一種顯微鏡物鏡的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種顯微鏡物鏡，包括同光軸設(shè)置的十三片球面玻璃透鏡，從物方至像方依次排列：第一、第二、第三透鏡為膠合透鏡組；第四透鏡面向物方為凹面，面向像方為凸面；第五透鏡面向物方為凸面，面向像方為凸面；第六、第七透鏡為膠合透鏡組；第八、第九透鏡為膠合透鏡組；第十、第十一透鏡為膠合透鏡組；第十二、第十三透鏡為膠合透鏡組。本發(fā)明的顯微鏡物鏡，全部采用球面鏡片，與現(xiàn)有光學(xué)鏡片加工與檢測工藝完全兼容，制造成本低；顯微鏡物鏡可實現(xiàn)高分辨力的成像，具有數(shù)值孔徑大、分辨率高、體積小、加工工藝成熟、成本低等特點。
【專利說明】一種顯微鏡物鏡

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于光學(xué)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種顯微鏡物鏡。

【背景技術(shù)】
[0002] 顯微鏡已成為很多行業(yè)研究必不可少的高科技設(shè)備，在一些精密微型領(lǐng)域廣泛應(yīng) 用，特別在醫(yī)療和科研等中具有不可替代的作用。
[0003] 數(shù)值孔徑（NA)與顯微鏡的其它各個光學(xué)參數(shù)都有密切關(guān)系，一般希望它越大越 好，因此提高數(shù)值孔徑（NA)的大小也是科技發(fā)展的需求；目前世界上已有各類顯微鏡物 鏡，但是目前技術(shù)上能達到的數(shù)值孔徑（NA) -般保持在0.65左右，能夠達到更大數(shù)值孔徑 (NA)的也只有少數(shù)；隨著科技的發(fā)展，目前很多領(lǐng)域開始對更大數(shù)值孔徑（NA)的顯微鏡物 鏡需求增大，因此提高顯微鏡物鏡的數(shù)值孔徑（NA)具有必要的意義。
[0004] 中國專利申請?zhí)枺?01280008900. X，公開了 一份名稱為物鏡及光拾取裝 置的專利，其中所述的物鏡用于光拾取，所述光拾取裝置至少具有射出第一波長 λ 1(390ηπι〈λ l〈420nm)的第一光束的第一光源和物鏡，通過所述物鏡將從所述第一光源射 出的所述第一波長λ 1的第一光束聚光在第一光盤的信息記錄面上，由此進行信息的記錄 和/或再生，所述物鏡具有：第一光學(xué)面，其形成于所述第一光源側(cè)；第二光學(xué)面，其面向所 述第一光學(xué)面而形成，且曲率半徑大于所述第一光學(xué)面；端面，其是從光軸方向觀察時位于 所述第二光學(xué)面外側(cè)且與光軸大致垂直的平面，所述物鏡的像側(cè)數(shù)值孔徑（ΝΑ)為0.7以 上、0.9以下。盡管現(xiàn)對于現(xiàn)有的技術(shù)其數(shù)值孔徑有所提高，但是其數(shù)值孔徑仍然不能滿足 一些領(lǐng)域的需求，同時制造成本高。
[0005] 中國專利號：201410076527. 2,專利名稱為：一種大視場高數(shù)值孔徑的i-line光 刻機投影物鏡，該物鏡共軛距L = 1500mm，鏡片分為四組獨立設(shè)計再整合優(yōu)化；從入射方向 開始依次設(shè)置有第一透鏡組，編號G1，鏡片編號L1?L8,共8枚鏡片，其中第5枚鏡片朝向 物方的入射面為14階非球面；第二透鏡組編號G2,鏡片編號L9?L12,共4枚鏡片、光欄 (STOP)，其中第2枚鏡片朝向物方的入射面為14階非球面；第三透鏡組編號G3,鏡片編號 L13?L17,共5枚鏡片；其中第3枚和第5枚鏡片朝向物方的入射面為14階非球面；以及 第四透鏡組編號G4,鏡片編號L18?L25,共8枚鏡片；其中第8枚朝向物方的入射面為14 階非球面；四個透鏡組總共25枚鏡片關(guān)于光欄對稱構(gòu)成一個雙遠心光路，其中有5個面采 用了低階非球面以平衡像差；四組鏡頭組成雙遠心結(jié)構(gòu)，多個非球面的使用能減少鏡片數(shù) 量并有效校正多種像差，尤其是大視場下的畸變和場曲。