專利名稱：嵌入式多通道高速光纖光柵傳感器解調(diào)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及光纖通信和光纖傳感，特別是一種嵌入式多通道高速光纖光柵 傳感器解調(diào)系統(tǒng)，是一種用于光纖光柵波長測量和工程應(yīng)用的高速多通道光纖光柵 波長信號解調(diào)設(shè)備。
背景技術(shù)：
光纖光柵傳感是基于外部物理環(huán)境改變對光纖光柵的作用，導(dǎo)致其光柵區(qū)折射 率和光柵間距變化，從而引起反射波長的改變作為傳感原理的，其解調(diào)的本質(zhì)就是 通過檢測光柵波長的位移情況，獲得待測外界物理量的變化狀況。
光纖光柵傳感器以其傳感探頭小、抗電磁干擾能力強、精度高、易于組建傳感 網(wǎng)絡(luò)進行分布式測量，已被應(yīng)用于橋梁、隧道等建筑結(jié)構(gòu)的應(yīng)變變形、溫度預(yù)警等 安全監(jiān)測中。
現(xiàn)有的通用的解調(diào)方法為1、邊緣濾波器法，2、匹配光柵法，3、非平衡M-Z 干涉法，4、可調(diào)諧濾波器法。其中可調(diào)諧F-P濾波器法具有較高的波長分辨率和較 大的工作范圍，可用于對高速動態(tài)信號的解調(diào)，并易于進行數(shù)據(jù)處理，工程上大多 采用此方法。
目前，已出現(xiàn)的解調(diào)系統(tǒng)和方法，在應(yīng)用上多限于大型土木工程結(jié)構(gòu)的安全監(jiān) 測等方面，即對動態(tài)信號的監(jiān)測限于低速動態(tài)信號，即解調(diào)速度不高(一般低于 200Hz)，其次精度比較低(一般在3pm左右)、穩(wěn)定性和重復(fù)性差、體積也比較大、 攜帶不方便，也不能滿足多個監(jiān)測領(lǐng)域的需求。由于多通道光纖光柵解調(diào)能夠檢測 出更多監(jiān)測點的物理環(huán)境，在應(yīng)用中獲得更大需求?，F(xiàn)在國內(nèi)大多數(shù)的解調(diào)方案都 是采用可調(diào)諧F-P濾波器法，但是它們大多采用了一個通道對應(yīng)著一個FP干涉儀的 解調(diào)方式，多通道解調(diào)在實際中都使用多個FP千涉儀，同時由于信號處理的性能局 限，即基本上使用單片機等MCU微程序控制器，大多都采用多個信號采集和處理 模塊，進行分時處理。而高速FBG傳感器進口成本很高，約為5萬美金左右。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種嵌入式多通道高速光纖光柵傳感器解調(diào)系統(tǒng)， 該系統(tǒng)具有較高解調(diào)速度、多通道解調(diào)、解調(diào)范圍寬、分辨率高的特點。
4本實用新型的技術(shù)解決方案如下
一種嵌入式多通道高速光纖光柵傳感器解調(diào)系統(tǒng)，其特點是它由寬帶熒光源、
三端環(huán)形器、"N光開關(guān)、光纖布拉格光柵(fibber bragggratting,以下簡稱為FBG) 傳感探頭、斜面光纖頭、2*1耦合器、高精度FP干涉儀、光電檢測模塊、溫度控制 模塊、鋸齒波發(fā)生器、信號采集與處理模塊和計算機組成，其中N為》2的正整數(shù)， 上述各元部件的連接關(guān)系如下-
