光刻膠顯影裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種光刻膠顯影裝置，包括顯影罐、緩存槽、流量計(jì)、過濾器、氣動(dòng)閥及噴嘴，顯影罐、緩存槽、流量計(jì)、氣動(dòng)閥及噴嘴依次通過管道連通，緩存槽的出口處設(shè)置過濾器，其中噴嘴為鋸齒形噴嘴。與現(xiàn)有技術(shù)相比，顯影工藝是將顯影液通過噴嘴噴淋在晶圓表面上，由于噴嘴為鋸齒形，有效地清除了在噴淋之前形成的細(xì)小氣泡，也清除了殘留在晶圓圖案間的氣泡，消除了圖案的變形，為后續(xù)地蝕刻工藝提供清晰的圖案，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量和產(chǎn)量。
【專利說明】留在晶圓1的圖案2之間。如果不清除這刻工藝，不能蝕刻出正確圖案等問題，嚴(yán)重
丨新型提供一種光刻膠顯影裝置，有效地減
卜光刻膠顯影裝置，包括顯影罐、緩存槽、流.量計(jì)、氣動(dòng)閥及噴嘴依次通過管道連通，緩嘴。
力連接在鋸齒形噴嘴上，其與氣體管路一體3個(gè)。
?5臟。
1.5臟。
晶圓表面上，由于噴嘴為據(jù)齒形，有效地減[0016]如圖1和圖3所示，本實(shí)用新型的一種光刻膠顯影裝置，包括顯影罐、緩存槽、流量計(jì)、過濾器、氣動(dòng)閥及噴嘴，顯影罐是儲(chǔ)存顯影液的罐子，緩存槽為減少氣泡的產(chǎn)生而設(shè)置的，流量計(jì)是調(diào)節(jié)顯影液壓力的裝置，氣動(dòng)閥是調(diào)節(jié)顯影液流量的裝置，噴嘴是噴灑顯影液的結(jié)構(gòu)，該顯影罐、緩存槽、流量計(jì)、氣動(dòng)閥及噴嘴依次通過管道連通，緩存槽的出口處設(shè)置過濾器，該過濾器可以進(jìn)一步地減少異物質(zhì)及氣泡，其中噴嘴為鋸齒形噴嘴5。
[0017]PSS制作工序中光刻工藝是指在藍(lán)寶石晶片上刻制圖案的工藝。光刻膠涂抹后，借助高速旋轉(zhuǎn)動(dòng)力完成涂布，繼而進(jìn)行軟烘烤；然后進(jìn)行曝光、焙烘；最后顯影、烘烤。因此，光刻工藝分為涂布、曝光、顯影三個(gè)步驟。
[0018]顯影工藝中，通過噴嘴向整片晶圓I上噴淋顯影液，完成顯影步驟。鋸齒形噴嘴5破壞了氣泡4表面的張力，有效地減少了在噴淋之間形成的氣泡4，進(jìn)一步地減少了殘留在晶圓I的圖案2間的氣泡4，消除了圖案2的變形，為后續(xù)地蝕刻工藝提供清晰的圖案，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量和產(chǎn)量。
[0019]進(jìn)一步，本實(shí)用新型的光刻膠顯影裝置在鋸齒形噴嘴5上設(shè)置氣吹噴頭，該氣吹噴頭活動(dòng)連接在鋸齒形噴嘴5上，其與氣體管路一體成形。在操作工藝過程中，鋸齒形噴嘴5向晶圓I上噴淋顯影液后，打開氣體管路，則氣吹噴頭噴出氣體對(duì)涂覆在晶圓I表面上產(chǎn)生的氣泡4進(jìn)行吹拂，一方面使顯影液均勻分散在晶圓I表面，另一方面可以進(jìn)一步地清除少量殘留在晶圓I的圖案2間的氣泡4。
[0020]優(yōu)選地，鋸齒形噴嘴5中鋸齒個(gè)數(shù)至少為3個(gè)；鋸齒形噴嘴5中鋸齒的高度為4?5mm ;鋸齒形噴嘴5中鋸齒間距為I?1.5mm ;該結(jié)構(gòu)的鋸齒形噴嘴5有效地消除了在噴淋之間形成的氣泡4，清除了殘留在晶圓I的圖案2間的氣泡4。
【權(quán)利要求】
1.一種光刻膠顯影裝置，包括顯影罐、緩存槽、流量計(jì)、過濾器、氣動(dòng)閥及噴嘴，所述顯影罐、緩存槽、流量計(jì)、氣動(dòng)閥及噴嘴依次通過管道連通，所述緩存槽的出口處設(shè)置過濾器，其特征在于，所述噴嘴為鋸齒形噴嘴(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠顯影裝置，其特征在于，還包括氣吹噴頭，所述氣吹噴頭活動(dòng)連接在鋸齒形噴嘴(5)上，其與氣體管路一體成形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光刻膠顯影裝置，其特征在于，所述鋸齒形噴嘴(5)中鋸齒個(gè)數(shù)至少為3個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光刻膠顯影裝置，其特征在于，所述鋸齒形噴嘴(5)中鋸齒的高度為4?5mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光刻膠顯影裝置，其特征在于，所述鋸齒形噴嘴(5)中鋸齒間距為I?1.5_。
【文檔編號(hào)】G03F7/32GK203630511SQ201320850730
【公開日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2013年12月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月20日
【發(fā)明者】金海猷 申請(qǐng)人:徐州同鑫光電科技有限公司