專利名稱：液滴噴出裝置、液態(tài)體的噴出方法、濾色片的制造方法、有機(jī)el裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將液態(tài)體作為液滴向被噴出物噴出描繪的液滴噴出裝置、 液態(tài)體的噴出方法、使用了這些的濾色片的制造方法、有機(jī)EL裝置的制 造方法。
背景技術(shù)：
近年來，使用液滴噴出法，將含有功能性材料的液態(tài)體向基板等被噴 出物作為液滴噴出以制造各種功能設(shè)備的技術(shù)受到矚目。作為代表性的功 能設(shè)備，可以舉出濾色片或有機(jī)EL (Electro Luminessence)元件等。
在這樣功能設(shè)備中，為了得到期望的特性，重要課題之一是，在被噴 出物上如何形成均勻且均一的功能膜。作為能夠?qū)崿F(xiàn)這個(gè)的制造方法，知 道的有具備如下所述工序的濾色片的制造方法，即使具有將多個(gè)噴嘴排 列成列狀而成的噴嘴列，且該噴嘴列分割為多組而成的噴墨頭和基板在主 掃描方向上相對(duì)移動(dòng)的工序；從多個(gè)噴嘴有選擇地噴出過濾材料，在基板 上形成過濾元件的工序(專利文獻(xiàn)l)。
上述濾色片的制造方法具備使噴墨頭或基板的任一方相對(duì)于另一方 進(jìn)行副掃描，以能夠使該噴嘴列的組的至少一部分在主掃描方向上掃描基 板的相同部分的工序。由此，即使在噴嘴間的墨液噴出量存在不均的情況 下，也能夠利用屬于不同的組的多個(gè)噴嘴，噴出作為墨液的過濾材料，因 此，能夠防止過濾元件之間的膜厚。換而言之，該方法是噴嘴分散使噴嘴 間的噴出量的不均的方法。
另外，作為能夠噴出多種液態(tài)體的液滴噴出裝置，知道的有一種液滴 噴出裝置，其具備搭載有按種類噴出液態(tài)體的多個(gè)液滴噴出頭的滑架； 在使多個(gè)液滴噴出頭和工件對(duì)置配置的狀態(tài)下，使其在主掃描方向及副掃描方向上相對(duì)地移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)；同步于多個(gè)液滴噴出頭和工件的主掃 描，有選擇地驅(qū)動(dòng)多個(gè)液滴噴出頭，并將多種液態(tài)體向工件噴出的描繪控
制機(jī)構(gòu)(專利文獻(xiàn)2)。
在上述滑架中，多個(gè)液滴噴出頭的各噴嘴列在副掃描方向上并排，并 且以噴出不同種類的液態(tài)體的各噴嘴列的端部的位置相互錯(cuò)開的狀態(tài)并 排。由此，能夠降低噴嘴列的端部中的噴出量的不均引起的主掃描方向的 條紋狀的噴出不均勻。
另一方面，作為功能設(shè)備即濾色片，提出了為了提高色再現(xiàn)性，具有
多色(6色)構(gòu)成的過濾元件的功能設(shè)備(專利文獻(xiàn)3)。專利文獻(xiàn)1日本特開2002—221616號(hào)公報(bào)第五頁專利文獻(xiàn)2日本特開2006—346575號(hào)公報(bào)第五頁專利文獻(xiàn)3日本特開2005 — 62833號(hào)公報(bào)
考慮將上述專利文獻(xiàn)1的濾色片的制造方法及上述專利文獻(xiàn)2的液滴 噴出裝置的結(jié)構(gòu)適用于上述專利文獻(xiàn)3的濾色片的制造。若在滑架搭載多 個(gè)能夠噴出同種液態(tài)體的液滴噴出頭，則液態(tài)體的種類越增加，滑架變得 越大。即，產(chǎn)生導(dǎo)致液滴噴出裝置大型化的問題。
另一方面，若將搭載的液態(tài)體的數(shù)量設(shè)為與液態(tài)體的種類相同的數(shù) 量，則滑架的大小能夠變小，但在受到液滴噴出頭固有的噴出特性的影響 的狀態(tài)下，噴出該液態(tài)體。從而，在液態(tài)體之間產(chǎn)生噴出狀態(tài)之差，可能 被識(shí)別為噴出不均。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決所述問題的至少一部分而做成的，其能夠作為以下 的方式或應(yīng)用例來實(shí)現(xiàn)。本應(yīng)用例的液滴噴出裝置是一種液滴噴出裝置，其在使具有 多個(gè)膜形成區(qū)域的基板和多個(gè)噴嘴對(duì)置并相對(duì)移動(dòng)的掃描的期間，從所述
多個(gè)噴嘴向所述膜形成區(qū)域?qū)⒁簯B(tài)體作為液滴噴出，其特征在于，具備 第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述基板相對(duì)于所述多個(gè)噴嘴而沿第一方向相對(duì)移 動(dòng)；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其對(duì)應(yīng)每一個(gè)所述噴嘴設(shè)置；噴嘴驅(qū)動(dòng)部，其產(chǎn)生能夠變 更所述液滴的噴出量的多個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)，將所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)中的一個(gè)施加于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，從所述噴嘴噴出所述液滴；控制部，其以對(duì)同一所述膜 形成區(qū)域進(jìn)行多次所述掃描的方式控制所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，并以在所述多 次所述掃描期間將規(guī)定量的所述液態(tài)體作為所述液滴噴出的方式控制所 述噴嘴驅(qū)動(dòng)部，所述控制部以如下所述的方式來控制所述噴嘴驅(qū)動(dòng)部使 施加于在所述多個(gè)噴嘴中在所述掃描時(shí)對(duì)所述膜形成區(qū)域發(fā)生作用的所 述噴嘴的所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)基于每一次所述掃描而不同。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)可知，控制部以向在多次掃描中對(duì)膜形成區(qū)域發(fā)生作用的 噴嘴的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)施加基于每一次掃描而不同的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的方式，來控制噴 嘴驅(qū)動(dòng)部。
從而，在多次掃描中，即使同一噴嘴對(duì)膜形成區(qū)域發(fā)生作用的情況下， 向該噴嘴的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)也施加不同的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，因此，噴出的液滴的噴出量 可變。
因而，在多個(gè)噴嘴之間，即使在施加同一驅(qū)動(dòng)信號(hào)時(shí)的液滴的噴出量 不均的情況下，驅(qū)動(dòng)信號(hào)也基于每一次掃描而改變，因此，可以提供在液 滴的噴出結(jié)束的時(shí)刻，能夠抑制規(guī)定量的液態(tài)體的量的不均，向膜形成區(qū) 域每一個(gè)賦予的液滴噴出裝置。在上述應(yīng)用例的液滴噴出裝置中，其特征在于，具備由所述 多個(gè)噴嘴構(gòu)成的至少一個(gè)噴嘴列，所述控制部以使以所述噴嘴列為單位的 施加于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)基于每一次所述掃描而不同的方式， 來控制所述噴嘴驅(qū)動(dòng)部。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)可知，控制部以噴嘴列為單位進(jìn)行液滴的噴出控制。從而， 與對(duì)噴嘴單位進(jìn)行噴出控制的情況相比，能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，抑制噴嘴間 的噴出量的不均，噴出液態(tài)體。也可以在上述應(yīng)用例的液滴噴出裝置中，所述噴嘴列具有對(duì) 應(yīng)于所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的數(shù)量而劃分的多個(gè)噴嘴組，所述控制部以使以所 述噴嘴組為單位的施加于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)基于每一次所述 掃描而不同的方式，來控制所述噴嘴驅(qū)動(dòng)部。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)可知，控制部以對(duì)應(yīng)于驅(qū)動(dòng)信號(hào)的數(shù)量而劃分的多個(gè)噴嘴 組為單位進(jìn)行液滴的噴出控制。從而，與以噴嘴列為單位進(jìn)行噴出控制的 情況相比，能夠在不剩下有限的數(shù)量的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的情況下，適用于多個(gè)噴嘴組，抑制噴嘴間的噴出量的不均，向各自的膜形成區(qū)域噴出液態(tài)體。也可以在上述應(yīng)用例的液滴噴出裝置中，所述多個(gè)噴嘴組沿 與所述第一方向正交的第二方向排列，所述液滴噴出裝置具備使所述噴嘴 列沿所述第二方向移動(dòng)的第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述控制部，以通過所述多次所 述掃描而從不同的所述噴嘴組向所述膜形成區(qū)域噴出所述液滴的方式來 控制所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，并使噴嘴列在所述多次所述掃描的期間沿所述第 二方向移動(dòng)。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)可知，按每掃描一次變更向膜形成區(qū)域發(fā)生作用的噴嘴 組，且按每掃描一次改變施加于該噴嘴組的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。從而， 不僅按每掃描一次改變向膜形成區(qū)域發(fā)生作用的噴嘴組，而且以該噴嘴組 為單位改變噴出的液滴的噴出量，因此，能夠使噴嘴間的噴出量的不均更 分散，按每一個(gè)膜形成區(qū)域噴出液態(tài)體。本應(yīng)用例的液態(tài)體的噴出方法是一種液態(tài)體的噴出方法，具 有噴出工序，在使具有多個(gè)膜形成區(qū)域的基板和多個(gè)噴嘴對(duì)置并在第一方 向上相對(duì)移動(dòng)的多次掃描期間，從所述多個(gè)噴嘴向所述膜形成區(qū)域?qū)⒁?guī)定 量的液態(tài)體作為液滴噴出，其特征在于，所述噴出工序中，通過將能夠變 更所述液滴的噴出量的多個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)中的一個(gè)施加于所述噴嘴的驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)，而噴出所述液滴，并使施加于在所述多個(gè)噴嘴中在所述掃描時(shí)對(duì)所述 膜形成區(qū)域發(fā)生作用的所述噴嘴的所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)基于每 一次所述掃描而不同。
