曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)，其包含光傳感器，感測曝光機的多個光源的照射強度；移動機構(gòu)，該光傳感器設(shè)置于該移動機構(gòu)以相對于這些光源移動；以及照射強度調(diào)整單元，其具有處理單元及存儲單元，該光傳感器、該移動機構(gòu)及該存儲單元電連接該處理單元，該處理單元電連接這些光源，該存儲單元儲存這些光源的位置及照射強度值，該處理單元借由這些照射強度值調(diào)整這些光源的照射強度至均勻。借此，本實用新型的曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)可隨時檢測并調(diào)整曝光機的多個光源的照射強度至均勻，以提升曝光機曝光成品的合格率。
【專利說明】曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)，尤其涉及一種可隨時檢測并調(diào)整曝光機的多個光源的照射強度至均勻，以提升曝光機曝光成品的合格率的曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)今電子設(shè)備的種類眾多，而電路板是電子設(shè)備中重要的組件之一，曝光機為目前制作電路板的主要設(shè)備之一，其主要利用曝光的方式在電路板上制作電路。一般的曝光機多以多個光源進(jìn)行曝光，然而，這些光源經(jīng)過多次使用后，各個光源常會因自身使用壽命的關(guān)系而造成照射強度減弱，使得所有光源的照射強度分布不均，進(jìn)而降低了電路板制作的合格率。因此，如何研發(fā)出一種曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)，以使其可隨時檢測并調(diào)整曝光機的多個光源的照射強度至均勻，以提升曝光機曝光成品的合格率，將是本實用新型所欲積極揭露之處。
實用新型內(nèi)容
[0003]有鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)之缺憾，發(fā)明人有感其未臻于完善，遂竭其心智悉心研究克月艮，進(jìn)而研發(fā)出一種曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)，以期達(dá)到可隨時檢測并調(diào)整曝光機的多個光源的照射強度至均勻，以提升曝光機曝光成品的合格率的目的。
[0004]為達(dá)上述目的及其他目的，本實用新型提供一種曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)，其包含光傳感器，感測曝光機的多個光源的照射強度；移動機構(gòu)，該光傳感器設(shè)置于該移動機構(gòu)以相對于這些光源移動；以及照射強度調(diào)整單元，其具有處理單元及存儲單元，該光傳感器、該移動機構(gòu)及該存儲單元電連接該處理單元，該處理單元電連接這些光源，該存儲單元儲存這些光源的位置及照射強度值，該處理單元借由這些照射強度值調(diào)整這些光源的照射強度至均勻。
[0005]上述的曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)中，該移動機構(gòu)為曝光機的感光基板搬移機臺。
[0006]上述的曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)中，該移動機構(gòu)具有相互連接的第一維度移動機構(gòu)及第二維度移動機構(gòu)，該第一維度移動機構(gòu)及該第二維度移動機構(gòu)的移動方向相互垂直，該光傳感器設(shè)置于該第一維度移動機構(gòu)。
[0007]上述的曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)中，該移動機構(gòu)具有第一維度移動機構(gòu)及第二維度移動機構(gòu)，該第一維度移動機構(gòu)及該第二維度移動機構(gòu)的移動方向相互垂直，該光傳感器設(shè)置于該第一維度移動機構(gòu)，該第二維度移動機構(gòu)用以設(shè)置并移動這些光源。
[0008]借此，本實用新型的曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)可隨時檢測并調(diào)整曝光機的多個光源的照射強度至均勻，以提升曝光機曝光成品的合格率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型具體實施例的示意圖一。
