一種光刻機(jī)水平測(cè)量裝置及測(cè)量方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種光刻機(jī)水平測(cè)量裝置，包括：容器瓶，所述容器瓶中裝有液體；容器塞，所述容器塞嵌入所述容器瓶的瓶口，所述容器塞上設(shè)有通孔；柔性導(dǎo)管，所述柔性導(dǎo)管通過(guò)所述通孔從所述容器塞中引出；所述柔性導(dǎo)管中有液柱；導(dǎo)管塞，所述導(dǎo)管塞設(shè)于所述柔性導(dǎo)管的引出端的尾部；測(cè)量裝置，所述測(cè)量裝置設(shè)于所述柔性導(dǎo)管的引出端。本發(fā)明方便用于TFT光刻機(jī)安裝時(shí)的支撐腳的垂向高度差的測(cè)量，并根據(jù)支撐腳的垂向高度差對(duì)支撐腳作水平調(diào)整，測(cè)量工作簡(jiǎn)單易行，操作方便，測(cè)量精度高。
【專利說(shuō)明】一種光刻機(jī)水平測(cè)量裝置及測(cè)量方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別涉及一種光刻機(jī)水平測(cè)量裝置及測(cè)量方法。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中，每個(gè)液晶像素點(diǎn)都是由集成在像素點(diǎn)后面的薄膜晶體管(Thin FilmTransistor，簡(jiǎn)稱TFT)來(lái)驅(qū)動(dòng)，從而可以做到高速度、高亮度、高對(duì)比度顯示屏幕信息。每個(gè)像素點(diǎn)都是由集成在其上的TFT來(lái)控制，是有源像素點(diǎn)，因此不但速度可以極大提高，而且對(duì)比度和亮度也大大提高了，同時(shí)分辨率也達(dá)到了很高的水平。
[0003]TFT技術(shù)是二十世紀(jì)九十年代發(fā)展起來(lái)的，采用新材料和新工藝的大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)，是液晶、無(wú)機(jī)和有機(jī)薄膜電致發(fā)光平板顯示器的基礎(chǔ)，是現(xiàn)代大生產(chǎn)的頂尖技術(shù)。
[0004]4.5代及以上的TFT光刻機(jī)外形龐大，通常TFT光刻機(jī)主體單元長(zhǎng)在4米以上，寬在3米以上。在TFT光刻機(jī)的過(guò)程中，TFT光刻機(jī)主體單元的調(diào)平頗有難度，因?yàn)門FT光刻機(jī)的主體單元通過(guò)幾個(gè)獨(dú)立的支撐腳直接固定安裝在地基上，測(cè)量這幾個(gè)獨(dú)立的支撐腳的高度差，通常需要跨距達(dá)三四米甚至更長(zhǎng)的大理石平尺來(lái)幫助測(cè)量，大理石平尺不僅很難找到，而且運(yùn)用大理石平尺測(cè)量調(diào)整時(shí)很不方便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供了一種光刻機(jī)水平測(cè)量裝置及其測(cè)量方法，解決了 TFT光刻機(jī)安裝時(shí)的支撐腳的垂向高度差的測(cè)量和支撐腳的水平調(diào)整的問(wèn)題。
[0006]本發(fā)明為解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案在于:
[0007]一種光刻機(jī)水平測(cè)量裝置，包括:
[0008]容器瓶，所述容器瓶中裝有液體；
[0009]容器塞，所述容器塞嵌入所述容器瓶的瓶口，所述容器塞上設(shè)有通孔；
[0010]柔性導(dǎo)管，所述柔性導(dǎo)管通過(guò)所述通孔從所述容器塞中引出；所述柔性導(dǎo)管中充有連續(xù)的液體；
[0011]導(dǎo)管塞，所述導(dǎo)管塞設(shè)于所述柔性導(dǎo)管的引出端的尾部；
[0012]測(cè)量裝置，所述測(cè)量裝置設(shè)于所述柔性導(dǎo)管的引出端。
[0013]在所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置中，所述測(cè)量裝置包括:
[0014]測(cè)量基座，所述測(cè)量基座上靠近所述柔性導(dǎo)管的引出端的一側(cè)刻有刻度；
[0015]設(shè)于所述測(cè)量基座上的微調(diào)旋鈕、微動(dòng)螺桿、微動(dòng)螺母和測(cè)量指針，其中，
[0016]所述微動(dòng)螺桿與所述微調(diào)旋鈕連接，
[0017]所述微動(dòng)螺母與所述微動(dòng)螺桿連接，
[0018]所述測(cè)量指針與所述微動(dòng)螺母連接，所述測(cè)量指針設(shè)于所述刻度的區(qū)域內(nèi)。