所述的寬帶熒光源的輸出端通過光纖接所述的2*1耦合器第一輸入端，該2*1 耦合器的輸出端連接所述的高精度FP干涉儀；所述的寬帶熒光源的輸出端經(jīng)過光纖 連接所述的三端環(huán)形器的第一端口，該三端環(huán)形器的第二端口經(jīng)過所述的"N光開 關(guān)與N個所述的FBG光纖光柵傳感頭連接，該N個FBG傳感頭的每一個FBG傳 感頭均具有斜面光纖頭，所述的三端環(huán)形器的第三端口再與所述的2*1耦合器另一 輸入端連接；所述的溫度控制模塊與所述的高精度FP干涉儀相連，精確控制所述的 高精度FP干涉儀的工作溫度；所述的鋸齒波發(fā)生器的輸出端連接所述的高精度FP 干涉儀，為其提供驅(qū)動高壓，使所述的高精度FP干涉儀穩(wěn)定輸出波長變化的光信號； 所述的高精度FP干涉儀輸出帶有波長信息的光信號經(jīng)過所述的光電檢測模塊檢測 轉(zhuǎn)變成電信號后傳輸?shù)剿龅男盘柌杉c處理模塊進行數(shù)據(jù)處理，該信號采集與處 理模塊與所述的計算機和鋸齒波發(fā)生器建立通訊連接，該信號采集與處理模塊與所 述的PN光開關(guān)相連，并對所述的PN光開關(guān)進行控制。
所述的信號采集與處理模塊是由現(xiàn)場可編程門陣列和數(shù)字信號處理器相結(jié)合構(gòu) 成的，所述的現(xiàn)場可編程門陣列通過模數(shù)轉(zhuǎn)換器采集從所述的光電檢測模塊檢測出 來的光波長信息數(shù)據(jù)，變成數(shù)字數(shù)據(jù)并存貯到隨機存取存儲器中；所述的數(shù)字信號 處理器從所述的隨機存取存儲器中讀取數(shù)字數(shù)據(jù)，作傅立葉變換，通過RS-232串行 通信接口把處理后的數(shù)據(jù)發(fā)送給計算機，為其提供波長的數(shù)字信息，所述的現(xiàn)場可 編程門陣列還通過高速數(shù)模轉(zhuǎn)換器與所述鋸齒波發(fā)生器相連，所述的現(xiàn)場可編程門 陣列還直接與所述的PN光開關(guān)相連。
所述的計算機具有VC++6.0光纖光柵解調(diào)的軟件，對所述的信號采集與處理模 塊經(jīng)RS-232串行通信口傳輸?shù)臄?shù)據(jù)進行高斯擬合，利用人性化的界面方便顯示出解 調(diào)。
所述的寬帶熒光源是高平坦度頻譜的摻鉺熒光源。
所述的多通道解調(diào)是經(jīng)過所述的三端環(huán)形器、1*N光開關(guān)和信號采集與處理模塊實現(xiàn)的。
所述的鋸齒波發(fā)生器(10)是由芯片NE555構(gòu)成的。 所有模塊集成在一工控機的機箱內(nèi)。
所述的寬帶光源通過所述的三端環(huán)形器，傳播到所述的FBG光纖光柵傳感探頭， 所述的FBG光纖光柵傳感探頭經(jīng)過被測量(FBG光纖光柵傳感探頭所處的外界溫度 變化或所受到的應(yīng)變力)的物理作用后，反射光波長發(fā)生偏移，再經(jīng)過所述的三端 環(huán)形器與寬帶熒光源發(fā)射光進入所述的2*1耦合器進行耦合，通過所述的可調(diào)諧高 精度FP千涉儀輸出，由所述的光電探測模塊探測后，經(jīng)過所述的信號采集與處理模 塊處理后輸出所測波長位移量和其對應(yīng)的被測量值到計算機中，由專門編寫的解調(diào) 軟件進一步處理后，顯示出來。
本實用新型的有益效果是
通過采用現(xiàn)場可編程門陣列(Field—Programmable Gate Array,簡稱為FPGA) 和數(shù)字信號處理器(Digital Signal Processor,簡稱為DSP)雙微處理器，對光開關(guān)、 鋸齒波發(fā)生器進行調(diào)節(jié)控制，所以本實用新型可實現(xiàn)高速、多通道、高精度的光纖 光柵波長解調(diào)。


圖1是本實用新型嵌入式多通道高速光纖光柵解調(diào)系統(tǒng)的連接結(jié)構(gòu)原理圖
圖中1一寬帶熒光源2 —三端環(huán)形器3 — "N光開關(guān) 4一FBG光纖光柵 傳感探頭.5 —斜面光纖頭6—2*1耦合器7 —高精度FP干涉儀8 —光電檢 測模塊9一溫度控制模塊IO—鋸齒波發(fā)生器 ll一信號采集與處理模塊 12—計算機。
圖2是本實用新型嵌入式多通道高速光纖光柵解調(diào)系統(tǒng)內(nèi)所述的信號采集與處 理模塊的結(jié)構(gòu)框圖中2-1 —高速DAC， 2-2 —高速ADC， 2-3—FPGA， 2-4—隨即存儲器 RAM， 2-5—DSP， 2-6—RS-232串行通信接口。
