專利名稱：制造彩色陰極射線管的熒光屏的方法及其所用的曝光系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及制造彩色陰極射線管的熒光屏的方法，更具體地講是涉及彩色陰極射線管的熒光屏的效率和質量的改進。本發(fā)明還涉及用于制造彩色陰極射線管的熒光屏的曝光系統(tǒng)。


圖13是制造彩色陰極射線管的熒光屏所用的現(xiàn)有曝光系統(tǒng)的剖視圖。在圖13中，參考數(shù)字1表示用于支撐該曝光系統(tǒng)的構件的盒狀基體；數(shù)字2表示設置于盒狀基體1中并包括一個汞燈的光源；數(shù)字3表示光強校正濾光片，它固定在盒狀基體1中，用于調整光源2射出的光通量分布；數(shù)字4表示第一校正透鏡，它固定在盒狀基體1中，用于校正曝光光束的光路，從而校正側邊電子束的轟擊位置；數(shù)字5表示固定在盒狀基體1中的第二校正透鏡，它用于校正曝光光束的光路，以校正電子束的轟擊位置；數(shù)字6表示位于盒狀基體1的開口中的罩玻璃，用于容許來自于光源2的光穿過并用于防塵；數(shù)字7表示要被曝光的玻璃面板；數(shù)字8表示盒狀基體1頂部的支撐部分，用于支撐玻璃面板7；數(shù)字9表示選色機構(例如蔭罩)，它與玻璃面板7一一對應并安裝在玻璃面板7的內表面上。第一校正透鏡4和第二校正透鏡5組成一個光路校正透鏡系統(tǒng)。玻璃面板7裝在彩色陰極射線管前部。雖然圖13中未示出，但罩玻璃6是由受于驅動而旋轉的，以防止由于塵物引起的曝光故障。
下面描述制造熒光屏的方法。首先形成黑色基底。清洗玻璃面板7并使之干燥，以除去其表面上的濕氣。為形成光致抗蝕劑膜，將光致抗蝕劑材料涂敷至玻璃面板7上并使之干燥。在選色機構9安裝至玻璃面板7的內表面上的情況下，使玻璃面板7上的光致抗蝕劑曝光。為進行曝光，使其中裝有選色機構的玻璃面板7置于圖13中所示的曝光系統(tǒng)上。玻璃面板7與選色機構9一一對應。從光源2射出的光由光強校正濾光片3進行光通量分布調整，爾后由包括第一校正透鏡4和第二校正透鏡5的透鏡系統(tǒng)進行光路校正。隨后，光穿過罩玻璃6和選色機構9中的槽或點并到達玻璃面板7的內表面上的適當位置。曝光之后，取下選色機構9，并使玻璃面板7上的光致抗蝕劑膜顯影。在玻璃面板7上形成石墨膜并蝕刻。這就制成了黑色基底。
然后形成熒光條或點。在其上形成了黑色基底的玻璃面板7上涂敷可發(fā)綠光的熒光材料。將選色機構9安裝在玻璃面板7的內表面上，并以與形成黑色基底相同的方式對玻璃面板7上的熒光材料進行曝光和顯影。對發(fā)藍光和紅光的熒光材料進行相同的操作。爾后在玻璃面板7上涂漆并淀積鋁。這樣就制成了熒光屏。應當指出的是，在該曝光系統(tǒng)中的光路校正是通過光源2的位置變化以及包括第一校正透鏡4和第二校正透鏡5的透鏡系統(tǒng)實現(xiàn)的。
在現(xiàn)有的制造彩色陰極射線管的熒光屏的方法及其所用的現(xiàn)有曝光系統(tǒng)中，每一次為形成熒光層和黑色基底層而對玻璃面板曝光時，均要將選色機構9安裝至玻璃面板7上并再從玻璃面板7卸下。多次將選色機構9安裝至玻璃面板7并再從面板7上卸下會使其相對于玻璃面板7偏移，這使得要形成的熒光層和黑色基底層具有低的再現(xiàn)性，并導致以下不良結果黑色基底層和熒光層之間的相對位置失調、由于選色機構9的裝卸造成的故障、以及由于裝卸時間造成的工作時間浪費。例如，黑色基底層和熒光層之間具有嚴重的位置失調的熒光屏只能作為不合格品廢棄，而具有輕度的相對位置失調的熒光屏則需要在除去黑色基底層和熒光層之后重新制備。
本發(fā)明的目的是要提供一種制造彩色陰極射線管的熒光屏的方法，該方法是通過在彩色陰極射線管的面板的內表面上形成多個熒光條或多個熒光點實現(xiàn)的。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，該方法包括以下步驟(a)為使多個熒光條或點形成在彩色陰極射線管的預定位置上，調整通過曝光系統(tǒng)中位置可調的母掩模投影至面板上的多個條或點的位置；和(b)為形成多個熒光條或點，將面板裝入曝光系統(tǒng)中，以對面板進行曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，優(yōu)選方式是，步驟(a)包括對于多個第一曝光系統(tǒng)的每一個調整多個條或點的位置的步驟，多個第一曝光系統(tǒng)包括分別對應于不同發(fā)光顏色的熒光層的具有不同構形的熒光層母掩模，并且除熒光層母掩模外具有相同構造，多個條或點通過多個第一曝光系統(tǒng)的熒光層母掩模投影至面板上；而步驟(b)包括將一個面板依次安裝在多個第一曝光系統(tǒng)中的步驟，以便由多個第一曝光系統(tǒng)對面板曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第三方面，優(yōu)選方式是，步驟(a)還包括通過一個第二曝光系統(tǒng)的一個黑色基底母掩模調整投影至面板上的多個條或點的位置的步驟，第二曝光系統(tǒng)包括黑色基底母掩模，并且除多個第一曝光系統(tǒng)的熒光層母掩模和此黑色基底母掩模外，具有與第一曝光系統(tǒng)相同的構造；而步驟(b)還包括將面板安裝至第二曝光系統(tǒng)中以對面板曝光的步驟。
根據(jù)本發(fā)明的第四方面，優(yōu)選方法是，在步驟(a)和(b)中采用的曝光系統(tǒng)的母掩模具有預定曲度。
根據(jù)本發(fā)明的第五方面，優(yōu)選方法是，在步驟(a)和(b)中采用的曝光系統(tǒng)的母掩模具有平的主表面。
根據(jù)本發(fā)明的第六方面，在步驟(a)和(b)中所用的曝光系統(tǒng)的預定位置中，母掩模具有一個槽或點的陣列，此條或點的陣列是由要投影在面板的內表面上的條或點陣列以及曝光系統(tǒng)的光源的位置決定的。