盡管采用了雙遠心、25片4組結(jié) 構(gòu)，其中使用了 5個低階非球面來平衡像差，但物鏡的像方有效視場為132X 132mm，像方數(shù) 值孔徑為0. 17。因此多領(lǐng)域?qū)Ω髷?shù)值孔徑（NA)的顯微鏡物鏡需求，提高顯微鏡物鏡的數(shù) 值孔徑（NA)具有必要的意義。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 本發(fā)明的目的是針對多領(lǐng)域?qū)Ω髷?shù)值孔徑（NA)的顯微鏡物鏡需求，提供一種 可實現(xiàn)高數(shù)值孔徑（ΝΑ)以滿足目前各領(lǐng)域需要的顯微鏡物鏡。
[0007] 為了解決上述問題，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下：一種顯微鏡物鏡，包括：同光 軸設(shè)置的十三片球面透鏡，從物方至像方依次排列，從物方至像方的十三片球面透鏡分別 為：第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡、第六透鏡、第七透鏡、第八透鏡、第 九透鏡、第十透鏡、第i 透鏡、第十二透鏡和第十三透鏡；
[0008] 第一透鏡、第二透鏡和第三透鏡組合為膠合透鏡組，其中第一透鏡面向物方為平 面，面向像方為凸面；第二透鏡面向物方為凹面，面向像方為凸面；第三透鏡面向物方為凹 面，面向像方為凸面，第一透鏡面向像方的凸面與第二透鏡面向物方的凹面膠合在一起，第 二透鏡面向像方的凸面與第三透鏡面向物方的凹面膠合在一起；
[0009] 第四透鏡面向物方為凹面，面向像方為凸面；
[0010] 第五透鏡面向物方為凸面，面向像方為凸面；
[0011] 第六透鏡和第七透鏡組合為膠合透鏡組，其中第六透鏡面向物方為平面，面向像 方為凹面；第七透鏡面向物方為凸面，面向像方為凸面，第六透鏡面向像方的凹面與第七透 鏡面向物方的凸面膠合在一起；
[0012] 第八透鏡和第九透鏡組合為膠合透鏡組，其中第八透鏡面向物方為凸面，面向像 方為凸面；第九透鏡面向物方為凹面，面向像方為平面，第八透鏡面向像方的凸面與第九透 鏡面向物方的凹面膠合在一起；
[0013] 第十透鏡、第十一透鏡組合為膠合透鏡組，其中第十透鏡面向物方為凸面，面向像 方為凸面；第十一透鏡面向物方為凹面，面向像方為凹面，第十透鏡面向像方的凸面與第 i^一透鏡面向物方的凹面膠合在一起；
[0014] 第十二透鏡和第十三透鏡組合為膠合透鏡組，其中第十二透鏡面向物方為凸面， 面向像方為凸面；第十三透鏡面向物方為凹面，面向像方為凹面，第十二透鏡面向像方的凸 面與第十三透鏡面向物方的凹面膠合在一起。
[0015] 所述十三個球面透鏡共有二十個鏡面，第一透鏡面向物方的平面為第一鏡面，第 一透鏡和第二透鏡的膠合面為第二鏡面，第二透鏡和第三透鏡的膠合面為第三鏡面，第三 透鏡面向像方的凸面為第四鏡面，第四透鏡的凹面為第五鏡面，第四透鏡的凸面為第六鏡 面，第五透鏡面向物方的凸面為第七鏡面，第五透鏡面向像方的凸面為第八鏡面，第六透鏡 面向物方的平面為第九鏡面，第六透鏡和第七透鏡的膠合面為第十鏡面，第七透鏡面向像 方的凸面為第十一鏡面，第八透鏡面向物方的凸面為第十二鏡面，第八透鏡和第九透鏡的 膠合面為第十三鏡面，第九透鏡面向像方的平面為第十四鏡面，第十透鏡面向物方的凸面 為第十五鏡面，第十透鏡和第十一透鏡的膠合面為第十六鏡面，第十一透鏡面向像方的凹 面為第十七鏡面，第十二透鏡面向物方的凸面為第十八鏡面，第十二透鏡和第十三透鏡的 膠合面為第十九鏡面，第十三透鏡面向像方的凹面為第二十鏡面；
