的表面14a、14b、沿著基體4的內(nèi)側(cè)壁15a、15b以及沿著基體4的表面12延伸。鍵合線16a、16b與柔性的襯底11和壓電元件7a、7b的與阻尼元件8a、8b相鄰設(shè)置的表面連接。各向異性的導(dǎo)電粘合劑17a、17b容納在柔性的彎曲元件6a、6b與壓電元件7a、7b之間，而各向同性的導(dǎo)電粘合劑18a、18b容納在基體4與柔性的襯底11之間。 超聲傳感器元件3如在圖2中示出的那樣具有圓形的橫截面并且設(shè)置成二維矩陣。出于清楚原因，僅僅一個(gè)超聲傳感器元件設(shè)有附圖標(biāo)記3。矩陣具有三個(gè)彼此平行地設(shè)置的行20-22。矩陣的第一行20具有六個(gè)在X方向上沿著一條線設(shè)置的超聲傳感器元件3。在矩陣的第二行21中，沿著X方向設(shè)置有七個(gè)超聲傳感器元件3，并且矩陣的第三行22具有沿著X方向的六個(gè)超聲傳感器元件3。第二行21的超聲傳感器元件3相對(duì)于第一行20和第三行22的超聲傳感器元件3偏移一距離地設(shè)置，所述距離等于超聲傳感器元件3的圓形橫截面的半徑。因此，第一行20和第三行22的超聲傳感器元件3在y方向上沿著一個(gè)共同的線設(shè)置。表面安裝的電容器設(shè)置在區(qū)域23a、23b中，所述區(qū)域與超聲傳感器元件的矩陣的第一行20和第三行22平行地延伸。電容器用于漂移補(bǔ)償并且與超聲傳感器元件3并聯(lián)，以及在圖2的俯視圖中通過(guò)虛線表示。第一行20和第三行22的超聲傳感器元件3被設(shè)置用于發(fā)送超聲，而第二行21的超聲傳感器元件被設(shè)置用于接收超聲。因此，可以時(shí)間高效地借助于超聲傳感器裝置I來(lái)檢測(cè)超聲傳感器裝置I的聲空間中的物體。應(yīng)注意的是，可以使用在數(shù)量和布置方面任意的傳感器元件來(lái)發(fā)送和接收超聲。在超聲傳感器裝置I的運(yùn)行中，第一行20和第二行22的超聲傳感器元件3發(fā)出超聲2，所述超聲在超聲傳感器裝置I的聲空間中的待檢測(cè)的物體上被反射。被反射的超聲2由第二行21的超聲傳感器元件3接收。第二行21的超聲傳感器3基于所接收的超聲2產(chǎn)生電信號(hào)，所述電信號(hào)分別對(duì)應(yīng)于壓電兀件7a、7b中的一個(gè)的縱向伸展變化。壓電兀件7a、7b中的變形通過(guò)雙側(cè)箭頭來(lái)表示并且在超聲傳感器元件3的接收運(yùn)行中通過(guò)超聲2對(duì)彎曲元件6a、6b的借助于單側(cè)箭頭表示的壓力作用引起。所產(chǎn)生的電信號(hào)被傳輸給超聲傳感器裝置I的分析單元，所述分析單元基于電信號(hào)檢測(cè)物體在聲空間中的定位。以下描述用于制造根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的超聲傳感器裝置的方法，在所述方法中形成圖I中的超聲傳感器裝置I。在所述方法的第一步驟中，作為由氧化鋁陶瓷構(gòu)成的板來(lái)提供基體4，所述板設(shè)有一些孔，這些孔形成穿通的開(kāi)口 5a、5b。替代地，可以作為具有穿透的開(kāi)口 5a、5b的冷擠壓件來(lái)制造基體4。隨后，借助于塑料壓鑄方法借助于噴濺(Anspritzen)在開(kāi)口 5a、5b中設(shè)置柔性的彎曲元件6a、6b。為此首先實(shí)施基體4的在線等離子體處理，以及將基體4設(shè)置在壓鑄模具中。在壓鑄模具中部分地以Tikon的A950規(guī)格的液晶聚合物來(lái)注塑包封基體4的開(kāi)口 5a、5b。替代地，可以使用其他聚合物。