致動器、光學掃描儀以及圖像形成裝置制造方法
【專利摘要】一種致動器，其特征在于，具有：可動部，其能夠繞擺動軸擺動；連結(jié)部，其從上述可動部延伸出，并且隨著上述可動部的擺動而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形；以及支承部，其支承上述連結(jié)部，在從上述可動部的厚度方向進行俯視觀察時，上述可動部呈十字狀。
【專利說明】致動器、光學掃描儀以及圖像形成裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及致動器、光學掃描儀以及圖像形成裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]作為致動器，公知有使用了扭轉(zhuǎn)振動器的致動器(例如，參照專利文獻I)。
[0003]例如，在專利文獻I中，公開有具有可動板(可動部)、支承框架(支承部)、以及將可動板支承為能夠相對于支承框架扭轉(zhuǎn)的一對彈性支承部(連結(jié)部)，且各彈性支承部由兩根棒(梁部件)構(gòu)成的光偏轉(zhuǎn)器。
[0004]這樣的可動板、支承框架以及一對彈性支承部通過對主面為由硅(100)面構(gòu)成的硅基板進行各向異性蝕刻而形成為一體。
[0005]另外，在專利文獻I的光偏轉(zhuǎn)器中，俯視觀察時可動板呈八邊形。呈這樣的俯視形狀的可動板具有能夠減小可動板在偏離了轉(zhuǎn)動軸(擺動軸)的位置上的重量、減少慣性力矩的優(yōu)點。
[0006]但是，在使用如上所述的各向異性蝕刻來制造俯視形狀呈八邊形的可動板的情況下，由于與結(jié)晶面的關(guān)系，形狀的偏差很大。
[0007]專利文獻1:日本特開2010 - 79243號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于提供與現(xiàn)有技術(shù)相比能夠減小制造中的可動部的形狀偏差且減小可動部的擺動時的慣性力矩的致動器、光學掃描儀以及圖像形成裝置。
[0009]通過下述的本發(fā)明來實現(xiàn)這樣的目的。
[0010]本發(fā)明的致動器的特征在于，具有:
[0011]可動部，其能夠繞擺動軸擺動；
[0012]連結(jié)部，其從上述可動部延伸出，并且隨著上述可動部的擺動而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形；以及
[0013]支承部，其支承上述連結(jié)部，
[0014]在從上述可動部的厚度方向進行俯視觀察時，上述可動部呈十字狀。
[0015]根據(jù)這樣的本發(fā)明的致動器，能夠減小制造中的可動部的形狀偏差，減少可動部的擺動時的慣性力矩。
[0016]在本發(fā)明的致動器中，優(yōu)選從上述可動部的厚度方向進行俯視觀察時，上述可動部的外形主要由與上述擺動軸平行的線段和與上述擺動軸垂直的線段構(gòu)成。
[0017]由此，能夠減小制造中的可動部的形狀偏差。
[0018]在本發(fā)明的致動器中，優(yōu)選上述可動部、上述支承部以及上述連結(jié)部通過對硅基板進行各向異性蝕刻而形成。
[0019]由此，能夠減小形狀偏差，且容易地形成可動部、支承部以及一對連結(jié)部。
[0020]在本發(fā)明的致動器中，優(yōu)選上述可動部的板面由硅的(100)面構(gòu)成。[0021]由此，通過對板面為由(100)面構(gòu)成的硅基板進行各向異性蝕刻，能夠減小形狀偏差，且容易地形成可動部、支承部以及一對連結(jié)部。
[0022]在本發(fā)明的致動器中，優(yōu)選上述可動部的側(cè)面主要由硅的(111)面構(gòu)成。
[0023]由此，通過對板面為由(100)面構(gòu)成的硅基板進行各向異性蝕刻，能夠?qū)⒐璧?br> (111)面作為蝕刻的停止層來利用，能夠減小形狀偏差從而容易地形成可動部、支承部以及一對連結(jié)部。
[0024]在本發(fā)明的致動器中，優(yōu)選在上述可動部的側(cè)面形成有在與上述可動部的板面正交的剖面上呈V字狀的槽。
