專利名稱:含具有磺酸官能度的帶水光刻度的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及那些用于制造印刷電路板的光刻膠,更具體地是涉及那些帶水的光刻膠。
可作為制造印刷電路、印刷板、焊劑掩模等使用的抗蝕劑的感光成象組合物,已經(jīng)使用了一段時間。最早采用的光刻膠是帶有機(jī)溶劑的,并可用有機(jī)溶劑顯影。水液可顯影的光刻膠的開發(fā),在減少溶劑在工作場所和周圍環(huán)境中的散發(fā)方面標(biāo)志著一種進(jìn)步。對減少來自工作場所和周圍環(huán)境的有機(jī)溶劑散發(fā)的迫切要求,推動了對帶水光刻膠的研究,這類光刻膠是配制成水溶液,并以水溶液形式使用。
美國專利U.S.5,045,435敘述了一種可在堿性水質(zhì)溶液內(nèi)顯影的帶水光刻膠組合物,一并附在此作為參考。該組合物包括多官能團(tuán)單體,光引發(fā)劑和不溶于水的羧化的丙烯酸共聚物膠乳。為了使該組合物穩(wěn)定并調(diào)節(jié)其粘度,該專利指出用如氨、其他的胺或氫氧化鈉的一類堿來中和至少25%的膠乳聚合物。
迄今的帶水乳液光刻膠的固體含量都比較少,結(jié)果干燥時間要比所希望的長得多。因此本發(fā)明的總的目標(biāo)就是提供更高固體含量的帶水光刻膠。
根據(jù)本發(fā)明,一種帶水的感光成象組合物,其組成包含(A)約30-80重量%的具有酸官能度的膠乳粘合劑聚合物;其至少50摩爾%的為磺酸官能度,并且總的酸官能度提供了約40-250的酸值;
(B)約15-50重量%的α,β-乙烯鏈基的不飽和單體;
(C)約1-25重量%的能產(chǎn)生自由基的光引發(fā)劑或光引發(fā)化學(xué)物系;
(D)約1-40重量%的一種用于中和的堿和/或聚醚聚氨基甲酸乙酯的聯(lián)合增稠劑,其量應(yīng)足以使此感光成象組合物作為水性乳狀液穩(wěn)定存在;
各組分的重量百分?jǐn)?shù)都是基于組分A至D的總重量而言。
用于本發(fā)明感光成象組合物的膠乳粘合劑聚合物,一般的制法是通過α,β-不飽和單體的乳液聚合。使用具有足夠官能度的單體,以提供約40-250,最好不低于80的酸值。美國專利3,929,743中有典型的乳液聚合步驟和幾個合適乳狀液的例子,其內(nèi)容結(jié)合在本發(fā)明中作為參考。
用于本發(fā)明的粘合劑聚合物的至少一部分是由具有磺酸部分的α,β-不飽和單體形成的。適用的磺酸型單體其通式為H2C=CHA-CO-B-X-Y-SO3H,其中A=H,CH3;B=O,S,N-Z;Z=A,肪族直鏈或支鏈的C2-C8烷基,C6-C12環(huán)狀或二環(huán)的烷基,苯基,甲基苯基,乙基苯基,丙基苯基,丁基苯基,萘基,C1-C4單基取代或雙基取代的萘基;X=C2-C10直鏈、支鏈、環(huán)狀或二環(huán)烷烴,(CmH2mO)n此處m為2-4和n,為1-20,甲基苯基,乙基苯基,丙基苯基,丁基苯基,萘基,C1-C4單基或雙基取代的萘基;以及Y=0,但若X是(CmH2mO)n則不存在。
