專利名稱：：振動致動器、鏡頭鏡筒、照相機的制作方法
技術(shù)領域：
：本發(fā)明涉及振動致動器以及具備該振動致動器的鏡頭鏡筒和照相機。
背景技術(shù)：
：在振動致動器中，利用機電轉(zhuǎn)換元件的伸縮來使彈性體的驅(qū)動面產(chǎn)生進行性振動波(以下稱為行波)，并且利用該行波在驅(qū)動面產(chǎn)生橢圓運動，從而驅(qū)動與橢圓運動的波峰壓接的相對移動部件。對這種振動致動器提高驅(qū)動效率和驅(qū)動性能進行了各種研究，作為其中的一個例子，專利文獻l中公開了一種將壓電體的電極部的徑向?qū)挾萕設為寬于彈性體的彎曲中心的徑向?qū)挾鹊恼駝又聞悠?。然而，專利文獻l公開的方法中存在振動致動器大型化這樣的問題。專利文獻1:日本特開2004-297869號公報
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的i果M能夠^f吏振動致動器小型化。本發(fā)明通過以下這樣的解決手段來解決上述課題。這里，為了容易理解而標記與本發(fā)明的實施方式對應的符號進行i兌明，然而不限定于此。技術(shù)方案1的發(fā)明是一種振動致動器10,其特征在于，上述振動致動器具備通過驅(qū)動信號激振的機電轉(zhuǎn)換元件13;彈性體12，其與上述機電轉(zhuǎn)換元件接合，并且通過上述激振而在驅(qū)動面上產(chǎn)生振動波；相對移動部件15,其被壓接于上述彈性體的驅(qū)動面，并且被上述振動波驅(qū)動，其中，上述機電轉(zhuǎn)換元件與上述彈性體掩^的掩^面13a具有形成有電極的電極部131、A1~A4、B1~B4、提高上述彈性體和上述機電轉(zhuǎn)換元件的粘接強度的粘接強度提高部133,假想直線L穿過的上述掩^面的兩個端部中的至少一個端部上形成有上述電極部，上述假想直線穿過上述粘接強度提高部且與上述彈性體和上^目對移動部件的相對移動方向正交。技術(shù)方案2的發(fā)明，在技術(shù)方案1所述的振動致動器10的基礎上，其特征在于，在上述兩個端部和/或上述兩個端部的附近，且在與上iM目對移動方向不同的位置形成上述粘接強度提高部133。技術(shù)方案3的發(fā)明，在技術(shù)方案1或技術(shù)方案2所述的振動致動器10的基礎上，其特征在于，上述粘接強度提高部133的上勤目對移動方向的尺寸，長于沿著上述假想直線的方向的尺寸。技術(shù)方案4的發(fā)明，在技術(shù)方案1至技術(shù)方案3中任意一項所述的振動致動器10的基礎上，其特征在于，在上述假想直線L穿過的上述#^面的兩個端部中的另一個端部上，形成上述粘接強度提高部133。技術(shù)方案5的發(fā)明，是在技術(shù)方案1至技術(shù)方案3中的任意一項所述的振動致動器10的基礎上，其特征在于，上述粘接強度提高部133被無規(guī)則地配置在上述#上。技術(shù)方案6的發(fā)明，在技術(shù)方案1至技術(shù)方案5中任意一項所述的振動致動器10的基礎上，其特征在于，上述機電轉(zhuǎn)換元件的與上述^面相反側(cè)的面，且在與上述粘接強度提高部相對置的部分上形成有上述電極部。技術(shù)方案7的發(fā)明，在技術(shù)方案1至技術(shù)方案6中任意一項所述的振動致動器10的基礎上，其特征在于，上述粘接強度提高部133沒有形成上述電極部131、A1~A4、B1~B4，上述機電轉(zhuǎn)換元件13的基體暴露。技術(shù)方案8的發(fā)明是一種鏡頭鏡筒3，其特征在于，具備技術(shù)方案1至技術(shù)方案7中任意一項所述的振動致動器10。技術(shù)方案9的發(fā)明是一種照相機1，其特征在于，具備技術(shù)方案l至技術(shù)方案7中任意一項所述的振動致動器10。另外，標記符號"i兌明的構(gòu)成，可以進行適宜的改進，或者可以將至少一部分替換為其它的構(gòu)成物。根據(jù)本發(fā)明能夠?qū)⒄駝又聞悠餍⌒突D1是第1實施方式的照相機1的說明圖。