[0025]由此，能夠減小可動部的慣性力矩。另外，對于這樣的槽而言，通過對板面為由
(100)面構(gòu)成的硅基板進行各向異性蝕刻，能夠?qū)⒐璧?111)面作為蝕刻的停止層來利用，能夠減小形狀偏差且容易地形成可動部。
[0026]在本發(fā)明的致動器中，優(yōu)選上述連結(jié)部的表面由硅的(100)面以及硅的(111)面構(gòu)成。
[0027]由此，能夠?qū)⒐璧?111)面作為蝕刻的停止層來利用，能夠減小形狀偏差且容易地形成連結(jié)部。
[0028]在本發(fā)明的致動器中，優(yōu)選在從上述厚度方向俯視時，上述可動部相對于上述可動部的上述擺動軸呈對稱形狀。
[0029]由此，能夠使可動部的重心位于可動部的擺動軸上，從而使得可動部的擺動順暢。
[0030]在本發(fā)明的致動器中，優(yōu)選在從上述厚度方向進行俯視觀察時，上述可動部相對于經(jīng)過上述可動部的中心并且與上述可動部的上述擺動軸垂直的線段呈對稱形狀。
[0031]由此,可動部的設(shè)計變得容易。
[0032]本發(fā)明的致動器的特征在于，具有:
[0033]可動部，其能夠繞擺動軸擺動；
[0034]連結(jié)部，其從上述可動部延伸出，并且隨著上述可動部的擺動而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形；以及
[0035]支承部，其支承上述連結(jié)部，
[0036]在從上述可動部的厚度方向俯視時，上述可動部呈將四邊形的四角部分分別切去矩形而形成的形狀。
[0037]根據(jù)這樣的本發(fā)明的致動器，能夠減小制造中的可動部的形狀偏差，減小可動部的擺動時的慣性力矩。
[0038]本發(fā)明的光學掃描儀的特征在于，具有:
[0039]可動部，其具備具有光反射性的光反射部，并且能夠繞擺動軸擺動；
[0040]連結(jié)部，其從上述可動部延伸出，并且隨著上述可動部的擺動而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形；以及
[0041]支承部，其支承上述連結(jié)部，
[0042]在從上述可動部的厚度方向俯視觀察時，上述可動部呈十字狀。
[0043]根據(jù)這樣構(gòu)成的光學掃描儀，能夠減小制造中的可動部的形狀偏差，減小可動部的擺動時的慣性力矩。
[0044]本發(fā)明的光學掃描儀的特征在于，具有:[0045]可動部，其具備具有光反射性的光反射部，并且能夠繞擺動軸擺動；
[0046]連結(jié)部，其從上述可動部延伸出，并且隨著上述可動部的擺動而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形；以及
[0047]支承部，其支承上述連結(jié)部，
[0048]在從上述可動部的厚度方向俯視觀察時，上述可動部呈將四邊形的四角部分分別切去矩形而形成的形狀。
[0049]根據(jù)這樣構(gòu)成的光學掃描儀，能夠減小制造中的可動部的形狀偏差，減小可動部的擺動時的慣性力矩。
[0050]本發(fā)明的圖像形成裝置的特征在于，具備:
[0051]光源，其射出光；和
[0052]光學掃描儀，其掃描來自上述光源的光，
[0053]上述光學掃描儀具有:
[0054]可動部，其具備具有光反射性的光反射部，并且能夠繞擺動軸擺動；
[0055]連結(jié)部，其從上述可動部延伸出，并且隨著上述可動部的擺動而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形；以及
[0056]支承部，其支承上述連結(jié)部，
[0057]在從上述可動部的厚度方向俯視觀察時，上述可動部呈十字狀。
[0058]根據(jù)這樣構(gòu)成的圖像形成裝置，能夠減小制造中的可動部的形狀偏差，減小可動部的擺動時的慣性力矩。因此，能夠廉價地得到高品質(zhì)的圖像。
[0059]本發(fā)明的圖像形成裝置的特征在于，具備:
[0060]光源，其射出光；和
[0061]光學掃描儀，其掃描來自上述光源的光，
[0062]上述光學掃描儀具有:
[0063]可動部，其具備具有光反射性的光反射部，并且能夠繞擺動軸擺動；
