光照射裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種光照射裝置,其能夠準(zhǔn)確且容易地調(diào)節(jié)線柵偏振器的線方向。所述光照射裝置包括光源、使所述光源的光偏振的線柵偏振器(16)、以及配置有所述線柵偏振器(16)的框架(14),將所述線柵偏振器(16)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在所述框架(14)上,并且包括對(duì)線柵偏振器(16)的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(30)。
【專利說(shuō)明】光照射裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及包括偏振元件的光照射裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往,已知有一種通過(guò)對(duì)取向膜、或取向?qū)?以下稱作“光取向膜”)照射偏振光進(jìn)行取向的被稱作光取向的技術(shù),該光取向被廣泛應(yīng)用于液晶顯示面板的液晶顯示元件所包括的液晶取向膜的取向等。
[0003]用于光取向的光照射裝置,通常包括光源和偏振器,尤其是近幾年來(lái),為了能夠?qū)崿F(xiàn)帶狀的細(xì)長(zhǎng)的光取向膜的光取向,已提出了一種如下的光照射裝置:其是將光源設(shè)為棒狀燈,并且在該棒狀燈的長(zhǎng)軸方向上排列了多個(gè)線柵偏振器。
[0004]光取向膜的取向方向取決于線柵偏振器的線方向(或者偏振軸的方向)。另一方面,光取向膜上產(chǎn)生的取向方向根據(jù)光取向膜的用途、種類等而各不相同。
[0005]因此,已提出了一種如下的方案:在將線柵偏振器安裝并排列于框架的結(jié)構(gòu)中,通過(guò)將線柵偏振器以能夠圍繞光軸(透光軸方向)旋轉(zhuǎn)的方式進(jìn)行安裝,由此,能夠手動(dòng)調(diào)節(jié)線柵偏振器的各自的線方向(例如參照專利文獻(xiàn)I)。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2006-126464號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
[0009]本發(fā)明所要解決的問(wèn)題
[0010]然而,當(dāng)在對(duì)線柵偏振器的線方向進(jìn)行手動(dòng)調(diào)節(jié)的以往的結(jié)構(gòu)中,使用紫外線燈作為光源時(shí),為了避免紫外線或熱量,需要依據(jù)調(diào)節(jié)的程度并針對(duì)每個(gè)框架來(lái)卸下線柵偏振器,并將其配置在另外設(shè)置的調(diào)節(jié)臺(tái)上來(lái)調(diào)節(jié)線方向。在該情況下,由于調(diào)節(jié)臺(tái)的光源與光照射裝置的光源不同,因此利用調(diào)節(jié)臺(tái)的調(diào)節(jié)結(jié)果、與利用光照射裝置的調(diào)節(jié)結(jié)果有可能不同。另外,還存在框架的安裝誤差、因作業(yè)者而產(chǎn)生誤差的問(wèn)題。
[0011]本發(fā)明是鑒于上述情況而做出的,其目的是,提供能夠準(zhǔn)確且容易地調(diào)節(jié)線柵偏振器的線方向的光照射裝置。
[0012]用于解決問(wèn)題的手段
[0013]為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種光照射裝置,其包括光源、使所述光源的光偏振的線柵偏振器、以及配置有所述線柵偏振器的框架,其特征在于,將所述線柵偏振器以能夠旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在所述框架上,所述光照射裝置還包括:對(duì)所述線柵偏振器的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
[0014]在上述結(jié)構(gòu)中,也可以包括以不能旋轉(zhuǎn)的方式來(lái)保持所述線柵偏振器的保持單
J Li ο
[0015]在上述結(jié)構(gòu)中,所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括:用于使所述線柵偏振器旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)單元,所述驅(qū)動(dòng)單元具有:在沒(méi)有信號(hào)輸入時(shí)以不能旋轉(zhuǎn)的方式來(lái)保持線柵偏振器的保持功能。
[0016]在上述結(jié)構(gòu)中,所述驅(qū)動(dòng)單元可以是壓電馬達(dá)。
[0017]在上述結(jié)構(gòu)中,也可以包括用于測(cè)量所述線柵偏振器的偏振光的測(cè)量單元,所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)基于所述測(cè)量單元的偏振光的測(cè)量結(jié)果,對(duì)所述線柵偏振器的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0018]在上述結(jié)構(gòu)中,也可以將所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為,在所述光源亮燈的過(guò)程中使所述線柵偏振器能夠旋轉(zhuǎn)。
[0019]通過(guò)該結(jié)構(gòu),由于在不熄滅光源的情況下能夠?qū)€柵偏振器的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行調(diào)節(jié),所以能夠縮短調(diào)節(jié)時(shí)間。例如,在作為光源、使用了放射出紫外線的光源的情況下,只要使用具有抗紫外線的材料形成調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)等抗紫外線結(jié)構(gòu)即可。
[0020]在上述結(jié)構(gòu)中,也可以在所述框架上配置有多個(gè)所述線柵偏振器,在所述框架上針對(duì)每個(gè)所述線柵偏振器設(shè)置有所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
[0021]在上述結(jié)構(gòu)中,也可以在所述框架上排列多個(gè)所述線柵偏振器,將所述驅(qū)動(dòng)單元設(shè)置為,能夠向所述線柵偏振器的排列方向移動(dòng)。
[0022]發(fā)明效果
