專利名稱：一種仿生pdms曲面復(fù)眼的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及仿生曲面復(fù)眼，具體為一種仿生PDMS曲面復(fù)眼的制備方法。
背景技術(shù)：
仿生學(xué)一直是科學(xué)家們靈感的重要源泉，多年來，人們通過研究動(dòng)物的形體與器官，得到啟迪進(jìn)而發(fā)明出來的科技成果不計(jì)其數(shù)。從蜻蜓的長尾得到直升機(jī)，從蝙蝠的回聲定位得到雷達(dá)，從螢火蟲的發(fā)光方式得到日光燈，不一而足。復(fù)眼，是一類位于昆蟲頭部兩側(cè)大而突出的光感受器，具有視場大、重量輕、靈敏度高、對偏振光敏感等特點(diǎn)，因而對其進(jìn)行仿生研究將在成像檢測等領(lǐng)域具有很大的應(yīng)用前景。目前，科學(xué)工作者們雖然對復(fù)眼結(jié)構(gòu)及其工作原理有了很深的認(rèn)識(shí)，國內(nèi)外學(xué)者也設(shè)計(jì)出了很多仿生光學(xué)復(fù)眼并制造出了許多光學(xué)系統(tǒng)，但是，真正具有實(shí)用性的并不多。華中科技大學(xué)曾用傳統(tǒng)熱熔工藝得到光軸垂直于基底的平面微透鏡陣列，再經(jīng)PDMS翻模，并在SU-8負(fù)光刻膠上進(jìn)行壓印，最后通過 SU-8負(fù)光刻膠自聚焦曝光的方法制作出直徑50um并集成了晶椎的微透鏡陣列，但該陣列為平面陣列；上海交通大學(xué)曾用柔性材料制作透鏡陣列得負(fù)模，并利用壓力差的方法得到曲面透鏡陣列負(fù)模，最后用光敏材料注塑并固化，得到曲面透鏡陣列結(jié)構(gòu)；他們提出的另一種方法是直接用柔性材料制作平面微透鏡陣列，再通過曲面鏡頭將其壓制成曲面。但是，上述復(fù)眼結(jié)構(gòu)體積大、視場小，而且并無晶椎或光纖引導(dǎo)光信號并加以檢測，不具有實(shí)用性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決現(xiàn)有仿生曲面復(fù)眼體積大、視場小、實(shí)用性低的問題，提供了一種仿生PDMS曲面復(fù)眼的制備方法。本發(fā)明是采用如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種仿生PDMS曲面復(fù)眼的制備方法，包括如下步驟
(一)、PDMS (polydimethylsiloxane聚二甲基硅氧烷)微凸透鏡模的制備 步驟1 取遮光部分為若干個(gè)直徑為IOOum的小圓的第一掩膜版，若干個(gè)小圓均布在直徑為Icm的大圓范圍內(nèi)，其中相鄰小圓的間距為IOum且相鄰三小圓圓心連接在一起為正三角形；
步驟2 取直徑為4英寸的第一圓形基片進(jìn)行表面預(yù)處理(用酒精和去離子水超聲波清洗十分鐘)后在ISOtlC烘臺(tái)上烘30min (去除表面附著的水分)再降至室溫；(用勻膠機(jī)以 2500轉(zhuǎn)/分轉(zhuǎn)30秒)在第一圓形基片上涂一層厚度為15um的AZ4620光刻膠后放在SOtlC 烘盤上烘90分鐘再降到室溫；將第一圓形基片和第一掩膜板一起放入光刻機(jī)內(nèi)紫外曝光 37秒，取出第一圓形基片放在顯影液里顯影27秒后(此時(shí)第一圓形基片上的光刻膠只留下與掩膜板上遮光部分形狀相同的若干個(gè)圓柱體)得到第一圓形基片上的第一圓柱狀結(jié)構(gòu)； 然后把第一圓形基片取出用氮?dú)獯蹈珊蠓旁?0 烘盤上堅(jiān)膜45分鐘再降到室溫；
