專利名稱：有源矩陣基板、顯示面板、顯示裝置和激光照射方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示面板中包含的有源矩陣基板、顯示面板自身、搭載顯示面板的顯示裝置，進(jìn)而涉及對(duì)有源矩陣基板照射激光的方法。
背景技術(shù)：
在液晶顯示裝置這樣的顯示裝置中，像素控制使用TFT(Thin Film Tra nsistor, 薄膜晶體管)這樣的開(kāi)關(guān)元件。搭載有這種開(kāi)關(guān)元件的基板被稱為有源矩陣基板，不僅用于液晶顯示裝置，還能夠被各種顯示裝置采用。于是，對(duì)這種搭載有源矩陣基板的顯示面板，近年來(lái)提出了高精細(xì)化的要求，像素?cái)?shù)達(dá)到數(shù)十萬(wàn)個(gè)以上。但是，制造僅由完全沒(méi)有缺陷的像素構(gòu)成的顯示面板是極其困難的。 這是因?yàn)?，通常在顯示面板的制造工序中，因灰塵或成膜條件等易引起各配線的斷線、短路或開(kāi)關(guān)元件的特性不良等，由此導(dǎo)致很多像素的一部分成為點(diǎn)狀或線狀的缺陷(亮點(diǎn)等)。 一直以來(lái)提案有修正這樣的像素缺陷的技術(shù)(例如專利文獻(xiàn)1)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2003-241155號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題作為修正像素缺陷的技術(shù)的一個(gè)例子，能夠列舉如圖14所示的例子使電容信號(hào)線125與TFTllO的漏極電極115短路，該電容信號(hào)線125與被柵極信號(hào)線121和源極信號(hào)線122劃分的、成矩陣配置的像素(像素電極124)重疊。在該技術(shù)中，為了將電容信號(hào)線125的信號(hào)供給至像素電極124，首先，從漏極電極115的頂端1 起至TFTllO為止的一部分用激光切斷(其中，對(duì)切斷位置標(biāo)注附圖標(biāo)記 151)。由此，可靠地切斷源極信號(hào)向像素電極124的供給。接著，對(duì)隔著TFTllO的柵極絕緣膜與電容信號(hào)線125重疊的漏極電極115的頂端 126(后面稱為輔助電容電極126)照射激光(其中，對(duì)激光的照射區(qū)域標(biāo)注附圖標(biāo)記152)。 具體而言，如作為圖14的b-b’線向視截面圖的圖15所示，對(duì)成為層的電容信號(hào)線125、柵極絕緣膜112和輔助電容電極1 照射激光(其中，標(biāo)記w指的是激光光斑sp的直徑)。 但是，該激光的強(qiáng)度調(diào)整需要適當(dāng)設(shè)定。例如，如果激光的強(qiáng)度過(guò)強(qiáng)，則如圖16所示，雖然在柵極絕緣膜112形成接觸孔 hl，但是輔助電容電極1 飛散，導(dǎo)致該輔助電容電極1 與電容信號(hào)線125難以連接。反之，如果激光的強(qiáng)度過(guò)弱，則如圖17所示，在柵極絕緣膜112沒(méi)有形成接觸孔hl，導(dǎo)致輔助電容電極126與電容信號(hào)線125沒(méi)有連接。從而，在這些情況下，流過(guò)電容信號(hào)線125的信號(hào)不會(huì)變換成源極信號(hào)供給至像素電極124(即像素)，亮點(diǎn)等不被消除。本發(fā)明為了解決上述問(wèn)題而完成，其目的在于提供一種在對(duì)有源矩陣基板照射激光時(shí)，能夠?qū)Ρ徽丈洳考┙o多種激光能量的有源矩陣基板等，進(jìn)而提供一種這樣的能夠供給多種激光能量的激光照射方法。用于解決課題的技術(shù)手段一種有源矩陣基板包括基板；安裝于基板的開(kāi)關(guān)元件；與開(kāi)關(guān)元件的柵極電極連接的柵極信號(hào)線；與開(kāi)關(guān)元件的源極電極連接的源極信號(hào)線；開(kāi)關(guān)元件的漏極電極；作為漏極電極的一部分的部分電極；與部分電極相對(duì)的電容信號(hào)線；和存在于部分電極與電容信號(hào)線之間的絕緣膜。而且，在該有源矩陣基板中，在部分電極形成缺口或開(kāi)孔。在內(nèi)置于顯示面板中的有源矩陣基板，包括控制像素的開(kāi)關(guān)元件。該開(kāi)關(guān)元件基于流過(guò)柵極信號(hào)線的柵極信號(hào)，將流過(guò)源極信號(hào)線的源極信號(hào)供給至像素。而且，為了保持該源極信號(hào)，作為漏極電極的一部分的部分電極，隔著絕緣膜與電容信號(hào)線相對(duì)，由此成為輔助電容。但是，在這樣的有源矩陣基板，也存在開(kāi)關(guān)元件破損的情況，此時(shí)，被開(kāi)關(guān)元件控制的像素例如成為亮點(diǎn)，成為畫(huà)質(zhì)劣化的一個(gè)原因。為了盡可能地消除亮點(diǎn)等，對(duì)有源矩陣基板的一部分照射激光，供給激光能量的技術(shù)是已知的。詳細(xì)而言，為了將流過(guò)電容信號(hào)線的信號(hào)變換為源極信號(hào)供給至像素，對(duì)有源矩陣基板的一部分照射激光，由此使部分電極與電容信號(hào)線熔接(熔敷)。