專利名稱：：感光性樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物。技術(shù)背景本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物。更具體地說，涉及用于形成構(gòu)成液晶顯示裝置的一部分的固化樹脂圖案的材料，例如光間隔物(photospacer)、絕緣膜、控制液晶取向的突起、保護(hù)膜、用于配合著色圖案的膜厚的涂層等的適合形成固化樹脂圖案的感光性樹脂組合物，以及具備上述固化樹脂圖案的液晶顯示裝置。構(gòu)成液晶顯示裝置的濾色器一側(cè)的基板與陣列一側(cè)的基板之間為保持兩基板之間的一定間隔而設(shè)置有間隔物。該間隔物以往使用玻璃珠、塑料珠等球形顆粒。但是，如果使用上述球形顆粒，則該球形顆粒無秩序地散布在玻璃基板上，對TFT元件或電極等造成損傷，另外，該球形顆粒存^于透射像素部內(nèi)時，入射光被該球形顆粒散射，導(dǎo)致液晶顯示裝置的對比度降低。因此，人們提出了使用感光性樹脂組合物形成間隔物，以此代替使用球形顆粒作為間隔物的方法。根據(jù)該方法，可以在任何場所形成間隔物，因此可以解決上述問題。間隔物是用于規(guī)定液晶層的厚度、左右濾色器顯示質(zhì)量的重要部位，因此要求高耐熱性、高硬度等高可靠性(專利文獻(xiàn)1)?？捎米魃厦蚤g隔物的形成的感光性樹脂組合物已知有含有高分子成分作為粘合劑的組合物(專利文獻(xiàn)2)。伴隨著液晶顯示裝置中顯示性能的精細(xì)化，間隔物的精細(xì)化也得到了進(jìn)展(專利文獻(xiàn)3)。專利文獻(xiàn)l:日本特開平11-293837號公報第6頁、左26行-29行專利文獻(xiàn)2:日本特開2003-345015號公報權(quán)利要求1專利文獻(xiàn)3:日本特開2006-195096號公報第4頁7行-13行
發(fā)明內(nèi)容使用含有重均分子量超過1，500的高分子成分作為粘合劑的感光性樹脂組合物得到的間隔物的涂膜物性良好，但是析像度不足，還有改善余地。因此，本發(fā)明的目的在于提供可以以高分辨形成耐溶劑性和耐熱性優(yōu)異的固化樹脂圖案的新型感光性樹脂組合物。本發(fā)明人對于可解決上述課題的新方法進(jìn)行了深入的研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)本發(fā)明的感光性樹脂組合物可以解決上迷課題，從而完成了本發(fā)明。即，本發(fā)明提供以下的[l]-[10]。[1]感光性樹脂組合物，該感光性樹脂組合物含有粘合劑成分(A)和光聚合引發(fā)劑(B),粘合劑成分(A)含有光聚合性化合物(Al)、光聚合性化合物(A2)，光聚合性化合物(Al)具有1個或以上羧基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵，光聚合性化合物(A2)不具有羧基；粘合劑成分(A)的重均分子量為1，500或以下。[2][l]的感光性樹脂組合物，其中，具有1個或以上羧基和2個或羥基;2i或以:不飽和雙鍵S化合物反應(yīng)的產(chǎn)物。、一、[3][1]或[2]的感光性樹脂組合物，其中，不具有羧基的光聚合性化合物(A2)含有式(I)所示的化合物(A2-l):<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>[式(I)中，W表示碳原子數(shù)1-6的亞烷基，W表示具有可聚合的不飽和鍵的基團(tuán)，m表示卜6的整數(shù)]。[4][1]-[3]中任一項(xiàng)的感光性樹脂組合物，其中，具有l(wèi)個或以上羧4于粘合^成分:A)i安照質(zhì)i比例為、io:;質(zhì)量％，不具有羧基的光聚合性化合物(A2)的含量為1-90質(zhì)量％。[5][3]或[4]的感光性樹脂組合物，其中，式(I)所示化合物(A2-1)的含量相對于不具有羧基的光聚合性化合物(A2)按照重量比例為0.1-70質(zhì)量％。[6]固化樹脂圖案，該固化樹脂圖案是使用[l]-[5]的感光性樹脂組合物形成的。[7][6]的固化樹脂圖案，其中，固化樹脂圖案是光間隔物。[8]固化樹脂圖案的制備方法，該方法在基板上涂布[l]-[5]中任一項(xiàng)的感光性樹脂組合物，除去溶劑后經(jīng)由掩模照射放射線，接著用堿水溶液顯影，形成規(guī)定的圖案，然后加熱。[9]固化樹脂圖案的制備方法，該制備方法在基板上涂布[l]-[5]中任一項(xiàng)的感光性樹脂組合物，除去溶劑后經(jīng)由掩模照射放射線，接著用堿水溶液顯影，形成規(guī)定的圖案，然后照射紫外線。[10]液晶顯示裝置，該液晶顯示裝置具有[6]或[7]的固化樹脂圖案。使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物，可以以高析像度形成耐溶劑性和耐熱性優(yōu)異的固化樹脂圖案。具體實(shí)施方式以下詳細(xì)說明本發(fā)明。本發(fā)明的感光性樹脂組合物主要作為固化樹脂圖案形成材料使用，含有粘合劑成分(A)和光聚合引發(fā)劑(B)，它們?nèi)芙饣蚍稚⒂谌軇?D)中。其中所述粘合劑成分(A)含有具有1個或以上羧基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵的光聚合性化合物(Al)、不具有羧基的光聚合性化合物(A2)。本發(fā)明的粘合劑成分表示從組合物中除去光聚合引發(fā)劑(B)和溶劑(D)以及根據(jù)需要含有的添加劑(E)后的成分。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中使用的具有1個或以上羧基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵的光聚合性化合物(Al)，其結(jié)構(gòu)沒有特別限定，優(yōu)選酸酐與具有1個羥基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵的化合物的反應(yīng)產(chǎn)物等。酸酑與具有1個羥基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵的化合物的反應(yīng)產(chǎn)物中所使用的酸酐例如有二羧酸酐、四羧酸二酐等。二羧酸酐例如有琥珀酸酐、1-十二碳烯琥珀酸酐、馬來酸酐、戊二酸酐、衣糠酸酐、鄰苯二甲酸酐、六氪鄰苯二甲酸酐、甲基六氬鄰苯二甲酸酐、四亞甲基馬來酸酐、四氫鄰苯二曱酸酐、曱基四氫鄰苯二甲酸酐、內(nèi)亞甲基四氬鄰苯二甲酸酐、曱基內(nèi)亞甲基四氬鄰苯二甲酸酐、四氯鄰苯二甲酸酐、四溴鄰苯二甲酸肝、偏苯三酸酐等。