由此，在開(kāi)口 5a、5b中形成柔性的彎曲元件6a、6b并且使所述柔性的彎曲元件6a、6b與基體4連接。在所述方法的另一步驟中，提供壓電元件7a、7b，其在上側(cè)上和下側(cè)上具有之前借助于表面金屬化技術(shù)施加的金屬層。在所述方法的另一步驟中，在基體4不導(dǎo)電的情況下在柔性的彎曲元件6a、6b的表面14上、在基體4的側(cè)壁15上以及在基體4的表面12上作為表面金屬化施加導(dǎo)電層13?？梢栽诨w4由金屬構(gòu)成的情況下取消導(dǎo)電層13。隨后,借助于導(dǎo)電的、各向異性的導(dǎo)電粘合劑17將壓電元件7a、7b粘合在柔性的彎曲元件6a、6b的經(jīng)涂覆的上側(cè)14上。將壓電元件7a、7b擠壓到柔性的彎曲元件6a、6b上，以及使導(dǎo)電粘合劑17硬化。以此方式提供壓電元件7a、7b與柔性的襯底11通過(guò)導(dǎo)電層13的接通。在另一步驟中，在絲網(wǎng)印刷方法中在基體4的表面12上的導(dǎo)電層13上施加各向同性的導(dǎo)電粘合劑18，以及將柔性的襯底11擠壓到基體4上以及使導(dǎo)電粘合劑在壓力下硬化。也可以取消在柔性的襯底11和/或基體4上施加壓力。 在另一步驟中，實(shí)現(xiàn)壓電元件7a、7b與柔性的襯底11之間的電接通，其方式是，借助于鍵合在兩個(gè)元件7a、b、ll之間施加鍵合線16a、16b。同樣可以借助于將導(dǎo)體摩擦焊接到壓電元件7a、7b的下側(cè)上和柔性的彎曲元件11上來(lái)實(shí)現(xiàn)壓電元件7a、7b的下側(cè)與柔性的襯底11的接通。在另一步驟中，自動(dòng)地以聚氨酯泡沫填充開(kāi)口 5a、5b。替代地，也可以使用硅酮泡沫。使所述泡沫硬化，由此形成阻尼元件8a、8b。這實(shí)現(xiàn)了開(kāi)口 5a、5b中的壓電元件7a、7b和鍵合線16a、16b的澆注。隨后，在柔性的襯底11上在區(qū)域23a、23b中施加電容器并且使所述電容器與超聲傳感器元件3a、3b電連接。圖3和圖4示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的另一傳感器裝置I。所述超聲傳感器裝置I與圖I和圖2的超聲傳感器裝置I類(lèi)似地構(gòu)造。然而，基體4和柔性的彎曲元件6a、6b—體地由鋁制造為擠壓件?；w4具有不穿透基體4的開(kāi)口 5a、5b，即盲孔。柔性的彎曲兀件6a、6b設(shè)置在開(kāi)口 5a、5b外部并且封閉開(kāi)口 5a、5b的第一端部區(qū)域,其方式是,柔性的彎曲元件6a、6b覆蓋開(kāi)口 5a、5b。彎曲元件5a、5b被構(gòu)造為圓形膜片，其具有大約彡4mm至大約彡5mm的范圍內(nèi)的直徑以及大約彡O. 2mm至大約彡O. 4mm的范圍內(nèi)的厚度。薄的彎曲膜片5a、5b在外周上與基體4連接并且具有極其牢固的外部區(qū)段。此外，與圖I中的超聲傳感器元件3a、3b相比,超聲傳感器元件3a、3b沿著柔性的彎曲元件6a、6b的表面14a、14b、沿著基體4的內(nèi)側(cè)壁15a、15b以及沿著基體4的與阻尼元件8a、8b相鄰的外表面12不具有導(dǎo)電層13a、13b，因?yàn)閴弘娫?a、7b通過(guò)各向異性的導(dǎo)電粘合劑17、17b直接接通導(dǎo)電的基板4而柔性的電路板11直接通過(guò)各向同性的導(dǎo)電粘合劑18a、18b接通基體4。超聲傳感器元件3a、3b的諧振頻率為50kHz。超聲傳感器裝置I的運(yùn)行與圖I和圖2中的超聲傳感器裝置I的運(yùn)行類(lèi)似。