專(zhuān)利名稱(chēng)：測(cè)試玻璃基板的設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型實(shí)施例涉及測(cè)試技術(shù)，尤其涉及一種測(cè)試玻璃基板的設(shè)備。
背景技術(shù)：
探針框架是生產(chǎn)線中的常用設(shè)備，以液晶顯示器(Liquid CrystalDisplay，簡(jiǎn)稱(chēng) IXD)的生產(chǎn)過(guò)程為例，其中涉及一種薄膜晶體管(Thin FilmTransistor，簡(jiǎn)稱(chēng)TFT)基板電 學(xué)測(cè)試設(shè)備上的探針框架，作為向玻璃基板上加載測(cè)試信號(hào)的設(shè)備。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)試玻璃基板的設(shè)備的俯視結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，該設(shè)備包 括承載玻璃基板的載臺(tái)1、向玻璃基板加載測(cè)試信號(hào)的探針框架2和不同探針框架尺寸進(jìn) 行切換的探針框架的軌道4。在玻璃基板裝載到設(shè)備上或從設(shè)備上卸載的過(guò)程中，探針框架 會(huì)有升起(Up)和下降(Down)的動(dòng)作，此動(dòng)作會(huì)導(dǎo)致探針框架在水平位置上發(fā)生了微小的 位移，如果探針框架的位移過(guò)大，可能會(huì)致使探針框架上的探針(Pin)與玻璃基板上的信 號(hào)加入金屬觸點(diǎn)(pad)沒(méi)有發(fā)生接觸或接觸面積過(guò)小，從而就會(huì)導(dǎo)致檢測(cè)信號(hào)無(wú)法加載到 玻璃基板上，進(jìn)而導(dǎo)致設(shè)備報(bào)警而終止測(cè)試。操作人員聽(tīng)到報(bào)警之后，對(duì)探針框架的位置進(jìn) 行手動(dòng)調(diào)整，浪費(fèi)了大量的人力資源，導(dǎo)致了設(shè)備運(yùn)行稼動(dòng)率的降低，從而降低了玻璃基板 的產(chǎn)量。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，用以自動(dòng)調(diào)整探針框架的位 置，節(jié)省人力資源，提高設(shè)備運(yùn)行稼動(dòng)率和玻璃基板的產(chǎn)量。本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，包括承載玻璃基板的載臺(tái)和向 玻璃基板加載測(cè)試信號(hào)的探針框架，其中，還包括定位裝置，固設(shè)在所述載臺(tái)的邊緣上，用于調(diào)整所述探針框架到指定位置，所述指 定位置為所述探針框架上的探針與玻璃基板上的信號(hào)加入金屬觸點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)的位置；固定裝置，設(shè)置在所述探針框架上，用于當(dāng)所述定位裝置調(diào)整所述探針框架到指 定位置之后，固定所述探針框架。如上所述的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，其中還包括控制裝置，與所述固定裝置連接， 用于在所述探針框架未到指定位置時(shí)，控制所述固定裝置不固定所述探針框架，在所述探 針框架到指定位置時(shí)，控制所述固定裝置固定所述探針框架。如上所述的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，其中所述固定裝置為電磁鐵。如上所述的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，其中所述定位裝置的個(gè)數(shù)為四個(gè)或八個(gè)。如上所述的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，其中所述定位裝置包括驅(qū)動(dòng)組件、滑動(dòng)組件和 定位組件，其中所述驅(qū)動(dòng)組件與所述滑動(dòng)組件連接，用于控制所述滑動(dòng)組件到所述指定位置或其 他未指定的位置；所述滑動(dòng)組件設(shè)置在所述載臺(tái)的邊緣上，用于在所述驅(qū)動(dòng)組件的控制下滑動(dòng)到所述指定位置或其他未指定的位置；所述定位組件設(shè)置在所述滑動(dòng)組件上，用于在所述滑動(dòng)組件的帶動(dòng)下將所述探針 框架調(diào)整到所述指定位置或在所述滑動(dòng)組件的帶動(dòng)下到其他未指定的位置。如上所述的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，其中所述滑動(dòng)組件包括左右滑動(dòng)部件，或者包 括左右滑動(dòng)部件和上下滑動(dòng)部件。如上所述的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，其中所述驅(qū)動(dòng)組件為氣動(dòng)元件或馬達(dá)。本實(shí)用新型提供的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，通過(guò)在載臺(tái)的邊緣上分別設(shè)置至少四個(gè) 定位裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中當(dāng)探針框架上的探針與玻璃基板上的信號(hào)加入金屬觸點(diǎn)接觸 不良時(shí)，需要操作人員對(duì)探針框架的位置進(jìn)行手動(dòng)調(diào)整的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)調(diào)整探針框架 的位置，節(jié)省了人力資源，從而提高了設(shè)備運(yùn)行稼動(dòng)率和玻璃基板的產(chǎn)量。