四羧酸二6f例如有丁烷四羧酸二酐、1，2，3，4-環(huán)丁烷四羧酸二酐、1,3-二甲基-l，2,3,4-環(huán)丁烷四羧酸二酐、1，2,3，4-環(huán)戊烷四羧酸二酐、2，3，5-三羧基環(huán)戊基乙酸二酐、3，5，6-三羧基降水片烷-2-乙酸二酐、2,3,4,5-四氫呋喃四羧酸二酐、5-(2,5-二氧代四氫-3-呋喃基)-3-甲基-3-環(huán)己烯-1，2-二羧酸二酐、1，4-雙(2，5-二氧代四氫-3-呋喃基)苯、1,4-雙(2,6-二氧代六氫_4-他喃基)苯、雙環(huán)[2，2，2]-辛-7-烯-2,3，5，6-四羧酸二酐、3，4-二羧基-l,2，3，4-四氫-l-萘琥珀酸肝、3,4-二羧基-1，2，3,4-四氫-6-甲基-1-萘琥珀酸酐等脂族酸二酐；均苯四曱酸二酐、3,3，,4,4，-二苯甲酮四羧酸二酐、3,3，,4,4，-聯(lián)苯砜四羧酸二酐、1,4,5，8-萘四羧酸二酐、2,3，6，7-萘四羧酸二酐、3,3，，4,4，-聯(lián)苯基醚四羧酸二酐、3,3，,4，4，-二甲基二苯基硅烷四羧酸二酐、3，3，，4,4，-四苯基硅烷四羧酸二酐、1,2,3,4-呋喃四羧酸二酐、4，4，-雙(3，4-二羧基苯氧基)二苯硫二酐、4，4，-雙(3,4-二羧基苯氣基)二苯砜二酐、4,4，-雙(3,4-二羧基苯氧基)二苯基丙烷二酐、3，3，，4，4，-全氟異亞丙基二鄰苯二甲酸二酐、3,3，,4,4，-聯(lián)苯基四羧酸二酑、雙(鄰苯二甲酸)苯基氧化膦二酐、對亞苯基-雙(三苯基鄰苯二甲酸)二酐、間亞苯基-雙(三苯基鄰苯二甲酸)二酐、雙(三苯基鄰苯二甲酸)-4，4，-二苯基醚二酐、雙(三苯基鄰苯二曱酸)-4，4，-二苯基曱烷二酐等芳族四羧酸二酐；具有下述結(jié)構(gòu)的化合物等。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>(II)[式(II)中，W表示碳原子數(shù)1-5的亞烷基]。上述各化合物中，優(yōu)選3，4-二羧基-1,2,3,4-四氫-1-萘琥珀酸二酐、5-(2,5-二氧代四氫-3-呋喃基)-3-甲基-3-環(huán)己烯-1，2-二羧酸二酐、4,4，-雙(3，4-二羧基苯氧基)二苯砜二酐。具有1個羥基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵的化合物中，可光聚合的不飽和鍵例如來自(甲基)丙烯基等。本說明書中，(曱基)丙烯基表示選自丙烯基或甲基丙烯基的至少一種基團(tuán)。(曱基)丙烯酸酯表示選自丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的至少一種。具有1個羥基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵的化合物有二(甲基)丙烯酸甘油酯、二(甲基)丙烯酸三羥甲基丙烷酯、三(甲基)丙烯酸二(三羥甲基丙烷)酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、五(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯等，優(yōu)選二(曱基)丙烯酸甘油酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯。酸酐與具有l(wèi)個羥基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵的化合物的反應(yīng)例如可根據(jù)需要，在加熱下通過攪拌混合進(jìn)行。反應(yīng)時的溫度通常為0-200。c，優(yōu)選30-180。c，更優(yōu)選40-160。c。反應(yīng)時的溫度在上述范圍內(nèi)，則可以將反應(yīng)的進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整，還可以抑希望的副反應(yīng)，因此優(yōu)選。上述反應(yīng)中，為抑制副反應(yīng)，可以使用阻聚劑。阻聚劑例如有氧或氫醌一甲醚等。使用這些阻聚劑時，其量在反應(yīng)體系中通常以5000ppm或以下、優(yōu)選700ppm或以下使用。反應(yīng)可以在無催化劑的條件下進(jìn)行，也可以根據(jù)需要使用催化劑?？梢允褂玫拇呋瘎├缬腥野贰⑦拎?、N-甲基咪唑、二氮雜雙環(huán)十一碳烯、二氮雜雙環(huán)辛烷等堿性化合物，三甲基千基氯化銨、四丁基溴化銨等銨鹽。另外，也可以使用其它的酸或堿等公知的催化劑。反應(yīng)可在無溶劑條件下進(jìn)行，也可以使用溶劑?？梢允褂帽家患酌岩宜狨サ葋喭榛家煌榛宜狨ヮ悺⒍蚀级趺训让杨?、甲基乙基酮等酮類、乙酸乙酯等酯類、以及甲苯等芳族烴類等。性化合物(a/)例如有r琥礎(chǔ)酸酐:馬來^酐:衣糠j酐、鄰苯二(酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、偏苯三酸酐、雙環(huán)[2，2,2]-辛-7-烯-2,3，5,6-四羧酸二酐、均苯四甲酸二酐、1mol3，4-二羧基-1,2，3,4-四氫-1-萘琥珀酸二Sf與2mol三丙烯酸季戊四醇酯的反應(yīng)產(chǎn)物、均笨四甲酸二酐、4，4，-二苯甲酮四羧酸二酐、3,3，，4，4，-聯(lián)苯砜四羧酸二酐等，優(yōu)選lmol3,4-二羧基-l,2，3，4-四氫-l-萘琥珀酸二酐與2mol三丙烯酸季戊四醇酯的反應(yīng)產(chǎn)物、1mol4，4，-聯(lián)苯砜四羧酸二酐與2mol三丙烯酸季戊四醇酯的反應(yīng)產(chǎn)物、1mol5-(2,5-二氧代四氫-3-呋喃基)-3-甲基-3-環(huán)己烯-l,2-二羧酸二酐與2mol三丙烯酸季戊四醇酯的反應(yīng)產(chǎn)物。化合物(Al)-的含量I目;于粘合-劑成分^A〖的合i;量，按照質(zhì)i比例優(yōu)選為10-99質(zhì)量％,更優(yōu)選30-99質(zhì)量％。具有1個或以上羧基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵的光聚合性化合物(Al)的含量在上述范圍內(nèi)，則顯影時難以發(fā)生曝光部位的膜減少，未曝光部位的除去性良好，難以發(fā)生顯影殘留，優(yōu)選。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有的不具有羧基的光聚合性化合物(A2)可以是單官能單體、雙官能單體、以及其它三官能或以上的多官能單體。單官能單體有(甲基)丙烯酸節(jié)酯、(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(曱基)丙烯酸三環(huán)癸酯、(甲基)丙烯酸壬基苯基卡必醇酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、(曱基)丙烯酸2-乙基己基卡必醇酯、N-乙烯基吡咯烷酮等。雙官能單體有二(曱基)丙烯酸乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸三甘醇酯、二(曱基)丙烯酸1,3-丁烷二醇酯、二(甲基)丙烯酸四亞甲基二醇酯、二(甲基)丙烯酸丙二醇酯、二(曱基)丙烯酸新戊二醇酯、二(曱基)丙烯酸己烷二醇酯、二(甲基)丙烯酸1，4-環(huán)己烷二醇酯、二(甲基)丙烯酸四甘醇酯、二(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、二(甲基)丙烯酸1,6-己烷二醇酯、雙酚A的雙(丙烯酰氧基乙基)醚、二(甲基)丙烯酸3-曱基戊烷二醇酯、二(曱基)丙烯酸庚烷二醇酯、二(甲基)丙烯酸辛烷二醇酯、二(曱基)丙烯酸壬烷二醇酯、二(甲基)丙烯酸三環(huán)癸烷二甲醇酯、亞曱基雙(曱基)丙烯酰胺、1,6-六亞曱基雙(曱基)丙烯酰胺、亞二甲苯基雙(甲基)丙烯酰胺等。