步驟3 將第一圓形基片放在140 烘盤上熱熔65分鐘后第一圓形基片上的圓柱狀結(jié)構(gòu)變成微凸透鏡結(jié)構(gòu)，冷卻后固化成型；步驟4 取PDMS液體抽真空去除氣泡后澆在第一圓形基片的微凸透鏡結(jié)構(gòu)上，再次抽真空去除氣泡后在SOtlC烘箱內(nèi)加熱2小時(shí)使PDMS液體固化，揭下PDMS固態(tài)模，從而完成一次對微凸透鏡結(jié)構(gòu)的PDMS倒模，得到帶有凹透鏡結(jié)構(gòu)的PDMS負(fù)模；
步驟5 將PDMS負(fù)模浸泡于HPMC (Hydroxyprolymethyl cellulose羥丙基甲基纖維素)溶液中進(jìn)行表面處理后再對PDMS負(fù)模進(jìn)行如上所述的PDMS倒膜，得到PDMS微凸透鏡模；
(二)、PDMS柵格模的制備
步驟1 取透光部分為若干個(gè)圓形且相鄰圓形之間的間距均為25um的第二掩膜版，若干個(gè)圓形均布在直徑為Icm的圓范圍內(nèi)；
步驟2:取直徑為4英寸的第二圓形基片進(jìn)行表面預(yù)處理(用酒精和去離子水超聲波清洗十分鐘)后在ISOtlC烘臺(tái)上烘30分鐘(去除表面附著的水分)再降至室溫；(用勻膠機(jī)500 轉(zhuǎn)/分轉(zhuǎn)10秒后1500轉(zhuǎn)/分轉(zhuǎn)30秒)在第二圓形基片上涂一層厚度為200um的SU-8負(fù)光刻膠(負(fù)光刻膠曝光顯影后得到遮光部分以外的形狀)；將第二圓形基片放到烘盤上從室溫緩慢升至65 后停留7分鐘，再升至95 后停留45分鐘，接著緩慢降至室溫；將第二圓形基片和第二掩膜板一起放入光刻機(jī)內(nèi)進(jìn)行紫外曝光35秒；將第二圓形基片放在烘盤上從室溫升至65 停留5分鐘，再升至95 停留15分鐘，接著緩慢降至室溫后放入顯影液中顯影15分鐘，得到第二圓形基片上的第二圓柱狀結(jié)構(gòu)；
步驟3 對第二圓柱狀結(jié)構(gòu)進(jìn)行如第一步步驟4中所述的PDMS倒膜，得到帶有圓柱狀空腔的PDMS柵格模；
(三)、PDMS外圍包裹模的制備
步驟1 取上表面中心處開有直徑為2cm且高度大于Icm的盲孔的圓柱體模具，圓柱體模具上盲孔底部的中心固定有直徑為Icm且高度為Icm的小圓柱體；
步驟2 取PDMS溶液抽真空去除氣泡后澆在圓柱體模具的盲孔內(nèi)以及小圓柱體的上表面上，再抽真空去除氣泡后放入SOtlC烘箱加熱2小時(shí)使PDMS溶液固化，揭下PDMS固態(tài)模， 得到PDMS外圍包裹模；
(四)、在顯微鏡下將PDMS微凸透鏡模和PDMS柵格模的底部均涂一層PDMS液體后粘合在一起并使PDMS柵格模上圓柱狀空腔以為的部分與PDMS微凸透鏡模上相鄰微凸透鏡之間的間隙相對應(yīng)；
(五)、在顯微鏡下將直徑小于SOum的光纖插入PDMS柵格模的每個(gè)圓形柵格中，在每個(gè)圓柱狀空腔內(nèi)注入PDMS液體后固化使光纖固定在圓形柵格內(nèi)；在PDMS外圍包裹模的底部開與光纖數(shù)量相同且直徑為90-100um的通孔(因PDMS材料的柔軟性可用尖針扎通孔)，將光纖從通孔內(nèi)引出后在PDMS柵格模的外圓周上涂一層PDMS液體，接著將PDMS外圍包裹模套在PDMS柵格模的外圓周上并粘合在一起，從而形成位于PDMS柵格模與PDMS外圍包裹模之間的空腔；