而且，像這樣照射激光的情況下，在有源矩陣基板的部分電極形成有缺口或開(kāi)孔時(shí)，缺口等的空缺部分使激光光斑的一部分通過(guò)，另一方面缺口等的周緣部分遮擋激光光斑的其他部分。而且，通過(guò)是否對(duì)這樣的激光進(jìn)行遮光，實(shí)現(xiàn)下述情況。例如，在要防止部分電極過(guò)度熔化而飛散時(shí)，將激光的強(qiáng)度設(shè)定得比較低。另一方面，激光的強(qiáng)度過(guò)低時(shí)，也存在在被部分電極覆蓋的絕緣膜，不能夠形成用于連接部分電極與電容信號(hào)線的接觸孔的情況。但是，在部分電極形成有缺口等的情況下，當(dāng)朝向該缺口等照射不使部分電極過(guò)度熔化的程度的激光時(shí)，與激光光斑重疊的缺口等的周緣部分適度地熔化。另一方面，與缺口等的空缺部分重疊的激光光斑，不經(jīng)由部分電極地將激光能量供給至絕緣膜，因此不發(fā)生損耗地將激光能量供給至絕緣膜，從而形成接觸孔。S卩，無(wú)論激光的強(qiáng)度變化與否，都能夠?qū)Ρ徽丈洳考┙o多種激光能量。其結(jié)果是，采用這樣的有源矩陣基板，能夠供給與所需的加工(例如向絕緣膜的接觸孔的形成、或通過(guò)使部分電極熔化而與電容信號(hào)線熔接)相應(yīng)的激光能量。其結(jié)果是，部分電極的一部分經(jīng)由接觸孔可靠地與電容信號(hào)線熔接(總之，使得像素接受電容信號(hào)線的信號(hào)供給，不容易成為亮點(diǎn))。但是，通常情況下，對(duì)激光光斑的中心部分和邊緣部分的激光強(qiáng)度進(jìn)行比較，則中心部分比邊緣部分強(qiáng)。因此，通過(guò)照射激光，在部分電極的一部分與電容信號(hào)線熔接時(shí)，優(yōu)選成為下述情況。S卩，優(yōu)選缺口的缺口寬度或開(kāi)孔的開(kāi)孔寬度比激光光斑的直徑窄，由此缺口的空缺部分或開(kāi)孔的空缺部分使激光光斑的中心部分的光通過(guò)，并導(dǎo)向絕緣膜，作為部分電極的一部分的、缺口的周緣部分或開(kāi)孔的周緣部分接受激光光斑的邊緣部分的光。這樣，強(qiáng)度比較強(qiáng)的激光光斑的中心部分通過(guò)缺口等的空缺部分照射到絕緣膜， 可靠地形成接觸孔。另一方面，照射到缺口等的周緣部分的激光光斑的邊緣部分的光與激光光斑的中心部分相比較弱，因此不會(huì)使部分電極過(guò)度熔化而飛散。因此，部分電極的一部分經(jīng)由接觸孔與電容信號(hào)線可靠地熔接。另外，缺口的周緣部分或開(kāi)孔的周緣部分，與激光光斑的邊緣部分的重疊部分的形狀，優(yōu)選為將缺口的空缺部分包圍的包圍形狀或?qū)㈤_(kāi)孔的空缺部分包圍的包圍形狀(L 形、V形、U形、C形或0形)。這樣，激光光斑的中心部分照射到部分電極中的缺口等的空缺部分，激光光斑的邊緣部分照射到部分電極中的缺口等的周緣部分。此外，本發(fā)明也提供搭載以上的有源矩陣基板的顯示面板。另外，本發(fā)明也提供搭載這樣的顯示面板的顯示裝置。另外，對(duì)有源矩陣基板的一部分照射激光并供給激光能量的激光照射方法如下所述，其中該有源矩陣基板包括基板；安裝于基板的開(kāi)關(guān)元件；與開(kāi)關(guān)元件的柵極電極連接的柵極信號(hào)線；與開(kāi)關(guān)元件的源極電極連接的源極信號(hào)線；開(kāi)關(guān)元件的漏極電極；作為漏極電極的一部分的部分電極；與部分電極相對(duì)的電容信號(hào)線；和存在于部分電極與電容信號(hào)線之間的絕緣膜。即，絕緣膜接受的激光能量根據(jù)有無(wú)部分電極進(jìn)行遮光而變化。這樣，在被部分電極覆蓋的絕緣膜和不被部分電極覆蓋的絕緣膜，所接受的激光能量不同。換言之，部分電極吸收被供給至絕緣膜的一部分的激光能量，被該部分電極覆蓋的絕緣膜的一部分接受的激光能量與其以外的絕緣膜(不被部分電極覆蓋的絕緣膜)接受的激光能量之間存在差異。于是，無(wú)論激光的強(qiáng)度變化與否，都能夠?qū)Ρ徽丈洳考┙o多種激光能量，能夠供給與所需的加工相應(yīng)的激光能量。例如，利用經(jīng)過(guò)在部分電極不遮光而使光通過(guò)的部分的激光，對(duì)絕緣膜供給激光能量，使得在該絕緣膜形成接觸孔，利用照射到在部分電極進(jìn)行遮光的部分的激光的激光能量，使部分電極的一部分熔化，通過(guò)接觸孔，使部分電極與電容信號(hào)線熔接。這樣，部分電極的一部分經(jīng)由接觸孔與電容信號(hào)線可靠地熔接，流過(guò)電容信號(hào)線的信號(hào)變換為源極信號(hào)被供給至像素，像素的亮點(diǎn)變得不明顯。另外，對(duì)在部分電極進(jìn)行遮光的部分照射激光光斑的邊緣部分，對(duì)在部分電極不遮光而使光通過(guò)的部分照射激光光斑的中心部分。這樣，強(qiáng)度比較強(qiáng)的激光光斑的中心部分不經(jīng)由部分電極地照射到絕緣膜，可靠地形成接觸孔。另一方面，激光強(qiáng)度較低的激光光斑的邊緣部分照射到部分電極，因此該部分電極不會(huì)過(guò)度熔化而飛散，經(jīng)由接觸孔與電容信號(hào)線可靠地熔接?？傊?，根據(jù)有無(wú)部分電極進(jìn)行遮光和激光自身的強(qiáng)度分布差，能夠進(jìn)一步供給與所需的加工相應(yīng)的激光能量。其結(jié)果是，流過(guò)電容信號(hào)線的信號(hào)變換為源極信號(hào)被供給至像素，像素的亮點(diǎn)等變得不明顯。此外，優(yōu)選在部分電極形成有缺口或開(kāi)孔，在部分電極進(jìn)行遮光的部分為缺口的周緣部分或開(kāi)孔的周緣部分，在部分電極不遮光而使光通過(guò)的部分為缺口的空缺部分或開(kāi)孔的空缺部分。另外，優(yōu)選使激光光斑的邊緣部分照射到缺口的周緣部分或開(kāi)孔的周緣部分，使該照射部分的形狀為將缺口的空缺部分包圍的包圍形狀或?qū)㈤_(kāi)孔的空缺部分包圍的包圍形狀(例如為L(zhǎng)形、V形、U形、C形或0形)。發(fā)明的效果
