探測板的加工方法
【專利摘要】一種用于光刻機的探測板加工制造工藝過程，包括①探測板定位標記測量及數(shù)據(jù)處理；②加工中心機床X、Y向與夾具基準精度調(diào)整及探測板工件固定；③加工探測板X、Y向基準面，校準與光標基準的精度；④預(yù)加工探測板的各特征，檢查驗證加工中心機床的參數(shù)；⑤粗加工外形及內(nèi)部特征；⑧精加工外形及內(nèi)部特征。本發(fā)明減少了報廢率，加工的探測高質(zhì)量要求，符合光刻要求。
【專利說明】 探測板的加工方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光刻機，特別是一種用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，該探測板主要用于分步投影光刻機探測標記的位置對準，該向成果直接影響到分步投影光刻機里的娃片向位光柵自動對準。
【背景技術(shù)】
[0002]目前歐美國家加工探測板的設(shè)備是在精密銑磨加工中心加工中心機床上增加了在線測量裝置的專用加工設(shè)備，這類設(shè)備目前還沒有對外銷售。用這類專用加工設(shè)備可在零件加工過程中對所加工的尺寸進行測量并將數(shù)據(jù)閉環(huán)反饋修正加工中心機床加工參數(shù)，實現(xiàn)高精度的銑磨加工，很容易達到3個孔位中心相對4個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm、探測板邊緣基準與4個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm的要求。而國內(nèi)加工探測板的數(shù)據(jù)測量修正需要將零件從加工中心機床上取下來，在分離的測量儀器上得到數(shù)據(jù)去修正設(shè)備參數(shù)，造成加工過程數(shù)據(jù)偏差，使得加工成品率低，遠遠不能滿足90nm光刻機的要求。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，該方法加工的探測板的3個孔位的中心相對4個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm、探測板邊緣基準與4個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm的要求，符合光刻機向位光柵自動對準要求。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下:
[0005]一種用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，其特點在于，該方法包括下列步驟:
[0006]I)在潔凈工作室里，工作人員帶上防靜電手套，將膠合好的探測板的上下兩平面用防靜電光學(xué)玻璃擦拭布蘸上酒精進行擦拭，在擦拭過程中把探測板放在IOOw的燈光下仔細觀看表面灰塵，直到無人眼可見灰塵，擦拭完畢；
[0007]2)將擦拭好的探測板放到工具顯微鏡平移臺上，鍍膜面向上，調(diào)整側(cè)照光源，使側(cè)照光源的光軸與顯微鏡的中軸線的夾角小于20度；
[0008]3)用工具顯微鏡分別測量探測板鍍膜面的4個十字標記與探測板邊緣的距離A、B、C、D各3次，注意測量要求是:十字標記線寬為0.01_，讀取數(shù)據(jù)時，目測按照線寬中間位置取數(shù)，有效數(shù)據(jù)精度控制到小數(shù)點后3位，然后求平均得A、B、C、D:
[0009]A= (A1+A2+A3) /3
[0010]B= (B1+B2+B3) /3
[0011]C= (C1+C2+C3) /3
[0012]D= (D1+D2+D3) /3 ；；
[0013]4)用工具顯微鏡分別測量探測板四邊的垂直度，數(shù)值小于0.1mm，如果大于0.1mm，將在后面加工基準時修正；
[0014]5)將夾具水平安裝到加工中心機床工作臺面上，調(diào)整加工中心機床X向、Y向與所述的夾具X側(cè)基準邊、Y向側(cè)基準邊，預(yù)固定夾具，用杠桿百分表調(diào)整夾具的X向側(cè)基準邊、Y向側(cè)基準邊的誤差小于0.02mm ；
[0015]6)將杠桿百分表更換為杠桿千分表，調(diào)整夾具的X向側(cè)基準邊(I)與加工中心機床X向精度小于0.008mm、調(diào)整夾具的Y向側(cè)基準邊(3)與加工中心機床Y向精度小于0.008mm ；
[0016]7)將所述的探測板水平放到所述的夾具的水平基準面上，使所述的探測板的X向側(cè)基準邊緊靠加工中心機床的X向基準邊，探測板的Y向側(cè)基準邊緊靠加工中心機床的Y向基準邊，然后用4個水平壓條壓緊，壓緊壓力為2?3kg ;
