專利名稱：一種防止顯影液與空氣反應(yīng)的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及LTPS黃光微影制程中對于線寬控制穩(wěn)定性及顯影液回收率提升問題的改進(jìn)，具體涉及一種防止顯影液與空氣反應(yīng)的裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有黃光顯影制成設(shè)備包括設(shè)置于腔體內(nèi)的顯影液噴嘴，供給顯影液的管路，以及回收腔體內(nèi)顯影液的顯影液槽。工作時，顯影液通過噴嘴噴出，作用到基板，多余的顯影液通過連接于腔體與顯影液槽之間的管路匯集到顯影液槽。黃光顯影制成中對于線寬的控制尤為重要，而線寬不但與顯影液的濃度有關(guān)，還和其中的碳酸根含量有較大的關(guān)系，碳酸根由空氣中的CO2和顯影液的成分TMAH (四甲基氫氧化銨)反應(yīng)生成，經(jīng)由實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證證明碳酸根濃度變化會直接影響到TMAH濃度下降，從而影響顯影能力。為了精確的控制線寬也進(jìn)一步修改了軟體來改善，但新軟體是依照碳酸根濃度上升比例進(jìn)行TMAH濃度的提升補(bǔ)正，因此對于回收率除了機(jī)臺正常排除之外，制成液槽的改善重點(diǎn)在于如何防止碳酸根濃度的提高來避免TMAH濃度的相對提升。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種防止顯影液與空氣反應(yīng)的裝置，該裝置用于解決TMAH噴出時與腔體中的空氣過多接觸而導(dǎo)致碳酸根的濃度上升的問題。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)方案。包括設(shè)置于腔體內(nèi)的將顯影液噴嘴以及基板與腔體分隔的顯影液接收裝置。所述顯影液接收裝置包括設(shè)置于顯影液噴嘴下方的可以上下運(yùn)動的收集槽，收集槽的開口與顯影液噴嘴相對，收集槽上設(shè)置有導(dǎo)管，收集槽通過導(dǎo)管與設(shè)置于腔體外的顯影液槽相連通。所述收集槽與設(shè)置于腔體內(nèi)的升降裝置相連。所述導(dǎo)管可伸縮。所述顯影液噴嘴與顯影液槽之間連接有輸液管路，輸液管路上設(shè)置有輸液泵。本實(shí)用新型所述防止顯影液與空氣反應(yīng)的裝置在顯影液噴嘴下方設(shè)計(jì)一組顯影液接收裝置，當(dāng)顯影液噴嘴做預(yù)噴吐前，顯影液接收裝置的收集槽上升套住顯影液噴嘴，之后顯影液噴嘴方開始進(jìn)行顯影液的噴吐，而所有噴出的藥液通過導(dǎo)管返回到顯影液槽，進(jìn)行回收再使用，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于顯著的減少了顯影液與腔體內(nèi)空氣的接觸，有效的抑制了碳酸根生成，達(dá)到了實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定線寬控制以及提高顯影液回收率的效果。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖1中:顯影液噴嘴1，收集槽2，顯影液槽3，導(dǎo)管4，升降裝置5，輸液管路6，輸液泵7，基板8，腔體9。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。參見圖1，本實(shí)用新型包括設(shè)置于腔體9內(nèi)的將顯影液噴嘴I以及基板8與腔體9分隔的顯影液接收裝置，所述顯影液接收裝置包括設(shè)置于顯影液噴嘴I下方的可以上下運(yùn)動的收集槽2，所述收集槽2與設(shè)置于腔體9內(nèi)的升降裝置5相連，收集槽2的開口與顯影液噴嘴I相對，收集槽2上設(shè)置有導(dǎo)管4，收集槽2通過導(dǎo)管4與設(shè)置于腔體9外的顯影液槽3相連通，所述導(dǎo)管4可伸縮，所述顯影液噴嘴I與顯影液槽3之間連接有輸液管路6，輸液管路6上設(shè)置有輸液泵7。