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是 本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下， 還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)試玻璃基板的設(shè)備的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2A為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2B為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備中的探針框架上的探針 與玻璃基板上的信號(hào)加入金屬觸點(diǎn)的對(duì)準(zhǔn)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4A為本實(shí)用新型實(shí)施例三提供的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備中定位裝置的結(jié)構(gòu)示意 圖；圖4B為本實(shí)用新型實(shí)施例四提供的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備中定位裝置的結(jié)構(gòu)示意 圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新 型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描 述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施 例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于 本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型實(shí)施例所述的探針框架上的探針與玻璃基板上的信號(hào)加入金屬觸點(diǎn) 接觸不良的根本原因在于，在玻璃基板裝載到設(shè)備上或從設(shè)備上卸載的過(guò)程中，探針框架 會(huì)有升起(Up)和下降(Down)的動(dòng)作，此動(dòng)作會(huì)導(dǎo)致探針框架在水平位置上發(fā)生了微小的 位移，如果探針框架的位移過(guò)大，可能會(huì)致使探針框架上的探針與玻璃基板上的信號(hào)加入 金屬觸點(diǎn)沒(méi)有發(fā)生接觸或接觸面積過(guò)小，從而就會(huì)導(dǎo)致檢測(cè)信號(hào)無(wú)法加載到玻璃基板上。圖2A為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備的俯視結(jié)構(gòu)示意圖，如 圖2A所示，該設(shè)備包括承載玻璃基板的載臺(tái)1、向玻璃基板加載測(cè)試信號(hào)的探針框架2、設(shè)置在探針框架2上的固定裝置3、不同探針框架尺寸進(jìn)行切換的探針框架的軌道4、定位裝 置5、定位裝置6、定位裝置7和定位裝置8。四個(gè)定位裝置分別固設(shè)在載臺(tái)1的邊緣上，用 于調(diào)整探針框架2到指定位置，該指定位置為探針框架2上的探針15與玻璃基板上的信號(hào) 加入金屬觸點(diǎn)16對(duì)準(zhǔn)的位置，固定裝置3用于當(dāng)上述四個(gè)定位裝置調(diào)整探針框架2到指定 位置之后，固定探針框架2，如圖2B所示。探針框架2有三個(gè)最重要的位置運(yùn)行(“rim”)、清洗(“scrub”)、裝載(“l(fā)oad”)。 "run"的位置是探針框架最低的位置，也就是向玻璃基板加載信號(hào)時(shí)的位置；“scrub”的位 置是探針框架上的探針距離玻璃基板的垂直距離在2 4毫米之間時(shí)的位置，這個(gè)位置是 設(shè)備在固定和調(diào)整玻璃基板位置時(shí)用到的(因?yàn)樵诠潭ɑ蛘{(diào)整玻璃基板位置時(shí)，為了避免 玻璃基板被緊緊的粘在載臺(tái)上，載臺(tái)上的好多小孔是吹著氣的，這時(shí)玻璃基板是懸浮著的， 探針框架在“scrub”這個(gè)位置就可以避免探針框架上的探針劃損玻璃基板上沉積的電路， 同時(shí)玻璃基板也不會(huì)被探針框架上的探針緊緊的壓在載臺(tái)上)；“l(fā)oad”的位置是探針框架 最高的位置，也就是在更換玻璃時(shí)的位置，當(dāng)這張玻璃基板測(cè)試完畢之后，探針框架會(huì)升起 來(lái)，這時(shí)玻璃基板也會(huì)被頂起，這時(shí)機(jī)器人就會(huì)取走已經(jīng)測(cè)試完的玻璃基板并放上另一張 玻璃基板。進(jìn)一步地，本實(shí)用新型的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備還可以進(jìn)一步包括控制裝置(圖中 未示出)，與固定裝置3連接，用于在探針框架2未到指定位置時(shí)，控制固定裝置3不固定探 針框架2，在探針框架2到指定位置時(shí)，控制固定裝置3固定探針框架2。上述固定裝置3可以包括設(shè)置在載臺(tái)1上的電磁鐵和對(duì)應(yīng)設(shè)置在探針框架2上的 鐵塊。