根據(jù)該方法可知，向在多次掃描中對(duì)膜形成區(qū)域發(fā)生作用的噴嘴的驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)施加基于每一次掃描而不同的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
從而，在多次掃描中，即使同一噴嘴對(duì)膜形成區(qū)域發(fā)生作用的情況下， 向該噴嘴的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)也施加不同的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，因此，噴出的液滴的噴出量 可變。
從而，在多個(gè)噴嘴之間，施加同一驅(qū)動(dòng)信號(hào)時(shí)的液滴的噴出量不均的 情況下，驅(qū)動(dòng)信號(hào)也根據(jù)每一次掃描而改變，因此，可以提供在液滴的噴 出結(jié)束的時(shí)刻，能夠抑制規(guī)定量的液態(tài)體的量的不均，向膜形成區(qū)域每一 個(gè)賦予的噴出方法。在上述應(yīng)用例的噴出方法中，優(yōu)選的是，具備由所述多個(gè)噴嘴構(gòu)成的至少一個(gè)噴嘴列，所述噴出工序中，使以所述噴嘴列為單位的施 加于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)基于每一次所述掃描而不同。
根據(jù)該方法可知，按每掃描一次以噴嘴列為單位改變驅(qū)動(dòng)信號(hào)，因此， 與以噴嘴單位改變驅(qū)動(dòng)信號(hào)的情況相比，能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)抑制噴嘴間的 噴出量的不均，噴出液態(tài)體。也可以在上述應(yīng)用例的噴出方法中，所述噴嘴列具有對(duì)應(yīng)于 所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的數(shù)量而劃分的多個(gè)噴嘴組，所述噴出工序中，使以所 述噴嘴組為單位的施加于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)基于每一次所述 掃描而不同。
根據(jù)該方法可知，以對(duì)應(yīng)于驅(qū)動(dòng)信號(hào)的數(shù)量而劃分的多個(gè)噴嘴組為單 位，按每掃描一次改變驅(qū)動(dòng)信號(hào)，因此，與以噴嘴列為單位改變驅(qū)動(dòng)信號(hào) 的情況相比，能夠在不剩下有限的數(shù)量的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的情況下，適用于多個(gè) 噴嘴組，抑制噴嘴間的噴出量的不均，向各自的膜形成區(qū)域噴出液態(tài)體。也可以在上述應(yīng)用例的噴出方法中，所述噴出工序中，以通 過所述多次所述掃描而從不同的所述噴嘴組向所述膜形成區(qū)域噴出所述 液滴的方式，在所述多次所述掃描期間，使所述噴嘴列沿與所述第一方向 正交的第二方向移動(dòng)。
根據(jù)該方法可知，按每掃描一次變更對(duì)膜形成區(qū)域發(fā)生作用的噴嘴 組，且按每掃描一次改變施加于該噴嘴組的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。從而， 不僅按每掃描一次改變對(duì)膜形成區(qū)域發(fā)生作用的噴嘴組，而且以該噴嘴組 為單位改變噴出的液滴的噴出量，因此，能夠使噴嘴間的噴出量的不均更 分散，按每一個(gè)膜形成區(qū)域噴出液態(tài)體。本應(yīng)用例的噴出方法是一種濾色片的制造方法，其是在基板 上的多個(gè)膜形成區(qū)域具有多色的著色層的濾色片的制造方法，其特征在
于，包括噴出工序，使用上述應(yīng)用例的液態(tài)體的噴出方法，將含有著色 層形成材料的多色液態(tài)體向所述多個(gè)膜形成區(qū)域噴出；成膜工序，將被噴 出的所述液態(tài)體固化而形成所述多色的著色層。
根據(jù)該方法可知，在噴出工序中，以抑制了量的不均的狀態(tài)，能夠按 每一個(gè)膜形成區(qū)域噴出規(guī)定量的液態(tài)體，在成膜工序中，能夠按每一個(gè)膜 形成區(qū)域形成具有大致恒定的膜厚的著色層。從而，能夠成品率良好地制
9造具有期望的光學(xué)特性的濾色片。在本應(yīng)用例的有機(jī)EL裝置的制造方法是一種有機(jī)EL裝置 的制造方法，其是具備在基板上的多個(gè)膜形成區(qū)域具有包含發(fā)光層的功能 層的有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，包括噴出 工序，使用上述應(yīng)用例的液態(tài)體的噴出方法，將含有發(fā)光層形成材料的液 態(tài)體向所述多個(gè)膜形成區(qū)域噴出；成膜工序，將被噴出的所述液態(tài)體固化 而形成所述發(fā)光層。
根據(jù)該方法可知，在噴出工序中，以抑制了量的不均的狀態(tài)，能夠按 每一個(gè)膜形成區(qū)域噴出規(guī)定量的液態(tài)體，在成膜工序中，能夠按每一個(gè)膜 形成區(qū)域形成具有大致恒定的膜厚的著色層。從而，能夠成品率良好地制 造具有具備期望的亮度特性的有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置。
圖1是表示液滴噴出裝置的結(jié)構(gòu)的概略立體圖。
圖2 (a)是表示液滴噴出頭的立體圖，(b)是表示噴嘴的配置狀態(tài)的 俯視圖。 '
圖3是表示頭單元中的液滴噴出頭的配置的概略俯視圖。
圖4是表示液滴噴出頭的噴出特性的圖表。
圖5是表示液滴噴出裝置的控制系統(tǒng)的方框圖。
圖6是表示液滴噴出頭的電氣控制的方框圖。
圖7是驅(qū)動(dòng)信號(hào)及控制信號(hào)的時(shí)序圖表。
圖8 (a)是表示濾色片的結(jié)構(gòu)的概略俯視圖，(b)是用(a)的A—A' 線截?cái)嗔说钠拭鎴D。
圖9 (a)及(b)是表示液態(tài)體的噴出方法的概略俯視圖。
圖10 (a)及(b)是表示噴嘴組中的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的選擇的表。
圖11 (a) (c)是表示多次主掃描的方法的概略圖。
圖12是表示有機(jī)EL裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的概略剖面圖。
圖13 (a) (f)是表示有機(jī)EL裝置的制造方法的概略剖面圖。
圖M是表示變形例的著色層的配置的概略俯視圖。
圖中1—基板；2 —濾色片；3 —著色層；IO —液滴噴出裝置；20 —作為第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)的工件移動(dòng)機(jī)構(gòu)；30 —作為第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)的頭移動(dòng)機(jī) 構(gòu)；40 —控制部；52 —噴嘴；52a、 52b、 52c—噴嘴列；601—作為基板的 元件基板；603 —作為有機(jī)EL元件的發(fā)光元件部；617 —功能層；617R、 617G、 617B、 617C、 617M、 617Y—發(fā)光層；A—作為膜形成區(qū)域的發(fā)光 層形成區(qū)域；E—膜形成區(qū)域；Gr—噴嘴組。
具體實(shí)施例方式
以下，按照附圖，說明具體化了本發(fā)明的實(shí)施方式。 (實(shí)施方式1) <液滴噴出裝置>
首先，參照?qǐng)D1 圖6，說明本實(shí)施方式的液滴噴出裝置。圖1是表 示液滴噴出裝置的結(jié)構(gòu)的概略立體圖。
如圖1所示，液滴噴出裝置10具備使工件W在作為第一方向的主 掃描方向(X軸方向)上移動(dòng)的作為第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)的工件移動(dòng)機(jī)構(gòu)20;使
頭單元9在與主掃描方向正交的作為第二方向的副掃描方向(Y軸方向) 上移動(dòng)的作為第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)的頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30。
工件移動(dòng)機(jī)構(gòu)20具備 一對(duì)導(dǎo)軌21;沿一對(duì)導(dǎo)軌21移動(dòng)的移動(dòng)臺(tái)
22;載置在移動(dòng)臺(tái)22上經(jīng)由旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)6配設(shè)的工件W的載物臺(tái)5。
移動(dòng)臺(tái)22利用在導(dǎo)軌21的內(nèi)部設(shè)置的空氣活塞和線性馬達(dá)(省略圖 示)，在主掃描方向上移動(dòng)。在移動(dòng)臺(tái)22設(shè)置有作為時(shí)序信號(hào)生成部的編 碼器12 (參照?qǐng)D5)。
編碼器12伴隨移動(dòng)臺(tái)22向主掃描方向的相對(duì)移動(dòng)，讀取與導(dǎo)軌21 并排設(shè)置的線性標(biāo)尺(省略圖示)的刻度，生成作為時(shí)序信號(hào)的編碼脈沖。
載物臺(tái)5能夠吸附工件W并將其固定，并且能夠利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)6使工 件W內(nèi)的基準(zhǔn)軸與主掃描方向、副掃描方向準(zhǔn)確地一致。還有，編碼器 12的配設(shè)不限于此，例如，使移動(dòng)臺(tái)22沿旋轉(zhuǎn)軸在X軸方向上相對(duì)移動(dòng)， 在設(shè)有使旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)部的情況下，在驅(qū)動(dòng)部設(shè)置編碼器12也可。 作為驅(qū)動(dòng)部，可以舉出伺服馬達(dá)等。
頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30具備 一對(duì)導(dǎo)軌31;沿著一對(duì)導(dǎo)軌31移動(dòng)的移動(dòng)臺(tái) 32。在移動(dòng)臺(tái)32設(shè)置有經(jīng)由旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)7吊設(shè)的滑架8。在滑架8安裝有搭載多個(gè)液滴噴出頭50 (參照?qǐng)D2)的頭單元9。
并且，設(shè)有用于向液滴噴出頭50供給液態(tài)體的液態(tài)體供給機(jī)構(gòu)(省
略圖示)、和用于進(jìn)行多個(gè)液滴噴出頭50的電方面驅(qū)動(dòng)控制的頭驅(qū)動(dòng)器48 (參照?qǐng)D5)。