[0016] 二十個鏡面的結(jié)構(gòu)參數(shù)為：
[0017] 第一鏡面為 R1 =⑴、D1 = 0· 479 ?0· 512臟、Ψ1 = 0· 473 ?0· 505mm ;
[0018] 第二鏡面為 R2 =- 1. 085 ?一1. 025mm、D2 = 2. 962 ?3. 030mm、Ψ2 = 0· 675 ? 0. 710mm ;
[0019] 第三鏡面為 R3 =- 3· 221 ?一3. 055mm、D3 = 3· 159 ?3. 232mm、Ψ3 = 2· 437 ? 2. 525mm ；
[0020] 第四鏡面為 R4 = - 4· 845 ?一4. 601mm、D4 = 0· 292 ?0· 321mm、Ψ4 = 4· 049 ? 4. 185mm ；
[0021] 第五鏡面為 R5 =- 16. 451 ?一15. 955mm、D5 = 3· 549 ?3· 635mm、Ψ5 = 5· 052 ? 5. 165mm ；
[0022] 第六鏡面為 R6 = - 8· 219 ?一7· 890mm、D6 = 0· 287 ?0· 308mm、Ψ6 = 5· 883 ? 6.005mm ；
[0023] 第七鏡面為 R7 = 436. 102 ?440. 490mm、D7 = 3· 955 ?4· 040mm、Ψ7 = 6· 609 ? 6.750mm ；
[0024] 第八鏡面為 R8 = - 12. 950 ?一12. 559mm、D8 = 0· 287 ?0· 308mm、Ψ8 = 6· 949 ? 7. 028mm ；
[0025] 第九鏡面為 R9 =⑴、D9 = 1· 175 ?1. 215mm、Ψ9 = 6· 881 ?6. 960mm ;
[0026] 第十鏡面為 RIO = 12. 559 ?12. 950mm、D10 = 4· 939 ?5· 050mm、Ψ 10 = 6· 881 ? 6.970mm ；
[0027] 第^-一鏡面為 Rll = - 22. 621 ?一21. 945mm、Dll = 0· 287 ?0· 308mm、Ψ-- = 7· 163 ?7· 245mm ；
[0028] 第十二鏡面為 R12 = 12. 817 ?13. 352mm、D12 = 5· 536 ?5· 655mm、Ψ 12 = 7· 475 ?7. 560mm ；
[0029] 第十三鏡面為 R13 = - 21. 313 ?一20. 675mm、D13 = 1· 256 ?1· 333mm、Ψ13 = 7· 187 ?7· 260mm ；
[0030] 第十四鏡面為 R14 =⑴、D14 = 0· 287 ?0· 308mm、Ψ14 = 7· 005 ?7· 085mm ;
[0031] 第十五鏡面為 R15 = 7· 387 ?7. 702mm、D15 = 5· 931 ?6. 060mm、Ψ 15 = 6· 527 ? 6. 599mm ；
[0032] 第十六鏡面為 R16 =- 177. 601 ?一175. 825mm、D16 = 1· 353 ?1. 435mm、Ψ16 =5· 478 ?5. 595mm ；
