光學(xué)濾波器裝置、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種光學(xué)濾波器裝置、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備。該光學(xué)濾波器裝置具備：殼體，具有能使光射入內(nèi)側(cè)的光通過孔；光圈，設(shè)置于殼體的外側(cè)，用于限制向光通過孔射入的光；以及干涉濾波器，設(shè)置于殼體的內(nèi)側(cè)，具備固定反射膜以及與固定反射膜相對的可動(dòng)反射膜，其中，在從膜厚方向觀察固定反射膜以及可動(dòng)反射膜的俯視觀察中，光圈的開口、光通過孔和固定反射膜以及可動(dòng)反射膜被設(shè)置為重疊，在將靠近光通過孔的固定反射膜的直徑設(shè)為Φm、將光通過孔的口徑設(shè)為Φp、將光圈的開口直徑設(shè)為Φa時(shí)，滿足Φa<Φm<Φp的關(guān)系。
【專利說明】光學(xué)濾波器裝置、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及光學(xué)濾波器裝置、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù)中，已知有在一對基板的彼此相對的面上隔著規(guī)定間隙分別相對配置有反射膜的干涉濾波器。此外，還已知有將這樣的干涉濾波器收納于殼體內(nèi)的光學(xué)濾波器裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0003]該專利文獻(xiàn)I記載的光學(xué)濾波器裝置具備具有板狀的基底、以及圓筒狀的蓋部的封裝(殼體)。該殼體中，基底的周緣部分和蓋部的圓筒一端部以焊接或粘著的方式連接，在基底部和蓋部之間設(shè)置有用于收納干涉濾波器的空間。此外，蓋部的與基底部相對的上表面上設(shè)置有孔，在該孔中設(shè)置有用于使光通過的窗部。
[0004]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2008-70163號(hào)公報(bào)
[0007]在這樣的光學(xué)濾波器裝置中，在反射膜上反射射入的光的一部分。在具有入射角度的情況下，在反射膜的表面反射的光在干涉濾波器或封裝的內(nèi)部反復(fù)反射而成為雜散光，會(huì)在未被分光的狀態(tài)下從光學(xué)濾波器裝置射出。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于提供可以抑制雜散光的產(chǎn)生的光學(xué)濾波器裝置、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備。
[0009]本發(fā)明的光學(xué)濾波器裝置其特征在于，具備:殼體，具有能使光射入內(nèi)側(cè)的入射光通過孔；光圈，設(shè)置于所述殼體的外側(cè)，用于限制向所述入射光通過孔射入的光；以及干涉濾波器，設(shè)置于所述殼體的內(nèi)側(cè)，具備第一反射膜以及與所述第一反射膜相對的第二反射膜，其中，在從膜厚方向觀察所述第一反射膜以及所述第二反射膜的俯視觀察中，所述光圈的開口、所述入射光通過孔、和所述第一反射膜以及所述第二反射膜被設(shè)置為重疊，在將靠近所述入射光通過孔的所述第一反射膜的直徑設(shè)為Φπκ將所述入射光通過孔的口徑設(shè)為φρ、將所述光圈的開口直徑設(shè)為Oa時(shí)，所述光學(xué)濾波器裝置滿足Φ8〈Φπι〈Φρ的關(guān)系。
[0010]通過入射光通過孔射入至第一反射膜的入射光在第一反射膜的表面反射。這里，在Φρ〈Φπι的情況下，反射后的光的一部分通過入射光通過孔射出到光學(xué)濾波器裝置的外部，但是，剩余的大部分則碰到位于入射光通過孔的周圍的殼體的內(nèi)壁而再次反射，成為雜散光的可能性高。
[0011]針對于此，根據(jù)本發(fā)明，滿足Φ8〈Φπι〈Φρ的關(guān)系，因此，在第一反射膜上反射的光的大部分通過入射光通過孔，射出到光學(xué)濾波器裝置的外部、或者碰到在所述俯視觀察中位于入射光通過孔內(nèi)的光圈的表面而被吸收。由此，可以抑制雜散光的產(chǎn)生。此外，無需設(shè)置用于高精度地控制射入第一反射膜的光的入射角度的透鏡、或?qū)んw的內(nèi)壁實(shí)施防反射處理，可以降低成本。
[0012]在本發(fā)明的光學(xué)濾波器裝置中，優(yōu)選所述光圈的開口、所述入射光通過孔、所述第一反射膜、以及所述第二反射膜的在所述俯視觀察中的各中心點(diǎn)位于同一軸上。
[0013]根據(jù)本發(fā)明，在第一反射膜上反射的光的大部分更加可靠地通過入射光通過孔，射出到光學(xué)濾波器裝置的外部、或者碰到在所述俯視觀察中位于入射光通過孔內(nèi)的光圈的表面而被吸收。
[0014]在本發(fā)明的光學(xué)濾波器裝置中，優(yōu)選在將從所述入射光通過孔射入所述第一反射膜的光的入射角度設(shè)為Θ、將從所述第一反射膜至所述光圈的距離設(shè)為d時(shí)，所述光學(xué)濾波器裝置滿足(Φρ-ΦπΟ >2dtan Θ的關(guān)系。
[0015]根據(jù)本發(fā)明，在第一反射膜上反射的光全部通過入射光通過孔，因此，不會(huì)碰到殼體的內(nèi)壁，可以更可靠地抑制雜散光的產(chǎn)生。
[0016]在本發(fā)明的光學(xué)濾波器裝置中，優(yōu)選滿足(Φι?-Φβ) >2dtan Θ的關(guān)系。
[0017]根據(jù)本發(fā)明，通過入射光通過孔射入的光全部射入第一反射膜。由此，可以抑制通過入射光通過孔射入的光未射入第一反射膜而在干涉濾波器或殼體的內(nèi)部反復(fù)反射而成為雜散光。
[0018]在本發(fā)明的光學(xué)濾波器裝置中，優(yōu)選在所述殼體的外側(cè)設(shè)置有用于覆蓋所述入射光通過孔的透光基板，所述光圈設(shè)置于所述透光基板。
[0019]根據(jù)本發(fā)明，例如可以通過膜來構(gòu)成光圈，可以很薄。由此，可以使光學(xué)濾波器裝置實(shí)現(xiàn)薄型化。
[0020]在本發(fā)明的光學(xué)濾波器裝置中，優(yōu)選在所述透光基板中的與所述第一反射膜相對的面上設(shè)置有反射防止膜。
[0021]根據(jù)本發(fā)明，可以抑制在第一反射膜上反射并通過入射光通過孔的光在透光基板的表面反射而成為雜散光。
[0022]在本發(fā)明的光學(xué)濾波器裝置中，優(yōu)選所述光圈中的與所述第一反射膜相對的面的光反射率為1%以下。
[0023]根據(jù)本發(fā)明，可以抑制在第一反射膜上反射并通過入射光通過孔的光在光圈的所述面上反射而成為雜散光。
[0024]在本發(fā)明的光學(xué)濾波器裝置中，優(yōu)選所述殼體具有出射光通過孔，相對于所述第一反射膜以及所述第二反射膜，所述出射光通過孔位于與所述入射光通過孔相反的一側(cè)，在所述俯視觀察中，所述出射光通過孔與所述第一反射膜以及所述第二反射膜重疊，在將所述出射光通過孔的口徑設(shè)為Φο時(shí)，所述光學(xué)濾波器裝置滿足Φο〈Φρ的關(guān)系。
[0025]根據(jù)本發(fā)明，與Φο蘭Φρ的情況相比，可以縮小Φο，因此，可以降低通過出射光通過孔從光學(xué)濾波器裝置射出的雜散光。此外，在通過玻璃基板等透光性基板來封閉出射光通過孔而密封殼體內(nèi)的情況下，可以縮小出射光通過孔的口徑，密封區(qū)域的面積也可以與之相應(yīng)地縮小，可以實(shí)現(xiàn)殼體內(nèi)的氣密性的提高。
[0026]本發(fā)明的光學(xué)模塊其特征在于，具備:殼體，具有能使光射入內(nèi)側(cè)的入射光通過孔；光圈，設(shè)置于所述殼體的外側(cè)，用于限制向所述入射光通過孔射入的光；干涉濾波器，設(shè)置于所述殼體的內(nèi)側(cè)，具備第一反射膜以及與所述第一反射膜相對的第二反射膜；以及檢測部，對由所述干涉濾波器提取的光進(jìn)行檢測，其中，在從膜厚方向觀察所述第一反射膜以及所述第二反射膜的俯視觀察中，所述光圈的開口、所述入射光通過孔、和所述第一反射膜以及所述第二反射膜被設(shè)置為重疊，在將靠近所述入射光通過孔的所述第一反射膜的直徑設(shè)為ΦΠΚ將所述入射光通過孔的口徑設(shè)為φρ、將所述光圈的開口直徑設(shè)為Oa時(shí)，所述光學(xué)模塊滿足ΦΒ〈Φηι〈Φρ的關(guān)系。
[0027]根據(jù)本發(fā)明，可以和上述光學(xué)濾波器裝置的發(fā)明同樣地抑制雜散光的產(chǎn)生。由此，通過檢測部檢測由干涉濾波器所提取的光，從而可以精度良好地檢測期望的特定波長的光的光量。