根據(jù)本發(fā)明，在對(duì)有源矩陣基板照射激光時(shí)，能夠改變被照射部件所接收的激光能量。因此，能夠供給與所需的加工對(duì)應(yīng)的激光能量。


圖1是液晶顯示面板的部分平面圖。圖2是圖1的液晶顯示面板的部分截面圖的A-A’線向視截面圖。圖3是圖1的液晶顯示面板的部分截面圖的B-B’線向視截面圖。圖4是表示通過(guò)激光照射形成第二接觸孔等的液晶顯示面板的截面圖。圖5是圖1的部分放大圖。圖6是改變了激光光斑的位置的圖5的其他例子的圖。圖7是改變了缺口的周緣部分的形狀的圖5的其他例子的圖。圖8是改變了缺口的周緣部分的形狀的圖5 圖7的其他例子的圖。圖9是改變了缺口的周緣部分的形狀的圖5 圖8的其他例子的圖。圖10是改變了激光光斑的位置的圖9的其他例子的圖。圖11是包括形成有開(kāi)孔的輔助電容電極的液晶顯示面板的部分平面圖。圖12是圖11的部分放大圖。圖13是改變了激光光斑的位置的圖12的其他例子的圖。圖14是表示現(xiàn)有的液晶顯示面板的部分平面圖。圖15是圖14的液晶顯示面板的部分截面圖中的b-b’線向視截面圖。圖16是表示通過(guò)激光照射形成接觸孔等的現(xiàn)有的液晶顯示面板的截面圖。圖17是表示通過(guò)激光照射沒(méi)有形成接觸孔的現(xiàn)有的液晶顯示面板的截面圖。
具體實(shí)施例方式(實(shí)施方式1)以下，根據(jù)附圖對(duì)一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外為了方便，也存在省略陰影和部件附圖標(biāo)記等情況，在該情況下參照其他附圖。液晶顯示裝置包括作為照明裝置的背光源；和能夠通過(guò)接收來(lái)自該背光源的光來(lái)顯示圖像的液晶顯示面板。而且，如圖1的部分平面圖和圖2的部分截面圖(圖1的A-A’ 線向視截面圖)所示，在液晶顯示面板49中，由彩色濾光片基板39和有源矩陣基板四夾持液晶41 (此外，在彩色濾光片基板39與有源矩陣基板四之間，為了確保用于夾持液晶41 的間隔，夾持有未圖示的間隔體。)彩色濾光片基板39包括第一透明基板TBI、彩色濾光片31、黑矩陣32、保護(hù)涂層 (overcoating) 33、共用電極；34和第一取向膜ALl。第一透明基板TBl是具有絕緣性和透過(guò)型的基板，成為彩色濾光片基板39的基座。此外，對(duì)第一透明基板TBl的材質(zhì)沒(méi)有特別的限定，例如可以為玻璃，也可以為樹(shù)脂。彩色濾光片31是通過(guò)與朝向液晶41 一側(cè)的第一透明基板TBl的一面重疊而使經(jīng)過(guò)液晶41向外部行進(jìn)的光透過(guò)的膜。即，該彩色濾光片31向外部供給通過(guò)使光透過(guò)而著色的光。作為一個(gè)例子，能夠列舉光的三原色即紅色(RED)、綠色(GREEN)和藍(lán)色(BLUE)的彩色濾光片31。
此外，紅色彩色濾光片31R、綠色彩色濾光片31G、藍(lán)色彩色濾光片31B具有一定規(guī)則性地排列。例如能夠列舉彩色濾光片31R、31G、31B呈三角狀排列的三角(delta)排列； 彩色濾光片31R、31G、31B交替呈列狀排列的條紋排列；彩色濾光片31R、31G、31B呈馬賽克狀排列的馬賽克排列。黑矩陣32與彩色濾光片31同樣，與朝向液晶41 一側(cè)的第一透明基板TBl的一面重疊。但是，黑矩陣32通過(guò)個(gè)別地包圍各色的彩色濾光片31來(lái)進(jìn)行劃分(其中，被劃分的區(qū)域?yàn)?個(gè)像素)。而且，該黑矩陣32由具有反射性的金屬(例如鋁、鉻或銀)形成。因此，光不會(huì)通過(guò)彩色濾光片31彼此的邊界從一個(gè)彩色濾光片31向另一個(gè)彩色濾光片31透過(guò)。S卩，黑矩陣14確保每個(gè)像素的光的遮光性(防止光的混色)。保護(hù)涂層33例如為丙烯酸樹(shù)脂層，通過(guò)與彩色濾光片31和黑矩陣32重疊來(lái)保護(hù)它們。共用電極34是與保護(hù)涂層33重疊并且朝向液晶41的透明導(dǎo)電性電極。而且，該共用電極34與后述的有源矩陣基板四的像素電極M夾持液晶41，并且對(duì)該液晶41施加控制電壓(此外，將被供給至共用電極的信號(hào)稱為共用信號(hào))。此外，對(duì)共用電極34的材質(zhì)沒(méi)有特別的限定，例如能夠列舉ITOandium Tin Oxide，氧化銦錫)。第一取向膜ALl是通過(guò)與共用電極34重疊而直接接觸液晶41的膜。而且，由該第一取向膜ALl和后述的有源矩陣基板四的第二取向膜AL2夾持液晶41，使該液晶41的取向向一定方向排列。接著對(duì)有源矩陣基板四進(jìn)行說(shuō)明。