[0033] 第十七鏡面為 R17 = 5· 347 ?5· 632mm、D17 = 1· 749 ?1· 835mm、Ψ 17 = 4· 172 ? 4. 260mm ；
[0034] 第十八鏡面為 R18 = 7· 087 ?7· 389mm、D18 = 5· 931 ?6· 060mm、Ψ 18 = 4· 408 ? 4. 502mm ；
[0035] 第十九鏡面為 R19 = - 10. 295 ?一9· 978mm、D19 = 1· 555 ?1· 632mm、Ψ19 = 3. 499 ?3. 610mm ;
[0036] 第二十鏡面為 R20 = 4· 965 ?5. 230mm、D20 = 147. 489 ?149. 107mm、Ψ 20 = 2· 737 ?2· 855mm。
[0037] 所述物鏡第一透鏡、第二透鏡和第三透鏡組合的膠合透鏡組焦距為17. 12mm，第四 透鏡的焦距為32. 56mm，第五透鏡的焦距為28. 71mm，第六透鏡與第七透鏡組合的膠合透鏡 組焦距為-229. 15mm，第八透鏡與第九透鏡組合的膠合透鏡組焦距為44. 63mm，第十透鏡與 第十一透鏡組合的膠合透鏡組焦距為-23. 11mm，第十二透鏡與第十三透鏡組合的膠合透鏡 組焦距為39. 16臟。
[0038] 所述第一透鏡的折射率/阿貝系數(shù)為1.51680/64. 17,第二透鏡的折射率/阿貝 系數(shù)為1. 75520/27. 53,第三透鏡的折射率/阿貝系數(shù)1. 48746/70. 04,第四透鏡的折射率 /阿貝系數(shù)為1. 43335/94. 52,第五透鏡的折射率/阿貝系數(shù)為1. 43335/94. 52,第六透鏡 的折射率/阿貝系數(shù)為1. 75520/27. 53,第七透鏡的折射率/阿貝系數(shù)為1. 43335/94. 52， 第八透鏡的折射率/阿貝系數(shù)為1.43335/94. 52,第九透鏡的折射率/阿貝系數(shù)為 1. 69211/54. 54,第十透鏡的折射率/阿貝系數(shù)為1. 43335/94. 52,第i^一透鏡的折射率/阿 貝系數(shù)為1. 74693/50. 95,第十二透鏡的折射率/阿貝系數(shù)為1. 75520/27. 53,第十三透鏡 的折射率/阿貝系數(shù)為1. 74693/50. 95。
[0039] 所述的顯微鏡物鏡最大數(shù)值孔徑為1。
[0040] 相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的有益效果為：
[0041] (1)本發(fā)明的顯微鏡物鏡，全部采用球面鏡片，與現(xiàn)有光學(xué)鏡片加工與檢測工藝完 全兼容，制造成本低；
[0042] (2)本發(fā)明給出的二十個鏡面鏡面的結(jié)構(gòu)參數(shù)下可以實現(xiàn)提高顯微鏡物鏡的數(shù)值 孔徑（NA)，顯微鏡物鏡的數(shù)值孔徑（NA)能達到1，完全達到大幅度提高顯微鏡物鏡的數(shù)值 孔徑（NA);
[0043] (3)本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，易于制造。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0044] 圖1是本發(fā)明的顯微鏡物鏡的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0045] 圖2是ZEMAX軟件模擬出本發(fā)明的實施例1參數(shù)下，顯微鏡物鏡的視場的參數(shù)表。