[0010]圖2為本實用新型具體實施例的示意圖二。
[0011]圖3為本實用新型具體實施例的示意圖三。
[0012]主要部件附圖標(biāo)記:
[0013]1光傳感器
[0014]2移動機構(gòu)
[0015]23吸盤
[0016]2’移動機構(gòu)
[0017]21’第一維度移動機構(gòu)
[0018]211’連接件
[0019]22’第二維度移動機構(gòu)
[0020]2”移動機構(gòu)
[0021]21”第一維度移動機構(gòu)
[0022]211”連接件
[0023]22”第二維度移動機構(gòu)
[0024]3照射強度調(diào)整單元
[0025]31處理單元
[0026]32存儲單元
[0027]9光源平臺
[0028]91光源

【具體實施方式】
[0029]為充分了解本實用新型的目的、特征及技術(shù)效果，茲由下述具體實施例，并結(jié)合附圖，對本實用新型做詳細(xì)說明，說明如下:
[0030]請參照圖2，如圖所示，本實用新型提供一種曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)，其包含光傳感器1、移動機構(gòu)2以及照射強度調(diào)整單元3。其中，該光傳感器1用以感測曝光機的多個光源91的照射強度，這些光源91可以矩陣排列或交錯排列方式設(shè)置于光源平臺9上，這些光源91分別可具有至少一發(fā)光二極管010(16，120)；該光傳感器1設(shè)置于該移動機構(gòu)2以相對于這些光源91移動，使該光傳感器1可感測各個光源91的照射強度，若這些光源91在^平面、XX平面或平面上時，該移動機構(gòu)2可使該光傳感器1在V平面、平面或平面上相對于這些光源91移動；該照射強度調(diào)整單元3可為處理電路或處理芯片且具有處理單元31及存儲單元32，該處理單元31可為處理器，該存儲單元32可為內(nèi)存，該光傳感器1、該移動機構(gòu)2及該存儲單元32電連接該處理單元31，該處理單元31用以電連接這些光源91，該存儲單元32用以儲存這些光源91的位置及照射強度值，該處理單元31可用以電連接市電，該處理單元31用以借由這些照射強度值調(diào)整這些光源91的照射強度至均勻。借此，該光傳感器1可借由該移動機構(gòu)2感測各個光源91并將各個光源91的位置及照射強度值儲存于該存儲單元32，之后該處理單元31經(jīng)過計算處理后找出這些光源91中最小的照射強度值及其位置，接著再減少其他光源91的輸入功率以使其他光源91的照射強度值等于最小的照射強度值，進(jìn)而使這些光源91具有均勻的照射強度的目的；另外，該光傳感器1亦可再借由該移動機構(gòu)2感測各個光源91以確認(rèn)這些光源91具有均勻的照射強度；再者，若最小的照射強度值小于最小的曝光需求值時，該光源91便可進(jìn)行汰換；再者，該處理單元31經(jīng)過計算處理后亦可找出這些光源91中較小的照射強度值及其位置，接著再增加該光源91的輸入功率以使該光源91的照射強度值等于其他的照射強度值，進(jìn)而使這些光源91具有均勻的照射強度的目的；再者，該光傳感器1亦可再借由該移動機構(gòu)2感測各個光源91以確認(rèn)這些光源91具有均勻的照射強度；再者，若該光源91增加輸入功率后無法提高照射強度時，該光源91便可進(jìn)行汰換。
[0031]如上所述，本實用新型的曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)可隨時檢測并調(diào)整曝光機的多個光源的照射強度至均勻，以提升曝光機曝光成品的合格率。
[0032]請參照圖1，如圖所示，上述的曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)中，該移動機構(gòu)2可為曝光機的感光基板搬移機臺，該光傳感器1可設(shè)置于該感光基板搬移機臺內(nèi)或其他位置，該感光基板搬移機臺具有多個吸盤23以吸取感光基板至曝光位置。借此，該光傳感器1可隨該感光基板搬移機臺相對于這些光源91移動。