[0064]連結(jié)部，其從上述可動部延伸突出，并且隨著上述可動部的擺動而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形；以及
[0065]支承部，其支承上述連結(jié)部，
[0066]在從上述可動部的厚度方向俯視觀察時，上述可動部呈將四邊形的四角部分分別切去矩形而形成的形狀。
[0067]根據(jù)這樣構(gòu)成的圖像形成裝置，能夠減小制造中的可動部的形狀偏差，減小可動部的擺動時的慣性力矩。因此，能夠廉價地得到高品質(zhì)的圖像。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0068]圖1是表不本發(fā)明的第一實施方式的光學掃描儀(致動器)的俯視圖。
[0069]圖2是圖1中的A — A線剖視圖。
[0070]圖3是用于說明圖1所示的光學掃描儀所具備的可動板的俯視圖。
[0071]圖4是圖1中的B —B線剖視圖。
[0072]圖5是圖4的局部放大剖視圖。
[0073]圖6是用于說明圖1所示的光學掃描儀的制造方法的剖視圖。[0074]圖7是用于說明圖1所示的光學掃描儀的制造方法的剖視圖。
[0075]圖8是用于說明圖1所示的光學掃描儀的制造方法的剖視圖。
[0076]圖9是用于說明圖8 Ce)所示的蝕刻工序中的連結(jié)部的形成(不存在掩模偏移的情況)的圖。
[0077]圖10是用于說明圖8 (e)所示的蝕刻工序中的連結(jié)部的形成(存在掩模偏移的情況)的圖。
[0078]圖11是表示本發(fā)明的第二實施方式的光學掃描儀的俯視圖。
[0079]圖12是圖11中的B — B線局部放大剖視圖。
[0080]圖13是用于說明本發(fā)明的第三實施方式的掃描儀所具備的可動板的俯視圖。
[0081]圖14是用于說明本發(fā)明的第四實施方式的掃描儀所具備的可動板的俯視圖。
[0082]圖15是表示本發(fā)明的圖像形成裝置的構(gòu)成的一個例子的示意圖。
【具體實施方式】
[0083]以下，參照附圖對本發(fā)明的致動器、光學掃描儀以及圖像形成裝置的優(yōu)選實施方式進行說明。此外，在本實施方式中，以將本發(fā)明的致動器應用于光學掃描儀的情況為例進行說明。
[0084]第一實施方式
[0085]首先，對本發(fā)明的光學掃描儀的第一實施方式進行說明。
[0086]圖1是表示本發(fā)明的第一實施方式的光學掃描儀(致動器)的俯視圖，圖2是圖1中的A — A線剖視圖，圖3是用于說明圖1所示的光學掃描儀所具備的可動板的俯視圖，圖4是圖1中的B — B線剖視圖，圖5是圖4的局部放大剖視圖。圖6是對圖1所示的光學掃描儀的制造方法進行說明的剖視圖，圖7是對圖1所示的光學掃描儀的制造方法進行說明的剖視圖。圖8是對圖1所示的光學掃描儀的制造方法進行說明的剖視圖，圖9是用于說明圖8 (e)所示的蝕刻工序中的連結(jié)部的形成(不存在掩模偏移的情況)的圖，圖10是用于說明圖8 (e)所示的蝕刻工序中的連結(jié)部的形成(存在掩模偏移的情況)的圖。此外，以下為了方便說明而將圖2、圖4?10中的上側(cè)稱為“上”，將下側(cè)稱為“下”。
[0087]如圖1所示，光學掃描儀I具有:具有振動系統(tǒng)的基體2、支承基體2的支承體3、以及使基體2的振動系統(tǒng)振動的驅(qū)動部4。
[0088]另外，基體2具有設(shè)有光反射部211的可動板(可動部)21、與可動板21連結(jié)的一對連結(jié)部23、24、以及支承一對連結(jié)部23、24的支承部22?？梢哉f支承部22經(jīng)由連結(jié)部23、24來支承可動板21，也可以說一對連結(jié)部23、24連結(jié)可動板21與支承部22。
[0089]在這樣的光學掃描儀I中，通過驅(qū)動部4的驅(qū)動力使各連結(jié)部23、24扭轉(zhuǎn)變形，并且使可動板21繞沿著連結(jié)部23、24的規(guī)定軸轉(zhuǎn)動。由此，能夠使在光反射部211反射的光在一個規(guī)定的方向上進行掃描。
[0090]以下，依次對構(gòu)成光學掃描儀I的各部進行詳細說明。
