專(zhuān)利名稱(chēng)：液晶顯示器取向?qū)蛹捌渲谱鞣椒?br> 技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液晶顯示器取向?qū)?LCD Aligner)及其制作方法，以大大減少制作LCD取向?qū)铀璧闹谱鞑襟E，以降低制作成本，本發(fā)明的制作方法簡(jiǎn)易，關(guān)鍵是利用石版印刷(Lithography)術(shù)及深蝕刻(Etchback)方法制造。
目前在平面顯示器技術(shù)開(kāi)發(fā)中，包括有場(chǎng)發(fā)射顯示器(FED；Field Emission Display)、等離子顯示器(PDP；PlasmaDisplay)及液晶顯示器(LCD；Liquid Crystal Display)等，其中又以LCD技術(shù)較為成熟，由LCD應(yīng)用的產(chǎn)品及市場(chǎng)銷(xiāo)售值，每年均以倍數(shù)成長(zhǎng)，可看出其重要性，其中薄膜晶體式液晶顯示器(TFT LCD；Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)的色彩及質(zhì)量足以和陰極射線管(CRT；Cathode Ray Tube)競(jìng)爭(zhēng)，但LCD受限于視角寬度不夠，如今仍然無(wú)法取代大部分CRT的產(chǎn)品，CRT產(chǎn)品的主要缺點(diǎn)為體積大、重量重等。
傳統(tǒng)TET LCD產(chǎn)品是利用液晶分子旋轉(zhuǎn)模態(tài)(TN mode；Twist Nematic mode)的排列特性，以加電壓等方式來(lái)控制液晶分子的排列，進(jìn)而控制光線是否通過(guò)在顯示器內(nèi)的液晶，而表現(xiàn)出LCD畫(huà)面的明暗度，其工作原理說(shuō)明如下首先，請(qǐng)參考

圖1(a)所示，當(dāng)上下電極板之間不外加偏壓時(shí)，光源射入的光線A經(jīng)過(guò)偏光片B后，則和偏光片B的偏極方向平行的光線會(huì)通過(guò)，通過(guò)偏光片B的光線，將會(huì)隨著旋轉(zhuǎn)排列液晶分子C其相位角旋轉(zhuǎn)九十度，如此恰能通過(guò)與偏光片B的相位差九十度的偏光片D，使LCD屏幕產(chǎn)生明亮的畫(huà)面。
請(qǐng)參考圖1(b)所示，當(dāng)上下電極之間加有偏壓時(shí)，液晶分子C的光軸會(huì)朝同一方向排列，失去旋光作用，故入射光線A經(jīng)由偏光片B后，無(wú)法穿過(guò)與偏光片B的相位差九十度的偏光片D，而使得LCD屏幕產(chǎn)生暗黑的畫(huà)面。
具有旋轉(zhuǎn)模態(tài)的液晶分子C所以在上下電極板間旋轉(zhuǎn)九十度，主要是受限于電極板上的取向?qū)拥木€條，該上下取向?qū)由系木€條方向互成九十度，所以部分鑲?cè)肷舷氯∠驅(qū)泳€條內(nèi)的液晶分子會(huì)呈現(xiàn)旋轉(zhuǎn)九十度的排列，由此可知，取向?qū)拥慕Y(jié)構(gòu)在液晶顯示器的工作原理中起著重要的作用。
傳統(tǒng)制作液晶顯示器取向?qū)臃椒ǎ抢谜婵照翦兎椒ㄔ诨錏上沉積取向?qū)覨或利用滾輪(roller)及旋轉(zhuǎn)(spin)等方法，在基板E上布上一層取向?qū)覨(該取向?qū)拥牟牧弦话闶蔷埘０?polyimide)，請(qǐng)閱圖1(a)所示，之后，再利用刷磨法(Rubbing method)以毛布或光柵的光學(xué)取向等方式，對(duì)取向?qū)尤∠颍粗贫ㄈ∠驅(qū)拥木€條G(請(qǐng)參考圖2(b)，圖中箭號(hào)方向表示刷磨方向)。