[0028]本發(fā)明的電子設(shè)備其特征在于，具備:殼體，具有能使光射入內(nèi)側(cè)的入射光通過孔；光圈，設(shè)置于所述殼體的外側(cè)，用于限制向所述入射光通過孔射入的光；干涉濾波器，設(shè)置于所述殼體的內(nèi)側(cè)，具備第一反射膜以及與所述第一反射膜相對的第二反射膜；以及控制部，對所述干涉濾波器進(jìn)行控制，其中，在從膜厚方向觀察所述第一反射膜以及所述第二反射膜的俯視觀察中，所述光圈的開口、所述入射光通過孔、和所述第一反射膜以及所述第二反射膜被設(shè)置為重疊，在將靠近所述入射光通過孔的所述第一反射膜的直徑設(shè)為Φπκ將所述入射光通過孔的口徑設(shè)為Φρ、將所述光圈的開口直徑設(shè)為Oa時(shí)，所述電子設(shè)備滿足Φα〈Φπι〈Φρ的關(guān)系。
[0029]根據(jù)本發(fā)明，可以和上述光學(xué)濾波器裝置的發(fā)明同樣地抑制雜散光的產(chǎn)生。由此，可以由干涉濾波器精度良好地提取期望的特定波長的光，可以根據(jù)所提取的光實(shí)施高精度的電子處理(例如色度測定、成分分析等)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0030]圖1是示出本發(fā)明所涉及的第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置的概略構(gòu)成的立體圖。
[0031]圖2是示出第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置的概略構(gòu)成的截面圖。
[0032]圖3是示出第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置所收納的干涉濾波器的概略構(gòu)成的俯視圖。
[0033]圖4是示出第一實(shí)施方式的干涉濾波器的概略構(gòu)成的截面圖。
[0034]圖5是示出第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置的局部截面圖。
[0035]圖6是示出比較例的光學(xué)濾波器裝置的局部截面圖。
[0036]圖7是示出第二實(shí)施方式中的測色裝置的概略構(gòu)成的框圖。
[0037]圖8是示出變形例的光學(xué)濾波器裝置的局部截面圖。
[0038]圖9是示出具備本發(fā)明的光學(xué)濾波器裝置的氣體檢測裝置的概略圖。
[0039]圖10是示出圖9的氣體檢測裝置的控制系統(tǒng)的構(gòu)成的框圖。
[0040]圖11是示出具備本發(fā)明的光學(xué)濾波器裝置的食物分析裝置的概略構(gòu)成的圖。
[0041]圖12是示出具備本發(fā)明的光學(xué)濾波器裝置的分光照相機(jī)的概略構(gòu)成的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0042](第一實(shí)施方式)
[0043]下面，根據(jù)附圖對本發(fā)明所涉及的第一實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0044](1.光學(xué)濾波器裝置的構(gòu)成)
[0045]圖1是示出本發(fā)明所涉及的第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600的概略構(gòu)成的立體圖。圖2是光學(xué)濾波器裝置600的截面圖。
[0046]光學(xué)濾波器裝置600是從射入的檢查對象光中提取規(guī)定的目的波長的光并使其射出的裝置，具備殼體601、以及收納在殼體601內(nèi)部的波長可變干涉濾波器5 (參照圖2)。這樣的光學(xué)濾波器裝置600例如可以組裝在測色傳感器等光學(xué)模塊、或者測色裝置或氣體分析裝置等電子設(shè)備中。此外，關(guān)于具備光學(xué)濾波器裝置600的光學(xué)模塊或電子設(shè)備的構(gòu)成將在后述的第二實(shí)施方式中進(jìn)行說明。
[0047](2.波長可變干涉濾波器的構(gòu)成)
[0048]波長可變干涉濾波器5構(gòu)成本發(fā)明的干涉濾波器。圖3是示出設(shè)置于光學(xué)濾波器裝置600的波長可變干涉濾波器5的概略構(gòu)成的俯視圖，圖4是示出沿圖3中的IV-1V線進(jìn)行了截面時(shí)的波長可變干涉濾波器5的概略構(gòu)成的截面圖。
[0049]如圖3所示，波長可變干涉濾波器5例如是矩形板狀的光學(xué)部件。該波長可變干涉濾波器5具備作為本發(fā)明的第一基板的固定基板51以及作為本發(fā)明的第二基板的可動(dòng)基板52。這些固定基板51以及可動(dòng)基板52分別由例如鈉玻璃、結(jié)晶性玻璃、石英玻璃、鉛玻璃、鉀玻璃、硼硅玻璃、無堿玻璃等各種玻璃、或水晶等形成。并且，這些固定基板51以及可動(dòng)基板52通過固定基板51的第一接合部513以及可動(dòng)基板的第二接合部523借助接合膜53 (第一接合膜531以及第二接合膜532)而接合，從而構(gòu)成為一體，該接合膜53例如由以硅氧烷為主成分的等離子聚合膜等構(gòu)成。
[0050]此外，在以后的說明中，將從固定基板51或可動(dòng)基板52的基板厚度方向觀察到的俯視觀察、即從固定基板51、接合膜53以及可動(dòng)基板52的層壓方向觀察到的波長可變干涉濾波器5的俯視觀察稱為濾波器俯視觀察。
[0051]在固定基板51上設(shè)置有構(gòu)成本發(fā)明的第一反射膜的固定反射膜54，在可動(dòng)基板52上設(shè)置有構(gòu)成本發(fā)明的第二反射膜的可動(dòng)反射膜55。這些固定反射膜54以及可動(dòng)反射膜55隔著反射膜間間隙Gl而相對配置。并且，在波長可變干涉濾波器5中設(shè)置有用于調(diào)整該反射膜間間隙Gl的距離(尺寸)的靜電致動(dòng)器56。該靜電致動(dòng)器56由設(shè)置于固定基板51的固定電極561和設(shè)置于可動(dòng)基板52的可動(dòng)電極562構(gòu)成。這些固定電極561、可動(dòng)電極562隔著電極間間隙G2 (G2>G1)而相對。這里，這些電極561、562可以是分別直接設(shè)置于固定基板51以及可動(dòng)基板52的基板表面的構(gòu)成，也可以是隔著其它膜部件而設(shè)置的構(gòu)成。
[0052]此外，在本實(shí)施方式中，例示出形成為反射膜間間隙Gl小于電極間間隙G2的構(gòu)成，但是，也可以例如根據(jù)由波長可變干涉濾波器5透過的波長區(qū)域，使反射膜間間隙Gl形成得大于電極間間隙G2。
[0053]在濾波器俯視觀察中，固定基板51的一邊側(cè)(例如，圖3中的頂點(diǎn)Cl-頂點(diǎn)C2之間的邊)比可動(dòng)基板52更向外側(cè)突出。該突出部分中，從可動(dòng)基板52側(cè)觀察波長可變干涉濾波器5時(shí)露出的面構(gòu)成第一電氣面514。
[0054]此外，在濾波器俯視觀察中，可動(dòng)基板52的邊中的與第一電氣面514相對的一邊側(cè)(頂點(diǎn)C3-頂點(diǎn)C4之間的邊)比固定基板51更向外側(cè)突出。該突出部分中，從固定基板51側(cè)觀察波長可變干涉濾波器5時(shí)露出的面構(gòu)成第二電氣面524。
[0055](2-1.固定基板的構(gòu)成)
[0056]固定基板51是通過對厚度例如形成為500 μ m的玻璃基材進(jìn)行加工而形成的。具體而言，如圖4所示，在固定基板51上通過蝕刻形成有電極配置槽511以及反射膜設(shè)置部512。該固定基板51相對于可動(dòng)基板52，其厚度尺寸形成得更大，不會(huì)因在固定電極561以及可動(dòng)電極562之間施加電壓時(shí)的靜電引力、或固定電極561的內(nèi)部應(yīng)力而導(dǎo)致固定基板51發(fā)生撓曲。
[0057]在濾波器俯視觀察中，電極配置槽511形成為以波長可變干涉濾波器5的中心點(diǎn)O為中心的環(huán)狀。在所述俯視觀察中，反射膜設(shè)置部512形成為從電極配置槽511的中心部向可動(dòng)基板52側(cè)突出。這里，電極配置槽511的槽底面成為配置固定電極561的電極設(shè)置面511A。此外，反射膜設(shè)置部512的突出前端面成為反射膜設(shè)置面512A。
[0058]此外，在固定基板51上設(shè)置有從電極配置槽511向第一電氣面514以及第二電氣面524延伸的電極引出槽511B。
[0059]在電極配置槽511的電極設(shè)置面51IA上設(shè)置有固定電極561。該固定電極561設(shè)置于電極設(shè)置面511A中與后述的可動(dòng)部521的可動(dòng)電極562相對的區(qū)域中。此外，可以構(gòu)成為在固定電極561上層壓用于確保固定電極561以及可動(dòng)電極562之間的絕緣性的絕緣膜。
[0060]并且，在固定基板51上設(shè)置有從固定電極561的外周緣通過電極引出槽51IB延伸至第一電氣面514的固定引出電極563。該固定引出電極563的延伸前端部(位于固定基板51的頂點(diǎn)Cl的部分)在第一電氣面514構(gòu)成固定電極墊563P。
[0061]此外，在本實(shí)施方式中，示出了在電極設(shè)置面511A上設(shè)置一個(gè)固定電極561的構(gòu)成，但是，也可以是設(shè)置例如以平面中心點(diǎn)O為中心呈同心圓的兩個(gè)電極的構(gòu)成(雙電極構(gòu)成)等。