本實(shí)用新型通過(guò)在載臺(tái)的每個(gè)邊緣上分別設(shè)置一個(gè)定位裝置，當(dāng)探針框架上的探針 與玻璃基板上的信號(hào)加入金屬觸點(diǎn)接觸不良時(shí)，控制裝置可以控制電磁鐵斷電，四個(gè)定位 裝置則重新校正探針框架的位置，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)調(diào)整探針框架的位置，節(jié)省了人力資源，從而 提高了設(shè)備運(yùn)行稼動(dòng)率和玻璃基板的產(chǎn)量。圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備的俯視結(jié)構(gòu)示意圖，如圖 3所示，與上一實(shí)施例相比，本實(shí)施例中在載臺(tái)1的邊緣上還設(shè)置了定位裝置9、定位裝置 10、定位裝置11和定位裝置12，即在載臺(tái)1的每個(gè)邊緣上設(shè)置兩個(gè)定位裝置。本實(shí)用新型通過(guò)在載臺(tái)的每個(gè)邊緣上分別設(shè)置兩個(gè)定位裝置，當(dāng)探針框架上的探 針與玻璃基板上的信號(hào)加入金屬觸點(diǎn)接觸不良時(shí)，控制裝置可以控制電磁鐵斷電，八個(gè)定 位裝置則重新校正探針框架的位置，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)調(diào)整探針框架的位置，節(jié)省了人力資源，從 而提高了設(shè)備運(yùn)行稼動(dòng)率和玻璃基板的產(chǎn)量。需要說(shuō)明的是本實(shí)用新型實(shí)施例中涉及的探針框架的軌道4是不需要進(jìn)行橫向 的位置調(diào)整的，本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)將探針框架的軌道4的槽做得盡可能的寬，可以更 方便設(shè)備自動(dòng)調(diào)整探針框架的位置。圖4A為本實(shí)用新型實(shí)施例三提供的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備中定位裝置的結(jié)構(gòu)示意 圖，如圖4A所示，本實(shí)施例的定位裝置可以包括驅(qū)動(dòng)組件(圖中未示出)、滑動(dòng)組件13和定 位組件14，其中驅(qū)動(dòng)組件與滑動(dòng)組件13連接，用于控制滑動(dòng)組件13到指定位置或其他未指定的 位置；滑動(dòng)組件13設(shè)置在載臺(tái)1的邊緣上，用于在驅(qū)動(dòng)組件的控制下滑動(dòng)到指定位置或其他未指定的位置；定位組件14設(shè)置在滑動(dòng)組件13上，用于在滑動(dòng)組件13的帶動(dòng)下將探針框架2調(diào) 整到指定位置或在滑動(dòng)組件13的帶動(dòng)下到其他未指定的位置。定位裝置可以先通過(guò)滑動(dòng)組件13滑動(dòng)到指定位置，再利用定位組件14將探針框 架2調(diào)整到指定位置。由于需要校正探針框架2的位置，所以定位裝置5 定位裝置12中 的滑動(dòng)組件13可以包括左右滑動(dòng)部件。進(jìn)一步地，由于設(shè)備在更換探針框架2的時(shí)候，探針框架2必須保持水平的狀態(tài)從 載臺(tái)1上抽出，圖4B為本實(shí)用新型實(shí)施例四提供的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備中定位裝置的結(jié)構(gòu) 示意圖，如圖4B所示，定位裝置5、定位裝置9、定位裝置10和定位裝置12中的滑動(dòng)組件13 還可以進(jìn)一步包括上下滑動(dòng)部件，從而使得其定位組件14降在下面。本實(shí)施例的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備的工作過(guò)程如下在更換探針框架的時(shí)候，首先將更換好的探針框架的位置調(diào)到最好即探針框架上 的探針15與玻璃基板上的信號(hào)加入金屬觸點(diǎn)16對(duì)準(zhǔn)，然后通過(guò)控制裝置控制電磁鐵上電， 然后設(shè)置定位裝置5 定位裝置12的位置，即定位組件14的位置(讓定位組件14的觸頭 緊緊的貼在探針框架的側(cè)邊)，設(shè)置好之后在設(shè)備上進(jìn)行保存。定位裝置5 定位裝置12 可以有兩個(gè)位置第一位置(“in”位置)和第二位置(“out”位置)，“in”位置是定位裝 置中定位組件14的觸頭緊貼探針框架的側(cè)面，“out”的位置可以設(shè)定為“in”位置退后一定 的距離，例如1厘米。定位裝置5 定位裝置12的位置設(shè)置完畢之后，將其移動(dòng)到“out” 位置，設(shè)備就可以正常工作了。在設(shè)備正常工作之后，若出現(xiàn)探針框架的位置偏移的情況時(shí)，控制裝置控制電磁 鐵斷電，然后定位裝置5 定位裝置12會(huì)切換到其“ in”位置，這時(shí)探針框架就被定位裝 置5 定位裝置12調(diào)整到了最好的位置，這時(shí)控制裝置控制電磁鐵上電，將探針框架進(jìn)行 固定，定位裝置5 定位裝置12切換到“out”位置。本實(shí)用新型中，探針框架上的探針與 玻璃基板上的信號(hào)加入金屬觸點(diǎn)接觸良好的情況下，定位裝置5 定位裝置12 —直位于其 “out”位置，直到出現(xiàn)探針框架的位置偏移時(shí)，定位裝置5 定位裝置12才會(huì)切換到其“ in” 位置對(duì)探針框架的位置進(jìn)行調(diào)整。