具體實施方式
為進一步說明本實用新型的上述目的、結(jié)構(gòu)特點和效果，以下將結(jié)合附圖對本 實用新型進行詳細的描述，但不應(yīng)以此限制本實用新型的保護范圍。
參照圖1，本實用新型嵌入式多通道高速光纖光柵傳感器解調(diào)系統(tǒng)，由寬帶熒
6光源l、三端環(huán)形器2、 PN光開關(guān)3、光纖布拉格光柵傳感探頭4、斜面光纖頭5、 2*1耦合器6、高精度FP干涉儀7、光電檢測模塊8、溫度控制模塊9、鋸齒波發(fā)生 器10、信號采集與處理模塊11和計算機12組成，上述各元部件的連接關(guān)系如下-
所述的寬帶熒光源1的輸出端通過光纖接所述的2*1耦合器6第一輸入端，該 2*1耦合器6的輸出端連接所述的高精度FP干涉儀7;所述的寬帶熒光源1的輸出 端經(jīng)過光纖連接所述的三端環(huán)形器2的第一端口，該三端環(huán)形器2的第二端口經(jīng)過 所述的1*N光開關(guān)3與N個所述的FBG光纖光柵傳感頭4連接，該N個FBG傳感 頭4的每一個FBG傳感頭4均具有斜面光纖頭5，所述的三端環(huán)形器2的第三端口 再與所述的2*1耦合器6另一輸入端連接；所述的溫度控制模塊9與所述的高精度 FP干涉儀7相連，精確控制所述的高精度FP干涉儀7的工作溫度；所述的鋸齒波 發(fā)生器10的輸出端連接所述的高精度FP干涉儀7，為其提供驅(qū)動高壓，使所述的 高精度FP干涉儀7穩(wěn)定輸出波長變化的光信號；所述的高精度FP干涉儀7輸出帶 有波長信息的光信號經(jīng)過所述的光電檢測模塊8檢測轉(zhuǎn)變成電信號后傳輸?shù)剿龅?信號采集與處理模塊11進行數(shù)據(jù)處理，該信號采集與處理模塊11與所述的計算機 12和鋸齒波發(fā)生器10建立通訊連接，該信號采集與處理模塊11與所述的1*N光開 關(guān)3相連，并對所述的"N光開關(guān)3進行控制。
所述的信號采集與處理模塊11，參見圖2，是由現(xiàn)場可編程門陣列2-3和數(shù)字 信號處理器2-5相結(jié)合構(gòu)成的，所述的現(xiàn)場可編程門陣列2-3通過模數(shù)轉(zhuǎn)換器2-2 (Analog-to-Digital Converter,簡稱為ADC)，采樣速率40M (sample rate)采集從 所述的光電檢測模塊8檢測出來的光波長信息數(shù)據(jù)，變成數(shù)字數(shù)據(jù)并存貯到隨機存 取存儲器(2-4) (Random-Access Memory)中；所述的數(shù)字信號處理器(2-5)從所 述的隨機存取存儲器2-4中讀取數(shù)字數(shù)據(jù)，作傅立葉變換，通過RS-232串行通信接 口2-6把處理后的數(shù)據(jù)發(fā)送給計算機12，為其提供波長的數(shù)字信息，所述的現(xiàn)場可 編程門陣列2-3還通過高速數(shù)模轉(zhuǎn)換器2-1 (Digital-to-Analog Converter,簡稱為DAC) 轉(zhuǎn)換頻率(update rate 10M)與所述鋸齒波發(fā)生器10相連，所述的現(xiàn)場可編程門陣 列2-3還直接與所述的1*N光開關(guān)3相連。
所述的計算機12具有VC++6.0光纖光柵解調(diào)的軟件，對所述的信號采集與處 理模塊11經(jīng)RS-232串行通信口傳輸?shù)臄?shù)據(jù)進行高斯擬合，利用人性化的界面方便 顯示出解調(diào)結(jié)果。
所述的寬帶熒光源1是高平坦度頻譜的慘鉺熒光源。所述的多通道解調(diào)是經(jīng)過所述的三端環(huán)形器2、 1*N光開關(guān)3和信號采集與處
理模塊ll實現(xiàn)的。
所述的鋸齒波發(fā)生器10是由芯片NE555構(gòu)成的。
本實用新型嵌入式多通道高速光纖光柵傳感器解調(diào)系統(tǒng)的所有模塊集成在一工 控機的機箱內(nèi)。