[0023]根據(jù)本發(fā)明,由于將線柵偏振器以能夠旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在框架上,并且包括對(duì)線柵偏振器的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),因此能夠自動(dòng)調(diào)節(jié)線柵偏振器的線方向,所以能夠準(zhǔn)確且容易地調(diào)節(jié)線柵偏振器的線方向。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0024]圖1是本發(fā)明第一實(shí)施方式涉及的光取向裝置的示意圖。
[0025]圖2是示出光取向裝置的俯視圖。
[0026]圖3是示出偏振器單元的結(jié)構(gòu)的圖,圖3的(A)是俯視圖,圖3的(B)是側(cè)視剖視圖,圖3的(C)是仰視圖。
[0027]圖4是示出偏振器單元與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的俯視圖。
[0028]圖5是示出框架的俯視圖。
[0029]圖6是示出本發(fā)明第二實(shí)施方式涉及的光取向裝置的偏振器單元與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的俯視圖。
[0030]圖7是示出本發(fā)明第三實(shí)施方式涉及的光取向裝置的偏振器單元與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的俯視圖。
[0031]圖8是示出本發(fā)明的變形例涉及的光取向裝置的偏振器單元的俯視圖。
[0032]圖9是示出本發(fā)明第四實(shí)施方式涉及的光取向裝置的偏振器單元與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的俯視圖。
[0033]圖10是示出本發(fā)明第四實(shí)施方式涉及的光取向裝置的照射器收容箱的側(cè)視圖。
[0034]圖11是示出本發(fā)明第五實(shí)施方式涉及的光取向裝置的偏振器單元與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的圖,圖11的(A)是俯視圖,圖11的(B)是側(cè)視剖視圖。
[0035]圖12是示出本發(fā)明第五實(shí)施方式涉及的光取向裝置的照射器收容箱的側(cè)視圖。
[0036]附圖標(biāo)記的說(shuō)明
[0037]1、101、201、301、401:光取向裝置(光照射裝置)
[0038]10、110、210、310、410:偏振器單元[0039]14:框架
[0040]16:線柵偏振器
[0041]30、130、230、330、430:調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)
[0042]34、234:壓電馬達(dá)(驅(qū)動(dòng)單元)
[0043]35:連桿
[0044]36、436:鎖定單元(保持單元)
[0045]37:施力部件(施力單元)
[0046]50:測(cè)量單元(測(cè)量單元)
[0047]334:伺服馬達(dá)(驅(qū)動(dòng)單元)
[0048]336:制動(dòng)單元(保持單元)
【具體實(shí)施方式】
[0049]以下,參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
[0050]<第一實(shí)施方式〉
[0051]圖1是第一實(shí)施方式涉及的光取向裝置I的示意圖。
[0052]光取向裝置I是對(duì)光取向?qū)ο笪?照射偏振光從而進(jìn)行光取向的用于光配光的光照射裝置。在圖1中,工作臺(tái)3是矩形板狀的臺(tái),在其上表面配置有光取向?qū)ο笪?。光取向?qū)ο笪?例如是液晶面板等薄板狀的面板體,并包含光取向?qū)ο蟮墓馊∠蚰?。平臺(tái)4是對(duì)工作臺(tái)3進(jìn)行支承的實(shí)現(xiàn)防振的臺(tái),并內(nèi)置有使工作臺(tái)3直線運(yùn)動(dòng)的直動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示),工作臺(tái)3通過(guò)該直動(dòng)機(jī)構(gòu)沿著直線運(yùn)動(dòng)方向X在平臺(tái)4的表面上進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)。照射器收容箱5是通過(guò)固定在平臺(tái)4上、從而在平臺(tái)4的上方位置沿平臺(tái)4的寬度方向(與直動(dòng)機(jī)構(gòu)的直線運(yùn)動(dòng)方向X垂直的方向)進(jìn)行橫向架設(shè)的箱體。照射器6被內(nèi)置在照射器收容箱5內(nèi),并向平臺(tái)4照射偏振光。
[0053]照射器6包括燈(光源)7、反射鏡8以及偏振器單元10,并將偏振光聚光并照射到通過(guò)直動(dòng)機(jī)構(gòu)在正下方移動(dòng)的光取向?qū)ο笪?的表面S上。
[0054]具體而言,燈7是至少延伸至與光取向?qū)ο笪?的寬度相等以上的直管型(棒狀)的紫外線燈。對(duì)于燈7,例如,可使用將200至400nm的波長(zhǎng)作為主波長(zhǎng)進(jìn)行照射的燈。反射鏡8是截面為橢圓形、并且沿?zé)?的長(zhǎng)度方向延伸的圓柱凹面反射鏡,并對(duì)光取向?qū)ο笪?照射反射光。
[0055]偏振器單元10被配置在反射鏡8和光取向?qū)ο笪?之間,并使得對(duì)光取向?qū)ο笪?照射的光偏振。通過(guò)使該偏振光照射到光取向?qū)ο笪?的光取向膜上,從而使該光取向膜根據(jù)偏振光的偏振軸方向而取向。
[0056]圖2是示出光取向裝置I的俯視圖。此外,在該圖中,為了容易理解偏振器單元10的結(jié)構(gòu),在照射器收容箱5中僅示出了偏振器單元10。
[0057]偏振器單元10包括:多個(gè)單位偏振器單元12 ;以及將這些單位偏振器單元12橫向排列成一列的框架14,至少在遍及反射鏡8 (圖1)的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度上排列有單位偏振器單元12。框架14是將各單位偏振器單元12進(jìn)行并列配置的板狀的框體。單位偏振器單元12包括線柵偏振器16。
[0058]在本實(shí)施方式中,各單位偏振器單元12以使線方向A與上述工作臺(tái)3的直線運(yùn)動(dòng)方向X平行的方式對(duì)線柵偏振器16進(jìn)行支承,并使得與該線方向A相正交的方向、與線柵偏振器16的排列方向B —致。
[0059]線柵偏振器16是使入射光中的與線方向A平行的分量反射、并使與該線方向A正交的分量透過(guò)從而獲得直線偏振光的直線偏振器的一種。在該線柵偏振器16中,與線方向A正交的方向被定義為直線偏振的偏振軸P,在本實(shí)施方式中,偏振軸P與排列方向B —致。如上所述,由于燈7為棒狀,所以各種角度的光入射到線柵偏振器16中,在線柵偏振器16中,即使是傾斜入射的光,只要偏振軸P (透過(guò)軸)的方向與其一致,也能夠進(jìn)行直線偏振并使其透過(guò)。