在用于制造根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的傳感器裝置I的方法中，借助于擠壓由鋁板制造基體4連同柔性的彎曲元件6a、6b。在所述工藝步驟中，在基體4中開(kāi)設(shè)不穿透的開(kāi)口 5a、5b。隨后執(zhí)行參考圖I和圖2的超聲傳感器裝置I描述的、在由聚合物形成彎曲元件之后執(zhí)行的方法步驟。圖5和圖6示出根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的超聲傳感器裝置I。超聲傳感器裝置I的超聲傳感器元件3與圖I和圖2中的超聲傳感器裝置I的超聲傳感器元件3類(lèi)似地構(gòu)造，然而替代導(dǎo)電層13和一個(gè)鍵合線16a、16b而在壓電元件與柔性的襯底之間具有兩個(gè)鍵合線。此外，超聲傳感器裝置I的超聲傳感器元件3設(shè)置在三個(gè)行20-22中，這些行分別具有六個(gè)超聲傳感器元件3，這些超聲傳感器元件沿著矩陣狀布置的第一方向X和矩陣狀布置的第二方向y彼此等距地設(shè)置，所述第二方向y垂直于第一方向X。所述布置是示例性的。超聲傳感器元件3在基體4的俯視圖中看也可以布置成圓形。超聲傳感器裝置I的運(yùn)行與圖I和圖2的超聲傳感器裝置I的運(yùn)行類(lèi)似。在用于制造根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的超聲傳感器裝置I的方法中，作為冷擠壓件提供具有開(kāi)口 5的基體4。隨后，將具有在兩側(cè)施加了表面金屬化的壓電元件7自動(dòng)地置于壓鑄模具中并且隨后將氧化鋁陶瓷基體4容納在壓鑄模具中。在此，壓電元件7在其在超聲傳感器裝置I的組裝狀態(tài)中朝著柔性的彎曲元件6的上側(cè)上的表面金屬化與在超聲傳感器裝置I的組裝狀態(tài)中朝著阻尼元件8a的另一上側(cè)上的表面金屬化的側(cè)向環(huán)繞接通。在柔性的彎曲元件5的區(qū)域中，將基體4與壓電元件7 —起注塑包封。因此，壓電元件7不與柔性的彎曲元件6粘合。在相同的工藝步驟中，注射包圍基體4的殼體。隨后，借助于鍵·合進(jìn)行壓電元件7的另一上側(cè)與柔性的襯底11的電接通。在此，在壓電元件7的其他表面中的每一個(gè)與柔性的襯底11之間形成兩個(gè)鍵合線16。隨后，在開(kāi)口 5中施加基于聚合物或硅酮的材料，由此在使相應(yīng)材料硬化之后形成阻尼元件8。圖7和圖8示出根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施例的超聲傳感器裝置I。超聲傳感器裝置I的超聲傳感器元件3a-f與圖5和6中的超聲傳感器裝置I的超聲傳感器元件3a-f相同地構(gòu)造。然而，超聲傳感器元件3的開(kāi)口具有矩形的橫截面而不是圓形的橫截面。超聲傳感器裝置I的運(yùn)行與圖5和圖6中的超聲傳感器裝置I的運(yùn)行類(lèi)似。用于制造根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施例的超聲傳感器裝置I的方法與用于制造圖5和圖6中的超聲傳感器裝置I的方法類(lèi)似。在此，可基于所使用的擠壓技術(shù)和壓鑄技術(shù)特別簡(jiǎn)單地制造超聲傳感器裝置3的橫截面形狀。圖9和圖10示出根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施例的超聲傳感器裝置I。所述超聲傳感器裝置I與圖I和圖2中的超聲傳感器裝置I類(lèi)似地構(gòu)造，但具有附加的覆蓋層25，所述覆蓋層沿著基體4的表面和基于聚合物的柔性的彎曲元件5的表面延伸。