根據(jù)本發(fā)明的第七方面，在步驟(a)和(b)中所用的曝光系統(tǒng)的預定位置中，母掩模具有一個槽或點的陣列，此條或點的陣列是由通過彩色陰極射線管的選色機構的一個槽或點的陣列投影至面板的內表面上的條或點的陣列以及曝光系統(tǒng)的光源的位置決定的。
根據(jù)本發(fā)明的第八方面，優(yōu)選方式是，在步驟(a)中投影至面板上的多個熒光條或點的位置調整包括通過使母掩模在下列方向上移動實現(xiàn)的調整垂直于母掩模的一主表面的方向、母掩模的主表面中的第一方向、主表面內與第一方向垂直的第二方向、以及主表面內的旋轉方向。
根據(jù)本發(fā)明的第九方面，優(yōu)選方式是，在步驟(a)中投影至面板上的多個條或點的位置調整包括通過使曝光系統(tǒng)的光源在下列方向上移動實現(xiàn)的調整垂直于母掩模的一主表面的方向、平行于母掩模的主表面的第一方向、以及平行于主表面且垂直于第一方向的第二方向。
根據(jù)本發(fā)明的第十方面，優(yōu)選方式是，在步驟(a)中投影至面板上的多個條或點的位置調整包括通過曝光系統(tǒng)的校正透鏡實現(xiàn)的調整，用以校正曝光光束的光路，從而校正束轟擊位置。
根據(jù)本發(fā)明的第十一方面，優(yōu)選方式是，該方法進一步包括以下步驟通過固定在面板內預定位置中的攝象裝置，確定選色機構的預定槽或點的位置，并通過該攝象裝置確定的在面板內表面上的由母掩模形成的熒光條或點的位置，以通過在兩個位置的數(shù)值之間進行比較來計算偏移量。
根據(jù)本發(fā)明的第十二方面，優(yōu)選方式是，在步驟(a)和(b)中采用的曝光系統(tǒng)的母掩模包括用于使面板曝光的黑色基底母掩模，以形成黑色基底，在步驟(b)中在形成黑色基底之后，通過封閉黑色基底母掩模的預定部分，采用黑色基底母掩模對面板曝光，以形成熒光層。
根據(jù)本發(fā)明的第十三方面，優(yōu)選方式是，在步驟(a)和(b)中采用的曝光系統(tǒng)的光源為表面光源。
根據(jù)本發(fā)明的第十四方面，優(yōu)選方式是，步驟(a)包括調整一個第一曝光系統(tǒng)的一個復用母掩模的位置的步驟，復用母掩模用于形成對應多種發(fā)光顏色的熒光層，而步驟(b)包括將面板安裝在第一曝光系統(tǒng)中并順序地移動投影至面板內表面上的圖象的位置的步驟，以便通過復用母掩模投影至面板內表面上的圖象與用于多種發(fā)光顏色的熒光屏相對應，并順序對面板曝光而形成不同熒光層。
根據(jù)本發(fā)明的第十五方面，優(yōu)選方式是，投影至面板內表面上的與用于多種發(fā)光顏色的熒光屏相對應的圖象的位置的順序移動是通過順序移動第一曝光系統(tǒng)的光源的位置實現(xiàn)的。
根據(jù)本發(fā)明的第十六方面，優(yōu)選方式是，投影至面板內表面上的與用于多種發(fā)光顏色的熒光層相對應的位置的順序移動是通過順序移動第一曝光系統(tǒng)的復用母掩模實現(xiàn)的。
本發(fā)明的目的還在于提供一種用于形成彩色陰極射線管的熒光屏的曝光系統(tǒng)，該系統(tǒng)是通過對安裝在其中的面板進行曝光而在彩色陰極射線管的面板上形成多個熒光條或多個熒光點來制造熒光屏的。根據(jù)本發(fā)明的第十七方面，該曝光系統(tǒng)包括用于曝光的光源；和設在光源和面板之間的位置可調的母掩模，用于將多個條或多個點投影至面板的內表面上。
根據(jù)本發(fā)明的第十八方面，優(yōu)選方式是，母掩模包括與多種發(fā)光顏色的熒光層相對應的多個熒光屏母掩模。
根據(jù)本發(fā)明的第十九方面，優(yōu)選方式是，母掩模還包括與黑色基底層相對應的黑色基底母掩模。
根據(jù)本發(fā)明的第二十方面，優(yōu)選方式是，母掩模包括與多種發(fā)光顏色的熒光層和黑色基底層相對應的復用母掩模。
根據(jù)本發(fā)明的第二十一方面，母掩模包括具有預定曲度的主表面。
根據(jù)本發(fā)明的第二十二方面，母掩模包括平坦的主表面。
根據(jù)本發(fā)明的第二十三方面，母掩模在預定位置中具有一個槽或點的陣列，此槽或點的陣列是由投影至面板內表面上的條或點的陣列以及曝光系統(tǒng)的光源的位置決定的。
根據(jù)本發(fā)明的第二十四方面，優(yōu)選方式是，母掩模在預定位置中具有一個槽或點的陣列，此條或點的陣列是由通過彩色陰極射線管中的選色機構的槽或點的陣列投影至面板內表面上的條或點的陣列以及曝光系統(tǒng)的光源的位置決定的。
根據(jù)本發(fā)明的第二十五方面，優(yōu)選方式是，該曝光系統(tǒng)還包括第一移動裝置，用于在垂直于母掩模的一個主表面的方向上移動母掩模；第二移動裝置，用于在母掩模的主表面內的第一方向上移動母掩模；第三移動裝置，用于在主表面內垂直于母掩模的第一方向的第二方向上移動母掩模；和第四移動裝置，用于在主表面內旋轉母掩模。
根據(jù)本發(fā)明的第二十六方面，優(yōu)選方式是，該曝光系統(tǒng)還包括第一移動裝置，用于在垂直于母掩模的一個主表面的方向上移動光源；第二移動裝置，用于在平行于母掩模的主表面的第一方向上移動光源；和第三移動裝置，用于在平行于母掩模的主表面且垂直于第一方向的第二方向上移動光源。
根據(jù)本發(fā)明的第二十七方面，優(yōu)選方式是，該曝光系統(tǒng)還包括設置于母掩模和光源之間的校正透鏡，用于校正曝光光束的光路，從而校正束的轟擊位置，以調整通過母掩模而投影至面板內表面上的多個條或點的位置。
根據(jù)本發(fā)明的第二十八方面，優(yōu)選方式是，該光源包括一個表面光源。
在根據(jù)本發(fā)明的第一方面的步驟(a)中，為在彩色陰極射線管的預定位置中形成熒光條或點，要調整通過母掩模投影至面板上的圖象的多個熒光條或點的位置。調整的母掩模用于在步驟(b)中曝光。這免除了對選色機構安裝至面板或從面板上卸下的需要，并通過可重復性改善了黑色基底層和熒光層之間的對應關系。由于裝卸選色機構引起的故障得以消除，也減少了裝卸所需的時間。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面的方法，曝光系統(tǒng)中的母掩模替代了選色機構，免除了為曝光而將選色機構安裝至面板上的步驟，從而可更有效地形成熒光屏。防止了由于選色機構的裝卸造成的再現(xiàn)性的降低，從而減少了故障。