圖2是第一實施方式的超聲波馬達10的剖視圖。圖3是說明第1實施方式的超聲波馬達IO的驅(qū)動裝置100的框圖。圖4是表示第1實施方式的壓電體13的圖。圖5是表示壓電a化的樣子的圖。圖6是表示比較例1的超聲波馬達的壓電體53的圖。圖7是表示比較例2的超聲波馬達的壓電體63的圖。圖8是表示第2實施方式的超聲波馬達的壓電體23的圖。圖9是表示第3實施方式的超聲波馬達的壓電體33的圖。圖IO是表示第4實施方式的超聲波馬達的壓電體43的圖。附圖標記i兌明12…彈性體；13、23、33、43…壓電體；15…動子；133…粘接強度提高部。具體實施例方式下面，參照附圖等列舉本發(fā)明的實施方式來進一步詳細地說明。這里，下述的實施方式作為振動致動器以超聲波馬達為例進行說明。第1實施方式圖1是第1實施方式的照相機1的說明圖。第1實施方式的照相機1具備具有攝像元件8的照相機機身2和具有透鏡7的鏡頭鏡筒3。鏡頭鏡筒3是能夠相對于照相機機身2裝卸的可換鏡頭。這里，本實施方式中透鏡3表示了作為可換鏡頭的例子，但是不局限于此，例如也可以采用與照相機機身一體型的鏡頭鏡筒。鏡頭鏡筒3具備透鏡7、凸輪筒6、齒輪4、5、超聲波馬達10等。本實施方式中，超聲波馬達10在照相機1的調(diào)焦動作時作為驅(qū)動透鏡7的驅(qū)動源來使用，從超聲波馬達10獲得的驅(qū)動力借助齒輪4、5傳遞到凸輪筒6。透鏡7被保持于凸輪筒6，透鏡7是借助超聲波馬達10的驅(qū)動力向光軸方向移動來進行焦點調(diào)節(jié)的調(diào)焦鏡頭。圖1中利用設置在鏡頭鏡筒3內(nèi)的未圖示的透鏡組(包括透鏡7)將拍攝對象的像成像于攝像元件8的攝像面。利用攝像元件8來將成像的拍攝對象的像轉(zhuǎn)換成電信號，并且通過將該信號進行A/D轉(zhuǎn)換，從而獲得圖像數(shù)據(jù)。圖2是第1實施方式的超聲波馬達IO的剖視圖。第1實施方式的超聲波馬達10具備振子11、動子15、輸出軸18、加壓部件19等，并且為固定振子11側(cè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動動子15的形態(tài)。振子11是具有彈性體12和與彈性體12接合的壓電體13的近似圓環(huán)形狀的部件。彈性體12由共振尖銳度大的金屬材料形成，并且彈性體12的形狀為近似圓環(huán)狀。該彈性體12具有梳齒部12a、基礎部12b和凸緣部12c。在與接合壓電體13的面的相反側(cè)的面上切割多個槽來形成梳齒部12a，將該梳齒部12a的頂端面壓接于動子15，從而形成驅(qū)動動子15的驅(qū)動面。在該驅(qū)動面上實施有鍍Ni-P(鎳磷)等的潤滑性的表面處理。設置梳齒部12a的理由是，使利用壓電體13的伸縮而在驅(qū)動面上產(chǎn)生的行波的中性面盡可能向壓電體13側(cè)接近，由此放大驅(qū)動面的行波的振幅。基礎部12b是在彈性體12的周向連續(xù)的部分，并且在基礎部12b的與梳齒部12a的相反側(cè)的面上接合有壓電體13。凸緣部12c是向彈性體12的內(nèi)徑方向突出的锝狀的部分，并且凸緣部12c配置在基礎部12b的厚度方向的中央。振子11利用該凸緣部12c固定于固定部件16。壓電體13是將電能轉(zhuǎn)換為機械能的機電轉(zhuǎn)換元件，例如使用壓電元件或電致伸縮元件等。壓電體13是近似圓環(huán)形狀的部件，壓電體13沿著彈性體12的周向而被分成能夠輸入兩個相(A相、B相)的電信號的范圍(參照圖4(b))。在各相上排列有每隔1/2波長而交替極化的元件，并且在A相和B相之間設置成空出1/4波長間隔。該壓電體13用粘接劑而與彈性體12接合。撓性印刷基板14的布線與壓電體13各相的電極連接，并且壓電體13通過從后述的放大部104、105供給到該撓性印刷基板14的驅(qū)動信號進行伸縮。振子11借助該壓電體13的伸縮而在彈性體12的驅(qū)動面上產(chǎn)生行波。本實施方式中產(chǎn)生4波的行波。