[0046] 圖3、圖4、圖5和圖6是ZEMAX軟件模擬出在圖2數(shù)值孔徑（NA)設(shè)定條件下，顯 微鏡物鏡成像質(zhì)量效果圖。其中圖3為光程差，其橫坐標(biāo)為歸一化孔徑，縱坐標(biāo)為以波數(shù)為 單位的參考主光線的光程差；圖4為單色光的基于衍射的能量集中度，其橫坐標(biāo)為衍射光 斑的半徑，縱坐標(biāo)為當(dāng)前半徑內(nèi)的能量占總能量的百分比；圖5為多色光光學(xué)傳遞函數(shù)，其 橫坐標(biāo)為空間頻率，縱坐標(biāo)為傳遞函數(shù)值；圖6為波相差，其為實際波面與參考球面之間的 光程差。
[0047] 附圖標(biāo)記：L1-第一透鏡；L2-第二透鏡；L3-第三透鏡；L4-第四透鏡；L5-第五透 鏡；L6-第六透鏡；L7-第七透鏡；L8-第八透鏡；L9-第九透鏡；L10-第十透鏡；L11-第十一 透鏡；L12-第十二透鏡；L13-第十三透鏡。

【具體實施方式】
[0048] 下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明進行詳細描述。
[0049] 如圖1所示，一種顯微鏡物鏡，包括同光軸設(shè)置的十三片球面透鏡，從物方至像方 依次排列，從物方至像方的十三片球面透鏡分別為：第一透鏡L1、第二透鏡L2、第三透鏡 L3、第四透鏡L4、第五透鏡L5、第六透鏡L6、第七透鏡L7、第八透鏡L8、第九透鏡L9、第十透 鏡L10、第i^一透鏡L11、第十二透鏡L12和第十三透鏡L13。
[0050] 第一透鏡L1、第二透鏡L2和第三透鏡L3組合為膠合透鏡組，其中第一透鏡L1面 向物方為平面，面向像方為凸面；第二透鏡L2面向物方為凹面，面向像方為凸面；第三透鏡 L3面向物方為凹面，面向像方為凸面。第一透鏡L1面向像方的凸面與第二透鏡L2面向物 方的凹面膠合在一起，第二透鏡L2面向像方的凸面與第三透鏡L3面向物方的凹面膠合在 一起。
[0051] 第四透鏡L4面向物方為凹面，面向像方為凸面。
[0052] 第五透鏡L5面向物方為凸面，面向像方為凸面。
[0053] 第六透鏡L6和第七透鏡L7組合為膠合透鏡組，其中第六透鏡L6面向物方為平 面，面向像方為凹面；第七透鏡L7面向物方為凸面，面向像方為凸面。第六透鏡L6面向像 方的凹面與第七透鏡L7面向物方的凸面膠合在一起。
[0054] 第八透鏡L8和第九透鏡L9組合為膠合透鏡組，其中第八透鏡L8面向物方為凸 面，面向像方為凸面；第九透鏡L9面向物方為凹面，面向像方為平面。第八透鏡L8面向像 方的凸面與第九透鏡L9面向物方的凹面膠合在一起；
[0055] 第十透鏡L10、第^^一透鏡L11組合為膠合透鏡組，其中第十透鏡L10面向物方為 凸面，面向像方為凸面；第i^一透鏡L11面向物方為凹面，面向像方為凹面；第十透鏡L10 面向像方的凸面與第i^一透鏡L11面向物方的凹面膠合在一起。
[0056] 第十二透鏡L12和第十三透鏡L13組合為膠合透鏡組，其中第十二透鏡L12面向 物方為凸面，面向像方為凸面；第十三透鏡L13面向物方為凹面，面向像方為凹面。第十二 透鏡L12面向像方的凸面與第十三透鏡L13面向物方的凹面膠合在一起。
