專利名稱：：光學(xué)元件及光拾取裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及在透鏡表面施加鍍膜的光學(xué)元件。另外，涉及安裝該光學(xué)元件的光拾取裝置。
背景技術(shù)：
：在以往的光拾取裝置中，安裝有使來自激光二極管的光聚焦、引導(dǎo)向光盤的物鏡(光學(xué)元件)。而且，該物鏡由塑料材料或玻璃材料等制成D成型的物鏡由于各種原因，例如透鏡面的公差或透鏡內(nèi)的折射率分布的不均勻，使射出光會產(chǎn)生各種像差(波像差)。而且，該各種像差使聚焦在光盤的點徑形狀與期望形狀不同。因此，這樣在變形的點徑與期望形狀的點徑之間會產(chǎn)生形狀誤差，導(dǎo)致無法對光盤穩(wěn)定記錄數(shù)據(jù)的現(xiàn)象、或不能準(zhǔn)確再現(xiàn)從光盤讀取的數(shù)據(jù)的現(xiàn)象等。另外，對于與要求高精度的藍色激光(波長405nm附近)對應(yīng)的物鏡，例如要求使其波像差為10mo"ms以下。作為使透鏡內(nèi)的折射率分布不均勻的原因之一，可以舉出有玻璃成型工藝。在通過玻璃成型工藝制作物鏡OL時，如圖4所示，熔融的玻璃母材GM在具有規(guī)定曲面的金屬模MM(MM1、MM2)內(nèi)被按壓成型。因此，對物鏡OL的外緣會施加比較大的壓力，因該壓力將導(dǎo)致在物鏡OL的內(nèi)部產(chǎn)生應(yīng)力形變，其結(jié)果是會產(chǎn)生雙折射(另外，圖4的箭頭的個數(shù)表示壓力分布)。這樣的雙折射在透鏡的中心部與外緣部的壁厚差越大的、數(shù)值孔徑越大的透鏡(例如數(shù)值孔徑為0.6以上)中越容易產(chǎn)生。作為防止上述現(xiàn)象的一個措施，例如有專利文獻1所披露的方法。根據(jù)該方法，首先，以內(nèi)部的折射率分布是均勻的為前提，求出光學(xué)元件的初始設(shè)計值。接下來，基于該初始設(shè)定值將光學(xué)元件成型，實測該成型品(原始品)的折射率分布。接下來，通過仿真求出因?qū)崪y的折射率分布(即不均勻的折射率分布數(shù)據(jù))引起的各種像差。然后，求出可以校正該仿真中的像差的非球面形數(shù)據(jù)，校正加工金屬模，使其與該非球面形數(shù)據(jù)一致。這樣，通過使用校正加工后的金屬模進行成型，可以降低光學(xué)元件的像差。專利文獻1:日本專利特開2005—283783號公報
發(fā)明內(nèi)容然而，專利文獻1所披露的光學(xué)元件需要對金屬模進行極為困難且繁瑣的校正加工。而且，該光學(xué)元件還需要繁瑣的、不均勻的折射率分布數(shù)據(jù)的測定。本發(fā)明是為了解決上述的問題而完成的。并且其目的在于提供一種可以簡便地抑制射出光的各種像差(例如波像差的像散分量)的光學(xué)元件，以及提供一種安裝該光學(xué)元件的光拾取器。本發(fā)明是在透鏡表面具有多層光學(xué)膜的光學(xué)元件。而且，在該光學(xué)元件中，透鏡具有雙折射性，該透鏡所引起的波像差的像散分量是lOmXrms以上，多層光學(xué)膜通過使P偏振光與S偏振光產(chǎn)生相位差，使雙折射抵消，從而使光學(xué)元件所引起的波像差的像散分量降低至5mkms以下。另外，理想的是多層光學(xué)膜的相位差隨著從透鏡中心向外緣部而實際上單調(diào)增加。另外，理想的是，設(shè)入射至多層光學(xué)膜的波長為405nm的光的入射角為S[°]，透過多層光學(xué)膜的光的P偏振光與S偏振光的相位差為D[°]，這時S與D的關(guān)系滿足8=30°時，D為2。以上且20。以下；S二60。時，D為4。以上且40。以下，D在30°￡8^60°的范圍內(nèi)的變化是單調(diào)變化。另外，作為單調(diào)變化的一個例子，可以舉出有線性變化。另外，多層光學(xué)膜是防反射膜，多層光學(xué)膜所包含的光學(xué)薄膜中，在設(shè)具有不到1.6的折射率的光學(xué)薄膜為低折射率層，具有1.6以上且1.9以下的折射率的光學(xué)薄膜為中間折射率層，具有超過1.9的折射率的光學(xué)薄膜為高折射率層時，滿足下面的條件(1)及條件(2)時較為理想條件(1):透鏡的波像差的像散分量是20mkms以上。條件(2):多層光學(xué)膜具有低折射率層、中間折射率層、以及高折射率層，總計為九層以上。另外，多層光學(xué)膜是防反射膜，多層光學(xué)膜所包含的光學(xué)薄膜中，在設(shè)具有不到1.6的折射率的光學(xué)薄膜為低折射率層，具有1.6以上且1.9以下的折射率的光學(xué)薄膜為中間折射率層，具有超過1.9的折射率的光學(xué)薄膜為高折射率層時，滿足下面的條件(3)及條件(4)時較為理想條件(3):透鏡的波像差的像散分量是10mXrms以上且不到20mXrms。條件(4):多層光學(xué)膜具有低折射率層、中間折射率層、以及高折射率層，總計為7層以上。另外，多層光學(xué)膜是防反射膜，多層光學(xué)膜所包含的光學(xué)薄膜中，在設(shè)具有不到1.6的折射率的光學(xué)薄膜為低折射率層，具有超過1.9的折射率的光學(xué)薄膜為高折射率層時，滿足下面的條件(5)條件(7)時較為理想條件(5):透鏡的波像差的像散分量是20mkms以上。條件(6):多層光學(xué)膜包含總計為7層以上的光學(xué)薄膜，并且具有使低折射率層與高折射率層交替層疊而成的重復(fù)結(jié)構(gòu)。條件(7):高折射率層的折射率減去低折射率層的折射率而求出的折射率之差是0.5以上。另外，多層光學(xué)膜是防反射膜，多層光學(xué)膜所包含的光學(xué)薄膜中，在設(shè)具有不到1.6的折射率的光學(xué)薄膜為低折射率層，具有超過1.9的折射率的光學(xué)薄膜為高折射率層時，滿足下面的條件(8)條件(10)時較為理想條件(8):透鏡的波像差的像散分量是10mXrms以上且不到20m人rms。8條件(9):多層光學(xué)膜包含總計為五層以上的光學(xué)薄膜，并且具有使低折射率層與高折射率層交替層疊而成的重復(fù)結(jié)構(gòu)。條件(10):高折射率層的折射率減去低折射率層的折射率而求出的折射率之差是0.5以上。另外，理想的是透鏡通過成型工藝形成。另外，理想的是透鏡的數(shù)值孔徑是0.6以上。另外，理想的是雙折射是以透鏡的透鏡軸中心為基準(zhǔn)生成為放射狀，雙折射的量隨著從透鏡軸中心向透鏡的外緣而增加。另外，理想的是多層光學(xué)膜是使防反射用的介質(zhì)膜層疊的多層介質(zhì)膜。另外，包括以上的光學(xué)元件的光拾取裝置也屬于本發(fā)明。