專利名稱：感光性樹脂組合物、固化膜、固化膜的形成方法 、有機el顯示裝置及液晶顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、固化膜、固化膜的形成方法、有機EL顯示裝置及液晶顯示裝置。
背景技術(shù)：
在有機EL顯示裝置、液晶顯示裝置等中設(shè)有經(jīng)過布圖的層間絕緣膜。在該層間絕緣膜的形成中，由于用于得到所需的圖案形狀的工序數(shù)少、且可獲得充分的平坦性，因而廣泛使用感光性樹脂組合物。要求使用上述感光性樹脂組合物進行了布圖的層間絕緣膜或平坦化膜是透明性及耐溶劑性優(yōu)異的可靠性高的固化膜。作為這種感光性樹脂組合物，例如在日本特開平5-165214號公報中記載了一種具有(A)可溶于堿水溶液的樹脂及(B)感放射線性酸生成化合物的感光性樹脂組合物，其中所述(A)可溶于堿水溶液的樹脂是(a)不飽和羧酸或不飽和羧酸酐、(b)具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物和(C)其它自由基聚合性化合物的共聚物。另外，在日本特開2004-264623號公報中，作為可確保保存穩(wěn)定性、感度、所形成的固化膜的高可靠性(透明性、耐溶劑性)的感光性樹脂組合物，記載了例如含有下述樹脂和通過放射線的照射而產(chǎn)生PKa為4. O以下的酸的化合物的感放射線性樹脂組合物，其中所述樹脂是具有縮醛結(jié)構(gòu)或縮酮結(jié)構(gòu)的(甲基)丙烯酸酯化合物、具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物以及其它自由基聚合性化合物的共聚物。另外，在日本特開2009-98616號公報中記載了含有下述樹脂及具有肟磺酸酯基的光產(chǎn)酸劑的正型感光性樹脂組合物，其中所述樹脂是具有特定的酸解離性基團的結(jié)構(gòu)單元和可與羧基發(fā)生反應(yīng)而形成共價鍵的結(jié)構(gòu)單元的共聚物。另一方面，用于傳真機、靜電復印機、固體攝像元件等的片上濾色器(on-chipcolor filter)的成像光學系統(tǒng)或者光纖連接器的光學系統(tǒng)材料使用具有3 100 μ m左右的透鏡直徑的微透鏡或者將這些微透鏡規(guī)則地排列而得到的微透鏡陣列。關(guān)于微透鏡或微透鏡陣列的形成，已知有如下方法在形成相當于透鏡的抗蝕圖案后通過加熱處理使其進行熔體流動、直接制成透鏡使用的方法；將進行了熔體流動的透鏡圖案作為掩模并通過干式蝕刻使透鏡形狀轉(zhuǎn)印至基底的方法等。這種透鏡圖案的形成中廣泛使用感光性樹脂組合物(例如參見日本特開平6-18702號公報及日本特開平6-136239號公報)。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的技術(shù)問題對于用以形成層間絕緣膜的感光性樹脂組合物，要求具有高感度且保存穩(wěn)定性好，同時對于由該感光性組合物形成的固化膜，要求具有高可靠性(透明性、耐溶劑性等)。、此外，從形成接觸孔等觀點出發(fā)，還要求層間絕緣膜具有良好的圖案形狀的形成性，作為該圖案形狀，優(yōu)選為正錐形。但是，如日本特開2004-264623號公報及日本特開2009-98616號公報中記載的正型感光性樹脂組合物那樣含有三嗪系、鎗鹽系、肟磺酸酯系等光產(chǎn)酸劑的感光性樹脂組合物的光產(chǎn)酸效率差，從實現(xiàn)高感度化的觀點 出發(fā)并不令人滿意。另外，當使用感光性樹脂組合物來進行絕緣膜等的圖案形成時，通常在感光性樹脂組合物的曝光后實施加熱處理(后烘焙工序)，但以往的感光性樹脂組合物由于感度越高則后烘焙工序后的圖案形狀越接近矩形，因此感度提高與良好的圖案形狀的形成性形成了消長的關(guān)系。為此，目前還無法獲得兼具高感度和保存穩(wěn)定性、且在確保所形成的固化膜的高可靠性(透明性、耐溶劑性)的同時、所形成的圖案形狀也良好的層間絕緣膜形成用的感光性樹脂組合物。