[0057] 上述十三個透鏡共有二十個鏡面，第一透鏡L1面向物方的平面為第一鏡面，第一 透鏡L1和第二透鏡L2的膠合面為第二鏡面，第二透鏡L2和第三透鏡L3的膠合面為第三 鏡面，第三透鏡L3面向像方的凸面為第四鏡面，第四透鏡L4的凹面為第五鏡面，第四透鏡 L4的凸面為第六鏡面，第五透鏡L5面向物方的凸面為第七鏡面，第五透鏡L5面向像方的 凸面為第八鏡面，第六透鏡L6面向物方的平面為第九鏡面，第六透鏡L6和第七透鏡L7的 膠合面為第十鏡面，第七透鏡L7面向像方的凸面為第十一鏡面，第八透鏡L8面向物方的凸 面為第十二鏡面，第八透鏡L8和第九透鏡（L9)的膠合面為第十三鏡面，第九透鏡L9面向 像方的平面為第十四鏡面，第十透鏡L10面向物方的凸面為第十五鏡面，第十透鏡L10和第 十一透鏡L11的膠合面為第十六鏡面，第十一透鏡L11面向像方的凹面為第十七鏡面，第 十二透鏡L12面向物方的凸面為第十八鏡面，第十二透鏡L12和第十三透鏡L13的膠合面 為第十九鏡面，第十三透鏡（L13)面向像方的凹面為第二十鏡面；二十個鏡面的結(jié)構(gòu)參數(shù) 范圍見表1。其中R1為第一鏡面的曲率半徑；D1為第一鏡面的鏡面距離；Ψ1為第一鏡面 的有效通光孔徑，R2-R20、D2-D20以及Ψ2-Ψ20的含義依次類推。
[0058] 表1二十個鏡面的結(jié)構(gòu)參數(shù)范圍
[0059]

【權(quán)利要求】
1. 一種顯微鏡物鏡，其特征在于：包括同光軸設(shè)置的十三片球面透鏡，從物方至像方 依次排列，從物方至像方的十三片球面透鏡分別為：第一透鏡（L1)、第二透鏡（L2)、第三透 鏡（L3)、第四透鏡（L4)、第五透鏡（L5)、第六透鏡（L6)、第七透鏡（L7)、第八透鏡（L8)、第 九透鏡（L9)、第十透鏡（L10)、第^ 透鏡（L11)、第十二透鏡（L12)和第十三透鏡（L13); 第一透鏡（L1)、第二透鏡（L2)和第三透鏡（L3)組合為膠合透鏡組，其中第一透鏡 (L1)面向物方為平面，面向像方為凸面；第二透鏡（L2)面向物方為凹面，面向像方為凸面； 第三透鏡（L3)面向物方為凹面，面向像方為凸面， 第一透鏡（L1)面向像方的凸面與第二透鏡（L2)面向物方的凹面膠合在一起， 第二透鏡（L2)面向像方的凸面與第三透鏡（L3)面向物方的凹面膠合在一起； 第四透鏡（L4)面向物方為凹面，面向像方為凸面； 第五透鏡（L5)面向物方為凸面，面向像方為凸面； 第六透鏡（L6)和第七透鏡（L7)組合為膠合透鏡組，其中第六透鏡（L6)面向物方為平 面，面向像方為凹面；第七透鏡（L7)面向物方為凸面，面向像方為凸面，第六透鏡（L6)面向 像方的凹面與第七透鏡（L7)面向物方的凸面膠合在一起； 第八透鏡（L8)和第九透鏡（L9)組合為膠合透鏡組，其中第八透鏡（L8)面向物方為凸 面，面向像方為凸面；第九透鏡（L9)面向物方為凹面，面向像方為平面，第八透鏡（L8)面向 像方的凸面與第九透鏡（L9)面向物方的凹面膠合在一起； 第十透鏡（L10)、第十一透鏡（L11)組合為膠合透鏡組，其中第十透鏡（L10)面向物方 為凸面，面向像方為凸面；第i^一透鏡（L11)面向物方為凹面，面向像方為凹面，第十透鏡 (L10)面向像方的凸面與第十一透鏡（L11)面向物方的凹面膠合在一起； 第十二透鏡（L12)和第十三透鏡（L13)組合為膠合透鏡組，其中第十二透鏡（L12)面 向物方為凸面，面向像方為凸面；第十三透鏡（L13)面向物方為凹面，面向像方為凹面，第 十二透鏡（L12)面向像方的凸面與第十三透鏡（L13)面向物方的凹面膠合在一起。