另外，是在透鏡表面具有多層光學(xué)膜的光學(xué)元件，透鏡具有雙折射性，多層光學(xué)膜通過使P偏振光與S偏振光產(chǎn)生相位差，而使雙折射抵消，使在透鏡產(chǎn)生的波像差的像散分量降低至一半以下，這樣的光學(xué)元件也屬于本發(fā)明。另外，理想的是在該光學(xué)元件中，多層光學(xué)膜使在透鏡產(chǎn)生的波像差的像散分量降低至l/5以下。根據(jù)本發(fā)明，利用對光學(xué)元件形成的多層光學(xué)膜，可以簡便地抑制射出光的各種像差(例如波像差的像散分量)。圖1是后述的圖2中的物鏡的放大圖。圖2是光拾取裝置的結(jié)構(gòu)圖。圖3A是確認雙折射的確認裝置的立體圖。圖3B是可以用確認裝置觀察的透鏡面的俯視圖。圖3C是在使物鏡旋轉(zhuǎn)時的透鏡面的俯視圖。圖3D是在使確認裝置內(nèi)的偏振板旋轉(zhuǎn)時的透鏡面的俯視圖。圖4是表示物鏡的成型金屬模與玻璃母材的結(jié)構(gòu)圖。圖5是表示實施例1的多層介質(zhì)膜具有的反射特性的反射特性圖。圖6是表示在波長405nm時的、實施例1的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖7是表示在波長660nm時的、實施例1的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖8是表示在波長785rnn時的、實施例1的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖9是表示實施例2的多層介質(zhì)膜具有的反射特性的反射特性圖。圖10是表示在波長405nm時的、實施例2的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖11是表示在波長660nm時的、實施例2的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖12是表示在波長785nm時的、實施例2的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖13是表示實施例3的多層介質(zhì)膜具有的反射特性的反射特性圖。圖14是表示在波長405nm時的、實施例3的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖15是表示在波長660nm時的、實施例3的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖16是表示在波長785nm時的、實施例3的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖17是表示實施例4的多層介質(zhì)膜具有的反射特性的反射特性圖。圖18是表示在波長405nm時的、實施例4的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖19是表示在波長660nm時的、實施例4的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖20是表示在波長785nm時的、實施例4的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖21是表示實施例5的多層介質(zhì)膜具有的反射特性的反射特性圖。圖22是表示在波長405mn時的、實施例5的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖23是表示在波長660nm時的、實施例5的多層介質(zhì)膜具有的相位差特10性的相位差特性圖。圖24是表示在波長785nm時的、實施例5的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖25是表示實施例6的多層介質(zhì)膜具有的反射特性的反射特性圖。圖26是表示在波長405nm時的、實施例6的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖27是表示在波長660nm時的、實施例6的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖28是表示在波長785nm時的、實施例6的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖29是表示比較例的多層介質(zhì)膜具有的反射特性的反射特性圖。圖30是表示在波長405nm時的、比較例的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖31是表示在波長660nm時的、比較例的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖32是表示在波長785mn時的、比較例的多層介質(zhì)膜具有的相位差特性的相位差特性圖。圖33是泰曼一格林干涉儀的結(jié)構(gòu)圖。標(biāo)號說明COL鍍膜物鏡OL物鏡MLR多層介質(zhì)膜(多層光學(xué)膜)Li介質(zhì)膜(光學(xué)薄膜)12偏振板13平面反射鏡14激光源15分束器16球面標(biāo)準(zhǔn)原器17平面標(biāo)準(zhǔn)原器18圖像處理裝置19被檢測透鏡21第一激光單元22第一激光二極管23第一偏振光分束器24第一準(zhǔn)直透鏡25第一光電二極管31第二激光單元32第二激光二極管33第二偏振光分束器34第二準(zhǔn)直透鏡35第二光電二極管41分光棱鏡42直立反射鏡431/4波長板44光盤45光拾取裝置具體實施例方式實施方式1l.關(guān)于光拾取裝置圖2是表示光拾取裝置59的簡要結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。而且，該光拾取裝置59具有第一激光單元21、第二激光單元31、分光棱鏡41、直立反射鏡42、1/4波長板43、以及鍍膜物鏡COL。另夕卜，在圖2中，為便于理解，還圖示出光盤44。而且，將入射至該光盤44的光稱為"照射光"，將從光盤44反射的光稱為"信號光"(另外，光由虛線圖示)。首先，說明第一激光單元21。該第一激光單元21具有第一激光二極管(LD;LaserDiode)22、第一偏振光分束器(PBS;PolarizingBeamSplitter)23、第一準(zhǔn)直透鏡24、以及第一光電二極管(PD;PhotoDiode)25。第一LD22向第一PBS23射出波長為405nm的激光(藍色激光)。