動子15由鋁等輕質(zhì)金屬形成，動子15是由在彈性體12的驅(qū)動面上產(chǎn)生的行波所旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的部件。動子15在與振子11(彈性體12的驅(qū)動面)接觸的表面上，實施用于提高抗磨損性的耐酸鋁等的表面處理。輸出軸18是近似圃柱形狀的部件。輸出軸18的一個端部借助橡膠部件24而與動子15相接，并且輸出軸18設置為與動子15—體旋轉(zhuǎn)。橡膠部件24是由橡膠形成的近似圓環(huán)形狀的部件。該橡膠部件24具有下述功能，即能夠利用橡膠的粘彈性將動子15與輸出軸18—體旋轉(zhuǎn)的功能；吸收振動以使來自動子15的振動不向輸出軸18傳遞的功能，可以使用丁基橡膠、硅膠、丙烯類橡膠等。加壓部件19是產(chǎn)生使振子11與動子15壓接的壓力的部件。加壓部件19被設置在齒輪部件20和軸承支承部件21之間。本實施方式中加壓部件19使用壓縮螺旋彈簧，但是并不限定于此。齒輪部件20以嵌入的方式插入輸出軸18的D切口，并且利用E環(huán)等止擋部22固定，齒輪部件20設置成在旋轉(zhuǎn)方向和軸向上與輸出軸18為一體。齒輪部件20通過與輸出軸18的旋轉(zhuǎn)一起旋轉(zhuǎn)，從而將驅(qū)動力傳遞給齒輪4(參照圖1)。另外，軸承支承部件21是配置在軸承17的內(nèi)徑側(cè)，并且軸承17配置在固定部件16的內(nèi)徑側(cè)的構(gòu)造。加壓部件19將振子11沿輸出軸18的軸向向動子15側(cè)加壓，通過該加壓力，將動子15壓接于振子11的驅(qū)動面并被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。這里，也可以在加壓部件19與軸承支承部件21之間設置壓力調(diào)整墊圏，從而獲得對超聲波馬達10的驅(qū)動適合的壓力。圖3是說明本實施方式的超聲波馬達10的驅(qū)動裝置100的框圖。振蕩部101是根據(jù)控制部102的指令產(chǎn)生所需頻率的驅(qū)動信號的部分。移相部103是將振蕩部101產(chǎn)生的驅(qū)動信號分為相位相差卯。的兩個驅(qū)動信號的部分。放大部104、105是將由移相部103劃分的兩個驅(qū)動信號分別升壓到所需電壓的部分。來自放大部104、105的驅(qū)動信號，被傳遞到超聲波馬達IO,并且通過外加該驅(qū)動信號而在振子11上產(chǎn)生行波，從而驅(qū)動動子15。檢測部106由光學編碼器或磁編碼器等構(gòu)成，檢測部106是檢測被動子15的驅(qū)動所驅(qū)動的透鏡7的位置和速度的部分。本實施方式中通過檢測凸輪6的位置和速度來檢測透鏡7的位置和速度?？刂撇?02是基于來自設置于照相機機身2的未圖示的CPU的驅(qū)動指令控制超聲波馬達10的驅(qū)動的部分?？刂撇?02接受來自檢測部106的檢測信號，并且基于該值取得位置信息和速度信息，由此控制振蕩部101產(chǎn)生的驅(qū)動信號的驅(qū)動頻率，從而使其定位于目標位置。根據(jù)本實施方式的構(gòu)成，超聲波馬達10的驅(qū)動裝置100按照如下方式動作。首先，將目標位置傳遞給控制部102。從振蕩部IOI產(chǎn)生驅(qū)動信號，根據(jù)該信號由移相部103生成相位相差90。的兩個驅(qū)動信號，再由放大部104、105放大到所需的電壓。驅(qū)動信號外加于超聲波馬達10的壓電體13并激振壓電體13,借助該激振在彈性體12上產(chǎn)生4次彎曲振動。壓電體13被分為A相和B相，驅(qū)動信號分別外加于A相和B相。從A相產(chǎn)生的4次彎曲振動和從B相產(chǎn)生的4次彎曲振動為，位置上相位錯開1/4波長，并且A相驅(qū)動信號和B相驅(qū)動信號因錯開了卯。相位，兩個彎曲振動被合成而形成4波的行波。行波的波峰產(chǎn)生橢圓運動。因此，壓接于彈性體12的驅(qū)動面的動子15被該橢圓運動摩擦驅(qū)動。光學編碼器等的檢測部106,檢測被動子15的驅(qū)動所驅(qū)動的凸輪筒6的位置和速度，并且將其以電脈沖形式傳遞到控制部102。