其它三官能或以上的多官能單體有三(甲基)丙烯酸三羥曱基乙烷酯、三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙烷酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、三羥甲基丙烷三((甲基)丙烯酰氧基丙基)醚、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、五(曱基)丙烯酸二季戊四醇酯、六(曱基)丙烯酸二季戊四醇酯、三(曱基)丙烯酸山梨醇酯、四(曱基)丙烯酸山梨醇酯、五(曱基)丙烯酸山梨醇酯、六(曱基)丙烯酸山梨醇酯、三((甲基)丙烯酰氧基乙基)三聚異氰酸酯、二亞乙基三胺三(甲基)丙烯酰胺、式(III)、式(IV)所示化合物等。CH20—R6CH20—R7IIR5—OCH2——C——CH2——O——CH2—C——CH20—R8則IICH20—R4CH20—R9。上述乙烯基氨酯化合物例如可使用1個分子中含有2個或以上聚合性乙烯基的化合物(日本特公昭48-41708號公報)。含有聚合性乙烯基的化合物可以使用上述日本特開昭51-37193號中所記栽的丙烯酸氨酯類、以及日本接著協(xié)會雜志Vol.2(KNo.7、300-308頁(1984年)中作為光固化性單體介紹的化合物。不具有羧基的光聚合性化合物(A2)有在雙官能單體中優(yōu)選式(I)所示的化合物(A2-l)。。碳原子數(shù)1-6的亞烷基有亞甲基、亞乙基、亞丙基、亞異丙基、亞丁基、亞異丁基、亞戊基、亞異戊基、亞新戊基、亞己基、亞異己基等，優(yōu)選亞乙基、亞丙基。具有可聚合的不飽和鍵的基團(tuán)具體有(甲基)丙烯基。式(I)所示的化合物有二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸三甘醇酯、二(甲基)丙烯酸1，3-丁烷二醇酯、二(甲基)丙烯酸四亞甲基二醇酯、二(甲基)丙烯酸丙二醇酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、二(曱基)丙烯酸己烷二醇酯、二(甲基)丙烯酸1,4-環(huán)己烷二醇酯、二(甲基)丙烯酸四甘醇酯等，優(yōu)選二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸三甘醇酯、二(曱基)丙烯酸1,3-丁烷二醇酯。這些光聚合性化合物(A2)可以單獨(dú)或?qū)煞N或以上結(jié)合使用。其中，更優(yōu)選將式(I)所示化合物與三官能或以上的多官能單體結(jié)合使用。以粘合劑成分(A)的合計(jì)量為100質(zhì)量％時，不具有羧基的光聚合性化合物(A2)的舍量按照質(zhì)量比例優(yōu)選1-90質(zhì)量％,更優(yōu)逸1-70質(zhì)量％。不具有羧基的光聚合性化合物(A2)的含量在上述范圍內(nèi)，則曝光部分的強(qiáng)度或平滑性、可靠性良好，優(yōu)選。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，粘合劑成分(A)的重均分子量為1500或以下。上述重均分子量根據(jù)式(1)求出。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>Mw:(A)的重均分子量Ml:(Al)的分子量或重均分子量M2:(A2)的分子量或重均分子量Wl:(Al)在(A)中的使用比例W2:(A2)在(A)中的使用比例(Al)成分和(A2)成分的各分子量(為混合物時是重均分子量)可以超過1,500,如果一種成分超過Mw1,500,可以使該成分在粘合劑成分(A)中的使用比例降低，選擇Mw比1,500小的另一成分且使該成分在粘合劑成分(A)中的使用比例提高，這樣可以使根據(jù)式(1)求出的粘合劑成分(A)的重均分子量為1,500或以下。本發(fā)明中粘合劑成分(A)的重均分子量為1500或以下，優(yōu)選為300或以上、1500或以下，更優(yōu)選300或以上、1200或以下，進(jìn)一步優(yōu)選500或以上、1000或以下，特別優(yōu)選700或以上、900或以下。粘合劑成分(A)的重均分子量在上述范圍內(nèi)，則析像度良好，優(yōu)選。本發(fā)明的感光性樹脂組合物可以含有固化劑(A3)作為粘合劑成分(A)。固化劑(A3)用于通過顯影后的加熱處理使樹脂圖案固化，使回復(fù)率等機(jī)械強(qiáng)度提高。這樣的固化劑(A3)例如有通過加熱與羧基反應(yīng)，使具有1個或以上羧基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵的光聚合性化合物(Al)交聯(lián)、或者使其均聚的化合物。還可以是可通過加熱均聚的化合物，通過均聚使圖案固化。上述化合物例如有環(huán)氧化合物、氧雜環(huán)丁烷化合物、羥甲基化合物等。環(huán)氧化合物例如有雙酚A系環(huán)氧樹脂、氬化雙酚A系環(huán)氧樹脂、雙酚F系環(huán)氧樹脂、氫化雙酚F系環(huán)氧樹脂、清漆型環(huán)氧樹脂、其它芳族系環(huán)氧樹脂、脂環(huán)族系環(huán)氧樹脂、雜環(huán)式環(huán)氧樹脂、縮水甘油基酯系樹脂、縮水甘油基胺系樹脂、環(huán)氧化油等環(huán)氧樹脂，或者這些環(huán)氧樹脂的溴化衍生物、環(huán)氧樹脂及其溴化衍生物以外的脂族、脂環(huán)族或芳族的環(huán)氧化合物、三聚異氰酸三縮水甘油基酯等。氧雜環(huán)丁烷化合物例如有碳酸酯雙氧雜環(huán)丁烷、亞二曱苯基雙氧雜環(huán)丁烷、己二酸酯雙二氧雜環(huán)丁烷、對苯二曱酸酯雙氧雜環(huán)丁烷、環(huán)己烷二羧酸雙氧雜環(huán)丁烷、雙{3-(3-乙基氧雜環(huán)丁基)甲基}醚、1,4-雙{3-(3-乙基氧雜環(huán)丁基)甲氧基)苯、1,4-雙{3-(3-乙基氧雜環(huán)丁基)甲氧基}甲基笨、1,4-雙{3-(3-乙基氧雜環(huán)丁基)甲氧基}環(huán)己烷、1，4-雙{3-(3-乙基氧雜環(huán)丁基)甲氧基}甲基環(huán)己烷等。羥甲基化合物有烷氧基甲基化三聚氰胺樹脂、烷氧基二曱基化尿素樹脂等烷氧基甲基化氨基樹脂等。這里，烷氧基甲基化三聚氰胺樹脂有甲氧基甲基化三聚氰胺樹脂、乙氧基曱基化三聚氰胺樹脂、丙氧基甲基化三聚氰胺樹脂、丁氧基甲基化三聚氰胺樹脂等，烷氧基曱基化尿素樹脂例如有甲氧基甲基化尿素樹脂、乙氧基甲基化尿素樹脂、丙氧基曱基化尿素樹脂、丁氧基曱基化尿素樹脂等。本發(fā)明的放射線敏感性樹脂組合物中，使用上述固化劑(A3)時，它們可以分別單獨(dú)或?qū)?種或以上組合使用。含有上迷固化劑(A3)時，其含量相對于放射線敏感性樹脂組合物的固形物成分按照質(zhì)量比例優(yōu)選為0.1-30%。固化劑(A3)的量在上述范圍內(nèi)，則可以抑制感光性樹脂組合物層在顯影液中的溶解性、感光度的降低，因此優(yōu)選。含有(A3)時，(A)的重均分子量按照式(2)求出。