移動(dòng)臺(tái)32使滑架8沿Y軸方向移動(dòng)，將頭單元9與工件W對(duì)置配置。
液滴噴出裝置10除了上述結(jié)構(gòu)之外，在面向多個(gè)液滴噴出頭50的位 置配設(shè)有進(jìn)行在頭單元9搭載的多個(gè)液滴噴出頭50的噴嘴堵塞消除、噴 嘴面的異物或污物的除去等維護(hù)的維護(hù)機(jī)構(gòu)。
并且，具備具有接受按液滴噴出頭50每一個(gè)噴出的液態(tài)體，測(cè)量 其重量的電子天平等測(cè)量器的重量測(cè)量機(jī)構(gòu)60 (參照?qǐng)D5)。還有，具備 統(tǒng)括控制這些結(jié)構(gòu)的控制部40。
在圖1中，維護(hù)機(jī)構(gòu)及重量測(cè)量機(jī)構(gòu)60省略了圖示。
圖2是表示液滴噴出頭的結(jié)構(gòu)的概略圖。圖2 (a)是立體圖，圖2 (b) 是表示噴嘴的配置狀態(tài)的俯視圖。
如圖2 (a)所示，液滴噴出頭50是所謂的"雙聯(lián)結(jié)構(gòu)"，具備具有 雙聯(lián)的連接針54的液態(tài)體的導(dǎo)入部53;在導(dǎo)入部53層疊的頭基板55; 在頭基板55上配置且在內(nèi)部形成有液態(tài)體的頭內(nèi)流路的頭主體56。連接 針54經(jīng)由配管連接于所述液態(tài)體供給機(jī)構(gòu)(省略圖示)，將液態(tài)體供給于 頭內(nèi)流路。在頭基板55設(shè)置有經(jīng)由撓性扁平電纜(省略圖示)與頭驅(qū)動(dòng) 器48 (參照?qǐng)D5)連接的雙聯(lián)的連接器58。
頭主體56具有由作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的壓電元件構(gòu)成的具有腔室的加壓 部57;在噴嘴面51a上兩個(gè)噴嘴列52a、 52b相互平行地形成的噴嘴板51 。
如圖2 (b)所示，兩個(gè)噴嘴列52a、 52b中分別有多個(gè)(180個(gè))噴嘴 52，該噴嘴52以間距P1呈大致等間隔排列，并以相互錯(cuò)開間距P1的一 半的間距P2的狀態(tài)配設(shè)于噴嘴板51上。在這種情況下，間距Pl為約 141jim。從而，若從與噴嘴列52c正交的方向觀察，貝U 360個(gè)噴嘴52形成 為以約70.5pm的噴嘴間距排列的狀態(tài)。另夕卜，噴嘴52的直徑為約27Mm。
液滴噴出頭50在從頭驅(qū)動(dòng)器48向壓電元件施加作為電信號(hào)的驅(qū)動(dòng)信 號(hào)的情況下，l夠引起加壓部57的腔室的體積變動(dòng)，通過由此產(chǎn)生的泵 作用對(duì)填充于腔室的液態(tài)體加壓，從噴嘴52將液態(tài)體作為液滴噴出。
12液滴噴出頭50中的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)不限于壓電元件?？梢詾槔渺o電吸附
使作為促動(dòng)器的振動(dòng)板變位的機(jī)電轉(zhuǎn)換元件、或加熱液態(tài)體而從噴嘴52
作為液滴噴出的電熱轉(zhuǎn)換元件(熱方式)。
岡3縣表S1單；出的誠(chéng)3商瞎.屮.頭的西P罟的鵬略^F加図—苜j本傘^ —
是從與工件w對(duì)置的一側(cè)觀察到的圖。
如圖3所示，頭單元9具備配設(shè)多個(gè)液滴噴出頭50的頭板9a。在 頭板9a搭載有三個(gè)液滴噴出頭50在主掃描方向并排的頭組50A、和同樣 地三個(gè)液滴噴出頭50在主掃描方向上并排的頭組50B的總計(jì)六個(gè)液滴噴 出頭50。在這種情況下，頭組50A的頭R1、頭G1、頭B1、及頭組50B 的頭C1、頭M1、頭Yl噴出相互不同種類的液態(tài)體。S卩，形成為能夠噴 出六種不同的液態(tài)體的結(jié)構(gòu)。
將能夠由一個(gè)液滴噴出頭50描繪的描繪寬度設(shè)為L(zhǎng)o，將其作為噴嘴 列52c的有效長(zhǎng)度。以下，噴嘴列52c是指由360個(gè)噴嘴52構(gòu)成的噴嘴 列。
在這種情況下，從主掃描方向(X軸方向)觀察的情況下，頭R1和 頭C1以使相鄰的噴嘴列52c在與主掃描方向正交的副掃描方向(Y軸方 向)上隔著一個(gè)噴嘴間距連接的方式而并排配設(shè)于主掃描方向上。頭Gl 和頭M1、頭B1和頭Y1也同樣并排配置于主掃描方向上。
還有，頭單元9中的液滴噴出頭50的配置不限定于此。例如，將三 個(gè)液滴噴出頭50 (頭Rl、頭Gl、頭Bl)直線地配置于副掃描方向(Y 軸方向)上，在主掃描方向(X軸方向)上與其并排地配置剩余三個(gè)液滴 噴出頭50 (頭C1、頭M1、頭B1)也可。另外，在液滴噴出頭50設(shè)置的 噴嘴列52c不限于雙聯(lián)，可以為一聯(lián)。
圖4是表示液滴噴出頭的噴出特性的曲線圖。具體來說，是將一方的 軸設(shè)為噴嘴52的編號(hào)，將另一方的軸設(shè)為按噴嘴52每一個(gè)噴出的液滴的 噴出量(Iw/ng)，而示出了噴嘴列52a中的噴出量的分布的圖表。
可判明向按噴嘴52每一個(gè)設(shè)置的壓電元件59賦予相同的驅(qū)動(dòng)信號(hào)， 即使在噴出液滴的情況下，也由于壓電元件59的固有電特性的不均、或 與各啟的噴嘴52連通的腔室等的頭內(nèi)流路的設(shè)計(jì)上的差異等，按噴嘴52 每一個(gè)噴出的液滴的噴出量不均。尤其是，噴嘴間的電、機(jī)械串?dāng)_是噴出量不均的重要因素。即，從多個(gè)噴嘴52噴出的液滴的噴出量的分布有時(shí)
根據(jù)噴嘴列52a、 52b每一個(gè)、或液滴噴出頭50每一個(gè)而不同。
圖4是調(diào)查了液滴噴出頭50 (噴嘴列52a)的噴出特性的圖。具體來 說，向壓電元件59賦予具有規(guī)定的驅(qū)動(dòng)電壓的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，從噴嘴52噴出 幾千到幾萬左右的噴出數(shù)量(噴出發(fā)生數(shù))的液滴，使用所述的重量測(cè)量 機(jī)構(gòu)60 (參照?qǐng)D5)，測(cè)量所述液態(tài)體的重量。然后，測(cè)量出的液態(tài)體的 重量除以上述噴出數(shù)量，算出每一滴的重量，作為液滴的噴出量Iw。
如圖4所示，從多個(gè)噴嘴52噴出的液滴的噴出量Iw顯示被稱作Iw 拱的曲線形狀，從位于噴嘴列52a的兩端側(cè)的噴嘴52噴出的液滴的噴出 量Iw具有相對(duì)于其他噴嘴52增加的傾向。
在本實(shí)施方式中，將液滴的噴出量Iw作為重量來說明，但通過測(cè)定 噴出的液滴的體積，來把握噴嘴52每一個(gè)的噴出量的不均也可。
本實(shí)施方式的液滴噴出裝置10，其特征之一在于，考慮這樣的Iw拱， 進(jìn)行液滴的噴出控制，對(duì)應(yīng)于后述的多個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的數(shù)量，將噴嘴列52a (噴嘴列52b)劃分為多個(gè)(四個(gè))噴嘴組。具體來說，將180個(gè)噴嘴52 構(gòu)成的噴嘴列52a(噴嘴列52b)中，除去了容易從目標(biāo)的噴出量Iwt脫離 的兩端側(cè)的10個(gè)的160個(gè)噴嘴52作為有效噴嘴。還有，將有效噴嘴均等 地分割為多個(gè)(四個(gè))噴嘴組Gr。即，噴嘴組Grl、噴嘴組Gr2、噴嘴組 Gr3、噴嘴組Gr4。與這些噴嘴組Gr有關(guān)的噴出控制的詳細(xì)情況在后敘述。
其次，說明液滴噴出裝置10的控制系統(tǒng)。圖5是表示液滴噴出裝置 的控制系統(tǒng)的方框圖。如圖5所示，液滴噴出裝置10的控制系統(tǒng)具備 具有驅(qū)動(dòng)液滴噴出頭50、工件移動(dòng)機(jī)構(gòu)20、頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30、重量測(cè)量機(jī) 構(gòu)60等各種驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)部46;包含驅(qū)動(dòng)部46在內(nèi)總括控制液滴噴出裝 置10的控制部40。
驅(qū)動(dòng)部46具備分別驅(qū)動(dòng)控制工件移動(dòng)機(jī)構(gòu)20及頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30的 各線性馬達(dá)的移動(dòng)用驅(qū)動(dòng)器47;噴出控制液滴噴出頭50的作為噴嘴驅(qū)動(dòng) 部的頭驅(qū)動(dòng)器48;驅(qū)動(dòng)控制重量測(cè)量機(jī)構(gòu)60的重量測(cè)量用驅(qū)動(dòng)器49。此 外，還具備驅(qū)動(dòng)控制維護(hù)機(jī)構(gòu)的維護(hù)用驅(qū)動(dòng)器等，但省略了圖示。
控制部40具備:CPU41、 ROM42、 RAM43、禾B P—CON44，這些相 互經(jīng)由母線45來連接。P—CON44與上位計(jì)算機(jī)11連接。ROM42具有存儲(chǔ)由CPU41處理的控制程序等的控制程序區(qū)域、和存儲(chǔ)用于進(jìn)行描繪 動(dòng)作或功能恢復(fù)處理等的控制數(shù)據(jù)等的控制數(shù)據(jù)區(qū)域。
RAM43具有存儲(chǔ)用于對(duì)工件W進(jìn)行描繪的描繪數(shù)據(jù)的描繪數(shù)據(jù)存 儲(chǔ)部；存儲(chǔ)工件W及液滴噴出頭50 (實(shí)際卜 為噴嘴列52a、 52b)的位置 數(shù)據(jù)的位置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部等各種存儲(chǔ)部，用作用于控制處理的各種作業(yè)區(qū) 域。P—CON44與驅(qū)動(dòng)部46的各種驅(qū)動(dòng)器等連接，補(bǔ)償CPU41的功能， 并且構(gòu)成組入有用于處理與周邊電路的接口信號(hào)的邏輯電路。因此，P_ CON44將來自上位計(jì)算機(jī)11的各種指令等直接或加工而取入母線45，并 且與CPU41聯(lián)動(dòng)，將從CPU41等向母線45輸出的數(shù)據(jù)或控制信號(hào)直接 或加工而向驅(qū)動(dòng)部46輸出。
還有，CPU41按照ROM42內(nèi)的控制程序，經(jīng)由P—CON44，輸入各 種檢測(cè)信號(hào)、各種指令、各種數(shù)據(jù)等，在處理RAM43內(nèi)的各種數(shù)據(jù)等之 后，經(jīng)由P—CON44，向驅(qū)動(dòng)部46等輸出各種控制信號(hào)，由此，控制液 滴噴出裝置10整體。例如，CPU41控制液滴噴出頭50、工件移動(dòng)機(jī)構(gòu)20 及頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30，將頭單元9和工件W對(duì)置配置。然后，向頭驅(qū)動(dòng)器48 送出控制信號(hào)，以同步于頭單元9和工件W的相對(duì)移動(dòng)，從在頭單元9 搭載的各液滴噴出頭50的多個(gè)噴嘴52向工件W將液態(tài)體作為液滴噴出。 在這種情況下，與工件W向X軸方向的移動(dòng)同步而噴出液態(tài)體的情況稱 為主掃描，將使頭單元9在Y軸方向上移動(dòng)的情況稱為副掃描。本實(shí)施方 式的液滴噴出裝置10通過組合主掃描和副掃描，反復(fù)進(jìn)行多次，能夠?qū)?液態(tài)體噴出描繪。主掃描不限于工件W相對(duì)于液滴噴出頭50向單方向的 的移動(dòng)，還可以使工件W進(jìn)行往返。