其中，如果液晶顯示器的取向?qū)覨未加以分割(請(qǐng)參考圖3(a)所示)，則觀察者由不同位置(即，不同視角)A1、A2和A3所量測(cè)到的光線穿透率并不相同(如圖3(b)所示)；此外，請(qǐng)參考圖3(c)所示，(水平軸表示不同的視角范圍，垂直軸表示光線穿透LCD的色澤對(duì)比度，同一條虛線代表該LCD明暗對(duì)比度等位曲線(例如明亮度定為16/16，較暗定為313/16，更暗定為1/16等等)，實(shí)線代表不同視角范圍的清晰度)，說(shuō)明了觀察者在不同視角范圍內(nèi)所觀看的LCD屏幕的明暗對(duì)比度和清晰度均不相同，該圖亦說(shuō)明了視角不對(duì)稱(chēng)且視角寬度不夠等問(wèn)題。因此，針對(duì)以上LCD缺點(diǎn)，有人乃提出利用雙區(qū)域(TD；Twp domain)或多區(qū)域旋轉(zhuǎn)模態(tài)的液晶分子(如圖4(a)所示，分為區(qū)域H和區(qū)域I)用來(lái)改善LCD的視角范圍，用此取向?qū)咏Y(jié)構(gòu)制造出的LCD，在視角方面確實(shí)大大得到改善(如圖4(b)所示。但由于上下兩基板利用刷磨法制作多區(qū)域分割取向?qū)?，需要至少三道以上的刷磨步驟，如此繁復(fù)的步驟會(huì)增加制作成本及工時(shí)(如圖4(c)所示，箭號(hào)方向代表刷磨方向，基板E，取向?qū)覨，光阻J，取向?qū)泳€條G)。此外，傳統(tǒng)方法是以相位差補(bǔ)償膜來(lái)解決彩色多頻光源(如白光)所發(fā)出頻譜不同的光線，而造成不同頻譜光(例如紅、藍(lán)和綠等光線)一同入射后，沿著液晶旋轉(zhuǎn)角度會(huì)不一致，使得落在同一點(diǎn)屏幕上的各頻譜光的強(qiáng)度不同的問(wèn)題。請(qǐng)參考圖5(a)所示，其為加有一層或兩層相位差補(bǔ)償膜(retardation film)的LCD的分解示意圖(該LCD示意圖，包括偏光片B、相位差補(bǔ)償膜K及取向?qū)覨等等，其中相位差補(bǔ)償膜K，可單用一層K1或兩層K2一起用)，其中應(yīng)用相位差補(bǔ)償膜可將不同頻率的光旋轉(zhuǎn)角度加以補(bǔ)償，以改善色澤對(duì)比度，同時(shí)也能使液晶顯示器視角更寬廣，如圖5(b)所示。
習(xí)用技術(shù)為了提高LCD視角寬廣度，一般是利用刷磨法(rubbing method)制作多區(qū)域的取向?qū)?，需要至少三道以上刷磨步驟，其步驟繁復(fù)且成本高；另外，為了補(bǔ)償不同頻率光旋轉(zhuǎn)角度及改善色澤對(duì)比度，使用額外的相位差補(bǔ)償膜，該補(bǔ)償膜會(huì)使設(shè)備、制程、材料的成本增加，不符合經(jīng)濟(jì)效益。
本發(fā)明的主要目的在于提供一種制作方法簡(jiǎn)單的液晶顯示器取向?qū)拥闹谱鞣椒ā?br> 本發(fā)明的另一目的在于提供一種成本低的液晶顯示器取向?qū)拥闹谱鞣椒ā?br> 本發(fā)明的另一目的在于提供一種性能好的LCD取向?qū)印?br> 本發(fā)明的目的之四在于提供一種可供應(yīng)用在制作具有取向多區(qū)域分割及相位差補(bǔ)償作用的LCD取向膜的光罩。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采取以下措施本發(fā)明的取向?qū)拥闹谱鞣椒?，?shí)施例之一，其步驟說(shuō)明如下(1)首先，在LCD電極板上布上一層取向?qū)踊A(chǔ)材料；(2)涂布一層光阻材料于基礎(chǔ)材料上；(3)利用嚴(yán)密控制電子束(electron beam)的能量，制作漸近式改變透光率取向?qū)泳€條光罩；(4)然后，應(yīng)用本發(fā)明的光罩以傳統(tǒng)曝光等方式，對(duì)布置在電極板上的光阻曝光，其中，該光阻是受到漸近式光能量的曝光；(5)顯影后，利用深蝕刻(Etchback)方式以沒(méi)有選擇比的離子反應(yīng)蝕刻方式(RIE；Reactive Ion Etch)對(duì)取向?qū)哟怪狈较蜻M(jìn)行等高度的蝕刻，移去部分光阻及部分取向?qū)踊A(chǔ)材料；(6)除去剩余的光阻，此即完成LCD取向?qū)拥闹谱鳌?br> 本發(fā)明的取向?qū)拥闹谱鞣椒?