艮P，第一LD22對應(yīng)下一代DVD(DigitalVersatileDisc)之一的藍光光盤(BD;Blu-rayDisc)。第一PBS23使從第一LD22射出的線偏振光的激光(例如P偏振光)透過，引導(dǎo)向第一準(zhǔn)直透鏡24。另一方面，第一PBS23使通過第一準(zhǔn)直透鏡24前進來的信號光(例如S偏振光)反射，引導(dǎo)向第一PD25。第一準(zhǔn)直透鏡24使通過第一PBS23入射來的激光成為平行光，引導(dǎo)向分光棱鏡41。另一方面，第一準(zhǔn)直透鏡24將通過分光棱鏡41前進來的信號光引導(dǎo)向第一PBS23。第一PD25接收通過第一PBS23入射來的信號光。然后，通過該第一PD25所進行的光接收，檢測向藍光光盤進行記錄再現(xiàn)時的伺服信號(聚焦誤差信號、跟蹤誤差信號)、信息信號、像差信號等。接下來說明第二激光單元31。該第二激光單元31具有第二LD32、第二PBS33、第二準(zhǔn)直透鏡34、以及第二PD35。第二LD32向第二PBS33射出波長660nm的激光與波長785nm的激光。即，第二LD32是射出雙波長的激光的光源，對應(yīng)DVD與CD(CompactDisc)。第二PBS33使從第二LD32射出的線偏振光的激光(例如P偏振光)透過，引導(dǎo)向第二準(zhǔn)直透鏡34。另一方面，第二PBS33使通過第二準(zhǔn)直透鏡34前進來的信號光(例如S偏振光)反射，引導(dǎo)向第二PD35。第二準(zhǔn)直透鏡34使通過第二PBS33入射來的激光成為平行光，引導(dǎo)向分光棱鏡41。另一方面，第二準(zhǔn)直透鏡34將通過分光棱鏡41前進來的信號光引導(dǎo)向第二PBS33。第二PD35接收通過第二PBS33入射來的信號光。然后，通過該第一PD25所進行的光接收，檢測向DVD或者CD進行記錄再現(xiàn)時的伺服信號(聚焦誤差信號、跟蹤誤差信號)、信息信號、像差信號等。接下來說明分光棱鏡41。該分光棱鏡41使從第一激光單元21提供的激光反射，引導(dǎo)向直立反射鏡42，并且，使從第二激光單元31提供的激光透過，引導(dǎo)向直立反射鏡42。即，分光棱鏡41是使從不同的方向入射的各激光的前進方向向同一方向射出的光路轉(zhuǎn)換元件。另一方面，分光棱鏡41將通過直立反射鏡42前進來的信號光引導(dǎo)向第一激光單元21或者第二激光單元31。具體而言，從第一LD22射出的激光的信號光入射至分光棱鏡41后被反射，被引導(dǎo)向第一激光單元21的第一準(zhǔn)直透鏡24。另外，從第二LD32射出的激光的信號光入射至分光棱鏡41后透過，被引導(dǎo)向第二激光單元31的第二準(zhǔn)直透鏡34。接下來說明直立反射鏡42。直立反射鏡42將從分光棱鏡41射出的、朝向光盤44的激光的光路改變，引導(dǎo)向鍍膜物鏡COL。因此，該直立反射鏡42配置在第一LD22、第二LD32與光盤44之間，更詳細而言配置在分光棱鏡41與鍍膜物鏡COL之間的光路中。另一方面，直立反射鏡42將通過鍍膜物鏡COL前進來的信號光的光路改變，引導(dǎo)向分光棱鏡41。接下來說明1/4波長板43。1/4波長板43將被直立反射鏡42反射的線偏振光(例如P偏振光)轉(zhuǎn)換為圓偏振光。另一方面，1/4波長板43將來自光盤44的信號光(圓偏振光)轉(zhuǎn)換為線偏振光(例如S偏振光)。接下來說明鍍膜物鏡COL(光學(xué)元件)。鍍膜物鏡COL使被直立反射鏡42反射的、通過l/4波長板43得到的光(照射光)聚焦在光盤44上。另一方面，鍍膜物鏡COL將從光盤44反射來的光(信號光)引導(dǎo)向1/4波長板43。另夕卜，對該鍍膜物鏡COL設(shè)置防反射膜(AR膜，Anti-Reflection膜)的多層介質(zhì)膜MLR(細節(jié)后述)。另外，對于鍍膜物鏡COL的物鏡0L的材料，沒有特別的限制。但對于紫外光等環(huán)境的耐氣候性較高的玻璃較為理想。例如，可以舉出有以下的玻璃成型透鏡作為一個例子。數(shù)值孔徑(NA;NumericalAperture):0.85透鏡外形(直徑)5mm中心厚:2.6mm另外，對BD、DVD、CD使用的鍍膜物鏡COL的數(shù)值孔徑的標(biāo)準(zhǔn)值分別是0.85、0.65、0.5。然而，在由玻璃成型工藝形成的物鏡OL中會產(chǎn)生以透鏡軸為中心的放射狀的雙折射，其雙折射量是越靠近物鏡OL的外緣增加得越多。而且，由于物14鏡OL具有的雙折射從透鏡軸呈放射狀分布，即呈軸對稱分布，因此可以認為雙折射的光軸(超前軸或者滯后軸)存在于透鏡的徑向與圓周方向。其結(jié)果是,入射至物鏡OL的外緣的光(邊緣光線)受到雙折射很大的影響，產(chǎn)生波像差。另一方面，如圖1(圖2的鍍膜物鏡COL的放大圖)所示，鍍膜物鏡COL為了進行防反射處理(AR處理)而包含多個介質(zhì)膜Li。這樣，如圖1所示，例如平行光入射至介質(zhì)膜Li時，越靠近鍍膜物鏡COL的外緣，入射角5會漸漸增大(另外，圖1中的點線表示在介質(zhì)膜Li的入射點的法線)。一般而言，通過入射角S的變化，通過介質(zhì)膜Li前進的光的P偏振光(與入射面平行振動的偏振光)和S偏振光(與入射面垂直振動的偏振光)之間的相位差會變化。這樣，P偏振光與S偏振光的相位差(若詳細說明，則是通過多個介質(zhì)膜Li(多層介質(zhì)膜MLR)的透過光的相位差；透過相位差D)、和雙折射導(dǎo)致的P偏振光與S偏振光的相位差(雙折射相位差)具有相反的極性時較為理想。這是由于若這樣，利用介質(zhì)膜Li導(dǎo)致的透過相位差D，雙折射相位差將被抵消。而且，因這樣的雙折射相位差被抵消，會引起波像差的像散的分量減少。其結(jié)果是，可以易于使透鏡產(chǎn)生的波像差的像散分量降至一半以下，進一步降至1/5以下。另外，介質(zhì)膜Li導(dǎo)致的透過相位差D隨著從透鏡中心向外緣部而實際上單調(diào)增加時較為理想。這是由于物鏡OL的雙折射越靠近外緣部越大，所以利用透過相位差D可以將其抵消。另外，所謂實際上單調(diào)增加，是指透過相位差D越靠近外緣部整體上越大，即使在最外緣部附近透過相位差D減少一點，但也可以認為是實際上單調(diào)增加。如上所述，通過利用介質(zhì)膜Li的透過相位差D來補償物鏡OL的雙折射，也可以使作為光拾取裝置的動作穩(wěn)定性提高。另外，若物鏡OL具有雙折射，則可以改變射出光的偏振狀態(tài)。S口，信號光在面向第一PBS23及第二PBS33時包含S偏振光之外的分量，其結(jié)果是，產(chǎn)生透過PBS23、33而到達LD的所謂返回光。由于返回光會使LD的振蕩不穩(wěn)定，因此必須盡可能避免。