覆蓋層25的表面26彎曲地構(gòu)造并且覆蓋層25的厚度朝著其外部區(qū)域連續(xù)地減小。超聲傳感器裝置I的運(yùn)行與圖I和圖2中的超聲傳感器裝置I的運(yùn)行類(lèi)似。在用于制造根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施例的超聲傳感器裝置I的方法中，執(zhí)行參照?qǐng)DI和圖2描述的方法的方法步驟。與柔性的彎曲元件6同時(shí)通過(guò)注塑包封來(lái)形成覆蓋層25。
權(quán)利要求
1.用于檢測(cè)和/或發(fā)送超聲(2)的超聲傳感器元件(3a-f)，其中，所述超聲傳感器元件(3a_f)具有 基體(4)，其具有開(kāi)口(5a，b)， 柔性的彎曲元件(6a，b)，其在端側(cè)封閉所述開(kāi)口(5a，b)的第一端部區(qū)域(A)，其中，所述柔性的彎曲元件(6a，b)具體聚合物、尤其液晶聚合物， 壓電元件(7a，b)，其設(shè)置在所述開(kāi)口(5a，b)中并且與所述柔性的彎曲元件(6a，b)連接，以及 阻尼元件(8a，b)，其設(shè)置在所述開(kāi)口(5a，b)中并且在端側(cè)封閉所述開(kāi)口(5a，b)的第二端部區(qū)域(B)。
2.用于檢測(cè)和/或發(fā)送超聲(2)的超聲傳感器裝置(1)，其中，所述超聲傳感器裝置(I)具有多個(gè)超聲傳感器元件(3a_f)，其中，每個(gè)超聲傳感器元件(3a-f)具有 基體(4)，其具有開(kāi)口(5a，b)， 柔性的彎曲元件(6a，b)，其在端側(cè)封閉所述開(kāi)口(5a，b)的第一端部區(qū)域(A)， 壓電元件(7a，b)，其設(shè)置在所述開(kāi)口(5a，b)中并且與所述柔性的彎曲元件(6a，b)連接，以及 阻尼元件(8a，b)，其設(shè)置在所述開(kāi)口(5a，b)中并且在端側(cè)封閉所述開(kāi)口(5a，b)的第二端部區(qū)域(B)， 其中，所述多個(gè)超聲傳感器元件(3a-f )的超聲傳感器元件(3a-f )的基體(4)是一體地構(gòu)造的。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超聲傳感器裝置(1)，其中，所述柔性的彎曲元件(6a，b)具有聚合物、尤其液晶聚合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超聲傳感器裝置(I)，其中，每個(gè)超聲傳感器元件(3a-f )的柔性的彎曲元件(6a，b)和基體(4)是一體地構(gòu)造的，其中，所述柔性的彎曲元件(6a，b)和所述基體(4)的材料尤其具有金屬、金屬氧化物和/或金屬氧化物陶瓷。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的超聲傳感器裝置(1)，其中，沿著所述基體(4)的與所述阻尼元件(8a，b)相鄰的外上側(cè)(9)設(shè)置有襯底(11)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2至5中任一項(xiàng)所述的超聲傳感器裝置(I)，其中，所述超聲傳感器元件(3a_f)還具有 覆蓋元件(25)，其沿著所述基體(4)的與所述彎曲元件(6a，b)相鄰的外上側(cè)(9)和所述彎曲元件(6a，b)的背離所述壓電元件(7a，b)的外上側(cè)(10)延伸。