優(yōu)選的磺酸官能團(tuán)的單體具有如下的化學(xué)式CH2=CR1-COO-R2-O-SO3H和CH2=CR1-CONH-R2-O-SO3H,其中R1是H或CH3,R2是C1-C6亞烷基。特別合適的磺酸官能團(tuán)的單體有2-丙烯酰胺、2-甲基丙烷磺酸(CH2=CH-CO-NH-CH2-CH(CH3)-O-SO3H)、2-丙酸、2-甲基-2-磺乙基酯(甲基丙烯酸-2-磺乙酯)(CH2=C(CH3)-COO-C2H4-O-SO3H)。粘合劑的酸官能度至少有50摩爾%直至100摩爾%是磺酸官能度。其余的酸官能度可由具有下列通式的各種單體來提供CH2=CR1-COOH,CH2=CR1-COO-R2-OOC-R3-COOH,CH2=CR1-COO-R2-O-PO3H2,CH2=CR1-CONH-R2-O-PO3H2以及CH2=CR1-CONH-(R4)q-COOH,其中R1是H或Me,R2是(CH2)n,其中n為1至6,R3N是C原子為1至6的亞烷基或亞苯基,幾個R4是CH2或CHOH,它們可以相同或不同,q為1至6。
適用的酸官能性能單體的一些具體例子為丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸、富馬酸、檸康酸、2-羥乙基丙烯酰磷酸酯、2-羥丙基丙烯酰磷酸酯、2-羥基-α-丙烯酰磷酸酯等。這類酸官能性單體的一種或多種可用于形成該粘合劑聚合物。酸官能性單體可與如丙烯酸酯類的非酸官能性單體共聚,丙烯酯酯類例如丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸羥乙酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸辛酯、甲基丙烯酸-2-乙氧基乙酯、丙烯酸-叔丁酯、二丙烯酸-1,5-戊二醇酯、丙烯酸-N,N-二乙氨基乙酯、二丙烯酸乙二醇酯、二丙烯酸-1,3-丙二醇酯、二丙烯酸癸二醇酯、二甲基丙烯酸癸二醇酯、二丙烯酸-1,4-環(huán)己二醇酯、二丙烯酸-2,2-二羥甲基丙烷酯、二丙烯酸甘油、二丙烯酸三丙二醇酯、三丙烯酸丙三醇酯、二甲基丙烯酸-2,2-二(對-羥苯基)-丙烷酯、二丙烯酸三乙二醇酯、二甲基丙烯酸的聚氧乙基-2,2-二(對-羥苯基)-丙烷酯、二甲基丙烯酸三乙二醇酯、三丙烯酸聚氧丙基三羥甲基丙烷酯、二甲基丙烯酸乙二醇酯、二甲基丙烯酸丁二醇酯、二甲基丙烯酸-1,3-戊烷二醇酯、三甲基丙烯酸-1,2,4-丁三醇酯、二甲基丙烯酸-2,2,4-三甲基-1,3-戊烷二醇酯、三甲基丙烯酸季戊四醇酯、二甲基丙烯酸-1-苯基1,2-乙烯酯,四甲基丙烯酸季戊四醇酯,三甲基丙烯酸三羧甲基丙烷酯、二甲基丙烯酸-1,5-戊二醇酯以及二甲基丙烯酸-1,4-苯二醇酯;苯乙烯以及取代的苯乙烯,諸如,2-甲基苯乙烯和乙烯基甲苯和乙烯基酯類,諸如,丙烯酸乙烯酯和甲基丙烯酸乙烯酯以提供所需的酸值。
為確保該可感光成象的組合物能接觸成象,即干燥到不粘著的狀態(tài),該膠乳粘合劑聚合物的玻璃轉(zhuǎn)化溫度(Tg)至少約60℃(用差示掃描熱量計(DSC)以20℃/分的速度測定)。該聚合物的平均分子量在約500-200,000之間(用聚苯乙烯作標(biāo)準(zhǔn)通過凝膠滲透色譜法(GPC)測定)。
使用具有磺酸官能度的粘合劑聚合物,與只具有羧酸官能度的相應(yīng)聚合物相比,能夠形成較低酸值的穩(wěn)定乳狀液。如前已指出的,使用具有磺酸官能度的粘合劑,固體含量可較高,例如可高達(dá)約70重量%,從而減少干燥時間。較高的固體含量也改善了涂覆性。而且據(jù)認(rèn)為,具有磺酸官能度的粘結(jié)劑還有利于提高感光成象組合物的粘著性和抗化學(xué)腐蝕性。