在根據(jù)本發(fā)明的第二方面的步驟(a)和(b)中，具有不同熒光層母掩模的第一曝光系統(tǒng)調節(jié)為具有相同的設定值，以方便地實現(xiàn)對應所有發(fā)光顏色的熒光層之間的校準以及在發(fā)生位置失調時對應于所有發(fā)光顏色的調整。相同面板可以順序安裝在多個第一曝光系統(tǒng)中曝光，由此縮短時間。
本發(fā)明的第二方面的方法簡化了多個相同構造的第一曝光系統(tǒng)的調整。相同的面板順序安裝在多個第一曝光系統(tǒng)中曝光提供了制造熒光屏的有效工藝。
在根據(jù)本發(fā)明的第三方面的步驟(a)和(b)中，除母掩模外，第二曝光系統(tǒng)具有與第一曝光系統(tǒng)相同的設定值，以方便地實現(xiàn)黑色基底層和各發(fā)光顏色的熒光層之間的校準，減輕其間的位置失調。
本發(fā)明的第三方面的方法容許第一和第二曝光系統(tǒng)以相似方式調整，以減輕黑色基底層和熒光層之間的位置失調，提高所制造的熒光屏的成品率。
根據(jù)本發(fā)明的第四方面，母掩模具有預定的曲度，并且在母掩模和面板之間的位置關系復雜時容易處理，例如，當平的母掩模在槽或點的布局方面遇到困難時、當面板和母掩模之間的間隔必須減小時、當面板具有不同的局部曲度時、以及當母掩模必須調整至選色機構的曲度時。
本發(fā)明的第四方面的方法采用包括具有預定曲度的母掩模的曝光系統(tǒng)來實施步驟(a)和(b)，以方便地滿足面板和母掩模之間的復雜關系。當面板和母掩模具有復雜的相對位置關系時，這可簡化操作，使得能更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第五方面的母掩模具有平坦的主表面，以便于處理基本(構形)面板。
本發(fā)明的第五方面的方法簡化了基本面板的處理，使熒光屏的制造更高效。
根據(jù)本發(fā)明的第六方面的母掩模設置在曝光系統(tǒng)的預定位置中，并如此設計，即，來自于曝光系統(tǒng)的光源的光將熒光條或點投影至作為目標的熒光屏內表面上，以簡化步驟(a)中的調整。
本發(fā)明的第六方面的方法可以方便地調整通過母掩模投影至面板內表面上的熒光條或點的位置，以更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第七方面的母掩模設置在曝光系統(tǒng)的預定位置中，并如此設計，即，來自于曝光系統(tǒng)的光源的光按照選色機構的條或點的陣列將熒光條或點投影至作為目標的面板內表面上，以簡化步驟(a)中的調整。
本發(fā)明的第七方面的方法可按照選色機構方便地調整通過母掩模投影至面板內表面上的熒光條或點的位置，使得制造熒光屏更高效。
根據(jù)本發(fā)明的第八方面，母掩模在垂直于母掩模的主表面的方向上、主表面中的第一方向上、主表面內的第二方向上、以及主表面內的旋轉方向上移動，以便于調整投影至面板內表面上的熒光條或點的位置。
本發(fā)明的第八方面的方法可方便地調整通過母掩模投影至面板內表面上的熒光條或點的位置，使得能更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第九方面，光源在垂直于母掩模的主表面的方向上、在平行于主表面的第一方向上、以及在平行于主表面且垂直于第一方向的第二方向上移動，以便于調整投影至面板內表面上的熒光條或點的位置。
本發(fā)明的第九方面的方法可方便地調整通過母掩模投影至面板內表面上的熒光條或點的位置，使熒光屏的制造更高效。
根據(jù)本發(fā)明的第十方面，光路可采用校正透鏡很容易地校正。投影至面板上的熒光條或點的位置可方便地調整。
本發(fā)明的第十方面的方法可方便地調整通過母掩模投影至面板內表面上的熒光條或點的位置，使熒光屏的制造更高效。
根據(jù)本發(fā)明的第十一方面，攝象裝置確定由母掩模在面板內表面上形成的熒光條或點的位置相對于選色機構的預定條或點的位置的偏移，以方便地校正通過母掩模投影的熒光條或點的位置偏移。
本發(fā)明的第十一方面的方法可方便地校正通過母掩模投影的熒光條或點的位置偏移，使制造熒光屏更為精確和高效。
在根據(jù)本發(fā)明的第十二方面的步驟(b)中，黑色基底母掩模的預定位置被封閉，以便為形成熒光層而采用黑色基底母掩模對面板曝光，從而減輕了熒光層與黑色基底之間的位置失調。
本發(fā)明的第十二方面的方法減輕了熒光層與黑色基底之間的位置失調，從而提高了所制成的熒光屏的成品率。
根據(jù)本發(fā)明的第十三方面的光源是表面光源，它向母掩模發(fā)射基本平行的光束。因此，由曝光投影至面板上的熒光條或點的位置關系與母掩模的槽或點的位置關系是相同的。這便于投影至面板上的熒光條或點的位置的調整。
本發(fā)明的第十三方面的方法可方便地調整投影至面板上的熒光條或點的位置，使得能更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第十四方面，一個復用母掩模足以形成多個熒光層，從而減輕了各發(fā)光顏色的熒光層之間的位置失調。如果此復用母掩模還用于黑色基底，則可減輕黑色基底與熒光層之間的位置失調。
本發(fā)明的第十四方面的方法減輕了黑色基底和熒光層之間以及各發(fā)光顏色的熒光層之間的位置失調，使得能更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第十五方面，光源可以移動，以移動投影至面板上的圖象的位置，從而方便了為形成對應多種發(fā)光顏色的熒光層而對面板進行的曝光。
本發(fā)明的第十五方面的方法便于為形成多個熒光層而進行的曝光，使得能更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第十六方面的復用母掩?？梢砸苿樱允雇队爸撩姘迳系膱D象的位置移動，從而方便了為形成與多種發(fā)光顏色相對應的多個熒光層而進行的曝光。