本實用新型的工作過程
寬帶熒光源1輸出的寬帶熒光經(jīng)過耦合光纖輸入三端環(huán)形器2第一接口，該三 端環(huán)形器2的第二接口經(jīng)過1*N光開關(guān)3輸出到FBG光纖光柵傳感探頭4，經(jīng)過被 測量的物理作用，其反射光波長發(fā)生改變，經(jīng)過所述的三端環(huán)形器2由第三接口的 反射光與寬帶熒光源1的發(fā)射光在所述的2*1耦合器6內(nèi)耦合后進入所述的高精度 FP干涉儀7。高精度FP干涉儀7滿足
1、 導(dǎo)通頻帶窄，通帶在16pm 32pm之間；
2、 掃描穩(wěn)定度高，重復(fù)掃描誤差小于8pm;
3、 波長分辨率高，精細度達到4000;
4、 掃描范圍大，處于C波段內(nèi)且大于40nm;
5、 調(diào)諧頻率高，為lKHz。
所述的鋸齒波發(fā)生器10所產(chǎn)生的鋸齒波形電壓在40V 120V范圍內(nèi)變化，由高 精度FP干涉儀7的特性可知，高精度FP干涉儀7輸出的光波長對應(yīng)在1527nm~ 1567nm之間變化。當反射光進入所述的高精度FP干涉儀7時，寬帶熒光源1發(fā)射 的光波長與其中某一 FBG光纖光柵傳感頭4反射的中心波長相等時，反射光就會通 過高精度FP干涉儀7進入到光電檢測模塊8中。鋸齒波發(fā)生器10采用NE555定時 器構(gòu)成高精度、低失真鋸齒波發(fā)生電路，頻率lKHz 10KHz范圍內(nèi)可調(diào)。為使輸出 光波長精確，溫度控制模塊8內(nèi)部由高精度集成運算放大器構(gòu)成硬件PID電路和半 導(dǎo)體制冷片的驅(qū)動器組成，通過半導(dǎo)體制冷片和熱敏電阻相結(jié)合的方式來穩(wěn)定高精 度FP干涉儀7的工作溫度。熱敏電阻將高精度FP干涉儀7的溫度反饋給溫度控制 模塊8，溫度控制模塊8經(jīng)過內(nèi)部PID運算，將結(jié)果反饋給內(nèi)部的半導(dǎo)體制冷片的 驅(qū)動器，再由半導(dǎo)體制冷片的驅(qū)動器輸出相應(yīng)的驅(qū)動量給半導(dǎo)體制冷片使其制冷或 加熱，以穩(wěn)定控制高精度FP干涉儀7的工作溫度。半導(dǎo)體制冷片和熱敏電阻均需要 緊貼高精度FP干涉儀7，從而減小溫控誤差。熱敏電阻采用10KQ②25。C的負溫度
系數(shù)熱敏電阻，整個溫度控制模塊最終達到溫控精度為o.rc。光電檢測模塊8主要由光電二極管PIN構(gòu)成，其把從FP干涉儀7解調(diào)出的光 波長偏移量轉(zhuǎn)換為電信號，利用前置放大器放大后再經(jīng)過40M高速ADC轉(zhuǎn)換為數(shù) 字信號輸入到信號采集與處理模塊11。
在信號采集與處理模塊ll中，F(xiàn)PGA采集獲得光波長位移量的數(shù)字信息，進行 數(shù)據(jù)的初級處理，排除不合理的數(shù)據(jù)，接收從模數(shù)轉(zhuǎn)換器ADC2 — 2得到的光電檢測 模塊8檢測出來的光波長信息。40M高速ADC2—2獲得光電檢測模塊8的模擬電 信號，然后將其轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并不間斷地傳輸?shù)紽PGA2—3， FPGA2—3經(jīng)檢測無 誤后，輸入到RAM2—4中。RAM2—4將數(shù)據(jù)存貯成FIFO(先進先出First-in First-out) 隊列。FPGA給RAM發(fā)送16K字節(jié)數(shù)據(jù)后通知DSP讀取RAM中的數(shù)據(jù)。然后DSP2 一5利用其內(nèi)部的模塊對數(shù)據(jù)進行傅里葉變換，去掉光波長信息中的毛刺，獲得較 為平滑的類似高斯曲線的數(shù)據(jù)點集。處理完畢后DSP將這一組類似高斯曲線的數(shù)據(jù) 點集通過RS232串口通信接口發(fā)送給計算機12，為其提供檢測波長的數(shù)字信息。然 后DSP處于等待狀態(tài)，等待FPGA發(fā)送讀取數(shù)據(jù)的通知。