[0017]8)在加工中心機床主軸上安裝鎳基天然金剛石磨頭，設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0018]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型
[0019]磨頭直徑尺寸:5mm
[0020]磨頭柄徑尺寸:5mm[0021 ] 金剛石粒度:180?280#
[0022]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0023]螺旋進給量:0.8?Imm
[0024]主軸轉(zhuǎn)速:2300?3000rpm
[0025]進給速度:80?100mm/miη
[0026]深度進給量:0.04?0.06mm;
[0027]9)根據(jù)步驟3)所述的A、B、C、D，加工所述的探測板X向基準邊和Y向基準邊，每邊預(yù)留0.5mm調(diào)整余量，即距離十字標記尺寸為2.5+0.5=3mm,加工深度為Imm ；
[0028]10)取下所述的探測板，用工具顯微鏡分別測量探測板鍍膜面的4個十字標記與探測板邊緣的距離a、b、C、d,當(dāng)a、b、C、d都小于等于0.0lmm,進入步驟11);若a、b、c或d大于0.015mm，則返回到步驟7)；
[0029]11)加工探測板外形及特征1、特征2:
[0030]特征I是位于探測板三個角部的3個直徑6mm深度Imm的同心圓沉孔，同心圓沉孔的I邊設(shè)有I個缺口.同心圓沉孔的圓心與探測板邊緣的距離由設(shè)計圖決定，即分別與X基準邊尺寸tlyl、tly2，與Y基準邊尺寸tlxl、tlx2 ；
[0031]特征2是I個位于探測板中間的6x6mm的方孔，該方孔距底面距離是0.5mm，該方孔與邊緣的距離由設(shè)計圖決定，即與X基準邊尺寸t2yl，與Y基準邊尺寸t2x ；
[0032]按上述要求尺寸加工探測板外形和特征1、特征2:
[0033]12)取下探測板用工具顯微鏡測量十字標記與邊緣尺寸；用三坐標測量特征的尺寸，符合要求，進入步驟13)，如不符合要求返回步驟11)進行修正；
[0034]13)按要求加工探測板外形及特征1、特征2，特征2底部處留量0.4mm，探測板外形及其與特征單邊留量0.15mm ；
[0035]14)在加工中心機床主軸上更換鎳基天然金剛石磨頭，設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0036]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型
[0037]磨頭直徑尺寸:3mm
[0038]磨頭柄徑尺寸:3mm
[0039]金剛石粒度:180?280#[0040]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0041 ]螺旋進給量:0.4?0.6_
[0042]主軸轉(zhuǎn)速:4000?4600rpm
[0043]進給速度:60?80mm/mi η
[0044]深度進給量:0.02?0.03mm;
[0045]按尺寸要求加工探測板的特征1、特征2的圓角，單邊留量0.1mm ；
[0046]15)在加工中心機床主軸上更換鎳基天然金剛石磨頭，設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0047]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型
[0048]磨頭直徑尺寸:5mm
[0049]磨頭柄徑尺寸:6mm
[0050]金剛石粒度:280?400#
[0051]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0052]螺旋進給量:0.5?0.8mm
[0053]主軸轉(zhuǎn)速:2300?3000rpm
[0054]進給速度:50?60mm/mi η
[0055]深度進給量:0.02?0.03mm;
[0056]按尺寸要求精加工探測板外型到尺寸；
[0057]16)在加工中心機床主軸上更換鎳基天然金剛石磨頭，設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0058]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型
[0059]磨頭直徑尺寸:1.8mm
[0060]磨頭柄徑尺寸:3mm
[0061]金剛石粒度:280?400#
[0062]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0063]螺旋進給量:0.3?0.5mm
[0064]主軸轉(zhuǎn)速:4000?4600rpm
[0065]進給速度:50?60mm/mi η
[0066]深度進給量:0.015 ?0.025mm;
[0067]按尺寸要求所精加工探測板特征1、特征2的圓角到尺寸；