有源矩陣基板四包括第二透明基板TB2、柵極信號(hào)線21、源極信號(hào)線22、TFT (Thin FiIm Transistor，薄膜晶體管)10、層間絕緣膜23、像素電極對(duì)、第二取向膜AL2和電容信號(hào)線25。第二透明基板(基板)TB2與彩色濾光片基板39的第一透明基板TBl同樣，是具有絕緣性和透過(guò)性的基板。而且，該第二透明基板TB2成為有源矩陣基板四的基座。此外， 第二透明基板TB2的材質(zhì)與第一透明基板TBl—樣沒(méi)有特別的限定，例如可以為玻璃，也可以為樹(shù)脂。柵極信號(hào)線21是在未圖示的柵極驅(qū)動(dòng)器的管理下，對(duì)TFTlO供給作為控制用信號(hào)的柵極信號(hào)的導(dǎo)線。此外，柵極信號(hào)線21在第二透明基板TB2朝向液晶41的一面呈列狀排列。源極信號(hào)線22是在未圖示的源極驅(qū)動(dòng)器的管理下，通過(guò)TFTlO將源極信號(hào)(圖像數(shù)據(jù))供給至像素的導(dǎo)線。此外，該源極信號(hào)線22在與柵極信號(hào)線21的排列方向交叉的方向上呈列狀排列。因此，被源極信號(hào)線22和柵極信號(hào)線21劃分的區(qū)域呈矩陣狀，并且所劃分的1個(gè)區(qū)域?yàn)橄袼亍FTlO是形成在源極信號(hào)線22與柵極信號(hào)線21的交點(diǎn)附近的、控制每個(gè)像素的動(dòng)作的半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件。即，TFTlO是圖像數(shù)據(jù)的寫(xiě)入用晶體管。而且，TFT(開(kāi)關(guān)元件)10 包括柵極電極U、柵極絕緣膜12、半導(dǎo)體層13、源極電極14和漏極電極15。柵極電極11由柵極信號(hào)線21的一部分形成。因此，柵極電極11在第二透明基板 TB2朝向液晶41的一面形成(此外，柵極電極11相對(duì)于柵極信號(hào)線21的突出方向與源極信號(hào)線22的延伸方向相同；參照?qǐng)D1)。
柵極絕緣膜(絕緣膜)12以覆蓋柵極電極11的方式形成，防止泄漏(leak)電流的產(chǎn)生。半導(dǎo)體層13隔著柵極絕緣膜12形成在柵極電極11上。而且，利用該半導(dǎo)體層13 的特性，TFTlO根據(jù)施加在柵極電極11的電壓來(lái)控制源極信號(hào)的流動(dòng)。此外，對(duì)于半導(dǎo)體層13的材質(zhì)，例如能夠列舉非晶體硅，但并非限定于此。源極電極14以覆蓋半導(dǎo)體層13和柵極絕緣膜12的方式形成，并且由源極信號(hào)線 22的一部分形成(此外，源極電極14相對(duì)于源極信號(hào)線22的突出方向與柵極信號(hào)線21的延伸方向相同；參照?qǐng)D1)。漏極電極15與源極電極14同樣，以覆蓋半導(dǎo)體層13和柵極絕緣膜12的方式形成。即，漏極電極15與源極電極14在半導(dǎo)體層13和柵極絕緣膜12之上相對(duì)。而且，根據(jù)施加在柵極電極11的電壓，控制電流的從源極電極14向漏極電極15的流動(dòng)。此外，漏極電極15以與后述的電容信號(hào)線25重疊的方式延長(zhǎng)(詳細(xì)內(nèi)容在后面敘述)。層間絕緣膜23通過(guò)覆蓋TFT10，確保TFTlO等與其他部件(例如像素電極24)之間的絕緣性。另外，為了使像素電極M平坦地形成，該層間絕緣膜23也發(fā)揮覆蓋凹凸的 TFTlO的作用。像素電極對(duì)與共用電極34同樣是例如由ITO形成的電極，與平坦的層間絕緣膜 23重疊。而且，該像素電極M通過(guò)在層間絕緣膜23形成的第一接觸孔HL1，與漏極電極 15 (詳細(xì)而言是后述的輔助電容電極26)導(dǎo)通。從而，在TFTlO導(dǎo)通(ON)時(shí)，源極信號(hào)經(jīng)由漏極電極15流至像素電極M，在TFTlO截止(OFF)時(shí)，向像素電極M的源極信號(hào)的供給被切斷。即，根據(jù)對(duì)該像素電極M施加的電壓，控制施加在被該像素電極M與共用電極34 夾著的液晶41的電壓(此外，通過(guò)夾持液晶41的像素電極M與共用電極34，形成液晶電容)。第二取向膜AL2是通過(guò)與像素電極M重疊而直接接觸液晶41的膜。而且，該第二取向膜AL2與彩色濾光片基板39的第一取向膜ALl夾持液晶41，使該液晶41的取向在一定方向上排列。電容信號(hào)線25是用于形成輔助電容的流過(guò)信號(hào)的導(dǎo)線，與柵極信號(hào)線21在同方向上排列，并且位于包圍各像素的柵極信號(hào)線21彼此之間。另外，電容信號(hào)線25與柵極電極11和柵極信號(hào)線21同樣，在第二透明基板TB2朝向液晶41的一面形成，被柵極絕緣膜
12覆蓋。而且，以相對(duì)于該電容信號(hào)線25重疊的方式，漏極電極15的一端26(未與TFTlO 連接的一端)延伸。因此，電容信號(hào)線25與漏極電極15的一端沈隔著成為電介質(zhì)層的柵極絕緣膜12相對(duì)，形成輔助電容(此外，將漏極電極15的一端沈稱為輔助電容電極26)。在上述情況下，在由多層疊層結(jié)構(gòu)的2個(gè)基板TBI、TB2夾持液晶(例如為向列型液晶)41的液晶顯示面板49中，如以下這樣顯示圖像。S卩，在以上這樣的液晶顯示面板49中，當(dāng)通過(guò)經(jīng)由柵極信號(hào)線21而被施加的柵極信號(hào)電壓使TFTlO導(dǎo)通時(shí)，經(jīng)由該TFTlO的源極電極14、漏極電極15，源極信號(hào)線22中的源極信號(hào)電壓被施加至像素電極24。而且，根據(jù)該源極信號(hào)電壓，將源極信號(hào)的電壓寫(xiě)入被像素電極M和共用電極；34夾持的液晶(液晶電容)。