光纖光柵反射峰功率譜密度曲線可用高斯函數(shù)近似表達為
/(AW。exp[-41n2(^^)2]
式中，/。為反射峰強度峰值，^為此時對應(yīng)的波長值，A^為反射譜3dB帶寬。在 計算機12內(nèi)部的VC++6.0光纖光柵解調(diào)的軟件中通過高斯擬合，即用高斯函數(shù)對 數(shù)據(jù)點集進行函數(shù)逼近的擬合方法，求得反射峰中心波長^，從而得到傳感信息。 我們按照使誤差的平方和最小的原則擬合曲線。誤差的平方和為
"^)二尤K.-7(A;;y]。首先給出參數(shù)^一個初始值，然后逐步迭代
=v" - °其中/,為這組數(shù)據(jù)點集中的每個點的數(shù)值，義,為每個
點所對應(yīng)的波長。擬合過程是在￥。++6.0光纖光柵解調(diào)的軟件中完成，然后由計 算機12顯示出來。
信號采集與處理模塊11也通過一個速度達到10M的高速DAC2—1對鋸齒波發(fā) 生器10進行反饋和控制。正常情況下，可由鋸齒波發(fā)生器IO自行產(chǎn)生一個峰-峰值 為40V 120V的鋸齒波，對應(yīng)的高精度FP干涉儀7輸出的光波長對應(yīng)在1527nm~ 1567nm之間變化。需要時，可由信號采集與處理模塊11內(nèi)的高速DAC2—1直接產(chǎn)
9生特定模擬電壓進入所述的鋸齒波發(fā)生器10，對應(yīng)著FP干涉儀7進行特定波長的 導(dǎo)通頻帶掃描。信號采集與處理模塊11內(nèi)部同時運行了 FPGA和DSP兩個微處理 器，它們之間用一個共享的雙口隨機存取存儲器RAM2—4，可以在FPGA存儲數(shù)據(jù) 的同時，DSP讀取之前所存儲的內(nèi)容，實現(xiàn)傳感信息的高速解調(diào)。
此外，信號采集與處理模塊11也與1*N光開關(guān)3直接相連，在默認情況下，1*N 光開關(guān)3自動實施逐個通道的依次掃描，在需要的時候可以直接控制所述的PN光 開關(guān)3的開啟通道。所述的"N光開關(guān)的切換時間小于10ms，也就是在ls內(nèi)可以 轉(zhuǎn)換通道100次。
經(jīng)實驗表明，本實用新型的最終實現(xiàn)的嵌入式多通道高速光纖光柵解調(diào)系統(tǒng)性 能為單通道解調(diào)速度達到lKHz，解調(diào)精度為lpm (10—12m);多通道(=8時)同 時解調(diào)速度達到200Hz，解調(diào)精度為lpm (10—12m)。
權(quán)利要求1、一種嵌入式多通道高速光纖光柵傳感器解調(diào)系統(tǒng)，其特征在于它由寬帶熒光源(1)、三端環(huán)形器(2)、1*N光開關(guān)(3)、N個光纖布拉格光柵傳感探頭(4)、2*1耦合器(6)、高精度FP干涉儀(7)、光電檢測模塊(8)、溫度控制模塊(9)、鋸齒波發(fā)生器(10)、信號采集與處理模塊(11)和計算機(12)組成，其中N為≥2的正整數(shù)，上述各元部件的連接關(guān)系如下所述的寬帶熒光源(1)的輸出端通過光纖接所述的2*1耦合器(6)第一輸入端，該2*1耦合器(6)的輸出端連接所述的高精度FP干涉儀(7)；所述的寬帶熒光源(1)的輸出端經(jīng)過光纖連接所述的三端環(huán)形器(2)的第一端口，該三端環(huán)形器(2)的第二端口經(jīng)過所述的1*N光開關(guān)(3)與N個所述的FBG光纖光柵傳感頭(4)連接，該N個FBG傳感頭(4)的每一個FBG傳感頭(4)均具有斜面光纖頭(5)，所述的三端環(huán)形器(2)的第三端口再與所述的2*1耦合器(6)另一輸入端連接；所述的溫度控制模塊(9)與所述的高精度FP干涉儀(7)相連，精確控制所述的高精度FP干涉儀(7)的工作溫度；所述的鋸齒波發(fā)生器(10)的輸出端連接