[0019]在所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置中，所述液體是水、酒精或無(wú)毒無(wú)腐蝕不易揮發(fā)的有機(jī)液體。[0020]在所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置中，所述液體是帶有顏色的液體。
[0021]在所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置中，所述柔性導(dǎo)管的形狀為己字形。
[0022]在所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置中，所述柔性導(dǎo)管長(zhǎng)度小于15m，管徑小于10mm。
[0023]在所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置中，所述柔性導(dǎo)管與所述容器瓶的截面面積比小于1/5000。
[0024]一種光刻機(jī)水平測(cè)量方法，使用所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置，所述測(cè)量裝置還包括:測(cè)量基座、微調(diào)旋鈕，微動(dòng)螺桿，微動(dòng)螺母和測(cè)量指針；
[0025]光刻機(jī)水平測(cè)量方法包括以下步驟:
[0026]將所述容器瓶放置于一平臺(tái)上，所述測(cè)量基座放置于光刻機(jī)的支撐腳的被測(cè)面上；
[0027]旋松所述容器塞和所述導(dǎo)管塞，使液體與大氣相通；
[0028]旋轉(zhuǎn)所述微調(diào)旋鈕，所述微調(diào)旋鈕帶動(dòng)所述微動(dòng)螺桿，促使微動(dòng)螺母帶動(dòng)測(cè)量指針；
[0029]當(dāng)所述測(cè)量指針與柔性導(dǎo)管的內(nèi)液面相切時(shí)，記錄所述測(cè)量指針指向的刻度數(shù)值。
[0030]在所述的光刻機(jī)水平測(cè)量方法中，所述測(cè)量裝置的數(shù)量為一個(gè)或多個(gè)。
[0031]實(shí)施本發(fā)明的一種光刻機(jī)水平測(cè)量裝置及測(cè)量方法，具有以下有益效果:方便用于TFT光刻機(jī)安裝時(shí)的支撐腳的垂向高度差的測(cè)量，并根據(jù)支撐腳的垂向高度差對(duì)支撐腳作水平調(diào)整，測(cè)量工作簡(jiǎn)單易行，操作方便，測(cè)量精度高。
[0032]另外，通過(guò)在光刻機(jī)的每個(gè)支撐腳的被測(cè)面上均放置測(cè)量裝置，可以同時(shí)測(cè)量多個(gè)不同距離的支撐腳，操作方便。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0033]下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明，附圖中:
[0034]圖1是本發(fā)明實(shí)施例的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖2是本發(fā)明實(shí)施例的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置及測(cè)量方法的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖3是本發(fā)明實(shí)施例的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置及測(cè)量方法的多個(gè)應(yīng)用結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0037]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提出的一種光刻機(jī)水平測(cè)量裝置及測(cè)量方法作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0038]請(qǐng)參考圖1，其為本發(fā)明實(shí)施例的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置及測(cè)量方法的結(jié)構(gòu)示意圖；本發(fā)明的測(cè)量裝置的垂向調(diào)整精度可以根據(jù)需要調(diào)整10微米至100微米。
[0039]如圖1所示，一種光刻機(jī)水平測(cè)量裝置1，包括:
[0040]容器瓶3，所述容器瓶3中裝有液體2 ；
[0041]容器塞4，所述容器塞4嵌入所述容器瓶3的瓶口 ；所述容器塞4上設(shè)有通孔；
[0042]柔性導(dǎo)管5，所述柔性導(dǎo)管5通過(guò)所述通孔從所述容器塞4中引出，所述柔性導(dǎo)管5中充有連續(xù)的液體2 ；