編碼器12與頭驅(qū)動(dòng)器48電連接，伴隨主掃描生成編碼脈沖。在主掃 描中，使移動(dòng)臺(tái)22以規(guī)定的移動(dòng)速度移動(dòng)，因此，周期性地產(chǎn)生編碼脈 沖。
上位計(jì)算機(jī)11將控制程序或控制數(shù)據(jù)等控制信息向液滴噴出裝置10 送出。另外，具有配置信息生成部的功能，該配置信息生成部生成作為在 基板上的每一個(gè)膜形成區(qū)域?qū)⒁?guī)定量的液態(tài)體作為液滴配置的噴出控制 數(shù)據(jù)的配置信息。配置信息將膜形成區(qū)域中的液滴的噴出位置(換而言之， 工件W和噴嘴52的相對(duì)位置)、液滴的配置數(shù)(換而言之，噴嘴52每一個(gè)的噴出數(shù)量)、主掃描中的多個(gè)噴嘴52的打開/關(guān)閉(換而言之，多個(gè)噴
嘴52的選擇圖案)、噴出時(shí)序等信息，表示例如為位圖。上位計(jì)算機(jī)11 不僅可以生成上述配置信息，而且還可以修正在RAM43臨時(shí)存儲(chǔ)的上述 配置信息。
<液滴噴出頭的噴出控制方法>
其次，參照?qǐng)D6及圖7，說明本實(shí)施方式的液滴噴出頭的噴出控制方 法。圖6是表示液滴噴出頭的電控制的方框圖，圖7是驅(qū)動(dòng)信號(hào)及控制信 號(hào)的時(shí)序曲線圖。
如圖6所示，頭驅(qū)動(dòng)器48具備將控制液滴的噴出量的不同的多個(gè) 驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM分別獨(dú)立生成的D/A轉(zhuǎn)換器(以下，稱為DAC)71A 71D; 在內(nèi)部具有DAC71A DAC71D生成的驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM的轉(zhuǎn)換速率數(shù)據(jù) (以下，稱為波形數(shù)據(jù)(WD1 WD4))的儲(chǔ)存存儲(chǔ)器的波形數(shù)據(jù)選擇電 路72;用于儲(chǔ)存經(jīng)由P—CON44從上位計(jì)算機(jī)11送出的噴出控制數(shù)據(jù)的 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器73。向COMl COM4的各COM線路分別輸出由DAC71A DAC71D生成的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
在各液滴噴出頭50具備將向在對(duì)應(yīng)每一個(gè)噴嘴52設(shè)置的壓電元件 59的驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM的施加打開/關(guān)閉的開關(guān)電路74;選擇各COM線路的 任一個(gè)而向與各壓電元件59連接的開關(guān)電路74送出驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM的驅(qū) 動(dòng)信號(hào)選擇電路75。
在噴嘴列52a中，壓電元件59的一方的電極59b與DAC71A 71D 的地線(GND)連接。另外，壓電元件59的另一方的電極59a (以下， 稱為分段電極59a)經(jīng)由開關(guān)電路74、驅(qū)動(dòng)信號(hào)選擇電路75，與各COM 線路電連接。另外，開關(guān)電路74、驅(qū)動(dòng)信號(hào)選擇電路75、波形數(shù)據(jù)選擇 電路72輸入時(shí)鐘信號(hào)(CLK)或?qū)?yīng)于各噴出時(shí)序的閂鎖信號(hào)(LAT)。 雖然省略了圖示，但在噴嘴列52b中也進(jìn)行同樣的電連接。
在數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器73中，按與各液滴噴出頭50的掃描位置對(duì)應(yīng)而周期性 地設(shè)定的噴出時(shí)序每一個(gè)，來存儲(chǔ)接下來的數(shù)據(jù)，即規(guī)定向各壓電元件 59的驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM的施加(打開/關(guān)閉)的噴出數(shù)據(jù)DA、規(guī)定對(duì)應(yīng)于各 壓電元件59的COM線路(COMl COM4)的選擇的驅(qū)動(dòng)信號(hào)選擇數(shù)據(jù) DB、規(guī)定向DAC71A DAC71D輸入的波形數(shù)據(jù)(WD1 WD4)的種類
16的波形編號(hào)數(shù)據(jù)WN。在本實(shí)施方式中，噴出數(shù)據(jù)DA對(duì)每一噴嘴由2比 特(0， 1)構(gòu)成，驅(qū)動(dòng)信號(hào)選擇數(shù)據(jù)DB對(duì)每一噴嘴由2比特(0， 1， 2， 3)構(gòu)成，波形編號(hào)數(shù)據(jù)WN對(duì)每一D/A轉(zhuǎn)換器由7比特(0 127)構(gòu)成。 還有，數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)可以適當(dāng)?shù)刈兏?br>
在上述結(jié)構(gòu)中，如下所述地進(jìn)行與各噴出時(shí)序有關(guān)的驅(qū)動(dòng)控制。如圖 7所示，在時(shí)序tl t2的期間中，噴出數(shù)據(jù)DA、驅(qū)動(dòng)信號(hào)選擇數(shù)據(jù)DB、 波形編號(hào)數(shù)據(jù)WN分別被串行信號(hào)化，并向開關(guān)電路74、驅(qū)動(dòng)信號(hào)選擇 電路75、波形數(shù)據(jù)選擇電路72.發(fā)送。然后，在時(shí)序t2，將各數(shù)據(jù)閂鎖， 由此，與噴出(打開)有關(guān)的各壓電元件59的分段電極59a形成為與由 驅(qū)動(dòng)信號(hào)選擇數(shù)據(jù)DB指定的COM線路(COMl COM4中任一個(gè))連 接的狀態(tài)。例如，壓電元件59的分段電極59a在驅(qū)動(dòng)信號(hào)選擇數(shù)據(jù)DB 為"0"時(shí)，與COM1連接。同樣地，在驅(qū)動(dòng)信號(hào)選擇數(shù)據(jù)DB為"1"時(shí)， 與COM2連接，在驅(qū)動(dòng)信號(hào)選擇數(shù)據(jù)DB為"2"時(shí)，與COM3連接，在 驅(qū)動(dòng)信號(hào)選擇數(shù)據(jù)DB為"3"時(shí)，與COM4連接。另夕卜，聯(lián)動(dòng)于該選擇， 設(shè)定與DAC71A 71D的生成有關(guān)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的波形數(shù)據(jù)(WD1 WD4)。
在時(shí)序t3 t4的期間，按照在時(shí)序t2設(shè)定的波形數(shù)據(jù)，分別以電勢(shì)上 升、電勢(shì)保持、電勢(shì)降低的一系列的步驟，生成驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM。然后， 向處于與COMl COM4分別連接的狀態(tài)的壓電元件59供給生成的驅(qū)動(dòng) 信號(hào)COM，進(jìn)行與噴嘴52連通的加壓部57的腔室的容積(壓力)控制。
在此，時(shí)序t3中的電勢(shì)上升成分發(fā)揮使加壓部57的腔室膨脹并將液 態(tài)體引入腔室內(nèi)的作用。另外，時(shí)序t4中的電勢(shì)降低成分發(fā)揮使腔室收縮 并將液態(tài)體向噴嘴52外壓出而噴出的作用。
驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM中與電勢(shì)上升、電勢(shì)保持、電勢(shì)降低有關(guān)的時(shí)間成分、 電壓成分密切地依賴于由其供給而噴出的液態(tài)體的噴出量。尤其是，在壓 電方式的液滴噴出頭50中，相對(duì)于電壓成分的變化，噴出量顯示良好的 線形性，因此，可以將時(shí)序t3 t4中的電壓成分的變化(電勢(shì)差)規(guī)定為 驅(qū)動(dòng)電壓Vh，將其作為噴出量控制的條件來利用。還有，生成的驅(qū)動(dòng)信 號(hào)COM不限于在本實(shí)施方式中所示的單純的矩形波，例如，還可以采用 梯形波等公知的各種形狀的波形。另外，在不同的驅(qū)動(dòng)方式(例如，熱方 式)的實(shí)施方式的情況下，還可以將驅(qū)動(dòng)信號(hào)的脈沖寬度(時(shí)間成分)作為噴出量控制的條件來利用。
在本實(shí)施方式中，準(zhǔn)備使驅(qū)動(dòng)電壓Vh階段性地不同的多種波形數(shù)據(jù)，
向DAC71A 71D輸入分別獨(dú)立的波形數(shù)據(jù)(WD1 WD4)，由此，能夠 向各COM線路分別輸出不同的驅(qū)動(dòng)電壓Vhl Vh4的驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM?？?準(zhǔn)備的波形數(shù)據(jù)的種類為與波形編號(hào)數(shù)據(jù)WN的信息量(7比特)相當(dāng)?shù)?128種，例如，使其對(duì)應(yīng)于O.IV刻度的驅(qū)動(dòng)電壓Vh。換而言之，能夠在 12.8V的電勢(shì)差的范圍內(nèi)，將Vhl Vh4的各驅(qū)動(dòng)波形以0.IV刻度來設(shè)定。
這樣，本實(shí)施方式的液滴噴出裝置10通過考慮多個(gè)噴嘴52中的液滴 的噴出量IW的不均，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定規(guī)定各壓電元件59 (噴嘴52)和各COM 線路的對(duì)應(yīng)關(guān)系的驅(qū)動(dòng)信號(hào)選擇數(shù)據(jù)DB、和規(guī)定各COM線路和驅(qū)動(dòng)信 號(hào)的種類(驅(qū)動(dòng)電壓Vh)的對(duì)應(yīng)關(guān)系的波形編號(hào)數(shù)據(jù)WN，從而能夠調(diào) 節(jié)液滴的噴出量Iw，噴出液態(tài)體。換而言之，可以說用于管理噴出量Iw 的重要事項(xiàng)在于，適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行由驅(qū)動(dòng)信號(hào)選擇數(shù)據(jù)DB和波形編號(hào)數(shù)據(jù) WN的關(guān)系規(guī)定的各噴嘴52的驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM的設(shè)定。以下，在各COM 線路和驅(qū)動(dòng)信號(hào)的關(guān)系中，為了便利，將與波形數(shù)據(jù)WD1 WD4對(duì)應(yīng)的 驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM表示為驅(qū)動(dòng)信號(hào)COMl 驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM4。
