專利名稱：芳香族锍鹽化合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及新的芳香族锍鹽化合物，詳細(xì)而言，涉及芳香族锍鹽化合物、使用了其的光致產(chǎn)酸劑(Photo-acid generator)及陽離子聚合引發(fā)劑、以及含有它們的抗蝕劑組合物及陽離子聚合性組合物。
背景技術(shù)：
锍鹽化合物是通過受到光等能量線照射而產(chǎn)生酸的物質(zhì)，被用于在半導(dǎo)體等電子電路的形成中使用的光刻法用抗蝕劑組合物中的光致產(chǎn)酸劑、和立體光刻用樹脂組合物 (stereolithographic resin composition)、涂料、涂敷劑、粘接劑等光聚合性組合物中的陽離子聚合引發(fā)劑等。專利文獻(xiàn)1及2中公開了芳香族锍鹽化合物、由其組成的光聚合引發(fā)劑、含有其的能量線固化性組合物及其固化物，專利文獻(xiàn)3中公開了芳香族锍鹽化合物、由其組成的光致產(chǎn)酸劑及含有該光致產(chǎn)酸劑的光聚合性組合物。但是，這些芳香族锍鹽化合物的溶解性不充分，特別是在作為負(fù)型抗蝕劑使用的情況下，顯影性不充分，因此難以進(jìn)行微細(xì)的圖案化?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開平7-10914號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開平10-7649號公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開2000-186071號公報(bào)(美國專利第6368769號說明書)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題因此，本發(fā)明的目的在于提供顯影性高的光致產(chǎn)酸劑及使用了該光致產(chǎn)酸劑的抗蝕劑組合物。此外，本發(fā)明的另一目的在于提供固化性高的陽離子聚合引發(fā)劑及使用了該陽離子聚合引發(fā)劑的陽離子聚合性組合物。用于解決課題的手段本發(fā)明者們進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)具有特定的結(jié)構(gòu)的芳香族锍鹽化合物能實(shí)現(xiàn)上述目的，從而達(dá)到本發(fā)明。S卩、本發(fā)明提供下述通式(I)所示的芳香族锍鹽化合物。[化1]
權(quán)利要求
1.一種芳香族锍鹽化合物，其特征在于，其由下述通式(I)表示，[化1]
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芳香族锍鹽化合物，其中，上述通式(I)中，R11 Rw中的至少一個(gè)為鹵素原子。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的芳香族锍鹽化合物，其中，上述通式(I)中，R11 !^中的至少一個(gè)為氟原子。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的芳香族锍鹽化合物，其中，上述通式(I)中，R1 R19中的至少一個(gè)為羥基、被羥基取代的碳原子數(shù)為1 18的烷氧基或被羥基取代的碳原子數(shù)為 1 18的硫代烷氧基。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的芳香族锍鹽化合物，其中，上述通式⑴中，R1 R19中的至少一個(gè)為羥基或被羥基取代的碳原子數(shù)為1 18的硫代烷氧基。
6.一種光致產(chǎn)酸劑，其特征在于，其包含權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的芳香族锍鹽化合物。
7.一種抗蝕劑組合物，其特征在于，其含有權(quán)利要求6所述的光致產(chǎn)酸劑。
8.一種陽離子聚合引發(fā)劑，其特征在于，其包含權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的芳香族锍鹽化合物。
9.一種陽離子聚合性組合物，其特征在于，其含有權(quán)利要求8所述的陽離子聚合引發(fā)劑。
全文摘要
本發(fā)明提供顯影性高的光致產(chǎn)酸劑及固化性高的陽離子聚合引發(fā)劑及使用了它們的抗蝕劑組合物及陽離子重合組合物。具體而言，提供下述通式(I)所示的芳香族锍鹽化合物、使用其的光致產(chǎn)酸劑及陽離子聚合引發(fā)劑、以及含有它們的抗蝕劑組合物及陽離子聚合性組合物。式(I)中，R1～R19表示氫原子、鹵素原子、羥基、可被羥基取代的碳原子數(shù)為1～18的烷基、可被羥基取代的碳原子數(shù)為1～18的烷氧基或可被羥基取代的碳原子數(shù)為1～18的硫代烷氧基等，An表示1價(jià)的陰離子，上述R1～R19中的至少一個(gè)為選自羥基、被羥基取代的碳原子數(shù)為1～12的酯基、被羥基取代的碳原子數(shù)為1～18的烷氧基及被羥基取代的碳原子數(shù)為1～18的硫代烷氧基中的取代基。
文檔編號G03F7/004GK102471255SQ20108003561
公開日2012年5月23日 申請日期2010年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月26日
發(fā)明者奧山雄太, 真壁由惠 申請人:株式會社艾迪科