為了產(chǎn)生影象,這種負(fù)作用的感光成象組合物含有可光聚合的單體(具體是α,β-乙烯鏈基的不飽和單體),包括基本部分是多官能團(tuán)的單體。有用的單體包括那些上面列出的用以形成粘合劑聚合物的單體。特別適合的單體包括各種多官能團(tuán)的丙烯酸類單體,例如二丙烯酸四乙二醇酯(TEGDA)、三丙烯酸三羥甲基丙烷酯(TMPTA)、二甲基丙烯酸丁二醇酯(BDDMA)和三丙烯酸季戊四醇酯(PETA)。雖然該單體部分可包括水溶性的和非水溶性的單體;但其中非水溶性單體(在20℃水中的溶解度小于約0.3g/100ml)占有的比例應(yīng)足夠高,即高于20摩爾%,以使得單體部分就整體而言是不溶于水的。
為了引發(fā)單體在曝光于光化幅射時的聚合作用,感光成象組合物含有適當(dāng)?shù)墓庖l(fā)劑或光引發(fā)化學(xué)物系。適用的光引發(fā)劑包括苯偶姻醚類、苯偶酰酮縮醇類、乙酰苯類、二苯酮類以及與胺類有關(guān)的化合物。較佳的引發(fā)劑是噻噸酮類,如2-異丙基噻噸酮,特別是在連同某種胺配合使用時。
帶水感光成象組合物最好含有一種聚硅氧烷,它們選自環(huán)聚二甲基硅氧烷、經(jīng)聚醚改性的聚二甲基硅氧烷、聚二甲基硅氧烷以及它們的混合物,以環(huán)聚二甲基硅氧烷和經(jīng)聚醚改性的聚二甲基硅氧烷較佳。聚硅氧烷類的用量相對于組分(A)至(D)的總量而言,約為0.1-10重量%。最好聚硅氧烷部分用環(huán)聚二甲基硅氧烷和經(jīng)聚醚改性的聚二甲基硅氧烷的混合物,二者的重量比約為1∶9至9∶1。這種混合物的一個例子就是Dow Corning Q4-3667,它是經(jīng)聚醚改性的聚二甲基硅氧烷與環(huán)聚二甲基硅氧烷按80∶20的混合物。聚硅氧烷這類物質(zhì)有助于使表面不發(fā)粘,這是接觸印刷所要求的。
適用的聚二甲基硅氧烷的通式為(CH3)3-[Si(Me)2-O]n-Si(CH3)3,其中n為0-4,000。
環(huán)聚二甲基硅氧烷的通式為-[Si(Me2)-O]n-,其中n為3至60。
經(jīng)聚醚改性的聚二甲基硅氧烷的通式為 其中n=0-1500,x=1-2,000,y=1-2000,R=H或CH3,R′=(CH2)0-5,以x和y為下標(biāo)的基團(tuán)的順序是隨機(jī)的。
聚硅氧烷的分子量可在很寬的范圍內(nèi)變動。低分子量的聚硅氧烷,其重均分子量Mw的范圍為100-600;高分子量的聚硅氧烷,其重均分子量Mw的范圍為2,000-500,000。
帶水照相成象化合物最好還要含有一種作為表面活性劑的氟代脂肪族的氧化乙烯基加成物,基于上述組分(A)至(D)的總重,其用量約0.5-3.0重量%。這類表面活性劑的通式為CF3-(CF2)n-Y-Xm-Z;其中n=0至20,Y=SO2-N(C1-C10烷基),X=CH2-CH2-O或CH(CH3)-CH2-O,m=0至20,Z=CH2-CH2-OH或CH(CH3)-CH2-OH。
乳濁液包括粘合劑聚合物的穩(wěn)定化是需要的。正如上述美國專利5,045,435所指出的,乳濁液穩(wěn)定化可用一種堿至少進(jìn)行部分中和來實現(xiàn)。美國專利申請08/199,037(本申請是此申請的部分繼續(xù)申請)指出,較佳地是用一種聚醚聚氨基甲酸乙酯聯(lián)合增稠劑來實現(xiàn)乳濁液的穩(wěn)定化和粘度調(diào)節(jié)。聚醚聚氨基甲酸乙酯增稠劑是含有至少兩個憎水鏈段和至少一個通過氨基甲酸乙酯鏈段將其與憎水鏈段連接起來的親水聚醚鏈段的聚合物,該兩個憎水鏈段是憎水性異氰酸酯(通常其異氰酸酯官能度為2或大于2)的殘基。