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OLED器件及其制作方法與流程

文檔序號(hào):11103125閱讀:1049來(lái)源:國(guó)知局
OLED器件及其制作方法與制造工藝

本發(fā)明涉及顯示器技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種OLED器件及其制作方法。



背景技術(shù):

隨著OLED(Organic Light-Emitting Diode,有機(jī)發(fā)光顯示)技術(shù)的發(fā)展,用戶(hù)對(duì)OLED色彩和灰度的顯示要求越來(lái)越高。

目前通過(guò)RGB side-by-side制作的全彩AMOLED的過(guò)程中,先用Common Mask(CM)形成HIL(空穴注入)層和HTL(空穴傳輸)層,再形成EML(發(fā)光)層,最后形成ETL(電子傳輸)層、EIL(電子注入)層和透明陰極。對(duì)于用CM制備HIL和HTL層的器件在高灰階顯示時(shí),各子像素的驅(qū)動(dòng)電流較高,電阻較小,空穴在子像素間的竄擾電阻極大,因此竄擾電流可忽略不計(jì)。

然而,在低灰階顯示時(shí),各子像素的驅(qū)動(dòng)電流極低,隨著電流的減小二極管的等效電阻急劇增大,即在低灰階顯示時(shí),RR、RG和RB數(shù)值極大,與空穴的竄擾電阻約在同一量級(jí)。另外受材料特性影響,藍(lán)光子像素驅(qū)動(dòng)電壓比紅綠子像素高,所以RB大于RR和RG。由于EML層共用HIL層和HTL層,于是RBR和RBG會(huì)對(duì)RB形成分流作用,即藍(lán)光子像素下的空穴會(huì)竄流至紅綠子像素,導(dǎo)致OLED顯示存在色偏。

因此,現(xiàn)有技術(shù)存在缺陷,急需改進(jìn)。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于提供一種改進(jìn)的OLED器件及其制作方法。

為解決上述問(wèn)題,本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下:

本發(fā)明提供一種OLED器件的制作方法,包括以下步驟:

提供一基板,在所述基板上形成第一電極層;

在所述第一電極層上形成第一有機(jī)層,對(duì)所述第一有機(jī)層進(jìn)行圖形化處理,從而形成第一有機(jī)島狀圖案、第二有機(jī)島狀圖案以及第三有機(jī)島狀圖案,相鄰的有機(jī)島狀圖案相互之間存在間隔,間隔處露出第一電極層;

在所述第一有機(jī)島狀圖案上形成紅光發(fā)光層,在所述第二有機(jī)島狀圖案上形成藍(lán)光發(fā)光層,以及在所述第三有機(jī)島狀圖案上形成綠光發(fā)光層;

在發(fā)光層上依次形成第二有機(jī)層以及第二電極層。

在本發(fā)明所述的OLED器件的制作方法中,所述第一有機(jī)島狀圖案、所述第二有機(jī)島狀圖案以及所述第三有機(jī)島狀圖案相互之間等間隔設(shè)置,間隔距離為1μm~15μm。

本發(fā)明所述的OLED器件的制作方法中,對(duì)所述第一有機(jī)層進(jìn)行圖形化處理,從而形成第一有機(jī)島狀圖案、第二有機(jī)島狀圖案以及第三有機(jī)島狀圖案的步驟包括:

在所述第一有機(jī)層上涂布光阻;

對(duì)涂布光阻后的第一有機(jī)層進(jìn)行曝光、顯影、刻蝕,從而形成第一有機(jī)島狀圖案、第二有機(jī)島狀圖案以及第三有機(jī)島狀圖案。

在本發(fā)明所述的OLED器件的制作方法中,所述第一有機(jī)層包括空穴注入層和空穴傳輸層;在第一電極層上形成第一有機(jī)層的步驟包括:

在所述第一電極層上形成空穴注入層;

在所述空穴注入層上形成空穴傳輸層。

在本發(fā)明所述的OLED器件的制作方法中,所述第二有機(jī)層包括電子注入層和電子傳輸層;在所述第一電極層和所述發(fā)光層上依次形成第二有機(jī)層以及第二電極層的步驟包括:

在所述第一電極層和所述發(fā)光層上形成電子傳輸入層;

在所述電子傳輸層上形成電子注入層;

在所述電子注入層上形成第二電極層。

本發(fā)明所述的OLED器件的制作方法中,在所述第一有機(jī)島狀圖案上形成紅光發(fā)光層,在所述第二有機(jī)島狀圖案上形成藍(lán)光發(fā)光層,在所述第三有機(jī)島狀圖案上形成綠光發(fā)光層的步驟包括:

利用高精度金屬掩膜版在所述第一有機(jī)島狀圖案上形成紅光發(fā)光層,在所述第二有機(jī)島狀圖案上形成藍(lán)光發(fā)光層,在所述第三有機(jī)島狀圖案上形成綠光發(fā)光層。

在本發(fā)明所述的OLED器件的制作方法中,在第一電極層上形成第一有機(jī)層的步驟包括:

采用真空蒸鍍工藝在第一電極層上形成第一有機(jī)層。

在本發(fā)明所述的OLED器件的制作方法中,在所述基板所述發(fā)光層上依次形成第二有機(jī)層以及第二電極層的步驟包括:

采用真空蒸鍍工藝在所述第一電極層和所述發(fā)光層上依次形成第二有機(jī)層以及第二電極層。

在本發(fā)明所述的OLED器件的制作方法中,所述第一電極層為ITO或IZO。

本發(fā)明提供一種OLED器件,包括:

基板;

第一電極層,其設(shè)置在所述基板上;

空穴注入層,其設(shè)置在所述第一電極層上,包括第一空穴注入島狀圖案、第二空穴注入島狀圖案以及第三空穴注入島狀圖案;

空穴傳輸層,其包括設(shè)置在所述第一空穴注入島狀圖案上的第一空穴傳輸島狀圖案、設(shè)置在所述第二空穴注入島狀圖案上的第二空穴傳輸島狀圖案、以及設(shè)置在所述第三空穴注入島狀圖案上的第三空穴傳輸島狀圖案;

發(fā)光層,其包括設(shè)置在所述第一空穴傳輸島狀圖案上的紅光發(fā)光層、設(shè)置在所述第二空穴傳輸島狀圖案上的藍(lán)光發(fā)光層、以及設(shè)置在所述第三空穴傳輸島狀圖案上的綠光發(fā)光層;

電子傳輸層,其設(shè)置在發(fā)光層上;

電子注入層,其設(shè)置在電子傳輸層上;

第二電極層,其設(shè)置在電子注入層上

相較于現(xiàn)有的OLED器件及其制作方法,本發(fā)明提供一基板,在基板上形成第一電極層;在第一電極層上形成第一有機(jī)層,對(duì)第一有機(jī)層進(jìn)行圖形化處理,從而形成第一有機(jī)島狀圖案、第二有機(jī)島狀圖案以及第三有機(jī)島狀圖案,相鄰的有機(jī)島狀圖案之間存在間隔,間隔處露出第一電極層;在第一有機(jī)島狀圖案上形成紅光發(fā)光層,在第二有機(jī)島狀圖案上形成藍(lán)光發(fā)光層,以及在第三有機(jī)島狀圖案上形成綠光發(fā)光層;在發(fā)光層上依次形成第二有機(jī)層以及第二電極層。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)各子像素完全的獨(dú)立控制,阻斷空穴由藍(lán)光子像素向紅綠子像素的竄擾,改善低電流下的色偏,提高了OLED器件的顯示效果。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的OLED器件制作方法的優(yōu)選實(shí)施例的流程示意圖。

圖2為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中OLED器件制作工藝示意圖。

圖3為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中OLED器件的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下各實(shí)施例的說(shuō)明是參考附加的圖式,用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本發(fā)明所提到的方向用語(yǔ),例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「?jìng)?cè)面」等,僅是參考附加圖式的方向。因此,使用的方向用語(yǔ)是用以說(shuō)明及理解本發(fā)明,而非用以限制本發(fā)明。