在本實(shí)施方式的液滴噴出裝置10，使施加于按液滴噴出頭50和工件 W的每一次主掃描而噴出液滴的噴嘴52的壓電元件59的驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM 不同。換而言之，對(duì)于被選擇的噴嘴52的壓電元件59，按每一次主掃描 從驅(qū)動(dòng)信號(hào)COMl 驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM4中選擇一個(gè)來施加。
另外，這樣的噴出控制也可以以有效的160個(gè)噴嘴52構(gòu)成的噴嘴列 52a (噴嘴列52b)為單位，或以包含噴嘴列52a和噴嘴列52b的320個(gè)噴 嘴52構(gòu)成的噴嘴列52c為單位來進(jìn)行。
進(jìn)而，也可以以對(duì)應(yīng)于波形數(shù)據(jù)的數(shù)量即驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM的數(shù)量而劃 分的噴嘴組Gr為單位來進(jìn)行。
因而，能夠?qū)磭娮?2每一個(gè)噴出的液滴的噴出量Iw按每一次主掃 描至少經(jīng)過四個(gè)階段來改變，因此，與將恒定的驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM施加于各 壓電元件59的情況相比，能夠?qū)娮?2的噴出特性引起的液滴的噴出量 Iw的不均按每一噴嘴52、每一個(gè)噴嘴列52a (噴嘴列52b)、每一個(gè)噴嘴 組Gr、或噴出不同的液態(tài)體的每一個(gè)噴嘴列52c (換而言之，每一個(gè)液滴噴出頭50)來調(diào)節(jié)。因此，能夠降低多個(gè)噴嘴52的噴出特性引起的噴出
不均而噴出液態(tài)體。
<液態(tài)體的噴出方法及濾色片的制造方法>
其次，關(guān)于本實(shí)施方式的液態(tài)體的噴出方法，將適用其的濾色片的制
造方法作為例子進(jìn)行說明。
首先，說明本實(shí)施方式的濾色片。圖8 (a)是表示濾色片的概略俯視 圖，圖8 (b)是用圖8 (a)的A—A'線截?cái)嗔说钠拭鎴D。
如圖8 (a)所示，本實(shí)施方式的濾色片2在基板1上的由隔壁部4劃 分的膜形成區(qū)域E具有多色(6色)的著色層3。具體來說，形成為紅色 (R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)的三原色加上青色(C)、品紅色(M)、黃 色(Y)的6色的構(gòu)成。膜形成區(qū)域E大致為矩形狀，由隔壁部4劃分為 矩陣狀。濾色片2是相同顏色的著色層3配置于同一列內(nèi)的所謂的條紋方 式的濾色片。還有，膜形成區(qū)域E的形狀不限定于矩形。
在將這樣的濾色片2使用于顯示裝置的情況下，將各色的著色層3對(duì) 應(yīng)于像素而配置，用R、 G、 B、 C、 M、 Y這六個(gè)像素構(gòu)成一個(gè)描繪像素， 由此，與三原色的構(gòu)成相比，能夠提高色再現(xiàn)性。
如圖8 (b)所示，基板l例如由透明的玻璃等基材構(gòu)成。
隔壁部4形成為由第一隔壁部4a、和在第一隔壁部4a上形成的第二 隔壁部4b構(gòu)成的所謂的二層圍堰結(jié)構(gòu)。
第一隔壁部4a是具有遮光性的金屬或金屬化合物的薄膜，例如可以舉 出Al或Cr的薄膜、這些的氧化膜等。膜厚形成為得到遮光性的約O.lpm。 第一隔壁部4a通常被稱為黑矩陣(BM)。
第二隔壁部4b是例如使丙烯系或聚酰亞胺系的感光性樹脂固化而成 的。高度(膜厚)雖然取決于在膜形成區(qū)域E形成的著色層3的成膜條件， 但約為1.5 2.0pm。在隔壁部4中，在第二隔壁部4b由具有遮光性的材 料構(gòu)成的情況下，可以不需要第一隔壁部4a。
并且，著色層3例如由包含各色的色材的透光性的樹脂材料構(gòu)成。作 為色材，可以舉出公知的顏料、染料。在本實(shí)施方式中，使用液滴噴出裝 置IO，將含有這樣的著色層形成材料的六種(6色)的液態(tài)體向膜形成區(qū) 域E噴出，由此，形成各著色層3。還有，著色層3的膜厚按每一顏色恒定也可，優(yōu)選在著色層3之間均 一。由此可知，能夠減少形成著色層3后的基板1的表面中的凹凸。換而 言之，能夠提供具有期望的光學(xué)特性，且平面形狀更平坦的濾色片2。
本實(shí)施方式的濾色片2的制造方法具備在基板1上形成隔壁部4的
隔壁部形成工序；將隔壁部4及膜形成區(qū)域E表面處理的表面處理工序； 向由隔壁部4劃分的多個(gè)膜形成區(qū)域E將含有著色層形成材料的六種(6 色)的液態(tài)體作為液滴噴出的噴出工序；使被噴出的液態(tài)體干燥并除去溶 媒而將6色的著色層3成膜的成膜工序。
在隔壁部形成工序中，首先，在基板1的表面形成金屬或金屬化合物 的薄膜，利用光刻法進(jìn)行構(gòu)圖，形成格子狀的第一隔壁部4a。然后，同樣 地，利用光刻法將涂敷感光性樹脂而形成的感光性樹脂層構(gòu)圖成格子狀， 從而在第一隔壁部4a上形成第二隔壁部4b。如上所述，若第二隔壁部4b 具有遮光性，則可以省略第一隔壁部4a。
隔壁部4的形成方法不限于此，還可以采用膠版等印刷法或轉(zhuǎn)印預(yù)先 在其他基材上形成的隔壁部4的轉(zhuǎn)印法等。
其次，表面處理工序是對(duì)形成有隔壁部4的基板1的表面進(jìn)行表面處 理的工序。具體來說，使用氟系處理氣體(例如，CF4等)，對(duì)由有機(jī)材料 構(gòu)成的第二隔壁部4b的表面進(jìn)行等離子體處理，賦予疏液性。進(jìn)而，進(jìn) 行將氧作為處理氣體的等離子體處理，對(duì)膜形成區(qū)域E進(jìn)行親液化處理。 由此，在之后的液態(tài)體的噴出工序中，被噴出的液滴向隔壁部4發(fā)生作用 而著落，也收容于膜形成區(qū)域E內(nèi)。另外，著落于膜形成區(qū)域E的液滴沒 有不均地潤(rùn)濕擴(kuò)散。
在噴出工序中，使用液滴噴出裝置10，向基板1的膜形成區(qū)域E噴出 6色的液態(tài)體。即，采用圖3所示的頭單元9的結(jié)構(gòu)。在頭單元9上，對(duì) 應(yīng)于各色搭載有各一個(gè)能夠噴出液態(tài)體的液滴噴出頭50。
在本實(shí)施方式中，在載物臺(tái)5載置基板1，使基板l的基準(zhǔn)軸與X軸、 Y軸一致地進(jìn)行定位。然后，進(jìn)行多次使載物臺(tái)5相對(duì)于搭載液滴噴出頭 50的頭單元9，在主掃描方向(X軸方向)上相對(duì)移動(dòng)的主掃描。在該多 次主掃描期間，從液滴噴出頭50向期望的膜形成區(qū)域E將液態(tài)體作為液 滴噴出。圖9 (a)及(b)是表示液態(tài)體的噴出方法的概略俯視圖。在噴出工
序中，例如如圖9 (a)所示，在矩形狀的膜形成區(qū)域E的長(zhǎng)邊方向和副掃 描方向(Y軸方向) 一致的狀態(tài)下，從在主掃描時(shí)對(duì)膜形成區(qū)域E發(fā)生作 用的噴嘴52噴出液滴。多個(gè)噴嘴52沿副掃描方向排列，因此，在主掃描 時(shí)，更多的噴嘴52向膜形成區(qū)域E發(fā)生作用。例如，在基于填充有含有 紅色(R)的著色層形成材料的液態(tài)體的頭R1的最初的主掃描中，四個(gè)噴 嘴52向膜形成區(qū)域E發(fā)生作用，從各自噴出各三滴液滴。
其次，如圖9(b)所示，填埋先前在膜形成區(qū)域E著落的液滴之間地 進(jìn)行再次噴出液滴的主掃描。換而言之，在先前的主掃描結(jié)束后，使頭 Rl在副掃描方向上移動(dòng)，錯(cuò)開向膜形成區(qū)域E發(fā)生作用的噴嘴52的位置 后，噴出液滴。由此，五個(gè)噴嘴52向膜形成區(qū)域E發(fā)生作用，但選擇靠 近中央部的三個(gè)噴嘴52，分別噴出各三滴液滴。利用兩次的主掃描，向膜 形成區(qū)域E噴出共計(jì)24滴的液滴。
液滴噴出裝置10中的如上所述的液滴的噴出是基于作為所述的噴出 控制數(shù)據(jù)的液滴的配置信息來進(jìn)行的。圖9 (a)及圖9 (b)可以捕獲為 作為各自的主掃描的膜形成區(qū)域E中顯示液滴的配置的配置信息的位圖 數(shù)據(jù)。在本實(shí)施方式的液態(tài)體的噴出方法中，在圖9 (a)所示的主掃描和 圖9 (b)所示的主掃描中，使施加于向膜形成區(qū)域E發(fā)生作用的噴嘴52 的壓電元件59的驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM不同。具體來說，以向膜形成區(qū)域E發(fā) 生作用的噴嘴組Gr為單位，按每一次主掃描使驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM不同。
圖10 (a)及(b)是表示噴嘴組中的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的選擇的表。如上所述， 液滴噴出頭50的各噴嘴列52a、 52b中有效噴嘴數(shù)為160個(gè)，分別具有均 等地分割為四個(gè)的噴嘴組Gd 噴嘴組Gr4。
如圖10 (a)所示，將四個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)COMl 驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM4適用于 四個(gè)噴嘴組Grl 噴嘴組Gr4的情況下，有總計(jì)28組選擇圖案。具體來 說，是將相同的驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM適用于噴嘴組Grl 噴嘴組Gr4的選擇l 選擇4、和將四個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)COMl 驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM4分配于噴嘴組Grl 噴嘴組Gr4的選擇5 選擇28的選擇圖案。
從28組上述選擇圖案中選擇哪一個(gè)也無妨，但考慮圖4所示的表示 噴出量Iw的不均的Iw拱的情況下，存在越是靠近噴嘴列52a(噴嘴列52b)
21的兩端側(cè)的噴嘴52，噴出量IW越增加的傾向，因此，與將該傾向原樣反
應(yīng)的選擇1 選擇4的選擇圖案相比，優(yōu)選抑制該傾向的噴嘴組Gr和驅(qū)動(dòng) 信號(hào)COM的組合。
艮口，如圖IO (b)所示，對(duì)于位于噴嘴列52a的兩側(cè)的噴嘴組Grl和 噴嘴組Gr4，優(yōu)選除了驅(qū)動(dòng)電壓Vh大的驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM3、分配有驅(qū)動(dòng)信 號(hào)COM4的組合以外的選擇7、選擇9、選擇14、選擇15這四個(gè)選擇圖 案。由此可知，能夠進(jìn)一步抑制噴嘴52間的噴出量Iw的不均，能夠?qū)⒁?guī) 定量的液態(tài)體向膜形成區(qū)域E穩(wěn)定地噴出。