[0062]如上所述，反射膜設(shè)置部512與電極配置槽511在同一軸上，形成為直徑尺寸小于電極配置槽511的大致圓柱狀，具備該反射膜設(shè)置部512的與可動(dòng)基板52相對的反射膜設(shè)置面512A。
[0063]如圖4所示，在該反射膜設(shè)置部512上設(shè)置有固定反射膜54。作為該固定反射膜54,例如可以使用如Ag等金屬膜、Ag合金等合金膜。此外,可以使用例如高折射層為Ti02、低折射層為S12的電介質(zhì)多層膜。而且，還可以使用在電介質(zhì)多層膜上層壓了金屬膜(或合金膜)的反射膜、在金屬膜(或合金膜)上層壓了電介質(zhì)多層膜的反射膜、層壓了單層的折射層(Ti02、S12等)和金屬膜(或合金膜)的反射膜等。
[0064]此外,在固定基板51的光入射面51A (未設(shè)置有固定反射膜54的面)上,可以在與固定反射膜54對應(yīng)的位置上形成反射防止膜。該反射防止膜例如可以通過交替層壓低折射率膜以及高折射率膜來形成，使固定基板51的表面上的可見光的反射率降低，使透過率增大。
[0065]并且，在固定基板51的與可動(dòng)基板52相對的面中、未通過蝕刻而形成有電極配置槽511、反射膜設(shè)置部512以及電極引出槽51IB的面構(gòu)成第一接合部513。第一接合膜531設(shè)置于該第一接合部513,通過該第一接合膜531與設(shè)置于可動(dòng)基板52的第二接合膜532接合，如上所述，固定基板51以及可動(dòng)基板52接合。
[0066](2-2.可動(dòng)基板的構(gòu)成)
[0067]可動(dòng)基板52是通過對厚度例如形成為200 μ m的玻璃基材進(jìn)行加工而形成的。
[0068]具體而言，在如圖3所示的濾波器俯視觀察中，可動(dòng)基板52具備以平面中心點(diǎn)O為中心的圓形狀的可動(dòng)部521、設(shè)置于可動(dòng)部521的外側(cè)來保持可動(dòng)部521的保持部522、以及設(shè)置于保持部522的外側(cè)的基板外周部525。
[0069]可動(dòng)部521形成為與保持部522相比其厚度尺寸更大，例如，在本實(shí)施方式中，形成為和可動(dòng)基板52的厚度尺寸相同的尺寸。在濾波器俯視觀察中，該可動(dòng)部521形成為至少比反射膜設(shè)置面512A的外周緣的直徑尺寸更大的直徑尺寸。并且，在該可動(dòng)部521上，設(shè)置有可動(dòng)電極562以及可動(dòng)反射膜55。
[0070]此外，和固定基板51相同，可以在可動(dòng)部521的與固定基板51相反一側(cè)的面上形成反射防止膜。這樣的反射防止膜可以通過交替層壓低折射率膜以及高折射率膜來形成，使可動(dòng)基板52的表面上的可見光的反射率降低，使透過率增大。
[0071]可動(dòng)電極562隔著電極間間隙G2與固定電極561相對，形成為與固定電極561相同形狀的環(huán)狀。此外，在可動(dòng)基板52上具備從可動(dòng)電極562的外周緣向第二電氣面524延伸的可動(dòng)引出電極564。該可動(dòng)引出電極564的延伸前端部(位于可動(dòng)基板52的頂點(diǎn)C4的部分)在第二電氣面524構(gòu)成可動(dòng)電極墊564P。
[0072]可動(dòng)反射膜55在可動(dòng)部521的可動(dòng)面521A的中心部隔著反射膜間間隙Gl與固定反射膜54相對設(shè)置。作為該可動(dòng)反射膜55，可以使用和上述的固定反射膜54相同構(gòu)成的反射膜。
[0073]保持部522是包圍可動(dòng)部521的周圍的隔膜，形成為與可動(dòng)部521相比其厚度尺寸更小。
[0074]這樣的保持部522比可動(dòng)部521更易撓曲，由于微小的靜電引力即可使可動(dòng)部521向固定基板51側(cè)位移。此時(shí)，由于可動(dòng)部521比保持部522的厚度尺寸大,剛性也大，因此，即使在保持部522由于靜電引力而被拉向固定基板51側(cè)的情況下，也不會(huì)發(fā)生可動(dòng)部521的形狀變化。因此，也不會(huì)發(fā)生設(shè)置在可動(dòng)部521上的可動(dòng)反射膜55的撓曲，可以將固定反射膜54以及可動(dòng)反射膜55總是維持為平行狀態(tài)。
[0075]此外，在本實(shí)施方式中，例示了隔膜狀的保持部522，但是，并不限定于此，也可以采用設(shè)置例如以平面中心點(diǎn)O為中心，以等角度間隙配置的梁狀保持部的構(gòu)成。
[0076]如上所述，在濾波器俯視觀察中，基板外周部525設(shè)置于保持部522的外側(cè)。該基板外周部525的與固定基板51相對的面具備與第一接合部513相對的第二接合部523。并且，在該第二接合部523上設(shè)置有第二接合膜532，如上所述，通過第二接合膜532與第一接合膜531接合，固定基板51以及可動(dòng)基板52接合。
[0077](3.殼體的構(gòu)成)
[0078]回到圖1以及圖2，殼體601具備基底基板610、蓋部620、基底側(cè)玻璃基板630(透光基板)、及蓋部側(cè)玻璃基板640 (透光基板)。
[0079]基底基板610例如由單層陶瓷基板構(gòu)成。在該基底基板610上設(shè)置有波長可變干涉濾波器5的可動(dòng)基板52。對于向基底基板610設(shè)置可動(dòng)基板52,例如可以是通過粘結(jié)層等來進(jìn)行配置，也可以通過嵌合在其它的固定部件等中來進(jìn)行配置，等等。
[0080]在基底基板610中，在與波長可變干涉濾波器5的反射膜(固定反射膜54，可動(dòng)反射膜55)相對的區(qū)域，開口形成有光通過孔611 (出射光通過孔)。
[0081]在該基底基板610的與蓋部620相對的基底內(nèi)側(cè)面612 (蓋部相對面)上，設(shè)置有與波長可變干涉濾波器5的第一電氣面514、第二電氣面524上的各電極墊563P、564P連接的內(nèi)側(cè)端子部615。此外，各電極墊563P、564P和內(nèi)側(cè)端子部615的連接例如可以使用FPC(Flexible Printed Circuits:柔性印刷電路)615A,通過例如 Ag 衆(zhòng)料、ACF (AnisotropicConductive Film:各向異性導(dǎo)電膜)、ACP (Anisotropic Conductive Paste:各向異性導(dǎo)電漿料)等進(jìn)行接合。此外，為了將內(nèi)部空間650維持為真空狀態(tài)，優(yōu)選使用排氣(氣體的排出)少的Ag漿料。此外，并不限定于借助FPC615A的連接，通過如引線接合法等進(jìn)行布線連接也是可以的。
[0082]此外，基底基板610與設(shè)有各內(nèi)側(cè)端子部615的位置對應(yīng)地形成有貫通孔614，各內(nèi)側(cè)端子部615經(jīng)由貫通孔614連接于基底基板610的基底內(nèi)側(cè)面612相反一側(cè)的基底外側(cè)面613上設(shè)置的外側(cè)端子部616。這里，在貫通孔614中，填充有用于連接內(nèi)側(cè)端子部615以及外側(cè)端子部616的金屬部件(例如Ag漿料等)，以維持殼體601的內(nèi)部空間650的氣密性。
[0083]并且，在基底基板610的外周部，設(shè)置有與蓋部620接合的基底接合部617。
[0084]如圖1以及圖2所示，蓋部620具備:與基底基板610的基底接合部617接合的蓋部接合部624 ;與蓋部接合部624連續(xù)、在離開基底基板610的方向上立起的側(cè)壁部625 ；及與側(cè)壁部625連續(xù)、覆蓋波長可變干涉濾波器5的固定基板51側(cè)的頂面部626。該蓋部620例如可以由可伐等合金或金屬形成。
[0085]該蓋部620通過蓋部接合部624與基底基板610的基底接合部617接合而與基底基板610緊密接合。
[0086]作為該接合方法，可以列舉出:例如激光焊接以外的、使用銀纖料等的釬焊、使用共晶合金層的密封、使用低熔點(diǎn)玻璃的焊接、玻璃附著、玻璃料接合、環(huán)氧樹脂粘結(jié)等。這些接合方法可以根據(jù)基底基板610及蓋620的材料、接合環(huán)境等適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行選擇。
[0087]在本實(shí)施方式中，在基底基板610的基底接合部617上形成例如由N1、Au等構(gòu)成的接合用圖案617A，對接合用圖案617A以及蓋部接合部624照射高輸出激光(例如YAG激光等)來進(jìn)行激光接合。
[0088]蓋部620的頂面部626平行于基底基板610。在該頂面部626上，在與波長可變干涉濾波器5的各反射膜54、55相對的區(qū)域中開口形成有光通過孔621 (入射光通過孔)。
[0089]此外,光通過孔621的口徑Φρ大于形成于基底基板610的光通過孔611的口徑Φο (Φρ>Φο)。即、在濾波器俯視觀察中，光通過孔621的外周緣621Α位于光通過孔611的外周緣61IA的外側(cè)。