本發(fā)明的第十六方面的方法便于為形成多個熒光屏而進行的曝光，使得能更高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第十七方面，母掩模替代了選色機構，多個熒光條或點通過母掩模投影至面板內表面上，而選色機構則是在對面板曝光時要安裝在面板內表面上的。
本發(fā)明的第十七方面的曝光系統(tǒng)免除了在對面板進行曝光時裝卸選色機構的需要，從而減少了不合格品。此曝光系統(tǒng)還縮短了裝卸選色機構所需的時間，使得能高效地制造熒光屏。
根據(jù)本發(fā)明的第十八方面，多個熒光層母掩模中的每一個對應于一種發(fā)光顏色。因此，選色機構不需要裝在面板內表面上，為形成與多種發(fā)光顏色相應的熒光層，可實施多個曝光過程。
本發(fā)明的第十八方面的曝光系統(tǒng)可形成與多種發(fā)光顏色相對應的熒光層，從而實現(xiàn)了具有更高級功能的曝光系統(tǒng)。
本發(fā)明的第十九方面的曝光系統(tǒng)容許專用于黑色基底的黑色基底母掩模，在不將選色機構安裝至面板內表面上的情況下，用于為形成黑色基底而對面板曝光。
本發(fā)明的第十九方面的曝光系統(tǒng)可進行為形成黑色基底所需的曝光以及同樣為形成熒光層所需的曝光，從而便于實現(xiàn)黑色基底和熒光層之間的校準。
根據(jù)本發(fā)明的第二十方面，采用復用母掩模減輕了熒光層和黑色基底之間的位置失調以及各發(fā)光顏色的熒光層之間的位置失調。
本發(fā)明的第二十方面的曝光系統(tǒng)減輕了黑色基底和熒光層之間的位置失調，從而減少了不合格品。
根據(jù)本發(fā)明的第二十一方面的具有曲度的母掩模能在面板和母掩模之間的位置關系復雜時容易地按照面板來對面板曝光。
在母掩模和面板之間的位置關系復雜時，本發(fā)明的第二十一方面的曝光系統(tǒng)是容易處理的。
根據(jù)本發(fā)明的第二十二方面的母掩模具有平坦的主表面，且(例如)在熒光條或點形成于基本面板上時容易處理。
本發(fā)明的第二十二方面的曝光系統(tǒng)在使用常規(guī)面板時容易處理。
根據(jù)本發(fā)明的第二十三方面的母掩模設置在曝光系統(tǒng)的預定位置中，并如此設計，即來自于曝光系統(tǒng)的光源的光將熒光條或點的陣列投影至作為目標的玻璃面板內表面上，由此可方便地調整所投影的熒光條或點的位置。
本發(fā)明的第二十三方面的曝光系統(tǒng)可方便地調整所投影的熒光條或點的位置，從而對面板有效地曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第二十四方面的母掩模設置在曝光系統(tǒng)的預定位置中，并如此設計，即，來自于曝光系統(tǒng)的光源的光按照選色機構的槽或點的陣列，將熒光條或點的陣列投影至作為目標的面板內表面上，以方便地調整所投影的熒光條或點的位置。
本發(fā)明的第二十四方面的曝光系統(tǒng)可方便地調整所投影的熒光條或點的位置，以對面板有效地曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第二十五方面，第一至第四移動裝置用于調整母掩模的位置，以便調整熒光條或點在面板內表面上的投影位置。
本發(fā)明的第二十五方面的曝光系統(tǒng)可方便地調整熒光條或點的投影位置，從而對面板有效地曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第二十六方面，第一至第三移動裝置用于調整光源的位置，以便調整熒光條或點在面板內表面上的投影位置。
本發(fā)明的第二十六方面的曝光系統(tǒng)可方便地調整熒光條或點的投影位置，從而對面板有效地曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第二十七方面的校正透鏡可以容易地調整通過母掩模投影至面板內表面上的多個熒光條或點的位置。
本發(fā)明的第二十七方面的曝光系統(tǒng)可方便地調整熒光條或點的投影位置，以對面板有效地曝光。
根據(jù)本發(fā)明的第二十八方面，光源包括用于發(fā)射基本平行的光束的表面光源。因此，可容易地調整投影至面板上的熒光條或點的位置。
本發(fā)明的第二十八方面的曝光系統(tǒng)可方便地調整熒光條或點的投影位置，以對面板有效地曝光。
因此，本發(fā)明的一個目的是要如此制造彩色陰極射線管的熒光屏，即，通過免除選色機構的裝卸，使由于選色機構重復安裝至玻璃面板上和從玻璃面板上卸下造成的黑色基底和熒光層之間的位置失調降至最低，且不會由于縮短的操作時間而使裝卸發(fā)生故障。
從結合附圖對本發(fā)明所做的以下詳細說明中，本發(fā)明的這些和其它目的、特征、方面和優(yōu)點將變得更為清楚。
圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一優(yōu)選實施例的曝光系統(tǒng)的剖視圖；圖2是第一優(yōu)選實施例的曝光系統(tǒng)的母掩模部分的放大示意圖；圖3是第一優(yōu)選實施例的曝光系統(tǒng)的光源部分的立體示意圖；圖4和5是顯示第一優(yōu)選實施例的光源、面板和母掩模之間的關系的剖視圖；圖6示出采用CCD攝象機的系統(tǒng)，此系統(tǒng)用于確定第一優(yōu)選實施例的選色機構的槽或點的位置；圖7示出采用CCD攝象機的系統(tǒng)，此系統(tǒng)用于確定第一優(yōu)選實施例的黑色基底的條或點的位置；圖8是顯示制備第一優(yōu)選實施例的黑色基底的過程的流程圖；圖9是用于自動地制造第一優(yōu)選實施例的熒光屏的方框圖；圖10是根據(jù)本發(fā)明的第二優(yōu)選實施例的母掩模的立體圖；圖11是根據(jù)第一優(yōu)選實施例的另一方面的曝光系統(tǒng)的剖視圖；圖12是顯示使用表面光源時母掩模和面板之間的關系的剖視圖；圖13是現(xiàn)有的曝光系統(tǒng)的剖視圖。