作為聯(lián)合增稠劑的嵌段共聚物可以有多種多樣的形式,包括ABA、(AB)n、星形聚合物(star polymers)等。聚醚鏈段是由諸如像氧化丙烯和氧化乙烯等單體生成的聚氧乙烯鏈段所形成。為了有充分的親水性,一般聚氧化烯鏈段中至少有約3摩爾%是氧化乙烯的殘基。異氰酸酯殘基的憎水部分一般是一個烷基、環(huán)烷基或芳香部分。聚醚聚氨基甲酸乙酯聯(lián)合的增稠劑以及其功能在例如A.J.M.Knoef與H.Slingerland“水溶液涂料系統(tǒng)使用的氨基甲酸乙酯基聚合物增稠劑”JOCCA,Sept.1992,pp335-338;J.H.Bieleman et al.Polymers Paint Color Journal 1986,V.176(4169)pp.450-460;A.J.Whitton與R.E.Van Doren Polymers Paint Colour Journal 1991,V.181(4286)pp。374-377中都有敘述。特別適用的聚醚聚氨基甲酸乙酯聯(lián)合增稠劑與其合成過程在授予Emmons等人的美國專利4,079,028中已有敘述,現(xiàn)一并附此以供參考。適合的聚醚聚氨酯聯(lián)合增稠劑在Hoy等人的美國專利4,426,485和Ruffner等人的4,743,698中也有敘述。
合適的商業(yè)上可購的聯(lián)合增稠劑的例子是DSX 1514(Henkel)和QR 708(Rohm與Haas)。由于使用了聚醚聚氨酯聯(lián)合增稠劑,粘合劑聚合物膠乳所需的中和就可以少一些。在一些情況下根本不需要中和。在另一些情況下,需中和該粘合劑聚合物的當(dāng)量酸官能度高至約20%。通常為中和而加入的堿至少約為粘合劑聚合物的酸官能度的2%。中和可用氨,伯、仲或叔胺或氫氧化物來完成。較佳的中和用堿是有羥官能團(tuán)的叔胺類,加入聯(lián)合增稠劑至少可代替某些量中的中和劑使得涂層更光滑均勻。這種經(jīng)改進(jìn)的涂層質(zhì)量將使涂層中的由細(xì)小斑點或針眼所引起的電路板潛在的缺陷減少到最小程度。另外,在采用滾筒涂覆時,具有聯(lián)合增稠劑的感光成象組合物在較低的滾筒壓力下就能產(chǎn)生較為光滑的涂層,而較低的滾筒壓力就會延長橡膠滾筒的壽命。
減少中和劑提高了涂覆和干燥的感光成象組合物層的化學(xué)穩(wěn)定性。而且作為中和劑的氨或胺,用量減少時,氣味也減少了。聯(lián)合增稠劑有降低水液感光成象組合物粘度變化的作用。即使在高剪切應(yīng)力作用下,粘度仍趨于保持穩(wěn)定。
除了述所列的這些組分A-D外,還可使用少量的(一般占A-D組分總量的約10重量%)常用添加劑,包括消泡劑、抗氧化劑、染料、粘附促進(jìn)劑、滑動助劑和其它表面張力改進(jìn)劑。
在制備本發(fā)明帶水感光成象組合物的一個較佳方法中,將那些與憎水相非常相容的組分(如光引發(fā)劑、抗氧化劑和染料)與單體組分混和以形成一種單體基料,而將那些與水液相非常相容的組分如消泡劑、中和劑、表面活性劑和聯(lián)合增稠劑則與膠乳聚合物混合以形成一聚合物混料。然后,將憎水相與聚合物混料再進(jìn)行混合,得到水包憎水相的乳狀液。然后加入高沸點溶劑、表面活性劑包括流動助劑、表面張力改進(jìn)劑和粘附促進(jìn)劑。
最終獲得的帶水組合物一般含有約20-40重量%的固體。在這種帶水組合物中,粘合劑占約10-30重量%,單體占約3-20重量量%,引發(fā)劑占約0.3-10重量%,中和用的堿和/或增稠劑占約1.5-20重量%。聚硅氧烷用量一般為約0.02-1重量%。若使用氟代脂肪族的氧化乙烯基加成物表面活性劑,其用量一般約為0.06-2重量%。