另一方面，在TFTlO截止時(shí)，源極信號(hào)電壓處于被液晶電容和輔助電容保持的狀態(tài)(在直到施加下一個(gè)源極信號(hào)電壓為止的期間，通過(guò)液晶電容和輔助電容，來(lái)保持源極信號(hào)電壓)。即，通過(guò)TFTlO的導(dǎo)通/截止的反復(fù)進(jìn)行，液晶41使光的透過(guò)量變化，在液晶顯示面板49顯示圖像。而且，對(duì)于如上所述的液晶顯示面板49，在出貨前進(jìn)行有無(wú)缺陷像素的檢查。在該檢查中，首先常白模式的液晶顯示面板49經(jīng)由像素電極M和共用電極34，被施加使液晶41進(jìn)行黑顯示的電壓。如果在應(yīng)當(dāng)進(jìn)行黑顯示的像素之中，存在成為亮點(diǎn)的像素，則該像素作為缺陷被檢測(cè)出(此外，該檢查既可以通過(guò)人的視覺(jué)進(jìn)行，也可以通過(guò)自動(dòng)檢測(cè)亮點(diǎn)的裝置進(jìn)行)。此外，能夠考慮成為亮點(diǎn)的像素的各種故障原因。例如在形成TFTlO的情況下，作為原因能夠列舉灰塵混入到柵極絕緣膜12，或者被圖案化的半導(dǎo)體層13、像素電極M的一部分未被除去而殘留的情況。例如如圖1所示，在TFTlO的一部分發(fā)生故障(BREAKDOWN)，在源極信號(hào)未經(jīng)由漏極電極15被供給至像素電極M的情況下，對(duì)被該TFTlO控制的像素的液晶41，例如未適當(dāng)?shù)厥┘邮蛊溥M(jìn)行黑顯示的電壓，由此該像素成為亮點(diǎn)(缺陷)。在此，為了不使亮點(diǎn)變得明顯，經(jīng)由漏極電極15，使流過(guò)電容信號(hào)線25的信號(hào)變換為源極信號(hào)供給至像素電極對(duì)(該實(shí)現(xiàn)方法也稱為缺陷修正方法)。究其原因是，這樣的話，使像素電極M接受流過(guò)電容信號(hào)線25的信號(hào)的供給，與共用電極34 —起對(duì)液晶41施加電壓。為了將電容信號(hào)線25的信號(hào)供給至像素電極對(duì)，如下述這樣對(duì)有源矩陣基板四的一部分照射激光。首先，用激光例如YAG (Yatrium Alumium Garnet，釔鋁石榴石)激光器產(chǎn)生的波長(zhǎng)為1064nm的激光將從漏極電極15的輔助電容電極沈起至TFTlO為止的一部分切斷(其中，對(duì)切斷部位標(biāo)注附圖標(biāo)記51)。由此，將對(duì)像素電極M的源極信號(hào)的供給可靠地切斷。接著，隔著柵極絕緣膜12，對(duì)與電容信號(hào)線25重疊的輔助電容電極沈照射激光 (此外，從液晶顯示面板49的與面內(nèi)方向垂直的方向觀察，電容信號(hào)線25具有包含輔助電容電極26的面積)。詳細(xì)而言，對(duì)與電容信號(hào)線25重疊的輔助電容電極沈的外緣部分照射激光(此外，對(duì)激光的照射區(qū)域標(biāo)注附圖標(biāo)記52)。但是，在該輔助電容電極(部分電極)26的外緣部分，形成缺口 27 (詳細(xì)而言，因缺口 27集合而形成梳齒狀的外緣部分)。于是，激光中的光的一部分(激光光斑SP的一部分)如圖1的B-B’線向視截面圖即圖3所示，通過(guò)缺口 27的空缺部分27P，到達(dá)柵極絕緣膜12。另外，激光中的光的其他部分，到達(dá)輔助電容電極沈的缺口 27的周緣部分27S。這樣，柵極絕緣膜12接受的激光能量因有無(wú)輔助電容電極沈進(jìn)行遮光而變化。詳細(xì)而言，在被輔助電容電極沈覆蓋的柵極絕緣膜12和未被輔助電容電極沈覆蓋的柵極絕緣膜12，接受的激光能量不同?？傊o助電容電極沈吸收被供給至柵極絕緣膜12的一部分的激光能量，在被該輔助電容電極26覆蓋的柵極絕緣膜12的一部分接受的激光能量，與其以外的柵極絕緣膜 12 (未被輔助電容電極沈覆蓋的柵極絕緣膜1 接受的激光能量之間產(chǎn)生差異。于是，無(wú)論激光的強(qiáng)度變化與否，能夠?qū)⒏鞣N激光能量供給至被照射部件，能夠供給與所需的加工對(duì)應(yīng)的激光能量。例如，在想要防止輔助電容電極沈過(guò)度熔化而飛散時(shí)，將激光的強(qiáng)度設(shè)定得比較低。另一方面，激光的強(qiáng)度過(guò)低時(shí)，在被輔助電容電極26覆蓋的柵極絕緣膜12，有時(shí)也不能夠形成用于連接輔助電容電極26與電容信號(hào)線25的(用于使其短路的)第二接觸孔HL2。但是，在輔助電容電極沈形成有缺口 27時(shí)，向著該缺口 27照射不使輔助電容電極26過(guò)度熔化的程度的激光即可。這樣，與激光光斑SP重疊的缺口 27的周緣部分27S (在部分電極進(jìn)行遮光的部分)適度熔化。另一方面，與缺口 27的空缺部分27P (在部分電極不遮光而使光通過(guò)的部分)重疊的激光光斑SP，不經(jīng)由輔助電容電極沈地，將激光能量供給至柵極絕緣膜12，因此將比較高的激光能量供給至柵極絕緣膜12。