在圖中,結(jié)構(gòu)相似的模塊是以相同標(biāo)號(hào)表示。

請(qǐng)參照?qǐng)D1,圖1為本發(fā)明的OLED器件的制作方法的流程示意圖。該OLED器件的制作方法包括以下流程:

S101,提供一基板,在基板上形成第一電極層。

S102,在所述第一電極層上形成第一有機(jī)層,對(duì)所述第一有機(jī)層進(jìn)行圖形化處理,從而形成第一有機(jī)島狀圖案、第二有機(jī)島狀圖案以及第三有機(jī)島狀圖案,相鄰的有機(jī)島狀圖案之間存在間隔,間隔處露出第一電極。

S103,在所述第一有機(jī)島狀圖案上形成紅光發(fā)光層,在所述第二有機(jī)島狀圖案上形成藍(lán)光發(fā)光層,以及在所述第三有機(jī)島狀圖案上形成綠光發(fā)光層。

S104,在發(fā)光層上依次形成第二有機(jī)層以及第二電極層。

以下將結(jié)合圖2對(duì)以上TFT基板的制作方法的步驟進(jìn)行詳細(xì)描述。

請(qǐng)參考圖2,圖2為本發(fā)明一較佳實(shí)施例的OLED器件的第一有機(jī)層制作工藝示意圖。下面結(jié)合圖2由上至下所示理解本發(fā)明步驟。

在步驟S101中,首先對(duì)基板100進(jìn)行清潔預(yù)處理,基板100可以為透明的硬性基板或柔性基板,比如,該基板100可以是玻璃、石英等。然后采用濺鍍法在所述基板100上形成第一電極層11。該第一電極層11可由ITO(氧化銦錫)或IZO(氧化銦鋅)等材料制備,以作為OLED器件的陽(yáng)極。為了提高第一電極層11的導(dǎo)電性,具體實(shí)施過(guò)程中,還可在該第一電極層11上沉積金屬Cr以提高第一電極層的導(dǎo)電性能。

在步驟S102中,可采用真空蒸鍍工藝在在所述第一電極層11上形成第一有機(jī)層12,其可由TPD、NPB、TTB、HTM2等制備。參考圖2,所述第一有機(jī)層12可包括空穴注入層121和空穴傳輸層122。則在所述第一電極層11上形成第一有機(jī)層12的步驟包括:

在所述第一電極層11上形成空穴注入層121;

在所述空穴注入層121上形成空穴傳輸層122。

本實(shí)施例中,在對(duì)所述第一有機(jī)層12進(jìn)行圖形化處理,從而形成第一有機(jī)島狀圖案a、第二有機(jī)島狀圖案b以及第三有機(jī)島狀圖案c的步驟包括:

在所述第一有機(jī)層12上涂布光阻;

對(duì)所述涂布有光阻的第一有機(jī)層12進(jìn)行曝光、顯影、刻蝕,從而形成第一有機(jī)島狀圖案a、第二有機(jī)島狀圖案b以及第三有機(jī)島狀圖案c。

在一些實(shí)施例中,所述第一有機(jī)島狀圖案a、所述第二有機(jī)島狀圖案b以及所述第三有機(jī)島狀圖案c相互之間可等間隔設(shè)置。為了保證像素的發(fā)光面積,間隔距離可設(shè)為1μm~15μm。

本實(shí)施例中,將第一有機(jī)層注入層121和空穴傳輸層122間隔形成三個(gè)孤立的小島,由此制備的器件其RGB三像素的空穴注入層和空穴傳輸層均是各自獨(dú)立的,低電流驅(qū)動(dòng)下由藍(lán)光子像素向紅綠子像素的空穴竄擾被阻斷,實(shí)現(xiàn)各子像完全的獨(dú)立控制。