涂覆這種帶溶劑的感光成象組合物技術(shù)領(lǐng)域中所使用的任何一種涂覆方法,例如滾涂法、浸涂法、噴涂法或簾涂法。
本發(fā)明組合物是以常規(guī)的方法來施用,既可直接將液體組合物涂到金屬復(fù)合的層壓板坯上,亦可先涂到聚合物載片上使之形成一層干膜。涂覆以后,令組合物干燥以去除水分和揮發(fā)物如氨或胺、水等,從而使聚合物溶液在酸性或中性的水溶液介質(zhì)中不溶解。當(dāng)感光成象組合物干燥了,它就凝結(jié)成一層連續(xù)的膜。進(jìn)行干燥時的溫度宜稍高,就既是為了加快去除水分、也是為了將氨或揮發(fā)性胺除去。干燥溫度最好為約90℃。
為形成干膜,將帶水組合物涂覆到具有撓曲性的載片(例如為聚對苯二甲酸乙酯)上,然后干燥去除水分和揮發(fā)物。再將一層例如聚乙烯的保護(hù)膜施加到此感光成象組合物膜上,然后將此干膜卷繞成卷。在干燥感光成象組合物膜時,發(fā)現(xiàn)在某些情況下需要殘留約1-2重量%的水分。這殘留水分的作用是使該感光成象組合物膜在進(jìn)行層壓加工時能適應(yīng)基材如覆銅板的缺陷。
印刷電路板的制作工藝按通常的方法進(jìn)行。一種典型的步驟是,在復(fù)銅板的表面上施加一層感光成象組合物,其方式或者是以液體組合物的形式,令光幅照透過合適的原圖,對成象組合物層進(jìn)行曝光。結(jié)果在曝光區(qū)域中,單體起了光幅照聚合作用,產(chǎn)生了能抗顯影劑交聯(lián)結(jié)構(gòu)。然后,就在稀的1%碳酸鈉堿性水溶液中將此對組合物作顯影處理。堿溶液就與粘合劑聚合物的羧酸基團(tuán)反應(yīng)而形成了鹽,使其變成可溶性而得以去除。經(jīng)此顯影處理后,可用蝕刻劑將覆銅板上那些(未受曝光區(qū)域的照相成象組合物經(jīng)溶解除去后)露出銅的區(qū)域溶解掉,這樣就形成了印刷電路。最后再用合適的剝離劑將余下的光刻膠除去。
本發(fā)明不僅能提供帶水的一次成象光刻膠,還能提供焊料掩模組合物。焊劑掩模在這里是指一種硬質(zhì)的耐久性膜層,它至少能符合聯(lián)結(jié)電路研究所(Institute for Interconnecting Circuits)制定的技術(shù)規(guī)格/適應(yīng)性標(biāo)準(zhǔn)一覽(Sumanary of Criteria for Qualification/Conformance)表12的IPC-SM-840B中所述抗磨性試驗的最低要求。為達(dá)到硬質(zhì)耐久的要求,一般要使該感光成象組合物在經(jīng)過曝光、顯影處理和電路板加工制作后經(jīng)熱處理和/或紫外幅照處理后是可以固化的。達(dá)到這種后固化,目的的一種方法就是令所用的粘合劑聚合物在其主鏈中具有游離-OH基從而能得以固化例如通過與氨基塑料樹脂(如密胺/甲醛樹脂和尿素/甲醛樹脂)進(jìn)行交聯(lián)。另一種方法是該可感光成象組合物可含有一種可相容的環(huán)氧樹脂和一種環(huán)氧樹脂用的固化劑。業(yè)已發(fā)現(xiàn),本發(fā)明的帶水感光成象組合物,涂覆到銅基材上之后的貯存期限壽命很優(yōu)異,在覆銅板上可保留許多天。
下面將通過具體的實施例對本發(fā)明作詳細(xì)敘述。