[0033]請再參照圖2，如圖所示，上述的曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)中，該移動機構(gòu)2’可具有相互連接的第一維度移動機構(gòu)21’及第二維度移動機構(gòu)22’，該第一維度移動機構(gòu)21’及該第二維度移動機構(gòu)22’的移動方向相互垂直，該光傳感器1可借由連接件211’設(shè)置于該第一維度移動機構(gòu)21’。該第一維度移動機構(gòu)21’可具有軌道以使該光傳感器1及該連接件211’在X軸上移動，該第二維度移動機構(gòu)22’可具有軌道以使該第一維度移動機構(gòu)21’在7軸上移動；或，該第一維度移動機構(gòu)21’可具有軌道以使該光傳感器1及該連接件211’在X軸上移動，該第二維度移動機構(gòu)22’可具有軌道以使該第一維度移動機構(gòu)21’在2軸上移動；或，該第一維度移動機構(gòu)21’可具有軌道以使該光傳感器1及該連接件211’在7軸上移動，該第二維度移動機構(gòu)22’可具有軌道以使該第一維度移動機構(gòu)21’在2軸上移動。
[0034]請參照圖3，如圖所示，上述的曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)中，該移動機構(gòu)2”可具有第一維度移動機構(gòu)21”及第二維度移動機構(gòu)22”，該第一維度移動機構(gòu)21”及該第二維度移動機構(gòu)22”的移動方向相互垂直，該光傳感器1可借由連接件211”設(shè)置于該第一維度移動機構(gòu)21”，該第二維度移動機構(gòu)22”可用以設(shè)置并移動這些光源91。該第一維度移動機構(gòu)21”可具有軌道以使該光傳感器1及該連接件211”在X軸上移動，該第二維度移動機構(gòu)22”可具有軌道以使這些光源91在7軸上移動；或，該第一維度移動機構(gòu)21”可具有軌道以使該光傳感器1及該連接件211”在X軸上移動，該第二維度移動機構(gòu)22”可具有軌道以使這些光源91在2軸上移動；或，該第一維度移動機構(gòu)21”可具有軌道以使該光傳感器1及該連接件211”在7軸上移動，該第二維度移動機構(gòu)22”可具有軌道以使這些光源91在2軸上移動。
[0035]本實用新型在上文中已以較佳實施例揭露，然而本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是，該實施例僅用于描繪本實用新型，而不應(yīng)解讀為限制本實用新型的范圍。應(yīng)注意的是，凡是與該實施例等效的變化與置換，均應(yīng)設(shè)為涵蓋于本實用新型的范疇內(nèi)。因此，本實用新型的保護(hù)范圍當(dāng)以權(quán)利要求書所限定的內(nèi)容為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，包含； 光傳感器，感測曝光機的多個光源的照射強度； 移動機構(gòu)，該光傳感器設(shè)置于該移動機構(gòu)以相對于這些光源移動；以及 照射強度調(diào)整單元，其具有處理單元及存儲單元，該光傳感器、該移動機構(gòu)及該存儲單元電連接該處理單元，該處理單元電連接這些光源，該存儲單元儲存這些光源的位置及照射強度值，該處理單元借由這些照射強度值調(diào)整這些光源的照射強度至均勻。
2.如權(quán)利要求1所述的曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，該移動機構(gòu)為曝光機的感光基板搬移機臺。
3.如權(quán)利要求1所述的曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，該移動機構(gòu)具有相互連接的第一維度移動機構(gòu)及第二維度移動機構(gòu)，該第一維度移動機構(gòu)及該第二維度移動機構(gòu)的移動方向相互垂直，該光傳感器設(shè)置于該第一維度移動機構(gòu)。
4.如權(quán)利要求1所述的曝光機光源照射強度調(diào)整機構(gòu)，其特征在于，該移動機構(gòu)具有第一維度移動機構(gòu)及第二維度移動機構(gòu)，該第一維度移動機構(gòu)及該第二維度移動機構(gòu)的移動方向相互垂直，該光傳感器設(shè)置于該第一維度移動機構(gòu)，該第二維度移動機構(gòu)設(shè)置并移動這些光源。
【文檔編號】G03F7/20GK204143154SQ201420586851
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年10月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月11日
【發(fā)明者】周坤麟, 何立克 申請人:敘豐企業(yè)股份有限公司