專利名稱：微相位差膜制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種視差光柵，尤其涉及一種微相位差膜的制造方法。
背景技術(shù)：
隨著平面顯示器應(yīng)用愈來愈普及，更高解析度、色域更廣、反應(yīng)速度更快的顯示器已經(jīng)成為不可或缺的要素。由于人類最終希望能夠呈現(xiàn)出最自然、最真實(shí)、具有立體感受的影像，因此立體/三維(3D)影像顯示技術(shù)受到相當(dāng)大的重視。如上所述，3D立體顯示技術(shù)的發(fā)展的原始想法就是來自左右眼分別接受不同的影像。一般而言，空間中的物體相對(duì)位置是由多個(gè)深度線索(cbpth cues)組合來正確判斷，深度線索包括了雙眼視差、人眼的調(diào)適性、移動(dòng)視差、透視、觀測(cè)物體間大小關(guān)系、物體材質(zhì) 等。意即，立體顯示器必須至少具有兩眼視差及移動(dòng)視差的特性，其中以雙眼視差較能正確的判斷出深度信息，雙眼視差的原理是由于兩眼在水平方向有一位移(間隔約65mm)，兩眼所看到的影像會(huì)稍微不同，因此所接收的影像內(nèi)容也略有差異；而移動(dòng)視差則是指觀賞者的眼睛位置移動(dòng)時(shí)，由于觀賞角度隨之改變，眼睛所接收的內(nèi)容也有所不同。所以若要接受到立體的影像，必須讓左眼與右眼分別只接受到有些微差異的個(gè)別影像，再經(jīng)大腦融合成具深度信息的三維(3D)影像(深度信息)。因此，目前大部份的3D顯示器重建立體影像的原理皆為雙眼視差為主要的設(shè)計(jì)，將不同視角的影像利用特殊光學(xué)設(shè)計(jì)分別投射到左右目艮，再經(jīng)過大腦融合此兩張影像，即可以重建出立體影像。早期的立體影像顯示器大部份是戴眼鏡式立體顯示器。戴眼鏡式的快門式眼鏡3D顯示器是以更新頻率120Hz以上播放左、右眼視角畫面。當(dāng)顯示器顯示左眼畫面時(shí)，快門眼鏡將左眼打開，右眼遮蔽；當(dāng)顯示器顯示右眼畫面時(shí)，快門眼鏡將右眼打開，左眼遮蔽。通過快速切換左右眼信息，使得左右眼分別看到正確的左眼與右眼畫面，經(jīng)過視覺暫留與大腦融合后，即可呈現(xiàn)出具深度感的立體影像。然而，上述戴眼鏡式立體顯示器都需要佩帶特殊的儀器，此常會(huì)阻礙人類自然的視覺。因此，近幾年來，逐漸發(fā)展一種裸眼式立體影像顯示器。裸眼式的3D顯示方式可分成時(shí)間多任務(wù)與空間多任務(wù)兩種。時(shí)間多任務(wù)是以一組指向性背光搭配一快速反應(yīng)面板，快速顯示左、右眼影像，讓觀賞者的左、右眼分別看到左、右眼影像；空間多任務(wù)是犧牲畫面解析度來同時(shí)顯示左、右眼影像，其主要分成視差光柵(Parallax barrier)和柱狀透鏡(Lenticular lenses)兩種，視差光柵是利用光柵來控制光前進(jìn)的方向，而柱狀透鏡是利用折射率的不同來控制光的方向。此外，柱狀透鏡由許多細(xì)長(zhǎng)直條的凸透鏡沿一軸方向連續(xù)排列，并利用光學(xué)折射來產(chǎn)生左右眼的不同視圖，其利用光的折射來達(dá)到分光的目的，所以光較無損失、亮度佳，然而若由于制作柱狀透鏡時(shí)的誤差或透鏡表面不平整等因素，則會(huì)有雜散光的產(chǎn)生，而造成部分模糊的立體影像，因此影響整體3D影像的顯示效果。另外，視差光柵利用整列的屏障物來限制某些角度的光射出，只讓某些角度的視圖影像分別傳送至左右眼以產(chǎn)生立體影像。