通過利用介質(zhì)膜Li的透過相位差D來抵消物鏡OL的雙折射，可以將該返回光所引起的影響大幅減小。152.關(guān)于防反射膜的細節(jié)此處，詳細說明構(gòu)成防反射膜的多層介質(zhì)膜(多層光學(xué)膜)MLR。如圖1所示，對鍍膜物鏡COL形成多個介質(zhì)膜Li。具體而言，在接收從l/4波長板43前進來的光的鍍膜物鏡COL的一面，層疊多個介質(zhì)膜Li(i=l、2、3...)。另外，i^l表示最靠近鍍膜物鏡COL的介質(zhì)膜。然后，多層介質(zhì)膜MLR的反射率通過在各邊界面("介質(zhì)膜Li的膜數(shù)(層數(shù))")對下述的菲涅耳公式采用"各介質(zhì)膜Li的膜厚"、"各介質(zhì)膜Li的折射率"來求出。R=[(n2—n。/(n2+m)]2…菲涅耳公式其中，反射率R是光從折射率n,的介質(zhì)1向折射率n2的介質(zhì)2垂直入射時的值。但是，如后所示的實施例16的多層介質(zhì)膜MLR的設(shè)計不僅是為了防反射，還可以產(chǎn)生透過相位差D(P偏振光與S偏振光的相位差)。另外，透過相位差D的調(diào)整原理如下。通常，光通過折射率不同的介質(zhì)時(折射率nH〉折射率nL)，通過折射率riH的介質(zhì)的光的相位eH(P偏振光的相位6hp'S偏振光的相位eHS)相對于通過折射率&的介質(zhì)的光的相位9l(P偏振光的相位0u'S偏振光的相位0L^)會產(chǎn)生滯后。因此，該滯后會引起通過折射率nH的介質(zhì)時產(chǎn)生的P偏振光與S偏振光的相位差(相位eHP—相位0HP)、和通過折射率&的介質(zhì)時產(chǎn)生的p偏振光與s偏振光的相位差(相位6LP—相位euO不同。這樣，將介質(zhì)間的折射率之差(折射率差)以及介質(zhì)中的距離(膜厚)作為參數(shù)，可以適當(dāng)設(shè)定透過相位差D。因此，考慮透過相位差D的六種(實施例16)的多層介質(zhì)膜MLR的結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)如表16所示。另外，作為比較例，是不考慮透過相位差D的一種多層介質(zhì)膜MLR的結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)如表7所示。但是，實施例16的結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)是將防反射特性與期望的相位差作為目標(biāo)值、而根據(jù)巿面上出售的膜結(jié)構(gòu)設(shè)計軟件導(dǎo)出的值。另外，比較例的結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)是以往一般使用的防反射膜的值。另外，折射率(nd)與d線(波長587.6nm)對應(yīng)，與d線對應(yīng)的玻璃的阿貝數(shù)("d)為56.88。另外，關(guān)于介質(zhì)膜Li的材質(zhì)，在是單獨的化合物時由化學(xué)式表示，在是混合物時由產(chǎn)品名表示(參照下述)。-氟化鎂MgF2-氧化鋁(鋁氧土)A1203-氧化鈦Ti02-默克日本株式會社制造"物質(zhì)114":H4其中，H4是Ti02與La203(氧化鑭)的混合物-默克日本株式會社制造"物質(zhì)M3":M3其中，M3是Al203與La203的混合物另外，根據(jù)材質(zhì)的折射率，介質(zhì)膜(層)Li定義如下。-低折射率層L:折射率不到1.6的介質(zhì)膜Li-中間折射率層M:折射率在1.6以上且1.9以下的介質(zhì)膜Li-高折射率層H:折射率超過1.9的介質(zhì)膜Li另外，與實施例16及比較例對應(yīng)的反射特性圖(表示波長[nm]與反射率[%]的關(guān)系的關(guān)系圖)以及相位差特性圖(對于多層介質(zhì)膜MLR的入射角[°]與相位差[°]的關(guān)系圖；其中，相位差是透過相位差D)如圖5圖32所示。因此，實施例、比較例與圖的對應(yīng)如表8所示。另外，相位差特性圖的縱軸表示從P偏振光的相位減去S偏振光的相位所求出的差值。而且，相位差特性圖的縱軸的"+"表示S偏振光的相位相對于P偏振光的相位滯后；另一方面，縱軸的"一"表示S偏振光的相位相對于P偏振光的相位超前。而且，抵消雙折射相位差的透過相位差D是圖中的"+"所示的值。實施例1<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>3H4H2.1128.984A1203M1.6439.975H4H2.1140.796MgF21.3851.287H4H2.1126.878MgF21.3886.929H4H2.118.08空氣空氣1.00—實施例4表4例4層材料折射率厚度(nm)物鏡玻璃1.62280—i1介質(zhì)層A1203M1.64852MgF2L1.3830.543H4H2.1127.284MgF2L1.3847.13H4H2.1126.296MgF2L1.3887.757H4H2.1110.74空氣空氣1.00—實施例5表5例5層材料折射率厚度(nm)物鏡玻璃1.62280—i1介質(zhì)層A1203M1.64181.682MgF21.3825.283H4H2.1122.024A12031.6446.375H4H2.11131.516MgF21.3862.497H4H2.1110.91空氣空氣1.00一實施例6表6例6層材料折射率厚度(nm)物鏡玻璃1.62280—i1介質(zhì)層M3M1.8487,662H4H2.1135.333MgF2L1.3828.934H4H2.1128.895MgF21.38124.79空氣空氣1.00一比較例表7比較1列層材料折射率厚度(nm)物鏡玻璃1.62280—i1介質(zhì)層M3M1.8467.932Ti02H2.42103.223MgF21.3890.58空氣空氣1.00一實施例、比較例與圖的對應(yīng)關(guān)系表8例1例2例3例4例5例6比較例反射4寺性5圖9圖13圖17圖21圖25圖29相位差特性圖405nm圖6圖10圖14圖18圖22圖26圖30660nm圖7圖11圖15圖19圖23圖27圖31785nm圖8圖12圖16圖20圖24圖28圖322—1.關(guān)于結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)從以上的實施例16的結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)，可知如下情況。