專利名稱:光學(xué)元件固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及一種固定裝置,尤其涉及一種光學(xué)元件固定裝置。
背景技術(shù):
在復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)中,尤其在雙頻激光干涉測量系統(tǒng)中,經(jīng)常出現(xiàn)折轉(zhuǎn)光 束、分解光束等需求,因此經(jīng)常會使用分立的分光鏡、反射鏡等薄片型光學(xué)元
件。由于對祐:折轉(zhuǎn)、分解光束的位置和方向均有一定要求,因此所述光學(xué)元件 在光學(xué)系統(tǒng)中的安裝方向和位置精度也有相應(yīng)要求。
目前,光學(xué)系統(tǒng)中出現(xiàn)光束轉(zhuǎn)折或者分解的需求時,通常將反射鏡或平面 鏡等光學(xué)元件直接固定在鏡座上,通過鏡座上的一些接口,將反射鏡或平面鏡 引入到光學(xué)系統(tǒng)中。
但是,由于現(xiàn)有技術(shù)的鏡座截面為三角形或其它不規(guī)則的非圓截面,導(dǎo)致 其體積較大,空間結(jié)構(gòu)較為松散,同時在鏡座的一個截面上設(shè)置外部接口,導(dǎo) 致其外部接口較少。
隨著光學(xué)系統(tǒng)越來越復(fù)雜,安裝精度的要求不斷提高,結(jié)構(gòu)要求也越來越 緊湊,需要越來越多的接口,現(xiàn)有的光學(xué)元件固定裝置已不能滿足要求。因此, 提供一種簡單、模塊化的光學(xué)元件固定裝置顯得尤為重要。
實用新型內(nèi)容
本實用新型提供一種光學(xué)元件固定裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)的光學(xué)元件固定 裝置的外部接口較少,且結(jié)構(gòu)+碌的問題。
有鑒于此,本實用新型提出了一種光學(xué)元件固定裝置,包括載體,具有 一放置槽,所述放置槽與所述光學(xué)元件的形狀相匹配,用于放置所述光學(xué)元件; 鏡座,具有一凹槽;以及蓋子,與所述凹槽的開口相匹配,蓋合于所述鏡座上;
3其中所述載體^:置于所述鏡座的所迷凹槽中。 進一步的,所述載體為半圓柱體。 進一步的,所述鏡座為立方體。 進一步的,所述立方體多個側(cè)面上開設(shè)有安裝孔。 進一步的,所述凹槽為圓柱形。 進一步的,所述凹槽側(cè)壁i殳有通光孔。 進一步的,所述凹槽底部設(shè)有注膠槽。 進一步的,所迷方欠置槽側(cè)壁開設(shè)注膠孔。 進一步的,所述i文置槽底部i殳有放置槽通光孔。 進一步的,所迷光學(xué)元件為反射鏡和分光鏡。
本實用新型所提供的光學(xué)元件固定裝置,包括載體、鏡座以及蓋子三部分, 各部分之間全部采用膠水粘接,結(jié)構(gòu)簡單緊湊,且所述鏡座提供多個安裝孔, 滿足了多種接口需求。
圖1A、 1B、 1C為本實用新型一實施例所提供的反射鏡固定裝置的示意圖2為本實用新型一實施例所提供的反射鏡固定裝置的安裝示意圖3A、 3B、 3C為本實用新型另一實施例所提供的分光鏡固定裝置的示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的光學(xué)元件固定裝置作進一 步詳細說明。 實施例一
請參見圖1A至圖1C,其為本實用新型一實施例所提供的反射鏡固定裝置 的示意圖,如圖1A所示,所述反射鏡固定裝置100包括載體IIO,用于放置 反射鏡140;鏡座120;以及蓋子130,可蓋合于所述鏡座120上。
如圖1B所示,載體110為半圓柱體,其具有方文置槽111,所述放置槽111 的形狀與反射鏡140的形狀相匹配,用于放置反射鏡140,放置槽111的側(cè)壁上開設(shè)多個注膠孔112,將反射鏡140嵌在載體110的放置槽lll后,可通過注膠 孔112注膠粘接反射鏡140。這樣,可將薄片型的反射鏡140固定在便于定位的 半圓柱體結(jié)構(gòu)中。其中,栽體110的放置槽lll底部還設(shè)有工藝裝配用的工藝孔 113。
