一種用于光刻膠剝離的剝離液的制作方法
【專利摘要】本申請公開了一種用于光刻膠剝離的剝離液。本申請剝離液包括重量份2-15％有機(jī)胺化合物、75-97.5％有機(jī)溶劑和0.2-10％添加劑；有機(jī)胺化合物為MEA、DEA、TEA、MMEA和MDEA中至少兩種；有機(jī)溶劑由二乙醇類溶劑和酰胺類溶劑組成，前者選自BDG、甲基卡必醇、二乙二醇叔丁基醚和二乙二醇乙醚的至少一種，后者選自NMF、DMF和DMAC的至少一種；添加劑為環(huán)己醇六磷酸脂、氨基酸的堿鹽、BTA、1-HBTA、TACM和DMNA的至少一種。本申請的剝離液，用兩種以上有機(jī)胺與混合溶劑配合使用，剝離快；添加劑能防止金屬腐蝕，和機(jī)溶劑都有較好的親水性，可避免光刻膠再附著、殘留，且環(huán)境污染小。
【專利說明】一種用于光刻膠剝離的剝離液

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本申請涉及光刻膠領(lǐng)域，特別是涉及一種用于光刻膠剝離的剝離液。

【背景技術(shù)】
[0002] 光刻膠又稱光致抗蝕劑，主要由感光樹脂、增感劑和溶劑三種成分組成。感光樹脂 經(jīng)光照后，在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng)，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、 親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)曝光、顯影、刻蝕、擴(kuò)散、離子注入、金屬沉積等工藝將所需的微 細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移至加工的基板上、最后通過去膠剝離液將未曝光部分余下的光刻膠清 洗掉，從而完成整個(gè)圖形轉(zhuǎn)移過程。
[0003] 但是，現(xiàn)有的剝離液大都存在著腐蝕金屬配線、光刻膠殘留、環(huán)境污染、影響操作 人員安全性、剝離效果差等問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本申請的目的是提供一種改進(jìn)的用于光刻膠剝離的剝離液。
[0005] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請采用了以下技術(shù)方案：
[0006] 本申請公開了一種用于光刻膠剝離的剝離液，該剝離液的主要作用成分由重量份 2-15%的有機(jī)胺化合物、75-97. 5 %的有機(jī)溶劑和0. 2-10 %的添加劑組成；有機(jī)胺化合物 選自乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-甲基單乙醇胺和N-甲基二乙醇胺中的至少兩種；有 機(jī)溶劑由二乙醇類溶劑和酰胺類溶劑混合而成，二乙醇類溶劑選自二乙二醇單丁醚、二乙 二醇甲醚、二乙二醇叔丁基醚和二乙二醇乙醚中的至少一種，酰胺類溶劑選自N-甲基甲酰 胺、N，N-二甲基甲酰胺和二甲基乙酰胺中的至少一種；添加劑選自環(huán)己醇六磷酸脂、氨基 酸的堿鹽、苯并三氮唑、1-羥基苯并三氮唑、3-羥基甲酯-1，2, 4-三氮唑和二巰基噻二唑二 鈉鹽中的至少一種。
[0007] 優(yōu)選的，有機(jī)溶劑由30-80重量份的二乙醇類溶劑和10-60重量份的酰胺類溶劑 混合而成。
[0008] 優(yōu)選的，有機(jī)胺化合物由乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺組成。
[0009] 優(yōu)選的，有機(jī)溶劑由二乙二醇甲醚和N-甲基甲酰胺混合而成。
[0010] 優(yōu)選的，添加劑由環(huán)己醇六磷酸脂和3-羥基甲酯-1，2, 4-三氮唑組成。
[0011] 由于采用以上技術(shù)方案，本申請的有益效果在于：
[0012] 本申請的剝離液，創(chuàng)造性的將至少兩種有機(jī)胺化合物一起，配合采用二乙醇類溶 劑和酰胺類溶劑組成的混合有機(jī)溶劑使用，有效的提高了剝離速度，防止因長時(shí)間作用導(dǎo) 致殘留物滲透到要形成的圖形層中影響終端產(chǎn)品的質(zhì)量，獲得了更好的剝離效果。同時(shí)，本 申請的有機(jī)溶劑不僅具有較好的溶解性，同時(shí)親水性強(qiáng)，在配線工藝時(shí)可以避免光刻膠的 再附著，避免了光刻膠殘留。此外，本申請的剝離液中的添加劑，不僅具有很好的緩蝕作用， 能有效的防止金屬配線腐蝕。本申請的剝離液中有機(jī)溶劑和添加劑都是屬于水溶性成份， 不會(huì)造成殘留，對環(huán)境污染小。