[0068]17)設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0069]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型
[0070]磨頭直徑尺寸:1.8mm
[0071]磨頭柄徑尺寸:3mm
[0072]金剛石粒度:280?400#
[0073]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0074]螺旋進給量:0.3?0.5mm
[0075]主軸轉(zhuǎn)速:4000?4600rpm
[0076]進給速度:30?50mm/mi η
[0077]深度進給量:0.01?0.02mm;
[0078]按尺寸要求精加工探測板的特征2，底部留量0.2mm[0079]18)設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0080]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型
[0081]磨頭直徑尺寸:1.8mm
[0082]磨頭柄徑尺寸:3mm [0083]金剛石粒度:280~400#
[0084]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0085]螺旋進給量:0.2~0.3_
[0086]主軸轉(zhuǎn)速:4000~4600rpm
[0087]進給速度:20~40mm/mi η
[0088]深度進給量:0.007 ~0.01Smm;
[0089]按尺寸要求精加工探測板特征2，底部留量0.1mm ；
[0090]19)設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0091]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型
[0092]磨頭直徑尺寸:1.8mm
[0093]磨頭柄徑尺寸:3mm
[0094]金剛石粒度:280~400#
[0095]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0096]螺旋進給量:0.15~0.2_
[0097]主軸轉(zhuǎn)速:4000~4600rpm
[0098]進給速度:10~20mm/min
[0099]深度進給量:0.005 ~0.08mm;
[0100]按尺寸要求精加工探測板的特征到尺寸；
[0101]20)取下探測板用工具顯微鏡測量十字標記與邊緣尺寸；用三坐標測量特征尺寸；所述的探測板加工特征2的底部厚度尺寸保證0.5±0.04mm不破裂；所述的探測板特征I的孔位中心相對4個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm ;所述的探測板加工的探測板邊緣基準與4個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm ；
[0102]21)對加工好的探測板進行包裝，將包裝好的探測板放在潔凈容器內(nèi)保存待用。
[0103]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是:
[0104]通常探測板的加工一般采用邊緣對基準定位方式，對探測基準板形位尺寸要求較高，加工過程定位只有在粗加工和精加工進行校準定位，對操作人員有很強地依賴性；在6x6方孔加工過程中需要有嚴格的工藝過程控制，直接影響加工合格率。
[0105]1、本發(fā)明解決了如下問題:
[0106]★用工具顯微鏡、分步測量加工定位標記，并對數(shù)據(jù)進行合理處理得出準確地加工定位數(shù)據(jù)；
[0107]★對每一個加工磨輪進行預(yù)加工定位，確保加工刀具誤差不影響工件加工精度；
[0108]★嚴格控制加工工藝，采用預(yù)加工、粗加工、精加工、超精加工等分步過程控制，保證重點加工6x6中心方孔的質(zhì)量要求；
[0109]★降低了生產(chǎn)成本，提高了產(chǎn)品合格率，符合高質(zhì)量要求。
[0110]2、采用本發(fā)明探測板加工方法，可確保加工的探測板完全符合分步光刻機向位光柵自動對準要求。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0111]圖1是本發(fā)明加工的探測板的主視圖。
[0112]圖2是本發(fā)明加工的探測板的剖視圖。
[0113]圖3探測板工裝的主視圖。
[0114]圖4為本發(fā)明加工的探測板的技術(shù)要求圖。
【具體實施方式】
[0115]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明，但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護范圍。