本發(fā)明要解決的第I個技術(shù)問題在于提供一種保存穩(wěn)定性及感度優(yōu)異、且可形成透明性、耐溶劑性及圖案形狀優(yōu)異的固化膜的感光性樹脂組合物。另外，本發(fā)明要解決的第2個技術(shù)問題在于提供由本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物形成的透明性、耐溶劑性及圖案形狀優(yōu)異的固化膜以及形成該固化膜的方法、具備該固化膜作為層間絕緣膜的顯示特性優(yōu)異且生產(chǎn)率高的有機EL顯示裝置及液晶顯示裝置。用于解決技術(shù)問題的手段以下記載本發(fā)明的方案。< I >一種感光性樹脂組合物，其含有(A)共聚物，該共聚物包含具有選自被酸分解性基團保護的羧基及被酸分解性基團保護的酚性羥基中的至少I個的結(jié)構(gòu)單元(I)和具有選自環(huán)氧基及氧雜環(huán)丁烷基中的至少I個的結(jié)構(gòu)單元(2) ;(B)選自下述通式(I)、通式(0S-1)、通式(0S-3)、通式(0S-4)及通式(0S-5)所示的光產(chǎn)酸劑中的至少I種光產(chǎn)酸劑；(C)增感劑；以及⑶溶劑。Ria-C (R2a) =N-O-SO2-R3a (I)通式⑴中，Ria表示碳原子數(shù)為I 6的烷基、碳原子數(shù)為I 4的鹵代烷基、苯基、聯(lián)苯基、萘基、2-呋喃基、2-噻吩基、碳原子數(shù)為I 4的烷氧基或氰基，當Ria為苯基、聯(lián)苯基、萘基或蒽基時，這些基團還可被選自鹵原子、羥基、碳原子數(shù)為I 4的烷基、碳原子數(shù)為I 4的烷氧基及硝基中的取代基取代。R2a表示碳原子數(shù)為I 10的烷基、碳原子數(shù)為I 10的烷氧基、碳原子數(shù)為I 5的鹵代烷基、碳原子數(shù)為I 5的鹵代烷氧基、可被W取代的苯基、可被W取代的萘基或可被W取代的蒽基、二烷基氨基、嗎啉基或氰基。R2a與Ria還可相互鍵合而形成5元環(huán)或6元環(huán)，該5元環(huán)或6元環(huán)還可以與可具有I個或2個任意取代基的苯環(huán)連接。R3a表示碳原子數(shù)為I 10的烷基、碳原子數(shù)為I 10的烷氧基、碳原子數(shù)為I 5的鹵代烷基、碳原子數(shù)為I 5的鹵代烷氧基、可被W取代的苯基、可被W取代的萘基或可被W取代的蒽基。W表示鹵原子、氰基、硝基、碳原子數(shù)為I 10的烷基、碳原子數(shù)為I 10的烷氧基、碳原子數(shù)為I 5的鹵代烷基或碳原子數(shù)為I 5的鹵代烷氧基。
權(quán)利要求
1.一種感光性樹脂組合物，其含有 (A)共聚物，該共聚物包含具有選自被酸分解性基團保護的羧基及被酸分解性基團保護的酚性羥基中的至少I個的結(jié)構(gòu)單元(I)和具有選自環(huán)氧基及氧雜環(huán)丁烷基中的至少I個的結(jié)構(gòu)單元⑵； (B)選自下述通式(I)、通式(OS-I)、通式(0S-3)、通式(0S-4)及通式(0S-5)所示的光產(chǎn)酸劑中的至少I種光產(chǎn)酸劑； (C)增感劑；以及 (D)溶劑，Ria-C (R2a) =N-O-SO2-R3a (I) 通式(I)中，Ria表示碳原子數(shù)為I 6的烷基、碳原子數(shù)為I 4的鹵代烷基、苯基、聯(lián)苯基、萘基、2-呋喃基、2-噻吩基、碳原子數(shù)為I 4的烷氧基或氰基，當Ria為苯基、聯(lián)苯基、萘基或蒽基時，這些基團還可被選自鹵原子、羥基、碳原子數(shù)為I 4的烷基、碳原子數(shù)為I 4的烷氧基及硝基中的取代基取代， R2a表示碳原子數(shù)為I 10的烷基、碳原子數(shù)為I 10的烷氧基、碳原子數(shù)為I 5的鹵代烷基、碳原子數(shù)為I 