再者，一般的立體顯示裝置，僅能顯示立體影像而已，無法針對(duì)平面(二維)影像與立體(三維)影像進(jìn)行切換。因此，便有業(yè)者開發(fā)出可切換顯示立體影像或平面影像的立體影像顯示裝置。目前一般的區(qū)域化2D/3D(二維/三維)切換技術(shù)主要是以視差光柵與柱狀透鏡為主，視差光柵與柱狀透鏡結(jié)構(gòu)可置于顯示面板前面或置于顯示面板與背光模塊之間。舉例而言，可切換2D/3D視差光柵顯示器，至少包括視差光柵102、顯示面板101以及背光模塊100，如圖Ia與圖Ib所示。視差光柵102配置于顯示面板101之前。當(dāng)某區(qū)域影像內(nèi)容顯示為3D影像時(shí)，就在相對(duì)應(yīng)的區(qū)域102a產(chǎn)生視差光柵的效果，此即為3D顯示模式，如圖Ia所示；而當(dāng)要顯示文字或2D影像信息時(shí)，即讓對(duì)應(yīng)位置(區(qū)域)102b的視差光柵的效果消失，如圖Ib所示，則左眼與右眼皆看到相同的畫素，如一般2D顯示器一樣。而另一模式為可切換2D/3D柱狀透鏡顯示器，其與可切換2D/3D視差光柵顯示器的功能類似。在此例子中，可切換2D/3D柱狀透鏡顯示器，以柱狀透鏡103取代視差光柵102，如圖2a與圖2b所示。柱狀透鏡103配置于顯示面板101之前。當(dāng)某區(qū)域影像內(nèi)容顯示為3D影像時(shí)，就在相對(duì)應(yīng)的區(qū)域103a產(chǎn)生柱狀透鏡的效果，此即為3D顯示模式，如圖2a所示；而當(dāng)要顯示文字或2D影像信息時(shí)，即讓對(duì)應(yīng)位置103b的柱狀透鏡的效果消失，如圖2b所示，則左眼與右眼皆看到相同的畫素，而呈現(xiàn)如2D顯示器的效果。
在可切換2D/3D視差光柵顯示器中，由于液晶本身具有使光線穿透與否的能力，使用液晶面板來產(chǎn)生區(qū)域化視差光柵是最容易實(shí)現(xiàn)的方式之一。舉例而言，一種可切換2D/3D液晶視差光柵顯示器，于背光模塊之前配置二組液晶面板，其中前液晶面板當(dāng)作視差光柵使用，當(dāng)顯示面板要顯示3D內(nèi)容時(shí)，則前液晶面板對(duì)應(yīng)區(qū)域顯示黑白相間的條紋；而當(dāng)顯示面板的影像畫面為2D內(nèi)容，則前液晶面板于該區(qū)域顯示白畫面(使光線完全穿透)。因此，可以通過控制前液晶面板的顯示內(nèi)容來達(dá)到區(qū)域化2D/3D的切換功能。在可切換2D/3D柱狀透鏡顯示器中，包括可區(qū)域化2D/3D切換柱狀透鏡，其分成二種類型，分別為(I)主動(dòng)式柱狀透鏡及(2)被動(dòng)式柱狀透鏡與切換液晶面板。舉例而言，主動(dòng)式可切換2D/3D柱狀透鏡顯示器技術(shù)是由飛利浦(Philips)所開發(fā)，其將柱狀透鏡(例如凹透鏡)114內(nèi)部灌入液晶，并且由上、下玻璃基板115及112包覆，下玻璃基板112之下配置一偏極(光)膜111，偏極膜111之下有顯示畫素110;由于液晶是一個(gè)雙折射材料(折射率為N和n)，可通過施加電壓(V)來改變折射率。選用適當(dāng)?shù)恼凵渎实囊壕Р牧洗钆渫哥R114的折射率(例如為n)。當(dāng)不施加電壓于柱狀透鏡114時(shí)，液晶層的折射率為N，與透鏡折射率n不同，因此產(chǎn)生一個(gè)折射率差，光線經(jīng)過此主動(dòng)式切換柱狀透鏡114時(shí)，由于有折射率差，就會(huì)改變光的前進(jìn)方向，如此即為3D模式顯示，如圖3a所示；而當(dāng)施加電壓于主動(dòng)式2D/3D切換柱狀透鏡114時(shí)，液晶會(huì)改變排列方式，此時(shí)液晶層113的折射率為n，與透鏡折射率n—樣，經(jīng)由顯示畫素110而來的光線即沿著原入射光的方向前進(jìn)，如此即為2D模式顯示，如圖3所示。因此，在此架構(gòu)的下，透過加電壓與不加電壓于柱狀透鏡114的選擇，以產(chǎn)生2D/3D的切換效果，因此屬于主動(dòng)的操作方式。而在被動(dòng)式柱狀透鏡與切換液晶面板的架構(gòu)中，此切換架構(gòu)是由一固定式雙折射(折射率為N和n)柱狀透鏡114與一切換液晶層116來控制光前進(jìn)的方向，此技術(shù)是由切換液晶層116決定柱狀透鏡114是否作用，因此屬于被動(dòng)的操作方式。