第一優(yōu)選實施例下面將參照圖1至7描述根據(jù)本發(fā)明的第一優(yōu)選實施例的制造彩色陰極射線管的熒光屏的方法。在第一優(yōu)選實施例的此方法中，母掩模的槽或點的陣列與相應于各發(fā)光顏色的熒光層和黑色基底層中的每一層是一一對應的。圖1是用于第一優(yōu)選實施例的此方法中的曝光系統(tǒng)的剖視圖。在圖1中，參考符號8a表示位于盒狀基體1的頂部的一個支撐部分，它具有一個支撐玻璃面板7的外緣的部分，以便于玻璃面板7的對準定位，此支撐部分用于如此支撐玻璃面板7，使玻璃面板7不偏位；符號10表示具有多個開口(剖視圖中未示出)的母掩模，這些開口與槽或點相對應，以容許光線穿過而在玻璃面板7的內表面上投射出槽或點的圖象；符號11表示用于支撐母掩模10的可伸縮支撐柱；符號12表示一個基板，它具有一個中央開口，支撐柱11就固定至此基板上；符號13表示設置在盒狀基體1的擱板部分1a上的一個旋轉機構，它用于支撐基板12，并可相對于盒狀基體1轉動，其中央有一開口；符號14表示由旋轉機構13可旋轉地支撐于固定位置的螺栓，它接觸基板12的側表面，以相對于旋轉機構13移動基板12；符號15表示銷柱，它與基板12的孔相配合，以在水平方向可移動地固定基板12，其直徑小于基板12的孔；符號16表示位于母掩模10周邊的一個支架，用于防止光線在不希望的方向上射出。與圖13相對應的部分以相同參考數(shù)字表示。為對準定位，支撐部分8a設計成支撐玻璃面板7的被稱作對位基準的一個部分。
圖2是母掩模及其位置調節(jié)機構的透視圖。在圖2中，參考數(shù)字17表示用于確定母掩模10的移動量的確定位置，用以顯示或輸出此量；數(shù)字18表示固定在旋轉部件13上的支撐部件，用于可旋轉地支撐螺栓14a、14b于固定位置；數(shù)字19表示用于將旋轉機構13固定于任一位置的一個定位件。通過位置調整機構，母掩模10可相對于管軸轉動和沿X、Y、Z方向移動。通過順時針或反時針旋轉，帶螺紋的支撐柱11可以伸縮，從而使母掩模10沿Z軸移動。四個角上的支撐柱11可獨立地伸縮，以容許調整輕微的傾斜。螺栓14a、14b容許母掩模10平行于其平面即沿X和Y方向移動。通過旋轉螺栓14a，基板12相對于旋轉機構13沿Y軸移動，而通過旋轉螺栓14b，基板12相對于旋轉機構13沿X軸移動。通過調整螺栓14a、14b，基板12可在旋轉方向上移動。盡管在圖2中未示出，但在旋轉機構13的一側可設置一個用于引導旋轉機構13轉動的部件，以防止其平移，這樣，旋轉機構13僅產(chǎn)生旋轉運動。旋轉機構13的轉動容許母掩模10繞管軸旋轉。旋轉機構13的大約±10°的旋轉已是足夠的。母掩模10沿X和Y軸的移動量由確定裝置17確定。雖然圖2中未示出，但設有一個測量裝置，用于測量母掩模10的旋轉角以及其四個角在Z方向上的移動距離。旋轉機構13是手動旋轉的，但也可通過一個與旋轉機構13的帶齒邊緣相嚙合的齒輪的驅動而自動地旋轉。
光源2具有一個位置調整機構。圖3是光源2的位置調整機構的透視圖。在圖3中，參考數(shù)字2表示光源；數(shù)字31表示第一臺板；數(shù)字32表示第一臺板31上的支撐柱，用于可伸縮地支撐光源2；數(shù)字33表示位于第一臺板31之下的第二臺板，數(shù)字34表示用于在X方向移動第一臺板31的進給螺栓；數(shù)字35表示用于在Y方向移動第二臺板33的進給螺栓；數(shù)字36表示用于確定光源2在Z方向上的移動距離的確定裝置；數(shù)字37表示用于確定第一臺板31在X方向上的移動距離的確定裝置；數(shù)字38表示用于確定第二臺板33在Y方向上的移動距離的確定裝置。
母掩模10的槽或點的陣列是由位于玻璃面板7內表面上的熒光條或點的陣列、曝光系統(tǒng)的光源2的位置以及彩色陰極射線管中選色機構9的槽或點的陣列確定的。圖4示出母掩模10與玻璃面板7的內表面之間的關系。在圖4中，參考數(shù)字2表示光源；參考符號2a表示在Z軸上平移光源2得到的(光源)點；符號7a表示玻璃面板7的內表面；符號7b表示圖象投射至玻璃面板7內表面上的目標位置；數(shù)字10表示母掩模。參考符號a表示母掩模10與玻璃面板7的內表面7a的中心之間的距離；符號b表示母掩模10與點2a之間的距離；符號C表示母掩模10與光源2之間的距離。為通過與母掩模10的槽或點相對應的開口使圖象投射在目標位置7b上，開口應根據(jù)光源2的位置以及玻璃面板的內表面相對于母掩模10的位置而定位。例如，如果光源2移至點2a，從光源2發(fā)射的光束的路徑會偏移，開口的位置必須能補償這種偏移。采用帶有根據(jù)目標位置7a和光源2的位置之間的關系所形成的開口的母掩模10有利于在目標位置上的熒光條或點的形成。
圖5示出采用選色機構9來確定目標位置7b的方法。在圖5中，符號P0表示相對于玻璃面板內表面7a的偏振光的中心。由于玻璃面板7和選色機構9呈一一對應關系，因此目標位置7b是偏振光從偏振光中心P0通過安裝在玻璃面板7內表面上的選色機構9到達玻璃面板內表面7a上的位置。按此方法，采用與玻璃面板一一對應的選色機構9來確定目標位置會有利于按照選色機構9在目標位置上形成熒光條或點。
現(xiàn)在將參照圖6至8描述根據(jù)本發(fā)明的第一優(yōu)選實施例的制造彩色陰極射線管的熒光屏的方法。圖6和7是一個機構的剖視圖，此機構用于通過電荷耦合器件(CCD)攝象機以確定選擇機構9的位置關系。在圖6和7中，參考數(shù)字7表示玻璃面板；數(shù)字9表示安裝在玻璃面板7內表面上的選色機構；數(shù)字20表示貼靠于玻璃面板7的外表面的校準夾具，用來確定選色機構9在稱為校整基準的位置中的位置關系；數(shù)字21表示相對于夾具20定位的CCD攝象機的光接收部分；數(shù)字22表示用于顯示來自于CCD攝象機的光接收部分21的圖象信息的監(jiān)視器。