[0091]基體
[0092]如上所述，基體2具有設(shè)有光反射部211的可動板21、支承可動板21的支承部22、以及連結(jié)可動板21與支承部22的一對連結(jié)部23、24。
[0093]這樣的基體2以硅為主要材料構(gòu)成，可動板21、支承部22以及連結(jié)部23、24形成一體。更具體而言，如在后面詳細敘述那樣，基體2是通過對板面由硅的(100)面構(gòu)成的硅基板進行各向異性蝕刻而形成的。通過這樣的各向異性蝕刻，能夠?qū)⒐璧?111)面作為蝕刻停止層來利用從而簡單且高精度地形成可動板21、支承部22以及一對連結(jié)部23、24。此夕卜，作為硅基板，通常使用單晶硅基板。
[0094]另外，這樣的基體2的上表面以及下表面分別由硅的(100)面構(gòu)成。另外，支承部22的內(nèi)周面、可動板21的側(cè)面、以及各連結(jié)部23、24的側(cè)面的與軸線X平行的部分分別由硅的(111)面構(gòu)成。
[0095]另外，因為硅是輕型且具有與SUS同等的剛性，所以通過將硅作為主要材料來構(gòu)成基體2，能夠得到具有優(yōu)異的振動特性的基體2。另外，能夠如后述那樣通過蝕刻來以高精度尺寸精度對硅進行加工，所以通過使用硅基板來形成基體2，能夠得到具有所希望的形狀(所希望的振動特性)的基體2。
[0096]以下，對基體2進行進一步詳細說明。
[0097]如圖1所示，支承部22呈框狀。更具體而言，支承部22呈四邊環(huán)狀。這樣的支承部22經(jīng)由一對連結(jié)部23、24來支承可動板21。此外，作為支承部22的形狀，能夠經(jīng)由一對連結(jié)部23、24來支承可動板21即可，并無特別限定，例如，也可以呈對應于各連結(jié)部23、24分割而成的形狀。
[0098]在這樣的支承部22的內(nèi)側(cè)設(shè)有可動板21。
[0099]可動板21呈板狀。另外，在本實施方式中，在從可動板21的板厚方向進行俯視觀察時，可動板21呈將四邊形(在本實施方式中為正方形)的四個角部切去而得的形狀(十字狀)。由此，能夠充分地確?？蓜影?1的上表面的光反射部211的面積(光反射區(qū)域)，且減少可動板21的轉(zhuǎn)動時的慣性力矩。另外，通過如后面詳細說明那樣對硅基板進行各向異性蝕刻，能夠簡單且高精度地形成這樣的可動板21。
[0100]若更加具體地說明，則如圖3所示，可動板21由主體部212、從該主體部212在與軸線X平行的方向上朝兩側(cè)突出的一對突出部213、214、以及從主體部212在與軸線X垂直的方向(與線段Y平行的方向)上朝兩側(cè)突出的一對突出部215、216構(gòu)成。由此，在從板厚方向進行俯視觀察時，可動板21呈十字狀。
[0101]而且，在可動板21的沿著外周的方向上的突出部213與突出部215之間形成有缺損部251。另外，在可動板21的沿著外周的方向上的突出部213與突出部216之間形成有缺損部252。另外，在可動板21的沿著外周的方向的突出部214與突出部216之間形成有缺損部254。另外，在可動板21的沿著外周的方向的突出部214與突出部215之間形成有缺損部253。
[0102]換句話說，從可動板21的板厚方向進行俯視觀察時，沿著可動板21的外周依次排列地設(shè)有缺損部251、突出部213、缺損部252、突出部216、缺損部254、突出部214、缺損部252、突出部215。
[0103]另外，缺損部251與缺損部252經(jīng)由突出部213而對置。另外，缺損部252與缺損部254經(jīng)由突出部216而對置。另外，缺損部253與缺損部254經(jīng)由突出部214而對置。另夕卜，缺損部251與缺損部253經(jīng)由突出部215而對置。
[0104]從可動板21的板厚方向進行俯視觀察時，上述突出部213?216以及缺損部251?254分別呈四邊形。此外，在圖1、3中，作為一個例子而圖示有進行俯視觀察時各缺損部251?254的形狀呈正方形的狀態(tài)。在可動板21的十字狀的外形的角部，并非只出現(xiàn)規(guī)定的結(jié)晶面而是出現(xiàn)多個結(jié)晶面，所以角部不是嚴格意義上的直角，各缺損部251?254不是嚴格意義上的四邊形。但是，在本實施方式中，包括上述的狀態(tài)將各缺損部251?254視為四邊形。
