一種用于光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種用于光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比解決了高、低倍物鏡切換不便的缺陷。本實(shí)用新型的高倍物鏡系統(tǒng)安裝在工作臺(tái)上且位于左反射鏡A和左反射鏡B之間，右雙面反射鏡設(shè)有右反射鏡A和右反射鏡B，低倍物鏡系統(tǒng)安裝在工作臺(tái)上且位于右反射鏡A和右反射鏡B之間，運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)上安裝有四面反射棱柱，四面反射棱柱上設(shè)有反射面A、反射面B、反射面C和反射面D，反射面A與左反射鏡A相平行，反射面B與左反射鏡B相平行，反射面C與右反射鏡A相平行，反射面D與右反射鏡B相平行。本實(shí)用新型能夠方便地進(jìn)行高倍物鏡與低倍物鏡的切換，只進(jìn)行導(dǎo)光而不進(jìn)行分光，整個(gè)光路能量損失小。
【專利說(shuō)明】
一種用于光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體光刻技術(shù)領(lǐng)域，具體來(lái)說(shuō)是一種用于光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體光刻技術(shù)中，為了獲得更窄的線寬，一般將圖形縮放一定的倍率成像在襯底上，物鏡倍率越高，圖形被縮放的越小，得到的線寬也越窄。但高倍物鏡的視場(chǎng)較小，在套刻等工藝需要尋找標(biāo)記點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)時(shí)，非常不方便。因此在實(shí)際工藝流程中，一般先根據(jù)低倍鏡有較大視場(chǎng)的特點(diǎn)，用來(lái)尋找標(biāo)記點(diǎn)(對(duì)準(zhǔn)工序)，在對(duì)準(zhǔn)完成之后，再使用高倍物鏡進(jìn)行曝光(曝光工序)。低倍物鏡和高倍物鏡的更換不僅影響了工作效率，而且人工的更換操作還容易對(duì)光學(xué)器件產(chǎn)生位移，造成對(duì)準(zhǔn)曝光失焦。如何開(kāi)發(fā)出一種能夠直接在高倍物鏡和低倍物鏡之間進(jìn)行光源切換的裝置已經(jīng)成為急需解決的技術(shù)問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中高、低倍物鏡切換不便的缺陷，提供一種用于光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置來(lái)解決上述問(wèn)題。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0005]—種用于光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置，包括光源、襯底和工作臺(tái)，光源和襯底分別位于工作臺(tái)的兩側(cè)，工作臺(tái)上安裝有運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)，所述的工作臺(tái)上安裝有左雙面反射鏡和右雙面反射鏡，左雙面反射鏡與右雙面反射鏡兩者基于運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)呈鏡像對(duì)應(yīng);左雙面反射鏡上設(shè)有左反射鏡A和左反射鏡B，高倍物鏡系統(tǒng)安裝在工作臺(tái)上且位于左反射鏡A和左反射鏡B之間，右雙面反射鏡設(shè)有右反射鏡A和右反射鏡B，低倍物鏡系統(tǒng)安裝在工作臺(tái)上且位于右反射鏡A和右反射鏡B之間，運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)上安裝有四面反射棱柱，四面反射棱柱上設(shè)有反射面A、反射面B、反射面C和反射面D，反射面A與左反射鏡A相平行，反射面B與左反射鏡B相平行，反射面C與右反射鏡A相平行，反射面D與右反射鏡B相平行；
[0006]當(dāng)四面反射棱柱運(yùn)動(dòng)至高倍物鏡系統(tǒng)一側(cè)時(shí)，光源發(fā)出的光線依次經(jīng)反射面C、右反射鏡A進(jìn)入低倍物鏡系統(tǒng)后再依次經(jīng)右反射鏡B和反射面D反射至襯底上；當(dāng)四面反射棱柱運(yùn)動(dòng)至低倍物鏡系統(tǒng)一側(cè)時(shí)，光源發(fā)出的光線依次經(jīng)反射面A、左反射鏡A進(jìn)入高倍物鏡系統(tǒng)后再依次經(jīng)左反射鏡B和反射面B反射至襯底上。
[0007]所述的運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)為絲桿導(dǎo)軌滑臺(tái)，四面反射棱柱安裝在運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)的滑塊上。
[0008]所述的左反射鏡A的延伸面與左反射鏡B的延伸面的夾角為90度，右反射鏡A的延伸面與右反射鏡B的延伸面的夾角為90度。
[0009]所述的反射面A的延伸面與反射面B的延伸面的夾角為90度，反射面C的延伸面與反射面D的延伸面的夾角為90度，反射面A與反射面D相平行，反射面B與反射面C相平行。
[0010]有益效果
[0011]本實(shí)用新型的一種用于光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比能夠方便地進(jìn)行高倍物鏡與低倍物鏡的切換，只進(jìn)行導(dǎo)光而不進(jìn)行分光，整個(gè)光路能量損失小。同時(shí)在進(jìn)行高低倍物鏡使用切換過(guò)程中，移動(dòng)的只是四面反射棱柱，其它的光學(xué)器件位置不變，對(duì)光路穩(wěn)定性影響小。具有結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、簡(jiǎn)單便捷、對(duì)準(zhǔn)曝光齊焦的特點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)立體圖；