控制部102基于該信號能夠取得透鏡7的當前位置和當前速度，并且基于這些位置信息、速度信息及目標位置信息來控制振蕩部IOI產(chǎn)生的驅(qū)動頻率。圖4是表示第1實施方式的壓電體13的圖。圖4(a)是從彈性體12側(cè)觀察壓電體13與彈性體12的接合面13a的圖。圖4(b)是從齒輪20側(cè)觀察壓電體13的接合面的相反側(cè)的面(以下稱為另一個面)的圖。壓電體13的接合面13a上形成有電極部131和粘接強度提高部133。另外，另一個面13b上形成有輸入A相、B相的兩個相的電信號的電極A1A4、B1~B4，在A相和B相之間空出1/4波長間隔的部分設置有地線G。電極部131以及馬達A1A4、B1B4和地線G，是分別在壓電體13的接合面13a、另一個面13b的表面，通過絲網(wǎng)印刷涂布銀漿形成的，壓電體13利用它們進行極化處理。另一個面13b的各馬達Al~A4、B1B4之間、馬達A1和地線G之間、地線G和電極B1之間，形成有壓電體13的基體表面暴露了的基體部132。針對形成于壓電體13的接合面13a的粘接強度提高部133(133a、133b、133c、133d)進行說明。粘接強度提高部133是壓電體13的基體暴露了的部分，粘接強度提高部133具有提高壓電體13和彈性體12的粘接強度的功能。粘接強度提高部133形成為，壓電體13的周向的尺寸大于壓電體13的徑向的尺寸。該粘接強度提高部133是壓電體13的基體暴露著的部分，其表面具有微小的凹凸。因此，在利用粘接劑將壓電體13和金屬制的彈性體12接合的情況下，粘接劑進入細微的凹凸部分而獲得拋錨效果(錨定效果)，獲得較強的粘接強度。如圖4(a)所示，本實施方式中將粘接強度提高部133作成四種形狀(133a、133b、133c、133d),它們分別以壓電體13的半徑中心為中心形成于各旋轉(zhuǎn)大約卯度的4個位置。粘接強度提高部133a形成為與接合面13a的內(nèi)周端相接。雖然粘接強度提高部133b形成于接合面13a的內(nèi)周側(cè)(內(nèi)周端的附近)，但是不與內(nèi)周端相接。粘接強度提高部133c形成為與接合面13a的外周端相接。雖然粘接強度提高部133d形成于接合面13a的外周側(cè)(外周端的附近)，但是不與外周端相接。如圖4(a)所示，在與在接合面13a的內(nèi)周端形成有粘接強度提高部133a的部分相對應的外周側(cè)上，在比外周端靠近內(nèi)周側(cè)形成有粘接強度提高部133d，在與在接合面13a的外周端形成有粘接強度提高部133c的部分相對應的內(nèi)周側(cè)上，在比內(nèi)周端靠近外周側(cè)形成有粘接強度提高部133b。通過這樣配置粘接強度提高部133,因此在接合面13a上設置了沿壓電體13的徑向延伸的假想直線L的情況下，形成在接合面13a的任意區(qū)域內(nèi)，在與假想直線L相接的外周端、內(nèi)周端的至少一方形成電極部131的形態(tài)。另外，在本實施方式中粘接強度提高部133a、133b、133c、133d的壓電體13的徑向尺寸相等，但是粘接強度提高部133b、133d的壓電體13的周向尺寸形成為長于粘接強度提高部133a、133c。在超聲波馬達中，當壓電體和彈性體的粘接強度較弱時，壓電體的伸縮傳遞到彈性體的效率下降，因此引起驅(qū)動性能的降低。因此，如上所述，通過在壓電體13的接合面13a上設置暴露基體的粘接強度提高部133，從而利用錨定效果就能夠提高粘接強度，提高驅(qū)動效率。另外，如圖4(a)所示，將粘接強度提高部133的壓電體13周向的尺寸形成為長于徑向尺寸，其理由是因為通過來自撓性印刷基板14的驅(qū)動信號使壓電體13伸縮來將行波傳遞給彈性體12時，局部觀察發(fā)現(xiàn)壓電體13彎曲，在彈性體12與壓電體13的接合部產(chǎn)生較大的剪切應力。這是為了防止由該剪切應力產(chǎn)生的位于接合部的粘接層的破壞和變形，使來自壓電體13的激振可靠地傳遞給彈性體12。