圖8是一個流程圖，它示出根據(jù)本發(fā)明的第一優(yōu)選實施例的制造彩色陰極射線管的熒光屏的過程。在以面板外部形狀為參考以及選色機構9安裝于面板7內表面的基礎上，CCD攝象機的光接收部分21拍攝選色機構9的規(guī)定槽或點，如圖6所示。由CCD攝象機的光接收部分21拍攝的槽或點的位置可從監(jiān)視器22上的圖象中確定(步驟ST1)。根據(jù)所讀出的槽或點的位置計算出一個校準值。從玻璃面板7上取下選色機構9，并進行按常規(guī)方式的曝光步驟之前的其它后續(xù)步驟。
為對第一個玻璃面板進行曝光，僅需將玻璃面板7置于圖1中所示的曝光系統(tǒng)中，此時選色機構9已從玻璃面板7中取出。母掩模10的位置采用位置調整機構根據(jù)校準值加以控制。由光源2發(fā)出的光要由光強校正過濾片3進行光通量分布調整，并接著由第一校正透鏡4和第二校正透鏡5進行光路校正。然后，光穿過罩蓋玻璃6、基板12、旋轉機構13和黑色基底母掩模10上的槽或孔到達玻璃面板7內表面的預定位置并使此位置曝光。若無必要，可取出第一校正透鏡4和第二校正透鏡5。在曝光之后，按常規(guī)方式形成黑色基底層(步驟ST2)。
以與圖7所示的在形成黑色基底層之間相同的方式，采用夾具20使形成有黑色基底層的玻璃面板7對準定位。CCD攝象機的光接收部分21拍攝形成于玻璃面板7的內表面上的黑色基底規(guī)定條或點。條或點的位置在監(jiān)視器22上確定(步驟ST3)。
將所確定的位置與在選色電極9安裝在玻璃面板7內表面上時確定的位置數(shù)據(jù)相比較，便確定了黑色基底層的條或點的偏移量(步驟ST4)。
在步驟ST5中對偏移量進行判定。如果偏移量在規(guī)定范圍之內，流程將進行至下一步驟。如果超出了規(guī)定范圍，流程將進行至步驟ST6，在此步驟中，母掩模10由圖2所示的位置調整機構移動，并且將偏移量反饋至曝光系統(tǒng)，以便校正玻璃面板7的內表面上的條或點的位置。步驟ST2和ST6重復進行，直止完成位置校正。如果通過上述過程未實現(xiàn)校正，則應裝上或取下第二校正透鏡5，或者使用一個不同的第二校正透鏡5。
形成熒光條或點。在采用與黑色基底曝光系統(tǒng)的設定值相似的設定值進行位置校正的基礎上，由帶有為各發(fā)光顏色而裝配的母掩模10的多個曝光系統(tǒng)對玻璃面板7進行相應于每種發(fā)光顏色的曝光。對于這種曝光并不安裝選色機構9。黑色基底和熒光層之間的校準以相似方式通過母掩模10、光源2的位置控制、以及第二校正透鏡5來進行調整。此后，用漆涂敷玻璃面板7并淀積鋁。這就完成了熒光屏的制備。
為對第二至最后一個玻璃面板進行曝光，采用CCD攝象機確定預定槽或點的位置，此時選色機構9安裝在玻璃面板7的內表面上，如圖6所示(步驟ST8)。將確定的結果與第一個玻璃面板的數(shù)據(jù)相比較(步驟ST9)。爾后計算偏移量(步驟ST10)。采用曝光系統(tǒng)的位置調整機構，根據(jù)偏移量調整母掩模10或光源2的位置(步驟ST6)。爾后以與制造第一個玻璃面板相同的過程形成黑色基底(步驟ST2)。步驟ST2至ST6以與制造第一玻璃面板相同的方式重復進行，直至偏移量符合規(guī)定范圍內。以與制造第一玻璃面板相同的方式形成熒光層。在連續(xù)制造第二至最后一個玻璃面板的過程中，如果第二個玻璃面板超出了規(guī)定范圍(在步驟ST5中)，則在第三個玻璃面板的工藝之后，工藝步驟再次從ST8開始進行(在黑色基底除去一次之后)。
上述過程可自動實現(xiàn)。圖9是顯示自動功能組合的方框圖。在圖9中，參考數(shù)字90表示位置調整機構，它用于調整如圖2和3所示的母掩模10的位置或光源2的位置；數(shù)字91表示確定裝置，它使用圖6和7中所示的CCD攝象機以確定預定槽或點的位置；數(shù)字92表示驅動裝置，它用于通過電動機或類似設備的旋轉以驅動位置調整機構90的進給螺栓；數(shù)字93表示控制裝置，它用于根據(jù)由確定裝置91確定的值計算偏移量，再根據(jù)所計算出的偏移量控制驅動裝置92。
確定裝置91采用CCD攝象機確定安裝在第一玻璃面板的內表面上的選色機構9的槽或點的位置。在第一個玻璃面板7曝光而形成黑色基底之后，確定裝置91還采用同一CCD攝象機確定在玻璃面板7的內表面上形成的黑色基底的預定條或點的位置?？刂蒲b置93從確定裝置91接收確定結果，以計算偏移量?？刂蒲b置93根據(jù)所計算出的偏移量輸出驅動裝置92所需的數(shù)據(jù)，例如有關進給螺栓的轉數(shù)的數(shù)據(jù)。控制裝置93還判斷偏移量(對于選色電極9和黑色基底)是在規(guī)定范圍內還是超出了此范圍。驅動裝置92根據(jù)從控制裝置93輸出的數(shù)據(jù)驅動位置調整機構90，以將偏移量反饋至曝光系統(tǒng)。
第二優(yōu)選實施例下面將描述根據(jù)本發(fā)明的第二優(yōu)選實施例以制造陰極射線管的熒光屏的方法。在第一優(yōu)選實施例中，為形成黑色基底和熒光層使用了多個曝光系統(tǒng)。為在黑色基底和熒光層之間公用一個曝光系統(tǒng)，在形成黑色基底之后，在黑色基底母掩模10a上方采用了一個熒光層母掩模轉換罩10b，如圖10所示。在黑色基底母掩模10a中形成多個點或槽50。黑色基底母掩模10a中的點或槽50的數(shù)量大于熒光層母掩模轉換罩10b中的點或槽51的數(shù)量。例如，當采用三種發(fā)光顏色的熒光層時，點或槽50的數(shù)量大約是點或槽51的數(shù)量的三倍。熒光層母掩模轉換罩10b用于封閉黑色基底母掩模10a中的對于發(fā)光顏色所不需要的一些孔。為此，熒光層母掩模轉換罩10b的點或槽51的尺寸大于黑色基底母掩模10a的點或槽50的尺寸。為形成另一種發(fā)光顏色的熒光層，要采用具有不同位置的孔的另一熒光層母掩模轉換罩來進行曝光?？稍诓贿M行位置調整的情況下，采用黑色基底母掩模形成熒光層和黑色基底層。這方便地消除了黑色基底層和熒光層之間的偏差。