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡物鏡，其特征在于：所述十三個球面透鏡共有二十個 鏡面，第一透鏡（L1)面向物方的平面為第一鏡面，第一透鏡（L1)和第二透鏡（L2)的膠合 面為第二鏡面，第二透鏡（L2)和第三透鏡（L3)的膠合面為第三鏡面，第三透鏡（L3)面向 像方的凸面為第四鏡面，第四透鏡（L4)的凹面為第五鏡面，第四透鏡（L4)的凸面為第六鏡 面，第五透鏡（L5)面向物方的凸面為第七鏡面，第五透鏡（L5)面向像方的凸面為第八鏡 面，第六透鏡（L6)面向物方的平面為第九鏡面，第六透鏡（L6)和第七透鏡（L7)的膠合面 為第十鏡面，第七透鏡（L7)面向像方的凸面為第十一鏡面，第八透鏡（L8)面向物方的凸 面為第十二鏡面，第八透鏡（L8)和第九透鏡（L9)的膠合面為第十三鏡面，第九透鏡（L9) 面向像方的平面為第十四鏡面，第十透鏡（L10)面向物方的凸面為第十五鏡面，第十透鏡 (L10)和第十一透鏡（L11)的膠合面為第十六鏡面，第十一透鏡（L11)面向像方的凹面為第 十七鏡面，第十二透鏡（L12)面向物方的凸面為第十八鏡面，第十二透鏡（L12)和第十三透 鏡（L13)的膠合面為第十九鏡面，第十三透鏡（L13)面向像方的凹面為第二十鏡面； 二十個鏡面的結(jié)構(gòu)參數(shù)為： 第一鏡面為 R1 =⑴、D1 = 0· 479 ?0· 512臟、Ψ 1 = 0· 473 ?0· 505mm ; 第二鏡面為 R2 = - 1. 085 ?一1. 025mm、D2 = 2· 962 ?3. 030mm、Ψ 2 = 0· 675 ? 0. 710mm ; 第三鏡面為 R3 = - 3· 221 ?一3. 055mm、D3 = 3· 159 ?3. 232mm、Ψ3 = 2· 437 ? 2. 525mm ； 第四鏡面為 R4 = - 4· 845 ?一4· 601mm、D4 = 0· 292 ?0· 321mm、Ψ4 = 4· 049 ? 4. 185mm ； 第五鏡面為 R5 = - 16. 451 ?一15. 955mm、D5 = 3· 549 ?3· 635mm、= 5· 052 ? 5. 165mm ； 第六鏡面為 R6 = - 8· 219 ?一7· 890mm、D6 = 0· 287 ?0· 308mm、Ψ6 = 5· 883 ? 6.005mm ； 第七鏡面為 R7 = 436. 102 ?440. 490mm、D7 = 3· 955 ?4· 040mm、Ψ 7 = 6· 609 ? 6.750mm ； 第八鏡面為 R8 = - 12. 950 ?一12. 559mm、D8 = 0· 287 ?0· 308mm、Ψ8 = 6· 949 ? 7. 028mm ； 第九鏡面為 R9 =⑴、D9 = 1· 175 ?1. 215mm、Ψ9 = 6· 881 ?6. 960mm ; 第十鏡面為 Rl〇 = 12. 559 ?12. 950mm、DIO = 4· 939 ?5· 050mm、Ψ 10 = 6· 881 ? 6.970mm ； 第十一鏡面為 Rll = - 22.621 ?一21.945mm、Dll = 0.287 ?0.308mm、Ψ 11 = 7· 163 ?7· 245mm ； 第十二鏡面為 R12 = 12. 817 ?13. 352mm、D12 = 5· 536 ?5· 655mm、Ψ 12 = 7· 475 ? 7. 560mm ； 第十三鏡面為 R13 = - 21. 313 ?一20. 675mm、D13 = 1· 256 ?1. 333mm、Ψ 13 = 7· 187 ?7. 260mm ； 第十四鏡面為 R14 =m、D14 = 0· 287 ?0· 308mm、Ψ14 = 7· 005 ?7· 085mm ; 第十五鏡面為 R15 = 7· 387 ?7· 702mm、D15 = 5· 931 ?6· 060mm、Ψ15 = 6· 527 ? 6. 599mm ； 第十六鏡面為 R16 = - 177. 601 ?一175. 