[0060]圖3是示出單位偏振器單元12的結(jié)構(gòu)的圖,圖3的(A)是俯視圖,圖3的(B)是側(cè)視剖視圖,圖3的(C)是仰視圖。
[0061]單位偏振器單元12包括線柵偏振器16、以及支承該線柵偏振器16的支承框架18。
[0062]支承框架18是在金屬板的面內(nèi)具有大致矩形的開(kāi)口 20的框體,并且在隔著開(kāi)口20的上下的端部22上分別具有支承部24,該支承部24對(duì)線柵偏振器16的端部16A以?shī)A持方式進(jìn)行支承。另外,支承框架18的開(kāi)口 20的左右兩側(cè)的邊25(即在上下的端部22之間延伸的邊25)的寬度W形成得較窄,以使得在照射野內(nèi)難以因?qū)挾萕而產(chǎn)生陰影。
[0063]線柵偏振器16是具有用于堵塞支承框架18的開(kāi)口 20的大小的大致矩形形狀的板材,并形成與線方向A大致平行的一對(duì)側(cè)緣16B,該一對(duì)側(cè)緣16B是對(duì)上下的端部16A進(jìn)行連接的兩側(cè)的緣部。
[0064]在偏振器單元10中,相關(guān)結(jié)構(gòu)的多個(gè)單位偏振器單元12是使各線柵偏振器16的側(cè)緣16B彼此接近而進(jìn)行橫向排列的,由此,在線方向A與大致垂直于排列方向B (圖2)的方向一致的狀態(tài)下進(jìn)行排列。
[0065]然而,對(duì)于偏振器單元10,如果在各單位偏振器單元12之間線柵偏振器16的線方向A不一致,則無(wú)法使光取向?qū)ο笪?的取向方向與所期望的方向一致,導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降。
[0066]于是,在該偏振器單元10上,設(shè)置有對(duì)安裝在框架14上的各個(gè)單位偏振器單元12的線方向A進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30。
[0067]圖4是示出偏振器單元10與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30的俯視圖。圖5是示出框架14的俯視圖。此外,在圖4中,僅示出了一個(gè)單位偏振器單元12。
[0068]如這些圖所示,以各單位偏振器單元12的法線方向作為旋轉(zhuǎn)軸而使其在面內(nèi)旋轉(zhuǎn)從而能夠調(diào)節(jié)線方向A的方式,將各單位偏振器單元12支承在框架14上。具體而言,在框架14的上下的端部14A中的一個(gè)端部(本實(shí)施方式為下側(cè)),設(shè)置有用于旋轉(zhuǎn)自如地支承單位偏振器單元12的支承孔31。通過(guò)在支承框架18的端部22中的一個(gè)端部(本實(shí)施方式為下側(cè))所形成的支持孔32和框架14的支承孔31中插入支柱33,由此,以旋轉(zhuǎn)自如的方式將單位偏振器單元12支承在框架14上。
[0069]另外,在框架14上,并在設(shè)置有支柱33這一側(cè)的端部14A上,針對(duì)每個(gè)單位偏振器單元12都設(shè)置有壓電馬達(dá)(驅(qū)動(dòng)單元)34,該壓電馬達(dá)34對(duì)單位偏振器單元12進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。像這樣,由于將多個(gè)壓電馬達(dá)34 —體化地設(shè)置在框架14上,因此通過(guò)框架14的拆裝,就能夠拆裝多個(gè)壓電馬達(dá)34,所以,與將壓電馬達(dá)34與框架14分體、并分別拆裝壓電馬達(dá)34的情況相比,壓電馬達(dá)34的拆裝作業(yè)就會(huì)變得容易。
[0070]壓電馬達(dá)34是具有馬達(dá)軸34A的直線運(yùn)動(dòng)型馬達(dá),該馬達(dá)軸34A通過(guò)信號(hào)輸入而沿直線方向E (軸方向)移動(dòng)。馬達(dá)軸34A經(jīng)由連桿35與單位偏振器單元12的支承框架18相連接。由此,當(dāng)壓電馬達(dá)34驅(qū)動(dòng)而使馬達(dá)軸34A沿方向E移動(dòng)時(shí),則單位偏振器單元12以支柱33為支點(diǎn)(中心)旋轉(zhuǎn)。
[0071]雖然在壓電馬達(dá)34上省略了圖示,但其設(shè)置有對(duì)馬達(dá)軸34A和/或連桿35的移動(dòng)進(jìn)行限制的鎖定單元(保持單元)36。將鎖定單元36構(gòu)成為,在驅(qū)動(dòng)時(shí)對(duì)馬達(dá)軸34A和/或連桿35進(jìn)行固定,通過(guò)驅(qū)動(dòng)鎖定單元36,來(lái)限制馬達(dá)軸34A和/或連桿35的移動(dòng),由此以不能旋轉(zhuǎn)的方式來(lái)固定單位偏振器單元12。由這些支承孔31、32、支柱33、壓電馬達(dá)34、連桿35以及鎖定單元36構(gòu)成調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30。
[0072]控制光取向裝置I的控制裝置40與壓電馬達(dá)34連接。如圖2所示,控制裝置40包括:對(duì)該壓電馬達(dá)34 (圖3)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)從而控制單位偏振器單元12的旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)控制部41。旋轉(zhuǎn)控制部41通過(guò)控制對(duì)壓電馬達(dá)34施加的電壓并使馬達(dá)軸34A移動(dòng),由此使單位偏振器單元12旋轉(zhuǎn),并且對(duì)鎖定單元36的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制從而固定了單位偏振器單元12。
[0073]在光取向裝置I上,設(shè)置有對(duì)該光取向裝置I的偏振光的偏振特性進(jìn)行測(cè)量的測(cè)量單元(測(cè)量手段)50。測(cè)量單元50包括:檢測(cè)偏振光的檢測(cè)部51。另外,測(cè)量單元50還包括:沿直線引導(dǎo)檢測(cè)部51的線性引導(dǎo)部52,為了容易地分別針對(duì)每個(gè)線柵偏振器16進(jìn)行測(cè)量,將該線性引導(dǎo)部52的引導(dǎo)方向設(shè)置成與排列方向B平行。在偏振光測(cè)量時(shí),線性引導(dǎo)部52與上述工作臺(tái)3的行進(jìn)方向側(cè)的側(cè)面3A相連接從而被移送到偏振器單元10的正下方,或者將線性引導(dǎo)部52設(shè)置在平臺(tái)4的表面上以使該線性引導(dǎo)部52位于偏振器單元10的正下方。然后,使檢測(cè)部51沿著線性引導(dǎo)部52自行進(jìn),以使該檢測(cè)部51位于作為調(diào)節(jié)對(duì)象的線柵偏振器16的正下方,在該位置上利用檢測(cè)部51檢測(cè)出透過(guò)了該線柵偏振器16的偏振光,并測(cè)量偏振光。