第三優(yōu)選實施例下面描述根據(jù)本發(fā)明的第三優(yōu)選實施例的制造陰極射線管的熒光屏的方法。在第二優(yōu)選實施例中，母掩模10中的槽或點與在玻璃面板7的內表面上形成的熒光條或點一一對應。在第三優(yōu)選實施例中，通過由一個母掩模10在玻璃面板7內表面上投射而形成的圖象的預定量的移動，可形成用于另一發(fā)光顏色的條或點。這是通過在曝光過程中使圖1中的光源2自動地移至每一發(fā)光顏色的位置和/或使母掩模自動地移至與每一發(fā)光顏色對應的位置實現(xiàn)的。同一母掩模10(對于一個曝光系統(tǒng))可用于黑色基底和熒光層。另外，具有相同操作規(guī)范的母掩模10可分別用于黑色基底和熒光層。用于移動母掩模10或光源2的機構可由第一優(yōu)選實施例中所述的機構實現(xiàn)。
在第一至第三優(yōu)選實施例中，母掩模10是平面狀的，但它可以具有預定的曲度，諸如圖11中所示的母掩模10c。對于基本玻璃面板7而言，采用平的母掩模有利于條或點的形成。但是，總體上或部分地具有預定曲度的母掩模在下列方面容易處理調整母掩模至選色機構9的曲度；采用由平的母掩模難以形成的條或點的陣列；減小面板內表面和母掩模之間的間隔；采用具有不同的局部曲度的玻璃面板。
參照圖12，為對玻璃面板7的整個內表面進行曝光，光源可以是表面光源。由于從表面光源發(fā)光的光束80平行地射至母掩模10上，采用表面光源有利于玻璃面板7的內表面上的熒光條或點的位置與母掩模的槽或點的位置(具有相同的X和Y值)之間的對準，從而保證了熒光條或點形成于玻璃面板7的內表面上的目標位置上。
在第一至第三優(yōu)選實施例中形成有黑色基底層。當僅采用具有各發(fā)光顏色的熒光層而不采用黑色基底層時，可省去形成黑色基底層的步驟，其它的步驟與第一至第三優(yōu)選實施例中相同。
盡管已對本發(fā)明做了詳細圖示和說明，但上面的說明從所有方面講均是描繪性的而非限制性的。因此可以理解，在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可做出多種修改和變化。
權利要求
1.一種制造彩色陰極射線管的熒光屏的方法，此熒光屏是通過在彩色陰極射線管的面板的內表面上形成多個熒光條或多個熒光點制成的，所述方法包括以下步驟(a)為使所述的多個熒光條或點形成在所述彩色陰極射線管的預定位置上，調整通過曝光系統(tǒng)中位置可調的母掩模投射至所述面板上的多個條或點的位置；和(b)為形成所述的多個熒光條或點，將所述面板裝在所述曝光系統(tǒng)中，以便對所述面板進行曝光。
2.根據(jù)權利要求1的方法，其特征在于，其中所述步驟(a)包括對于多個第一曝光系統(tǒng)的每一個對所述的多個條或點的位置進行調整的步驟，所述的多個第一曝光系統(tǒng)包括分別對應于不同發(fā)光顏色的熒光層的具有不同構形的熒光層母掩模，并且除所述熒光層母掩模外具有相同構造，所述的多個條或點通過所述的多個第一曝光系統(tǒng)的所述熒光層母掩模投射至所述面板上；和其中所述步驟(b)包括將一個面板按順序安裝在所述的多個第一曝光系統(tǒng)中的步驟，以便由所述的多個第一曝光系統(tǒng)對所述面板曝光。
3.根據(jù)權利要求2的方法，其特征在于，其中所述步驟(a)還包括對通過一個第二曝光系統(tǒng)的一黑色基底母掩模投影至所述面板上的所述多個條或點的位置進行調整的步驟，所述第二曝光系統(tǒng)包括所述黑色基底母掩模，并且除所述的多個第一曝光系統(tǒng)的所述熒光層母掩模和所述的黑色基底母掩模之外具有與所述的第一曝光系統(tǒng)相同的構造；和其中所述步驟(b)還包括將所述面板安裝至所述第二曝光系統(tǒng)中以對所述面板曝光的步驟。
4.根據(jù)權利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步驟(a)和(b)中采用的所述曝光系統(tǒng)的所述母掩模具有預定曲度。
5.根據(jù)權利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步驟(a)和(b)中采用的所述曝光系統(tǒng)的所述母掩模具有平坦的主表面。
6.根據(jù)權利要求1的方法，其特征在于，其中所述母掩模在步驟(a)和(b)中所用的所述曝光系統(tǒng)的預定位置中具有一個槽或點的陣列，所述條或點的陣列是由投影在所述面板的內表面上的條或點的陣列以及所述曝光系統(tǒng)的光源的位置決定的。
7.根據(jù)權利要求1的方法，其特征在于，其中所述母掩模在步驟(a)和(b)中所用的所述曝光系統(tǒng)的預定位置中具有一個槽或點的陣列，所述條或點的陣列是由通過所述彩色陰極射線管中的選色機構的一個槽或點的陣列投影至所述面板的內表面上的條或點的陣列和所述曝光系統(tǒng)的光源的位置決定的。
8.根據(jù)權利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步驟(a)中投影至所述面板上的所述的多個熒光條或點的位置調整包括通過使所述母掩模在下列方向移動而實現(xiàn)的調整垂直于所述母掩模的一個主表面的方向、所述母掩模的所述主表面中的第一方向、在所述母掩模的所述主表面中并與所述第一方向正交的第二方向、以及在所述主表面內的旋轉方向。
9.根據(jù)權利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步驟(a)中投影至所述面板上的所述的多個條或點的位置調整包括通過使所述曝光系統(tǒng)的一個光源在下列方向上移動而實現(xiàn)的調整垂直于所述母掩模的一個主表面的方向、平行于所述母掩模的所述主表面的第一方向、以及平行于所述主表面且垂直于所述第一方向的第二方向。
10.根據(jù)權利要求1的方法，其特征在于其中在所述步驟(a)中投影至所述面板上的所述的多個條或點的位置調整包括通過所述曝光系統(tǒng)的校正透鏡實現(xiàn)的調整，用以校正曝光光束的光路，從而校正束轟擊位置。
11.根據(jù)權利要求1的方法，其特征在于，還包括以下步驟通過固定在所述面板內預定位置中的攝象裝置，確定選色機構的預定槽或點的位置，并通過所述攝象裝置，確定通過設在所述面板的所述內表面上的所述母掩模而形成的熒光條或點的位置，以便對兩個位置的數(shù)值之間進行比較而計算偏移量。
