專利名稱：無接觸地接通導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種裝置，其用于在基底中產(chǎn)生對于檢查至少一個構(gòu)造 在基底上的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)所必需的電場，以及這種裝置的應(yīng)用以及相應(yīng)方 法。
背景技術(shù)：
在檢查，特別是LCD (液晶)平面屏幕基底的檢查的領(lǐng)域中，例如 可以借助傳統(tǒng)的用于檢查導(dǎo)體電路結(jié)構(gòu)的方法檢查薄膜晶體管矩陣LCD 顯示器基底的性能和質(zhì)量。
DE 10 2005 022 884 Al z^開一種這樣的用于沖全查導(dǎo)體電3各結(jié)構(gòu)的 方法。它提供了一種用于無接觸地檢查構(gòu)造在平的支架上的導(dǎo)體電路結(jié) 構(gòu)的方法，該方法借助定位裝置將電極相對導(dǎo)體電路結(jié)構(gòu)以預(yù)定的距離 定位并且在電極和導(dǎo)體電3各結(jié)構(gòu)之間施加電壓。該電極在平行于支架的 平面內(nèi)運動，其中至少在選定的位置上測量通過與電極連接的電線的電 流。由電流的強度探測在導(dǎo)體電路結(jié)構(gòu)的部分區(qū)域內(nèi)的本地電壓狀態(tài)。 該電壓狀態(tài)可以應(yīng)用于確定導(dǎo)體電路結(jié)構(gòu)的質(zhì)量。由此可以識別由于導(dǎo) 體電路結(jié)構(gòu)的幾何變化產(chǎn)生的故障如短路、縮頸或者斷路。傳感器電極 以'J、的距離在基底的表面上方引導(dǎo)，并且借助電容式耦合測量電場的強 度。
為了產(chǎn)生對檢查必需的電場，特別是在LCD屏幕基底中的電場，必 需利用電信號激勵基底的導(dǎo)體電路。在完成了工藝過程的基底中，該電 信號通過機械式的接通對此設(shè)置的饋電線，即所謂的墊實現(xiàn)。這例如可 以通過尖頭，即所謂的測試或者柔性接觸器實施。這例如在一種裝置中 并利用一種根據(jù)DE 10 2006 054 089.1的方法進行，該文獻公開了一 種用于檢查導(dǎo)體電路結(jié)構(gòu)的傳感器元件、裝置和方法。
DE 1 0 2 006 054 089. 1 7>開了 一種用于沖全查構(gòu)造在平面支架上的導(dǎo) 體電路結(jié)構(gòu)的傳感器元件。該傳感器元件在此包括基底，該基底在機械 上這樣結(jié)構(gòu)，即它具有隆起的上部區(qū)域和凹陷的下部區(qū)域，其中平的上 部區(qū)域和凹陷的下部區(qū)域通過優(yōu)選階梯形的過渡區(qū)域互相連4妻。該傳感 器元件此外包括多個傳感器電極以及多個用于多個傳感器電極的導(dǎo)電連接的連接導(dǎo)線，該傳感器電極構(gòu)造在平的上部區(qū)域中。在此每個傳感 器電極配屬了 一根連接導(dǎo)線，該連接導(dǎo)線從相應(yīng)的傳感器電極延伸直到 凹陷的下部區(qū)域。它此外還說明了一種用于檢查導(dǎo)體電路結(jié)構(gòu)的裝置和 方法。此外還提供了一種上述傳感器元件的生產(chǎn)方法。
這種現(xiàn)有技術(shù)具有此缺點，即當基底在還不能提供接觸導(dǎo)體電路的 可能性的工藝過程中，無法進行檢查。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務(wù)是，提供一種用于在基底中產(chǎn)生對于檢查至少 一個構(gòu) 造在基底上的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)所必需的電場的裝置和方法，使得同樣在導(dǎo)電結(jié) 構(gòu)不能傳統(tǒng)地進行機械式接通的基底上也可以實施檢查。特別是在這種 基底的所有生產(chǎn)方法階段中都應(yīng)該可以實施檢查。它提出傳統(tǒng)的裝置和 傳統(tǒng)的方法的擴展方案，利用該擴展方案，同樣可以在部分完成工藝過 程中的基底的情況下實施檢查。完全完成工藝過程的基底的檢查同樣是 可以實施的。
該任務(wù)通過根據(jù)獨立權(quán)利要求的裝置，根據(jù)并列獨立權(quán)利要求的方 法和根據(jù)另外的并列獨立權(quán)利要求的應(yīng)用解決。
基底在所有生產(chǎn)方法階段中的檢查可以通過機械式無接觸地激勵 導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，特別是導(dǎo)體電路來實施。