[0090]這里，在本實(shí)施方式中，光從蓋部620的光通過孔621射入，被波長可變干涉濾波器5提取的光從基底基板610的光通過孔611射出。
[0091]基底側(cè)玻璃基板630是在基底基板610的基底外側(cè)面613側(cè)覆蓋光通過孔611而接合的玻璃基板?；讉?cè)玻璃基板630形成為比光通過孔611更大的尺寸，以該基底側(cè)玻璃基板630的平面中心點(diǎn)O和光通過孔611的平面中心點(diǎn)O —致的方式而配置。此外，該平面中心點(diǎn)O與波長可變干涉濾波器5的平面中心點(diǎn)O —致，與固定反射膜54以及可動(dòng)反射膜55的環(huán)內(nèi)周緣的平面中心點(diǎn)O —致。并且，基底側(cè)玻璃基板630在濾波器俯視觀察中，比光通過孔611的外周緣61IA更靠外側(cè)的區(qū)域(從外周緣61IA至基底側(cè)玻璃基板630的基板端緣631的區(qū)域)與基底基板610接合。
[0092]同樣地，蓋部側(cè)玻璃基板640是在蓋部620的與基底基板610相對的蓋部內(nèi)側(cè)面622相反一側(cè)的蓋部外側(cè)面623側(cè)覆蓋光通過孔621而接合的玻璃基板。蓋部側(cè)玻璃基板640形成為比光通過孔621更大的尺寸，以該蓋部側(cè)玻璃基板640的平面中心點(diǎn)O與光通過孔621的平面中心點(diǎn)O —致的方式而配置。并且，蓋部側(cè)玻璃基板640在濾波器俯視觀察中，比光通過孔621的外周緣621A更靠外側(cè)的區(qū)域(從外周緣621A至蓋部側(cè)玻璃基板640的基板端緣641的區(qū)域)與蓋部620接合。
[0093]作為基底基板610以及基底側(cè)玻璃基板630的接合、蓋部620以及蓋部側(cè)玻璃基板640的接合，例如可以使用玻璃料接合，在玻璃料接合中，使用高溫熔解玻璃原料并急速降溫而成的玻璃的碎片、即玻璃料。在這樣的玻璃料接合中，在接合部分不會(huì)產(chǎn)生間隙，此夕卜，通過使用排氣(氣體排出)少的玻璃料，可以將內(nèi)部空間650維持為真空狀態(tài)。此外，不僅限于玻璃料接合，還可以通過使用了低熔點(diǎn)玻璃的焊接(熔接)、玻璃密封等進(jìn)行接合。此夕卜，雖然不適合于維持內(nèi)部空間650的真空狀態(tài)，但是，例如僅是為了抑制異物侵入內(nèi)部空間650的目的，也可以通過環(huán)氧樹脂等進(jìn)行粘接。
[0094]此外，在蓋部側(cè)玻璃基板640的與蓋部620相對的面的相反一側(cè)的面(光入射面)上，設(shè)置有例如由低反射鉻遮光膜等形成的非透光性部件642。該非透光性部件642形成為環(huán)狀，優(yōu)選形成為圓環(huán)狀。并且，非透光性部件642的環(huán)內(nèi)周直徑(開口直徑)Oa被設(shè)定為用于通過固定反射膜54以及可動(dòng)反射膜55進(jìn)行光干涉的有效直徑。由此，非透光性部件642作為對射入到光學(xué)濾波器裝置600的入射光進(jìn)行限制(縮小)的光圈而發(fā)揮作用。此夕卜，非透光性部件642具有吸收光的特性，與蓋部側(cè)玻璃基板640相對的面642B的光反射率為1%以下。此外,非透光性部件642的開口的平面中心點(diǎn)O與光通過孔621的平面中心點(diǎn)O —致，與固定反射膜54以及可動(dòng)反射膜55的環(huán)內(nèi)周緣的平面中心點(diǎn)O —致。
[0095]此外，這里，光通過孔611的口徑Φ ο也可以小于Φ a，但是，在這種情況下，透過光量下降，因此，優(yōu)選光通過孔611的口徑Φο為Oa以上。
[0096]如上所述，在本實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600中，殼體601通過基底基板610以及蓋部620的接合、基底基板610以及基底側(cè)玻璃基板630的接合、蓋部620以及蓋部側(cè)玻璃基板640的接合，從而將殼體601的內(nèi)部空間650維持為氣密狀態(tài)。并且，在本實(shí)施方式中，內(nèi)部空間650被維持為真空狀態(tài)。
[0097]這樣，通過將內(nèi)部空間650維持為真空狀態(tài)，從而在使波長可變干涉濾波器5的可動(dòng)部521移動(dòng)時(shí)，不會(huì)發(fā)生空氣阻力，可以使反應(yīng)性良好。
[0098](光通過孔621以及非透光性部件642的開口的尺寸)
[0099]圖5是不出光學(xué)濾波器裝置600的局部截面圖。
[0100]如圖5所不,在將固定反射膜54的直徑設(shè)為Φι?時(shí),光學(xué)濾波器裝置600滿足Φa(非透光性部件642的開口直徑)<Φπι〈Φρ (光通過孔621的口徑)的關(guān)系。即、在濾波器俯視觀察中，固定反射膜54的外周緣54Α位于非透光性部件642的開口的外周緣642Α的外偵1J,光通過孔621的外周緣621Α位于固定反射膜54的外周緣54Α的外側(cè)。
[0101]這里，通過與圖6所示的比較例進(jìn)行比較，對通過光通過孔621射入到固定反射膜54的光的路徑進(jìn)行說明。圖6所示的比較例的光學(xué)濾波器裝置600Α滿足Φρ〈Φπι( = Φ&)。
[0102]如圖5、圖6所示，通過光通過孔621以入射角度Θ射入到固定反射膜54的入射光Lp在固定反射膜54的面54Β (與反射膜設(shè)置面512Α相對的面)上反射。此外，入射角度Θ是入射光Lp與垂直于固定反射膜54的虛擬直線VL所成的角度。
[0103]這里，在圖6所示的比較例的光學(xué)濾波器裝置600Α中，滿足Φρ〈Φπι ( = Φα)，因此，在固定反射膜54的面54Β所反射的光的一部分通過光通過孔621射出到光學(xué)濾波器裝置600Α的外部，但是，剩余的大部分則碰到位于光通過孔621的周圍的蓋部內(nèi)側(cè)面622，再次反射。
[0104]針對于此，在本實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600中，滿足Φ&〈Φπι〈Φρ的關(guān)系，因此，如圖5所示，在固定反射膜54的面54Β所反射的光的大部分通過光通過孔621，射出到光學(xué)濾波器裝置600的外部、或者碰到在濾波器俯視觀察中位于光通過孔621內(nèi)的非透光性部件642的面642Β而被吸收。
[0105]更具體地說，如圖5所示，在將從固定反射膜54至非透光性部件642的面642Β的距離設(shè)為d時(shí),光學(xué)濾波器裝置600滿足(Φρ-Φπι) >2dtan Θ的關(guān)系。
[0106]根據(jù)該條件，在固定反射膜54所反射的光全部通過光通過孔621，因此，不會(huì)碰到蓋部內(nèi)側(cè)面622。
[0107]而且，光學(xué)濾波器裝置600滿足(Om_Oa)>2dtan Θ的關(guān)系。根據(jù)該條件，入射光Lp全部射入固定反射膜54。
[0108](本實(shí)施方式的作用效果)
[0109]在本實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600中，在將非透光性部件642的開口直徑設(shè)為Oa、將固定反射膜5 4的直徑設(shè)為Φπκ將光通過孔621的口徑設(shè)為Φρ時(shí)，滿足Φβ<Φι?<Φρ的關(guān)系。由此,在固定反射膜54所反射的光的大部分通過光通過孔621而向光學(xué)濾波器裝置600的外部射出、或者碰到在濾波器俯視觀察中位于光通過孔621內(nèi)的非透光性部件642的面642Β而被吸收。由此,可以抑制雜散光的發(fā)生。此外，由于無需在殼體601的內(nèi)壁上實(shí)施防反射處理等，因此，可以降低成本。此外，作為用于控制入射光Lp的入射角度Θ的透鏡，使用能夠以滿足(Op-Om)>2dtan0、以及(cDm-cDa)>2dtan0的條件的入射角度Θ引導(dǎo)入射光Lp的透鏡即可，可以無需用于使入射角度Θ縮小的高精度的透鏡，能夠降低成本。
[0110]在光學(xué)濾波器裝置600中，將入射光Lp的入射角度設(shè)為Θ、將從固定反射膜54至非透光性部件642的距離設(shè)為d時(shí)，滿足(Φρ-Φπι)>2(1?&ηθ的關(guān)系。由此，在固定反射膜54所反射的光全部通過光通過孔621，從而不會(huì)碰到殼體601的內(nèi)壁，因此，可以更加可靠地抑制雜散光的發(fā)生。
[0111]在光學(xué)濾波器裝置600中，滿足(Φι?-Φβ) >2dtan Θ的關(guān)系。這樣，入射光Lp全部射入固定反射膜54。由此,可以抑制入射光Lp不射入固定反射膜54而在波長可變干涉濾波器5或殼體601的內(nèi)部反復(fù)反射而成為雜散光。
[0112]在光學(xué)濾波器裝置600中，在殼體601的外側(cè)設(shè)置有覆蓋光通過孔621的蓋部側(cè)玻璃基板640，非透光性部件642設(shè)置于蓋部側(cè)玻璃基板640上。這樣，可以通過例如膜來構(gòu)成非透光性部件642，可以很薄。由此，可以使光學(xué)濾波器裝置600薄型化。
