光刻膠回收再利用系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種光刻膠回收再利用系統(tǒng)，回收管路一（1）一端連接緩存槽一(81)上的排氣閥一（82）、另一端連接回收槽（220）；回收管路二（2）一端連接緩存槽二（91)上的排氣閥（92）、另一端連接回收槽（220）；回收管路三（3）一端連接回收槽（220）、另一端連接到過濾器（24）上的排氣閥三（25）；回收供給管路（280）一端連接光刻膠供給槽二（90）、另一端連接至回收槽（220）；靜電容量傳感器（210）安裝在回收槽（220）上；本實用新型設(shè)置了回收槽與回收管路，具有光刻膠回收功能，可以將浪費掉的光刻膠回收再利用，不僅可以減少資源的浪費，還可以達到降低成本的效果。
【專利說明】光刻膠回收再利用系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種光刻膠噴淋系統(tǒng)，具體是一種光刻膠回收再利用系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]光刻膠噴淋系統(tǒng)是將一定量光刻膠涂布于半導(dǎo)體晶元上。通常來說，半導(dǎo)體晶元光刻工藝是指，采用稱為光刻膠的物質(zhì)進行涂布，然后進行光刻，將光罩上的圖案刻錄到涂布好的晶元上的工藝。
[0003]這里說的涂布用光刻膠，是通過圖1所示的光刻膠噴淋裝置，將一定量的光刻膠噴灑于晶元表面。如圖1所示，光刻膠噴淋裝置包括光刻膠供給槽一 80、光刻膠供給槽二90、緩存槽一 81、緩存槽二 91、噴淋泵23、過濾器24和止回閥26等部件。
[0004]前期，光刻膠供給槽一 80充滿光刻膠，并供給與其對應(yīng)的緩存槽一 81，緩存槽一81內(nèi)的光刻膠通過三通閥22提供噴淋泵23所需的光刻膠。此狀態(tài)下，從外部感知到光刻膠噴淋信號，空氣電磁閥制動，使得空氣由通氣孔流入噴淋泵23。噴淋泵23內(nèi)氣缸在空氣壓力作用下制動，帶動與其相連的波紋管收縮，將其內(nèi)部光刻膠抽到噴淋泵23出口處。同時，過濾器單元存儲的光刻膠經(jīng)過濾器24過濾，并隨著噴淋泵23制動的壓力被推向噴嘴方向，然后光刻膠通過噴嘴，經(jīng)由止回閥26噴向晶元10。
[0005]當(dāng)其中一個光刻膠供給槽一 80內(nèi)的光刻膠消耗殆盡，監(jiān)視傳感器感知到信號，此時控制開合狀態(tài)的三通閥22會轉(zhuǎn)換為“關(guān)閉”狀態(tài)，并更換另一個光刻膠供給槽二 90，此時光刻膠供給路徑發(fā)生變化。同理，當(dāng)光刻膠供給槽二 90內(nèi)的光刻膠消耗殆盡，監(jiān)視傳感器感知到信號，又會重新切會光刻膠供給槽一 80，如此往復(fù)，2個供給槽之間不斷進行切換。
[0006]如果想要更換光刻膠供給槽，或者清除光刻膠供給管路內(nèi)殘存的空氣時，需要往光刻膠供給槽一80、光刻膠供給槽二90內(nèi)注入氮氣，維持一定壓力。這樣一來，光刻膠管路內(nèi)殘存的光刻膠會流向緩存槽一 81、緩存槽二 91。此時與緩存槽一 81、緩存槽二 91相連的排氣閥一 82、排氣閥二 92處于“打開”狀態(tài)，這樣混合空氣氣泡的光刻膠則通過排氣閥一82、排氣閥二 92排出。被排出的光刻膠無法回收，造成高價光刻膠浪費。同時，為清除光刻膠噴淋過程中的空氣，與過濾器24相連的排氣閥三25通常情況下處于1/4打開狀態(tài)，這樣噴淋泵23加壓時，又會有少量光刻膠通過排氣閥二 25排出，造成浪費。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實用新型提供一種光刻膠回收再利用系統(tǒng)，可回收再利用光刻膠。