此外，將粘接強度提高部133形成于接合面13a的內(nèi)周端、外周端以及它們附近，其理由是因為在接合面13a的內(nèi)周端、外周端以及它們附近，壓電體13通過驅(qū)動信號進行伸縮時的接合面的剪切應力進一步增大，易產(chǎn)生粘接層的破壞和變形，因此為了防止該情況將來自壓電體13的激振可靠地傳遞給彈性體12。優(yōu)選地，在另一個面13b的與粘接強度提高部133的區(qū)域相對置的區(qū)域內(nèi)有形成電極。以下對該理由進行說明。以往，在壓電體的表面形成電極部的絲網(wǎng)印刷時等情況下為了易于制造，如后述圖6(a)、(b)所示，以與壓電體53的電極部131及電極A1A4、B1B4等的外周端或內(nèi)周端相接的方式，形成暴露壓電體基體的基體部132。圖5是表示壓電體極化的樣子的圖。圖5(a)~(c)是放W示在與徑向平行且與掩^面的法線平行的方向切斷壓電體的外周端的截面。這里，圖5(a)~(c)中，接合面?zhèn)葹閳D中的上側(cè)，但是該方向不作特殊限定。另外，圖5(a)~(c)中，表示外周端中極化的樣子，然而內(nèi)周端也相同。圖5U)是圖6(a)、(b)表示的后述的以往的壓電體53的外周端附近的截面圖，通過與備^面53a及另一個面53b的外周端相接來形成基體部132。圖5(b)、(c)是本實施方式的壓電體13的外周端附近的剖視圖。圖5(b)是形成粘接強度提高部133c的部分的剖視圖，通過與#^面13a的外周端相接來形成粘接強度提高部133c，另一個面13b的外周端上形成有電極部131。圖5(c)是形成粘接強度提高部133d的部分的剖視圖，接合面13a及另一個面13b的外周端上形成有電極部131。這里，通過合成由壓電體的激振產(chǎn)生的兩個彎曲振動的駐波而獲得彈性體產(chǎn)生的行波，然而該駐波的彎曲振動是利用對壓電體的外加電壓的伸縮力而產(chǎn)生(unimorpheffect)。在振動致動器中有效地實施極化處理，施加驅(qū)動電壓時產(chǎn)生的行波的部分的徑向?qū)挾扰c壓電體的電極部的徑向?qū)挾认嗟然蚱湟陨?，這在獲得良好的驅(qū)動特性的觀點方面較理想。然而，因為基體部沒有形成電極部，所以不能夠進行極化，外加驅(qū)動信號的面積只減少基體部的面積。因此，如圖5(a)所示，在使用了在壓電體53的接合面53a、另一個面53b的內(nèi)周端及外周端設置有基體部132的壓電體53的超聲波馬達中，形成了基體部132的區(qū)域不進行極化，因此驅(qū)動效率較差。與此相對，如圖5(b)所示，本實施方式中與另一個面13b的粘接強度提高部133c相對置的區(qū)域內(nèi)形成有電極A4，因此極化處理時與粘接強度提高部133c的區(qū)域?qū)膲弘婓w13的區(qū)域大多被極化。另外，同樣如圖5(c)所示，在接合面13a的外周端的徑向內(nèi)周側(cè)形成粘接強度提高部133d的部分中，在另一個面13b的與粘接強度提高部133d相對置的區(qū)域內(nèi)形成有電極A3，因此與粘接強度提高部133d的區(qū)域?qū)膲弘婓w13的區(qū)域大多被極化。因此，如圖5(b)、(c)所示，當在接合面13a上形成壓電體13的基體暴露的粘接強度提高部133的情況下，通過在另一個面13b的與粘接強度提高部133的區(qū)域相對置的區(qū)域內(nèi)形成電極部131，從而能夠不降低驅(qū)動效率，獲得所希望的粘接強度。這里，準備比較例l、2的超聲波馬達，在與本實施方式的超聲波馬達10相同的條件下驅(qū)動它們來評價了驅(qū)動性能。比較例l、2的超聲波馬達除了與本實施方式的超聲波馬達10的接合面的方式不同外，是基本相同的形態(tài)。因此，對與本實施方式的超聲波馬達10發(fā)揮相同功能的部分標記相同的符號并適當省略重復的說明。圖6是表示比較例1的超聲波馬達的壓電體53的圖。圖6(a)表示壓電體53的接合面53a,圖6(b)表示另一個面53b。比較例1的超聲波馬達是在壓電體53的接合面53a及另一個面53b的內(nèi)周端、外周端處形成基體部132,并使用以往的一般的壓電體的超聲波馬達。圖7是表示比較例2的超聲波馬達的壓電體63的圖。