[0116]為了防止膠合所處的工房溫度和濕度對膠合的影響的解決方案，潔凈工作室內(nèi)的溫度為20?26°C ±0.1°C，濕度為50?70%，標準大氣壓下進行；
[0117]1、進行探測板定位標記測量及數(shù)據(jù)處理，所得到測量數(shù)值A(chǔ)、B、C、D精度達到了±0.01，滿足探測板加工的精度要求。其特征在于，該方法包括下列步驟:
[0118]在潔凈工作室里，工作人員帶上防靜電手套，將膠合好的探測板的上下兩平面用防靜電光學(xué)玻璃擦拭布蘸上酒精進行擦拭，在擦拭過程中把探測板放在IOOw的燈光下仔細觀看表面灰塵，直到無人眼可見灰塵，擦拭完畢；
[0119]將擦拭好的探測板放到工具顯微鏡上，鍍膜面向上。調(diào)整側(cè)照光源，使側(cè)照光源的光軸與顯微鏡中心軸線的夾角小于20度；
[0120]用工具顯微鏡分別測量探測板鍍膜面的4個十字標記與探測板邊緣距離A、B、C、D，十字標記線寬為0.01_，讀取數(shù)據(jù)時目測按照線寬中間位置取數(shù)，有效數(shù)據(jù)精度控制到小數(shù)點后3位；
[0121]用工具顯微鏡分別測量探測板四邊的垂直度，數(shù)值小于0.01mm，如果大于
0.01mm，將在后面加工基準時修正；
[0122]4個數(shù)值A(chǔ)、B、C、D各測量3次，將3次測量數(shù)值相加后求平均后即得出A、B、C、D ；
[0123]A= (A1+A2+A3) /3
[0124]B= (B1+B2+B3) /3
[0125]C= (C1+C2+C3) /3
[0126]D= (D1+D2+D3) /3;
[0127]2、調(diào)整加工中心機床X、Y向與探測板工件夾具基準面精度并用壓板固定好探測板，確保每次裝卸的定位精度。
[0128]將夾具水平安裝到加工中心機床工作臺面上，調(diào)整加工中心機床X向側(cè)基準邊、Y向與夾具X向側(cè)基準邊、Y向側(cè)基準邊，預(yù)固定夾具，見圖2。用杠桿百分表調(diào)整夾具X向側(cè)基準邊、Y向側(cè)基準邊精度小于0.02mm ；
[0129]將杠桿百分表更換為杠桿千分表，調(diào)整夾具X向側(cè)基準邊I與加工中心機床X向精度小于0.008_、調(diào)整夾具Y向側(cè)基準邊3與加工中心機床Y向精度小于0.008mm ；
[0130]將探測板按照圖2位置水平放到夾具水平基準面上，探測板X向側(cè)基準邊I緊靠加工中心機床X向基準邊，探測板Y向側(cè)基準邊3緊靠加工中心機床Y向基準邊3然后用4個水平壓條2壓緊，壓緊壓力為2?3kg ;
[0131]3、預(yù)加工探測板X基準面、Y向基準面，調(diào)整加工中心機床X、Y向與探測板工件十字標記線精度，滿足探測板的精度加工；
[0132]在加工中心機床主軸上安裝鎳基天然金剛石磨頭，設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0133]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型
[0134]磨頭直徑尺寸:5mm
[0135]磨頭柄徑尺寸:5mm
[0136]金剛石粒度:180?280#
[0137]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0138]螺旋進給量:0.8?Imm
[0139]主軸轉(zhuǎn)速:2300?3000rpm
[0140]進給速度:80?100mm/miη
[0141]深度進給量:0.04?0.06mm;
[0142]根據(jù)步驟得出的4個數(shù)值A(chǔ)、B、C、D，預(yù)加工探測板X、Y個基準邊，按照圖4尺寸要求加工的Χ、Υ基準邊每邊預(yù)留0.5mm調(diào)整余量，即距離十字標記尺寸為2.5+0.5=3mm。加工深度Imm ；
[0143]取下探測板，用工具顯微鏡分別測量探測板鍍膜面的4個十字標記與探測板邊緣距離a、b、C、d,使得a、b、C、d小于等于0.01mm。a、b或C、d差值也大于0.015mm時返回到上步驟；
[0144]4、預(yù)加工探測板外形及所有特征，驗證加工程序的正確性及磨頭的工作狀態(tài)；
[0145]按照圖3、4尺寸要求加工探測板外形及特征1、特征2到尺寸:
[0146]取下探測板用工具顯微鏡測量十字標記與邊緣尺寸；用三坐標測量其余特征尺寸。如不符合要求返回步驟(11)修正；
[0147]按照圖3、4尺寸要求所加工探測板外形及特征1、特征2見圖(2)。特征2底部
0.5mm處留量0.4mm。探測板外形及其與特征單邊留量0.15mm ；