在步驟103中,為提高發(fā)光效率,可利用高精度金屬掩膜版(FMM)在所述第一有機(jī)層12上蒸鍍發(fā)光層13。如圖2所示,該發(fā)光層13包括設(shè)置在所述第一有機(jī)島狀圖案a上的紅光發(fā)光層x,設(shè)置在所述第二有機(jī)島狀圖案b上的藍(lán)光發(fā)光層y,以及設(shè)置在所述第三有機(jī)島狀圖案c上的綠光發(fā)光層z。

具體實(shí)施時(shí),可采用Alq3是直接單獨(dú)使用作為發(fā)光層13的制備材料。還有的是本身不能單獨(dú)作為發(fā)光層,摻雜在另一種基質(zhì)材料中才能發(fā)光,如紅光摻雜劑DCJTB,綠光摻雜劑DMQA,藍(lán)光摻雜劑BH1、BD1等。

在步驟104中,可采用真空蒸鍍工藝在發(fā)光層13上依次形成第二有機(jī)層14以及第二電極層15。在本實(shí)施例中,如圖2所示,所述第二有機(jī)層14可包括電子傳輸層141和電子注入層142。則在所述第一電極層11和所述發(fā)光層13上依次形成第二有機(jī)層14以及第二電極層15的步驟可以包括:

在所述第一電極層11和所述發(fā)光層13上形成電子傳輸入層141;

在所述電子傳輸141層上形成;

在所述電子注入層142上形成第二電極層15。

其中,制作電子傳輸層141的材料必須制膜安定性高、熱穩(wěn)定且電子傳輸性佳,可采用螢光染料化合物,如Alq、Znq、Gaq、Bebq、Balq、DPVBi、ZnSPB、PBD、OXD、BBOT等。電子注入層142可由Liq、PEIE等材料制備而成。

在本實(shí)施例中,第二電極層15作為OLED器件的陰極,與第一電極層11構(gòu)成驅(qū)動(dòng)電極,用于驅(qū)動(dòng)電子和空穴在發(fā)光層13發(fā)生碰撞進(jìn)行發(fā)光。其中,第二電極層15可為單層金屬陰極,可由Mg、Al、Ca、Ag、Li、In等材料等制備而成。此外,為了提高發(fā)光率,又能得到穩(wěn)定的器件,還可以為合金陰極(如Mg:Al)或?qū)訝铌帢O(如LiF/Al)。

在一些實(shí)施例中,還可以在空穴傳輸層122與發(fā)光層13之間增加電子阻擋層,可由Perylene、Rubrene、DCIT等材料制備。同樣地,還可以在電子傳輸層141與發(fā)光層13之間增加空穴阻擋層,以阻隔空穴直接進(jìn)入電子傳輸層與電子發(fā)生反應(yīng)。

本優(yōu)選實(shí)施例的OLED器件制作方法,通過(guò)在提供的基板上形成第一電極層;在第一電極層上形成第一有機(jī)層,對(duì)第一有機(jī)層進(jìn)行圖形化處理,從而形成第一有機(jī)島狀圖案、第二有機(jī)島狀圖案以及第三有機(jī)島狀圖案,相鄰的有機(jī)島狀圖案之間存在間隔,間隔處露出第一電極;在第一有機(jī)島狀圖案上形成紅光發(fā)光層,在第二有機(jī)島狀圖案上形成藍(lán)光發(fā)光層,以及在第三有機(jī)島狀圖案上形成綠光發(fā)光層;在發(fā)光層上依次形成第二有機(jī)層以及第二電極層。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)各子像素完全的獨(dú)立控制,阻斷空穴由藍(lán)光子像素向紅綠子像素的竄擾,改善低電流下的色偏,提高了OLED器件的顯示效果。

請(qǐng)參照?qǐng)D3,該OLED器件包括基板200、第一電極層21、空穴注入層22、空穴傳輸層23、發(fā)光層24、電子傳輸層25、電子注入層26以及第二電極層27。