[0074]控制裝置40包括:對(duì)檢測(cè)部51的檢測(cè)進(jìn)行控制的檢測(cè)控制部42 ;以及根據(jù)檢測(cè)部51對(duì)偏振光的檢測(cè)結(jié)果、來(lái)計(jì)算線柵偏振器16的偏振軸的偏振軸計(jì)算部43。此外,控制裝置40也可以例如通過(guò)使個(gè)人計(jì)算機(jī)執(zhí)行用于實(shí)現(xiàn)圖2所示的各部分的、計(jì)算機(jī)可讀取的程序來(lái)實(shí)施。
[0075]檢測(cè)控制部42使檢測(cè)部51檢測(cè)偏振光,并將檢測(cè)部51對(duì)偏振光的檢測(cè)結(jié)果向偏振軸計(jì)算部43輸出。另外,在作為調(diào)節(jié)對(duì)象的單位偏振器單元12的調(diào)節(jié)完成時(shí),檢測(cè)控制部42使檢測(cè)部51沿著線性引導(dǎo)部52移動(dòng),以使該檢測(cè)部51位于下一個(gè)調(diào)節(jié)對(duì)象的線柵偏振器16的正下方。
[0076]偏振軸計(jì)算部43根據(jù)檢測(cè)部51對(duì)偏振光的檢測(cè)結(jié)果來(lái)計(jì)算偏振軸,并且將計(jì)算出的偏振軸(角度)、與所要求的偏振器的角度(規(guī)定角度)進(jìn)行比較,從而計(jì)算出用于使單位偏振器單元12旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)角。在計(jì)算出的旋轉(zhuǎn)角位于規(guī)定范圍之外的情況下,偏振軸計(jì)算部43向旋轉(zhuǎn)控制部41輸出該旋轉(zhuǎn)角,在計(jì)算出的旋轉(zhuǎn)角位于規(guī)定范圍內(nèi)的情況下,向旋轉(zhuǎn)控制部41以及檢測(cè)控制部42輸出了作為調(diào)節(jié)對(duì)象的單位偏振器單元12的調(diào)節(jié)完成。此夕卜,在本實(shí)施方式中,由于光取向裝置I所要求的偏振軸的位置不均為±0.03°,因此將規(guī)定范圍設(shè)為0.01°,但規(guī)定范圍并不局限于此。
[0077]在從偏振軸計(jì)算部43輸入了旋轉(zhuǎn)角的情況下,旋轉(zhuǎn)控制部41對(duì)于與該旋轉(zhuǎn)角相對(duì)應(yīng)的馬達(dá)軸34A的移動(dòng)量進(jìn)行計(jì)算,并將與移動(dòng)量相對(duì)應(yīng)的信號(hào)向壓電馬達(dá)34輸出,從而使單位偏振器單元12僅旋轉(zhuǎn)了所計(jì)算出的旋轉(zhuǎn)角的程度。另一方面,當(dāng)由偏振軸計(jì)算部43指示了調(diào)節(jié)完成時(shí),則旋轉(zhuǎn)控制部41驅(qū)動(dòng)鎖定單元36從而固定了單位偏振器單元12。
[0078]接下來(lái),將說(shuō)明對(duì)線柵偏振器16的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行的調(diào)節(jié)。
[0079]首先,作業(yè)者將測(cè)量單元50設(shè)置在光取向裝置I上。在進(jìn)行該設(shè)置時(shí),作業(yè)者以使線性引導(dǎo)部52的引導(dǎo)方向與上述線柵偏振器16的排列方向B平行、并且位于偏振器單元10的正下方的方式,來(lái)設(shè)置線性引導(dǎo)部52。然后,作業(yè)者指示控制裝置40對(duì)線柵偏振器16進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0080]當(dāng)由作業(yè)者指示控制裝置40開(kāi)始調(diào)節(jié)時(shí),檢測(cè)控制部42使檢測(cè)部51沿著線性引導(dǎo)部52進(jìn)行移動(dòng),以使該檢測(cè)部51位于調(diào)節(jié)對(duì)象的線柵偏振器16的正下方。接下來(lái),檢測(cè)控制部42使檢測(cè)部51檢測(cè)偏振光,并將檢測(cè)部51對(duì)偏振光的檢測(cè)結(jié)果向偏振軸計(jì)算部43輸出。偏振軸計(jì)算部43基于檢測(cè)結(jié)果來(lái)計(jì)算偏振軸,并且對(duì)基于計(jì)算出的偏振軸而使單位偏振器單元12旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)角進(jìn)行計(jì)算,在計(jì)算出的旋轉(zhuǎn)角位于規(guī)定范圍之外的情況下,向旋轉(zhuǎn)控制部41輸出該旋轉(zhuǎn)角。旋轉(zhuǎn)控制部41驅(qū)動(dòng)壓電馬達(dá)34,從而使單位偏振器單元12僅旋轉(zhuǎn)了計(jì)算出的旋轉(zhuǎn)角的程度。在本實(shí)施方式中,在旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)時(shí),雖然在燈7亮燈的過(guò)程中能夠使單位偏振器單元12旋轉(zhuǎn),但除了在檢測(cè)部51檢測(cè)以外的情況下,均可以使燈7熄滅。
[0081]控制裝置40反復(fù)進(jìn)行檢測(cè)和旋轉(zhuǎn)控制,直至計(jì)算出的旋轉(zhuǎn)角位于規(guī)定范圍內(nèi)。當(dāng)計(jì)算出的旋轉(zhuǎn)角位于規(guī)定范圍內(nèi)時(shí),檢測(cè)控制部42向旋轉(zhuǎn)控制部41以及檢測(cè)控制部42輸出了作為調(diào)節(jié)對(duì)象的單位偏振器單元12的調(diào)節(jié)完成。當(dāng)指示了調(diào)節(jié)完成時(shí),則旋轉(zhuǎn)控制部41驅(qū)動(dòng)鎖定單元36從而固定了單位偏振器單元12。當(dāng)指示了調(diào)節(jié)完成時(shí),則檢測(cè)控制部42使檢測(cè)部51沿著線性引導(dǎo)部52移動(dòng),以使該檢測(cè)部51位于下一個(gè)調(diào)節(jié)對(duì)象的線柵偏振器16的正下方。
[0082]由此,所有的線柵偏振器16的偏振軸P的方向均與排列方向B —致,在偏振器單元10的長(zhǎng)軸方向的全長(zhǎng)上均獲得了以高精度使偏振軸P—致的偏振光,由此能夠?qū)崿F(xiàn)高品位的光取向。