[0148]在加工中心機床主軸上更換鎳基天然金剛石磨頭，設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0149]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型
[0150]磨頭直徑尺寸:3mm
[0151]磨頭柄徑尺寸:3mm
[0152]金剛石粒度:180?280#
[0153]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0154]螺旋進給量:0.4?0.6mm
[0155]主軸轉(zhuǎn)速:4000?4600rpm
[0156]進給速度:60?80mm/mi η
[0157]深度進給量:0.02?0.03mm;
[0158]按照圖3、4尺寸要求加工探測板特征1、特征2的圓角成型，單邊留量0.1mm。(特征3底部0.5mm除外)；
[0159]在加工中心機床主軸上更換鎳基天然金剛石磨頭，設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0160]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型[0161]磨頭直徑尺寸:5mm
[0162]磨頭柄徑尺寸:6mm
[0163]金剛石粒度:280?400#
[0164]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0165]螺旋進給量:0.5?0.8mm
[0166]主軸轉(zhuǎn)速:2300?3000rpm
[0167]進給速度:50?BOmm/mi η
[0168]深度進給量:0.02?0.03mm;
[0169]按照圖3、4尺寸要求精加工探測板外型到尺寸；
[0170]在加工中心機床主軸上更換鎳基天然金剛石磨頭，設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0171]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型
[0172]磨頭直徑尺寸:1.8mm
[0173]磨頭柄徑尺寸:3mm
[0174]金剛石粒度:280?400#
[0175]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0176]螺旋進給量:0.3?0.5mm
[0177]主軸轉(zhuǎn)速:4000?4600rpm
[0178]進給速度:50?BOmm/mi η
[0179]深度進給量:0.015 ?0.025mm;
[0180]按照圖3、4尺寸要求精加工探測板特征1、特征2的圓角到尺寸；
[0181]設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0182]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型
[0183]磨頭直徑尺寸:1.8mm
[0184]磨頭柄徑尺寸:3mm
[0185]金剛石粒度:280?400#
[0186]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0187]螺旋進給量:0.3?0.5mm
[0188]主軸轉(zhuǎn)速:4000?4600rpm
[0189]進給速度:30?50mm/mi η
[0190]深度進給量:0.01?0.02mm;
[0191]按照圖3、4尺寸要求精加工探測板特征，底部留量0.2mm
[0192]設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0193]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型
[0194]磨頭直徑尺寸:1.8mm
[0195]磨頭柄徑尺寸:3mm
[0196]金剛石粒度:280?400#
[0197]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0198]螺旋進給量:0.2?0.3mm
[0199]主軸轉(zhuǎn)速:4000?4600rpm[0200]進給速度:20?40mm/mi η
[0201]深度進給量:0.007 ?0.015mm;
[0202]按照圖3、4尺寸要求精加工探測板特征，底部留量0.1mm ；
[0203]設(shè)置加工中心機床參數(shù):
[0204]磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型
[0205]磨頭直徑尺寸:1.8mm
[0206]磨頭柄徑尺寸:3mm
[0207]金剛石粒度:280?400#
[0208]加工中心機床加工模式:螺旋進給
[0209]螺旋進給量:0.15?0.2mm
[0210]主軸轉(zhuǎn)速:4000?4600rpm
[0211]進給速度:10?20mm/min
