專利名稱：新型陰極光刻版的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種新型陰極光刻版。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的雙向可控硅，有四個(gè)觸發(fā)電流，分別是I+、Γ、ΙΙΓ、III+，其中I+最小，III+ 最大。為了防止假脈沖觸發(fā)雙向可控硅，造成失控導(dǎo)通，引起電機(jī)運(yùn)行不穩(wěn)定，噪聲增大，四 象限雙向可控硅的電路中總包括外加的保護(hù)器件，這些元件增加了電路的成本和尺寸，同 時(shí)元件的增加又降低了電路的長(zhǎng)期可靠性。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種新型陰極光刻版。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是新型陰極光刻版，包括正面陰極版和背面陰極版，所述背面陰極版為四象限觸發(fā) 電流無(wú)窮大陰極版，所述四象限觸發(fā)電流無(wú)窮大陰極版呈類梯形狀，所述四象限觸發(fā)電流 無(wú)窮大陰極版光刻硅片背面后產(chǎn)生的圖形與正面陰極版光刻硅片后產(chǎn)生的圖形在俯視狀 態(tài)下無(wú)重疊。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是無(wú)需再在電路中增加保護(hù)元件，增加了電路的長(zhǎng)期可靠性。
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、四象限觸發(fā)電流無(wú)窮大陰極版，2、正面陰極版。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，本實(shí)用新型的新型陰極光刻版，包括正面陰極版2和背面陰極版，背 面陰極版為四象限觸發(fā)電流無(wú)窮大陰極版1，四象限觸發(fā)電流無(wú)窮大陰極版1呈類梯形狀， 四象限觸發(fā)電流無(wú)窮大陰極版1光刻硅片背面后產(chǎn)生的圖形與正面陰極版2光刻硅片后產(chǎn) 生的圖形在俯視狀態(tài)下無(wú)重疊。
權(quán)利要求新型陰極光刻版，包括正面陰極版和背面陰極版，其特征是所述背面陰極版為四象限觸發(fā)電流無(wú)窮大陰極版，所述四象限觸發(fā)電流無(wú)窮大陰極版呈類梯形狀，所述四象限觸發(fā)電流無(wú)窮大陰極版光刻硅片背面后產(chǎn)生的圖形與正面陰極版光刻硅片后產(chǎn)生的圖形在俯視狀態(tài)下無(wú)重疊。
專利摘要本實(shí)用新型涉及新型陰極光刻版，包括正面陰極版和背面陰極版，其特征是所述背面陰極版為四象限觸發(fā)電流無(wú)窮大陰極版，所述四象限觸發(fā)電流無(wú)窮大陰極版呈類梯形狀，所述四象限觸發(fā)電流無(wú)窮大陰極版光刻硅片背面后產(chǎn)生的圖形與正面陰極版光刻硅片后產(chǎn)生的圖形在俯視狀態(tài)下無(wú)重疊。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是無(wú)需再在電路中增加保護(hù)元件，增加了電路的長(zhǎng)期可靠性。
文檔編號(hào)G03F1/00GK201707542SQ201020240859
公開(kāi)日2011年1月12日 申請(qǐng)日期2010年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月28日
發(fā)明者周健, 朱法揚(yáng), 耿開(kāi)遠(yuǎn) 申請(qǐng)人:啟東吉萊電子有限公司