負(fù)型感光性樹脂組合物、電子裝置和聚合物的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供分辨率與圖案形成所花費(fèi)的時(shí)間的平衡優(yōu)異的負(fù)型感光性樹脂組合物、電子裝置、聚合物。本發(fā)明提供一種負(fù)型感光性樹脂組合物，包含聚合物和光自由基聚合引發(fā)劑，該聚合物包含以下(1)和(2a)所示的重復(fù)單元，式(2a)的R5具有自由基聚合性基團(tuán)且為碳原子數(shù)2?18的有機(jī)基團(tuán)。(式X~KOHoR4丨卜R’\&R2(1)%(2a)⑴中，匕為為和!^各自獨(dú)立地為氫或碳原子數(shù)1?30的有機(jī)基團(tuán)。n為0、1或2)
【專利說明】負(fù)型感光性樹脂組合物、電子裝置和聚合物

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及負(fù)型感光性樹脂組合物、電子裝置和聚合物。

【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體集成電路、平板顯示器（FPD)的顯示面板等的制造過程中，為了形成微 細(xì)元件或進(jìn)行微細(xì)加工，可利用光刻技術(shù)。
[0003] 在光刻技術(shù)中使用感光性樹脂組合物。在專利文獻(xiàn)1中公開了包含聚合物和感光 劑的感光性樹脂組合物。公開了上述聚合物具有由環(huán)狀脂肪烴骨架構(gòu)成的單元和來源于馬 來酸酐的單元，是將來源于馬來酸酐的單元的酸酐環(huán)水解而得的聚合物。
[0004] 在該專利文獻(xiàn)1中，使感光性樹脂組合物為負(fù)型時(shí)，可使用雙疊氮系感光劑，但為 低曝光靈敏度，且分辨率也不充分。
[0005] 因此，為了使負(fù)型的感光性樹脂組合物的分辨率提高，可實(shí)施下述方法，即在曝光 部分使酸產(chǎn)生進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)，在曝光后，施行被稱為曝光后烘烤（PEB)處理的加熱處理。通 過該加熱處理，所產(chǎn)生的酸擴(kuò)散而進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)，提高負(fù)型感光性樹脂組合物的分辨率。在 該曝光后烘烤（PEB)處理后進(jìn)行顯影，形成規(guī)定的圖案。
[0006] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007] 專利文獻(xiàn)
[0008] 專利文獻(xiàn)1:日本特開平2-146045號公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 然而，在這種方法中，曝光后必須充分地進(jìn)行曝光后烘烤（PEB)處理，為了形成圖 案而需要時(shí)間。
[0010] 因此，尋求分辨率與圖案形成所花費(fèi)的時(shí)間的平衡優(yōu)異的負(fù)型感光性樹脂組合 物。
[0011] 本發(fā)明的發(fā)明人等使用以下聚合物，使其進(jìn)行自由基聚合，從而發(fā)現(xiàn)分辨率優(yōu)異 且可縮短圖案形成工序所花費(fèi)的時(shí)間的負(fù)型感光性樹脂組合物。
[0012] 即，根據(jù)本發(fā)明，提供一種負(fù)型感光性樹脂組合物，包含聚合物和光自由基聚合引 發(fā)劑，
[0013] 所述聚合物包含以下（1)和（2a)所示的重復(fù)單元，式（2a)的R5具有自由基聚合 性基團(tuán)且為碳原子數(shù)2?18的有機(jī)基團(tuán)。
[0014]

【權(quán)利要求】
1. 一種負(fù)型感光性樹脂組合物，包含聚合物和光自由基聚合引發(fā)劑， 所述聚合物包含以下（1)和（2a)所示的重復(fù)單元，式（2a)的R5具有自由基聚合性基 團(tuán)且為碳原子數(shù)2?18的有機(jī)基團(tuán)，
式（1)中，札、R2、R3和R4各自獨(dú)立地為氫或碳原子數(shù)1?30的有機(jī)基團(tuán)，η為0、1或 2〇
2. 如權(quán)利要求1所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，所述聚合物包含以下（2b)所示 的重復(fù)單元，
3. 如權(quán)利要求1所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，所述R5在末端具有碳-碳雙鍵。
4. 如權(quán)利要求1所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，所述R5包含乙烯基、亞乙烯基、 丙烯?；?、甲基丙烯?；械娜我环N基團(tuán)。
5. 如權(quán)利要求1所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，包含利用所述光自由基聚合引 發(fā)劑而與所述聚合物交聯(lián)的第一交聯(lián)劑。
6. 如權(quán)利要求5所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，所述第一交聯(lián)劑是具有2個(gè)以上 (甲基）丙烯酰基的多官能丙烯?；衔铩?br> 7. 如權(quán)利要求1?6中任一項(xiàng)所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，包含具有環(huán)狀醚基 的第二交聯(lián)劑。
8. -種電子裝置，具有使權(quán)利要求1?7中任一項(xiàng)所述的負(fù)型感光性樹脂組合物固化 而得到的永久膜。
9. 如權(quán)利要求8所述的電子裝置，其中，所述負(fù)型感光性樹脂組合物的所述永久膜是 在液晶顯示裝置中在形成于基板上的晶體管上設(shè)置且配置在所述晶體管與液晶層之間的 平坦化膜。
10. 如權(quán)利要求8所述的電子裝置，其中，所述負(fù)型感光性樹脂組合物的所述永久膜用 作在設(shè)置于半導(dǎo)體裝置的半導(dǎo)體基板上的多層配線層與再配線層之間設(shè)置的層間絕緣膜。
11. 一種聚合物，包含以下（l)、（2a)所示的重復(fù)單元，式（2a)的馬具有自由基聚合性 基團(tuán)且為碳原子數(shù)2?18的有機(jī)基團(tuán)，
式（1)中，札、R2、R3和R4各自獨(dú)立地為氫或碳原子數(shù)1?30的有機(jī)基團(tuán)，η為0、1或 2〇
12. 如權(quán)利要求11所述的聚合物，其中，包含以下（2b)所示的重復(fù)單元，
〇
13. 如權(quán)利要求11所述的聚合物，其中，該聚合物是負(fù)型感光性樹脂組合物用的聚合 物。
14. 如權(quán)利要求11所述的聚合物，其中，所述R5在末端具有碳-碳雙鍵。
15. 如權(quán)利要求11?14中任一項(xiàng)所述的聚合物，其中，所述R5包含乙烯基、亞乙烯基、 丙烯?；⒓谆；械娜我环N基團(tuán)。
【文檔編號】G03F7/004GK104216228SQ201410228802
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年5月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月29日
【發(fā)明者】大西治, 池田陽雄 申請人:住友電木株式會(huì)社