實施例1一種磺酸官能團(tuán)粘合劑聚合物的乳化水液是按如下所述來制備的Ⅰ.預(yù)乳化進(jìn)料混合物的制備A.水相(溶液A)將一進(jìn)料混合槽(2升圓底的樹脂燒瓶,其底部有個口)用氮氣沖洗約15分鐘。然后在徐緩攪拌下加入下述物料去離子水(200.0g),Alcolac′s“Abex JKB”陰離子表面活性劑(來料狀態(tài)含固體30%,76.0g),再加一些去離子水(100.0g)將所有表面活性劑沖洗到進(jìn)料混合槽中。
B.甲基丙烯酸-2-磺乙酯溶液(溶液B)的預(yù)中和在一容量合適(500ml)的錐形燒瓶中裝入甲基丙烯酸-2-磺乙酯(153.6g),還加去離子水(75.0g)稀釋并將所有的單體沖洗入燒瓶。在用一磁力攪拌棒攪拌并用一pH計監(jiān)測情況下,緩慢加入80%二甲氨基甲基丙醇(111.1g),將溶液中和至pH約為3.5。
C.油相(溶液C)在一2升錐形燒瓶中稱入甲基丙烯酸甲酯(367.2g),丙烯酸正丁酯(163.2g),Aldrich正十二硫醇(2.4013g)和苯乙烯(116.0g)。在燒瓶中混合此溶液時,用氮氣鼓泡攪動十五分鐘。
D.進(jìn)料混合物進(jìn)料混合物是在一容量合適(21)的具有旋塞滴液出口管的圓底燒瓶中制備的。將已預(yù)中和的甲基丙烯酸-2-磺乙酯水溶液(溶液B)加入到燒瓶中的水相(溶液A)中,加入時用去離子水(102.8g)淋洗以保證能定量地轉(zhuǎn)移。然后將油相溶液(C)加入到進(jìn)料混合槽中的水相(溶液A)中。然后將其攪拌以達(dá)到無空氣/氮氣夾入的良好混合(將Talboy攪拌器設(shè)置在最大,自耦調(diào)壓器設(shè)置在35)。將此液體混合物攪拌了至少20分鐘,以得到預(yù)乳化進(jìn)料混合物。
Ⅱ.引發(fā)劑溶液的制備在一錐形燒瓶(50ml)中稱入過硫酸銨(4.000g)和去離子水(20.0g),攪拌此混合物制得均勻溶液。
Ⅲ.反應(yīng)器初始加料用氮氣對反應(yīng)器(2升的三頸圓底燒瓶)沖洗約15分鐘。加入去離子水218.1g,然后用水浴將反應(yīng)混合物加熱至70℃。
Ⅳ.乳液聚合過程將反應(yīng)器中的初料加熱穩(wěn)定在70-71℃后,將一部分進(jìn)料混合物(100.0g)加入反應(yīng)器。接著用去離子水(218.0g)淋洗。在連續(xù)攪拌情況下,將反應(yīng)器物料加熱回到70℃。達(dá)到70℃時,向反應(yīng)器中加入“引發(fā)劑溶液”。對反應(yīng)的放熱進(jìn)行監(jiān)測,這種放熱產(chǎn)生在5分鐘內(nèi)。將水浴溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)(冷卻)以免溫度超過80℃。加入引發(fā)劑溶液后10分鐘,通過一計量泵開始加入進(jìn)料混合物。對此聚合過程冷卻持續(xù)到使溫度降到70-74℃范圍之內(nèi)。在添加進(jìn)料混合物的180分鐘期間內(nèi),將反應(yīng)溫度穩(wěn)定并保持在70至74℃之間。進(jìn)料混合物加完后,將進(jìn)料混合物槽和計量泵用去離子水(20.0g)淋洗。在70-74℃下將反應(yīng)器物料攪拌1小時以上。然后將這樣制得的分散物系再加熱至80-85℃,并在此溫度下保溫二小時使余下的過硫酸鹽耗盡。然后用冷水浴將制得的分散聚合物冷卻至50℃,然后再用冰/水浴冷卻至環(huán)境溫度。