[0013]圖2為圖1的俯視圖；
[0014]圖3為本實(shí)用新型在曝光工序時(shí)的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0015]圖4為本實(shí)用新型在對(duì)準(zhǔn)工序時(shí)的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0016]其中，1-光源、2-左雙面反射鏡、3-右雙面反射鏡、4-高倍物鏡系統(tǒng)、5-低倍物鏡系統(tǒng)、6-四面反射棱柱、7-襯底、8-工作臺(tái)、9-運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)、21-左反射鏡A、22-左反射鏡B、31-右反射鏡A、32-右反射鏡B、61 -反射面A、62-反射面B、63-反射面C、64-反射面D。
【具體實(shí)施方式】
[0017]為使對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征及所達(dá)成的功效有更進(jìn)一步的了解與認(rèn)識(shí)，用以較佳的實(shí)施例及附圖配合詳細(xì)的說(shuō)明，說(shuō)明如下:
[0018]如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型所述的一種用于光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置，包括光源1、襯底7和工作臺(tái)8，光源I和襯底7分別位于工作臺(tái)8的兩側(cè)，在現(xiàn)有技術(shù)中，工作臺(tái)8上直接放置高倍物鏡或低倍物鏡，以進(jìn)行曝光或?qū)?zhǔn)工序。工作臺(tái)8上安裝有運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)9，運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)9用于安裝四面反射棱柱6，運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)9可以采用現(xiàn)有技術(shù)中的多種技術(shù)，如絲桿導(dǎo)軌滑臺(tái)，或電動(dòng)導(dǎo)軌。當(dāng)采用絲桿導(dǎo)軌滑臺(tái)時(shí)，四面反射棱柱6安裝在其滑塊上，能夠在運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)9的控制下進(jìn)行左右移動(dòng)即可。
[0019]工作臺(tái)8上安裝有左雙面反射鏡2和右雙面反射鏡3，左雙面反射鏡2與右雙面反射鏡3兩者基于運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)9呈鏡像對(duì)應(yīng)。左雙面反射鏡2和右雙面反射鏡3起到反射傳導(dǎo)光路的作用，其可以采用現(xiàn)有技術(shù)中的成形產(chǎn)品，也可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)計(jì)。即設(shè)計(jì)一個(gè)安裝座，在安裝座上設(shè)左反射鏡A21和左反射鏡B22，組成左雙面反射鏡2。同樣，右雙面反射鏡3上也設(shè)有右反射鏡A31和右反射鏡B32。
[0020]高倍物鏡系統(tǒng)4安裝在工作臺(tái)8上且位于左反射鏡A21和左反射鏡B22之間，高倍物鏡系統(tǒng)4用于曝光使用，其與左反射鏡A21和左反射鏡B22組成了曝光使用的反射光路。低倍物鏡系統(tǒng)5安裝在工作臺(tái)8上且位于右反射鏡A31和右反射鏡B32之間，低倍物鏡系統(tǒng)5用于對(duì)準(zhǔn)使用，其與右反射鏡A31和右反射鏡B32組成了對(duì)準(zhǔn)使用的反射光路。四面反射棱柱6用于劃分光路使用，四面反射棱柱6上設(shè)有反射面A61、反射面B62、反射面C63和反射面D64。其中，反射面A61與左反射鏡A21相平行，兩者之間進(jìn)行光路傳導(dǎo)；反射面B62與左反射鏡B22相平行，兩者之間進(jìn)行光路傳導(dǎo)；反射面C63與右反射鏡A31相平行，兩者之間進(jìn)行光路傳導(dǎo)；反射面D64與右反射鏡B32相平行，兩者之間進(jìn)行光路傳導(dǎo)。
[0021]如圖4所示，當(dāng)四面反射棱柱6運(yùn)動(dòng)至高倍物鏡系統(tǒng)4一側(cè)時(shí)，即開(kāi)始進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)工序。光源I發(fā)出的光線依次經(jīng)反射面C63、右反射鏡A31進(jìn)入低倍物鏡系統(tǒng)5，經(jīng)過(guò)低倍物鏡系統(tǒng)5成像后再依次經(jīng)右反射鏡B32和反射面D64反射至襯底7上，從而進(jìn)行尋找標(biāo)記點(diǎn)的對(duì)準(zhǔn)工序。
[0022]如圖3所示，當(dāng)四面反射棱柱6運(yùn)動(dòng)至低倍物鏡系統(tǒng)5—側(cè)時(shí)，即開(kāi)始曝光工序。光源I發(fā)出的光線依次經(jīng)反射面A61、左反射鏡A21進(jìn)入高倍物鏡系統(tǒng)4，經(jīng)過(guò)高倍物鏡系統(tǒng)4成像后，再依次經(jīng)左反射鏡B22和反射面B62反射至襯底7上，從而進(jìn)行曝光工序。