當(dāng)不施加電壓于切換液晶層時(shí)，以TN為例，假設(shè)經(jīng)過偏極膜111的0度偏極方向的入射光經(jīng)切換液晶層116之后，偏極方向變成90度，此時(shí)柱狀透鏡114中的液晶層113折射率為N，與透鏡折射率n不同，因而產(chǎn)生光程差，所以會(huì)改變光的前進(jìn)方向，而具有柱狀透鏡的效果，即為3D模式顯示，如圖4a所示；而當(dāng)切換液晶層116加電壓時(shí)，TN液晶分子會(huì)改變排列的方向，使經(jīng)過切換液晶層116之后的偏極方向仍為O度，此時(shí)，柱狀透鏡114中的液晶層113折射率為n，與透鏡折射率n相同，因此不改變光的前進(jìn)方向，此即為2D模式顯示，如圖4b所示。此技術(shù)通過局部的控制切換液晶層的電壓，以達(dá)到區(qū)域化2D/3D的切換效果。
綜合上述，在傳統(tǒng)的2D/3D切換架構(gòu)中，必須使用柱狀透鏡搭配至少一個(gè)液晶層，并且必須施加電壓于柱狀透鏡上，才能達(dá)到區(qū)域化2D/3D的切換效果，因此，其制造成本較為昂貴，并且架構(gòu)復(fù)雜較容易產(chǎn)生顯示或切換不良的情況。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷和不足，本發(fā)明的主要目的在于提供一種微相位差膜的制造方法。。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案一種微相位差膜的制造方法，其特征在于包括利用一拉伸壓膜方式將一微結(jié)構(gòu)相位薄膜層壓成一微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案,微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案包括至少兩個(gè)開口部分以及至少兩個(gè)相位延遲部分間隔地排列；形成一第一均質(zhì)層于微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案之上,第一均質(zhì)層覆蓋在所述開口部分；對(duì)微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案的背面進(jìn)行改質(zhì)處理。本發(fā)明的微相位差膜不但克服先前技術(shù)的缺點(diǎn)，且可有效切換二維/三維影像，并可大幅降低成本。


上述組件，以及本發(fā)明其它特征與優(yōu)點(diǎn)，通過閱讀實(shí)施方式的內(nèi)容及其圖式后，將更為明顯圖Ia為可切換2D/3D視差光柵顯示器顯示3D影像信息的示意圖。圖Ib為可切換2D/3D視差光柵顯示器顯示2D影像信息的示意圖。圖2a為可切換2D/3D柱狀透鏡顯示器顯示3D影像信息的示意圖。圖2b為可切換2D/3D柱狀透鏡顯示器顯示2D影像信息的示意圖。圖3a為主動(dòng)式可切換2D/3D柱狀透鏡顯示器顯示3D影像信息的示意圖。圖3b為主動(dòng)式可切換2D/3D柱狀透鏡顯示器顯示2D影像信息的示意圖。圖4a為被動(dòng)式柱狀透鏡與切換液晶面板顯示3D影像信息的示意圖。圖4b為被動(dòng)式柱狀透鏡與切換液晶面板顯示2D影像信息的示意圖。圖5a為本發(fā)明的透過拉伸壓膜步驟以形成的微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案的剖面圖。圖5b為本發(fā)明的第一均質(zhì)材料層形成于微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案的上的剖面圖。圖5c為本發(fā)明在微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案的背面進(jìn)行照光的示意圖。圖5d為本發(fā)明的微相位差膜結(jié)構(gòu)的剖面圖。主要組件符號(hào)說明背光模塊100顯面板101視差光柵102