(六)、將內(nèi)置空氣、PDMS液體或N0A73液體的注射泵通過管道與空腔相連并對空腔加壓使PDMS微凸透鏡模彎曲(根據(jù)所需曲率值確定所加壓力值)，當(dāng)注射泵內(nèi)置空氣時(shí)對空腔內(nèi)注入固化液體(如PDMS液體等)使其固化成型，從而得到仿生PDMS曲面復(fù)眼。 使用時(shí)，將本發(fā)明制得的仿生PDMS曲面復(fù)眼中光纖的輸出端與平面圖像傳感器粘合后放在相機(jī)或攝像機(jī)中，這時(shí)仿生PDMS曲面復(fù)眼就相當(dāng)于一個(gè)具有微尺寸、大視場的鏡頭，可將立體圖像完整的聚焦到平面圖像傳感器上從而將光學(xué)圖像信息轉(zhuǎn)化為電信號， 通過數(shù)字處理電路將立體圖像在顯示設(shè)備上顯示出來。本發(fā)明成功的將性能卓越的生物器官轉(zhuǎn)化為工程應(yīng)用結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了仿生學(xué)和微機(jī)械加工技術(shù)的結(jié)合；利用PDMS材料的柔韌性以加壓的方式形成曲面復(fù)眼從而實(shí)現(xiàn)了曲面復(fù)眼的曲率可控；同時(shí)與光纖集成在一起可將每一個(gè)仿生小眼(PDMS微凸透鏡模上的每個(gè)微凸透鏡都相當(dāng)于一個(gè)昆蟲小眼)中得到的光信號經(jīng)光纖進(jìn)行傳輸，便于CCD等感光器件的采集與處理。本發(fā)明制得的仿生PDMS曲面復(fù)眼具有成本低、制作簡單、微米尺度、納米精度的優(yōu)勢，解決了現(xiàn)有仿生曲面復(fù)眼體積大、視場小、實(shí)用性低的問題，可廣泛適用于三維成像檢測領(lǐng)域。


圖1是本發(fā)明第一步中步驟1的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明第一步中步驟2的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是圖2的A-A剖視圖。圖4是本發(fā)明第一步中步驟3的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5是本發(fā)明第一步中步驟4的結(jié)構(gòu)示意圖。圖6是本發(fā)明第一步中步驟5的結(jié)構(gòu)示意圖。圖7是本發(fā)明第二步中步驟1的結(jié)構(gòu)示意圖。圖8是本發(fā)明第二步中步驟2的結(jié)構(gòu)示意圖。圖9是圖8中B-B剖視圖。圖10是本發(fā)明第二步中步驟3的結(jié)構(gòu)示意圖。圖11是本發(fā)明第三步中步驟1的結(jié)構(gòu)示意圖。圖12是圖11中C-C剖視圖。圖13是本發(fā)明第三步中步驟2的結(jié)構(gòu)示意圖。圖14是圖13中D-D剖視圖。圖15是本發(fā)明制得的仿生PDMS曲面復(fù)眼的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1-小圓；2-第一掩膜板；3-第一圓形基片；4-第一圓柱狀結(jié)構(gòu)；5-微凸透鏡結(jié)構(gòu)；6-PDMS負(fù)膜；7-PDMS微凸透鏡模；8-第二掩膜板；9-第二圓形基片；10-第二圓柱狀結(jié)構(gòu)；Il-PDMS柵格模；12-圓柱體模具；13-小圓柱體；14-PDMS外圍包裹模；15-光纖； 16-空腔。
具體實(shí)施例方式一種仿生PDMS曲面復(fù)眼的制備方法，包括如下步驟 (一)、PDMS微凸透鏡模7的制備
步驟1 取遮光部分為若干個(gè)直徑為IOOum的小圓1的第一掩膜版2，若干個(gè)小圓1均布在直徑為Icm的大圓范圍內(nèi)，其中相鄰小圓的間距為IOum且相鄰三小圓圓心連接在一起為正三角形；