[0083]像這樣,由于設(shè)置了對(duì)線柵偏振器16的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30,因此不需要卸下框架14,所以就不會(huì)產(chǎn)生因框架14的拆裝而引起的誤差。另外,由于在光取向裝置I的燈7的下方來(lái)調(diào)節(jié)線柵偏振器16的旋轉(zhuǎn),因此在調(diào)節(jié)時(shí)和配光時(shí)不會(huì)產(chǎn)生因光源不同而引起的誤差。并且,還由于能夠節(jié)省拆裝框架14的時(shí)間,所以能夠縮短調(diào)節(jié)時(shí)間。尤其是,由于在燈7的發(fā)光長(zhǎng)度較長(zhǎng)的光取向裝置I中,框架14本身很長(zhǎng)且很重,拆裝框架14的時(shí)間變長(zhǎng),因此調(diào)節(jié)時(shí)間將會(huì)大幅度縮短。
[0084]另外,由于自動(dòng)調(diào)節(jié)了線柵偏振器16的旋轉(zhuǎn),所以不會(huì)產(chǎn)生因作業(yè)者的技術(shù)水平而引起的誤差。另外,由于能夠以高精度且較短的時(shí)間來(lái)調(diào)節(jié)線柵偏振器16的旋轉(zhuǎn),所以能夠縮短調(diào)節(jié)時(shí)間。
[0085]如上所述,根據(jù)本實(shí)施方式,由于將線柵偏振器16可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在框架14上,并具有對(duì)線柵偏振器16的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)30,因此能夠自動(dòng)調(diào)節(jié)線柵偏振器16的線方向A,所以能夠準(zhǔn)確且容易地調(diào)節(jié)線柵偏振器16的線方向A。
[0086]另外,根據(jù)本實(shí)施方式,由于具有以不能旋轉(zhuǎn)的方式來(lái)保持線柵偏振器16的保持單元,因此,例如,即使光取向裝置I發(fā)生了振動(dòng),也能夠在調(diào)節(jié)了旋轉(zhuǎn)后的狀態(tài)下對(duì)線柵偏振器16進(jìn)行保持。
[0087]<第二實(shí)施方式>
[0088]在第一實(shí)施方式中,雖然將壓電馬達(dá)34的馬達(dá)軸34A經(jīng)由連桿35連接到單位偏振器單元12上,但在第二實(shí)施方式中,已省略了連桿35。
[0089]圖6是示出第二實(shí)施方式涉及的光取向裝置101的偏振器單元110與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)130的俯視圖。另外,在圖6中,對(duì)于與第一實(shí)施方式的光取向裝置I相同的部分標(biāo)記相同的附圖標(biāo)記,并省略說(shuō)明。另外,在圖6中,僅示出了一個(gè)單位偏振器單元12。
[0090]在圖6的例子中,將壓電馬達(dá)34設(shè)置成其馬達(dá)軸34A與單位偏振器單元12的端部22相連接,并且在相對(duì)于支柱33的與壓電馬達(dá)34相反側(cè)的端部22上,設(shè)置有朝向方向F對(duì)單位偏振器單元12施力的施力部件(施力單元)37。在本實(shí)施方式中,例如使用彈簧部件而構(gòu)成施力部件37,但并不局限于此。在本實(shí)施方式中,由支承孔31、32、支柱33、壓電馬達(dá)34、連桿35、鎖定單元36以及施力部件37構(gòu)成偏振器單元110的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)130。
[0091]像這樣,在本實(shí)施方式中,由于具有對(duì)線柵偏振器16的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)130,因此能夠自動(dòng)調(diào)節(jié)線柵偏振器16的線方向A,所以能夠準(zhǔn)確且容易地調(diào)節(jié)線柵偏振器16的線方向A。
[0092]另外,由于將壓電馬達(dá)34的馬達(dá)軸34A直接連接到單位偏振器單元12上,因此不需要設(shè)置對(duì)馬達(dá)軸34A和單位偏振器單元12進(jìn)行連接的連桿,所以能夠防止因連桿的連接而引起的誤差,并能夠更準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)單位偏振器單元12的線方向A。
[0093]<第三實(shí)施方式>
[0094]在第一實(shí)施方式中,雖然將壓電馬達(dá)34的馬達(dá)軸34A經(jīng)由連桿35連接到單位偏振器單元12上,但在第三實(shí)施方式中,已省略了連桿35以及壓電馬達(dá)234的馬達(dá)軸。
[0095]圖7是示出第三實(shí)施方式涉及的光取向裝置201的偏振器單元210與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)230的俯視圖。此外,在圖7中,對(duì)于與第一實(shí)施方式的光取向裝置I相同的部分標(biāo)記相同的附圖標(biāo)記,并省略說(shuō)明。
[0096]在圖7的例子中,壓電馬達(dá)234使得用于使上述馬達(dá)軸34A (圖4和圖6)移動(dòng)的爪部234A、延伸在壓電馬達(dá)234的本體234B的外部,并將該爪部234A直接連接到單位偏振器單元12上。具體而言,在單位偏振器單元12的端部22上形成圓弧狀的引導(dǎo)部38,并使壓電馬達(dá)234的爪部234A與該引導(dǎo)部38抵接。通過(guò)對(duì)壓電馬達(dá)234施加電壓,爪部234A沿著方向E移動(dòng),從而使單位偏振器單元12旋轉(zhuǎn)。在本實(shí)施方式中,由支承孔31、32、支柱
33、壓電馬達(dá)234以及鎖定單元36構(gòu)成偏振器單元210的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)230。
[0097]像這樣,在本實(shí)施方式中,由于具有對(duì)線柵偏振器16的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)230,因此能夠自動(dòng)調(diào)節(jié)線柵偏振器16的線方向A,所以能夠準(zhǔn)確且容易地調(diào)節(jié)線柵偏振器16的線方向A。
[0098]另外,由于將壓電馬達(dá)234的爪部234A直接連接到單位偏振器單元12上,因此不需要設(shè)置馬達(dá)軸、連桿,所以能夠防止因馬達(dá)軸、連桿的連接而引起的誤差,并且能夠更準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)單位偏振器單元12的線方向A。