如圖1C所示,鏡座120為立方體,具有一圓柱形凹槽121,所述立方體多 個側(cè)面上開設(shè)有安裝孔122,滿足了多種接口需求。所述凹槽121的側(cè)壁上設(shè)有 通光孔123,所述通光孔123的數(shù)量為兩個,其中一個為入射光通光孔,另一個 為出射光通光孔。圓柱形凹槽121的底部設(shè)有環(huán)形的注膠槽124,反射鏡140固 定在載體110后,可將載體110放置于鏡座120的凹槽121中,定位后向注膠 槽124內(nèi)注膠粘接載體110。如此,反射鏡140即固定在鏡座120內(nèi)。
本實用新型一實施例所提供的反射鏡固定裝置100,包括載體110、鏡座120 以及蓋子130三部分,各部分之間全部采用膠水粘接,結(jié)構(gòu)簡單緊湊。且鏡座 120提供了多個安裝孔,滿足了多種接口需求。
所述反射鏡固定裝置100的安裝過程如下,請參見圖2,利用調(diào)節(jié)裝置10 安裝反射鏡固定裝置100,所述調(diào)節(jié)裝置10包括第一直角固定塊ll、第二直 角固定板12、轉(zhuǎn)接盤13、可實現(xiàn)X、 Y向位移調(diào)節(jié)的精密組合位移臺14、轉(zhuǎn)接 板15、可實現(xiàn)Rx、 Ry和Rz向位移調(diào)節(jié)的三維精密旋轉(zhuǎn)臺16以及滑軌17。
首先,將反射鏡140放入到載體110的放置槽111中,載體110為半圓柱體, 所述半圓柱體的豎直平面作為反射鏡定位面,所述半圓柱體的底面作為基準面。 鏡座120具有圓柱形凹槽121,所述凹槽121的底部作為載體定位面。將反射鏡 140的工作面和載體110的反射鏡定位面對齊,然后向放置槽111側(cè)壁上的多個 注膠孔U2注膠以粘接反射鏡140。然后,將鏡座120裝載到第二直角固定塊 12上,將載體110裝在轉(zhuǎn)接盤12下面,將載體110放入到鏡座120中,并使載 體110的基準面與鏡座120的載體定位面重合,精調(diào)載體110的X、 Y和Rz向 位移,使其滿足光路要求,最后使用膠水將載體110粘接在鏡座120內(nèi)。
實施例二
請參見圖3A至圖3C,其為本實用新型一實施例所提供的分光鏡固定裝置 的示意圖,如圖3A所示,所述分光鏡固定裝置200包括載體210,用于放置 分光鏡240;鏡座220;以及蓋子230,蓋合于所述鏡座220上。如圖3B所示,栽體210為半圓柱體,其具有一放置槽211,所述放置槽211 的形狀與分光鏡240的形狀相匹配,用于放置分光鏡240,放置槽211的側(cè)壁上 開設(shè)多個注膠孔212,放置槽211的底部設(shè)有放置槽通光孔213。將分光鏡240 嵌在載體210的放置槽211后,可通過注膠孔212注膠粘接分光鏡240,這樣, 可將薄片型的分光鏡240固定在便于定位的半圓柱體結(jié)構(gòu)中。其中,載體210 的放置槽211底部還設(shè)有工藝裝配用的工藝孔214。
如圖3C所示,鏡座220為立方體,其具有一圓柱形凹槽221,所述立方體 多個側(cè)面上開設(shè)有安裝孔222,滿足了多種接口需求,所述凹槽221的側(cè)壁上設(shè) 有通光孔223,所述通光孔223的數(shù)量為四個。凹槽221的底部設(shè)有注膠槽224, 分光鏡240固定在載體210后,可將載體210放置于鏡座220的凹槽221中, 定位后向注膠槽224內(nèi)注膠粘接載體210。如此,反射鏡240即固定在鏡座220 內(nèi)。
本實用新型一實施例所提供的分光鏡固定裝置200,包括栽體210、鏡座220 以及蓋子230三部分,各部分之間全部采用膠水粘接,結(jié)構(gòu)簡單緊湊。且鏡座 220提供了多個安裝孔,滿足了多種接口需求。
所述分光鏡固定裝置200的安裝過程與反射鏡固定裝置100的安裝方法類 似,此處不再贅述。