步驟2 取直徑為4英寸的第一圓形基片3進(jìn)行表面預(yù)處理后在180 烘臺(tái)上烘30min再降至室溫；在第一圓形基片3上涂一層厚度為15um的AZ4620光刻膠后放在SOtlC烘盤上烘90分鐘再降到室溫；將第一圓形基片3和第一掩膜板2 —起放入光刻機(jī)內(nèi)紫外曝光37 秒，取出第一圓形基片3放在顯影液里顯影27秒后得到第一圓形基片3上的第一圓柱狀結(jié)構(gòu)4 ；然后把第一圓形基片3取出用氮?dú)獯蹈珊蠓旁赟OtlC烘盤上堅(jiān)膜45分鐘再降到室溫；
步驟3 將第一圓形基片3放在140 烘盤上熱熔65分鐘后第一圓形基片3上的圓柱狀結(jié)構(gòu)4變成微凸透鏡結(jié)構(gòu)5，冷卻后固化成型；
步驟4 取PDMS液體抽真空去除氣泡后澆在第一圓形基片3的微凸透鏡結(jié)構(gòu)5上，再次抽真空去除氣泡后在SOtlC烘箱內(nèi)加熱2小時(shí)使PDMS液體固化，揭下PDMS固態(tài)模，從而完成一次對微凸透鏡結(jié)構(gòu)5的PDMS倒模，得到帶有凹透鏡結(jié)構(gòu)的PDMS負(fù)模6 ；
步驟5 將PDMS負(fù)模6浸泡于HPMC溶液中進(jìn)行表面處理后再對PDMS負(fù)模6進(jìn)行如上所述的PDMS倒膜，得到PDMS微凸透鏡模7 ；
(二)、PDMS柵格模11的制備
步驟1 取透光部分為若干個(gè)圓形且相鄰圓形之間的間距均為25um的第二掩膜版8，若干個(gè)圓形均布在直徑為Icm的圓范圍內(nèi)；
步驟2 取直徑為4英寸的第二圓形基片9進(jìn)行表面預(yù)處理后在180 烘臺(tái)上烘30分鐘再降至室溫；在第二圓形基片9上涂一層厚度為200um的SU-8負(fù)光刻膠；將第二圓形基片9放到烘盤上從室溫緩慢升至65 后停留7分鐘，再升至95 后停留45分鐘，接著緩慢降至室溫；將第二圓形基片9和第二掩膜板8 一起放入光刻機(jī)內(nèi)進(jìn)行紫外曝光35秒；將第二圓形基片9放在烘盤上從室溫升至65 停留5分鐘，再升至95 停留15分鐘，接著緩慢降至室溫后放入顯影液中顯影15分鐘，得到第二圓形基片9上的第二圓柱狀結(jié)構(gòu)10 ；
步驟3 對第二圓柱狀結(jié)構(gòu)10進(jìn)行如第一步步驟4中所述的PDMS倒膜，得到帶有圓柱狀空腔的PDMS柵格模11 ；
(三)、PDMS外圍包裹模的制備
步驟1 取上表面中心處開有直徑為2cm且高度大于Icm的盲孔的圓柱體模具12，圓柱體模具12盲孔底部的中心固定有直徑為Icm且高度為Icm的小圓柱體13 ；
步驟2 取PDMS溶液抽真空去除氣泡后澆在圓柱體模具12的盲孔內(nèi)以及小圓柱體13 的上表面上，再抽真空去除氣泡后放入SOtlC烘箱加熱2小時(shí)使PDMS溶液固化，揭下PDMS固態(tài)模，得到PDMS外圍包裹模14 ；
(四)、在顯微鏡下將PDMS微凸透鏡模7和PDMS柵格模11的底部均涂一層PDMS液體后粘合在一起并使PDMS柵格模11上圓柱狀空腔以為的部分與PDMS微凸透鏡模7上相鄰微凸透鏡之間的間隙相對應(yīng)；
(五)、在顯微鏡下將直徑小于SOum的光纖15插入PDMS柵格模11的每個(gè)圓形柵格中， 在每個(gè)圓柱狀空腔內(nèi)注入PDMS液體后固化使光纖15固定在圓形柵格內(nèi)；在PDMS外圍包裹模14的底部開與光纖15數(shù)量相同且直徑為90-100um的通孔，將光纖15從通孔內(nèi)引出后在PDMS柵格模11的外圓周上涂一層PDMS液體，接著將PDMS外圍包裹模14套在PDMS柵格模11的外圓周上并粘合在一起，從而形成位于PDMS柵格模11與PDMS外圍包裹模14之間的空腔16 ；