[0043]導(dǎo)管塞6，所述導(dǎo)管塞6安裝于柔性導(dǎo)管5的引出端的尾部，以防止液體2的流出；
[0044]測(cè)量裝置，所述測(cè)量裝置設(shè)置于所述柔性導(dǎo)管6的引出端。
[0045]具體的，所述液體2是水、酒精或無(wú)毒無(wú)腐蝕不易揮發(fā)的有機(jī)液體。
[0046]具體的，所述液體2是帶有顏色的液體，如紅色，可以更清晰、便捷地看出液面的高度。
[0047]具體的，所述柔性導(dǎo)管5可以根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)特點(diǎn)靈活地選取不同長(zhǎng)度。所述柔性導(dǎo)管5的形狀為己字形。
[0048]具體的，所述柔性導(dǎo)管5充有連續(xù)的液體2，液體2在所述柔性導(dǎo)管5內(nèi)形成的液柱內(nèi)無(wú)氣泡。
[0049]具體的，所述柔性導(dǎo)管5長(zhǎng)度小于15m，管徑小于10mm，所述柔性導(dǎo)管5與所述容器瓶3的截面面積比小于1/5000，因所述截面面積比小于1/5000，即使柔性導(dǎo)管5內(nèi)液面高度變化10mm，容器瓶3液面高度變化僅有2微米，小于10微米的測(cè)量精度，因此該誤差并不會(huì)影響測(cè)量精度。因柔性導(dǎo)管5截面面積遠(yuǎn)小于容器瓶3的截面面積，因此柔性導(dǎo)管5內(nèi)的液面變化對(duì)容器瓶3的液面變化基本無(wú)影響。
[0050]進(jìn)一步的，所述測(cè)量裝置包括:
[0051]測(cè)量基座10，所述測(cè)量基座10上靠近所述柔性導(dǎo)管5的引出端的一側(cè)刻有刻度13，設(shè)于所述測(cè)量基座上的微調(diào)旋鈕7、微動(dòng)螺桿8、微動(dòng)螺母9和測(cè)量指針12，其中，
[0052]所述微動(dòng)螺桿8與所述微調(diào)旋鈕7連接；
[0053]所述微動(dòng)螺母9與所述微動(dòng)螺桿8連接；
[0054]所述測(cè)量指針12與所述微動(dòng)螺母9連接，所述測(cè)量指針12設(shè)于所述刻度13的區(qū)域內(nèi)。
[0055]請(qǐng)參考圖2，其為本發(fā)明實(shí)施例的光刻機(jī)的測(cè)量方法的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0056]如圖1和2所不,在一凈化間的地基20上,放置了一臺(tái)光刻機(jī)的基礎(chǔ)框架19,所述基礎(chǔ)框架19上設(shè)有第一支撐腳15、第二支撐腳16，、第三支撐腳17和第四支撐腳18，通過(guò)本發(fā)明實(shí)施例的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置1，分別根據(jù)第一支撐腳15、第二支撐腳16，、第三支撐腳17和第四支撐腳18的垂向測(cè)量數(shù)值，計(jì)算出高度差，根據(jù)高度差對(duì)第一支撐腳15、第二支撐腳16，、第三支撐腳17和第四支撐腳18進(jìn)行水平修磨調(diào)整，直至高度高到同一水平位置為止。
[0057]一種光刻機(jī)的測(cè)量方法，包括以下步驟:
[0058]首先將容器瓶3放置于一穩(wěn)定的平臺(tái)上，容器瓶3內(nèi)裝有液體2，容器塞4嵌入容器瓶3的瓶口，將液體2密封在容器瓶3中，柔性導(dǎo)管5通過(guò)容器塞4上的通孔從容器塞4中引出，柔性導(dǎo)管5的引出端的尾部設(shè)有導(dǎo)管塞6以防止液體2的流出。特別的，當(dāng)測(cè)量時(shí)，旋松容器塞4和導(dǎo)管塞6，使液體2與大氣相通；停止測(cè)量時(shí)，擰緊容器塞4和導(dǎo)管塞6，使容器瓶3和軟性導(dǎo)管5中的液體2無(wú)法流出；
[0059]然后，將測(cè)量基座10放置在第一支撐腳15的被測(cè)面上；
[0060]接著,分別旋松容器塞4和導(dǎo)管塞6,使液體2與大氣相通；
[0061]最后，旋轉(zhuǎn)微調(diào)旋鈕7，所述微調(diào)旋鈕7帶動(dòng)所述微動(dòng)螺桿8，促使微動(dòng)螺母9帶動(dòng)測(cè)量指針12 ;當(dāng)所述測(cè)量指針12與柔性導(dǎo)管5內(nèi)液面相切時(shí)，記錄所述測(cè)量指針12指向的刻度13數(shù)值。
[0062]如圖3所示，光刻機(jī)水平測(cè)量裝置I可以根據(jù)實(shí)際工作情況，增加測(cè)量裝置，測(cè)量裝置的數(shù)量可以為一個(gè)或者一個(gè)以上。