，?shí)施例之二，其步驟說(shuō)明如下(1)首先，在LCD電極板上布上一層透明感光性光阻作為取向?qū)踊A(chǔ)材料；(2)利用嚴(yán)密控制電子束(electron beam)的能量，制作漸近式改變透光率取向?qū)泳€條光罩；(3)然后，應(yīng)用本發(fā)明的光罩以傳統(tǒng)曝光等方式，對(duì)布在電極板上的透明感光性光阻曝光，其中，該光阻受到漸近光陰量的曝光；4)利用顯影時(shí)，移去部分光阻；此即完成LCD取向?qū)拥闹谱鳌?br> 本發(fā)明的液晶顯示器取向?qū)泳哂幸韵绿匦韵辔徊钛a(bǔ)償一不同顏色象素，其取向?qū)泳哂胁煌较蚓€條，此不同方向線條的角度差，正好補(bǔ)償不同顏色通過(guò)上下取向?qū)有獾南辔徊?，此即達(dá)到不同顏色光相位差的補(bǔ)償作用。
本發(fā)明中光罩的制作如一首先，將光罩所對(duì)應(yīng)的象素分為兩個(gè)區(qū)域或兩個(gè)區(qū)域以上，并在各區(qū)域中布滿(mǎn)欲蝕刻取向?qū)铀璧木€條，其中，制作上下取向?qū)拥墓庹志€條方向并不相同(視需要而定其方向，其具體說(shuō)明在發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明部分)，然后每一區(qū)域以電子束(electron beam)能量約150毫米焦耳至50毫焦耳左右，起自于光罩線條圖案的一端以漸近式電子束能量變化沿該線條掃描(例如電子束每移動(dòng)0.5微米則能量減少(或增加)1毫焦耳)至該線條另一端，其中，在每一區(qū)域掃描之電子束能量變化可視需要而定，不同區(qū)域可作不同電子束能量變化；如此，即得到每一區(qū)域所對(duì)應(yīng)的光罩線條，其單位長(zhǎng)度內(nèi)透光率的變化量不同，用此方式取代傳統(tǒng)以刷磨法制取向?qū)酉笏貐^(qū)域。
結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明說(shuō)明如下附圖簡(jiǎn)要說(shuō)明圖1A液晶顯示器的液晶未外加電壓時(shí)，產(chǎn)生明亮畫(huà)面的因素示意圖；圖(b)為液晶加有電壓時(shí)，產(chǎn)生黑暗畫(huà)面的示意圖。
圖2習(xí)知刷磨法制作LCD取向?qū)拥墓ぷ髟硎疽鈭D(圖中箭號(hào)方向表示刷磨方向)。
圖3習(xí)用具有未分割取向?qū)拥腖CD的缺點(diǎn)示意圖，其中圖3(a)為從不同角度A1、A2和A3量測(cè)光穿透率示意圖；圖3(b)為表示從不同視角所量測(cè)的光線穿透率；由圖3(c)表示LCD屏幕色澤對(duì)比度及視角的關(guān)系示意圖。
圖4(a)習(xí)知雙區(qū)域或多區(qū)域取向?qū)拥膫?cè)面示意圖；圖4(b)為習(xí)知利用具有雙區(qū)域或多區(qū)域取向?qū)佣鞒傻腖CD，其屏幕色澤對(duì)比度不同視角的座標(biāo)示意圖；圖4(c)為利用傳統(tǒng)刷磨法制作雙區(qū)域或多區(qū)域取向?qū)拥闹谱鞑襟E示意圖。
圖5(a)習(xí)知加有一層或兩層相位差補(bǔ)償膜的薄膜晶體液晶顯示器的分解示意圖；圖5(b)為加有一層、兩層和不加補(bǔ)償膜的薄膜晶體顯示器的不同視角的色澤度座標(biāo)示意圖。
圖6本發(fā)明液晶顯示器取向?qū)拥闹谱鞑襟E示意圖。
圖7本發(fā)明的液晶顯示器取向?qū)拥捻斠暿疽鈭D。
圖8、9本發(fā)明的液晶顯示器取向?qū)拥膫?cè)視示意圖。