其中,第一電極層21設(shè)置在所述基板200上,其可作為OLED器件的陽(yáng)極,與OLED器件的陰極形成驅(qū)動(dòng)電極,用于驅(qū)動(dòng)空穴和電子在發(fā)光層24發(fā)生碰撞進(jìn)行發(fā)光。該第一電極層可為ITO或IZO?;?00可以為透明的硬性基板或柔性基板,比如,該基板200可以是玻璃、石英等。

空穴注入層22設(shè)置在所述第一電極層21上,可由CuPu或MDATA等材料制備。如圖3所示,該空穴注入層22包括第一空穴注入圖案221、第二空穴注入圖案222以及第三空穴注入圖案223,所述第一空穴注入圖案221、所述第二空穴注入圖案222以及所述第三空穴注入圖案223間隔設(shè)置,各間隔處露出第一電極層。

空穴傳輸層23,可由TPD、NPB、TTB、HTM2等制備。如圖3所示,空穴傳輸層23包括設(shè)置在所述第一空穴注入圖案221上的第一空穴傳輸圖案231、設(shè)置在所述第二空穴注入圖案222上的第二空穴傳輸圖案232、以及設(shè)置在所述第三空穴注入圖案223上的第三空穴傳輸圖案233。

發(fā)光層24,參考圖3,其包括設(shè)置在所述第一空穴傳輸圖案上231的紅光發(fā)光層241、設(shè)置在所述第二空穴傳輸圖案232上的藍(lán)光發(fā)光層242、以及設(shè)置在所述第三空穴傳輸圖案233上的綠光發(fā)光層243。Alq3是直接單獨(dú)使用作為發(fā)光層的材料。還有的是本身不能單獨(dú)作為發(fā)光層,摻雜在另一種基質(zhì)材料中才能發(fā)光,如紅光摻雜劑DCJTB,綠光摻雜劑DMQA,藍(lán)光摻雜劑BH1,BD1等。

電子傳輸層25,其設(shè)置在所述第一電極層21和所述發(fā)光層24上。制作電子傳輸層25的材料必須制膜安定性高、熱穩(wěn)定且電子傳輸性佳,可采用螢光染料化合物,如Alq、Znq、Gaq、Bebq、Balq、DPVBi、ZnSPB、PBD、OXD、BBOT等。

電子注入層26,其設(shè)置在所述電子傳輸層25上,可由Liq、PEIE等材料制備而成。

第二電極層27,其設(shè)置在所述電子注入層26上,可作為OLED器件的陰極,與OLED器件的陽(yáng)極形成驅(qū)動(dòng)電極,用于驅(qū)動(dòng)電子和空穴在發(fā)光層24發(fā)生碰撞進(jìn)行發(fā)光。其中,第二電極層27可為單層金屬陰極,可由Mg、Al、Ca、Ag、Li、In等材料等制備而成。此外,為了提高發(fā)光率,又能得到穩(wěn)定的器件,還可以為合金陰極(如Mg:Al)或?qū)訝铌帢O(如LiF/Al)。

空穴和電子分別先注入到空穴傳輸層23和電子傳輸層25,然后再注入到發(fā)光層24,在發(fā)光層24中電子和空穴相遇而復(fù)合,由于能帶的躍遷而發(fā)出可見(jiàn)光。

其發(fā)光機(jī)理為:空穴通過(guò)空穴注入層22、空穴傳輸層23到達(dá)RGB三色的發(fā)光區(qū)域(即發(fā)光層24),在RGB三色的發(fā)光區(qū)域和電子進(jìn)行復(fù)合發(fā)光;電子通過(guò)電子注入層26、電子傳輸層25到達(dá)RGB三色的發(fā)光區(qū)域,在RGB三色的發(fā)光區(qū)域和空穴進(jìn)行復(fù)合發(fā)光。

本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)各子像素完全的獨(dú)立控制,阻斷空穴由藍(lán)光子像素向紅綠子像素的竄擾,改善低電流下的色偏,提高了OLED器件的顯示效果。

綜上所述,雖然本發(fā)明已以?xún)?yōu)選實(shí)施例揭露如上,但上述優(yōu)選實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),均可作各種更動(dòng)與潤(rùn)飾,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。

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