在上述圖9 (a)及9 (b)所示的主掃描的方法中，考慮到根據(jù)膜形成 區(qū)域E的形狀或大小、基板1上的配置、向膜形成區(qū)域E噴出何種程度量 (體積或重量)的液態(tài)體的情況，在一次主掃描中噴出的液滴的數(shù)量或噴 出位置變化的情況。換而言之，當(dāng)然考慮到需要兩次以上的主掃描的情況。
此時(shí)，搭載于頭單元9的噴出同種液態(tài)體的液滴噴出頭50如本實(shí)施 方式一樣地為一個(gè)的情況下，也按每一次主掃描來改變驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM的 選擇圖案，因此，能夠減少液滴噴出頭50的噴出特性引起的噴出不均。
圖11 (a) (c)是表示多次主掃描的方法的概略圖。具體來說，用 實(shí)線和虛擬線表示的長(zhǎng)方形表示液滴噴出頭50，并且表示多次主掃描中的 相對(duì)的液滴噴出頭50的位置關(guān)系。作為多次主掃描的方法，如圖ll (a) 所示，存在使液滴噴出頭50位于描繪寬度U的范圍內(nèi)而進(jìn)行多次主掃描 的場(chǎng)合(case)。主掃描1和主掃描2中的驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM適用所述的圖10 (b)的選擇圖案，在噴嘴組Grl和噴嘴組Gr4中，選擇驅(qū)動(dòng)信號(hào)C0M1 或驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM2。在這種情況下，在多次主掃描期間，不進(jìn)行液滴噴出 頭50向副掃描方向(Y軸方向)的移動(dòng)。換而言之，在液滴噴出裝置IO 中，不進(jìn)行驅(qū)動(dòng)頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)30而移動(dòng)液滴噴出頭50的多余動(dòng)作。
除了上述之外，例如如圖11 (b)所示，存在在副掃描方向上錯(cuò)開描 繪寬度Lo的1/4地使液滴噴出頭50移動(dòng)的場(chǎng)合，或如圖ll (c)所示，存 在在副掃描方向上錯(cuò)開描繪寬度Lo的l/2地使液滴噴出頭50移動(dòng)的場(chǎng)合。 描繪寬度L。的1/4相當(dāng)于一個(gè)噴嘴組Gr，因此，組合實(shí)質(zhì)上以噴嘴組Gr 為單位使液滴噴出頭50沿副掃描方向移動(dòng)的副掃描和主掃描，從而對(duì)基 板1上的同一區(qū)域進(jìn)行描繪。如圖ll (b)所示，在使液滴噴出頭50錯(cuò)開1/4"的情況下，使用噴 嘴組Gr4，進(jìn)行將其補(bǔ)全的主掃描3。
如圖11 (c)所示，在使液滴噴出頭50錯(cuò)開1/2U的情況下，使用噴 嘴組Gr3和噴嘴組Gr4，進(jìn)行將其補(bǔ)全的主掃描3。
這樣，通過組合副掃描，液滴噴出裝置10的動(dòng)作變得復(fù)雜，但在向 同一區(qū)域發(fā)生作用的噴嘴組Gr的組合和驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM的選擇的寬度變 寬，因此，進(jìn)一步難以受到噴嘴52之間的噴出量Iw的不均的影響。由此， 能夠抑制量的不均，將規(guī)定量的液態(tài)體向各膜形成區(qū)域E噴出。
還有， 一次主掃描可以在液滴噴出頭50和工件W的主掃描方向上的 相對(duì)移動(dòng)中分成為往動(dòng)和返動(dòng)，包括往動(dòng)和返動(dòng)也可。另外，將液滴的配 置信息(位圖數(shù)據(jù))的構(gòu)成相同的作為主掃描的一個(gè)單位來操作也可。
艮口，根據(jù)本實(shí)施方式的液態(tài)體的噴出方法可知，即使在噴出同種液態(tài) 體的液滴噴出頭50例如為一個(gè)的情況下，也通過按每一次主掃描而改變 驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM的選擇圖案，恰好起到使用多個(gè)液滴噴出頭50噴出同種液 態(tài)體的噴嘴分散、噴嘴組Gr分散、噴嘴列分散、頭分散的效果。
其次，在成膜工序中，干燥被噴出的液態(tài)體，形成6色的著色層3。 作為干燥方法，可以舉出使用燈加熱器等直接加熱基板1的方法或減壓干 燥等方法。從在基板1上使液態(tài)體的溶媒的干燥速度容易恒定的方面來說， 優(yōu)選后者的干燥方法。
根據(jù)適用了以上所述的液態(tài)體的噴出方法的濾色片2的制造方法可 知，按每一個(gè)膜形成區(qū)域E以抑制了量的不均的狀態(tài)噴出規(guī)定量的液態(tài) 體。從而，在成膜工序中，能夠按每一種顏色以規(guī)定的膜厚形成著色層3。 因此，能夠成品率良好地制造具有期望的光學(xué)特性的濾色片2。 (實(shí)施方式2)
<有機(jī)EL裝置和其制造方法>
參照?qǐng)D12及圖13,說明適用了上述實(shí)施方式1的液態(tài)體的噴出方法 的有機(jī)EL裝置的制造方法。圖12是表示有機(jī)EL裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的 概略剖面圖，圖13 (a) (f)是表示有機(jī)EL裝置的制造方法的概略剖 面圖。
<有機(jī)EL裝置>如圖12所示，本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置600具備具有作為有機(jī) EL元件的發(fā)光元件部603的元件基板601;隔著元件基板601和空間622 而封接的密封基板620。另外，元件基板601在元件基板601上具備電路 元件部602，發(fā)光元件部603重疊于電路元件部602上而形成，利用電路 元件部602來驅(qū)動(dòng)。在發(fā)光元件部603上，由有機(jī)發(fā)光材料構(gòu)成的6色的 發(fā)光層617R、 617G、 617B、 617C、 617M、 617Y分別形成于作為膜形成 區(qū)域的發(fā)光層形成區(qū)域A，并構(gòu)成為條紋狀。元件基板601以與6色的發(fā) 光層617R、 617G、 617B、 617C、 617M、 617Y對(duì)應(yīng)的六個(gè)發(fā)光層形成區(qū) 域A作為一組像素，該像素以矩陣狀配置于元件基板601的電路元件部 602上。即，形成為與圖8 (a)所示的上述實(shí)施方式1的濾色片2中的6 色的著色層3相同的配置。有機(jī)EL裝置600中，來自發(fā)光元件部603的 發(fā)光向元件基板601 —側(cè)射出。
密封基板620由玻璃或金屬構(gòu)成，因此，經(jīng)由密封樹脂與元件基板601 接合，在被密封的內(nèi)側(cè)的表面貼附有吸氣劑621。吸氣劑621吸收進(jìn)入元 件基板601和密封基板620之間的空間622的水或氧，防止發(fā)光元件部603 被進(jìn)入的水或氧劣化。還有，省略該吸氣劑621也可。
元件基板601在電路元件部602上具有多個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域A，具備 劃分多個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域A的圍堰618;在多個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域A形成的 電極613;層疊在電極613的空穴注入/輸送層617a。另外，具備具有向 多個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域A內(nèi)賦予含有發(fā)光層形成材料的六種液態(tài)體而形成 的發(fā)光層617R、 617G、 617B、 617C、 617M、 617Y的發(fā)光元件部603。 圍堰618是使用絕緣材料形成的，并覆蓋電極613的周圍，以使在空穴注 入/輸送層617a上層疊的發(fā)光層617R、 617G、 617B、 617C、 617M、 617Y、 和電極613不發(fā)生電短路。
元件基板601例如由玻璃等透明的基板構(gòu)成，在元件基板601上形成 有由硅氧化膜構(gòu)成的基底保護(hù)膜606，在該基底保護(hù)膜606上形成有由多 晶硅構(gòu)成的島狀的半導(dǎo)體膜607。還有，通過向半導(dǎo)體膜607打入高濃度 P離子而形成源區(qū)域607a及漏區(qū)域607b。還有，未導(dǎo)入P離子的部分形 成為溝道區(qū)域607c。進(jìn)而，形成覆蓋基底保護(hù)膜606及半導(dǎo)體膜607的透 明的柵絕緣膜608，在柵絕緣膜608上形成由Al、 Mo、 Ta、 Ti、 W等構(gòu)成的柵電極609，在柵電極609及柵絕緣膜608上形成有透明的第一層間 絕緣膜611a和第二層間絕緣膜611b。柵電極609設(shè)置于與半導(dǎo)體膜607 的溝道區(qū)域607c對(duì)應(yīng)的位置。另外，形成有貫通第一層間絕緣膜611a及 第二層間絕緣膜611b而與半導(dǎo)體膜607的源區(qū)域607a、漏區(qū)域607b分別 連接的接觸孔612a、612b。還有，在第二層間絕緣膜611b上，由ITO(Indium Tin Oxide)等構(gòu)成的透明的電極613以規(guī)定的形狀構(gòu)圖配置， 一方的接觸 孔612a與該電極613連接。另外，另一方的接觸孔612b與電源線614連 接。這樣，在電路元件部602形成有與各電極613連接的驅(qū)動(dòng)用薄膜晶體 管615。還有，在電路元件部602還形成有保持電容和開關(guān)用薄膜晶體管， 但在圖12中省略這些的圖示。
發(fā)光元件部603具備作為陽極的電極613;在電極613上依次層疊 的空穴注入/輸送層617a;各發(fā)光層617R、 617G、 617B、 617C、 617M、 617Y (總稱為發(fā)光層Lu);以覆蓋圍堰618和發(fā)光層Lu的方式層疊的陰 極604。利用空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層Lu構(gòu)成激勵(lì)發(fā)光的功能層 617。還有，若由透明材料構(gòu)成陰極604及密封基板620及吸氣劑621，則 能夠從密封基板620 —側(cè)射出發(fā)出的光。
有機(jī)EL裝置600具有與柵電極609連接的掃描線(省略圖示)、和 與源區(qū)域607a連接的信號(hào)線(省略圖示)，利用向掃描線傳遞的掃描信號(hào)， 當(dāng)將開關(guān)用薄膜晶體管(省略圖示)打開時(shí)，此時(shí)的信號(hào)線的電勢(shì)保持為 保持電容，根據(jù)該保持電容的狀態(tài)，確定驅(qū)動(dòng)用薄膜晶體管615的打開/ 關(guān)閉狀態(tài)。然后，經(jīng)由驅(qū)動(dòng)用薄膜晶體管615的溝道區(qū)域607c，電流從電 源線614向電極613流動(dòng)，進(jìn)而電流經(jīng)由空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層 Lu，向陰極604流動(dòng)。發(fā)光層Lu對(duì)應(yīng)于流過其的電流量而發(fā)光。有機(jī)EL 裝置600能夠利用這樣的發(fā)光元件部603的發(fā)光機(jī)制，顯示期望的文字或 圖像等。另外，有機(jī)EL裝置600中發(fā)光層Lu是使用上述實(shí)施方式1的液 態(tài)體的噴出方法而形成的，因此，各發(fā)光層形成區(qū)域A被賦予大致恒定量 的液態(tài)體，具有發(fā)光不均、亮度不均等顯示不妥善的情況少的高的顯示品 質(zhì)，并且，能夠進(jìn)行高清晰的顯示。