[0008]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種光刻膠回收再利用系統(tǒng)，包括光刻膠供給槽一、光刻膠供給槽二、緩存槽一、緩存槽二、三通閥、噴淋泵、過濾器和止回閥；光刻膠供給槽一、緩存槽一、三通閥、噴淋泵、過濾器、止回閥、晶元依次通過管路連接；光刻膠供給槽二、緩存槽二同時連接三通閥閥口 ；緩存槽一、緩存槽二、過濾器上分別設(shè)有排氣閥一、排氣閥二、排氣閥三；[0009]還包括回收管路一、回收管路二、回收管路三、回收供給管路、靜電容量傳感器和回收槽；回收管路一一端連接緩存槽一上的排氣閥一、另一端連接回收槽；回收管路二一端連接緩存槽二上的排氣閥、另一端連接回收槽；回收管路三一端連接回收槽、另一端連接到過濾器上的排氣閥三；回收供給管路一端連接光刻膠供給槽二、另一端連接至回收槽；靜電容量傳感器安裝在回收槽上。
[0010]回收管路一、回收管路二、回收管路三上均設(shè)置單向閥。
[0011]回收供給管路上還設(shè)有手動閥。
[0012]與現(xiàn)有的系統(tǒng)相比:本實用新型設(shè)置了回收槽與回收管路，具有光刻膠回收功能，可以將浪費掉的光刻膠回收再利用，不僅可以減少資源的浪費，還可以達到降低成本的效
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【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是現(xiàn)有系統(tǒng)的原理圖；
[0014]圖2是本實用新型的系統(tǒng)原理示意圖。
[0015]圖中:1、回收管路一，2、回收管路二，3、回收管路三，10、晶元，22、三通閥，23、噴淋泵，24、過濾器，25、排氣閥三，26、止回閥，80、光刻膠供給槽一，81、緩存槽一，82、排氣閥一，90、光刻膠供給槽二，92、排氣閥二，200、單向閥，210、靜電容量傳感器，220、回收槽，230、手動閥，280、回收供給管路。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。
[0017]如圖2所示，一種光刻膠回收再利用系統(tǒng)，包括光刻膠供給槽一 80、光刻膠供給槽二 90、緩存槽一 81、緩存槽二 91、三通閥22、噴淋泵23、過濾器24和止回閥26 ;光刻膠供給槽一 80、緩存槽一 81、三通閥22、噴淋泵23、過濾器24、止回閥26、晶元10依次通過管路連接；光刻膠供給槽二 90、緩存槽二 91同時連接三通閥22閥口 ；緩存槽一 81、緩存槽二 91、過濾器24上分別對應(yīng)設(shè)有排氣閥一 82、排氣閥二 92、排氣閥三25 ；
[0018]還包括回收管路一 1、回收管路二 2、回收管路三3、回收供給管路280、靜電容量傳感器210和回收槽220 ;回收管路一 I 一端連接緩存槽一 81上的排氣閥一 82、另一端連接回收槽220 ;回收管路二 2 —端連接緩存槽二 91上的排氣閥92、另一端連接回收槽220 ;回收管路三3 —端連接回收槽220、另一端連接到過濾器24上的排氣閥三25 ;回收供給管路280 一端連接光刻膠供給槽二 90、另一端連接至回收槽220 ;靜電容量傳感器210安裝在回收槽220上。
[0019]進一步，回收管路一 1、回收管路二 2、回收管路三3上均設(shè)置單向閥200，可有效防止光刻膠回流。
[0020]進一步，回收供給管路280上還設(shè)有手動閥230，便于工作人員控制光刻膠的流速。
[0021]光刻膠通過排氣閥一82、排氣閥二92、排氣閥三25以及回收管路一 1、回收管路二
2、回收管路三3流入回收槽220，回收槽220內(nèi)裝有靜電容量傳感器210，可以感知回收到回收槽的光刻膠水位。光刻膠回收供給管路280使得回收槽220回收到的光刻膠重新流向光刻膠供給槽二 90，實現(xiàn)光刻膠的回收再利用，回收供給管路裝有手動閥門23。同時，為防止回收到的光刻膠回流到緩存槽一81、緩存槽二91以及過濾器24，回收管路一 1、回收管路二 2、回收管路三3均裝有單向閥200。