[0113]在光學(xué)濾波器裝置600中，非透光性部件642的面642B的光反射率是1%以下。這樣，可以抑制被固定反射膜54反射并通過光通過孔621的光在非透光性部件642的面642B上反射而成為雜散光。
[0114]在光學(xué)濾波器裝置600中，在將光通過孔611的口徑設(shè)為Φο時(shí)，滿足Φο〈Φρ的關(guān)系。這樣，與Φο蘭φρ的情況相比，可以使Φο減小，因此，可以降低通過光通過孔611從光學(xué)濾波器裝置600射出的雜散光。此外，通過蓋部側(cè)玻璃基板640密封的密封區(qū)域的面積也可以減小，因此，可以實(shí)現(xiàn)殼體601內(nèi)的氣密性的提高。
[0115]此外，在此基礎(chǔ)上，在光學(xué)濾波器裝置600中，滿足Φο 3 Oa的關(guān)系。這樣，與固定反射膜54正交的入射光在不減少光量的情況下從光通過孔611射出。由此，可以在不降低光學(xué)濾波器裝置600的透過光量的情況下減少雜散光。
[0116](第二實(shí)施方式)
[0117]下面，根據(jù)附圖對本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0118]在第二實(shí)施方式中，對組裝有上述第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600的光學(xué)模塊、即測色傳感器3、以及組裝有光學(xué)濾波器裝置600的電子設(shè)備、即測色裝置I進(jìn)行說明。
[0119](1.測色裝置的概略構(gòu)成)
[0120]圖7是示出第一實(shí)施方式的測色裝置I的概略構(gòu)成的框圖。
[0121]測色裝置I是本發(fā)明的電子設(shè)備。如圖7所示，該測色裝置I具備:向檢查對象X射出光的光源裝置2 ;測色傳感器3 ;及用于控制測色裝置I的整體動(dòng)作的控制裝置4。并且，該測色裝置I是使檢查對象X反射從光源裝置2射出的光，由測色傳感器3接收所反射的檢查對象光，并基于從測色傳感器3輸出的檢測信號(hào)，對檢查對象光的色度、即檢查對象X的顏色進(jìn)行分析、測定的裝置。
[0122](2.光源裝置的構(gòu)成)
[0123]光源裝置2具備光源21、多個(gè)透鏡22 (在圖7中僅記載了一個(gè))，并向檢查對象X射出白色光。此外，在多個(gè)透鏡22中，可以包含準(zhǔn)直透鏡，在這種情況下，光源裝置2通過準(zhǔn)直透鏡使從光源21射出的白色光成為平行光，從未圖示的投射透鏡向檢查對象X射出。此外，在本實(shí)施方式中，例示了具備光源裝置2的測色裝置1，但是，例如在檢查對象X是液晶面板等發(fā)光部件的情況下，也可以是不設(shè)置光源裝置2的構(gòu)成。
[0124](3.測色傳感器的構(gòu)成)
[0125]測色傳感器3構(gòu)成本發(fā)明的光學(xué)模塊，具備上述第一實(shí)施方式的光學(xué)濾波器裝置600。如圖7所示，該測色傳感器3具備:光學(xué)濾波器裝置600 ;接收透過了光學(xué)濾波器裝置600的波長可變干涉濾波器5的光的檢測部31 ;以及使在波長可變干涉濾波器5中透過的光的波長可變的電壓控制部32。
[0126]此外，測色傳感器3在與波長可變干涉濾波器5相對的位置上具備將檢查對象X所反射的反射光(檢查對象光)向內(nèi)部導(dǎo)光的未圖不的入射光學(xué)透鏡33。入射光學(xué)透鏡33以入射角度Θ將入射光導(dǎo)向光學(xué)濾波器裝置600。并且，該測色傳感器3通過光學(xué)濾波器裝置600內(nèi)的波長可變干涉濾波器5將從入射光學(xué)透鏡33射入的檢查對象光中的規(guī)定波長的光進(jìn)行分光，并由檢測部31接收分光后的光。
[0127]檢測部31由多個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件構(gòu)成，生成對應(yīng)于受光量的電信號(hào)。這里，檢測部31例如通過電路基板311與控制裝置4連接，將生成的電信號(hào)作為光接收信號(hào)向控制裝置4輸出。
[0128]此外，在該電路基板311上連接有形成于基底基板610的基底外側(cè)面613的外側(cè)端子部616，其通過形成于電路基板311的電路與電壓控制部32連接。
[0129]在這樣的構(gòu)成中，通過電路基板311，光學(xué)濾波器裝置600以及檢測部31可以一體構(gòu)成，能夠使測色傳感器3的構(gòu)成簡化。
[0130]電壓控制部32通過電路基板311與光學(xué)濾波器裝置600的外側(cè)端子部616連接。于是，電壓控制部32基于從控制裝置4輸入的控制信號(hào)，在固定電極墊563P以及可動(dòng)電極墊564P之間施加規(guī)定的跨步電壓，從而來驅(qū)動(dòng)靜電致動(dòng)器56。由此，在電極間間隙G2產(chǎn)生靜電引力，保持部522撓曲，從而可動(dòng)部521向固定基板51側(cè)位移，可將反射膜間間隙Gl設(shè)定為期望的尺寸。
[0131](4.控制裝置的構(gòu)成)
[0132]控制裝置4控制測色裝置I的整體動(dòng)作。
[0133]作為該控制裝置4，例如可以使用通用的個(gè)人電腦、便攜式信息終端、其它的測色專用電腦等。
[0134]并且，如圖7所示，控制裝置4構(gòu)成為具備光源控制部41、測色傳感器控制部42、以及測色處理部43等。
[0135]光源控制部41與光源裝置2連接。于是，光源控制部41基于例如用戶的設(shè)定輸入，向光源裝置2輸出規(guī)定的控制信號(hào)，從光源裝置2射出規(guī)定亮度的白色光。
[0136]測色傳感器控制部42與測色傳感器3連接。于是，測色傳感器控制部42基于例如用戶的設(shè)定輸入，設(shè)定由測色傳感器3所接收的光的波長，并向測色傳感器3輸出旨為檢測該波長的光的受光量的控制信號(hào)。由此，測色傳感器3的電壓控制部32基于控制信號(hào)設(shè)定對于靜電致動(dòng)器56的施加電壓，僅使用戶所期望的光的波長透過。
[0137]測色處理部43從檢測部31檢測出的受光量來分析檢查對象X的色度。
[0138](5.實(shí)施方式的作用效果)
[0139]本實(shí)施方式的測色裝置I具備上述第一實(shí)施方式所述的光學(xué)濾波器裝置600。如上所述，從入射光學(xué)透鏡33以入射角度Θ將入射光導(dǎo)向光學(xué)濾波器裝置600，從而可以降低光學(xué)濾波器裝置600中的入射光Lp的雜散光,能夠提高光學(xué)濾波器裝置600的分光精度。因此，在測色傳感器3中，也可以由檢測部31檢測以高分辨率提取的目的波長的光，能夠?qū)ζ谕哪康牟ㄩL的光檢測正確的光量。由此，測色裝置I可以實(shí)施檢查對象X的正確的顏色分析。
[0140]此外，檢測部31與基底基板610相對設(shè)置，該檢測部31以及設(shè)置于基底基板610的基底外側(cè)面613上的外側(cè)端子部616與一個(gè)電路基板311連接。即、光學(xué)濾波器裝置600的基底基板610配置在光射出側(cè)，因此，可以與用于檢測從光學(xué)濾波器裝置600射出的光的檢測部31靠近配置。因此，如上所述，由于布線到一個(gè)電路基板311上，可以使布線結(jié)構(gòu)簡化，還能夠削減基板數(shù)。
[0141]此外，也可以在電路基板311上配置電壓控制部32，在這種情況下，可以進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)的簡化。
[0142](其它實(shí)施方式)
[0143]此外，本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式，在能夠達(dá)到本發(fā)明目的的范圍內(nèi)的變形、改良等均包含于本發(fā)明之內(nèi)。
[0144]例如，在上述第一實(shí)施方式中，蓋部側(cè)玻璃基板640中與形成有非透光性部件642的面相反一側(cè)的面直接與蓋部620的蓋部外側(cè)面623接合，但是，本發(fā)明并不限定于此。
[0145]圖8是示出一變形例中的光學(xué)濾波器裝置600B的局部截面圖。
[0146]在光學(xué)濾波器裝置600B中，在蓋部側(cè)玻璃基板640中與形成有非透光性部件642的面相反一側(cè)的面640A上形成有電介質(zhì)多層膜643。并且,蓋部側(cè)玻璃基板640隔著電介質(zhì)多層膜643與蓋部外側(cè)面623接合。
[0147]該電介質(zhì)多層膜643作為反射防止膜而發(fā)揮功能，可以抑制從面640A側(cè)向蓋部側(cè)玻璃基板640射入的光在面640A上反射。
[0148]這里，在未形成有電介質(zhì)多層膜643的情況下，從面640A側(cè)向蓋部側(cè)玻璃基板640射入的光中的4%左右在面640A上反射。因此，存在在固定反射膜54的面54B上反射并通過光通過孔621的光的一部分在蓋部側(cè)玻璃基板640的面640A上反射而成為雜散光的可能性。
[0149]針對于此，在光學(xué)濾波器裝置600B中，在蓋部側(cè)玻璃基板640的面640A上形成有作為反射防止膜而發(fā)揮功能的電介質(zhì)多層膜643，因此，可以抑制在固定反射膜54的面54B上反射并通過光通過孔621的光在蓋部側(cè)玻璃基板640的面640A上反射而成為雜散光。