[0105]從板厚方向進行俯視觀察時，可動板21的外形主要由與可動板21的轉(zhuǎn)動中心軸(軸線X)平行的線段和與可動板21的轉(zhuǎn)動中心軸(軸線X)垂直的線段(線段Y)構(gòu)成。由此，通過如后述那樣對硅基板進行各向異性蝕刻，能夠簡單且高精度地形成可動板21。此夕卜，在可動板21的十字狀的外形的角部，并非只出現(xiàn)規(guī)定的結(jié)晶面而是出現(xiàn)多個結(jié)晶面。因此，從板厚方向進行俯視觀察時，可動板21的角部的外形未必一定是與軸線X或者線段Y平行的線段。即，從板厚方向進行俯視觀察時，可動板21的外形除了上述的可動板21的角部之外，至少還由與軸線X平行的線段和與線段Y平行的線段構(gòu)成。
[0106]另外，俯視觀察時，可動板21相對于可動板21的轉(zhuǎn)動中心軸(軸線X)呈對稱形狀。由此，能夠簡單地使可動板21的重心位于可動板21的轉(zhuǎn)動中心軸上，而使得可動板21的轉(zhuǎn)動順暢。
[0107]另外，俯視觀察時，可動板21相對于經(jīng)過可動板21的中心P并且與可動板21的轉(zhuǎn)動中心軸(軸線X)垂直的線段Y呈對稱形狀。由此， 可動板的設(shè)計變得容易。
[0108]另外，可動板21的板面由硅的(100)面構(gòu)成。由此，通過如后述那樣對板面由
(100)面構(gòu)成的硅基板進行各向異性蝕刻，能夠簡單且高精度地形成可動板21、支承部22以及一對連結(jié)部23、24。
[0109]另外，可動板21的側(cè)面主要由硅的(111)面構(gòu)成。由此，通過如后述那樣對板面為由(100)面構(gòu)成的硅基板進行各向異性蝕刻，能夠?qū)⒐璧?111)面作為蝕刻的停止層來利用，簡單且高精度地形成可動板21、支承部22以及一對連結(jié)部23、24。此外，從板厚方向進行俯視觀察時，在可動板21的外形的角部，可動板21的側(cè)面包含有(111)面以外的結(jié)晶面。因此，可動板21的側(cè)面除了該角部的側(cè)面之外，至少還由硅的(111)面構(gòu)成。
[0110]另外，在可動板21的側(cè)面形成有橫截面呈V字狀的槽217。由此，能夠減小可動板21的慣性力矩。另外，通過對板面為由(100)面構(gòu)成的硅基板進行各向異性蝕刻，能夠?qū)⒐璧?111)面作為蝕刻的停止層來利用，簡單且高精度地形成上述槽。
[0111]另外，將與從可動板21的板厚方向進行俯視觀察時的該可動板21在與轉(zhuǎn)動中心軸(軸線X)垂直的方向(以下，也稱為“線段Y方向”)上的長度設(shè)為A、將可動板21的與轉(zhuǎn)動中心軸(軸線X)平行的方向(以下，也稱為“軸線X方向”)上的長度設(shè)為B、將各缺損部251?254的沿著線段Y方向的長度設(shè)為a、將各缺損部251?254的沿著軸線X方向的長度設(shè)為b時，分別滿足下述式子(A)、(B)0
【權(quán)利要求】
1.一種致動器，其特征在于，具有: 可動部，其能夠繞擺動軸擺動； 連結(jié)部，其從所述可動部延伸出，并且隨著所述可動部的擺動而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形；以及 支承部，其支承所述連結(jié)部， 在從所述可動部的厚度方向進行俯視觀察時，所述可動部呈十字狀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器，其特征在于，在從所述可動部的所述厚度方向進行俯視觀察時，所述可動部的外形主要由與所述擺動軸平行的線段和與所述擺動軸垂直的線段構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器，其特征在于， 所述可動部、所述支承部以及所述連結(jié)部通過對硅基板進行各向異性蝕刻而形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的致動器，其特征在于，所述可動部的板面由硅的(100)面構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的致動器，其特征在于，所述可動部的側(cè)面主要由硅的(111)面構(gòu)成。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的致動器，其特征在于， 在所述可動部的側(cè)面形成有在與所述可動部的板面正交的剖面上呈V字狀的槽。`