請(qǐng)參考圖6，其為本發(fā)明液晶顯示器取向?qū)拥闹谱鞑襟E，說(shuō)明如下(1)請(qǐng)參考圖6(a)所示，首先，利用滾輪(roller)或旋轉(zhuǎn)器(spinner)以旋轉(zhuǎn)或其它方法，在上下電極板1上布上一層厚約500埃至2000埃左右的聚酰胺(polyimide)或氮化硅(SiNx)材料，用以作為該取向?qū)拥幕A(chǔ)材料；(2)請(qǐng)參考圖6(b)所示，在取向?qū)踊A(chǔ)材料上布上一層厚約5000埃至12000埃左右的光阻3；(3)請(qǐng)參考圖6(c)所示，制作一應(yīng)用蝕刻下取向?qū)拥墓庹?，首先，將紅色(R；Red)、藍(lán)色(B；Blue)及綠色(G；Green)的每一顏色所對(duì)應(yīng)的象素(pixel)區(qū)分為兩區(qū)域，以區(qū)域4和區(qū)域5表示之，并在各區(qū)域中布滿(mǎn)蝕刻取向?qū)铀璧钠叫芯€條6，且制定該線條的長(zhǎng)度約為50微米(μm)寬度約為5微米(μm)左右；(4)請(qǐng)參考圖6(d)所示，其為本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例，利用電子束制作下取向?qū)游g刻光罩上的平行線條6圖案，首先在區(qū)域4中，電子束(electron beam)以能量150毫焦耳(mJ)自起點(diǎn)7處開(kāi)始向左掃描，即，電子束打在光罩平行線條上，該電子束每移動(dòng)0.5微米則能量降低1mJ，以此漸近方式降低電子束能量至線知終點(diǎn)8處，此時(shí)電子束能量為50毫焦耳(mJ)；在區(qū)域5中，電子束以能量50毫焦耳(mJ)自起點(diǎn)9處開(kāi)始向左掃描，打在光罩平行線條上，每移動(dòng)0.5微米則電子束能量增加1mJ，以漸近方式增加電子束能量至線條終點(diǎn)10處，此時(shí)電子束能量為150毫焦耳，用此方式完成制作象素線條透光率不同的光罩，其中該光罩的象素線條透光率變化情形25，如圖6(e)所示；(5)請(qǐng)參考圖6(f)所示，其為本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施例，利用電子束制作下取向?qū)游g刻光罩上的平行線條圖案6，首先，在區(qū)域4中，電子束以能量150毫焦耳(mJ)自起點(diǎn)11處開(kāi)始向左掃描(即，電子束打在光罩平行線條上)，該電子束每移動(dòng)0.5微米(μm)則能量降低1mj，以漸近方式降低電子束能量至線條終點(diǎn)12處，此時(shí)電子束能量為50毫焦耳；在區(qū)域5中，電子束以能量130毫焦耳(mJ)自起始13處開(kāi)始向左掃描(即，電子束打在光罩平行線條上)，該電子束每移動(dòng)0.5微米則能量降低0.5毫焦耳，以漸近方式降低電子束能量至線條終點(diǎn)14處，此時(shí)電子束能量為80毫焦耳。用此方式完成制作象素線條透光率不同的光罩，其中，該光罩的象素線條透光率變化情形25，如圖6(g)所示；(6)然后，應(yīng)用本發(fā)明的光罩以傳統(tǒng)曝光顯影等方式，對(duì)其上布有基礎(chǔ)材料和光阻的下電極板曝光，由于本發(fā)明光罩上的象素線條透光率不同，故曝光后，通過(guò)光罩每一線條的光能量亦不同，因此，在顯影后，光阻材料殘留的厚度也就不同，如附圖6(h)所示，其利用本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例的光罩圖型，對(duì)電極板1曝光顯影的側(cè)面示意圖；如附圖6(i)所示，其利用本發(fā)明的第二個(gè)實(shí)施例的光罩圖型，其為對(duì)電極板1作曝光顯影的側(cè)面示意圖；(7)然后，利用深蝕刻(Etchback)方式以沒(méi)有選擇比的離子反應(yīng)蝕刻(RIE；Reactive Ion Etch)，在取向?qū)哟怪狈较蜻M(jìn)行等高度的蝕刻，然后再除去光阻以得到所需要線條圖案，請(qǐng)參考圖6(i)所示，其利用本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例的光罩圖型，得到下取向?qū)拥膫?cè)面示意圖，該下取向?qū)拥拿總€(gè)象素具有對(duì)稱(chēng)排列的預(yù)傾角12(pretiltangle)；請(qǐng)參考圖6(k)所示，其為利用本發(fā)明的第二個(gè)實(shí)施例的光罩圖型，得到下取向?qū)拥慕Y(jié)構(gòu)側(cè)面示意圖，該下取向?qū)拥拿總€(gè)象素具有兩種不同的預(yù)傾角12；(8)接下來(lái)，制作上取向?qū)庸庹郑渲圃旆椒?lèi)似制作在下取向?qū)拥墓庹?