[0150]此外，在圖8的例子中例示了是多層反射防止膜的電介質(zhì)多層膜643作為反射防止膜，但是，除此之外，也可以是例如設(shè)置MgF2等單層反射防止膜的構(gòu)成等。
[0151 ] 此外，在上述第一實(shí)施方式中，是從蓋部620的光通過孔621射入光，但是，本發(fā)明并不限定于此。即、也可以從基底基板610的光通過孔611射入光。在這種情況下，非透光性部件642設(shè)置于基底側(cè)玻璃基板630，將可動(dòng)反射膜55的直徑設(shè)為Φπκ光通過孔611的口徑設(shè)為Φρ時(shí),和上述第一實(shí)施方式同樣地,滿足ΦΒ〈Φηι〈Φρ、( Φρ-Φπι) >2dtan Θ以及(C>m-C>a) >2dtan Θ 的關(guān)系。
[0152]此外，在上述第一實(shí)施方式中，滿足(Φρ-Φπι)>2(1?&ηθ的關(guān)系，但是，本發(fā)明并不限定于此。此外，滿足(Om-Oa)>2dtan0的關(guān)系，但是，本發(fā)明并不限定于此。即、至少滿足Φα〈Φπι〈Φρ的關(guān)系即可。
[0153]此外，在上述第一實(shí)施方式中，非透光性部件642設(shè)置于蓋部側(cè)玻璃基板640，但是，本發(fā)明并不限定于此。即、可以不設(shè)置蓋部側(cè)玻璃基板640，非透光性部件642直接設(shè)置于蓋部620。
[0154]此外，在上述第一實(shí)施方式中，非透光性部件642設(shè)置于蓋部側(cè)玻璃基板640中的與蓋部620相對的面的相反一側(cè)的面上，但是，本發(fā)明并不限定于此。即、非透光性部件642可以設(shè)置于蓋部側(cè)玻璃基板640中的與蓋部620相對的面上。
[0155]此外，在上述第一實(shí)施方式中，非透光性部件642的面642Β的光反射率為1%以下，但是，本發(fā)明并不限定于此。即、只要是例如對測定誤差不產(chǎn)生影響的程度，非透光性部件642的面642Β的光反射率可以是大于1%。
[0156]此外，在上述第一實(shí)施方式中，滿足Φο〈Φρ的關(guān)系，但是，本發(fā)明并不限定于此。即、只要是雜散光的射出能夠充分地降低，可以是Φο蘭Φρ。
[0157]此外,在上述第一實(shí)施方式中，例不了低反射鉻遮光膜作為非透光性部件642,但是，本發(fā)明并不限定于此。即、也可以將低反射Si遮光膜或吸收膜用于非透光性部件642。此外，吸收膜吸收光并將其轉(zhuǎn)換為熱，因此，如果對吸收膜照射光，有時(shí)吸收膜會(huì)熱膨脹，從而產(chǎn)生熱應(yīng)力。因此，在將吸收膜用于非透光性部件642的情況下，優(yōu)選例如使非透光性部件642為兩層結(jié)構(gòu)，由吸收膜構(gòu)成位于與光入射面相反一側(cè)的層(光入射量少的層)，由不透過光的遮光膜或反射膜構(gòu)成光入射面?zhèn)鹊膶印?br> [0158]此外，在上述第一實(shí)施方式中，示出了光學(xué)濾波器裝置600收納波長可變干涉濾波器5的例子，該波長可變干涉濾波器5通過對固定電極561以及可動(dòng)電極562施加電壓，從而通過靜電引力來變更反射膜間間隙Gl的大小，但是，本發(fā)明并不限定于此。例如，也可以是采用感應(yīng)致動(dòng)器作為變更反射膜間間隙Gl的間隙變更部的構(gòu)成，其中，該感應(yīng)致動(dòng)器配置有第一感應(yīng)線圈來取代固定電極561，并配置有第二感應(yīng)線圈或永磁鐵來取代可動(dòng)電極 562。
[0159]而且，也可以是使用壓電致動(dòng)器來取代靜電致動(dòng)器56的構(gòu)成。在這種情況下，例如在保持部522上層壓配置下部電極層、壓電膜以及上部電極層，通過使施加于下部電極層以及上部電極層之間的電壓作為輸入值而可變，從而能夠使壓電膜伸縮并使保持部522撓曲。
[0160]此外，雖然例示了波長可變干涉濾波器5作為收納于內(nèi)部空間650中的干涉濾波器，但是，例如也可以是反射膜間間隙Gl的大小被固定的干涉濾波器。在這種情況下，無需通過蝕刻來形成用于使可動(dòng)部521撓曲的保持部522、用于設(shè)置固定電極561的電極配置槽511等，可以使干涉濾波器的構(gòu)成簡化。此外，由于反射膜間間隙Gl的大小是固定的，因此，不會(huì)有反應(yīng)性的問題，無需將內(nèi)部空間650維持為真空，可以實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)的簡化、制造性的提高。但是，在這種情況下，也存在以下?lián)鷳n:例如在溫度變化大的場所使用光學(xué)濾波器裝置600時(shí)，由于內(nèi)部空間650內(nèi)的空氣的膨脹等，基底側(cè)玻璃基板630、蓋部側(cè)玻璃基板640受到應(yīng)力而會(huì)發(fā)生撓曲。因此，在使用這樣的干涉濾波器時(shí)，也優(yōu)選將內(nèi)部空間650維持為真空、或減壓狀態(tài)。
[0161]此外，雖然示出了蓋部620具備蓋部接合部624、側(cè)壁部625以及頂面部626，且頂面部626與基底基板610平行的構(gòu)成，但是，并不限定于此。作為蓋部620的形狀，只要是與基底基板610之間能夠形成可收納波長可變干涉濾波器5的內(nèi)部空間650，則蓋部620可以是任意的形狀，例如頂面部626可以形成為曲面形狀。但是，在這種情況下，要考慮為了維持內(nèi)部空間650的氣密性，需要使與蓋部620接合的蓋部側(cè)玻璃基板640對應(yīng)于蓋部620而形成為曲面狀，且為了不發(fā)生折射等而僅使堵塞光通過孔621的部分形成為平面狀等導(dǎo)致制造繁瑣的情況。因此，優(yōu)選如上述第一實(shí)施方式所述這樣使用頂面部626與基底基板610平行的蓋部620。
[0162]在上述第一實(shí)施方式中，例示了基底側(cè)玻璃基板630以及蓋部側(cè)玻璃基板640與殼體601的外表面、即基底基板610的基底外側(cè)面613以及蓋部620的蓋部外側(cè)面623接合的例子，但是，并不限定于此。也可以是例如與殼體601的內(nèi)部空間650側(cè)接合的構(gòu)成。
[0163]此外，在將反射型濾波器作為干涉濾波器收納在內(nèi)部空間650中的情況下，可以是未設(shè)置光通過孔611以及基底側(cè)玻璃基板630的構(gòu)成，該反射型濾波器使被第一反射膜以及第二反射膜多重干涉的光反射。
[0164]在這種情況下，采用以與光學(xué)濾波器裝置600的光通過孔621相對的方式設(shè)置例如分束器等來分離射入光學(xué)濾波器裝置600的入射光和從光學(xué)濾波器裝置600射出的出射光的構(gòu)成，從而可以通過檢測部來檢測分離后的射出光。
[0165]在上述第一實(shí)施方式中，例示了通過導(dǎo)電性部件使內(nèi)側(cè)端子部615以及外側(cè)端子部616在設(shè)置于基底基板610的貫通孔614內(nèi)連接的構(gòu)成，但是，并不限定于此。例如，可以是如下所述的構(gòu)成:將棒狀的端子壓入基底基板610的貫通孔614，從而連接端子的前端部和固定電極墊563P或可動(dòng)電極墊564P等。
[0166]在上述第一實(shí)施方式中，作為設(shè)置于波長可變干涉濾波器5的本發(fā)明的電極部，例示了構(gòu)成靜電致動(dòng)器的固定電極561以及可動(dòng)電極562 (以及與這些電極561、562連接的電極墊563P、564P)，但是，并不限定于此。
[0167]作為本發(fā)明的電極的其它例子，可以列舉出如下所述的電極等，例如:靜電電容檢測電極，用于基于固定反射膜54以及可動(dòng)反射膜55的電荷保持量的變化來測定反射膜間間隙Gl的大小；以及帶電去除電極，用于使各基板51、52、固定反射膜54、可動(dòng)反射膜55所保持的電荷逃逸，去除基板間的庫侖力。在這種情況下，在第一電氣面514以及第二電氣面524上配置從上述靜電電容檢測電極、帶電去除電極等引出的引出電極。并且，即使在配置有這樣的多個(gè)電極的情況下，例如通過將FPC615A粘貼于第一電氣面514上，可以無需對各電極單獨(dú)實(shí)施連接操作，可容易地實(shí)施布線連接。
[0168]此外，作為本發(fā)明的電子設(shè)備，在第二實(shí)施方式中例示了測色裝置1，但是，除此之夕卜，還可以根據(jù)各種【技術(shù)領(lǐng)域】來使用本發(fā)明的光學(xué)濾波器裝置、光學(xué)模塊、電子設(shè)備。
[0169]例如，可以作為用于檢測特定物質(zhì)的存在的基于光的系統(tǒng)來使用。作為這樣的系統(tǒng)，例如可以例示出:采用使用了本發(fā)明的波長可變干涉濾波器的分光計(jì)量方式來高敏度檢測特定氣體的車載用氣體泄漏檢測器、呼吸檢查用的光聲惰性氣體檢測器等氣體檢測裝置。
[0170]下面，根據(jù)附圖對這樣的氣體檢測裝置的一個(gè)例子進(jìn)行說明。
[0171]圖9是示出具備波長可變干涉濾波器的氣體檢測裝置的一個(gè)例子的概略圖。