5的鹵代烷氧基、可被W取代的苯基、可被W取代的萘基或可被W取代的蒽基、二烷基氨基、嗎啉基或氰基，R2a與Ria還可相互鍵合而形成5元環(huán)或6元環(huán)，該5元環(huán)或6元環(huán)還可以與可具有I個或2個任意取代基的苯環(huán)連接， R3a表示碳原子數(shù)為I 10的烷基、碳原子數(shù)為I 10的烷氧基、碳原子數(shù)為I 5的鹵代烷基、碳原子數(shù)為I 5的鹵代烷氧基、可被W取代的苯基、可被W取代的萘基或可被W取代的蒽基， W表示鹵原子、氰基、硝基、碳原子數(shù)為I 10的烷基、碳原子數(shù)為I 10的烷氧基、碳原子數(shù)為I 5的鹵代烷基或碳原子數(shù)為I 5的鹵代烷氧基，OO—I—R2Il I O R21 N- 1\_'R1R2fX r23 r24(OS - 1 ) 通式(0S-1)中，R1表示氫原子、烷基、鏈烯基、烷氧基、烷氧基羰基、?；?、氨基甲酰基、氨磺?；?、磺基、氰基、芳基或雜芳基，R2表示烷基或芳基，X表示-0-、-S-、-NH-、-NR5-、-CH2->-CR6H-或-CR6R7-, R5 R7各自獨立地表示烷基或芳基，R21 R24各自獨立地表示氫原子、齒原子、燒基、鏈稀基、燒氧基、氣基、燒氧基擬基、燒基擬基、芳基擬基、酸胺基、橫基、氛基或芳基，
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(C)增感劑為下述通式(III)、通式(IV)、通式(V)或通式(VI)所示的化合物，
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的感光性樹脂組合物，其中，所述通式(I)所示的光產(chǎn)酸劑是下述通式(II)所示的光產(chǎn)酸劑，
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3任一項所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(A)共聚物具有的結(jié)構(gòu)單元(2)是具有氧雜環(huán)丁烷基的結(jié)構(gòu)單元。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4任一項所述的感光性樹脂組合物，其還含有交聯(lián)劑。
6.一種固化膜，其是通過對權(quán)利要求I 5任一項所述的感光性樹脂組合物賦予光及熱中的至少一者而形成的。
7.一種固化膜的形成方法，其包含 (1)在基板上涂布權(quán)利要求I 5任一項所述的感光性樹脂組合物； (2)從涂布后的感光性樹脂組合物中除去溶劑； (3)利用活性光線將涂布后的感光性樹脂組合物進行曝光； (4)利用水性顯影液將曝光后的感光性樹脂組合物進行顯影；以及 (5)將顯影后的感光性樹脂組合物進行熱固化。
8.一種固化膜，其是通過權(quán)利要求7所述的方法形成的。
9.根據(jù)權(quán)利要求6或8所述的固化膜，其為層間絕緣膜。
10.一種有機EL顯示裝置，其具備權(quán)利要求6、8或9所述的固化膜。
11.一種液晶顯示裝置，其具備權(quán)利要求6、8或9所述的固化膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其含有下述共聚物、具有肟磺酸酯基的特定結(jié)構(gòu)的光產(chǎn)酸劑、增感劑以及溶劑，所述共聚物包含具有選自被酸分解性基團保護的羧基及被酸分解性基團保護的酚性羥基中的至少1個的結(jié)構(gòu)單元(1)和具有選自環(huán)氧基及氧雜環(huán)丁烷基中的至少1個的結(jié)構(gòu)單元(2)。
文檔編號G03F7/004GK102725693SQ201180007148
公開日2012年10月10日 申請日期2011年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月19日
發(fā)明者崎田亨平, 疋田政憲, 石地洋平 申請人:富士膠片株式會社