Mw=(MlxWl)/(Wl+W2+W3)+(M2xW2)/(Wl+W2+W3)+(M3xW3)/(Wl+W2+W3)(2)Mw:(A)的重均分子量Ml:(Al)的分子量或重均分子量M2:(A2)的分子量或重均分子量M3:(A3)的分子量或重均分子量Wl:(Al)在(A)中的使用比例W2:(A2)在(A)中的使用比例W3:(A3)在(A)中的使用比例(Al)、(A2)和(A3)的各分子量(為混合物時是重均分子量)可以超過1,500，當(dāng)某種成分超過Mw1,500時，可以使該成分在粘合劑成分(A)中的使用比例降低，選擇Mw比1500小的其它成分且提高該成分在粘合劑成分(A)中的使用比例，使粘合劑成分(A)的重均分子量為1，500或以下。粘合劑成分(A)的重均分子量優(yōu)選300或以上、1500或以下，更優(yōu)選300或以上、1200或以下，進(jìn)一步優(yōu)選500或以上、l，OOO或以下，特別優(yōu)選700或以上、900或以下。粘合劑成分(A)的重均分子量在上述范圍內(nèi)，則析像度良好，優(yōu)選。本發(fā)明的感光性樹脂組合物含有光聚合引發(fā)劑。上迷光聚合引發(fā)劑(B)有苯乙酮系化合物、聯(lián)咪唑系化合物、肟系化合物、三。秦系化合物、酰基氧化膦系化合物、笨偶姻系化合物、二苯甲酮系化合物、p塞噸酮系化合物、蒽系化合物，優(yōu)選苯乙酮系化合物、聯(lián)咪唑系化合物、將系化合物、三。秦系化合物、?；趸⑾祷衔锏?。上述苯乙酮系化合物有2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、二乙氧基苯乙酮、2-羥基-2-曱基-l-苯基丙烷-l-酮、千基二曱基縮酮、2-羥基-1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-曱基丙烷-l-酮、1-輕基環(huán)己基苯基酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-嗎啉代基丙烷-1-酮、2-節(jié)基-2-二曱基絲小(4-嗎啉代基苯基)丁烷-l-酮、2-(2-甲基千基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(3-甲基千基)-2-二甲基#^-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(4-甲基千基)-2-二甲基1基-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(2-乙基千基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(2-丙基千基)-2-二甲基#^-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(2-丁基芐基)-2-二曱基#_1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(2,3-二甲基千基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(2，4-二甲基千基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(2-氯千基)-2-二曱基絲-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(2-溴基芐基)-2-二曱基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(3-氯節(jié)基)-2-二甲基絲-1-(4-嗎淋代基苯基)-丁酮、2-(4-氯千基)-2-二曱基氛基小(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(3-溴爺基)-2-二曱基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(4-溴千基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(2-甲氧基芐基)-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(3-甲氧基芐基)-2-二曱基絲-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(4-甲氧基千基)-2-二甲基絲-1-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-甲氧基節(jié)基)-2-二甲基#^小(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-溴千基)-2-二甲基氨基小(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-(2-溴-4-甲氧基千基)-2-二甲基絲-l-(4-嗎啉代基苯基)-丁酮、2-羥基-2-甲基-1-[4-(1-曱基乙烯基)苯基]丙烷-l-酮的低聚物等，優(yōu)選2-甲基小(4-甲硫基苯基)-2-嗎啉代基丙烷-l-酮、2-芐基-2-二曱基絲-1-(4-嗎啉代基苯基)丁烷-l-酮。上述聯(lián)咪唑化合物有2，2，-雙(2-氯苯基)-4，4，,5，5，-四苯基聯(lián)咪唑、2,2，-雙(2,3-二氯苯基)-4，4，,5，5，-四苯基聯(lián)咪唑(例如參照日本特開平6-75372號公報、日本特開平6-75373號公報等)、2,2，-雙(2-氯苯基)_4,4，，5，5，-四苯基聯(lián)咪唑、2,2，-雙(2-氯苯基)-4,4，,5，5，-四(烷氧基苯基)聯(lián)咪唑、2,2，-雙(2-氯苯基)-4,4，,5,5，誦四(二烷氧基苯基)聯(lián)咪唑、2,2，-雙(2-氯苯基)-4,4，，5，5，-四(三烷氧基苯基)聯(lián)咪唑(例如參照日本特公昭48-38403號公報、日本特開昭62-174204號公報等)、4,4',5,5，-位的苯基被烷氧羰基取代的咪唑化合物(例如參照日本特開平7-10913號公報等)等，優(yōu)選2，2，-雙(2-氯苯基)-4,4，,5，5，-四苯基聯(lián)咪唑、2,2，-雙(2，3-二氯苯基)-4,4，，5，5，-四苯基聯(lián)咪唑。上述肟化合物有O-乙氧基羰基-a-氧基亞氨基-l-苯基丙烷-l-酮、式(3)所示的化合物、式(4)所示的化合物等。上述三嗪系化合物有2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三。秦、2,4-雙(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪、2，4-雙(三氯曱基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-l,3,5-三溱、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-1,3，5-三嗪、2，4-雙(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-l,3，5-三溱、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-l，3，5-三溱、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基]-l,3，5-三。秦等。上述酰基氧化膦系化合物有2，4，6-三甲基苯甲酰二苯基氧化膦等。