12.根據(jù)權利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步驟(a)和(b)中采用的所述曝光系統(tǒng)的所述母掩模包括用于使所述面板曝光的一個黑色基底母掩模，以形成一黑色基底，和在所述步驟(b)中形成所述黑色基底之后，通過封閉所述黑色基底母掩模的預定部分，采用所述黑色基底母掩模對所述面板曝光，形成熒光層。
13.根據(jù)權利要求1的方法，其特征在于，其中所述步驟(a)和(b)中采用的所述曝光系統(tǒng)的光源包括一個表面光源。
14.根據(jù)權利要求1的方法，其特征在于，其中所述步驟(a)包括調整一個第一曝光系統(tǒng)的一個復用母掩模的位置的步驟，所述復用母掩模用于形成對應多種發(fā)光顏色的熒光層，其中所述步驟(b)包括將所述面板安裝在所述第一曝光系統(tǒng)中并順序地移動投影至所述面板內表面上的圖象的位置的步驟，以便通過所述復用母掩模投影至所述面板的內表面上的圖象與用于所述的多種發(fā)光顏色的所述熒光層相對應，并對所述面板順序曝光而形成所述的不同熒光層。
15.根據(jù)權利要求14的方法，其特征在于，其中投影至所述面板內表面上的與用于所述的多種發(fā)光顏色的所述熒光層相對應的圖象的位置的順序移動是通過順序移動所述第一曝光系統(tǒng)的光源的位置而實現(xiàn)的。
16.根據(jù)權利要求14的方法，其特征在于，其中投影至所述面板內表面上的與用于所述的多種發(fā)光顏色的所述熒光層相對應的圖象的位置的順序移動是通過順序移動所述第一曝光系統(tǒng)的所述復用母掩模實現(xiàn)的。
17.一種用于制造彩色陰極射線管的熒光屏的曝光系統(tǒng)，其特征在于，它是通過對安裝在其中的面板進行曝光而在所述彩色陰極射線管的所述面板上形成多個熒光條或多個熒光點而制造所述熒光屏的，所述曝光系統(tǒng)包括用于曝光的光源；和設置在所述光源和所述在板之間的位置可以調整的母掩模，用于將多個條或多個點投影至所述面板的內表面上。
18.根據(jù)權利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述母掩模包括與多種發(fā)光顏色的熒光層相對應的多個熒光層母掩模。
19.根據(jù)權利要求18的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述母掩模還包括與黑色基底層相對應的黑色基底母掩模。
20.根據(jù)權利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述的母掩模包括與多種發(fā)光顏色的熒光層和黑色基底層相對應的復用母掩模。
21.根據(jù)權利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述母掩模包括具有預定曲度的主表面。
22.根據(jù)權利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述母掩模包括平坦的主表面。
23.根據(jù)權利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述母掩模在預定位置中具有一個槽或點的陣列，所述槽或點的陣列由投影至所述面板的內表面上的條或點的陣列以及所述曝光系統(tǒng)的所述光源的位置決定。
24.根據(jù)權利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述母掩模在預定位置中具有一個槽或點的陣列，所述條或點的陣列由通過所述彩色陰極射線管中的選色機構的槽或點的陣列投影至所述面板內表面上的條或點的陣列以及所述曝光系統(tǒng)的所述光源的位置決定。
25.根據(jù)權利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，它還包括第一移動裝置，用于在垂直于所述母掩模的一主表面的方向上移動所述母掩模；第二移動裝置，用于在所述母掩模的所述主表面中的第一方向上移動所述母掩模；第三移動裝置，用于在所述主表面內垂直于所述母掩模的所述第一方向的第二方向上移動所述母掩模；和第四移動裝置，用于在所述主表面內使所述母掩模旋轉。
26.根據(jù)權利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，它還包括第一移動裝置，用于在垂直于所述母掩模的一主表面的方向上移動所述光源；第二移動裝置，用于在平行于所述母掩模的所述主表面的第一方向上移動所述光源；和第三移動裝置，用于在平行于所述母掩模的所述主表面且垂直于所述的第一方向的第二方向上移動所述光源。
27.根據(jù)權利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，還包括設置于所述母掩模和所述光源之間的校正透鏡，用于校正曝光光束的光路，進而用于校正束的轟擊點，從而調整通過所述母掩模投影至所述面板內表面上的所述的多個條或點的位置。
28.根據(jù)權利要求17的曝光系統(tǒng)，其特征在于，其中所述光源包括一個表面光源。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種曝光系統(tǒng)，它包括一個用于對玻璃面板(7)進行曝光的母掩模(10)，用以在玻璃面板(7)內表面上形成多個熒光條或點，其中母掩模(10)和/或一光源(2)可移動，以便校正曝光位置，從而在通過曝光在玻璃面板(7)內表面上形成熒光屏時，免除了將選色機構(9)安裝至玻璃面板(7)和從其上拆除的需要。
文檔編號G03F7/20GK1136214SQ96100419
公開日1996年11月20日 申請日期1996年1月10日 優(yōu)先權日1995年1月18日
發(fā)明者北條實, 小林弘男, 井之上章, 井桝俊一 申請人:三菱電機株式會社