[0022]具備回收功能的光刻膠噴淋系統(tǒng)制動過程:光刻膠同時填充于光刻膠供給槽一80，膠緩存槽一 81，并經(jīng)由噴淋泵23流入過濾器24，噴淋泵23收到信號后開始制動，過濾器24內(nèi)的光刻膠隨著噴淋泵23制動的壓力被推向噴嘴方向，隨之噴灑于晶元10表面。并有部分光刻膠經(jīng)由與過濾器24相連的排氣閥三25，與空氣一起排出。此時，通過排氣閥三25排出的部分光刻膠，經(jīng)由回收管路三3流入回收槽220。
[0023]正在使用的光刻膠供給槽一 80切換為光刻膠供給槽二 90，或者要清除光刻膠管路中殘留的光刻膠時，需向正在使用的光刻膠供給槽一 80填充氮氣。這樣殘留在管路中的光刻膠通過與緩存槽一 81相連的排氣閥一 82排出，被排出的少量光刻膠經(jīng)由回收管路一I流向回收槽220。靜電容量傳感器210隨時監(jiān)控感知流向回收槽220的光刻膠量，到達預(yù)先設(shè)置的水位線時，靜電容量傳感器210切換為”0N”狀態(tài)，并顯示回收槽220水位已滿。
[0024]確認回收槽220水位后，操作人員手動打開閥門230，向回收槽220填充氮氣，并加壓將光刻膠推向回收供給管路280，最終流向回收管路二 2的光刻膠供給槽二 90。由于括回收管路一 1、回收管路二 2、回收管路三3均裝有單向閥200，所以由回收槽220流向光刻膠供給槽二 90的光刻膠不會回流到過濾器24，以及緩存槽一 81、緩存槽二 91。在光刻膠噴淋的過程中，光刻膠供給槽一 80、光刻膠供給槽二 90使用的過程中，均可以將光刻膠回收到回收槽220，并返還到光刻膠供給槽二 90中，實現(xiàn)光刻膠的回收再利用。
【權(quán)利要求】
1.一種光刻膠回收再利用系統(tǒng)，包括光刻膠供給槽一(80)、光刻膠供給槽二(90)、緩存槽一(81)、緩存槽二(91)、三通閥(22)、噴淋泵(23)、過濾器(24)和止回閥(26);光刻膠供給槽一(80)、緩存槽一(81)、三通閥(22)、噴淋泵(23)、過濾器(24)、止回閥(26)、晶元(10)依次通過管路連接；光刻膠供給槽二(90)、緩存槽二(91)同時連接三通閥(22)閥口 ；緩存槽一(81)、緩存槽二(91)、過濾器(24)上分別設(shè)有排氣閥一(82)、排氣閥二(92)、排氣閥三(25)； 其特征在于，還包括回收管路一(I)、回收管路二(2)、回收管路三(3)、回收供給管路(280)、靜電容量傳感器(210)和回收槽(220);回收管路一(I) 一端連接緩存槽一(81)上的排氣閥一(82)、另一端連接回收槽(220);回收管路二(2)—端連接緩存槽二(91)上的排氣閥(92 )、另一端連接回收槽(220 );回收管路三(3 ) 一端連接回收槽(220 )、另一端連接到過濾器(24)上的排氣閥三(25);回收供給管路(280) —端連接光刻膠供給槽二(90)、另一端連接至回收槽(220);靜電容量傳感器(210)安裝在回收槽(220)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光刻膠回收再利用系統(tǒng)，其特征在于，所述的回收管路一(I)、回收管路二( 2 )、回收管路三(3 )上均設(shè)置單向閥(200 )。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種光刻膠回收再利用系統(tǒng)，其特征在于，回收供給管路(280 )上還設(shè)有手動閥(230 )。
【文檔編號】G03F7/30GK203630510SQ201320856278
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年12月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月23日
【發(fā)明者】李東勛 申請人:徐州同鑫光電科技有限公司