[0023]為了更好地形成各個(gè)反射點(diǎn)的圖像呈現(xiàn)，左反射鏡A21的延伸面與左反射鏡B22的延伸面的夾角可以為90度，即左反射鏡A21往左雙面反射鏡2方向延伸后，左反射鏡B22往左雙面反射鏡2方向延伸后，兩個(gè)面產(chǎn)生的夾角為90度。同樣，右反射鏡A31的延伸面與右反射鏡B32的延伸面的夾角也可以為90度。同理，反射面A61的延伸面與反射面B62的延伸面的夾角可以為90度，反射面C63的延伸面與反射面D64的延伸面的夾角可以為90度，反射面A61與反射面D64相平行，反射面B62與反射面C63相平行。
[0024]在實(shí)際使用時(shí)，當(dāng)需要進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)工序時(shí)，運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)9運(yùn)動(dòng)將四面反射棱柱6移至高倍物鏡系統(tǒng)4 一側(cè)，即將反射面C63對(duì)著光源I。光源I發(fā)出的光路先經(jīng)反射面C63折射后傳至右反射鏡A31，再經(jīng)右反射鏡A31折射后進(jìn)入低倍物鏡系統(tǒng)5，光路經(jīng)過(guò)低倍物鏡系統(tǒng)5后再經(jīng)右反射鏡B32折射至反射面D64上，最后經(jīng)反射面D64反射至襯底7上。當(dāng)需要進(jìn)行曝光工序時(shí)，運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)9運(yùn)動(dòng)將四面反射棱柱6移至低倍物鏡系統(tǒng)5—側(cè)，即將反射面A61對(duì)著光源
I。光源I發(fā)出的光路先經(jīng)反射面A61折射后傳至左反射鏡A21，再經(jīng)左反射鏡A21折射后進(jìn)入高倍物鏡系統(tǒng)4，光路經(jīng)過(guò)高倍物鏡系統(tǒng)4后經(jīng)左反射鏡B22折射至反射面B62，最后經(jīng)反射面B62反射至襯底7上。
[0025]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書中描述的只是本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型的范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求的保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置，包括光源(I)、襯底(7)和工作臺(tái)(8)，光源(I)和襯底(7)分別位于工作臺(tái)(8)的兩側(cè)，工作臺(tái)(8)上安裝有運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)(9)，其特征在于:所述的工作臺(tái)(8)上安裝有左雙面反射鏡(2)和右雙面反射鏡(3)，左雙面反射鏡(2)與右雙面反射鏡(3)兩者基于運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)(9)呈鏡像對(duì)應(yīng);左雙面反射鏡(2)上設(shè)有左反射鏡A(21)和左反射鏡B(22)，高倍物鏡系統(tǒng)(4)安裝在工作臺(tái)(8)上且位于左反射鏡A(21)和左反射鏡B(22)之間，右雙面反射鏡(3)設(shè)有右反射鏡A(31)和右反射鏡B(32)，低倍物鏡系統(tǒng)(5)安裝在工作臺(tái)(8)上且位于右反射鏡A(31)和右反射鏡B(32)之間，運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)(9)上安裝有四面反射棱柱(6)，四面反射棱柱(6)上設(shè)有反射面A(61)、反射面B(62)、反射面C(63)和反射面D(64)，反射面A(61)與左反射鏡A(21)相平行，反射面B(62)與左反射鏡B(22)相平行，反射面C(63)與右反射鏡A(31)相平行，反射面D(64)與右反射鏡B(32)相平行； 當(dāng)四面反射棱柱(6)運(yùn)動(dòng)至高倍物鏡系統(tǒng)(4) 一側(cè)時(shí)，光源(I)發(fā)出的光線依次經(jīng)反射面C(63)、右反射鏡A(31)進(jìn)入低倍物鏡系統(tǒng)(5)后再依次經(jīng)右反射鏡B(32)和反射面D(64)反射至襯底(7)上；當(dāng)四面反射棱柱(6)運(yùn)動(dòng)至低倍物鏡系統(tǒng)(5)—側(cè)時(shí)，光源(I)發(fā)出的光線依次經(jīng)反射面A(61)、左反射鏡A(21)進(jìn)入高倍物鏡系統(tǒng)(4)后再依次經(jīng)左反射鏡B(22)和反射面B(62)反射至襯底(7)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置，其特征在于:所述的運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)(9)為絲桿導(dǎo)軌滑臺(tái)，四面反射棱柱(6)安裝在運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)(9)的滑塊上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置，其特征在于:所述的左反射鏡A(21)的延伸面與左反射鏡B(22)的延伸面的夾角為90度，右反射鏡A(31)的延伸面與右反射鏡B(32)的延伸面的夾角為90度。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置，其特征在于:所述的反射面A(61)的延伸面與反射面B(62)的延伸面的夾角為90度，反射面C(63)的延伸面與反射面D(64)的延伸面的夾角為90度，反射面A(61)與反射面D(64)相平行，反射面B(62)與反射面C(63)相平行。
【文檔編號(hào)】G03F9/00GK205539929SQ201620109028
【公開(kāi)日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年2月3日
【發(fā)明人】沈顯勇
【申請(qǐng)人】合肥亞歌半導(dǎo)體科技合伙企業(yè)（有限合伙）