本實(shí)用新型的工作原理如下:當(dāng)顯影液噴嘴I做預(yù)噴吐時，收集槽2在升降裝置5驅(qū)動下自動上升，收集槽2的開口套住顯影液噴嘴1，之后顯影液噴嘴I方開始進(jìn)行顯影液的噴吐，顯影液噴出后作用于基板8上，然后噴出的顯影液直接承接于收集槽2中并通過導(dǎo)管4匯流到顯影液槽3中進(jìn)行回收，當(dāng)需要對下一個基板進(jìn)行操作時，升降裝置5驅(qū)動收集槽2下降，已經(jīng)噴射過顯影液的基板向前傳送離開顯影液噴嘴I下方，位于后面的基板移至顯影液噴嘴I下方，顯影液噴嘴I再次做預(yù)噴吐。顯影液槽3中的顯影液可以通過輸液泵7經(jīng)輸液管路6送入顯影液噴嘴I。實(shí)施例在顯影液噴嘴下方安裝一個可上/下運(yùn)動的顯影液承接裝置，當(dāng)噴嘴做預(yù)噴吐時，承接裝置自動上升，將預(yù)噴吐噴出的顯影液直接承接并回流到顯影液槽，避免其與空氣發(fā)生接觸；使用此裝置一周時間，并實(shí)時檢測線寬與顯影液濃度、碳酸根濃度間的關(guān)系；將此裝置關(guān)閉一周時間，再實(shí)時監(jiān)測線寬與顯影液濃度、碳酸根濃度間的關(guān)系；將兩組數(shù)據(jù)對比即可看出空氣中的CO2與線寬的關(guān)系，然后再通過詳細(xì)的計(jì)算，得出確切參數(shù)，在軟體上進(jìn)行相應(yīng)改動，就可最大限度減少CO2對于線寬的影響。以上內(nèi)容只是結(jié)合具體的實(shí)施方式來進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明創(chuàng)造，不能認(rèn)定本發(fā)明創(chuàng)造的具體實(shí)施方式
僅限于此，再不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做若干的推演和轉(zhuǎn)換，都應(yīng)視為屬于本發(fā)明創(chuàng)造提出的權(quán)利要求所確定的專利保護(hù)范疇。
權(quán)利要求1.一種防止顯影液與空氣反應(yīng)的裝置，其特征在于:包括設(shè)置于腔體(9)內(nèi)的將顯影液噴嘴(I)以及基板(8)與腔體(9)分隔的顯影液接收裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種防止顯影液與空氣反應(yīng)的裝置，其特征在于:所述顯影液接收裝置包括設(shè)置于顯影液噴嘴(I)下方的可以上下運(yùn)動的收集槽(2)，收集槽(2)的開口與顯影液噴嘴(I)相對，收集槽(2)上設(shè)置有導(dǎo)管(4)，收集槽(2)通過導(dǎo)管(4)與設(shè)置于腔體(9)外的顯影液槽(3)相連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種防止顯影液與空氣反應(yīng)的裝置，其特征在于:所述收集槽(2)與設(shè)置于腔體(9)內(nèi)的升降裝置(5)相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種防止顯影液與空氣反應(yīng)的裝置，其特征在于:所述導(dǎo)管(4)可伸縮。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種防止顯影液與空氣反應(yīng)的裝置，其特征在于:所述顯影液噴嘴(I)與顯影液槽(3)之間連接有輸液管路(6)，輸液管路(6)上設(shè)置有輸液泵(7)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種防止顯影液與空氣反應(yīng)的裝置，黃光顯影制成中對于線寬的控制尤為重要，而線寬不但與顯影液的濃度有關(guān)，還和其中的碳酸根含量有較大的關(guān)系，故于TMAH噴嘴下方設(shè)計(jì)一組顯影液接收裝置，每當(dāng)噴嘴做預(yù)噴吐前，該接收裝置會先行上升套住TMAH噴嘴，之后噴嘴方開始進(jìn)行噴吐，而所有噴出的藥液會返回到制程顯影液槽中，進(jìn)行回收再使用，本實(shí)用新型用于避免TMAH噴出時與腔室中的空氣過多的接觸而導(dǎo)致碳酸根的濃度上升，有效的抑制碳酸根生成來達(dá)到穩(wěn)定的線寬控制及較高之回收率效益。
文檔編號G03F7/30GK203037994SQ20122066059
公開日2013年7月3日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
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