(六)、將內(nèi)置空氣、PDMS液體或N0A73液體的注射泵通過管道與空腔16相連并對空腔 16加壓使PDMS微凸透鏡模7彎曲，當(dāng)注射泵內(nèi)置空氣時(shí)對空腔16內(nèi)注入固化液體使其固化成型，從而得到仿生PDMS曲面復(fù)眼。 具體實(shí)施時(shí)，對空腔加壓時(shí)的壓力根據(jù)所需仿生PDMS曲面復(fù)眼的曲率確定；SU-8 負(fù)光刻膠采用SU-8 2100負(fù)光刻膠；在第一圓形基片上涂光刻膠時(shí)用勻膠機(jī)以2500轉(zhuǎn)/ 分轉(zhuǎn)30秒；在第二圓形基片上涂光刻膠時(shí)用勻膠機(jī)500轉(zhuǎn)/分轉(zhuǎn)10秒后1500轉(zhuǎn)/分轉(zhuǎn) 30秒。
權(quán)利要求
1. 一種仿生PDMS曲面復(fù)眼的制備方法，其特征在于包括如下步驟(一)、PDMS微凸透鏡模(7)的制備步驟1 取遮光部分為若干個(gè)直徑為IOOum的小圓(1)的第一掩膜版(2)，若干個(gè)小圓 (1)均布在直徑為Icm的大圓范圍內(nèi)，其中相鄰小圓的間距為IOum且相鄰三小圓圓心連接在一起為正三角形；步驟2 取直徑為4英寸的第一圓形基片(3)進(jìn)行表面預(yù)處理后在180 烘臺(tái)上烘 30min再降至室溫；在第一圓形基片(3)上涂一層厚度為15um的AZ4620光刻膠后放在SOtlC 烘盤上烘90分鐘再降到室溫；將第一圓形基片(3)和第一掩膜板(2)—起放入光刻機(jī)內(nèi)紫外曝光37秒，取出第一圓形基片(3)放在顯影液里顯影27秒后得到第一圓形基片(3)上的第一圓柱狀結(jié)構(gòu)(4)；然后把第一圓形基片(3)取出用氮?dú)獯蹈珊蠓旁赟OtlC烘盤上堅(jiān)膜45 分鐘再降到室溫；步驟3 將第一圓形基片(3)放在HOtlC烘盤上熱熔65分鐘后第一圓形基片(3)上的圓柱狀結(jié)構(gòu)(4)變成微凸透鏡結(jié)構(gòu)(5)，冷卻后固化成型；步驟4 取PDMS液體抽真空去除氣泡后澆在第一圓形基片(3)的微凸透鏡結(jié)構(gòu)(5)上， 再次抽真空去除氣泡后在SOtlC烘箱內(nèi)加熱2小時(shí)使PDMS液體固化，揭下PDMS固態(tài)模，從而完成一次對微凸透鏡結(jié)構(gòu)(5)的PDMS倒模，得到帶有凹透鏡結(jié)構(gòu)的PDMS負(fù)模(6)；步驟5 將PDMS負(fù)模(6)浸泡于HPMC溶液中進(jìn)行表面處理后再對PDMS負(fù)模(6)進(jìn)行如上所述的PDMS倒膜，得到PDMS微凸透鏡模(7)；(二)、PDMS柵格模(11)的制備步驟1 取透光部分為若干個(gè)圓形且相鄰圓形之間的間距均為25um的第二掩膜版(8)， 若干個(gè)圓形均布在直徑為Icm的圓范圍內(nèi)；步驟2 取直徑為4英寸的第二圓形基片(9)進(jìn)行表面預(yù)處理后在180 烘臺(tái)上烘30 分鐘再降至室溫；在第二圓形基片(9)上涂一層厚度為200um的SU-8負(fù)光刻膠；將第二圓形基片(9)放到烘盤上從室溫緩慢升至65 后停留7分鐘，再升至95 后停留45分鐘，接著緩慢降至室溫；將第二圓形基片(9)和第二掩膜板(8)—起放入光刻機(jī)內(nèi)進(jìn)行紫外曝光 35秒；將第二圓形基片(9)放在烘盤上從室溫升至65 停留5分鐘，再升至95 停留15分鐘，接著緩慢降至室溫后放入顯影液中顯影15分鐘，得到第二圓形基片(9)上的第二圓柱狀結(jié)構(gòu)(10);步驟3 對第二圓柱狀結(jié)構(gòu)(10)進(jìn)行如第一步步驟4中所述的PDMS倒膜，得到帶有圓柱狀空腔的PDMS柵格模(11);(三)、PDMS外圍包裹模的制備步驟1 