Ⅴ.聚合物分散物系的逐漸形成將反應(yīng)混合物通過一200目織物濾網(wǎng)過濾,以收集其中的凝結(jié)物。經(jīng)干燥后,將所得固體稱重以測定所形成的凝結(jié)物的百分含量。
Ⅵ.實施例1聚合物分散物系的結(jié)果最終pH2.2原樣固體百分?jǐn)?shù)42.57%(理論值42.58%)原樣粘度635cp凝結(jié)物百分?jǐn)?shù)0.041%實施例2按下面的表1配制了帶水可感光成象化合物。其性能數(shù)據(jù)示于表2。表1中的“單體基料”的組分示于表3;所有的物料均混合在一起,過濾,然后加入到水液部分中。
表3單體基料的組分 組分類型 克數(shù)/配方乙氧基化的TMPTA 多官能團(tuán)丙烯酸酯 17.6(3摩爾乙氧基化)Modaflow 流動添加劑 0.05抗氧化劑2246 抗氧化劑 0.03Quantacure ITX(噻噸酮) 光敏劑 0.59Quantacure EPD(3°胺) 光引發(fā)劑 1.49Baso Blue688 背底染料 0.09三苯膦 抗氧化劑 0.5苯并三唑 粘附促進(jìn)劑 0.25TMPTA=三丙烯酸三羥甲基丙烷酯表4印刷電路板制作工藝條件涂覆-Burkle(單面)滾筒涂覆機(jī),22個螺紋/吋基材-覆銅板曝光-HMW ORC,301B型,重氮型原圖顯影-1%Na2CO3·H2O,85°F,2×轉(zhuǎn)效點蝕刻(浸蝕)-3N CuCl2,140°F,1.3×最小蝕刻剝離-3%NaOH,130°F使用性能說明固體百分?jǐn)?shù)-涂層中不揮發(fā)物的百分?jǐn)?shù)粘度-在70°F,用Brookfield粘度計,初始測定,然后于一周后測定耐堿性-在pH為9.2條件下進(jìn)行堿性蝕刻,測定耐堿腐蝕性涂層缺陷-涂覆后計數(shù)涂層中空穴(細(xì)小斑點)的數(shù)目涂層均勻性-涂覆后立即觀測其均勻性顯影時間-為去除未經(jīng)曝光的光刻膠所需時間的兩倍。
干燥至表面不粘著的時間-能產(chǎn)生不粘著涂層表面在80℃干燥所需的時間。
權(quán)利要求
1.一種帶水的可感光成象組合物,其特征在于,它包含(A)30-80重量%的具有酸官能度的膠乳粘合劑聚合物,其酸官能度的至少50摩爾%是磺酸官能度,并且總的酸官能度能提供40-250的酸值;(B)15-50重量%的α,β-乙烯鏈基的不飽和單體;(C)0.1-25重量%的能產(chǎn)生自由基的光引發(fā)劑或光引發(fā)化學(xué)物系;(D)1-40重量%的一種中和用的堿和/或聚醚聚氨基甲酸乙酯聯(lián)合增稠劑,其量應(yīng)足以使此可感光成象組合物作為水質(zhì)乳狀液而穩(wěn)定存在;各組分的重量百分?jǐn)?shù)都是基于組分A至D的總重量而言。
2.如權(quán)利要求1所述的可感光成象組合物,其特征在于它是分散在水溶液介質(zhì)中的。
3.一種由高聚物載片和權(quán)利要求1所述的可感光成象組合物層組成的干膜。
全文摘要
一種帶水的可感光成像組合物即光刻膠,它含有一種膠乳粘合劑聚合物(它具有的酸官能度使其能在堿性水溶液中顯影,其酸官能度的至少約50摩爾%是磺酸部分),一種可光聚合的單體部分和一尖引發(fā)劑化學(xué)物系。
文檔編號G03F7/027GK1107584SQ94113848
公開日1995年8月30日 申請日期1994年11月21日 優(yōu)先權(quán)日1994年1月25日
發(fā)明者S·E·博湯姆萊, D·E·倫迪, B·達(dá)達(dá)赫, R·K·巴爾 申請人:莫頓國際股份有限公司