所述的高精度FP干涉儀(7)，為其提供驅(qū)動高壓，使所述的高精度FP干涉儀(7)穩(wěn)定輸出波長變化的光信號；所述的高精度FP干涉儀(7)輸出帶有波長信息的光信號經(jīng)過所述的光電檢測模塊(8)檢測轉(zhuǎn)變成電信號后傳輸?shù)剿龅男盘柌杉c處理模塊(11)進行數(shù)據(jù)處理，該信號采集與處理模塊(11)與所述的計算機(12)和鋸齒波發(fā)生器(10)建立通訊連接，該信號采集與處理模塊(11)與所述的1*N光開關(guān)(3)相連，并對所述的1*N光開關(guān)(3)進行控制。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的嵌入式多通道高速光纖光柵傳感器解調(diào)系統(tǒng)，其特征 在于所述的信號采集與處理模塊(11)是由現(xiàn)場可編程門陣列(2-3)和數(shù)字信號處 理器(2-5)相結(jié)合構(gòu)成的，所述的現(xiàn)場可編程門陣列(2-3)通過模數(shù)轉(zhuǎn)換器(2-2) 采集從所述的光電檢測模塊(8)檢測出來的光波長信息數(shù)據(jù)，變成數(shù)字數(shù)據(jù)并存貯 到隨機存取存儲器(2-4)中；所述的數(shù)字信號處理器(2-5)從所述的隨機存取存儲 器(2-4)中讀取數(shù)字數(shù)據(jù)，作傅立葉變換，通過RS-232串行通信接口 (2-6)把處 理后的數(shù)據(jù)發(fā)送給計算機(12)，為其提供波長的數(shù)字信息，所述的現(xiàn)場可編程門陣 列(2-3)還通過高速數(shù)模轉(zhuǎn)換器(2-1)與所述鋸齒波發(fā)生器(10)相連，所述的現(xiàn) 場可編程門陣列(2-3)還直接與所述的"N光開關(guān)(3)相連。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的嵌入式多通道高速光纖光柵傳感器解調(diào)系統(tǒng)，其特征 在于所述的寬帶熒光源(1)是高平坦度頻譜的摻鉺熒光源。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的嵌入式多通道高速光纖光柵傳感器解調(diào)系統(tǒng)，其特征 在于所實現(xiàn)的多通道解調(diào)是經(jīng)過所述的三端環(huán)形器(2)、 "N光開關(guān)(3)和信號采 集與處理模塊(11)實現(xiàn)的。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的嵌入式多通道高速光纖光柵傳感器解調(diào)系統(tǒng)，其特征 在于所述的鋸齒波發(fā)生器(10)是由芯片NE555構(gòu)成的。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的嵌入式多通道高速光纖光柵傳感器解調(diào)系 統(tǒng)，其特征在于所有模塊集成在一臺工控機的機箱內(nèi)。
專利摘要一種嵌入式多通道高速光纖光柵傳感器解調(diào)系統(tǒng)，由寬帶熒光源、三端環(huán)形器、1*N光開關(guān)、N個光纖布拉格光柵傳感探頭、2*1耦合器、高精度FP干涉儀、光電檢測模塊、溫度控制模塊、鋸齒波發(fā)生器、信號采集與處理模塊和計算機組成，其中N為≥2的正整數(shù)。本實用新型具有波長分辨精度高、控制檢測方便、多通道采集和解調(diào)速度快等優(yōu)點。
文檔編號G02B6/35GK201322623SQ200820155750
公開日2009年10月7日 申請日期2008年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月21日
發(fā)明者安 孫, 朱小龍, 李國揚, 利 王, 胡佳成, 柏 陳, 陳嘉琳, 陳福昌 申請人:中國科學院上海光學精密機械研究所