[0099]此外,在上述第一至第三實(shí)施方式中,雖然使單位偏振器單元12以支柱33為軸心進(jìn)行旋轉(zhuǎn),該支柱33設(shè)置在與線柵偏振器16的平面的中心分離的位置上,但如圖8所示,也可以使單位偏振器單元12以線柵偏振器16的平面的中心C為軸心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。在該情況下,例如,將單位偏振器單元12的上下的端部22的外形形成為、與以線柵偏振器16的平面的中心C為中心的圓D的一部分圓周相一致的圓弧狀,并且以與這些端部22的圓弧狀相匹配的方式在框架14上形成圓弧狀的引導(dǎo)部14B即可。由此,由于單位偏振器單元12以線柵偏振器16的平面的中心C為軸心進(jìn)行旋轉(zhuǎn),因此該單位偏振器單元12的旋轉(zhuǎn)角度、與線柵偏振器16的線方向A的旋轉(zhuǎn)角度始終一致,所以能夠簡(jiǎn)單且準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)單位偏振器單元12的線方向A,從而使調(diào)節(jié)作業(yè)變得非常容易。
[0100]另外,在上述第一至第三實(shí)施方式中,雖然將壓電馬達(dá)34、234連接在設(shè)置了作為支點(diǎn)的支柱33的端部22 —側(cè),由此使與支承框架18有關(guān)的力矩減小,但也可以將壓電馬達(dá)34、234連接在未設(shè)置支柱33的端部22 —側(cè)。另外,雖然設(shè)置了鎖定單元36,但對(duì)壓電馬達(dá)34、234未施加電壓時(shí),即信號(hào)未輸入時(shí),則馬達(dá)軸34A或爪部234A的移動(dòng)停止,由于具有以不能旋轉(zhuǎn)的方式來(lái)保持單位偏振器單元12的保持功能,所以可以省略鎖定單元36。
[0101]〈第四實(shí)施方式〉
[0102]在第一至第三實(shí)施方式中,雖然使用了壓電馬達(dá)作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),但在第四實(shí)施方式中,使用伺服馬達(dá)作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0103]圖9是示出第四實(shí)施方式涉及的光取向裝置301的偏振器單元310與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)330的俯視圖。圖10是示出第四實(shí)施方式涉及的光取向裝置301的照射器收容箱5的側(cè)視圖。此外,在圖9和圖10中,對(duì)于與第一實(shí)施方式的光取向裝置I相同的部分標(biāo)記相同的附圖標(biāo)記,并省略說(shuō)明。另外,在圖9中,僅示出了一個(gè)單位偏振器單元12。
[0104]在圖9和圖10的例子中,通過(guò)軸承333,將單位偏振器單元12的上下的端部22中的一個(gè)端部(本實(shí)施方式為上側(cè))可旋轉(zhuǎn)地支承在框架14上。在框架14上,針對(duì)每個(gè)單位偏振器單元12,設(shè)置有對(duì)單位偏振器單元12進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的伺服馬達(dá)(驅(qū)動(dòng)單元)334。伺服馬達(dá)334是具有馬達(dá)軸334A的旋轉(zhuǎn)型馬達(dá),該馬達(dá)軸334A是通過(guò)輸入信號(hào)而進(jìn)行軸旋轉(zhuǎn)的。將該伺服馬達(dá)334的馬達(dá)軸334A以與線柵偏振器16的平面平行、且與線柵偏振器16的排列方向B正交的方式配置在框架14上。馬達(dá)軸334A經(jīng)由傳遞機(jī)構(gòu)335與單位偏振器單元12的支承框架18相連接。
[0105]傳遞機(jī)構(gòu)335包括:與馬達(dá)軸334A連接的錐齒輪335A ;與錐齒輪335A嚙合的小齒輪335B ;以及與小齒輪335B嚙合的齒條335C。將齒條335C以沿偏振軸P方向延伸的方式、設(shè)置在單位偏振器單元12的上下的端部22中的另一端部(本實(shí)施方式為下側(cè))上。由此,當(dāng)馬達(dá)軸334A驅(qū)動(dòng)并且馬達(dá)軸334A旋轉(zhuǎn)時(shí),馬達(dá)軸334A的旋轉(zhuǎn)由錐齒輪335A轉(zhuǎn)換成以單位偏振器單元12的法線為軸的旋轉(zhuǎn),并將其傳遞到小齒輪335B。小齒輪335B的旋轉(zhuǎn)由小齒輪335B和齒條335C的嚙合而被轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng),單位偏振器單元12以軸承333為支點(diǎn)(中心)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0106]在伺服馬達(dá)334上,設(shè)置有對(duì)馬達(dá)軸334A的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行限制的制動(dòng)單元(保持單元)336。將制動(dòng)單元336構(gòu)成為在驅(qū)動(dòng)時(shí)對(duì)馬達(dá)軸334A進(jìn)行固定,通過(guò)驅(qū)動(dòng)制動(dòng)單元336,來(lái)限制馬達(dá)軸334A的旋轉(zhuǎn),由此以不可旋轉(zhuǎn)的方式來(lái)固定單位偏振器單元12。在本實(shí)施方式中,由軸承333、伺服馬達(dá)334、傳遞機(jī)構(gòu)335以及制動(dòng)單元336構(gòu)成偏振器單元310的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)330。
[0107]另外,在本實(shí)施方式中,雖然省略了圖示,但圖2所示的旋轉(zhuǎn)控制部41的結(jié)構(gòu)為,對(duì)伺服馬達(dá)334的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制,并且對(duì)制動(dòng)單元336的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制。即、在從偏振軸計(jì)算部43輸入了旋轉(zhuǎn)角的情況下,旋轉(zhuǎn)控制部41對(duì)于與該旋轉(zhuǎn)角相對(duì)應(yīng)的馬達(dá)軸334A的旋轉(zhuǎn)量進(jìn)行計(jì)算,并向伺服馬達(dá)334輸出與旋轉(zhuǎn)量相對(duì)應(yīng)的信號(hào),從而使單位偏振器單元12僅旋轉(zhuǎn)了所計(jì)算出的旋轉(zhuǎn)角的程度。另一方面,當(dāng)由偏振軸計(jì)算部43指示了調(diào)節(jié)完成時(shí),旋轉(zhuǎn)控制部41在向伺服馬達(dá)334輸入信號(hào)的狀態(tài)下驅(qū)動(dòng)制動(dòng)單元336,從而固定了單位偏振器單元12。由此,即使在信號(hào)沒(méi)有輸入到伺服馬達(dá)334時(shí),也能夠以調(diào)節(jié)后的角度來(lái)保持單位偏振器單元12。