，亦利用電子束?lái)蝕刻光罩中所有線條，該電子束能量變化的情形，需配合第一個(gè)和第二個(gè)實(shí)施例的下取向?qū)拥奈g刻傾角，故，電子束應(yīng)用在上取向?qū)拥闹谱鲿r(shí)，其能量變化有兩種選擇第一種選擇請(qǐng)參考圖6(l)所示，其為本發(fā)明的上取向?qū)庸庹值闹谱?，用以?yīng)用制定出取向的圖案，該圖案需配合第一個(gè)實(shí)例的下取向?qū)訄D案，首先，在區(qū)域4中，電子束以能量50毫焦耳自起點(diǎn)15處開(kāi)始向左掃描，該電子束每移動(dòng)0.5微米，則能量增加1毫焦耳，以漸近方式增加電子束能量至線條終點(diǎn)16處，此時(shí)電子束能量為150毫焦耳；同理，在區(qū)域5中，電子束以能量150毫焦耳自起點(diǎn)17處開(kāi)始向左掃描，該電子束每移動(dòng)0.5微米，則能量減少1毫焦耳，以漸近方式降低電子束能量至線條終點(diǎn)18處，此時(shí)電子束能量為50毫焦耳，用此方式完成制作象素線條透光率不同的光罩，其中，該光罩象素線條透光率變化情形25，如圖6(m)所示；
第二種選擇請(qǐng)參考圖6(n)所示，其為本發(fā)明的上取向?qū)庸庹值闹谱?，用以制定出上取向?qū)拥膱D案，該圖案是為了配合第二個(gè)實(shí)施例的下取向?qū)訄D案，首先，在區(qū)域4中，電子束以能量80毫焦耳自起點(diǎn)19處開(kāi)始向左掃描，該電子束每移動(dòng)0.5微米，則能量增加0.5毫焦耳，以漸近方式增加電子束能量至線條終點(diǎn)20處，此時(shí)電子束能量為130毫焦耳；同理，在區(qū)域5中，電子束以能量50焦耳自起點(diǎn)21處開(kāi)始向左掃描，該電子束能量至線條終點(diǎn)22處，此時(shí)電子束能量為150毫焦耳，用此方式完成制作象素線條透光率不同的光罩，其中，該光罩象素線條透光率變化情形25如圖6(o)所示；(9)應(yīng)用本發(fā)明實(shí)施例上取向?qū)拥墓庹?，以傳統(tǒng)微影蝕刻等方式，對(duì)其上布有基礎(chǔ)材料和光阻的上電極板1曝光顯影(如圖6(p)和6(r)所示)，之后，再利用深蝕刻方式垂直作等高度的蝕刻，去除殘余上取向?qū)拥墓庾?，以得到所需的取向?qū)訄D案，如圖6(q)和6(s)所示；(10)請(qǐng)參考圖6(t)所示，其為說(shuō)明本發(fā)明的上取向?qū)庸庹志€條角度頂視示意圖，對(duì)于不同顏色象素的光罩線條具有不同的旋光角度，因此在制作上取向?qū)訒r(shí)，需考慮不同顏色象素的光罩線條角度，首先，依據(jù)下列公式T＝(1+μ2)-1Sin2(Q(1+μ2)1/2)計(jì)算不同顏色光線的旋轉(zhuǎn)角度；其中T光線通過(guò)LCD的透光率θ液晶旋轉(zhuǎn)角度
Δn光學(xué)異向性參數(shù)Δn＝Ne-No，其中，Ne定義為異光折射率(exordinary index)，No定義為常光折射率(ordinary index)λ光線波長(zhǎng)d上下取向?qū)拥木嚯x而μ＝πdΔn/θλ假如，上下兩層取向?qū)拥木嚯xd為5微米，且已知紅光波長(zhǎng)＝650mm、綠光波長(zhǎng)＝550nm和藍(lán)光波長(zhǎng)＝450nm，并考慮光線不穿透(T＝0)時(shí)，利用該公式分別計(jì)算出紅、藍(lán)、綠象素的取向?qū)有D(zhuǎn)角度θ為紅光→θ紅＝144度綠光→θ綠＝127度藍(lán)光→θ藍(lán)＝90度用此方法制作出的上取向?qū)?，已考慮到因不同顏色的象素具有不同角度旋光效果，故該取向?qū)右鸭婢吡讼辔徊钛a(bǔ)償膜的功用，具有對(duì)紅、藍(lán)和綠光的相位差補(bǔ)償作用。