上述苯偶姻系化合物例如有苯偶姻、苯偶姻曱基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻丙基醚、苯偶姻異丁基醚等。上述二苯曱酮系化合物例如有二苯甲酮、鄰苯甲?；郊姿峒柞?、4-笨基二苯甲酮、4-苯甲?；?4，-甲基二苯硫、3，3，,4,4，-四(叔丁基過氧羰基)二苯甲酮、2，4，6-三甲基二苯甲酮等。上述噻噸酮系化合物例如有2-異丙基p塞噸酮、4-異丙基^>屯酮、2,4-二乙基逸噸酮、2,4-二氯p塞噸酮、l-氯-4-丙氧基瘞噸酮等。上述蒽系化合物例如有9,10-二曱氧基蒽、2-乙基-9，10-二甲氧基蒽、9，10-二乙氧基蒽、2-乙基-9，10-二乙氧基蒽等。除此之外還可例舉10-丁基-2-氯吖啶酮、2-乙基蒽醌、二苯甲酰、9，10-菲醌、崁醌、苯基乙醛酸甲酯、二茂鈦化合物等作為光聚合引發(fā)劑。具有可引起鏈轉(zhuǎn)移的基團(tuán)的光聚合引發(fā)劑還可使用日本特表2002-544205號公報中所述的光聚合引發(fā)劑。上述具有可引起鏈轉(zhuǎn)移的基團(tuán)的光聚合引發(fā)劑例如有下式(5)-(10)所示的光聚合引發(fā)劑。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>上述光聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)或?qū)煞N或以上組合使用。還可以在光聚合引發(fā)劑中組合光聚合引發(fā)助劑(B-l)使用。通過在光聚合引發(fā)劑(B)中結(jié)合使用光聚合引發(fā)助劑(B-l),所得感光性樹脂組合物的感光度更高，使用該光聚合引發(fā)劑形成圖案，則圖案的產(chǎn)率提高，因此優(yōu)選。光聚合引發(fā)助劑(B-l)有胺化合物、羧酸化合物、多官能硫醇化合物、式(V)所表示的化合物等。上述胺化合物中優(yōu)選芳族胺化合物。上述胺化合物例如有三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺等脂族胺化合物；4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯曱酸異戊酯、4-二曱基氨基苯曱酸2-乙基己酯、苯曱酸2-二甲基氨基乙酯、N,N-二甲基對甲苯胺、4,4，-雙(二甲基氨基)二苯甲酮(通稱米蚩酮)、4，4，-雙(二乙基氨基)二苯曱酮等芳族胺化合物。上述羧酸化合物例如有苯基硫代乙酸、甲基苯基硫代乙酸、乙基苯基硫代乙酸、曱基乙基苯基疏代乙酸、二甲基苯基硫代乙酸、曱氧基苯基硫代乙酸、二甲氧基苯基硫代乙酸、氯苯基硫代乙酸、二氯苯基硫代乙酸、N-苯基甘氨酸、苯氧基乙酸、萘基硫代乙酸、N-萘基甘氨酸、萘氧基乙酸等芳族雜乙酸類。上述多官能硫醇化合物例如有己烷二疏醇、癸烷二硫醇、1,4-二甲基巰基苯、雙石;U戈丙酸丁烷二醇酯、雙石;M戈乙醇酸丁烷二醇酯、雙石充代乙醇酸乙二醇酯、三羥曱基丙烷三硫代乙醇酸酯、雙硫代丙酸丁烷二醇酯、三羥甲基丙烷三硫代丙酸酯、三羥甲基丙烷三硫代乙醇酸酯、四疏代丙酸季戊四醇酯、四疏代乙醇酸季戊四醇酯、三硫代丙酸三羥基乙酯、四(3-巰基丁酸)季戊四醇酯、1,4-雙(3-巰基丁酰氧基)丁烷。[式(V)中，環(huán)X表示可被鹵素原子取代的碳原子數(shù)6-12的芳族環(huán)，Y表示氧原子或硫原子，1112表示碳原子數(shù)1-6的烷基，R"表示可被鹵素原子取代的碳原子數(shù)1-12的烷基或可被卣素原子取代的芳基]。鹵素原子有氟原子、氯原子、溴原子等。碳原子數(shù)6-12的芳族環(huán)有苯環(huán)、萘環(huán)等。作為環(huán)X的可被卣素原子取代的碳原子數(shù)6-12的芳族環(huán)可以是苯環(huán)、曱基苯環(huán)、二甲基苯環(huán)、乙基苯環(huán)、丙基苯環(huán)、丁基苯環(huán)、戊基苯環(huán)、己基苯環(huán)、環(huán)己基苯環(huán)、氯苯環(huán)、二氯苯環(huán)、溴苯環(huán)、二溴苯環(huán)、苯基苯環(huán)、氯笨基苯環(huán)、溴苯基苯環(huán)、萘環(huán)、氯萘環(huán)、溴萘環(huán)等。碳原子數(shù)l-6的烷基有甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、1-甲基-正丙基、2-甲基-正丙基、叔丁基、正戊基、1-甲基-正丁基、2-甲基-正丁基、3-曱基-正丁基、l，l-二甲基-正丙基、1,2-二甲基-正丙基、2,2-二甲基-正丙基、正己基、環(huán)己基等?？杀幻嫠卦尤〈奶荚訑?shù)1-12的烷基有甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、1-甲基-正丙基、2-甲基-正丙基、叔丁基、正戊基、1-甲基-正丁基、2-甲基-正丁基、3-甲基-正丁基、1,1-二曱基-正丙基、1,2-二甲基-正丙基、2,2-二曱基-正丙基、正己基、環(huán)己基、1-氯-正丁基、2-氯-正丁基、3-氯-正丁基等。可被卣素原子取代的芳基有笨基、氯苯基、二氯苯基、溴苯基、二溴苯基、氯溴苯基、聯(lián)苯基、氯聯(lián)苯基、二氯聯(lián)苯基、溴苯基、二溴苯基、萘基、氯萘基、二氯萘基、溴萘基、二溴萘基等。式(V)表示的化合物優(yōu)選有式(V-l)所示的2-(2-萘甲?；鶃喖谆?-3-甲基苯并噻唑啉、式(V-2)所表示的2-苯曱?；鶃啎趸?3-甲<formula>formulaseeoriginaldocumentpage18</formula>基-萘并[l,2-d]噻唑啉和式(V-3)所表示的2-(4-聯(lián)苯酰基亞甲基)-3-甲基-萘并[l,2-d]噻唑啉。光聚合引發(fā)劑(B)的含量相對于粘合劑成分(A)的合計(jì)量，按照質(zhì)量比例優(yōu)選為0.1-40質(zhì)量％,更優(yōu)選0.5-30質(zhì)量％。光聚合引發(fā)助劑(B-l)的含有量相對于粘合劑成分(A)的合計(jì)量，按照質(zhì)量比例優(yōu)選為0.01-50質(zhì)量％，更優(yōu)選0.1-40質(zhì)量％。光聚合引發(fā)劑(B)的合計(jì)量在上述范圍內(nèi)，則感光性樹脂組合物為高感光度，使用上述感光性樹脂組合物形成的圖案的強(qiáng)度或上述圖案表面的平滑性良好，優(yōu)選。除上述之外，光聚合引發(fā)助劑(B-l)的量在上述范圍內(nèi)，則所得的感光性樹脂組合物的感光度進(jìn)一步提高，使用上述感光性樹脂組合物形成的圖案基板的產(chǎn)率提高，優(yōu)選。本發(fā)明的感光性樹脂組合物可以含有溶劑(D)。上述溶劑(D)可以是在感光性樹脂組合物的領(lǐng)域中使用的各種有機(jī)溶劑。其具體例子有乙二醇一曱醚、乙二醇一乙醚、乙二醇一丙醚和乙二醇一丁醚等乙二醇一烷基醚類；二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇甲基乙基醚、二甘醇二丙醚和二甘醇二丁醚等二甘醇二烷基醚類；甲基溶纖劑乙酸酯和乙基溶纖劑乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯類；(V-3)丙二醇一甲醚乙酸酯、丙二醇一乙醚乙酸酯、丙二醇一丙醚乙酸酯、甲氧基丁基乙酸酯和甲氧基戊基乙酸酯等亞烷基二醇烷基醚乙酸酯類；苯、甲苯、二甲苯和均三甲苯等芳族烴類；甲基乙基酮、丙酮、甲基戊基酮、甲基異丁基酮和環(huán)己酮等酮類；乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環(huán)己醇、乙二醇和甘油等醇類；乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯和3-甲氧基丙酸曱酯等酯類；Y-丁內(nèi)酯等環(huán)狀酯類等。