【具體實(shí)施方式】
[0013] 現(xiàn)有的剝離液都是單獨(dú)一種有機(jī)胺化合物和單獨(dú)一種有機(jī)溶劑配合使用，本申請 經(jīng)過大量試驗(yàn)，創(chuàng)造性的發(fā)現(xiàn)，對于一些特殊的有機(jī)胺化合物和有機(jī)溶劑而言，兩種或兩種 以上有機(jī)胺化合物配合使用，同時(shí)，采用二乙醇類溶劑和酰胺類溶劑組成的混合有機(jī)溶劑， 能夠有效的提高剝離速度，并且具有更好的剝離效果；這些特殊的有機(jī)胺化合物包括乙醇 胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-甲基單乙醇胺和N-甲基二乙醇胺。
[0014] 與此同時(shí)，為了防止金屬配線腐蝕，本申請?jiān)趧冸x液中加入了特殊的添加劑，添 加劑與有機(jī)胺化合物和有機(jī)溶劑相配合，在不影響剝離速度和剝離效果的情況下，能夠有 效的防止金屬配線被腐蝕；這些添加劑包括環(huán)己醇六磷酸脂、氨基酸的堿鹽、苯并三氮唑、 1-羥基苯并三氮唑、3-羥基甲酯-1，2, 4-三氮唑和二巰基噻二唑二鈉鹽。
[0015] 需要說明的是，本申請的剝離液中，除了有機(jī)胺化合物、有機(jī)溶劑和添加劑組成的 主要作用成分以外，余量為去離子水。本申請中，MEA為乙醇胺的縮寫，DEA為二乙醇胺的 縮寫，TEA為三乙醇胺的縮寫，BDG為二乙二醇單丁醚的縮寫，NMF為N-甲基甲酰胺的縮寫， DMF為N，N-二甲基甲酰胺的縮寫，BTA為苯并三氮唑的縮寫，I-HBTA為1-羥基苯并三氮唑 的縮寫，TACM為3-羥基甲酯-1，2, 4-三氮唑的縮寫，DMNA為二巰基噻二唑二鈉鹽的縮寫， MMEA為N-甲基單乙醇胺的縮寫，MDEA為N-甲基二乙醇胺的縮寫，DMAC為二甲基乙酰胺的 縮寫，甲基卡必醇即二乙二醇甲醚。
[0016]下面通過具體實(shí)施例對本申請作進(jìn)一步詳細(xì)說明。以下實(shí)施例僅對本申請進(jìn)行進(jìn) 一步說明，不應(yīng)理解為對本申請的限制。
[0017]實(shí)施例
[0018]本例采用現(xiàn)有技術(shù)制作帶有光刻膠的基板，將所制備的帶有光刻膠的基板分別浸 漬在試驗(yàn)組的剝離液中，剝離液溫度60°C，浸泡5min，然后用純水進(jìn)行漂洗處理，各試驗(yàn)組 的組分和用量詳見表2。剝離結(jié)果參考常規(guī)的金屬防腐蝕性和剝離性評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行，金屬防 腐蝕性和剝離性評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)見表1，剝離結(jié)果見表2。本例各試驗(yàn)組中余量為去離子水。
[0019] 表1剝離液效果評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)
[0020]

【權(quán)利要求】
1. 一種用于光刻膠剝離的剝離液，其特征在于：所述剝離液的主要作用成分由重量份 2-15%的有機(jī)胺化合物、75-97. 5%的有機(jī)溶劑和0. 2-10%的添加劑組成； 所述有機(jī)胺化合物選自乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-甲基單乙醇胺和N-甲基二乙 醇胺中的至少兩種； 所述有機(jī)溶劑由二乙醇類溶劑和酰胺類溶劑混合而成，所述二乙醇類溶劑選自二乙二 醇單丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇叔丁基醚和二乙二醇乙醚中的至少一種，所述酰胺類溶 齊U選自N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺和二甲基乙酰胺中的至少一種； 所述添加劑選自環(huán)己醇六磷酸脂、氨基酸的堿鹽、苯并三氮唑、1-羥基苯并三氮唑、 3_羥基甲酯-1，2, 4-三氮唑和二巰基噻二唑二鈉鹽中的至少一種。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液，其特征在于：所述有機(jī)溶劑由30-80重量份的二乙 醇類溶劑和10-60重量份的酰胺類溶劑混合而成。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液，其特征在于：所述有機(jī)胺化合物由乙醇胺、二乙醇 胺、三乙醇胺組成。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液，其特征在于：所述有機(jī)溶劑由二乙二醇甲醚和N-甲 基甲酰胺混合而成。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液，其特征在于：所述添加劑由環(huán)己醇六磷酸脂和3-羥 基甲酯-1，2, 4-三氮唑組成。
【文檔編號(hào)】G03F7/42GK104317172SQ201410525218
【公開日】2015年1月28日 申請日期:2014年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月30日
【發(fā)明者】鄢艷華, 康威 申請人:深圳新宙邦科技股份有限公司