[0063]通過(guò)上述結(jié)構(gòu)的結(jié)合，方便用于TFT光刻機(jī)安裝時(shí)的支撐腳的垂向高度差的測(cè)量，并根據(jù)支撐腳的垂向高度差對(duì)支撐腳作水平調(diào)整，測(cè)量工作簡(jiǎn)單易行，操作方便，測(cè)量精度高，進(jìn)一步的，通過(guò)在光刻機(jī)的支撐腳的被測(cè)面上均放置測(cè)量裝置，可以同時(shí)測(cè)量不同距離的支撐腳，操作方便。
[0064]上述描述僅是對(duì)本發(fā)明較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本發(fā)明范圍的任何限定，本發(fā)明領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書(shū)的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種光刻機(jī)水平測(cè)量裝置，其特征在于，包括: 容器瓶，所述容器瓶中裝有液體； 容器塞，所述容器塞嵌入所述容器瓶的瓶口，所述容器塞上設(shè)有通孔； 柔性導(dǎo)管，所述柔性導(dǎo)管通過(guò)所述通孔從所述容器塞中引出；所述柔性導(dǎo)管中充有連續(xù)的液體； 導(dǎo)管塞，所述導(dǎo)管塞設(shè)于所述柔性導(dǎo)管的引出端的尾部； 測(cè)量裝置，所述測(cè)量裝置設(shè)于所述柔性導(dǎo)管的引出端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置，其特征在于，所述測(cè)量裝置包括: 測(cè)量基座，所述測(cè)量基座上靠近所述柔性導(dǎo)管的引出端的一側(cè)刻有刻度； 設(shè)于所述測(cè)量基座上的微調(diào)旋鈕、微動(dòng)螺桿、微動(dòng)螺母和測(cè)量指針，其中， 所述微動(dòng)螺桿與所述微調(diào)旋鈕連接， 所述微動(dòng)螺母與所述微動(dòng)螺桿連接， 所述測(cè)量指針與所述微動(dòng)螺母連接，所述測(cè)量指針設(shè)于所述刻度的區(qū)域內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置，其特征在于，所述液體是水、酒精或無(wú)毒無(wú)腐蝕不易揮發(fā)的有機(jī)液體。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置，其特征在于，所述液體是帶有顏色的液體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置，其特征在于，所述柔性導(dǎo)管的形狀為己字形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置，其特征在于，所述柔性導(dǎo)管長(zhǎng)度小于15m,管徑小于10_。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置，其特征在于，所述柔性導(dǎo)管與所述容器瓶的截面面積比小于1/5000。
8.一種光刻機(jī)水平測(cè)量方法，使用如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)水平測(cè)量裝置，其特征在于，所述測(cè)量裝置還包括:測(cè)量基座、微調(diào)旋鈕，微動(dòng)螺桿，微動(dòng)螺母和測(cè)量指針； 光刻機(jī)水平測(cè)量方法包括以下步驟: 將所述容器瓶放置于一平臺(tái)上，所述測(cè)量基座放置于光刻機(jī)的支撐腳的被測(cè)面上； 旋松所述容器塞和所述導(dǎo)管塞，使液體與大氣相通； 旋轉(zhuǎn)所述微調(diào)旋鈕，所述微調(diào)旋鈕帶動(dòng)所述微動(dòng)螺桿，促使微動(dòng)螺母帶動(dòng)測(cè)量指針； 當(dāng)所述測(cè)量指針與柔性導(dǎo)管的內(nèi)液面相切時(shí)，記錄所述測(cè)量指針指向的刻度數(shù)值。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光刻機(jī)水平測(cè)量方法，其特征在于，所述測(cè)量裝置的數(shù)量為一個(gè)或多個(gè)。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK103809383SQ201210451764
【公開(kāi)日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2012年11月12日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月12日
【發(fā)明者】王天明 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司