從而，在柵極絕緣膜12可靠地形成第二接觸孔HL2。總之，如圖3和圖4(圖3的照射激光后的圖)所示，經(jīng)過(guò)輔助電容電極沈中的缺口 27的空缺部分27P的激光，對(duì)柵極絕緣膜12供給激光能量，在該柵極絕緣膜12可靠地形成第二接觸孔HL2。此外，照射到輔助電容電極沈中的缺口 27的周緣部分27S的激光的激光能量，使該周緣部分27S熔化，通過(guò)第二接觸孔HL2，與電容信號(hào)線25可靠地熔接(此外，要熔化的輔助電容電極26包圍第二接觸孔HL2，因此熔化后的輔助電容電極沈的一部分容易流入第二接觸孔HL2，輔助電容電極沈容易與電容信號(hào)線25短路)。于是，流過(guò)電容信號(hào)線25的信號(hào)，變換為源極信號(hào)被供給至像素電極對(duì)(即像素)，亮點(diǎn)變得不再明顯。換言之，即使激光照射次數(shù)少，缺陷修正也可靠地實(shí)現(xiàn)(另外，即使激光的發(fā)生器的動(dòng)作不穩(wěn)定，缺陷修正也容易實(shí)現(xiàn))。因此，該激光的照射方法，不使激光的生產(chǎn)量 (through-put)高至過(guò)剩，短時(shí)間且低成本地使輔助電容電極沈的一部分(周緣部分 27S)，經(jīng)由第二接觸孔HL2，可靠地與電容信號(hào)線25熔接，修正缺陷像素。由此，有源矩陣基板29、以及液晶顯示面板49的成品率提高。并且，在通過(guò)照射激光使輔助電容電極沈的一部分與電容信號(hào)線25熔接的情況下，缺口 27的缺口寬度W27比激光光斑SP的直徑(激光光斑直徑；記作W)窄，由此缺口 27 的空缺部分27P使激光光斑SP的中心部分SPc的光通過(guò)，將其導(dǎo)向柵極絕緣膜12，缺口 27 的周緣部分27S接受激光光斑SP的邊緣部分SPs的光。換言之，對(duì)輔助電容電極沈進(jìn)行遮光的周緣部分27S，照射激光光斑SP的邊緣部分SPs，對(duì)在輔助電容電極沈不遮光而使光通過(guò)的空缺部分27P，照射激光光斑SP的中心部分SPc。這樣，強(qiáng)度比較強(qiáng)的激光光斑SP的中心部分SPc，不經(jīng)由輔助電容電極沈地照射到柵極絕緣膜12，可靠地形成第二接觸孔HL2。另一方面，激光強(qiáng)度比較低的激光光斑SP 的邊緣部分SPs，照射到輔助電容電極沈中的缺口 27的周緣部分27S，因此該周緣部分27S 不會(huì)過(guò)度熔化而飛散，經(jīng)由第二接觸孔HL2，可靠地與電容信號(hào)線熔接(此外，圖3中的表示激光的濃淡中，濃的部分與淡的部分相比表示激光強(qiáng)度更高)?？傊?，根據(jù)有無(wú)輔助電容電極沈進(jìn)行遮光，和激光自身的強(qiáng)度分布差，能夠進(jìn)一步供給與所需的加工相應(yīng)的激光能量。其結(jié)果是，能夠可靠地形成第二接觸孔HL2，進(jìn)而能夠使輔助電容電極26與電容信號(hào)線25可靠地短路。此外，為了使激光光斑SP的中心部分SPc照射到輔助電容電極沈中的缺口 27的空缺部分27P，使激光光斑SP的邊緣部分Sb照射到輔助電容電極沈中的缺口 27的周緣部分27S，優(yōu)選下述方式。S卩，缺口 27的周緣部分27S和激光光斑SP的邊緣部分SI3s的重疊部分的形狀，可以為包圍缺口 27的空缺部分27P的U形(參照?qǐng)D5的最粗的點(diǎn)劃線)或者可以為L(zhǎng)形(參照?qǐng)D6的最粗的點(diǎn)劃線)。另外，使缺口 27的周緣部分27S的形狀進(jìn)行各種變化，由此重疊部分的形狀也改變。例如如圖7所示，與缺口 27的底部相當(dāng)?shù)闹芫壊糠?7S彎曲時(shí)，重疊部分容易成為C 形。另外，如圖8所示，與缺口 27的底部相當(dāng)?shù)闹芫壊糠?7S逐漸較細(xì)時(shí)，重疊部分容易成為V形。另外，如圖9和圖10所示，與缺口 27的底部相當(dāng)?shù)闹芫壊糠?7S有時(shí)也成為具有曲折點(diǎn)的形狀。此時(shí)，重疊部分可以成為包圍缺口 27的空缺部分27P的形狀(參照?qǐng)D9和圖10的最粗的點(diǎn)劃線)。(其他實(shí)施方式)此外，本發(fā)明不僅限于上述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，能夠進(jìn)行種種變更。例如，如上所述，在輔助電容電極沈形成有缺口 27，但并不限定于此，也可以如圖 11的部分平面圖所示，在輔助電容電極26形成有開(kāi)孔觀。究其原因是，根據(jù)通過(guò)開(kāi)孔觀的激光和不通過(guò)開(kāi)孔觀的激光的存在，即根據(jù)有無(wú)輔助電容電極沈進(jìn)行遮光，柵極絕緣膜 12接受的激光能量改變(總之，無(wú)論激光的強(qiáng)度改變與否，都能夠?qū)Ρ徽丈洳考┙o多種激光能量，能夠供給與所需的加工相應(yīng)的激光能量)。從而，在搭載具有開(kāi)孔觀的輔助電容電極沈的有源矩陣基板四，與搭載具有缺口 27的輔助電容電極沈的有源矩陣基板四同樣，能夠進(jìn)行缺陷修正。S卩，利用經(jīng)過(guò)在輔助電容電極沈可使光通過(guò)的開(kāi)孔觀的激光，對(duì)柵極絕緣膜12 供給激光能量，在該柵極絕緣膜12形成第二接觸孔HL2。另外，由于照射到在輔助電容電極26進(jìn)行遮光的部分(開(kāi)孔觀的周緣部分觀幻的激光的激光能量，周緣部分28S熔化， 通過(guò)第二接觸孔HL2，輔助電容電極沈與電容信號(hào)線25熔接。由此，流過(guò)電容信號(hào)線25的信號(hào)變換為源極信號(hào)而被供給至像素電極對(duì)，亮點(diǎn)變得不明顯。另外，如果開(kāi)孔觀的開(kāi)孔寬度W28比激光光斑SP的直徑窄，則輔助電容電極26 中的開(kāi)孔28的空缺部分^P(在部分電極不遮光而使光通過(guò)的部分)使激光光斑SP的中心部分SPc的光通過(guò)，導(dǎo)向柵極絕緣膜12。并且，輔助電容電極沈中的開(kāi)孔觀的周緣部分