[0172]圖10是示出圖9的氣體檢測裝置的控制系統(tǒng)的構(gòu)成的框圖。
[0173]如圖9所示，氣體檢測裝置100構(gòu)成為具備:傳感器芯片110、流路120和主體部130，流路120具備吸入口 120A、吸入流路120B、排出流路120C以及排出口 120D。
[0174]主體部130由檢測裝置、控制部138、以及電力供給部139等構(gòu)成，檢測裝置包括具有可以裝卸流路120的開口的傳感器部蓋131、排出單元133、殼體134、光學(xué)部135、濾光器136、光學(xué)濾波器裝置600、以及受光元件137 (檢測部)等，控制部138處理所檢測到的信號(hào)并控制檢測部，電力供給部139用于供給電力。此外，光學(xué)部135由射出光的光源135A、光束分離器135B、以及透鏡135C、135D、135E構(gòu)成，光束分離器135B向傳感器芯片110側(cè)反射從光源135A射入的光，并使從傳感器芯片側(cè)射入的光透過至受光元件137偵U。
[0175]此外，如圖10所示，在氣體檢測裝置100的表面上設(shè)置有操作面板140、顯示部141、用于和外部的接口的連接部142、電力供給部139。在電力供給部139是二次電池的情況下，還可以具備用于充電的連接部143。
[0176]而且，如圖10所示，氣體檢測裝置100的控制部138具備:由CPU等構(gòu)成的信號(hào)處理部144、用于控制光源135A的光源驅(qū)動(dòng)器電路145、用于控制光學(xué)濾波器裝置600的波長可變干涉濾波器5的電壓控制部146、用于接收來自于受光元件137的信號(hào)的受光電路147、接收來自于傳感器芯片檢測器148的信號(hào)的傳感器芯片檢測電路149、以及控制排出單元133的排出驅(qū)動(dòng)器電路150等，其中，傳感器芯片檢測器148讀取傳感器芯片110的代碼，檢測傳感器芯片110的有無。
[0177]下面，將對上述的氣體檢測裝置100的動(dòng)作進(jìn)行說明。
[0178]在主體部130的上部的傳感器部蓋131的內(nèi)部設(shè)置有傳感器芯片檢測器148，通過該傳感器芯片檢測器148檢測傳感器芯片110的有無。信號(hào)處理部144在檢測到來自于傳感器芯片檢測器148的檢測信號(hào)時(shí)，判斷為是安裝有傳感器芯片110的狀態(tài)，并向顯示部141輸出使其顯示可實(shí)施檢測動(dòng)作的旨意的顯示信號(hào)。
[0179]并且，例如在用戶操作操作面板140，從操作面板140向信號(hào)處理部144輸出旨在開始檢測處理的指示信號(hào)時(shí)，首先，信號(hào)處理部144向光源驅(qū)動(dòng)器電路145輸出光源動(dòng)作的信號(hào)，使光源135A進(jìn)行動(dòng)作。在光源135A被驅(qū)動(dòng)的情況下,從光源135A以單一波長射出直線偏振光的穩(wěn)定的激光。此外，在光源135A中內(nèi)置有溫度傳感器、光量傳感器,其信息向信號(hào)處理部144輸出。并且，信號(hào)處理部144在基于從光源135A輸入的溫度、光量判斷為光源135A在穩(wěn)定動(dòng)作中的情況下，控制排出驅(qū)動(dòng)器電路150，使排出單元133動(dòng)作。由此，含有要檢測的目標(biāo)物質(zhì)(氣體分子)的氣體樣本從吸入口 120A被引向吸入流路120B、傳感器芯片110內(nèi)、排出流路120C、排出口 120D。此外，在吸入口 120A設(shè)置有除塵過濾器120A1，用于去除比較大的粉塵、一部分的水蒸氣等。
[0180]此外，傳感器芯片110是組裝有多個(gè)金屬納米結(jié)構(gòu)體、利用了局域表面等離子體共振的傳感器。在這樣的傳感器芯片110中，通過激光在金屬納米結(jié)構(gòu)體之間形成增強(qiáng)電場，如果氣體分子進(jìn)入該增強(qiáng)電場內(nèi)，則會(huì)產(chǎn)生含有分子振動(dòng)的信息的拉曼散射光以及瑞利散射光。
[0181]這些瑞利散射光、拉曼散射光通過光學(xué)部135射入濾光器136,瑞利散射光被濾光器136分離，拉曼散射光射入到光學(xué)濾波器裝置600。于是，信號(hào)處理部144控制電壓控制部146，調(diào)整施加于光學(xué)濾波器裝置600的波長可變干涉濾波器5的電壓，由光學(xué)濾波器裝置600的波長可變干涉濾波器5使作為檢測對象的氣體分子所對應(yīng)的拉曼散射光分光。之后，在分光后的光被受光元件137接收的情況下，受光量所對應(yīng)的受光信號(hào)經(jīng)由受光電路147被輸出至信號(hào)處理部144。
[0182]信號(hào)處理部144將如上所述地獲得的作為檢測對象的氣體分子所對應(yīng)的拉曼散射光的光譜數(shù)據(jù)和ROM中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，判斷是否是目標(biāo)氣體分子，并進(jìn)行物質(zhì)的指定。此外，信號(hào)處理部144使顯示部141顯示其結(jié)果信息，或從連接部142向外部輸出。
[0183]此外，在上述圖9以及圖10中，例示了由光學(xué)濾波器裝置600的波長可變干涉濾波器5分光拉曼散射光、且從分光后的拉曼散射光來進(jìn)行氣體檢測的氣體檢測裝置100，但是，作為氣體檢測裝置，也可以用作通過檢測氣體固有的吸光度來指定氣體類別的氣體檢測裝置。在這種情況下，將使氣體流入傳感器內(nèi)部、檢測入射光中被氣體吸收的光的氣體傳感器用作本發(fā)明的光學(xué)模塊。并且，將通過這樣的氣體傳感器來分析、判斷流入傳感器內(nèi)的氣體的氣體檢測裝置作為本發(fā)明的電子設(shè)備。在這樣的構(gòu)成中，也可以采用波長可變干涉濾波器來檢測氣體的成分。
[0184]此外，作為用于檢測特定物質(zhì)的存在的系統(tǒng)，并不限定于上述的氣體的檢測，還可以例示出利用近紅外線分光的糖類的非侵入式測定裝置、或食物、生物體、礦物等信息的非侵入式測定裝置等物質(zhì)成分分析裝置。
[0185]下面，作為上述物質(zhì)成分分析裝置的一個(gè)例子，對食物分析裝置進(jìn)行說明。
[0186]圖11是示出作為利用了光學(xué)濾波器裝置600的電子設(shè)備的一個(gè)例子的食物分析裝置的概略構(gòu)成的圖。
[0187]如圖11所示，該食物分析裝置200具備檢測器210 (光學(xué)模塊)、控制部220、和顯示部230。檢測器210具備射出光的光源211、被導(dǎo)入來自于測定對象物的光的攝像透鏡212、對從攝像透鏡212導(dǎo)入的光進(jìn)行分光的光學(xué)濾波器裝置600、以及檢測分光后的光的攝像部213 (檢測部)。
[0188]此外，控制部220具備:光源控制部221，實(shí)施光源211的亮燈/滅燈控制、亮燈時(shí)的亮度控制；電壓控制部222，控制光學(xué)濾波器裝置600的波長可變干涉濾波器5 ;檢測控制部223，控制攝像部213，獲取攝像部213所拍攝的分光圖像；信號(hào)處理部224 ;以及存儲(chǔ)部 225。
[0189]在該食物分析裝置200中，在使系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)時(shí)，由光源控制部221控制光源211，從光源211對測定對象物照射光。于是，被測定對象物所反射的光通過攝像透鏡212射入到光學(xué)濾波器裝置600中。光學(xué)濾波器裝置600的波長可變干涉濾波器5通過電壓控制部222的控制而被施加有可將期望的波長分光的電壓，分光后的光被例如由CCD照相機(jī)等構(gòu)成的攝像部213所拍攝。并且，被拍攝的光作為分光圖像被存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部225中。此外，信號(hào)處理部224控制電壓控制部222，使施加于波長可變干涉濾波器5的電壓值發(fā)生變化，從而獲取對于各波長的分光圖像。
[0190]并且，信號(hào)處理部224對存儲(chǔ)部225中存儲(chǔ)的各圖像中的各像素的數(shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)算處理，求得各像素中的光譜。此外，在存儲(chǔ)部225中，存儲(chǔ)有例如針對光譜的食物的成分相關(guān)的信息，信號(hào)處理部224基于存儲(chǔ)部225中存儲(chǔ)的食物相關(guān)的信息對求得的光譜的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，求出檢測對象所包含的食物成分及其含量。此外，還可以從獲得的食物成分及含量算出食物卡路里、新鮮度等。而且，通過分析圖像內(nèi)的光譜分布，還可以實(shí)施檢查對象食物中新鮮度下降的部分的提取等，進(jìn)而，還可以實(shí)施食物內(nèi)所含的異物等的檢測。
[0191]并且，信號(hào)處理部224進(jìn)行使顯示部230顯示如上所述地獲得的檢查對象食物的成分、含量、卡路里、新鮮度等信息的處理。