取上表面中心處開有直徑為2cm且高度大于Icm的盲孔的圓柱體模具(12)，圓柱體模具(12)上盲孔底部的中心固定有直徑為Icm且高度為Icm的小圓柱體(13);步驟2 取PDMS溶液抽真空去除氣泡后澆在圓柱體模具(12)的盲孔內(nèi)以及小圓柱體 (13)的上表面上，再抽真空去除氣泡后放入SOtlC烘箱加熱2小時(shí)使PDMS溶液固化，揭下 PDMS固態(tài)模，得到PDMS外圍包裹模(14)；(四)、在顯微鏡下將PDMS微凸透鏡模(7)和PDMS柵格模(11)的底部均涂一層PDMS液體后粘合在一起并使PDMS柵格模(11)上圓柱狀空腔以外的部分與PDMS微凸透鏡模(7)上相鄰微凸透鏡之間的間隙相對應(yīng)；(五)、在顯微鏡下將直徑小于80um的光纖(15)插入PDMS柵格模(11)的每個(gè)圓柱狀空腔中，在每個(gè)圓形柵格內(nèi)注入PDMS液體后固化使光纖(15)固定在圓形柵格內(nèi)；在PDMS外圍包裹模(14)的底部開與光纖(15)數(shù)量相同且直徑為90-100um的通孔，將光纖(15)從通孔內(nèi)引出后在PDMS柵格模(11)的外圓周上涂一層PDMS液體，接著將PDMS外圍包裹模(14) 套在PDMS柵格模(11)的外圓周上并粘合在一起，從而形成位于PDMS柵格模(11)與PDMS 外圍包裹模(14)之間的空腔(16)；(六)、將內(nèi)置空氣、PDMS液體或N0A73液體的注射泵通過管道與空腔(16)相連并對空腔(16)加壓使PDMS微凸透鏡模(7)彎曲，當(dāng)注射泵內(nèi)置空氣時(shí)對空腔(16)內(nèi)注入固化液體使其固化成型，從而得到仿生PDMS曲面復(fù)眼。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種仿生PDMS曲面復(fù)眼的制備方法，其特征在于所述SU-8 負(fù)光刻膠采用SU-8 2100負(fù)光刻膠。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種仿生PDMS曲面復(fù)眼的制備方法，其特征在于在第一圓形基片(3)上涂光刻膠時(shí)用勻膠機(jī)以2500轉(zhuǎn)/分轉(zhuǎn)30秒；在第二圓形基片(9)上涂負(fù)光刻膠時(shí)用勻膠機(jī)500轉(zhuǎn)/分轉(zhuǎn)10秒后1500轉(zhuǎn)/分轉(zhuǎn)30秒。
全文摘要
本發(fā)明涉及仿生曲面復(fù)眼，具體為一種仿生PDMS曲面復(fù)眼的制備方法。本發(fā)明解決了現(xiàn)有仿生曲面復(fù)眼體積大、視場小、實(shí)用性低的問題。一種仿生PDMS曲面復(fù)眼的制備方法包括如下步驟制備PDMS微凸透鏡模；制備PDMS柵格模；制備PDMS外圍包裹模；將PDMS微凸透鏡模和PDMS柵格模的底部粘合在一起；將光纖插入PDMS柵格模的圓柱狀空腔中；將PDMS外圍包裹模粘在PDMS柵格模的外圓周上形成位于PDMS柵格模與PDMS外圍包裹模之間的空腔；對空腔加壓使PDMS微凸透鏡模彎曲，從而得到復(fù)眼。本發(fā)明制得的復(fù)眼具有成本低、制作簡單、微米尺度、納米精度的優(yōu)勢，可廣泛適用于三維成像檢測領(lǐng)域。
文檔編號G03F7/20GK102540705SQ201210013959
公開日2012年7月4日 申請日期2012年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月17日
發(fā)明者劉俊, 劉堯, 唐軍, 孟祥嬌, 張勇, 張斌珍, 李向紅, 王萬軍, 石云波, 薛晨陽 申請人:中北大學(xué)