上述溶劑中，從涂布性、干燥性等角度考慮，上述溶劑中優(yōu)選沸點(diǎn)為100。C-20(TC的有機(jī)溶劑，更優(yōu)選亞烷基二醇烷基醚乙酸酯類、酯類，尤其優(yōu)選丙二醇一甲醚乙酸酯、丙二醇一乙醚乙酸酯、乳酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯和3-曱氧基丙酸甲酯。這些溶劑(D)可以分別單獨(dú)或者將2種或以上混合使用。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，溶劑(D)的含量相對于感光性樹脂組合物，按照質(zhì)量比例優(yōu)選為40-90質(zhì)量％，更優(yōu)選50-85質(zhì)量％。溶劑(D)的含量在上述范圍內(nèi)，則在通過旋涂機(jī)、狹縫和旋涂機(jī)(slit&spincoater)、狹縫涂布機(jī)(也稱為模涂機(jī)、淋幕式平面涂裝機(jī))、噴墨機(jī)等涂布裝置涂布時涂布性良好，優(yōu)選。本發(fā)明的感光性樹脂組合物可以根椐需要含有表面活性劑、顏料分散劑、粘合性改善劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、光穩(wěn)定劑、增感劑、電子供體、鏈轉(zhuǎn)移劑、填充劑等添加劑(E)。表面活性劑可以含有選自有機(jī)硅系表面活性劑、氟系表面活性劑和具有氟原子的有機(jī)硅系表面活性劑的至少一種。上述有機(jī)硅系表面活性劑有商品名卜一k少"3—；/DC3PA、卜—k'〉,J3—；/SH7PA、卜一"'J3—yDC11PA、卜一l^卩3—ySH21PA、卜一k'〉卩3—7SH28PA、卜一k'〉卩-—》29SHPA或卜一k〉卩3—；/SH30PA(卜一k、〉！i3—y(株)制備)；商品名聚醚改性硅油SH8400(卜一k'〉卩3—》(林)制備)；商品名KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340或KP341(信越、》卩3—；/(抹)制備)；商品名TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF4446、TSF4452、TSF4460(夕一4一東芝'〉卩3—>(林)制備)等。本發(fā)明的固化性樹脂組合物還可進(jìn)一步舍有丙烯基聚合物系表面活性劑或乙烯基聚合物系表面活性劑等其它表面活性劑。丙烯基聚合物系表面活性劑有f4只^口》(商品名)OX-880、f、只,《口；/OX-881、"T4;o《口；/OX-883、f4只^口爻OX-70、亍、'4^y《口；/OX-77、T"f^"口7OX-77HF、f4義Z口；/OX墨60、于M只"口；/OX-710、，'4義,口》OX-720、f4只乂；口yOX-740、f4義乂s口OX-750、f'>f義口7OX-8040、于*4義A口》1970、f4只乂《口7230、于'4只"口》L-1980-50、f4只"口7L-1982-50、于、、4久^口；/L-1983-50、于'4只乂；口》L-1984-50、f4義,口>L-1985-50、f4久八口^LAP-10、f4^^口^LAP-20、T4義^口>LAP-30或f"、久A口；/LHP-95(楠本化成(抹)制備)；商品名BYK-352、BYK-354、BYK-355、BYK曙356、BYK-357、BYK-358、BYK-359、BYK-361或BYK-390(匕'少夕少；、.弋Z》制備)；工7力一(商品名)LP3778(EfkaChemicals制備)等。乙烯基聚合物系表面活性劑有于、久A口；/(商品名)1922、y、4^乂；口1927、f4^y;口71950、4只"口71951、^47乂《口yP-410、"f'4只乂《口7P國410HF、f4義乂《口》P-420、f4久^口7P-425、于M只乂《口7PD-7或f^4久,口7LHP-90(楠本化成(林)制備)等。顏料分散劑可以使用市售的表面活性劑，例如有有機(jī)硅系、氟系、酯系、陽離子系、陰離子系、非離子系、兩性等表面活性劑等，它們可以分別單獨(dú)或?qū)?種或以上組合使用。上述表面活性劑有聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙烯烷基苯基醚類、聚乙二醇二酯類、失水山梨醇脂肪酸酯類、脂肪酸改性聚酯類、叔胺改性聚氨酯類、聚乙烯亞胺類等，除此之外還有商品名KP(信越化學(xué)工業(yè)(株)制備)、；K卩！7口一(共榮化學(xué)(林)制備)、工7卜'乂7°(卜一少厶7?？谙?夕少制備)、>力'77*夕(大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制備)、7口，一卜'(住友X卩一工厶(抹)制備)、7*廿匕^一卜'、廿一7口7(以上為旭硝子(抹)制備)、/乂k久"一久(七；f力(抹)制備)、EFKA(EFKACHEMICALS制備)、PB821(味之素(株)制備)等。粘合性改善劑例如有乙烯基三曱氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基曱基二甲氧基硅烷、2-(3，4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三曱氧基硅烷、3-氯丙基甲基二曱氧基硅烷、3-氯丙基三曱氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三曱氧基硅烷、3-巰基丙基三甲氧基硅烷等。抗氧化劑例如有2,2，-疏代雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,6-二-叔丁基一4-曱基苯酚、Irganox3114(f^《.義乂'〉弋卩^4.少《力/UX制備)等。紫外線吸收劑例如有2-(3-叔丁基-2-羥基-5-曱基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯曱酮等。鏈轉(zhuǎn)移劑例如有十二烷基硫醇、2，4-二苯基-4-甲基-1-戊烯等。填充劑例如有玻璃、二氧化硅、氧化鋁等。感光性樹脂組合物例如可以如下涂布在基材上，進(jìn)行曝光和顯影，形成負(fù)型圖案?；謇缬型该鞑ＡО寤蚬杈⒕厶妓狨セ?、聚酯基板、芳族聚酰胺基板、聚酰胺酰亞胺基板、聚酰亞胺基板等樹脂基板等。上述基板上可以形成TFT或CCD等電路、濾色器等。含有感光性樹脂組合物的層例如可通過在基板上涂布感光性樹脂組合物的方法等形成。涂布例如通過旋涂法、流延涂布法、輥涂法、狹縫和旋涂法、狹縫涂布法、模涂法、幕涂法等進(jìn)行。涂布后可以通過加熱干燥(預(yù)烘烤)、真空干燥或?qū)烧呓Y(jié)合使用等，使溶劑等揮發(fā)成分揮發(fā)等，由此可形成感光性樹脂組合物層。上迷感光性樹脂組合物層的厚度通常為1-6pm。