高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板，其包括：基板；第一PDMS彈性層，其設(shè)置于該基板上；膠黏層，其設(shè)置于該第一PDMS彈性層上；第二PDMS彈性層，其設(shè)置于該膠黏層上；高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層，其上具有壓印結(jié)構(gòu)，該高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層設(shè)置于該第二PDMS彈性層上。本實(shí)用新型的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板相較于傳統(tǒng)技術(shù)結(jié)構(gòu)更為牢固，有效防止坍塌、變形和邊角鈍化等現(xiàn)象的出現(xiàn)，同時(shí)還使得其結(jié)實(shí)耐用，延長模板的使用壽命。
【專利說明】高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種納米壓印器件，特別涉及一種高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板。
【背景技術(shù)】
[0002]聚二甲基娃氧燒(PDMS, polydimethyl si 1xane)是一種簡單方便的納米壓印模板復(fù)制材料，通常由本體材料和固化劑按一定比例混合而成，去除氣泡后澆注在母模板表面，通過加熱固化成具有彈性硅橡膠材料工作模板，用于大面積紫外納米壓印具有諸多優(yōu)點(diǎn):成本低，可以從母模版反復(fù)復(fù)制PDMS模板」本身具有彈性，受環(huán)境中污染粒子影響小，模板壽命長」固化后表面具有縮水性，用于納米壓印無需抗粘處理」柔性PDMS工作模板可以在大面積納米壓印中緊密結(jié)合基底不平整表面。
[0003]然而，目前的PDMS模板在納米壓印應(yīng)用中也出現(xiàn)了一些問題，主要表現(xiàn)為，彈性模量低，使得其結(jié)構(gòu)容易出現(xiàn)坍塌、變形等情況，而且邊角處也容易出現(xiàn)鈍化現(xiàn)象，無法達(dá)到高精度納米壓印的要求，同時(shí)其結(jié)構(gòu)單一，不夠結(jié)實(shí)耐用，影響模板的使用壽命。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的就是針對上述問題，提供一種結(jié)構(gòu)牢固且結(jié)實(shí)耐用的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了以下技術(shù)方案:高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板，其包括:基板；第一 PDMS彈性層,其設(shè)置于該基板上；膠黏層,其設(shè)置于該第一 PDMS彈性層上；第二 PDMS彈性層，其設(shè)置于該膠黏層上；高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層，其上具有壓印結(jié)構(gòu)，該高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層設(shè)置于該第二 PDMS彈性層上。
[0006]優(yōu)選地，上述的高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層粘合連接于上述第二 PDMS彈性層上。
[0007]優(yōu)選地，上述的第一 PDMS彈性層固化于上述基板上。
[0008]優(yōu)選地，上述的基板為PC板。
[0009]優(yōu)選地，上述的第一和第二 PDMS彈性層的彈性模量為3_4Mpa，上述高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層的彈性模量為12-13Mpa。
[0010]采用以上技術(shù)方案的有益效果在于:采用基板、第一 PDMS彈性層、膠黏層、第二PDMS彈性層和高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層的五層式結(jié)構(gòu)，使得本實(shí)用新型的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板相較于傳統(tǒng)技術(shù)結(jié)構(gòu)更為牢固，有效防止坍塌、變形和邊角鈍化等現(xiàn)象的出現(xiàn)，同時(shí)還使得其結(jié)實(shí)耐用，延長模板的使用壽命。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是本實(shí)用新型的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]其中，1.基板2.第一 PDMS彈性層3.膠黏層4.第二 PDMS彈性層5.高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層51.壓印結(jié)構(gòu)。【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式。
[0014]如圖1所示，本實(shí)用新型的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板的第一種實(shí)施方式中，其包括:基板I ;第一 PDMS彈性層2，其設(shè)置于基板I上；膠黏層3，其設(shè)置于第一 PDMS彈性層2上；第二 PDMS彈性層4，其設(shè)置于膠黏層3上；高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層5，其上具有壓印結(jié)構(gòu)51，該壓印結(jié)構(gòu)為從母模板上復(fù)制而得，該高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層5設(shè)置于第二 PDMS彈性層4上。采用基板1、第一 PDMS彈性層2、膠黏層3、第二 PDMS彈性層4和高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層5的五層式結(jié)構(gòu)，使得本高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板相較于傳統(tǒng)技術(shù)結(jié)構(gòu)更為牢固，有效防止坍塌、變形和邊角鈍化等現(xiàn)象的出現(xiàn)，同時(shí)還使得其結(jié)實(shí)耐用，延長模板的使用壽命。
[0015]本實(shí)用新型的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板的第二種實(shí)施方式中，上述的高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層粘合連接于上述第二 PDMS彈性層上，不僅實(shí)施方便，且結(jié)構(gòu)更為牢固。
[0016]本實(shí)用新型的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板的第三種實(shí)施方式中，上述的第一PDMS彈性層固化于上述基板上，使得結(jié)構(gòu)更為牢固可靠。
[0017]本實(shí)用新型的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板的第四種實(shí)施方式中，上述的基板為PC板。
[0018]本實(shí)用新型的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板的第五種實(shí)施方式中，上述的第一和第二 PDMS彈性層的彈性模量為3-4Mpa，上述高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層的彈性模量為12_13Mpa。
[0019]本實(shí)用新型的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板的制作過程為:1)將母模板抗粘處理:在母模板表面旋涂Easy-ASL抗粘層；2)在母模板上以旋涂等方式設(shè)置高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層；3)在高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層背面以澆注等方式設(shè)置第一 PDMS彈性層，然后固化并在其后脫離母模板，形成雙層模板；4)在處理過的基板上以旋涂等方式設(shè)置一層第二 PDMS彈性層，然后固化；5)在已經(jīng)固化在基板和第二 PDMS彈性層上以旋涂等方式設(shè)置一層膠黏層，再將雙層模板粘貼在膠黏層上，然后固化最終形成本實(shí)用新型的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板。
[0020]以上所述的僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板，其特征在于:包括:基板；第一PDMS彈性層，其設(shè)置于所述基板上；膠黏層，其設(shè)置于所述第一 PDMS彈性層上；第二 PDMS彈性層，其設(shè)置于所述膠黏層上；高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層，其上具有壓印結(jié)構(gòu)，所述高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層設(shè)置于所述第二 PDMS彈性層上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板，其特征在于:所述高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層粘合連接于所述第二 PDMS彈性層上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板，其特征在于:所述第一PDMS彈性層固化于所述基板上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板，其特征在于:所述基板為PC板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高硬度納米壓印軟膜復(fù)合模板，其特征在于:所述第一和第二 PDMS彈性層的彈性模量為3-4Mpa，所述高硬度PDMS結(jié)構(gòu)層的彈性模量為12_13Mpa。
【文檔編號】G03F7/00GK203630508SQ201320812483
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年12月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月12日
【發(fā)明者】史曉華 申請人:蘇州光舵微納科技有限公司