對(duì)應(yīng)區(qū)域102a、102b、103a、103b 柱狀透鏡103、114上玻璃基板115下玻璃基板112偏極膜111顯示畫素110液晶層113切換液晶層116微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案50凹槽(開口)部分52相位延遲部分51相位延遲部分的間距55相位延遲部分的厚度53凹槽部分底下的薄膜層厚度54 第一均質(zhì)材料層56光線57第二均質(zhì)材料層59相位延遲部分58非相位延遲部分60
具體實(shí)施例方式本發(fā)明將配合其較佳實(shí)施例與隨附之圖示詳述于下。應(yīng)可理解者為本發(fā)明中所有之較佳實(shí)施例僅為例示之用，并非用以限制。因此除文中之較佳實(shí)施例外，本發(fā)明亦可廣泛地應(yīng)用在其它實(shí)施例中。且本發(fā)明并不受限于任何實(shí)施例，應(yīng)以隨附之權(quán)利要求及其同等領(lǐng)域而定。以下，將搭配參照相應(yīng)之圖式，詳細(xì)說明依照本發(fā)明之較佳實(shí)施例。關(guān)于本發(fā)明新穎概念之更多觀點(diǎn)以及優(yōu)點(diǎn)，將在以下的說明提出，并且使熟知或具有此領(lǐng)域通常知識(shí)者可了解其內(nèi)容并且據(jù)以實(shí)施。傳統(tǒng)的2D/3D切換架構(gòu)中，必須使用柱狀透鏡搭配至少一個(gè)液晶層并且施加電壓于柱狀透鏡上，才能達(dá)到區(qū)域化2D/3D的切換效果，因此，其制造成本較為昂貴并且架構(gòu)復(fù)雜較容易產(chǎn)生顯示或切換不良的情況。因此，鑒于傳統(tǒng)架構(gòu)具有上述缺點(diǎn)，本發(fā)明提供一種優(yōu)于習(xí)知技術(shù)，且成本低廉、制程簡(jiǎn)單的微相位差膜(Micro-retarder),用于作為二維/三維影像切換顯示裝置的視差光柵，包括三層結(jié)構(gòu)第一層為第一透明層59 ;第二層為微結(jié)構(gòu)相位層58，具有至少兩個(gè)相位延遲部分間隔地排列于第一透明層之上；第三層為第二透明層56，形成于微結(jié)構(gòu)相位層58之上并填入于相鄰兩個(gè)相位延遲部分的間隔之中。上述微相位差膜的制造方法及步驟如下所述。首先，預(yù)備一非均質(zhì)材料層，其為一微結(jié)構(gòu)相位層。微結(jié)構(gòu)相位薄膜層遇到光照之后會(huì)改變?yōu)橐痪|(zhì)材料。光通過均質(zhì)材料后，光的相位會(huì)發(fā)生改變。微結(jié)構(gòu)相位薄膜層的材料包括聚醋酸乙烯酯(polyvinyl acetate,PVA)、三醋酸纖維素(Triacetate cellulose, TAC)、聚碳酸酯(Poly Carbonate, PC)或醋酸丙酸纖維素(Cellulose Acetate Propionate,CAP)。然后,微結(jié)構(gòu)相位薄膜層透過一拉伸壓膜步驟以形成一微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案50，如圖5a所示。利用拉伸滾壓方法將微結(jié)構(gòu)相位薄膜層的高分子材料制成一體成形的微結(jié)構(gòu)相位薄膜，其具有深淺厚度的凹凸圖案。微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案50包括至少兩個(gè)凹槽(開口)部分52，至少兩個(gè)相位延遲部分51隔著凹槽部分52而間隔地排列。相位延遲部分51的間距55范圍約為150至350微米(y m)，厚度53范圍約為25至200微米(ii m)。在一具體實(shí)施例中，凹槽部分52的寬度范圍約為75至150微米(y m)，凹槽部分52的底下的薄膜層的厚度54約為10至50微米(ii m)。之后，形成一第一均質(zhì)材料層56于微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案50之上,并填入于相鄰兩個(gè)相位延遲部分51的間隔之中的凹槽部分52，如圖5b所示。第一均質(zhì)材料層56的材料包括紫外線(UV)固化高分子或雙液型固化高分子。該形成方法包括涂布方式。