[0212]深度進給量:0.005 ?0.08mm;
[0213]按照圖3、4尺寸要求精加工探測板特征到尺寸；
[0214]取下探測板用工具顯微鏡測量十字標記與邊緣尺寸；用三坐標測量其余特征尺寸，所述的探測板加工6x6的方孔底部厚度尺寸保證0.5±0.04mm不破裂；所述的探測板加工的3個孔位中心相對4個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm ;所述的探測板加工的探測板邊緣基準與4個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm ；
[0215]對加工好的探測板進行包裝，將包裝好的探測板放在潔凈容器內(nèi)保存待用。
【權(quán)利要求】
1.一種用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，其特征在于，該方法包括下列步驟: 1)在潔凈工作室里，工作人員帶上防靜電手套，將膠合好的探測板的上下兩平面用防靜電光學(xué)玻璃擦拭布蘸上酒精進行擦拭，在擦拭過程中把探測板放在IOOw的燈光下仔細觀看表面灰塵，直到無人眼可見灰塵，擦拭完畢； 2)將擦拭好的探測板放到工具顯微鏡平移臺上，鍍膜面向上，調(diào)整側(cè)照光源，使側(cè)照光源的光軸與顯微鏡的中軸線的夾角小于20度； 3)用工具顯微鏡分別測量探測板鍍膜面的4個十字標記與探測板邊緣的距離A、B、C、D各3次，然后求A、B、C、D的平均值:
A= (A1+A2+A3) /3
B= (B1+B2+B3) /3
C= (C1+C2+C3) /3
D= (D1+D2+D3) /3 ； 4)用工具顯微鏡分別測量探測板四邊的垂直度，數(shù)值小于0.1mm，如果大于0.1mm，在后續(xù)加工基準時修正； 5)將夾具水平安裝到加工中心機床工作臺面上，調(diào)整加工中心機床X向、Y向與所述的夾具X側(cè)基準邊、Y向側(cè)基`準邊，預(yù)固定夾具，用杠桿百分表調(diào)整夾具的X向側(cè)基準邊、Y向側(cè)基準邊的誤差小于0.02mm ； 6)將杠桿百分表更換為杠桿千分表，調(diào)整夾具的X向側(cè)基準邊(I)與加工中心機床X向精度小于0.008_、調(diào)整夾具的Y向側(cè)基準邊(3)與加工中心機床Y向精度小于0.008mm ； 7)將所述的探測板水平放到所述的夾具的水平基準面上，使所述的探測板的X向側(cè)基準邊(I)緊靠加工中心機床的X向基準邊，探測板的Y向側(cè)基準邊(3)緊靠加工中心機床的Y向基準邊(3)，然后用四個水平壓條(2)壓緊，壓緊壓力為2~3kg ; 8)在加工中心機床主軸上安裝鎳基天然金剛石磨頭，設(shè)置加工中心機床參數(shù)； 9)根據(jù)步驟3)所述的A、B、C、D，加工所述的探測板X向基準邊和Y向基準邊，每邊預(yù)留0.5mm調(diào)整余量，即距離十字標記尺寸為2.5+0.5=3mm，加工深度為1mm ； 10)取下所述的探測板，用工具顯微鏡分別測量探測板鍍膜面的4個十字標記與探測板邊緣的距離a、b、C、d ;當(dāng)a、b、C、d差值都小于等于0.01mm,進入步驟11);若a、b、c或d大于0.015mm,則返回到步驟7)； 11)加工探測板外形及沉孔和方孔 12)取下探測板用工具顯微鏡測量十字標記與邊緣尺寸；用三坐標測量沉孔和方孔的尺寸，符合要求，進入步驟13)，如不符合要求返回步驟11)進行修正； 13)方孔底部處留量0.4mm,探測板外形與沉孔單邊留量0.15mm ； 14)在加工中心機床主軸上更換鎳基天然金剛石磨頭，設(shè)置加工中心機床參數(shù)，按尺寸要求加工探測板的沉孔和方孔的圓角，單邊留量0.1mm ； 15)在加工中心機床主軸上更換鎳基天然金剛石磨頭，設(shè)置加工中心機床參數(shù)，按尺寸要求精加工探測板外型到尺寸； 16)在加工中心機床主軸上更換鎳基天然金剛石磨頭，設(shè)置加工中心機床參數(shù)，按尺寸要求所精加工探測板沉孔和方孔的圓角到尺寸；17)設(shè)置加工中心機床參數(shù)，按尺寸要求精加工探測板的沉孔，底部留量0.2mm ； 18)設(shè)置加工中心機床參數(shù)，按尺寸要求精加工探測板方孔，底部留量0.1mm ； 19)設(shè)置加工中心機床參數(shù)，按尺寸要求精加工探測板的方孔到尺寸； 20)取下探測板用工具顯微鏡測量十字標記與邊緣尺寸；用三坐標測量特征尺寸；所述的探測板加工方孔的底部厚度尺寸保證0.5±0.04mm不破裂；所述的探測板特沉孔的孔位中心相對四個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm ;所述的探測板加工的探測板邊緣基準與四個十字標記尺寸精度優(yōu)于0.04mm ； 21)對加工好的探測板進行包裝，將包裝好的探測板放在潔凈容器內(nèi)保存待用。