在部分電極進(jìn)行遮光的部分)接受激光光斑SP的邊緣部分SPs的光。S卩，與缺口 27的情況相同，強(qiáng)度比較強(qiáng)的激光光斑SP的中心部分SPc，不經(jīng)由輔助電容電極26地照射到柵極絕緣膜12，可靠地形成第二接觸孔HL2。另一方面，激光強(qiáng)度比較低的激光光斑SP的邊緣部分SPs，照射到輔助電容電極沈中的開(kāi)孔洲的周緣部分^S， 因此該周緣部分28S不會(huì)過(guò)度熔化而飛散，通過(guò)第二接觸孔HL2，可靠地與電容信號(hào)線25熔接。另外，如圖12和圖13所示，為了使激光光斑SP的中心部分SPc照射到輔助電容電極26中的開(kāi)孔28的空缺部分^P，使激光光斑SP的邊緣部分Sb照射到輔助電容電極 26中的開(kāi)孔28的周緣部分^S，優(yōu)選下述方式。
即，開(kāi)孔觀的周緣部分28S與激光光斑SP的邊緣部分SI3S的重疊部分的形狀，可以為包圍開(kāi)孔觀的空缺部分^P的0形(參照?qǐng)D12的最粗的點(diǎn)劃線)或者可以為C形 (參照?qǐng)D13的最粗的點(diǎn)劃線)?？傊丿B部分優(yōu)選為包圍開(kāi)孔觀的空缺部分^P的形狀即可。換言之，優(yōu)選使激光光斑SP的邊緣部分Sb照射到缺口 27的周緣部分27S或開(kāi)孔觀的周緣部分^S，使其照射部分的形狀為包圍缺口 27的空缺部分27P的包圍形狀或包圍開(kāi)孔28的空缺部分^P的包圍形狀(例如L形、V形、U形、C形或0形)。此外，在輔助電容電極沈形成的開(kāi)孔觀或缺口 27的個(gè)數(shù)可以為一個(gè)也可以為多個(gè)。究其原因是，即使只存在一個(gè)開(kāi)孔觀或缺口 27，也能夠通過(guò)對(duì)其照射激光光斑SP，來(lái)對(duì)被照射部件供給多種激光能量，能夠供給與所需的加工相應(yīng)的激光能量。另外，由于激光能量，輔助電容電極沈(和漏極電極15)熔化。因此，只要是能夠因一定的激光能量而熔化的導(dǎo)體即可，對(duì)材質(zhì)沒(méi)有特別的限定(例如只要是金屬即可)。同樣地，柵極絕緣膜12也因激光能量而熔化。因此，只要是能夠因一定的激光能量而熔化的絕緣體即可，對(duì)材質(zhì)沒(méi)有特別的限定(例如只要是樹(shù)脂即可)。另外，如上所述，作為激光器的一例，能夠列舉YAG (Yttrium Aluminum Garnet，釔鋁石榴石)激光器為例，但對(duì)此沒(méi)有限定，也可以是其他的激光器。另外，激光的照射可以通過(guò)搭載激光發(fā)生器的自動(dòng)控制型的缺陷修正裝置(激光照射裝置)進(jìn)行，也可以用其他的方法進(jìn)行。此外，通過(guò)自動(dòng)控制型的缺陷修正裝置對(duì)有源矩陣基板四照射激光時(shí)，內(nèi)置于該缺陷修正裝置中的微型計(jì)算機(jī)(micro computer unit)對(duì)激光照射位置(激光光斑SP的位置)進(jìn)行調(diào)整。該調(diào)整通過(guò)激光光斑位置調(diào)整程序?qū)崿F(xiàn)。另外，該程序是能夠在計(jì)算機(jī)執(zhí)行的程序，也可以記錄在能夠由計(jì)算機(jī)讀取的記錄介質(zhì)中。究其原因是，記錄在記錄介質(zhì)中的程序是便攜的。此外，作為該記錄介質(zhì)，例如能夠列舉分離的磁帶、卡式磁帶等帶類，磁盤(pán)、CD-ROM 等光盤(pán)的盤(pán)類，IC卡(包括存儲(chǔ)卡)、光卡等卡類，或者閃存存儲(chǔ)器等的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器類。另外，微型計(jì)算機(jī)也可以通過(guò)基于通信網(wǎng)絡(luò)的通信取得激光光斑位置調(diào)整程序。 此外，作為通信網(wǎng)絡(luò)，不管是有線還是無(wú)線，能夠列舉因特網(wǎng)、紅外線通信等。另外，在上述情況中，作為顯示裝置的一例列舉了液晶顯示裝置，但并非限定于此。例如也可以是等離子體顯示裝置、有機(jī)EL (Electro-Luminescence，場(chǎng)致發(fā)光)顯示裝置等?？傊?，只要是搭載有源矩陣基板四的顯示面板、顯示裝置即可。附圖標(biāo)記說(shuō)明10 TFT (開(kāi)關(guān)元件)11柵極電極12柵極絕緣膜(絕緣膜)HL2第二接觸孔(接觸孔)13半導(dǎo)體層14源極電極15漏極電極21柵極信號(hào)線