圖7(a)表示壓電體63的接合面63a,圖7(b)表示另一個面63b。比較例2的超聲波馬達是在接合面63a上全面形成電極部131。另外，雖然另一個面63b在各電極A1~A4、B1B4之間形成有基體部132，但是在外周端及內(nèi)周端沒有形成基體部132。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>表l是表示第1實施方式的超聲波馬達10和比較例1、2的超聲波馬達的驅(qū)動性能的評價結(jié)果的表。表l中共振電阻是頻率-阻抗特性中的極小值。共振電阻能夠作為表示壓電體和彈性體的粘接強度的一個指標，如果粘接強度以外的條件相等，則共振電阻越高表示粘接強度越弱。另外，額定驅(qū)動輸入是指以額定負荷(0.39xl(T2N.m(-40gf'cm))進行額定旋轉(zhuǎn)(300miiT1)的情況下的對超聲波馬達的輸入電力，額定驅(qū)動輸入越低，則表示驅(qū)動效率越好。根據(jù)圖1表示的結(jié)果，第1實施方式的超聲波馬達10和比較例1的超聲波馬達共振電阻基本為同等程度，然而比較例2的超聲波馬達與另外兩個超聲波馬達相比共振電阻約為1.8倍。這意味著比較例2的超聲波馬達中，由于在壓電體63的接合面63a的全面形成電極部131而未形成基體部132，因此降低了壓電體63和彈性體12的粘接強度。關于額定驅(qū)動輸入，比較例2的超聲波馬達與另外兩個超聲波馬達相比，其值大了120mW~140mW。這表示由于粘接強度較弱使壓電體63的激振不能有效地傳遞到彈性體12，因此驅(qū)動效率惡化。另外，第1實施方式的超聲波馬達10與比較例1的超聲波馬達相比小了20mW。這表示由于第一實施方式的超聲波馬達10如圖4(a)所示，在接合面13a上設置了粘接強度提高部133，因而保持與比較例1的超聲波馬達基本相同的粘接強度，并且在壓電體13的內(nèi)周端及外周端形成電極部131及電極A1A4、B1~B4,因此實際上除了獲得與增大產(chǎn)生行波的壓電體的面積同樣的效果以外，如圖5(b)、(c)所示由于在另一個面13b的與粘接強度提高部133的區(qū)域相對置的區(qū)域的大部分形成有電極A1A4、B1~B4,因此通過增加壓電體13極化的區(qū)域來增大產(chǎn)生行波的區(qū)域，從而提高將壓電體13的伸縮向彈性體12傳遞的效率，提高了超聲波馬達10的驅(qū)動性能。因此，根據(jù)本實施方式，能夠保持良好的驅(qū)動效率并且使超聲波馬達小型化。第二實施方式圖8是表示第2實施方式的超聲波馬達的壓電體23的圖。圖8(a)表示從彈性體12側(cè)觀g合面23a的樣子，圖8(b)表示從齒輪部件20側(cè)》見察另一個面22b的樣子。第2實施方式的超聲波馬達，除了與上述的第1實施方式的超聲波馬達10的壓電體23的接合面23a的形態(tài)等不同以外，它們是基本相同的形態(tài)。因此，在第2實施方式中，對與第1實施方式的超聲波馬達IO發(fā)揮相同功能的部分標記相同的符號并適當省略重復的說明。另外，后述的第3實施方式、第4實施方式中也相同。如圖8(a)所示，第2實施方式的超聲波馬達在壓電體23的掩^面23a上形成有輸入A相、B相的驅(qū)動信號的電極Al~A4、B1B4以及地線G。另外，如圖8(b)所示，在另一個面23b上，電極部131形成于基本全部面，并且在相當于地線G、A相、B相的區(qū)域的各區(qū)域間形成基體部132。本實施方式的超聲波馬達中，在接合面23a的各電極A1A4、Bl~B4間形成有基體部132。壓縮體23伸縮時的形變與各電極Al~A4、B1~B4區(qū)域內(nèi)的形變相比，各電極A1A4、B1~B4間的形變非常小對行波的產(chǎn)生基本沒有貢獻。因此，設置在各電極A1A4、B1B4間的基體部132，提高粘接強度的效果較小。粘接強度提高部133(133e、133f)，形成于各電極A1~A4、Bl~B4區(qū)域內(nèi)的內(nèi)周端附近133e和外周端附近133f，并且內(nèi)周端與外周端沒有接觸。