[0108]像這樣,在本實(shí)施方式中,由于設(shè)置了對(duì)線柵偏振器16的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)330,因此能夠自動(dòng)調(diào)節(jié)線柵偏振器16的線方向A,所以能夠準(zhǔn)確且容易地調(diào)節(jié)線柵偏振器16的線方向A。
[0109]另外,由于將伺服馬達(dá)334 —體化地設(shè)置在框架14上,因此通過(guò)框架14的拆裝就能夠拆裝多個(gè)伺服馬達(dá)334,所以,與將伺服馬達(dá)334與框架14分體、并分別拆裝伺服馬達(dá)334的情況相比,伺服馬達(dá)334的拆裝作業(yè)就會(huì)變得容易。
[0110]〈第五實(shí)施方式〉
[0111]在第四實(shí)施方式中,雖然針對(duì)每個(gè)單位偏振器單元12在框架14上設(shè)置了伺服馬達(dá)334,但在第五實(shí)施方式中,相對(duì)于多個(gè)單位偏振器單元12而設(shè)置一個(gè)伺服馬達(dá)334。
[0112]圖11是示出第五實(shí)施方式涉及的光取向裝置401的偏振器單元410與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)430的圖,圖11的(A)是俯視圖,圖11的(B)是側(cè)視剖視圖。圖12是示出第五實(shí)施方式涉及的光取向裝置401的照射器收容箱5的側(cè)視圖。此外,在圖11和圖12中,對(duì)于與第四實(shí)施方式的光取向裝置301相同的部分標(biāo)記相同的附圖標(biāo)記,并省略說(shuō)明。另外,在圖11的(A)中,僅示出了一個(gè)單位偏振器單元12。
[0113]在圖11和圖12的例子中,相對(duì)于所有的單位偏振器單元12而設(shè)置一個(gè)伺服馬達(dá)334,伺服馬達(dá)334的馬達(dá)軸334A經(jīng)由傳遞機(jī)構(gòu)435與單位偏振器單元12的支承框架18相連接。
[0114]傳遞機(jī)構(gòu)435包括小齒輪335B、齒條335C、以及設(shè)置在小齒輪335B的中心的驅(qū)動(dòng)軸435A。驅(qū)動(dòng)軸435A被固定在小齒輪335B上并與小齒輪335B進(jìn)行一體化旋轉(zhuǎn),驅(qū)動(dòng)軸435A貫穿框架14并延伸在框架14的下方。
[0115]伺服馬達(dá)334包括:對(duì)驅(qū)動(dòng)軸435A進(jìn)行拆裝的卡盤(pán)(拆裝單元)439??ūP(pán)439與馬達(dá)軸334A連接,并在驅(qū)動(dòng)時(shí)抓住驅(qū)動(dòng)軸435A,通過(guò)驅(qū)動(dòng)卡盤(pán)439,由此將馬達(dá)軸334A的旋轉(zhuǎn)傳遞到驅(qū)動(dòng)軸435A。由此,當(dāng)在卡盤(pán)439驅(qū)動(dòng)時(shí),馬達(dá)軸334A驅(qū)動(dòng)并且馬達(dá)軸334A旋轉(zhuǎn)時(shí),則馬達(dá)軸334A的旋轉(zhuǎn)被傳遞到卡盤(pán)439、驅(qū)動(dòng)軸435A、小齒輪335B。小齒輪335B的旋轉(zhuǎn)由小齒輪335B和齒條335C的嚙合而被轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng),單位偏振器單元12以軸承333為支點(diǎn)(中心)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0116]在框架14上,設(shè)置有對(duì)小齒輪335B和/或驅(qū)動(dòng)軸435A的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行限制的鎖定單元(保持單元)436。將鎖定構(gòu)件436構(gòu)成為,在驅(qū)動(dòng)時(shí)對(duì)小齒輪335B和/或驅(qū)動(dòng)軸435A進(jìn)行固定,通過(guò)驅(qū)動(dòng)鎖定單元436,來(lái)限制小齒輪335B和/或驅(qū)動(dòng)軸435A的旋轉(zhuǎn),由此以不能旋轉(zhuǎn)的方式來(lái)固定單位偏振器單元12。
[0117]在本實(shí)施方式中,由軸承333、伺服馬達(dá)334、鎖定單元436、傳遞機(jī)構(gòu)435構(gòu)成偏振器單元410的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)430。[0118]將伺服馬達(dá)334設(shè)置為,能夠與檢測(cè)部51 —起沿著線性引導(dǎo)部52移動(dòng)。
[0119]在本實(shí)施方式中,雖然省略了圖示,但圖2所示的旋轉(zhuǎn)控制部41的結(jié)構(gòu)為,對(duì)伺服馬達(dá)334的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制,并且對(duì)鎖定單元436和卡盤(pán)439的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制。即、旋轉(zhuǎn)控制部41能夠與檢測(cè)控制部42進(jìn)行協(xié)同動(dòng)作,當(dāng)通過(guò)檢測(cè)控制部42使檢測(cè)部51與伺服馬達(dá)334 一起移動(dòng)到調(diào)節(jié)對(duì)象的線柵偏振器16的正下方時(shí),則對(duì)卡盤(pán)439進(jìn)行驅(qū)動(dòng)從而連接馬達(dá)軸334A和驅(qū)動(dòng)軸435A。當(dāng)連接馬達(dá)軸334A和驅(qū)動(dòng)軸435A時(shí),則檢測(cè)控制部42使檢測(cè)部51檢測(cè)偏振光。
[0120]而且,在從偏振軸計(jì)算部43輸入了旋轉(zhuǎn)角的情況下,計(jì)算出與該旋轉(zhuǎn)角相對(duì)應(yīng)的馬達(dá)軸334A的旋轉(zhuǎn)量,并將與旋轉(zhuǎn)量相對(duì)應(yīng)的信號(hào)輸出至伺服馬達(dá)334,從而使單位偏振器單元12僅旋轉(zhuǎn)了所計(jì)算出的旋轉(zhuǎn)角的程度。另一方面,當(dāng)由偏振軸計(jì)算部43指示了調(diào)節(jié)完成時(shí),旋轉(zhuǎn)控制部41在向伺服馬達(dá)334輸入了信號(hào)、且驅(qū)動(dòng)了卡盤(pán)439的狀態(tài)下,對(duì)制動(dòng)單元336進(jìn)行驅(qū)動(dòng)從而固定了單位偏振器單元12。然后,旋轉(zhuǎn)控制部41使卡盤(pán)439停止,并使卡盤(pán)439與驅(qū)動(dòng)軸435A分離,之后,使信號(hào)不輸入到伺服馬達(dá)334。由此,即使在信號(hào)沒(méi)有輸入到伺服馬達(dá)334時(shí),也能夠以調(diào)節(jié)后的角度來(lái)保持單位偏振器單元12。當(dāng)由檢測(cè)控制部42指示了調(diào)節(jié)完成、并且使卡盤(pán)439停止時(shí),將檢測(cè)部51與伺服馬達(dá)334 —起沿著線性引導(dǎo)部52移動(dòng),以使該檢測(cè)部51位于下一個(gè)調(diào)節(jié)對(duì)象的線柵偏振器16的正下方。