接著，經(jīng)由掩模，對感光性樹脂組合物層照射放射線。掩模的圖案可根據(jù)固化樹脂圖案的目標(biāo)圖案適當(dāng)選擇。放射線例如可使用g線、i線等光線。放射線的照射例如優(yōu)選使用掩模套準(zhǔn)器(maskaligner)或步進(jìn)曝光裝置(Stepper)等裝置等。放射線照射后，感光性樹脂組合物層顯影。顯影是將膝光后的感光性樹脂組合物層例如通過槳法、浸泡法、噴霧法或淋洗法等進(jìn)行。顯影液通常使用堿水溶液。堿水溶液可使用堿性化合物的水溶液，堿性化合物可以是無機(jī)堿性化合物，也可以是有機(jī)堿性化合物。堿性化合物可以是無機(jī)和有機(jī)的堿性化合物的任意一種。無機(jī)堿性化合物的具體例子有氫氧化鈉、氫氧化鐘、磷酸氫二鈉、磷酸二氫鈉、磷酸氬二銨、磷酸二氫銨、磷酸二氫鉀、硅酸鈉、硅酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氬鈉、碳酸氫鉀、硼酸鈉、硼酸鉀、氨等。有機(jī)堿性化合物的具體例子有四曱基氫氧化胺、2-羥基乙基三曱基氫氧化胺、一曱胺、二甲胺、三曱胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、一異丙胺、二異丙胺、乙醇胺等。這些無機(jī)和有枳J咸性化合物可以分別單獨(dú)或?qū)?種或以上組合使用。堿顯影液中的堿性化合物濃度優(yōu)選0.01-10質(zhì)量％，更優(yōu)選0.03-5質(zhì)量％。堿顯影液中的表面活性劑可以是非離子系表面活性劑、陰離子系表面活性劑或陽離子系表面活性劑的任意一種。非離子系表面活性劑的具體例子有聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其它的聚氧乙烯衍生物、氧化乙烯/氧化丙烯嵌段共聚物、失水山梨醇脂肪酸酯、聚氧乙烯失水山梨醇脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等。陰離子系表面活性劑的具體例子有月桂基醇疏酸酯鈉或油醇硫酸酯鈉等高級烷氧基疏酸酯鹽類，月桂基硫酸鈉或月桂基硫酸銨等烷^5危酸鹽類，十二烷基苯磺酸鈉或十二烷基恭璜酸鈉等烷基芳基磺酸鹽類等。陽離子系表面活性劑的具體例子有硬脂基胺鹽酸鹽或月桂基三甲基氯化銨等銨鹽或季銨鹽等。這些表面活性劑可以分別單獨(dú)使用，也可以將2種或以上組合使用。堿顯影液中的表面活性劑的濃度優(yōu)選0.01-10質(zhì)量％的范圍，更優(yōu)選0.05-8質(zhì)量°/。，特別優(yōu)選0.1-5質(zhì)量％。接著，感光性樹脂組合物層在顯影后進(jìn)行水洗，進(jìn)一步根據(jù)需要、可在150-230。C下后烘烤10-60分鐘，或者照射含有200-300nm波長的紫外線。含有(A3)時，優(yōu)選實(shí)施后烘烤步驟。使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物，經(jīng)由上迷各步驟，可以在基板上形成固化樹脂圖案。所得固化樹脂圖案中，固化樹脂圖案相對于基板的角度優(yōu)選低于90度。該角度在上述范圍內(nèi)，則在形成液晶顯示裝置時難以發(fā)生ITO布線的斷線，因此優(yōu)選。該固化樹脂圖案的總位移量和回復(fù)率良好，耐溶劑性和耐熱性良好，因此可以用作在液晶顯示裝置中使用的光間隔物，除此之外還可用作控制液晶取向的突起、TFT基板的絕緣膜、有機(jī)EL元件的絕緣膜、CCD的保護(hù)膜。還可以用作觸控面板。因此，通過將這樣得到的固化樹脂圖案組裝入液晶顯示裝置等顯示裝置中，可以以高的成品率制備優(yōu)異品質(zhì)的顯示裝置。實(shí)施例以下通過實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明，但本發(fā)明并不受這些實(shí)施例的限定。例子中，如無特別說明，表示含量以及用量的％和份均為質(zhì)量基準(zhǔn)。實(shí)施例1將75份1mol3，4-二羧基-1,2，3，4-四氫-1-萘琥珀酸二酐與2mol三丙烯酸季戊四醇酯的反應(yīng)產(chǎn)物(相當(dāng)于(Al))(MKESTERCBX-SK02;新中村化學(xué)(林)制備)、20份六丙烯酸二季戊四醇酯(相當(dāng)于(A2))、1份OXE-01(相當(dāng)于(B))(^乂《.義人i>弋卩尹4.少；、力/kX制備)、58份丙二醇一甲醚乙酸酯、42份乳酸乙酯、5份KBM-503(3-甲基丙烯酰氧基丙基三曱氧基硅烷；(信越化學(xué)工業(yè)(株)制備；粘合性改善劑)混合，得到感光性樹脂組合物1。所得感光性樹脂組合物1中的粘合劑成分(A)的重均分子量為827。下述實(shí)施的結(jié)果如表1所示。<圖案的形成>在2英寸的方形玻璃基板(4一夕Vl^2000;3—-7夕'制備)上旋涂感光性樹脂組合物1,在IO(TC下預(yù)烘烤3分鐘。冷卻后，使涂布了該感光性樹脂組合物的基板與具有下述各評價項(xiàng)目中所述的圖案的石英玻璃制光刻掩模間隔為100itim，用曝光機(jī)(TME-150RSK;卜/3》(林)制備)，在大氣氣氛下、以50mJ/cm2的曝光量(365nm基準(zhǔn))進(jìn)行光照射。光照射后，對于該基板，是將上述涂膜在23。C下、在含有0.12%非離子系表面活性劑和0.04%氫氧化鉀的水系顯影液中浸泡80秒進(jìn)行顯影，水洗后在烘箱中以220'C后烘烤20分鐘。放置冷卻后，通過膜厚測定裝置(DEKTAK3;日本真空技術(shù)(抹)制備)測定所得固化圖案的膜厚，為3.0nm。<析像性>在曝光步驟中，作為光刻掩才莫，使用在同一平面上形成5-50nm的1:1線和空間圖案的光刻掩模，對于所形成的圖案，使用光學(xué)顯微鏡測定析像度。以圖案可分離的最小線寬為析像度。<圖案形狀〉在爆光步驟中，作為光刻掩模，使用在同一平面上形成邊長為3-25pm的正方形透光部圖案(圖案間隔100nm)的光刻掩才莫，對于所形成的圖案用掃描式電子顯微鏡(S-4000;(抹)日立制作所制備)觀察。圖案形狀是圖案的側(cè)壁相對于基板的角度低于90度時作為正錐，為90度或以上時判斷為反錐。為正錐，則在形成液晶顯示裝置時難以發(fā)生ITO布線的斷線，因此優(yōu)選。<機(jī)械特性>(總位移量和回復(fù)率)在曝光步驟中，經(jīng)由形成了邊長為3-25pm正方形透光部圖案(圖案間隔100pm)的光刻掩模進(jìn)行曝光，所得的圖案中,對于與基板面相接部分的線寬為18pm的圖案，使用動態(tài)超微硬度計(jì)(DUH-W201;(株)島津制作所制備)，測定其總位移量(pm)和彈性位移量(pm)。由這些數(shù)值求出回復(fù)率(％)。-測定條件-試驗(yàn)?zāi)Ｊ捷d荷-卸載試馬t試驗(yàn)力100mN載荷速度4.41mN/秒保持時間5秒壓子圓錐臺壓子(直徑50^im)回復(fù)率(Q/q):(彈性位移量(nm)/總位移量(jxm))xl00<耐溶劑性>在膝光步驟中，不使用光刻掩模，除此之外進(jìn)行同樣的操作，制備涂膜，測定其膜厚。將所得涂膜在40。C的N-曱基吡咯烷酮中浸泡40分鐘，然后測定膜厚，按照下式求出其變化率。膜厚變化(％):(浸泡后的膜厚(pm)/浸泡前的膜厚(pm))x100膜厚變化為96-104°/。時為良好，記為O，在上述范圍之外時判定為x。