最后，微結(jié)構(gòu)相位層薄膜圖案50的背面進(jìn)行一改質(zhì)處理步驟，如圖5c所示。舉一實(shí)施例而言，改質(zhì)處理方法例如為利用能量以作熱處理，熱處理方法包括但不限定為退火(annealing)、電子束淬火、高周波淬火、高壓放電、電楽；表面處理、雷射曝(照)光…等。舉一實(shí)施例而言，改質(zhì)處理利用光線57以一特定能量背面照射微結(jié)構(gòu)相位層薄膜圖案50的背面，其使用能量作為處理改質(zhì)，使結(jié)構(gòu)打散成為均質(zhì)。雷射曝光的照光強(qiáng)度、照光時(shí)間以及光波長(zhǎng)短視實(shí)際的應(yīng)用或材料而選擇。電漿表面處理可以處理微結(jié)構(gòu)相位層薄膜圖案50的深度至其背表面下大于厚度54。經(jīng)改質(zhì)處理步驟之后的材質(zhì)部分將轉(zhuǎn)變?yōu)榫|(zhì)材料。利用控制凹槽的深度，可以使得底部完全被改質(zhì)且達(dá)到至少凹槽底部。直到凹槽部分52之下的微結(jié)構(gòu)相位層薄膜完全變?yōu)榫哂芯|(zhì)特性為止，結(jié)果形成一第二均質(zhì)材料層59，如此即完成本發(fā)明的微相位差膜結(jié)構(gòu)，如圖5d所示，其與第一均質(zhì)材料層56均屬于均質(zhì)材料，不造成光相位改變，而微結(jié)構(gòu)相位層58將造成入射光相位改變。第二均質(zhì)材料層59的厚度約略等于薄膜層的厚度54。本發(fā)明的微相位差膜結(jié)構(gòu)，如圖5d所示，可以提供作為二維/三維影像切換顯示裝置的視差光柵。舉一實(shí)施例而言，本發(fā)明的微相位差膜可以貼合于一般液晶顯示器之前，利用光的偏振方向來將左眼(L)與右眼(R)的影像分離。本發(fā)明的微相位差膜包括相位延遲部分58以及非相位延遲部分60。相位延遲部分58由于包括未照光的微結(jié)構(gòu)相位薄膜， 因此光經(jīng)過其中會(huì)產(chǎn)生一相位差；而非相位延遲部分60則全部為均質(zhì)材料，因此光經(jīng)過其中不會(huì)產(chǎn)生相位差。舉一實(shí)施例而言，在2D/3D影像切換顯示裝置中系使用兩層液晶面板，而在兩面板間夾著一層本發(fā)明的微相位差膜。舉一實(shí)施例而言，微相位差膜是由本發(fā)明的相位延遲部分(、/2相位差，A為入射光波長(zhǎng))58以及非相位(0相位差)延遲部分60依特定光學(xué)圖案排列而成的薄膜。切換面板的功能是讓經(jīng)過切換面板后的光能在0度偏極與45度偏極之間轉(zhuǎn)換，當(dāng)0度偏極光經(jīng)過微相位差膜的0相位延遲區(qū)域60時(shí)，仍保持0度偏極態(tài)；當(dāng)經(jīng)過微相位差膜的、/2相位延遲區(qū)域58時(shí)，0度偏極態(tài)的入射光會(huì)被轉(zhuǎn)成90度偏極態(tài)。此時(shí)，若經(jīng)過0度偏極方向的偏光膜，就會(huì)呈現(xiàn)出透明和黑色兩種圖案，此圖案與微相位差膜上的圖案排列一樣，即產(chǎn)生視差光柵的效果。而當(dāng)切換面板出來的光為45度偏極光，經(jīng)過微相位差膜的0相位延遲區(qū)域60仍保持45度偏極態(tài)；若經(jīng)過微相位差膜的入/2的區(qū)域，因45度偏極光與\ /2相位延遲區(qū)域58的光軸平行，所以偏極光經(jīng)微相位差膜后，仍然保持45度的偏極方向。此時(shí)，經(jīng)過0度偏極的偏光膜，就不會(huì)產(chǎn)生透明和黑色兩種圖案，即無視差光柵形成。藉由本發(fā)明的微相位差膜與切換面板適當(dāng)?shù)呐浜?