通過根據(jù)本發(fā)明的裝置或者根據(jù)本發(fā)明的方法或者根據(jù)本發(fā)明的
應(yīng)用得出下面的優(yōu)點
a) 完全取消傳統(tǒng)的昂貴的并且基底專用的接通機械機構(gòu)。這一方 面對客戶產(chǎn)生巨大的節(jié)約潛力，因為產(chǎn)品更換可以無需機械改造或者基
底接通的改變而實施。同樣取消了昂貴的接通裝置的維護和支承。此外 節(jié)約生產(chǎn)成本。
b) 不再需要在正面接觸觸點表面。這導(dǎo)致可能的污染或者觸點表 面的損壞的有效減小。這是特別有利的，因為該觸點表面以后在組裝時， 特別是LCD屏幕的組裝時一般要應(yīng)用。
c) 對結(jié)構(gòu)布置提供了很大的靈活性，因為不再必須提供測試或者 短路結(jié)構(gòu)。以這種方式可以優(yōu)化基底表面的充分利用。
其它有利的設(shè)計方案結(jié)合從屬權(quán)利要求提出。
根據(jù)一種有利的設(shè)計方案，在導(dǎo)電結(jié)構(gòu)中耦入電信號。以這種方式 產(chǎn)生場。根據(jù)另 一種有利的設(shè)計方案，該電信號電容式地耦入導(dǎo)電結(jié)構(gòu)中。 根據(jù)另一種有利的設(shè)計方案，該電信號通過大的表面耦入導(dǎo)電結(jié)構(gòu)中。
根據(jù)另一種有利的設(shè)計方案，該大的表面由基底支架或者單獨的平 面電極提供。該基底支架可以包含單獨的平面電極，電信號要施加在該 平面電極上。然后基底支架可以是電中性的。以這種方式減小了干擾信 號的產(chǎn)生。
根據(jù)另一種有利的設(shè)計方案，該基底支架或者單獨的平面電極定位 在基底的下面，并且該電信號穿過基底耦入。
根據(jù)另一種有利的設(shè)計方案，該基底是液晶顯示器(LCD)的屏幕 玻璃基底，并且該導(dǎo)電結(jié)構(gòu)是TFT電極(薄膜晶體管電極)的導(dǎo)體電路。
因為不再需要在正面接觸觸點表面，避免了觸點表面可能的污染或者損 壞。觸點表面以后在LCD屏幕的組裝時一般要應(yīng)用。
根據(jù)另 一種有利的設(shè)計方案，該導(dǎo)電結(jié)構(gòu)不是導(dǎo)電連接的和/或替 代地是介電的。導(dǎo)體電路結(jié)構(gòu)在表面上必須不再是導(dǎo)電連接的，也就是 說，每個任意的結(jié)構(gòu)，也就是導(dǎo)電的或者介電的結(jié)構(gòu)，都可以接通并且 是可視化的。以這種方式原則上可以在每個工藝過程步驟后進行檢查。 客戶得到更多的靈活性，并且可以更好地控制他的工藝過程。這是本發(fā) 明的另一個優(yōu)點。
根據(jù)另 一種有利的設(shè)計方案，可以在對導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的無接觸地檢查時 應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明的裝置或者根據(jù)本發(fā)明的方法，其中對于這樣的方法， 至少一個傳感器電極以小的距離在基底的表面上方引導(dǎo)，并且借助電容 式耦合測量電場的強度。根據(jù)本發(fā)明的裝置或者根據(jù)本發(fā)明的方法同樣 可以在這樣的用于無接觸地檢查導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的裝置中應(yīng)用。


本發(fā)明借助實施例結(jié)合附圖詳細說明。圖中示出 圖1是根據(jù)本發(fā)明的實施例的示意圖2示出了一種傳統(tǒng)的試驗裝置以及一種根據(jù)本發(fā)明的試驗裝置; 圖3示出了按照現(xiàn)有技術(shù)的測量結(jié)果以及按照本發(fā)明的測量結(jié)果。 圖1、 2和3示出了用于64通道傳感器的實施例。
具體實施例方式
圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的無接觸地激勵的實施例的示意圖。對導(dǎo)電
結(jié)構(gòu)3，特別是導(dǎo)體電路的無接觸的激勵由此提供，即電信號9借助處 于基底1、特別是TFT (薄膜晶體管)玻璃基底1下方的基底支架5或 者卡盤輸入導(dǎo)體電路中，。這導(dǎo)致，單個的墊或者觸點表面不必被接觸。 電信號9在上側(cè)面在基底1的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)3中的耦入通過玻璃基底電容式 地提供?；字Ъ?布置在與基底支架5電隔離的基礎(chǔ)7上。按照根據(jù) 圖1的實施例，特別是用于激勵的電壓信號的信號9直接施加到基底支 架5上。