7.根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的超聲傳感器裝置(I)，其中，所述基體(4)的與所述柔性的彎曲元件(6a，b)相鄰的外上側(cè)(9)、所述柔性的彎曲元件(6a，b)的背離所述壓電元件(7a, b)的外上側(cè)(10a、b)和/或所述覆蓋元件(25)的外上側(cè)(26)被構(gòu)造成至少部分地彎曲的。
8.根據(jù)權(quán)利要求2至7中任一項(xiàng)所述的超聲傳感器裝置(I)，其中，所述多個(gè)超聲傳感器元件(3a-f)設(shè)置成一維的或二維的圖案。
9.根據(jù)權(quán)利要求2至8中任一項(xiàng)所述的超聲傳感器裝置(I)，其中，所述多個(gè)超聲傳感器元件(3a_f)被設(shè)置用于發(fā)送和/或接收所述超聲(2)。
10.根據(jù)權(quán)利要求2至9中任一項(xiàng)所述的超聲傳感器裝置(1)，其中，所述超聲傳感器裝置(I)容納在車(chē)輛的泊車(chē)裝置中或車(chē)輛的操縱輔助系統(tǒng)中。
11.用于制造用于檢測(cè)和/或發(fā)送超聲(2)的超聲傳感器裝置(I)的方法，其中，所述超聲傳感器裝置(I)具有多個(gè)超聲傳感器元件(3a_f )，其中，制造超聲傳感器元件(3a-f)包括 提供基體(4)，其具有開(kāi)口(5a，b)， 通過(guò)柔性的彎曲元件(5a，b)在端側(cè)封閉所述開(kāi)口(5a，b)的第一端部區(qū)域， 在所述開(kāi)口(5a，b)中設(shè)置壓電元件(7a，b)， 將所述柔性的彎曲元件(6a，b)與所述壓電元件(7a，b)彼此連接， 在所述開(kāi)口(5a，b)中設(shè)置阻尼元件(8a，b)，以及 通過(guò)所述阻尼元件(8a，b)在端側(cè)封閉所述開(kāi)口(5a，b)的第二端部區(qū)域， 其中，一體地構(gòu)造所述多個(gè)超聲傳感器元件(3a_f)的超聲傳感器元件(3a_f)的基體(4)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，提供所述基體(4)包括在所述基體(4)中開(kāi)設(shè)所述開(kāi)口，尤其是借助于鉆孔、腐蝕或者擠壓——尤其是冷擠壓來(lái)開(kāi)設(shè)所述開(kāi)口。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的方法，其中，注塑包封所述基體(4)和設(shè)置在所述開(kāi)口(5a，b)中的壓電元件(7a，b)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于檢測(cè)和/或發(fā)送超聲(2)的超聲傳感器裝置(1)。為了改進(jìn)物體探測(cè)的靈敏性，超聲傳感器裝置(1)具有多個(gè)傳輸傳感器元件(3a-f)，其中超聲傳感器元件(3a，b)具有基體(4)，其具有開(kāi)口(5a，b)；柔性的彎曲元件(6a，b)，其端側(cè)封閉開(kāi)口(5a，b)的第一端部區(qū)域(A)，其中柔性的彎曲元件(6a，b)具體聚合物，尤其液晶聚合物；壓電元件(7a，b)，其設(shè)置在開(kāi)口(5a，b)并且與柔性的彎曲元件(6a，b)連接；以及阻尼元件(8a，b)，其設(shè)置在開(kāi)口(5a，b)中并且端側(cè)封閉開(kāi)口(5a，b)的第二端部區(qū)域(B)。
文檔編號(hào)G10K9/122GK102890273SQ20121025393
公開(kāi)日2013年1月23日 申請(qǐng)日期2012年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月22日
發(fā)明者G·格拉赫, A·格拉赫 申請(qǐng)人:羅伯特·博世有限公司