20實施例16的多層介質(zhì)膜MLR具有低折射率層L、中間折射率層M、以及高折射率層H這三種層。另外，多層介質(zhì)膜MLR所包含的總計的層數(shù)(介質(zhì)膜Li的總數(shù))在實施例16中，分別是12層、9層、9層、7層、7層、5層。另外，實施例16的多層介質(zhì)膜MLR具有使低折射率層L與高折射率層H交替層疊而成的重復(fù)結(jié)構(gòu)。另外，若將一層低折射率層L與一層高折射率層H緊貼而成的多層看作一組，則實施例16的各組數(shù)量分別是5組、4組、3組、3組、2組、2組。另外，在實施例16中的高折射率層H的折射率NH與低折射率層L的折射率Nl的折射率差(Nh—Nl)的關(guān)系分別是0.73、1.04、0.73、0.73、0.73、0.73。另外，從比較例的結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)，可知如下情況。比較例的多層介質(zhì)膜MLR與實施例16—樣，具有低折射率層L、中間折射率層M、以及高折射率層H這三種層。但是，多層介質(zhì)膜MLR所包含的總計層數(shù)是三層。另外，比較例的多層介質(zhì)膜MLR與實施例16—樣，具有使低折射率層L與高折射率層H交替層疊而成的重復(fù)結(jié)構(gòu)。但組數(shù)是一組。另外，在比較例中，高折射率層H的折射率NH與低折射率層L的折射率Nl的折射率差是1.04。2—2.關(guān)于反射特性圖及相位差特性圖進一步從實施例16的反射特性圖及相位差特性圖，可知如下情況。在實施例16中，與BD、DVD、CD的波長(405、660、785nm)對應(yīng)的反射率不到3%。所以，若實施例16的多層介質(zhì)膜MLR是對物鏡OL形成的，則可以有效抑制來自鍍膜物鏡COL的反射光。另外，在實施例16中，在指定入射角8[°]時，透過相位差D[°]被指定在某一范圍內(nèi)。例如，在使用的波長為405nm的情況下，如下所示。在5=30°時，D為2。以上且20。以下(2^D￡20)在5=60°時，D為4。以上且40。以下(4^D￡40)并且，在使用的波長為405nm的情況下，在30^S^60。的范圍內(nèi)隨著入射角S的增加，透過相位差D單調(diào)增加。這可以從相位差特性圖中的曲線圖的線21條得知。另外，單調(diào)變化是表示單調(diào)增加或者單調(diào)減少的任意一個現(xiàn)象，可以舉出有線性變化作為單調(diào)變化的一個例子。另外，相位差特性圖的橫軸所示的入射角S與鍍膜物鏡COL的半徑方向相關(guān)。這可以從表示多層介質(zhì)膜MLR設(shè)置在物鏡OL時的圖1得知。這樣，物鏡OL具有以透鏡軸為中心的放射狀的雙折射性，在其雙折射量越靠近物鏡OL的外緣越增加時，對該物鏡OL形成實施例16的多層介質(zhì)膜MLR是較為理想。這是因為，在形成于物鏡OL的多層介質(zhì)膜MLR中(即在鍍膜物鏡COL中)，與物鏡OL的雙折射對應(yīng)那樣，透過相位差D以透鏡軸為中心產(chǎn)生為放射狀，其相位差量越靠近物鏡OL的外緣越增加。艮P，多層介質(zhì)膜MLR引起的透過相位差D與物鏡OL引起的雙折射相位差對應(yīng)。所以，在形成實施例16的多層介質(zhì)膜MLR的鍍膜物鏡COL中，在波長為405nm的光入射至鍍膜物鏡COL時，多層介質(zhì)膜MLR引起的透過相位差D可以充分抵消物鏡OL引起的雙折射相位差。其結(jié)果是，減小波像差的像散的分量。另外，雙折射相位差與使用波長呈反比例。這樣，在實施例16的相位差特性圖中，即使在使用波長660、785nm時的透過相位差D的值與在使用波長405nm時的透過相位差D的值相比較小，也不會產(chǎn)生問題。這是因為，與使用波長呈反比例的、僅產(chǎn)生比較小的雙折射相位差也可以被在使用波長為660、785nm時的比較小的透過相位差D充分抵消。所以，如果在使用波長為405nm時，透過相位差D與雙折射相位差抵消，那么即使在使用波長為660、785nm時，透過相位差D與雙折射相位差也抵消。另夕卜，在使用波長為660nm的DVD、785nm的CD的情況下，對應(yīng)的透鏡的數(shù)值孔徑分別是0.65、0.5。即，入射至鍍膜物鏡COL的光束直徑與波長為405nm的光入射時相比較小。由于波長為660nm和785nm的光不會入射至透鏡的外緣部，因此雙折射的影響較小，即使不產(chǎn)生較大的相位差，也不會帶來問題。另外，從比較例的反射特性圖、相位差特性圖可知如下情況。在比較例中，與BD、DVD、CD的波長(405、660、785nm)對應(yīng)的反射率不到5.5%。所以可知，若將比較例的多層介質(zhì)膜MLR對物鏡OL形成時、與實施例16的多層介質(zhì)膜MLR對物鏡OL形成時進行比較，則與實施例16對應(yīng)的鍍膜物鏡COL和與比較例對應(yīng)的鍍膜物鏡COL相比，更能有效抑制反射光。另外，比較例的多層介質(zhì)膜MLR沒有考慮透過相位差D。因此，在所有的使用波長中，難以產(chǎn)生"+"的透過相位差D，反而容易產(chǎn)生"一"的透過相位差D。3.關(guān)于測定此處用實測數(shù)據(jù)表示來自鍍膜物鏡COL的射出光產(chǎn)生的波像差、特別是像散的分量通過使用多層介質(zhì)膜MLR而減少的情況。因此，首先說明波像差的測定方法。波像差由圖33所示的泰曼一格林干涉儀進行測定。泰曼一格林干涉儀包括發(fā)射線偏振光的激光源14;分束器15;球面標(biāo)準(zhǔn)原器16;平面標(biāo)準(zhǔn)原器17;以及讀入干涉條紋圖像、進行波像差的計算處理的圖像處理裝置18。來自光源的光束被分束器15分離，一束被平面標(biāo)準(zhǔn)原器17反射，另一束用被檢測透鏡19聚焦后，被球面標(biāo)準(zhǔn)原器16反射。被平面標(biāo)準(zhǔn)原器17反射的參照光、以及再次透過被檢測透鏡19的測定光用分束器15合成，生成干涉條紋。干涉條紋被輸入圖像處理裝置18進行處理，測定被檢測透鏡19的波像差。另外，入射至被檢測透鏡19的光束的平行度(發(fā)散度)可以根據(jù)被檢測透鏡19的實際使用狀態(tài)進行適當(dāng)調(diào)整。波像差的像散分量的測定要經(jīng)過以下的步驟。在最初的步驟中，配置被檢測透鏡19，使球面標(biāo)準(zhǔn)原器16的球心與被檢測透鏡19(鍍膜物鏡COL等)的焦點位置一致，根據(jù)來自球面標(biāo)準(zhǔn)原器16的反射光及來自平面標(biāo)準(zhǔn)原器17的反射光所引起的干涉條紋側(cè)定波像差(第一次測定；透鏡位置為0。的測定)。接下來，使被檢測透鏡19從第一次的測定位置繞光軸旋轉(zhuǎn)90。