圖2在左側(cè)示出了一種按照現(xiàn)有技術(shù)的試驗裝置并且在右側(cè)示出了 一種按照本發(fā)明的試驗裝置。在左側(cè)示出了具有昂貴的電觸點單元的 LCD基底1。在右側(cè)示出了不帶傳統(tǒng)的電觸點單元的LCD基底1。右側(cè)的 示意圖示出了 一種根據(jù)本發(fā)明的裝置或者說明了 一種根據(jù)本發(fā)明的方 法。左側(cè)的示意圖示出了在基底支架5上的帶有傳統(tǒng)的觸點單元的LCD 面板。右側(cè)的示意圖示出了一種不帶傳統(tǒng)的觸點單元的LCD面板1，而 是利用電容式的接通。標記9表示用于激勵的電信號，特別是電壓信號。 原則上基底支架5同樣可以具有單獨的平面電極，用于激勵的電壓信號 9可以施加到該電極上。然后基底支架5自身可以是電中性的。以這種 方式可以減小干擾信號的產(chǎn)生。基底支架5布置在基礎(chǔ)7上。基底l具 有要檢查的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)3。
圖3示出了按照現(xiàn)有技術(shù)的測量結(jié)果以及按照本發(fā)明的測量結(jié)果。 在圖3中上面的示意圖示出了利用機械式的接通的基底的故障結(jié)構(gòu)。在 機械式的、選擇性的、機械接通的情況下，有故障的位置明確地作為黑 色的像素識別出。下面的示意圖示出了利用電容式的接通的故障結(jié)構(gòu)。 圖3的下面的示意圖示出了利用電容式的，也就是說，無接觸地接通的 故障結(jié)構(gòu)。具有電容式的接通的故障圖盡管具有較小的細節(jié)豐富度，不 過仍然可以明顯識別出。單個行的水平的亮度變化是由于所應(yīng)用的多通 道傳感器的未發(fā)生的敏感性修正而造成的。
權(quán)利要求
1.一種裝置，用于在基底(1)中產(chǎn)生對檢查至少一個構(gòu)造在基底(1)上的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)所必需的電場，其特征在于，所述場通過機械上無接觸地激勵所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)而產(chǎn)生。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，將電信號(9)耦入 所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)中。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述電信號(9)電 容式地耦入導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)中。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的裝置，其特征在于，所述電信號(9) 通過大的表面耦入導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)中。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述大的表面由基 底支架(5)或者單獨的平面電極提供。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述基底支架(5) 或者單獨的電極定位在基底(1)下方，特別是在與基底支架(5)或者 電極電隔離的基礎(chǔ)(7)上，并且所述電信號(9)穿過基底(1)耦入。
7. 根據(jù)前述權(quán)利要求1至6中任意一項所述的裝置，其特征在于， 所述基底(1 )是液晶顯示器(LCD)的屏幕玻璃基底，并且導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3) 是TFT電極(薄膜晶體管電極)的導(dǎo)體電路。
8. 根據(jù)前述權(quán)利要求1至7中任意一項所述的裝置，其特征在于， 所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)可以是不導(dǎo)電連接的或者替代地是介電的。
9. 根據(jù)前述權(quán)利要求1至8中任意一項所述的裝置的應(yīng)用，用于 無接觸地檢查導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)的方法，其中在該方法中，至少一個傳感 器電極以小的距離在基底(1)的表面上方引導(dǎo)，并且電場的強度借助 電容式耦合來測量。