請(qǐng)參考圖6(u)所示，其為本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例的上下取向?qū)訄D案?jìng)?cè)面示意圖，該圖6(u)是由圖6(i)的下取向?qū)雍蛨D6(q)的上取向?qū)拥慕M合。
請(qǐng)參考圖6(v)所示，其為本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施例的上下取向?qū)訄D案?jìng)?cè)面示意圖，該圖6(v)是由圖6(k)的下取向?qū)雍蛨D6(s)的上取向?qū)拥慕M合。
若是以透明感光性光阻作為取向?qū)踊A(chǔ)材料；即圖6(B)所示2、3部分兩者合而為一，則可省略圖6(B)涂布光阻及無(wú)選擇比深蝕刻步驟；而在圖6(h)、圖6(i)、圖6(p)和圖6(r)的步驟中，直接對(duì)作為取向?qū)踊A(chǔ)材料的透明感光性光阻材料曝光，如此簡(jiǎn)化后的制程，顯影后可以得到一具有同樣結(jié)構(gòu)與性能的取向?qū)?，其制程除了所省略的涂布光阻及無(wú)選擇比回蝕刻步驟外，其余步驟相類(lèi)似上述圖6(a)至圖6(v)流程。
請(qǐng)參考圖7所示，其為本發(fā)明的液晶顯示器取向?qū)拥捻斠暿疽鈭D，說(shuō)明在不同顏色的象素，其上取向?qū)泳哂胁煌较虻木€條，利用此上下取向?qū)泳€條方向的角度差，達(dá)到對(duì)不同顏色光的相位差補(bǔ)償(retardation)作用。
請(qǐng)參考圖8、圖9所示，其為本發(fā)明的第一個(gè)和第二個(gè)實(shí)施例的液晶顯示器取向?qū)拥膫?cè)面示意圖，該結(jié)構(gòu)說(shuō)明在第一個(gè)顏色象素(R＝紅色象素、G＝綠色象素和B＝藍(lán)色象素)均分割成兩個(gè)或兩個(gè)以上的區(qū)域(區(qū)域4、區(qū)域5……)(Domain)，每一個(gè)區(qū)域取向?qū)泳€條預(yù)傾角12的角度不同。
相對(duì)于習(xí)用技術(shù)，本發(fā)明具有下列效果(1)根據(jù)習(xí)用技術(shù)，是利用刷磨法(Rubbing Method)分割取向?qū)樱辽傩枰酪陨纤⒛シㄖ瞥滩趴赏瓿啥鄥^(qū)域分割取向?qū)?，然而，由于本發(fā)明是利用石版印刷(Lithography)方式，只要在上下電極板各進(jìn)行一次蝕刻即可完成分割取向?qū)?，因此，只需要兩道工序，步驟簡(jiǎn)化，可以減少制造成本；(2)習(xí)知液晶顯示器需要額外一至二片的補(bǔ)償膜，作為相位差補(bǔ)償作用，然而，由于利用蝕刻方式制造特殊的LCD取向?qū)?，即具有相位差補(bǔ)償作用，則無(wú)需額外再制作相位差補(bǔ)償膜，以減少設(shè)備材料的額外需求；(3)由于本發(fā)明利用蝕刻方式，可以使得多區(qū)域分割取向?qū)蛹跋辔徊钛a(bǔ)償作用同時(shí)完成；(4)本發(fā)明的取向?qū)討?yīng)用在LCD上，可有效改善LCD屏幕的色澤對(duì)比度(Contrast Ratio)并減少色澤干擾及增加LCD的視角寬度。
權(quán)利要求