，之后與第一次的測定一樣，測定波像差(第二次測定；透鏡位置為90。的測定)。然后，使用如上所述得到的波像差(透鏡位置為0。、90。的波像差)，求出波像差的像散分量。具體而言，首先用澤爾尼克(Zernike)多項式將各波像差展開，求出該多項式的Z4項及Z5項的系數(shù)。之后，根據(jù)下式，求出波像差的像散分量[mXrms]。AS=V[{[Z4(0°)+Z4(90。)]/2々6}2+{[Z5(0°)+Z5(90。)]23/2々6}2]其中，AS:波像差的像散分量。Z4(0°):透鏡位置為0。的澤爾尼克多項式的Z4項。Z4(90°):透鏡位置為90。的澤爾尼克多項式的Z4項。Z5(0°):透鏡位置為0。的澤爾尼克多項式的Z5項。Z5(90°):透鏡位置為90。的澤爾尼克多項式的Z5項。另外，澤爾尼克多項式采用所謂的Arizona格式的展開式，具體而言是使用佳能銷售株式會社研制的分析軟件即MetroproZernikeApplication進行計算。另外，波像差的測定是使用線偏振光進行的。一般而言，使用干涉儀測定波像差時使用圓偏振光，但上述的雙折射所引起的波像差的像散分量在使用圓偏振光的方法中無法被檢測到。由于在基于以上這樣的方法的測定中，使用沒有防反射膜的兩種物鏡OL(第一物鏡OLl、第二物鏡OL2)，所以分別按照物鏡OL的種類分為不同情況在以后說明。另外，第一物鏡OLl、第二物鏡OL2都是由玻璃成型工藝制作的，數(shù)值孔徑都是0.85。3—1.第一物鏡的波像差的測定首先，用上述的測定方法求出第一物鏡OL1引起的波像差的像散分量，為20.1m入rms。接下來，求出形成比較例的多層介質(zhì)膜MLR的第一物鏡0L1的波像差的像散分量，為18.8mXrms(降低約Inarms)。另外，在比較例的多層介質(zhì)膜MLR中，以某一入射角S的透過相位差D的值如下所述。在8=30°時，DS3。在S二60。時，DS3。并且，求出對第一物鏡0L1形成實施例1的多層介質(zhì)膜MLR的第一鍍膜物鏡COL的波像差的像散分量，為1.7mXrms(降低約18mXrms)。另外，在實施例1的多層介質(zhì)膜MLR中，以某一入射角S的透過相位差D的值如下所述。在5=30°時，D=8°，在5=60°時，D=18°。根據(jù)以上的測定數(shù)據(jù)可知，盡管比較例的多層介質(zhì)膜MLR無法充分降低第一物鏡0L1引起的波像差的像散分量，但實施例1的多層介質(zhì)膜MLR可以充分降低第一物鏡0L1引起的波像差的像散分量。3—2.第二物鏡的波像差的測定接下來，測定與第一物鏡OLl不同的第二物鏡OL2的波像差，像散分量是18.5mXrms。接下來，求出對第二物鏡OL2形成實施例2的多層介質(zhì)膜MLR的第二鍍膜物鏡COL的波像差的像散分量，為Unarms(降低約17mXrms)。另外，在實施例2的多層介質(zhì)膜MLR中，以某一入射角5的透過相位差D的值如下所述。在5=30°時，D=4°，在8=60°時，D=12°。根據(jù)以上的實測數(shù)據(jù)可知，實施例2的多層介質(zhì)膜MLR可以充分降低第二物鏡OL2引起的波像差的像散分量。3—3.確認透鏡的雙折射另外，通過以下的方法確認了物鏡OLl、OL2具有以透鏡軸為中心的放射狀的雙折射性。如圖3A所示，將物鏡OL配置在具有透過軸PA的偏振板12與平面反射鏡13之間，觀察干涉條紋。通過偏振板12的光(在與透過軸PA相同方向振動的光)透過物鏡OL后，被平面反射鏡13反射，再次透過物鏡OL，向偏振板12前進。即與物鏡OL配置在平行尼科耳棱鏡間的情況是等效的。圖3B表示通過偏振板12觀察的物鏡OL。具體而言，確認了在與透過軸PA相同方向(平行方向)及垂直方向觀察到白色的干涉條紋，另一方面，在與透過軸PA形成45。(135°)的方向觀察到黑色的干涉條紋。另外，干涉條紋的濃度從物鏡OL的透鏡軸中心越向外緣越濃。圖3C表示在使物鏡OL旋轉(zhuǎn)時的透鏡面。即便使物鏡OL旋轉(zhuǎn)，但干涉條紋也不會旋轉(zhuǎn)。圖3D表示在使偏振板12旋轉(zhuǎn)時的透鏡面。若使偏振板12旋轉(zhuǎn)，則干涉條紋與偏振板12同樣地旋轉(zhuǎn)。25從以上的結(jié)果可知，物鏡OL具有單軸結(jié)晶狀的雙折射性，其光軸是徑向和圓周方向。即，物鏡OL具有放射狀的雙折射性。另外，確認了雙折射的大小是越向物鏡OL的外緣越大。3—4.驗證測定鍍膜物鏡COL的波像差的測定只對形成實施例1、2的多層介質(zhì)膜MLR的物鏡進行。但是，即使是具有與實施例1、2同樣的相位差的其他實施例的多層介質(zhì)膜MLR，也可以容易推測出其可以降低物鏡OL引起的波像差的像散第一物鏡0L1的波像差的像散分量是超過20m人rms的值，實施例1的透過相位差D在入射角S為60°時是18°。由于實施例3和4的透過相位差D與實施例1相同，因此，可以抵消與第一物鏡0L1同樣的雙折射。另外，由于實施例5的透過相位差D與實施例2相同，所以可以抵消與第二物鏡0L2同樣的雙折射。由于波像差的像散分量的大小與雙折射的大小有相關(guān)關(guān)系，因此，實施例6通過使用具有比第二物鏡OL2小的雙折射的物鏡，可以有效降低波像差的像散分量。反之，對于具有比第一物鏡OL1大的雙折射的物鏡，使用可以產(chǎn)生更大相位差的多層介質(zhì)膜即可。較為理想的是，物鏡OL的波像差的像散分量在20mXrms以上時，使其產(chǎn)生比較大的相位差?？梢援a(chǎn)生較大的相位差并可以實現(xiàn)防反射的多層介質(zhì)膜MLR具有低折射率層L、中間折射率層M、以及高折射率層H，總計由9層以上構(gòu)成時較好(對應(yīng)實施例13)?；蛘?，多層介質(zhì)膜MLR包含總計7層以上的光學(xué)薄膜，并且具有使低折射率層L與高折射率層H交替層疊而成的重復(fù)結(jié)構(gòu)，高折射率層H的折射率NH與低折射率層L的折射率Nl之差是0.5以上時較好(對應(yīng)實施例15)。雖然用少于上述條件的層數(shù)也可以實現(xiàn)防反射，但難以產(chǎn)生可以補償雙折射的相位差。無論哪種情況下，多層介質(zhì)膜MLR的層數(shù)是20層以下時更為理想。若超過上限，則由于制造時的偏差會產(chǎn)生波動，難以穩(wěn)定確保防反射特性。較為理想的是，物鏡OL的波像差的像散分量在10mXrms以上不到20mXrms時，可以產(chǎn)生比較小的相位差?？梢援a(chǎn)生比較小的相位差并實現(xiàn)防反射的多層介質(zhì)膜MLR具有低折射率層L、中間折射率層M、以及高折射率層H，總計是7層以上時較好(對應(yīng)實施例15)?；蛘?