感光性樹脂組合物和電子裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種耐化學藥品性與感光性樹脂組合物所要求的其他特性之間的平衡優(yōu)異的感光性樹脂組合物和具有該感光性樹脂組合物的電子裝置。所述感光性樹脂組合物包含下述式（1)所示的聚合物（第一聚合物）、與該聚合物進行交聯(lián)的第一交聯(lián)劑、作為含有與上述聚合物或上述第一交聯(lián)劑進行交聯(lián)的反應性基團的第二交聯(lián)劑的丙烯酸樹脂，以及感光劑。聚合物中的摩爾含有率，1+m=1，n為0、1或2。[^、^、化和R4分別獨立地表示氫或碳數(shù)1?30的有機基團，A是由下述式(2a)、（2b)、（2c)或(2d)所示的結(jié)構(gòu)單元）式(2b)中，R5、R6和R7分別獨立地表示碳數(shù)1?18的有機基團）。
【專利說明】感光性樹脂組合物和電子裝置
【技術(shù)領域】
[0001] 本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物和電子裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 在形成半導體集成電路等微細電路圖案時，利用光刻技術(shù)。在光刻技術(shù)中，為了形 成抗蝕圖案，使用感光性樹脂組合物。例如，專利文獻1中公開了一種含有聚合物和感光劑 的感光性樹脂組合物。而且還公開，聚合物具有由環(huán)狀脂肪烴骨架構(gòu)成的單元和來自馬來 酸酐的單元，是對來自馬來酸酐的單元的酸酐環(huán)進行水解后的產(chǎn)物。
[0003] 專利文獻：
[0004] 專利文獻1 :日本特開平2-146045號公報
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005] 近年，也對將感光性樹脂組合物用于半導體裝置的層間絕緣膜、包覆液晶顯示裝 置的TFT電極的平坦化膜進行了研究。
[0006] 這種情況下，在產(chǎn)品的制造過程中，有時會將感光性樹脂組合物浸漬到規(guī)定的溶 劑中。因此，要求感光性樹脂組合物具有即使浸漬到溶劑中、膜厚也不易變動的改善的耐化 學藥品性。
[0007] 上述專利文獻1的感光性樹脂組合物的耐化學藥品性不充分。
[0008] 本
【發(fā)明者】為了提高耐化學藥品性，提出了將與聚合物進行交聯(lián)的交聯(lián)劑添加到感 光性樹脂組合物中的方案。但后來發(fā)現(xiàn)，在僅通過增加交聯(lián)劑的量來提高耐化學藥品性的 情況下，感光性樹脂組合物所要求的其他特性、例如感光性樹脂組合物的固化膜的柔軟性 等會劣化。
[0009] 本發(fā)明提供耐化學藥品性和感光性樹脂組合物所要求的其他特性之間的平衡優(yōu) 異的感光性樹脂組合物。
[0010] 根據(jù)本發(fā)明，提供一種感光性樹脂組合物，其含有下述式（1)表示的聚合物、
[0011] 與該聚合物進行交聯(lián)的第一交聯(lián)劑、
[0012] 為含有與上述聚合物或上述第一交聯(lián)劑進行交聯(lián)的反應性基團的第二交聯(lián)劑的 丙烯酸樹脂、
[0013] 感光劑，
[0014] 〔化學式1〕
[0015]
【權(quán)利要求】
1. 感光性樹脂組合物，包含下述式（1)所示的聚合物、 與該聚合物交聯(lián)的第一交聯(lián)劑、 為含有與所述聚合物或所述第一交聯(lián)劑交聯(lián)的反應性基團的第二交聯(lián)劑的丙烯酸樹 脂、 感光劑， 〔化學式1〕
式（1)中，1和m表示聚合物中的摩爾含有率，l+m= 1，η為0、1或2, &、1?2、1?3和1?4 分別獨立地表示氫或碳數(shù)1?30的有機基團，Α是由下述式（2a)、（2b)、（2c)或（2d)所示 的結(jié)構(gòu)單元， 〔化學式2〕
式（2a)和式（2b)中，R5、R6和R7分別獨立地表示碳數(shù)1?18的有機基團。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述聚合物具有式（2a)所 示的結(jié)構(gòu)單元， 所述第一交聯(lián)劑具有環(huán)狀醚基， 所述第二交聯(lián)劑為具有與所述環(huán)狀醚基或所述式（2a)中所含的羧基反應的反應性基 團的丙烯酸樹脂。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述第二交聯(lián)劑含有羧基 作為所述反應性基團。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述第一交聯(lián)劑為環(huán)氧化 合物。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述第二交聯(lián) 劑為含有碳環(huán)的丙烯酸樹脂。
6. 電子裝置，具有權(quán)利要求1?5中任一項所述的感光性樹脂組合物的固化膜。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子裝置，其特征在于，所述感光性樹脂組合物的所述固化 膜為在液晶顯示裝置中設置在形成在基板上的晶體管上、配置在所述晶體管和液晶層之間 的平坦化膜。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子裝置，其特征在于，所述感光性樹脂組合物的所述固化 膜是設置在設在半導體裝置的半導體基板上的多層配線層和再配線層之間的層間絕緣膜。
【文檔編號】G03F7/004GK104216222SQ201410230856
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年5月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月29日
【發(fā)明者】池田陽雄, 大西治, 今村裕治, 田頭宣雄 申請人:住友電木株式會社