〈有機(jī)EL裝置的制造方法〉
其次，參照?qǐng)D13，說明本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置600的制造方法。
25還有，在圖13 (a) (f)中，關(guān)于在元件基板601上形成的電路元件部 602，省略其圖示。
本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置600的制造方法包括在元件基板601的 與多個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域A對(duì)應(yīng)的位置形成電極613的工序；以一部分向電 極613發(fā)生作用的方式形成圍堰618的圍堰形成工序。另外，包括進(jìn)行 由圍堰618劃分的發(fā)光層形成區(qū)域A的表面處理的工序；向表面處理的發(fā) 光層形成區(qū)域A賦予含有空穴注入/輸送層形成材料的液態(tài)體而噴出描繪 空穴注入/輸送層617a的工序；使被噴出的液態(tài)體干燥并將空穴注入/輸送 層617a成膜的工序。另外，包括向發(fā)光層形成區(qū)域A噴出含有發(fā)光層
形成材料的六種液態(tài)體的噴出工序；干燥噴出的六種液態(tài)體并將發(fā)光層 Lu成膜的成膜工序。進(jìn)而，包括以覆蓋圍堰618和發(fā)光層Lu的方式形 成陰極604的工序；接合形成有發(fā)光元件部603的元件基板601和密封基 板620的密封工序。各液態(tài)體的向發(fā)光層形成區(qū)域A的賦予是使用上述實(shí) 施方式1的液態(tài)體的噴出方法而進(jìn)行的。因而，適用圖3所示的頭單元9 中的液滴噴出頭50的配置。
在電極(陽極)形成工序中，如圖13 (a)所示，在元件基板601的 與發(fā)光層形成區(qū)域A對(duì)應(yīng)的位置形成電極613。作為形成方法，例如可以 舉出使用ITO等透明電極材料，在真空中利用濺射法或蒸鍍法，在元件基 板601的表面上形成透明電極膜。之后，利用光刻法，僅保留必要的部分 而蝕刻，形成電極613的方法。然后，進(jìn)入圍堰形成工序。
在圍堰形成工序中，如圖13 (b)所示，首先，以覆蓋元件基板601 的多個(gè)電極613的一部分的方式形成下層圍堰618a。作為下層圍堰618a 的材料，使用無機(jī)材料即絕緣性的Si02 (氧化硅)。作為下層圍堰618a的 形成方法，例如，可以舉出對(duì)應(yīng)于之后形成的發(fā)光層Lu，使用抗蝕劑等， 掩蔽各電極613的表面。然后，將掩蔽的元件基板601投入真空裝置中， 將Si02作為靶體或原料，進(jìn)行濺射或真空蒸鍍，從而形成下層圍堰618a 的方法?？刮g劑等的掩蔽是在之后剝離。還有，下層圍堰618a由Si02形 成，因此，其膜厚為200)im以下時(shí)，具有充分的透明性，之后，即使層 疊空穴注入/輸送層617a及發(fā)光層Lu，也不會(huì)阻礙發(fā)光。
接著，以實(shí)質(zhì)上劃分各發(fā)光層形成區(qū)域A的方式，在下層圍堰618a上形成上層圍堰618b。作為上層圍堰618b的材料，優(yōu)選對(duì)包含后述的發(fā) 光層形成材料的六種液態(tài)體100R、 100G、 100B、 100C、 100M、 100Y的 溶媒具有耐久性的材料，進(jìn)而，優(yōu)選可以利用將氟系氣體作為處理氣體的 等離子體處理來實(shí)現(xiàn)疏液化，例如，優(yōu)選丙烯樹脂、環(huán)氧樹脂、感光性聚 酰亞胺等所謂的有機(jī)材料。作為上層圍堰618b的形成方法，例如，在形 成有下層圍堰618a的元件基板601的表面利用輥涂法或旋涂法來涂敷感 光性的上述有機(jī)材料，將其干燥，形成厚度為約2pm的感光性樹脂層。 還有，可以舉出通過使以與發(fā)光層形成區(qū)域A對(duì)應(yīng)的大小設(shè)置有開口部的 掩模在規(guī)定的位置與元件基板601對(duì)置，進(jìn)行曝光/顯影，形成上層圍堰 618b的方法。由此，形成具有下層圍堰618a和上層圍堰618b的圍堰618。 然后，進(jìn)入表面處理工序。
在將發(fā)光層形成區(qū)域A表面處理的工序中，首先，將02氣體作為處 理氣體，等離子體處理形成有圍堰(^y夕)618的元件基板601的表面。 由此，活性化電極613的表面、圍堰618的表面(包含壁面)，并進(jìn)行親 液化處理。其次，將CF4等氟系氣體作為處理氣體，進(jìn)行等離子體處理。 由此，氟系氣體僅在作為有機(jī)材料的感光性樹脂構(gòu)成的上層圍堰618b的 表面發(fā)生反應(yīng)，并進(jìn)行疏液化處理。然后，進(jìn)入空穴注入/輸送層形成工序。
在空穴注入/輸送層形成工序中，如圖13 (c)所示，將含有空穴注入 /輸送層形成材料的液態(tài)體90向發(fā)光層形成區(qū)域A賦予。作為賦予液態(tài)體 90的方法，使用上述實(shí)施方式1的液態(tài)體的噴出方法。從液滴噴出頭50 噴出的液態(tài)體90作為液滴著落于元件基板601的電極613而潤(rùn)濕擴(kuò)散。 液態(tài)體90根據(jù)發(fā)光層形成區(qū)域A的面積，以大致恒定量作為液滴噴出。 然后，進(jìn)入干燥/成膜工序。
在干燥/成膜工序中，例如，利用燈退火等方法加熱元件基板601，由 此，干燥液態(tài)體90的溶媒成分而除去，在電極613的由圍堰618劃分的 區(qū)域形成有空穴注入/輸送層617a。在本實(shí)施方式中，作為空穴注入/輸送 層形成材料，使用3， 4一聚乙烯二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸(PEDOT/PSS)。 還有，在本實(shí)施方式中，在各發(fā)光層形成區(qū)域A形成了由同一材料構(gòu)成的 空穴注入/輸送層617a，但根據(jù)之后形成的發(fā)光層Lu，按發(fā)光層形成里域 A每一個(gè)而改變空穴注入/輸送層617a的材料也可。然后，進(jìn)入其次的液態(tài)體的噴出工序。
在液態(tài)體的噴出工序中，如圖13 (d)所示，使用液滴噴出裝置IO，
從多個(gè)液滴噴出頭50，向多個(gè)發(fā)光層形成區(qū)域A賦予含有發(fā)光層形成材 料的六種液態(tài)體100R、 100G、 100B、 100C、 100M、 100Y。液態(tài)體100R 含有形成發(fā)光層617R (紅色)的材料，液態(tài)體100G含有形成發(fā)光層617G
(綠色)的材料，液態(tài)體100B含有形成發(fā)光層617B (藍(lán)色)的材料。同 樣，液態(tài)體100C含有形成發(fā)光層617C (青色)的材料，液態(tài)體100G含 有形成發(fā)光層617M(品紅色)的材料，液態(tài)體IOOY含有形成發(fā)光層617Y
(黃色)的材料。
作為各發(fā)光層形成材料，使用能夠發(fā)出熒光或磷光的公知的發(fā)光材料。
具體來說，適合使用(聚)芴衍生物(PF)、(聚)對(duì)亞苯基亞乙烯基 衍生物(PPV)、聚亞苯基衍生物(PP)、聚對(duì)亞苯基衍生物(PPP)、聚乙 烯基昨唑(PVK)、聚噻吩衍生物、聚甲基苯基硅烷(PMPS)等聚硅烷系 等。另外，這些高分子材料中還可以摻雜使用二嵌萘苯系色素、香豆素系 色素、若丹明系色素等高分子系材料或紅熒烯、二嵌萘苯、9， 10 —二苯 基蒽、四苯基丁二烯、尼羅紅、香豆素6、喹吖啶酮等低分子材料。
著落了的各液態(tài)體IOOR、 IOOG、 IOOB、 IOOC、 IOOM、 100Y在發(fā)光 層形成區(qū)域A潤(rùn)濕擴(kuò)散，剖面形狀以圓弧狀隆起。作為賦予這些液態(tài)體 IOOR、 IOOG、 IOOB、 IOOC、 IOOM、 100Y的方法，使用上述實(shí)施方式1 的液態(tài)體的噴出方法。然后，進(jìn)入干燥/成膜工序。
在干燥/成膜工序中，如圖13 (e)所示，干燥被噴出的各液態(tài)體IOOR、 IOOG、 IOOB、 IOOC、 IOOM、 100Y的溶媒成分并除去，在各發(fā)光層形成 區(qū)域A的空穴注入/輸送層617a層疊各發(fā)光層617R、 617G、 617B、 617C、 617M、 617Y地成膜。作為噴出各液態(tài)體IOOR、 IOOG、 IOOB、 IOOC、 IOOM、 100Y的元件基板601的干燥方法，優(yōu)選能夠使溶媒的蒸發(fā)速度為大致恒 定的減壓干燥。然后，進(jìn)入陰極形成工序。
在陰極形成工序中，如圖13 (f)所示，以覆蓋元件基板601的各發(fā) 光層617R、 617G、 617B、 617C、 617M、 617Y和圍堰618的表面的方式 形成陰極604。作為陰極604的材料，優(yōu)選組合使用Ca、 Ba、 Al等金屬或LiF等氟化物。尤其，在靠近發(fā)光層617R、 617G、 617B、 617C、 617M、 617Y的一側(cè)形成功函數(shù)小的Ca、 Ba、 LiF的膜，在遠(yuǎn)的一側(cè)形成功函數(shù) 大的A1等膜。另外，在陰極604上層疊Si02、 SiN等保護(hù)層也可。若這 樣，則能夠防止陰極604的氧化。作為陰極604的形成方法，可以舉出蒸 鍍法、濺射法、CVD法等。尤其，從能夠防止發(fā)光層617R、 617G、 617B、 617C、 617M、 617Y的熱量引起的損傷的觀點(diǎn)來說，優(yōu)選蒸鍍法。
這樣做成的元件基板601具有 一定量的各液態(tài)體IOOR、 IOOG、 IOOB、 IOOC、 IOOM、 IOOY作為液滴，被抑制量的不均地向發(fā)光層形成區(qū)域A賦 予，且干燥/成膜化后的膜厚在各自的發(fā)光層形成區(qū)域A中大致恒定的各 發(fā)光層617R、 617G、 617B、 617C、 617M、 617Y (總稱為發(fā)光層Lu)。 然后，進(jìn)入密封工序。
在密封工序中，使形成有發(fā)光元件部603的元件基板601和密封基板 620對(duì)置，隔著空間622，使用粘接劑來接合(參照?qǐng)D12)。作為粘接劑， 優(yōu)選使用具有耐久性且熱固化性的例如環(huán)氧系樹脂粘接劑。由此，密封發(fā) 光元件部603。
根據(jù)上述實(shí)施方式2的有機(jī)EL裝置600的制造方法可知，在液態(tài)體 IOOR、 IOOG、 IOOB、 IOOC、 IOOM、 100Y的噴出工序中，使用上述實(shí)施 方式1的液態(tài)體的噴出方法，噴出液滴。因而，在各自的發(fā)光層形成區(qū)域 A穩(wěn)定地涂敷大致恒定量的各液態(tài)體IOOR、 IOOG、 IOOB、 IOOC、 IOOM、 IOOY。從而，得到干燥/成膜后的膜厚在各自的發(fā)光層形成區(qū)域A中大致 恒定的各發(fā)光層Lu。