<耐熱性>在曝光步驟中，不使用光刻掩模，除此之外進(jìn)行同樣的操作，制備涂膜，測定其膜厚。將所得涂膜在240。C的烘箱中加熱120分鐘，然后測定膜厚，按照下式求出其變化率。膜厚變化(％):(加熱后的膜厚(pm)/加熱前的膜厚(pm))x訓(xùn)膜厚變化為90-100%時為良好，記為O,^f氐于90%時判定為><。實(shí)施例2將55份1mol3,4-二羧基-1，2，3,4-四氬-1-萘琥珀酸二酐與2mol三丙烯酸季戊四醇酯的反應(yīng)產(chǎn)物(相當(dāng)于(Al))、20份六丙烯酸二季戊四醇酯(相當(dāng)于(A2))、20份二甲基丙烯酸乙二醇酯(相當(dāng)于(A2-l))、1份OXE-01(相當(dāng)于(B)、^乂少弋卩^4少；、力乂k;C制備)、58份丙二醇一曱基醚乙酸酯、42份乳酸乙酯、5份KBM-503(3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷；信越化學(xué)工業(yè)(林)制備，粘合性改善劑)混合，得到感光性樹脂組合物2。所得感光性樹脂組合物2的粘合劑成分(A)的重均分子量為717。使用感光性樹脂組合物2，除此之外與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行評價。結(jié)果如表1所示。實(shí)施例3使用感光性樹脂組合物2，顯影，水洗，然后以1000mJ/cm2(254nm)照射DUV燈，除此之外與實(shí)施例1同樣地形成圖案、涂膜，進(jìn)行評價。比較例1將55份甲基丙烯酸與甲基丙烯酸芐酯的共聚物[甲基丙烯酸單元與甲基丙烯酸節(jié)酯單元的組成摩爾比為3:7，酸值113,換算為聚苯乙烯的重均分子量(Mw)為25,000]、40份六丙烯酸二季戊四醇酯(KAYARADDPHA;日本化藥(抹)制備)、5份KBM-503(3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷；信越化學(xué)工業(yè)(抹)制備，粘合性改善劑)、5份Irgacure369(相當(dāng)于(B)、f".只乂'〉^卩^4.少、；力/l/夂制備)、0.5份4,4，-雙(二乙基氨基)二笨甲酮(相當(dāng)于(B-l);EAB-F;保土谷化學(xué)工業(yè)(株)制備)、211份丙二醇甲基醚乙酸酯、211份乳酸乙酯混合，得到感光性樹脂組合物4。所得感光性樹脂組合物4的粘合劑成分的重均分子量為14,700。使用感光性樹脂組合物4，除此之外與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行評價。<table>tableseeoriginaldocumentpage27</column></row><table>由表1所示的實(shí)施例1-3的結(jié)果可知，對于粘合劑成分(A)的重均分子量為1500或以下的本發(fā)明的感光性樹脂組合物，在使用該組合物形成固化樹脂圖案時析像度優(yōu)異。使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成固化樹脂圖案，則所得圖案的形狀為正錐形狀，顯示作為光間隔物所優(yōu)選的圖案形狀，可得到總位移量和回復(fù)率等機(jī)械特性、耐熱性和耐溶劑性優(yōu)異的固化樹脂圖案和涂膜。而比較例1的含有重均分子量為1,500或以上、為14700的粘合劑成分(A)的感光性樹脂組合物，只能得到析像度差的材料。產(chǎn)業(yè)實(shí)用性本發(fā)明的感光性樹脂組合物在使用該樹脂組合物形成固化樹脂圖案時析像度優(yōu)異，感光度好，可形成圖案形狀、機(jī)械特性、耐熱性、耐溶劑性優(yōu)異的圖案和涂膜，可以在光間隔物、保護(hù)膜、絕緣膜、控制液晶取向的突起、配合著色圖案的膜厚的涂層等在顯示裝置中使用得膜的形成中使用，特別是析像度和機(jī)械特性優(yōu)異，因此適合用作光間隔物。權(quán)利要求1.感光性樹脂組合物，該感光性樹脂組合物含有粘合劑成分(A)和光聚合引發(fā)劑(B)，粘合劑成分(A)含有光聚合性化合物(A1)、光聚合性化合物(A2)，光聚合性化合物(A1)具有1個或以上羧基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵，光聚合性化合物(A2)不具有羧基；粘合劑成分(A)的重均分子量為1,500或以下。2.權(quán)利要求1的感光性樹脂組合物，其中，具有1個或以上羧基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵的光聚合性化合物(Al)是使酸酐與具有1個羥基和2個或以上不飽和雙鍵的化合物反應(yīng)的產(chǎn)物。3.權(quán)利要求1的感光性樹脂組合物，其中，不具有羧基的光聚合性化合物(A2)含有式(I)所示的化合物(A2-l):<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>m式(I)中，R)表示碳原子數(shù)1-6的亞烷基，W表示具有可聚合的不飽和鍵的基團(tuán)，m表示1-6的整數(shù)。4.權(quán)利要求1的感光性樹脂組合物，其中，具有1個或以上羧基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵的光聚合性化合物(Al)的含量相對于粘合劑成分(A)按照質(zhì)量比例為10-99質(zhì)量％,不具有羧基的光聚合性化合物(A2)的含量為1-90質(zhì)量％。5.權(quán)利要求3的感光性樹脂組合物，其中，式(I)所示化合物(A2-l)的含量相對于不具有羧基的光聚合性化合物(A2)按照重量比例為0.1-70質(zhì)量％。6.固化樹脂圖案，該固化樹脂圖案是使用權(quán)利要求1的感光性樹脂組合物形成的。7.權(quán)利要求6的固化樹脂圖案，其中，固化樹脂圖案是光間隔物。8.固化樹脂圖案的制備方法，該方法在基板上涂布權(quán)利要求1的感光性樹脂組合物，除去溶劑后經(jīng)由掩模照射放射線，接著用堿水溶液顯影，形成規(guī)定的圖案，然后加熱。9.固化樹脂圖案的制備方法，該制備方法在基板上涂布權(quán)利要求1的感光性樹脂組合物，除去溶劑后經(jīng)由掩模照射放射線，接著用堿水溶液顯影，形成規(guī)定的圖案，然后照射紫外線。10.液晶顯示裝置，該液晶顯示裝置具有權(quán)利要求6的固化樹脂圖案。全文摘要本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物。本發(fā)明提供可以以高分辨形成耐溶劑性和耐熱性優(yōu)異的固化樹脂圖案的新型感光性樹脂組合物。該感光性樹脂組合物含有粘合劑成分(A)和光聚合引發(fā)劑(B)，粘合劑成分(A)含有光聚合性化合物(A1)和光聚合性化合物(A2)，其中，光聚合性化合物(A1)具有1個或以上羧基和2個或以上可光聚合的不飽和鍵，光聚合性化合物(A2)不具有羧基；粘合劑成分(A)的重均分子量為1,500或以下。文檔編號G02F1/1339GK101295136SQ20081009594公開日2008年10月29日申請日期2008年4月25日優(yōu)先權(quán)日2007年4月27日發(fā)明者中野由子申請人:住友化學(xué)株式會社