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，其特征在于，所述的步驟8)中設(shè)置加工中心機床參數(shù)具體如下: 磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型 磨頭直徑尺寸:5mm 磨頭柄徑尺寸:5mm 金剛石粒度:180~280# 加工中心機床加工模式:螺旋進給 螺旋進給量:0.8~Imm 主軸轉(zhuǎn)速:2300~3000rpm 進給速度:80~1 00mm/mi η 深度進給量:0.04~0.06mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，其特征在于，所述的步驟14)中設(shè)置加工中心機床參數(shù)具體如下:` 磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型 磨頭直徑尺寸:3mm 磨頭柄徑尺寸:3mm 金剛石粒度:180~280# 加工中心機床加工模式:螺旋進給 螺旋進給量:0.4~0.6mm 主軸轉(zhuǎn)速:4000~4600rpm 進給速度:60~80mm/mi η 深度進給量:0.02~0.03mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，其特征在于，所述的步驟15)中設(shè)置加工中心機床參數(shù)具體如下: 磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型 磨頭直徑尺寸:5mm 磨頭柄徑尺寸:6mm 金剛石粒度:280~400# 加工中心機床加工模式:螺旋進給 螺旋進給量:0.5~0.8mm 主軸轉(zhuǎn)速:2300~3000rpm進給速度:50~BOmm/mi η 深度進給量:0.02~0.03mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，其特征在于，所述的步驟16)中設(shè)置加工中心機床參數(shù)具體如下: 磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型 磨頭直徑尺寸:1.8mm 磨頭柄徑尺寸:3mm 金剛石粒度:280~400# 加工中心機床加工模式:螺旋進給 螺旋進給量:0.3~0.5mm 主軸轉(zhuǎn)速:4000~4600rpm 進給速度:50~BOmm/mi η 深度進給量:0.015~0.025mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，其特征在于，所述的步驟17)中設(shè)置加工中心機床參數(shù)具體如下: 磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型 磨頭直徑尺寸:1.8mm 磨頭柄徑尺寸:3mm 金剛石粒度:280~400 # 加工中心機床加工模式:螺旋進給 螺旋進給量:0.3~0.5mm 主軸轉(zhuǎn)速:4000~4600rpm 進給速度:30~50mm/mi η 深度進給量:0.01~0.02mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，其特征在于，所述的步驟18)中設(shè)置加工中心機床參數(shù)具體如下: 磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型 磨頭直徑尺寸:1.8mm 磨頭柄徑尺寸:3mm 金剛石粒度:280~400# 加工中心機床加工模式:螺旋進給 螺旋進給量:0.2~0.3mm 主軸轉(zhuǎn)速:4000~4600rpm 進給速度:20~40mm/mi η 深度進給量:0.007~0.015mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于分步投影光刻機的探測板的加工方法，其特征在于，所述的步驟19)中設(shè)置加工中心機床參數(shù)具體如下: 磨頭類型:圓柱端面、側(cè)磨型 磨頭直徑尺寸:1.8mm磨頭柄徑尺寸:3mm金剛石粒度:280~400#加工中心機床加工模式:螺旋進給螺旋進給量:0.15~0.2mm主軸轉(zhuǎn)速:4000~4600rpm進給速度:10~20mm/mi η深度進給量:0.005~0.08mm。
【文檔編號】G03F7/20GK103558741SQ201310588967
【公開日】2014年2月5日 申請日期:2013年11月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月20日
【發(fā)明者】黃克飛, 陳靜, 顧亞平, 魏向榮 申請人:上?，F(xiàn)代先進超精密制造中心有限公司