上述本實(shí)用新型實(shí)施例中的定位裝置5 定位裝置12中的驅(qū)動(dòng)組件可以是氣動(dòng) 元件，還可以是馬達(dá)。本實(shí)用新型中，每當(dāng)測(cè)試完畢一張玻璃基板，并換上另外一張新玻璃基板時(shí)，都可 以通過(guò)定位裝置5 定位裝置12對(duì)探針框架的位置進(jìn)行重新調(diào)整并固定。最后應(yīng)說(shuō)明的是以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制； 盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解: 其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等 同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù) 方案的精神和范圍。
權(quán)利要求一種測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，包括承載玻璃基板的載臺(tái)和向玻璃基板加載測(cè)試信號(hào)的探針框架，其特征在于，還包括定位裝置，固設(shè)在所述載臺(tái)的邊緣上，用于調(diào)整所述探針框架到指定位置，所述指定位置為所述探針框架上的探針與玻璃基板上的信號(hào)加入金屬觸點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)的位置；固定裝置，設(shè)置在所述探針框架上，用于當(dāng)所述定位裝置調(diào)整所述探針框架到指定位置之后，固定所述探針框架。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，其特征在于，還包括控制裝置，與所述 固定裝置連接，用于在所述探針框架未到指定位置時(shí)，控制所述固定裝置不固定所述探針 框架，在所述探針框架到指定位置時(shí)，控制所述固定裝置固定所述探針框架。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，其特征在于，所述固定裝置包括設(shè) 置在所述載臺(tái)上的電磁鐵和對(duì)應(yīng)設(shè)置在所述探針框架上的鐵塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，其特征在于，所述定位裝置的個(gè)數(shù)為 四個(gè)或八個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，其特征在于，所述定位裝置包括驅(qū)動(dòng) 組件、滑動(dòng)組件和定位組件，其中所述驅(qū)動(dòng)組件與所述滑動(dòng)組件連接，用于控制所述滑動(dòng)組件到所述指定位置或其他未 指定的位置；所述滑動(dòng)組件設(shè)置在所述載臺(tái)的邊緣上，用于在所述驅(qū)動(dòng)組件的控制下滑動(dòng)到所述指 定位置或其他未指定的位置；所述定位組件設(shè)置在所述滑動(dòng)組件上，用于在所述滑動(dòng)組件的帶動(dòng)下將所述探針框架 調(diào)整到所述指定位置或在所述滑動(dòng)組件的帶動(dòng)下到其他未指定的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，其特征在于，所述滑動(dòng)組件包括左右 滑動(dòng)部件，或者包括左右滑動(dòng)部件和上下滑動(dòng)部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件為氣動(dòng) 元件或馬達(dá)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種測(cè)試玻璃基板的設(shè)備，包括承載玻璃基板的載臺(tái)和向玻璃基板加載測(cè)試信號(hào)的探針框架，其中，還包括定位裝置，分別固設(shè)在載臺(tái)的邊緣上，用于調(diào)整探針框架到指定位置，指定位置為探針框架上的探針與玻璃基板上的信號(hào)加入金屬觸點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)的位置；固定裝置，設(shè)置在探針框架上，用于當(dāng)定位裝置調(diào)整探針框架到指定位置之后，固定探針框架。本實(shí)用新型通過(guò)在載臺(tái)的邊緣上設(shè)置的定位裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中當(dāng)探針框架上的探針與玻璃基板上的信號(hào)加入金屬觸點(diǎn)接觸不良時(shí)，需要操作人員對(duì)探針框架的位置進(jìn)行手動(dòng)調(diào)整的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)調(diào)整探針框架的位置，節(jié)省了人力資源，從而提高了設(shè)備運(yùn)行稼動(dòng)率和玻璃基板的產(chǎn)量。
文檔編號(hào)G02F1/13GK201732128SQ20102022023
公開(kāi)日2011年2月2日 申請(qǐng)日期2010年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月1日
發(fā)明者王耀偉, 田震寰, 白國(guó)曉, 高原 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司