825mm、D16 = 1· 353 ?1· 435mm、Ψ 16 = 5· 478 ?5· 595mm ； 第十七鏡面為 R17 = 5· 347 ?5· 632mm、D17 = 1· 749 ?1· 835mm、Ψ17 = 4· 172 ? 4. 260mm ； 第十八鏡面為 R18 = 7· 087 ?7. 389mm、D18 = 5· 931 ?6. 060mm、Ψ18 = 4· 408 ? 4. 502mm ； 第十九鏡面為 R19 = - 10. 295 ?一9. 978mm、D19 = 1· 555 ?1. 632mm、Ψ 19 = 3· 499 ? 3. 610mm ； 第二十鏡面為 R20 = 4· 965 ?5· 230mm、D20 = 147. 489 ?149. 107mm、Ψ20 = 2· 737 ? 2· 855mm〇
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種顯微鏡物鏡，其特征在于：所述物鏡第一透鏡（L1)、第 二透鏡（L2)和第三透鏡（L3)組合的膠合透鏡組焦距為17. 12mm，第四透鏡（L4)的焦距 為32. 56mm，第五透鏡（L5)的焦距為28. 71mm，第六透鏡（L6)與第七透鏡（L7)組合的膠 合透鏡組焦距為-229. 15mm，第八透鏡（L8)與第九透鏡（L9)組合的膠合透鏡組焦距為 44. 63mm，第十透鏡（L10)與第^^一透鏡（L11)組合的膠合透鏡組焦距為-23. 11mm，第十二 透鏡（L12)與第十三透鏡（L13)組合的膠合透鏡組焦距為39. 16mm。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顯微鏡物鏡，其特征在于：所述第一透鏡（L1)的折射 率/阿貝系數(shù)為1. 51680/64. 17,第二透鏡（L2)的折射率/阿貝系數(shù)為1. 75520/27. 53,第 三透鏡（L3)的折射率/阿貝系數(shù)1.48746/70. 04,第四透鏡（L4)的折射率/阿貝系數(shù)為 1. 43335/94. 52,第五透鏡（L5)的折射率/阿貝系數(shù)為1. 43335/94. 52,第六透鏡（L6)的折 射率/阿貝系數(shù)為1. 75520/27. 53,第七透鏡（L7)的折射率/阿貝系數(shù)為1. 43335/94. 52， 第八透鏡（L8)的折射率/阿貝系數(shù)為1.43335/94. 52,第九透鏡（L9)的折射率/阿貝系 數(shù)為1.69211/54. 54,第十透鏡（L10)的折射率/阿貝系數(shù)為1.43335/94. 52,第i^一透鏡 (L11)的折射率/阿貝系數(shù)為1.74693/50. 95,第十二透鏡（L12)的折射率/阿貝系數(shù)為 1. 75520/27. 53,第十三透鏡（L13)的折射率/阿貝系數(shù)為1. 74693/50. 95。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項所述的一種顯微鏡物鏡，其特征在于：所述的顯微 鏡物鏡最大數(shù)值孔徑為1。
【文檔編號】G02B21/02GK104280870SQ201410599100
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年10月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月29日
【發(fā)明者】文里云, 迪米特 申請人:南京恒磊光學(xué)技術(shù)研究有限公司