如上所述，由于壓縮體23伸縮時的形變在各電極Al~A4、B1~B4區(qū)域內(nèi)較大，因此為了期待進一步提高粘接強度的效果，粘接強度提高部133形成于各電極A1~A4、B1B4區(qū)域內(nèi)。另外，粘接強度提高部133沿著壓電體23的周向在各電極內(nèi)交替形成內(nèi)周側(cè)的133e和外周側(cè)的133f。根據(jù)本實施方式，每個作為使彈性體12產(chǎn)生行波的基礎的電極上形成有粘接強度提高部133,因此能夠提高將壓電體23的激振傳遞到彈性體12的效率，從而能夠提高超聲波馬達的驅(qū)動性能。第3實施方式圖9是表示第3實施方式的超聲波馬達的壓電體33的圖。圖9(a)是從彈性體12側(cè)觀察壓電體33的接合面33a的圖，圖9(b)是從齒輪部件20側(cè)，見察另一個面33b的圖。第3實施方式的超聲波馬達是與第一實施方式的超聲波馬達10基本相同的方式，但是壓電體33的接合面33a上形成的粘接強度提高部133的形狀和配置不同。如圖9(a)所示，與壓電體33的彈性體12的接合面33a上形成有電極部131，近似圓形狀的粘接強度提高部133無規(guī)則地配置在電極部131的區(qū)域內(nèi)。另外，雖然本實施方式中粘接強度提高部133表示了近似圓形的例，但是并不限于此，例如，也可以是矩形或六邊形等的多邊形，并不作特殊限定。根據(jù)本實施方式，在接合面33a上形成電極部131及粘接強度提高部133時，無需定位且易于制造，因而能夠降低生產(chǎn)成本。第4實施方式圖IO是表示第4實施方式的超聲波馬達的壓電體43的圖。圖10(a)是從彈性體12側(cè)觀察壓電體43的接合面43a的圖。圖10(b)是從齒輪部件20側(cè)觀察另一個面43b的圖。第4實施方式的超聲波馬達是與第1實施方式的超聲波馬達10基本相同的方式，但是形成于壓電體43的接合面43a的粘接強度提高部133的形狀不同。第4實施方式的粘接強度提高部133的面積總和，大于第1實施方式的粘接強度提高部133的面積總和。并且，第4實施方式的粘接強度提高部133的面積總和，與在比較例1中形成于接合面53a的基體部132的面積的總和基本相等。如圖10(a)所示，雖然粘接強度提高部133b、133d與第1實施方式(圖4)相同，但是粘接強度提高部133g、133h與第一實施方式的粘接強度提高部133a、133c相比周向的長度較長。并且，粘接強度提高部133g延伸到在周向鄰接的粘接強度提高部133b的周向端部，粘接強度提高部133h延伸到在周向鄰接的粘接強度提高部133d的周向端部。本實施方式與第一實施方式相同，當在接合面43a上設置了沿壓電體43的徑向延伸的假想直線L的情況下，在接合面43a的任何區(qū)域內(nèi)，在與假想直線L相接的外周端、內(nèi)周端的至少一方的端部上形成電極。并且，與第l實施方式不同，在本實施方式中，在與假想直線L相接的外周端、內(nèi)周端的兩方的端部上都不存在形成電極部的區(qū)域。根據(jù)本實施方式，與第一實施方式相比加長了粘接強度提高部133g、133h的長度，因此粘接強度提高部133的面積的總和增大，從而提高粘接強度。變形方式本發(fā)明不限于以上說明的實施方式，能夠進行各種變形和變更，它們也在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。(1)在第1實施方式、第3實施方式及第4實施方式中，輸入驅(qū)動信號的電極A1A4、B1~B4別形成在掩^面的相反側(cè)，第2實施方式中表示了電極A1A4、B1B4形成于掩^面的例子，但是第1實施方式、第3實施方式及第4實施方式中，也可以將電極A1~A4、B1~B4形成于掩^面，第2實施方式中也可以將電極A1A4、B1B4形成在接合面的相反側(cè)的面。(2)各實施方式中表示了超聲波馬達在調(diào)焦動作時用于透鏡的驅(qū)動的例子，但是不限于此，例如，也可以作為用于透鏡的變焦動作時的驅(qū)動的超聲波馬達。(3)各實施方式中列舉使用超聲波區(qū)域的振動的超聲波馬達為例進行了說明，但是不限于此，例如，也可以應用于使用超聲波區(qū)域以外的振動的振動致動器。