1.一種用于彩色顯示器的液晶顯示器取向?qū)?，其特征在于在取向?qū)踊A(chǔ)材料上刻有對(duì)應(yīng)不同顏色光的象素的不同方向的取向線條，該取向線條間的角度差起不同顏色光相位差的補(bǔ)償作用。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示器取向?qū)樱涮卣髟谟诿恳粋€(gè)顏色象素均分割為兩個(gè)或兩個(gè)以上的區(qū)域，每一個(gè)區(qū)域取向?qū)泳€條預(yù)傾角的角度不同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示器取向?qū)?，其特征在于每一個(gè)顏色象素均分割為至少兩個(gè)區(qū)域，每一個(gè)區(qū)域取向?qū)泳€條預(yù)傾角成對(duì)稱(chēng)排列。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示器取向?qū)?，其特征在于所述取向?qū)踊A(chǔ)材料為感光性光阻材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示器取向?qū)?，其特征在于，所述取向?qū)踊A(chǔ)材料為聚酰胺。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶顯示器取向?qū)?，其特征在于所述取向?qū)踊A(chǔ)材料為氮化硅。
7.一種液晶顯示器取向?qū)拥闹谱鞣椒?，其步驟包括(1)在電極板上布上一層取向?qū)踊A(chǔ)材料；(2)在取向?qū)踊A(chǔ)材料上布上一層光阻材料；(3)制作一能使取向?qū)泳€條的透光率漸近式改變的光罩；(4)應(yīng)用所述光罩，以曝光方式使光阻受到漸進(jìn)式光能量的曝光加以顯影；(5)利用深蝕刻以無(wú)選擇比的蝕刻方式，移去部分光阻及部分取向?qū)踊A(chǔ)材料；(6)除去剩余的光阻材料，在取向?qū)踊A(chǔ)材料上留下具有預(yù)傾角的取向線條。
8.一種液晶顯示器取向?qū)拥闹谱鞣椒?，其步驟包括(1)在電極板上布上一層透明感光性光阻材料作為取向?qū)踊A(chǔ)材料；(2)制作一能使取向?qū)泳€條的透光率漸近式改變的光罩；(3)應(yīng)用所述光罩，以傳統(tǒng)曝光方式使光阻受到漸近式光能量的曝光加以顯影；(4)顯影后在透明感光性光阻上留下具預(yù)傾角的取向線條。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的液晶顯示器取向?qū)拥闹谱鞣椒ǎ涮卣髟谟?，所述制作?yīng)用在取向?qū)由系墓庹郑洳襟E是使光罩對(duì)每一個(gè)象素均分成至少兩個(gè)區(qū)域，且每一個(gè)區(qū)域所對(duì)應(yīng)的光罩線條其單位長(zhǎng)度內(nèi)的透光率變化量不同。
10.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的液晶顯示器取向?qū)拥闹谱鞣椒?，其特征在于，制作所述取向?qū)泳€條光罩，其所對(duì)應(yīng)不同顏色象素取向?qū)拥木€條方向各不相同，且不同方向線條的角度差，正好補(bǔ)償不同顏色通過(guò)上下取向?qū)有獾南辔徊睢?br> 全文摘要
一種液晶顯示器取向?qū)蛹捌渲谱鞣椒?，其是利用石版印刷術(shù)，制作透光率可改變的光罩，該光罩上對(duì)應(yīng)不同顏色象素取向?qū)拥木€條方向各不相同，用該光罩對(duì)光阻材料做漸進(jìn)式光量遞增或遞減的曝光，再配合深蝕刻去除光阻，得到具有預(yù)傾角的取向?qū)泳€條，本發(fā)明的LCD取向?qū)油瑫r(shí)具有多區(qū)域分割和相位差補(bǔ)償作用；本發(fā)明方法制作過(guò)程簡(jiǎn)易、成本低并且能有效改善屏幕色澤對(duì)比和減少色澤干擾，且液晶顯示器具有更寬廣的視角。
文檔編號(hào)G02F1/13GK1164040SQ96104920
公開(kāi)日1997年11月5日 申請(qǐng)日期1996年4月29日 優(yōu)先權(quán)日1996年4月29日
發(fā)明者陳昆地, 何斌明 申請(qǐng)人:南亞科技股份有限公司