，多層介質(zhì)膜MLR包含總計5層以上的介質(zhì)膜，并且具有使低折射率層L與高折射率層H交替層疊而成的重復(fù)結(jié)構(gòu)，高折射率層H的折射率NH與低折射率層L的折射率NL之差是0.5以上時較好(對應(yīng)實施例16)。雖然用少于上述條件的層數(shù)也可以實現(xiàn)防反射，但難以產(chǎn)生可以補償雙折射的相位差。無論哪種情況下，多層介質(zhì)膜MLR的層數(shù)是20層以下時更為理想。若超過上限，則由于制造時的偏差會產(chǎn)生波動，難以穩(wěn)定確保防反射特性。4.總結(jié)總結(jié)鍍膜物鏡COL如下。即，在物鏡OL產(chǎn)生雙折射，有時會引起來自物鏡OL的射出光產(chǎn)生波像差。而且，在該產(chǎn)生的波像差的像散分量為lOmXrms以上時，鍍膜物鏡COL具有使其像散分量降低至5mXrms以下的多層介質(zhì)膜MLR。另外，關(guān)于使波像差的像散分量降低的原理，是使像散分量的產(chǎn)生原因之一的雙折射相位差、和多層介質(zhì)膜MLR的透過相位差D抵消。因此，鍍膜物鏡COL具有可以有效產(chǎn)生透過相位差D的多層介質(zhì)膜MLR時較為理想。另外，多層介質(zhì)膜MLR產(chǎn)生的相位差隨著從透鏡中心向外緣部而實際上單調(diào)增加時較為理想?？梢耘e出有以下這樣的物鏡作為這樣的鍍膜物鏡COL的一個例子。例如，設(shè)入射至多層介質(zhì)膜MLR的波長405nm的光的入射角為S，透過多層介質(zhì)膜MLR的光的P偏振光與S偏振光的相位差(透過相位差)為D，這時5與D的關(guān)系滿足在5=30°時，D為2。以上且20。以下，在S二60。時，D為4。以上且40。以下。D在30。^^0。的范圍內(nèi)的變化是單調(diào)變化(例如線性變化)，是上述這樣的鍍膜物鏡COL(對應(yīng)實施例16)。并且，若這樣的鍍膜物鏡COL滿足以下的條件，則可以有效降低波像差的像散分量，并且可以實現(xiàn)防反射(對應(yīng)實施例13)。條件(l):由沒有介質(zhì)膜Li的物鏡OL產(chǎn)生的波像差的像散分量是20mkms以上。條件(2):對鍍膜物鏡COL形成的多層介質(zhì)膜MLR具有低折射率層L、中間折射率層M、以及高折射率層H，總計為9層以上。另外，另行滿足以下的條件時，鍍膜物鏡COL也可以有效降低波像差的像散分量，并且可以實現(xiàn)防反射(對應(yīng)實施例15)。條件(3):由沒有介質(zhì)膜Li的物鏡OL產(chǎn)生的波像差的像散分量是10mXrms以上且不到20mXrms。條件(4):多層介質(zhì)膜MLR具有低折射率層L、中間折射率層M、以及高折射率層H，總計為7層以上。并且，另行滿足以下的條件時，鍍膜物鏡COL也可以有效降低波像差的像散分量，并且可以實現(xiàn)防反射(對應(yīng)實施例15)。條件(5):由沒有介質(zhì)膜Li的鍍膜物鏡COL產(chǎn)生的波像差的像散分量是20mXrms以上。條件(6):多層介質(zhì)膜MLR包含總計為7層以上的介質(zhì)膜Li，并且具有使低折射率層與高折射率層交替層疊而成的重復(fù)結(jié)構(gòu)。條件(7):從高折射率層H的折射率NH減去低折射率層L的折射率N^而求出的折射率之差是0.5以上。并且，另行滿足以下的條件時，鍍膜物鏡COL也可以有效降低波像差的像散分量，并且可以實現(xiàn)防反射(對應(yīng)實施例16)。條件(8):由沒有介質(zhì)膜Li的物鏡OL產(chǎn)生的波像差的像散分量是10mXrms以上且不到20mXrms。條件(9):多層介質(zhì)膜MLR包含總計為5層以上的介質(zhì)膜Li，并且具有使低折射率層與高折射率層交替層疊而成的重復(fù)結(jié)構(gòu)。條件(10):從高折射率層H的折射率Nh減去低折射率屋L的折射率Nl而求出的折射率之差是0.5以上。另外，在通過玻璃成型工藝制作的物鏡OL中容易產(chǎn)生雙折射。并且，數(shù)值孔徑的值越大，例如在0.6以上，越特別容易產(chǎn)生雙折射。另外，這樣產(chǎn)生的雙折射是以透鏡軸為中心呈放射狀產(chǎn)生的，其雙折射量越靠近物鏡OL的外緣越增加。但是，對這樣的物鏡OL形成的多層介質(zhì)膜MLR也產(chǎn)生以透鏡軸為中心28的放射狀的透過相位差D，使其與物鏡OL引起的雙折射對應(yīng)，其相位差量越靠近物鏡OL的外緣越增加。所以，若對這樣的物鏡OL設(shè)置多層介質(zhì)膜MLR，則該多層介質(zhì)膜MLR會沒有問題地用透過相位差D抵消雙折射相位差，可以降低波像差的像散分量。其他實施方式另外，本發(fā)明不限于上述的實施方式，在不脫離本
發(fā)明內(nèi)容的范圍內(nèi)可以進行各種變更。例如，在上述實施方式中，由玻璃成型工藝制作的物鏡的雙折射是通過多層介質(zhì)膜補償?shù)模部梢詫渲频耐哥R進行補償，對于透鏡的材質(zhì)沒有限制。另外，不限于光拾取裝置用的物鏡，也可以是用于拍攝透鏡系統(tǒng)或投影透鏡系統(tǒng)或者測定用的透鏡，對于使用用途沒有限制。無論是用于哪種光學(xué)系統(tǒng)的透鏡，通過用多層介質(zhì)膜MLR產(chǎn)生透過相位差，可以降低透鏡的雙折射所引起的性能下降。另外，在上述實施方式中，表示了S偏振光的相位相對于P偏振光的相位滯后時可以抵消雙折射相位差的例子，但不限于此，只要根據(jù)透鏡的雙折射產(chǎn)生相位差即可。雙折射的分布也可以不是軸對稱。重要的是，通過使用P偏振光與S偏振光的相位差，降低透鏡具有的雙折射，這都包含在本發(fā)明中。另外，例如，舉出有多層介質(zhì)膜MLR為例作為鍍膜物鏡COL所包含的多層光學(xué)膜，進行了說明。但不限于此。即，也可以用介質(zhì)材料之外的材料形成光學(xué)薄膜，進而形成多層光學(xué)膜。另外，多層介質(zhì)膜MLR也不限于防反射膜，對于物鏡OL的多層介質(zhì)膜MLR的成膜方法也沒有限制。權(quán)利要求1.一種光學(xué)元件，在透鏡表面具有多層光學(xué)膜，其特征在于，所述透鏡具有雙折射性，該透鏡引起的波像差的像散分量在10mλrms以上，所述多層光學(xué)膜通過使P偏振光與S偏振光產(chǎn)生相位差，使所述雙折射抵消，從而使光學(xué)元件所引起的波像差的像散分量降低至5mλrms以下。2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述多層光學(xué)膜的相位差實際上隨著從透鏡中心向外緣部而單調(diào)增加。3.