(4)各實施方式中列舉旋轉(zhuǎn)驅(qū)動動子的超聲波馬達為例進行了說明，然而不限于此，也可以應用于在直線方向上驅(qū)動動子的線性振動致動器。(5)各實施方式中超聲波馬達表示了設置于照相機的例，但是不限于此，也可以應用于例如復印機的驅(qū)動部、汽車的轉(zhuǎn)向輪隙裝置(steeringwheeltiltingdevice)或頭靠的驅(qū)動部。另外，當然也能夠適宜組合使用各實施方式及變形方式，但省略詳細說明。另外，本發(fā)明并不限于以上^L明的各實施方式。權(quán)利要求1.一種振動致動器，其特征在于，所述振動致動器具備通過驅(qū)動信號激振的機電轉(zhuǎn)換元件；彈性體，其與所述機電轉(zhuǎn)換元件接合，并且通過所述激振而在驅(qū)動面上產(chǎn)生振動波；相對移動部件，其被壓接于所述彈性體的驅(qū)動面，并且被所述振動波驅(qū)動，其中，所述機電轉(zhuǎn)換元件的與所述彈性體接合的接合面具有形成有電極的電極部、提高所述彈性體和所述機電轉(zhuǎn)換元件的粘接強度的粘接強度提高部，假想直線穿過的所述接合面的兩個端部中的至少一個端部上形成有所述電極部，所述假想直線穿過所述粘接強度提高部且與所述彈性體和所述相對移動部件的相對移動方向正交。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的振動致動器，其特征在于，在所述兩個端部和/或所述兩個端部的附近，且在相對于所述相對移動方向不同的位置上形成所述粘接強度提高部。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的振動致動器，其特征在于，所述粘接強度提高部的所^目對移動方向的尺寸，長于沿著所述假想直線方向的尺寸。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的振動致動器，其特征在于，所述假想直線穿過的所述掩^面的兩個端部中的另一個端部上，形成所述粘接強度提高部。5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的振動致動器，其特征在于，所述粘接強度提高部被無規(guī)則地配置在所述接合面上。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項所述的振動致動器，其特征在于，在所述機電轉(zhuǎn)換元件的與所述接合面相反側(cè)的面，且在與所述粘接強度提高部相對置的部分上形成所述電極部。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項所述的振動致動器，其特征在于，所述粘接強度提高部沒有形成所述電極部，所i^電轉(zhuǎn)換元件的基體暴露。8.—種鏡頭鏡筒，其特征在于，具備權(quán)利要求1至7中任意一項所述的振動致動器。9.一種照相機，其特征在于，具備權(quán)利要求1至7中任意一項所述的振動致動器。全文摘要本發(fā)明能夠使振動致動器小型化。該振動致動器具備通過驅(qū)動信號激振的機電轉(zhuǎn)換元件13；彈性體12，其與機電轉(zhuǎn)換元件13接合，并且通過其激振而在驅(qū)動面上產(chǎn)生振動波；相對移動部件15，其壓接于彈性體12的驅(qū)動面，并且被該振動波驅(qū)動，機電轉(zhuǎn)換元件13與彈性體12接合的接合面13a具有形成電極的電極部131、提高彈性體12和機電轉(zhuǎn)換元件13的粘接強度的粘接強度提高部133，假想直線L穿過的接合面13a的兩個端部中的至少一個端部上形成有電極部131，上述假想直線穿過上述粘接強度提高部133且與彈性體12和相對移動部件15的相對移動方向正交。文檔編號G02B7/04GK101569085SQ20078004796公開日2009年10月28日申請日期2007年12月20日優(yōu)先權(quán)日2006年12月25日發(fā)明者蘆澤隆利申請人:株式會社尼康