[0192]此外，在圖11中，示出了食物分析裝置200的例子，但是，也可以基于大致相同的構(gòu)成，用作如上所述的其它的信息的非侵入式測定裝置。例如，可以用作血液等體液成分的測定、分析等的進(jìn)行生物體成分的分析的生物體分析裝置。作為這樣的生物體分析裝置，例如作為測定血液等體液成分的裝置，如果是用于檢測酒精的裝置，則可以用作檢測駕駛員的飲酒狀態(tài)的防酒駕裝置。此外，還可以用作具備這樣的生物體分析裝置的電子內(nèi)窺鏡系統(tǒng)。
[0193]進(jìn)而，還可以用作實(shí)施礦物的成分分析的礦物分析裝置。
[0194]進(jìn)而，本發(fā)明的波長可變干涉濾波器、光學(xué)模塊、電子設(shè)備可適用于以下這樣的裝置。
[0195]例如，通過使各波長的光的強(qiáng)度隨著時(shí)間的推移發(fā)生變化，還可以通過各波長的光來傳送數(shù)據(jù)，在這種情況下，通過設(shè)于光學(xué)模塊的波長可變干涉濾波器對特定波長的光進(jìn)行分光，并由受光部來接收光，從而可以提取由特定波長的光所傳送的數(shù)據(jù)，通過具備這樣的數(shù)據(jù)提取用光學(xué)模塊的電子設(shè)備來處理各波長的光的數(shù)據(jù)，從而還可以實(shí)施光通信。
[0196]此外，作為電子設(shè)備，還可以適用于通過本發(fā)明的波長可變干涉濾波器來對光進(jìn)行分光、從而拍攝分光圖像的分光照相機(jī)、分光分析機(jī)等。作為這樣的分光照相機(jī)的一個(gè)例子，可以列舉內(nèi)置有波長可變干涉濾波器的紅外線照相機(jī)。
[0197]圖12是示出分光照相機(jī)的概略構(gòu)成的示意圖。如圖12所示，分光照相機(jī)300具備照相機(jī)主體310、攝像透鏡單元320、和攝像部330 (檢測部)。
[0198]照相機(jī)主體310是由用戶把持、操作的部分。
[0199]攝像透鏡單元320設(shè)置于照相機(jī)主體310，將射入的圖像光引導(dǎo)至攝像部330。此夕卜，如圖12所示，該攝像透鏡單元320構(gòu)成為具備物鏡321、成像透鏡322、以及設(shè)置在這些透鏡之間的光學(xué)濾波器裝置600。
[0200]攝像部330由受光元件構(gòu)成，用于拍攝被攝像透鏡單元320引導(dǎo)的圖像光。
[0201]在這樣的分光照相機(jī)300中，由光學(xué)濾波器裝置600的波長可變干涉濾波器5使作為拍攝對象的波長的光透過，從而可以拍攝期望波長的光的分光圖像。
[0202]而且，還可以將本發(fā)明的波長可變干涉濾波器用作帶通濾波器，例如還可以用作由波長可變干涉濾波器僅對發(fā)光元件射出的規(guī)定波長區(qū)域的光中以規(guī)定波長為中心的窄波段的光進(jìn)行分光并使其透過的光學(xué)式激光裝置。
[0203]此外，還可以將本發(fā)明的波長可變干涉濾波器用作生物體認(rèn)證裝置，例如還可應(yīng)用于利用近紅外區(qū)域、可見區(qū)域的光的、血管、指紋、視網(wǎng)膜、虹膜等的認(rèn)證裝置。
[0204]而且，可以將光學(xué)模塊以及電子設(shè)備用作濃度檢測裝置。在這種情況下，通過波長可變干涉濾波器對從物質(zhì)射出的紅外能量(紅外光)進(jìn)行分光、分析，從而來測定樣品中的被檢體濃度。
[0205]如上所述，本發(fā)明的波長可變干涉濾波器、光學(xué)模塊以及電子設(shè)備還可以應(yīng)用于從入射光對規(guī)定的光進(jìn)行分光的任何裝置。并且，如上所述，本發(fā)明的波長可變干涉濾波器能夠以一個(gè)裝置來對多個(gè)波長進(jìn)行分光，因此，可以高精度地實(shí)施多個(gè)波長的光譜的測定、對多個(gè)成分的檢測。因此，與通過多個(gè)裝置來提取期望波長的現(xiàn)有的裝置相比，可以促進(jìn)光學(xué)模塊和電子設(shè)備的小型化，例如，可適合用作便攜用或車載用的光學(xué)裝置。
[0206]此外，實(shí)施本發(fā)明時(shí)的具體的結(jié)構(gòu)可以在能夠達(dá)成本發(fā)明目的的范圍內(nèi)適當(dāng)變更為其它結(jié)構(gòu)等。
【權(quán)利要求】
1.一種光學(xué)濾波器裝置，其特征在于，具備: 殼體，具有能使光射入內(nèi)側(cè)的入射光通過孔； 光圈，設(shè)置于所述殼體的外側(cè)，用于限制向所述入射光通過孔射入的光；以及 干涉濾波器，設(shè)置于所述殼體的內(nèi)側(cè)，具備第一反射膜以及與所述第一反射膜相對的第二反射膜， 其中，在從膜厚方向觀察所述第一反射膜以及所述第二反射膜的俯視觀察中，所述光圈的開口、所述入射光通過孔、和所述第一反射膜以及所述第二反射膜被設(shè)置為重疊， 在將靠近所述入射光通 過孔的所述第一反射膜的直徑設(shè)為Φπκ將所述入射光通過孔的口徑設(shè)為Φρ、將所述光圈的開口直徑設(shè)為Oa時(shí)，所述光學(xué)濾波器裝置滿足Φβ<Φι?<Φρ 的關(guān)系。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 所述光圈的開口、所述入射光通過孔、所述第一反射膜、以及所述第二反射膜的在所述俯視觀察中的各中心點(diǎn)位于同一軸上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 在將從所述入射光通過孔射入所述第一反射膜的光的入射角度設(shè)為Θ、將從所述第一反射膜至所述光圈的距離設(shè)為d時(shí)，所述光學(xué)濾波器裝置滿足(Op-Om)>2dtan Θ的關(guān)系。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 所述光學(xué)濾波器裝置滿足(Φπι-Φ&) >2dtan Θ的關(guān)系。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 在所述殼體的外側(cè)設(shè)置有用于覆蓋所述入射光通過孔的透光基板， 所述光圈設(shè)置于所述透光基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 在所述透光基板中的與所述第一反射膜相對的面上設(shè)置有反射防止膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 所述光圈中的與所述第一反射膜相對的面的光反射率為1%以下。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的光學(xué)濾波器裝置，其特征在于， 所述殼體具有出射光通過孔，相對于所述第一反射膜以及所述第二反射膜，所述出射光通過孔位于與所述入射光通過孔相反的一側(cè)，在所述俯視觀察中，所述出射光通過孔與所述第一反射膜以及所述第二反射膜重疊， 在將所述出射光通過孔的口徑設(shè)為Φ ο時(shí)，所述光學(xué)濾波器裝置滿足Φ 0〈 Φ ρ的關(guān)系。
9.一種光學(xué)模塊，其特征在于，具備: 殼體，具有能使光射入內(nèi)側(cè)的入射光通過孔； 光圈，設(shè)置于所述殼體的外側(cè)，用于限制向所述入射光通過孔射入的光； 干涉濾波器，設(shè)置于所述殼體的內(nèi)側(cè)，具備第一反射膜以及與所述第一反射膜相對的第二反射膜；以及 檢測部，對由所述干涉濾波器提取的光進(jìn)行檢測， 其中，在從膜厚方向觀察所述第一反射膜以及所述第二反射膜的俯視觀察中，所述光圈的開口、所述入射光通過孔、和所述第一反射膜以及所述第二反射膜被設(shè)置為重疊， 在將靠近所述入射光通過孔的所述第一反射膜的直徑設(shè)為Φπκ將所述入射光通過孔的口徑設(shè)為ΦP、將所述光圈的開口直徑設(shè)為Oa時(shí),所述光學(xué)模塊滿足ΦΒ〈Φηι〈Φρ的關(guān)系O
10.一種電子設(shè)備，其特征在于，具備: 殼體，具有能使光射入內(nèi)側(cè)的入射光通過孔； 光圈，設(shè)置于所述殼體的外側(cè)，用于限制向所述入射光通過孔射入的光； 干涉濾波器，設(shè)置于所述殼體的內(nèi)側(cè)，具備第一反射膜以及與所述第一反射膜相對的第二反射膜；以及 控制部，對所述干涉濾波器進(jìn)行控制， 其中，在從膜厚方向觀察所述第一反射膜以及所述第二反射膜的俯視觀察中，所述光圈的開口、所述入射光通過孔、和所述第一反射膜以及所述第二反射膜被設(shè)置為重疊， 在將靠近所述入射 光通過孔的所述第一反射膜的直徑設(shè)為Φπκ將所述入射光通過孔的口徑設(shè)為Φρ、將所述光圈的開口直徑設(shè)為Oa時(shí)，所述電子設(shè)備滿足Φ&〈Φπι〈Φρ的關(guān)系O
【文檔編號(hào)】G02B5/28GK104049293SQ201410090778
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年3月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月14日
【發(fā)明者】松下友紀(jì) 申請人:精工愛普生株式會(huì)社