如權(quán)利要求2所述的光學(xué)元件，其特征在于，在設(shè)入射至所述多層光學(xué)膜的波長為405nm的光的入射角為S[°]，且透過所述多層光學(xué)膜的所述光的P偏振光與S偏振光的相位差為D[°]的情況下，5與D的關(guān)系滿足在S二30。時，D在2。以上且20。以下，在S二60。時，D在4。以上且40。以下，D在30^S^60。的范圍內(nèi)的變化是單調(diào)變化。4.如權(quán)利要求3所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述的單調(diào)變化是線性變化。5.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述多層光學(xué)膜是防反射膜，在所述多層光學(xué)膜所包含的光學(xué)薄膜中，在設(shè)具有不到1.6的折射率的光學(xué)薄膜為低折射率層，具有1.6以上且1.9以下的折射率的光學(xué)薄膜為中間折射率層，具有超過1.9的折射率的光學(xué)薄膜為高折射率層的情況下，滿足下面的條件(1)及條件(2):條件(1):所述透鏡的波像差的像散分量在20mXrms以上，條件(2):多層光學(xué)膜具有低折射率層、中間折射率層、以及高折射率層，總計為9層以上。6.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述多層光學(xué)膜是防反射膜，在所述多層光學(xué)膜所包含的光學(xué)薄膜中，在設(shè)具有不到1.6的折射率的光學(xué)薄膜為低折射率層，具有1.6以上且1.9以下的折射率的光學(xué)薄膜為中間折射率層，具有超過1.9的折射率的光學(xué)薄膜為高折射率層情況下，滿足下面的條件(3)及條件(4):條件(3):所述透鏡的波像差的像散分量在10mXrms以上且不到20nArms，條件(4):多層光學(xué)膜具有低折射率層、中間折射率層、以及高折射率層，總計為7層以上。7.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述多層光學(xué)膜是防反射膜，在所述多層光學(xué)膜所包含的光學(xué)薄膜中，在設(shè)具有不到1.6的折射率的光學(xué)薄膜為低折射率層，具有超過1.9的折射率的光學(xué)薄膜為高折射率層的情況下，滿足下面的條件(5)至條件(7):條件(5):所述透鏡的波像差的像散分量在20mXrms以上，條件(6):多層光學(xué)膜包含總計為7層以上的光學(xué)薄膜，并且具有使低折射率層與高折射率層交替層疊而成的重復(fù)結(jié)構(gòu)，條件(7):高折射率層的折射率減去低折射率層的折射率而求出的折射率之差在0.5以上。8.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述多層光學(xué)膜是防反射膜，在所述多層光學(xué)膜所包含的光學(xué)薄膜中，在設(shè)具有不到1.6的折射率的光學(xué)薄膜為低折射率層，具有超過1.9的折射率的光學(xué)薄膜為高折射率層的情況下，滿足下面的條件(8)至條件(10):條件(8):所述透鏡的波像差的像散分量在10mXrms以上且不到20narms，條件(9):多層光學(xué)膜包含總計為五層以上的光學(xué)薄膜，并且具有使低折射率層與高折射率層交替層疊而成的重復(fù)結(jié)構(gòu)，條件(10):高折射率層的折射率減去低折射率層的折射率而求出的折射率之差在0.5以上。9.如權(quán)利要求1至8中任一項所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述透鏡由成型工藝形成。10.如權(quán)利要求1至9中任一項所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述透鏡的數(shù)值孔徑是0.6以上。11.如權(quán)利要求1至10中任一項所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述雙折射以所述透鏡的透鏡軸中心為基準(zhǔn)呈放射狀產(chǎn)生，所述雙折射的量隨著從透鏡軸中心向透鏡的外緣而增加。12.如權(quán)利要求1至4、9至11中任一項所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述多層光學(xué)膜是層疊防反射用的介質(zhì)膜而成的多層介質(zhì)膜。13.—種光拾取裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1至12中任一項的光學(xué)元件。14.一種光學(xué)元件，在透鏡表面具有多層光學(xué)膜，其特征在于，所述透鏡具有雙折射性，所述多層光學(xué)膜通過使P偏振光與S偏振光產(chǎn)生相位差，使所述雙折射抵消，使在透鏡產(chǎn)生的波像差的像散分量降低至一半以下。15.如權(quán)利要求14所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述多層光學(xué)膜使在透鏡產(chǎn)生的波像差的像散分量降低至1/5以下。16.如權(quán)利要求14或15所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述多層光學(xué)膜的相位差實際上隨著從透鏡中心向外緣部而單調(diào)增加。17.如權(quán)利要求14至16中任一項所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述雙折射以所述透鏡的透鏡軸中心為基準(zhǔn)呈放射狀產(chǎn)生，所述雙折射的量隨著從透鏡軸中心向透鏡的外緣而增加。18.如權(quán)利要求14至17中任一項所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述多層光學(xué)膜是層疊防反射用的介質(zhì)膜而成的多層介質(zhì)膜,全文摘要在物鏡(OL)產(chǎn)生雙折射，會引起來自物鏡(OL)的射出光產(chǎn)生波像差。而且，在該產(chǎn)生的波像差的像散分量為10mλrms以上時，鍍膜物鏡(COL)具有使其像散分量降低至5mλrms以下的多層介質(zhì)膜(MLR)。文檔編號G02B5/30GK101553744SQ20078004549公開日2009年10月7日申請日期2007年11月26日優(yōu)先權(quán)日2006年12月7日發(fā)明者多田一成,小川洋一,蟲明信雄,西和幸申請人:柯尼卡美能達精密光學(xué)株式會社