10. 根據(jù)前述權(quán)利要求1至8中任意一項所述的裝置的應(yīng)用，用于 無接觸地檢查導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)的裝置中，其中該裝置將至少一個傳感器 電極以小的距離在基底(1)的表面上方引導(dǎo)，并且電場的強度借助電 容式耦合來測量。
11. 用于在基底(l)中產(chǎn)生對于檢查至少一個構(gòu)造在基底(1 )中 上導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)所必需的電場的方法，其特征在于，所述場通過機械 上無接觸地激勵所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)而產(chǎn)生。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，電信號(9)耦入所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)中。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述電信號(9) 電容式地耦入導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)中。
14. 根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的方法，其特征在于，所述電信號 (9)通過大的表面耦入導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)中。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，所述大的表面由 基底支架(5)或者單獨的平面電極提供。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，所述基底支架(5 ) 或者單獨的電極定位在基底(1)下方，特別是在與基底支架(5)或者 電極電隔離的基礎(chǔ)(7)上，并且所述電信號(9)穿過基底(1)耦入。
17. 根據(jù)前述權(quán)利要求11至16中任意一項所述的方法，其特征在 于，所述基底(1)是液晶顯示器(LCD)的屏幕玻璃基底，并且導(dǎo)電結(jié) 構(gòu)(3)是TFT電極(薄膜晶體管電極)的導(dǎo)體電路。
18. 根據(jù)前述權(quán)利要求11至17中任意一項所述的方法，其特征在 于，所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)可以是不導(dǎo)電連接的或者替代地是介電的。
19. 根據(jù)前述權(quán)利要求11至18中任意一項所述的方法的應(yīng)用，用 于無接觸地檢查導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)的方法，其中在該方法中，至少一個傳感 器電極以小的距離在基底(1)的表面上方引導(dǎo)，并且電場的強度借助 電容式耦合來測量。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種無接觸地接通導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的裝置和方法，即一種用于在基底(1)中產(chǎn)生對檢查至少一個構(gòu)造在基底(1)上的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)所必需的電場的裝置和方法。本發(fā)明的特征在于，所述場通過機械上無接觸地激勵所述導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)而產(chǎn)生。以這種方式，對于不能以傳統(tǒng)的機械接通的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)(3)，同樣可以實施對基底(1)的檢查。根據(jù)本發(fā)明，這種檢查在這種基底(3)的所有生產(chǎn)方法階段中都可以實施。
文檔編號G02F1/13GK101614885SQ20081017395
公開日2009年12月30日 申請日期2008年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月27日
發(fā)明者H·克勞斯曼, K·克拉格勒 申請人:西門子公司