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的致動器，其特征在于， 所述連結(jié)部的表面由娃的(100)面以及娃的(111)面構(gòu)成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器，其特征在于， 在從所述厚度方向進行俯視觀察時，所述可動部相對于所述可動部的所述擺動軸呈對稱形狀。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的致動器，其特征在于， 在從所述厚度方向進行俯視觀察時，所述可動部相對于經(jīng)過所述可動部的中心并且與所述可動部的所述擺動軸垂直的線段呈對稱形狀。
10.一種致動器，其特征在于，具有: 可動部，其能夠繞擺動軸擺動； 連結(jié)部，其從所述可動部延伸出，并且隨著所述可動部的擺動而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形；以及 支承部，其支承所述連結(jié)部， 在從所述可動部的厚度方向進行俯視觀察時，所述可動部呈將四邊形的四角部分分別切去矩形而形成的形狀。
11.一種光學掃描儀，其特征在于，具有: 可動部，其具備具有光反射性的光反射部，并且能夠繞擺動軸擺動； 連結(jié)部，其從所述可動部延伸出，并且隨著所述可動部的擺動而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形；以及 支承部，其支承所述連結(jié)部， 在從所述可動部的厚度方向進行俯視觀察時，所述可動部呈十字狀。
12.一種光學掃描儀，其特征在于，具有: 可動部，其具備具有光反射性的光反射部，并且能夠繞擺動軸擺動； 連結(jié)部，其從所述可動部延伸出，并且隨著所述可動部的擺動而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形；以及 支承部，其支承所述連結(jié)部，在從所述可動部的厚度方向進行俯視觀察時，所述可動部呈將四邊形的四角部分分別切去矩形而形成的形狀。
13.一種圖像形成裝置，其特征在于，具備: 光源，其射出光；和 光學掃描儀，其掃描來自所述光源的光， 所述光學掃描儀具有: 可動部，其具備具有光反射性的光反射部，并且能夠繞擺動軸擺動； 連結(jié)部，其從所述可動部延伸出，并且隨著所述可動部的擺動而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形；以及 支承部，其支承所述連結(jié)部， 在從所述可動部的厚度方向進行俯視觀察時，所述可動部呈十字狀。
14.一種圖像 形成裝置，其特征在于，具備: 光源，其射出光；和 光學掃描儀，其掃描來自所述光源的光， 所述光學掃描儀具有: 可動部，其具備具有光反射性的光反射部，并且能夠繞擺動軸擺動； 連結(jié)部，其從所述可動部延伸出，并且隨著所述可動部的擺動而產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)變形；以及 支承部，其支承所述連結(jié)部， 在從所述可動部的厚度方向進行俯視觀察時，所述可動部呈將四邊形的四角部分切去矩形而形成的形狀。
【文檔編號】G02B26/10GK103430434SQ201280014388
【公開日】2013年12月4日 申請日期:2012年3月21日 優(yōu)先權(quán)日:2011年3月24日
【發(fā)明者】日野真希子, 溝口安志 申請人:精工愛普生株式會社