，就可以形?D/3D切換的效果。本發(fā)明的微相位差膜并不限定應(yīng)用于上述2D/3D影像切換顯示裝置(使用兩層液晶面板)的架構(gòu)，其它可能的2D/3D影像切換顯示裝置亦可以應(yīng)用。以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)所述以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種微相位差膜的制造方法，其特征在于包括 利用一拉伸壓膜方式將一微結(jié)構(gòu)相位薄膜層壓成一微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案，微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案包括至少兩個(gè)開口部分以及至少兩個(gè)相位延遲部分間隔地排列； 形成一第一均質(zhì)層于微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案之上，第一均質(zhì)層覆蓋在所述開口部分； 對(duì)微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案的背面進(jìn)行改質(zhì)處理。
2.如權(quán)利要求I所述的微相位差膜的制造方法，其特征在于所述改質(zhì)處理步驟系進(jìn)行直到所有開口部分之下的微結(jié)構(gòu)相位薄膜完全變?yōu)榫哂芯|(zhì)特性為止，結(jié)果形成一第二均質(zhì)層。
3.如權(quán)利要求2所述的微相位差膜的制造方法，其特征在于所述第一均質(zhì)層的厚度為10至50微米。
4.如權(quán)利要求2的所述微相位差膜的制造方法，其特征在于所述改質(zhì)處理步驟包括熱處理。
5.如權(quán)利要求4所述的微相位差膜的制造方法，其特征在于所述熱處理包括退火、電子束淬火、高周波淬火、高壓放電、電漿表面處理或雷射照光。
6.如權(quán)利要求I所述的微相位差膜的制造方法，其特征在于所述第二均質(zhì)層的材料包括紫外線固化高分子或雙液型固化高分子。
7.如權(quán)利要求I所述的微相位差膜的制造方法，其特征在于所述微結(jié)構(gòu)相位層的材料包括聚醋酸乙烯酯、三醋酸纖維素、聚碳酸酯或醋酸丙酸纖維素。
8.如權(quán)利要求I所述的微相位差膜的制造方法，其特征在于所述微結(jié)構(gòu)相位層的厚度為25至200微米。
9.如權(quán)利要求I所述的微相位差膜的制造方法，其特征在于相鄰兩個(gè)相位延遲部分的間距為150至350微米。
10.如權(quán)利要求I所述的微相位差膜的制造方法，其特征在于所述相位延遲部分的寬度為75至150微米。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種微相位差膜的制造方法，包括首先，利用一拉伸壓膜方式將一微結(jié)構(gòu)相位薄膜層壓成一微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案，包括至少兩個(gè)開口部分以及至少兩個(gè)相位延遲部分間隔地排列；然后，形成一均質(zhì)材料層于微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案之上；最后，于微結(jié)構(gòu)相位薄膜圖案的背面進(jìn)行一改質(zhì)處理步驟。
文檔編號(hào)G02B5/30GK102654597SQ201110448629
公開日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2011年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月3日
發(fā)明者吳榮聰 申請(qǐng)人:銀?？萍脊煞萦邢薰?br>