[0121]像這樣,由于相對(duì)于多個(gè)單位偏振器單元12而設(shè)置一個(gè)伺服馬達(dá)334,因此,與針對(duì)每個(gè)單位偏振器單元12而設(shè)置伺服馬達(dá)334的情況相比,由于能夠削減伺服馬達(dá)334的個(gè)數(shù),所以能夠削減部件個(gè)數(shù),并且能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。另外,由于沒(méi)有將伺服馬達(dá)334設(shè)置在框架14上,因此能夠簡(jiǎn)化偏振器單元410的結(jié)構(gòu)。
[0122]此外,在本實(shí)施方式中,雖然相對(duì)于所有的單位偏振器單元12而設(shè)置了一個(gè)伺服馬達(dá)334,但也可以針對(duì)所有的單位偏振器單元12中的多個(gè)單位偏振器單元12而設(shè)置一個(gè)伺服馬達(dá)334。在該情況下,針對(duì)每個(gè)伺服馬達(dá)334而設(shè)置測(cè)量單元50,從而利用多個(gè)伺服馬達(dá)334能夠同時(shí)調(diào)節(jié)單位偏振器單元12的旋轉(zhuǎn),所以能夠縮短調(diào)節(jié)時(shí)間。
[0123]但是,上述實(shí)施方式只是本發(fā)明的一個(gè)方式,在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi),當(dāng)然也能夠進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖兏?br>
[0124]例如,在上述實(shí)施方式中,雖然對(duì)作為驅(qū)動(dòng)單元的壓電馬達(dá)34和伺服馬達(dá)334進(jìn)行了說(shuō)明,但驅(qū)動(dòng)單元并不僅限于此。另外,作為具有在沒(méi)有信號(hào)輸入時(shí)以不能旋轉(zhuǎn)的方式來(lái)保持線柵偏振器16的保持功能的驅(qū)動(dòng)單元,以壓電馬達(dá)為例進(jìn)行了列舉,但是,具有保持功能的驅(qū)動(dòng)單元并不僅限于壓電馬達(dá)。
[0125]雖然對(duì)作為直線運(yùn)動(dòng)型馬達(dá)的壓電馬達(dá)進(jìn)行了說(shuō)明,并對(duì)作為旋轉(zhuǎn)型馬達(dá)的伺服馬達(dá)進(jìn)行了說(shuō)明,但直線運(yùn)動(dòng)型馬達(dá)和旋轉(zhuǎn)型馬達(dá)都可以應(yīng)用各種馬達(dá)。
[0126]另外,在上述實(shí)施方式中,雖然將作為保持單元的鎖定單元436和制動(dòng)單元336構(gòu)成為,在驅(qū)動(dòng)時(shí)以不能旋轉(zhuǎn)的方式來(lái)保持線柵偏振器,但是,也可以將保持單元構(gòu)成為,在停止時(shí)以不能旋轉(zhuǎn)的方式來(lái)保持線柵偏振器。在該情況下,能夠抑制在以不能旋轉(zhuǎn)的方式來(lái)保持線柵偏振器時(shí)的電力。另外,保持單元并不僅限于鎖定單元436和制動(dòng)單元336的結(jié)構(gòu)、配置位置。
【權(quán)利要求】
1.一種光照射裝置,包括光源、使所述光源的光偏振的線柵偏振器、以及配置有所述線柵偏振器的框架,其特征在于, 將所述線柵偏振器以能夠旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在所述框架上, 所述光照射裝置還包括:對(duì)所述線柵偏振器的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的光照射裝置,其特征在于, 所述光照射裝置包括:以不能旋轉(zhuǎn)的方式來(lái)保持所述線柵偏振器的保持單元。
3.如權(quán)利要求1或2所述的光照射裝置,其特征在于, 所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括:用于使所述線柵偏振器旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)單元, 所述驅(qū)動(dòng)單元具有:在沒(méi)有信號(hào)輸入時(shí)以不能旋轉(zhuǎn)的方式來(lái)保持線柵偏振器的保持功倉(cāng)泛。
4.如權(quán)利要求3所述的光照射裝置,其特征在于, 所述驅(qū)動(dòng)單元是壓電馬達(dá)。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的光照射裝置,其特征在于, 所述光照射裝置包括:用于測(cè)量所述線柵偏振器的偏振光的測(cè)量單元, 所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)基于所述測(cè)量單元的偏振光的測(cè)量結(jié)果,對(duì)所述線柵偏振器的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行調(diào)節(jié)。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的光照射裝置,其特征在于, 將所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為,在所述光源亮燈的過(guò)程中使所述線柵偏振器能夠旋轉(zhuǎn)。
7.如權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的光照射裝置,其特征在于, 在所述框架上配置有多個(gè)所述線柵偏振器, 在所述框架上針對(duì)每個(gè)所述線柵偏振器設(shè)置有所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
8.如權(quán)利要求3至6中任一項(xiàng)所述的光照射裝置,其特征在于, 在所述框架上排列多個(gè)所述線柵偏振器, 將所述驅(qū)動(dòng)單元設(shè)置為,能夠向所述線柵偏振器的排列方向移動(dòng)。
【文檔編號(hào)】G02B27/28GK103941413SQ201410031110
【公開(kāi)日】2014年7月23日 申請(qǐng)日期:2014年1月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月23日
【發(fā)明者】今井誠(chéng), 齊藤行正, 石飛裕和, 川鍋保文, 杉本宏 申請(qǐng)人:巖崎電氣株式會(huì)社, 愛(ài)古拉飛克斯株式會(huì)社