22源極信號(hào)線23層間絕緣膜HLl第一接觸孔24像素電極25電容信號(hào)線26輔助電容電極(部分電極)27缺口27P缺口的空缺部分(在部分電極不遮光而使光通過(guò)的部分)27S缺口的邊緣部分(在部分電極進(jìn)行遮光的部分)W27缺口寬度28開(kāi)孔28P開(kāi)孔的空缺部分(在部分電極不遮光而使光通過(guò)的部分)28S開(kāi)孔的邊緣部分(在部分電極進(jìn)行遮光的部分)W28開(kāi)孔寬度SP激光光斑SPc激光光斑的中心部分SPs激光光斑的邊緣部分W激光光斑的直徑TB2第二透明基板(基板)AL2第二取向膜29有源矩陣基板31彩色濾光片32黑矩陣33保護(hù)涂層34共用電極TBl第一透明基板ALl第一取向膜39彩色濾光片基板49液晶顯示面板
權(quán)利要求
1.一種有源矩陣基板，其特征在于，包括 基板；安裝于所述基板的開(kāi)關(guān)元件；與所述開(kāi)關(guān)元件的柵極電極連接的柵極信號(hào)線；與所述開(kāi)關(guān)元件的源極電極連接的源極信號(hào)線；所述開(kāi)關(guān)元件的漏極電極；作為所述漏極電極的一部分的部分電極；與所述部分電極相對(duì)的電容信號(hào)線；和存在于所述部分電極與所述電容信號(hào)線之間的絕緣膜，其中在所述部分電極形成有缺口或開(kāi)孔。
2.如權(quán)利要求1所述的有源矩陣基板，其特征在于在通過(guò)照射激光使所述部分電極的一部分與所述電容信號(hào)線熔接的情況下， 所述缺口的缺口寬度或所述開(kāi)孔的開(kāi)孔寬度比激光光斑直徑窄，由此， 所述缺口的空缺部分或所述開(kāi)孔的空缺部分使激光光斑的中心部分的光通過(guò)并導(dǎo)向所述絕緣膜，作為所述部分電極的一部分的所述缺口的周緣部分或所述開(kāi)孔的周緣部分接受激光光斑的邊緣部分的光。
3.如權(quán)利要求2所述的有源矩陣基板，其特征在于所述缺口的周緣部分或所述開(kāi)孔的周緣部分，與所述激光光斑的邊緣部分的重疊部分的形狀，為將所述缺口的空缺部分包圍的包圍形狀或?qū)⑺鲩_(kāi)孔的空缺部分包圍的包圍形狀。
4.如權(quán)利要求3所述的有源矩陣基板，其特征在于 所述包圍形狀為L(zhǎng)形、V形、U形、C形或0形。
5.一種顯示面板，其特征在于搭載有權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的有源矩陣基板。
6.一種顯示裝置，其特征在于搭載有權(quán)利要求5所述的顯示面板。
7.一種激光照射方法，其特征在于對(duì)有源矩陣基板的一部分照射激光并供給激光能量，所述有源矩陣基板包括 基板；安裝于所述基板的開(kāi)關(guān)元件；與所述開(kāi)關(guān)元件的柵極電極連接的柵極信號(hào)線；與所述開(kāi)關(guān)元件的源極電極連接的源極信號(hào)線；所述開(kāi)關(guān)元件的漏極電極；作為所述漏極電極的一部分的部分電極；與所述部分電極相對(duì)的電容信號(hào)線；和存在于所述部分電極與所述電容信號(hào)線之間的絕緣膜，所述激光照射方法中，使所述絕緣膜接受的激光能量根據(jù)有無(wú)所述部分電極進(jìn)行遮光而變化。
8.如權(quán)利要求7所述的激光照射方法，其特征在于利用經(jīng)過(guò)在所述部分電極不遮光而使光通過(guò)的部分的激光，向所述絕緣膜供給激光能量，使得在該絕緣膜形成接觸孔，利用照射到在所述部分電極進(jìn)行遮光的部分的激光的激光能量，使所述部分電極的一部分熔化，通過(guò)所述接觸孔，使所述部分電極與所述電容信號(hào)線熔接。
9.如權(quán)利要求7或8所述的激光照射方法，其特征在于 對(duì)在所述部分電極進(jìn)行遮光的部分照射激光光斑的邊緣部分，對(duì)在所述部分電極不遮光而使光通過(guò)的部分照射激光光斑的中心部分。
10.如權(quán)利要求7 9中任一項(xiàng)所述的激光照射方法，其特征在于 在所述部分電極形成有缺口或開(kāi)孔，在所述部分電極進(jìn)行遮光的部分為所述缺口的周緣部分或所述開(kāi)孔的周緣部分， 在所述部分電極不遮光而使光通過(guò)的部分為所述缺口的空缺部分或所述開(kāi)孔的空缺部分。
11.如權(quán)利要求10所述的激光照射方法，其特征在于使激光光斑的邊緣部分照射到所述缺口的周緣部分或所述開(kāi)孔的周緣部分，使該照射部分的形狀為將所述缺口的空缺部分包圍的包圍形狀或?qū)⑺鲩_(kāi)孔的空缺部分包圍的包圍形狀。
12.如權(quán)利要求11所述的激光照射方法，其特征在于 所述包圍形狀為L(zhǎng)形、V形、U形、C形或0形。
全文摘要
本發(fā)明提供有源矩陣基板、顯示面板、顯示裝置和激光照射方法。在TFT(10)的漏極電極(15)的一部分(輔助電容電極26)與電容信號(hào)線(25)重合而成的有源矩陣基板(29)，輔助電容電極(26)包含缺口(27)。
文檔編號(hào)G02F1/1368GK102365668SQ20098015837
公開(kāi)日2012年2月29日 申請(qǐng)日期2009年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月10日
發(fā)明者金子俊博 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社