各發(fā)光層Lu的膜厚大致恒定，因此，各發(fā)光層Lu每一個(gè)的電阻大致 恒定。從而，若利用電路元件部602，向發(fā)光元件部603施加驅(qū)動(dòng)電壓， 則減少各發(fā)光層Lu每一個(gè)的電阻不均引起的發(fā)光不均或亮度不均等。艮口， 能夠在發(fā)光不均或亮度不均等少的情況下，成品率良好地制造具有高的色 再現(xiàn)性的有機(jī)EL裝置600。
除了上述實(shí)施方式以外，還考慮各種實(shí)施例。以下，舉出變形例進(jìn)行 說明。
(變形例1)在上述實(shí)施方式1的濾色片2中，R、 G、 B、 C、 M、 Y 這6色的著色層3的配置不限定于此。圖14是表示變形例的著色層的配置的概略俯視圖。例如，有R=Y+M、 G=C+Y、 B=M+C的所謂的顏色的 加法規(guī)則。通過調(diào)節(jié)增加Y和M的比率，能夠顯現(xiàn)更接近R的微妙的色 調(diào)。同樣地，通過調(diào)節(jié)增加C和Y的比率，能夠顯現(xiàn)更接近G的微妙的 色調(diào)，通過調(diào)節(jié)增加M和C的比率，能夠顯現(xiàn)更接近B的微妙的色調(diào)。 因而，如圖14所示，將R、 Y、 M這三色的著色層3作為紅色系著色層組， 將G、 C、 Y這三色的著色層3作為綠色系著色層組，將B、 M、 C這三色 的著色層3作為藍(lán)色系著色層組，在縱向或橫向上配置這些三種著色組。 即，構(gòu)成一個(gè)像素的多個(gè)著色層3為6色，但其數(shù)量總計(jì)為9個(gè)。在這樣 的濾色片2中，也能夠適用上述實(shí)施方式1的濾色片2的制造方法。
(變形例2)適用上述實(shí)施方式1的濾色片2的制造方法的濾色片2 的結(jié)構(gòu)不限定于具有6色的著色層3的結(jié)構(gòu)。例如，在R、 G、 B這三色 的情況下也能夠適用。即，噴出同種液態(tài)體的液滴噴出頭50的數(shù)量例如 為一個(gè)的情況下，也能夠恰好得到使用多個(gè)液滴噴出頭50，噴出同種液態(tài) 體一樣的噴嘴分散效果。
(變形例3)在上述實(shí)施方式2的有機(jī)EL裝置600中，作為有機(jī)EL 元件的發(fā)光元件部603的結(jié)構(gòu)不限定于此。例如，在發(fā)光層形成區(qū)域A形 成得到白色的發(fā)光的發(fā)光層617。還有，能夠提供通過在密封基板620側(cè) 配置濾色片2，從而能夠進(jìn)行全彩顯示，且具有高的色再現(xiàn)性的頂部發(fā)光 型的有機(jī)EL裝置600。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，其在使具有多個(gè)膜形成區(qū)域的基板和多個(gè)噴嘴對(duì)置并相對(duì)移動(dòng)的掃描期間，從所述多個(gè)噴嘴向所述膜形成區(qū)域?qū)⒁簯B(tài)體作為液滴噴出，其特征在于，具備第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述基板相對(duì)于所述多個(gè)噴嘴而沿第一方向相對(duì)移動(dòng)；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其對(duì)應(yīng)每一個(gè)所述噴嘴設(shè)置；噴嘴驅(qū)動(dòng)部，其產(chǎn)生能夠變更所述液滴的噴出量的多個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)，將所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)中的一個(gè)施加于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，從所述噴嘴噴出所述液滴；控制部，其以對(duì)同一所述膜形成區(qū)域進(jìn)行多次所述掃描的方式控制所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，并以在所述多次所述掃描期間將規(guī)定量的所述液態(tài)體作為所述液滴噴出的方式控制所述噴嘴驅(qū)動(dòng)部，其中，所述控制部以如下所述的方式來控制所述噴嘴驅(qū)動(dòng)部使施加于所述多個(gè)噴嘴中在所述掃描時(shí)對(duì)所述膜形成區(qū)域發(fā)生作用的所述噴嘴的所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)基于每一次所述掃描而不同。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的液滴噴出裝置，其特征在于，具備由所述多個(gè)噴嘴構(gòu)成的至少一個(gè)噴嘴列，所述控制部以如下所述的方式來控制所述噴嘴驅(qū)動(dòng)部使以所述噴嘴 列為單位的施加于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)基于每一次所述掃描而 不同。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述噴嘴列具有對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的數(shù)量而劃分的多個(gè)噴嘴組，所述控制部以如下所述的方式來控制所述噴嘴驅(qū)動(dòng)部使以所述噴嘴 組為單位的施加于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)基于每一次所述掃描而 不周。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述多個(gè)噴嘴組沿與所述第一方向正交的第二方向排列， 所述液滴噴出裝置具備使所述噴嘴列沿所述第二方向移動(dòng)的第二移 動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述控制部，以通過所述多次所述掃描而從不同的所述噴嘴組向所述 膜形成區(qū)域噴出所述液滴的方式來控制所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，并在所述多次 所述掃描期間，使所述噴嘴列沿所述第二方向移動(dòng)。
5. —種液態(tài)體的噴出方法，具有噴出工序，在使具有多個(gè)膜形成區(qū) 域的基板和多個(gè)噴嘴對(duì)置并沿第一方向相對(duì)移動(dòng)的多次掃描期間，從所述 多個(gè)噴嘴向所述膜形成區(qū)域?qū)⒁?guī)定量的液態(tài)體作為液滴噴出，其特征在 于，所述噴出工序中，通過將能夠變更所述液滴的噴出量的多個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào) 中的一個(gè)施加于所述噴嘴的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，而噴出所述液滴，并使施加于在所 述多個(gè)噴嘴中在所述掃描時(shí)對(duì)所述膜形成區(qū)域發(fā)生作用的所述噴嘴的所 述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)基于每一次所述掃描而不同。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的液態(tài)體的噴出方法，其特征在于， 具備由所述多個(gè)噴嘴構(gòu)成的至少一個(gè)噴嘴列，所述噴出工序中，使以所述噴嘴列為單位的施加于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的所 述驅(qū)動(dòng)信號(hào)基于每一次所述掃描而不同。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的液態(tài)體的噴出方法，其特征在于， 所述噴嘴列具有對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的數(shù)量而劃分的多個(gè)噴嘴組，所述噴出工序中，使以所述噴嘴組為單位的施加于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的所 述驅(qū)動(dòng)信號(hào)基于每一次所述掃描而不同。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的液態(tài)體的噴出方法，其特征在于， 所述噴出工序中，以通過所述多次所述掃描而從不同的所述噴嘴組向所述膜形成區(qū)域噴出所述液滴的方式，在所述多次所述掃描期間，使所述 噴嘴列沿與所述第一方向正交的第二方向移動(dòng)。
9. 一種濾色片的制造方法，其是在基板上的多個(gè)膜形成區(qū)域具有多 色的著色層的濾色片的制造方法，其特征在于，包括噴出工序，使用權(quán)利要求5 8中任一項(xiàng)所述的液態(tài)體的噴出方法，將含有著色層形成材料的多色液態(tài)體向所述多個(gè)膜形成區(qū)域噴出；成膜工序，將被噴出的所述液態(tài)體固化而形成所述多色的著色層。
10. —種有機(jī)EL裝置的制造方法，其是具備在基板上的多個(gè)膜形成 區(qū)域具有包含發(fā)光層的功能層的有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置的制造方法， 其特征在于，包括噴出工序，使用權(quán)利要求5 8中任一項(xiàng)所述的液態(tài)體的噴出方法， 將含有發(fā)光層形成材料的液態(tài)體向所述多個(gè)膜形成區(qū)域噴出；成膜工序，將被噴出的所述液態(tài)體固化而形成所述發(fā)光層。
全文摘要
本發(fā)明提供考慮多個(gè)噴嘴中的液滴的噴出量的不均，能夠?qū)⒁?guī)定量的液態(tài)體向膜形成區(qū)域穩(wěn)定地噴出的液滴噴出裝置、液態(tài)體的噴出方法、使用其的濾色片的制造方法、有機(jī)EL裝置的制造方法。液滴噴出裝置(10)具備使工件(W)沿主掃描方向移動(dòng)的工件移動(dòng)機(jī)構(gòu)(20)；使滑架(8)相對(duì)于工件(W)而沿與主掃描方向正交的副掃描方向移動(dòng)的頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)(30)；在滑架(8)搭載的多個(gè)噴嘴；向多個(gè)噴嘴的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)的噴嘴驅(qū)動(dòng)部；統(tǒng)括控制這些的控制部(40)，控制部(40)以使施加于多個(gè)噴嘴中在主掃描時(shí)對(duì)膜形成區(qū)域發(fā)生作用的噴嘴的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)按每一次主掃描而不同的方式來控制噴嘴驅(qū)動(dòng)部。
文檔編號(hào)G02B5/20GK101549582SQ200910129910
公開日2009年10月7日 申請(qǐng)日期2009年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月1日
發(fā)明者筱原亨 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社