綜上所述,本實用新型提供了一種光學(xué)元件固定裝置,包括載體、鏡座 以及蓋子,所述載體為半圓柱形,具有一放置槽,所述放置槽與所述光學(xué)元件 的形狀相匹配,可通過放置槽側(cè)壁上的注膠孔注膠將所述光學(xué)元件固定在所述 放置槽內(nèi),所述鏡座為立方體,具有一凹槽,可向凹槽底部的注膠槽注膠將所 述載體固定在所述鏡座內(nèi),所述立方體多個側(cè)面設(shè)有安裝孔。本實用新型提供 的光學(xué)元件固定裝置結(jié)構(gòu)簡單緊湊,滿足了多種接口需求。
本實用新型的精神和范圍。這樣,倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實 用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi),則本實用新型也意圖包含這些改動 和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種光學(xué)元件固定裝置,其特征在于,包括載體,具有一放置槽,所述放置槽與所述光學(xué)元件的形狀相匹配,用于放置所述光學(xué)元件;鏡座,具有一凹槽;以及蓋子,與所述凹槽的開口相匹配,蓋合于所述鏡座上;其中所述載體設(shè)置于所述鏡座的所述凹槽中。
2、 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件固定裝置,其特征在于,所述載體為半圓 柱體。
3、 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件固定裝置,其特征在于,所述鏡座為立方體。
4、 如權(quán)利要求3所述的光學(xué)元件固定裝置,其特征在于,所述立方體多個 側(cè)面上開設(shè)有安裝孔。
5、 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件固定裝置,其特征在于,所述凹槽為圓柱形。
6、 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件固定裝置,其特征在于,所述凹槽側(cè)壁設(shè) 有通光孑L
7、 如權(quán)利要求l所述的光學(xué)元件固定裝置,其特征在于,所述凹槽底部設(shè) 有注膠槽。
8、 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件固定裝置,其特征在于,所述放置槽側(cè)壁 開設(shè)注膠孔。
9、 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件固定裝置,其特征在于,所述放置槽底部 設(shè)有放置槽通光孔。
10、 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件固定裝置,其特征在于,所述光學(xué)元件 為反射鏡和分光鏡。
專利摘要本實用新型提供了一種光學(xué)元件固定裝置,包括載體、鏡座以及蓋子,所述載體為半圓柱體,其具有一放置槽,所述放置槽與所述光學(xué)元件的形狀相匹配,通過放置槽側(cè)壁上的注膠孔注膠可將所述光學(xué)元件固定在所述放置槽內(nèi),所述鏡座為立方體,具有一凹槽,可向凹槽底部的注膠槽注膠將所述載體固定在所述鏡座內(nèi),所述立方體多個側(cè)面設(shè)有安裝孔。本實用新型提供的光學(xué)元件固定裝置結(jié)構(gòu)簡單緊湊,滿足了多種接口需求。
文檔編號G02B7/00GK201383024SQ200820158350
公開日2010年1月13日 申請日期2008年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月30日
發(fā)明者任勝偉, 張曉文, 峰 池 申請人:上海微電子裝備有限公司