專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體元件存放裝置及光罩存放裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種光罩存放裝置與半導(dǎo)體元件存放裝置，特別是有 關(guān)于一種具有過(guò)濾裝置的光罩存放裝置與半導(dǎo)體元件存放裝置。
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)(Optical Lithography) 扮演重要的角色，只要是關(guān)于圖形(pattern)定義，皆需依賴(lài)光學(xué)微影 技術(shù)。光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，將設(shè)計(jì)好的線(xiàn)路制作成具有特定 形狀可透光的光罩(Photo mask)。利用曝光原理，則光源通過(guò)光罩投影 至硅晶圓(silicon wafer)可曝光顯示特定圖案。由于任何附著于光罩 上的塵埃顆粒如微粒、粉塵或有機(jī)物都會(huì)造成投影成像的質(zhì)量劣化，用于 產(chǎn)生圖形的光罩必須保持絕對(duì)潔凈，而被投射的硅晶圓或者其它半導(dǎo)體投 射體亦必須保持絕對(duì)清靜，因此在一般的晶圓制程中，都提供無(wú)塵室 (clean room)的環(huán)境以避免空氣中的顆粒污染。然而，目前的無(wú)塵室也 無(wú)法達(dá)到絕對(duì)無(wú)塵狀態(tài)。因此，現(xiàn)代的半導(dǎo)體制程皆利用抗污染的光罩存放裝置進(jìn)行光罩的保 存與運(yùn)輸，以使光罩保持潔凈；也利用抗污染的半導(dǎo)體元件存放裝置進(jìn)行 半導(dǎo)體元件的保存與運(yùn)輸，以使半導(dǎo)體元件保持潔凈。光罩存放裝置是在 半導(dǎo)體制程中用于存放光罩，以利光罩在機(jī)臺(tái)之間的搬運(yùn)與傳送，并隔絕 光罩與大氣的接觸，避免光罩被雜質(zhì)污染而產(chǎn)生變化；而半導(dǎo)體元件存放裝置是在半導(dǎo)體制程中用于存放半導(dǎo)體元件，以利半導(dǎo)體元件在機(jī)臺(tái)之間的搬運(yùn)與傳送，并隔絕半導(dǎo)體元件與大氣的接觸，避免半導(dǎo)體元件被雜質(zhì) 污染而產(chǎn)生變化。因此，在先進(jìn)的半導(dǎo)體元件廠中，通常會(huì)要求光罩存放裝置與半導(dǎo)體元件存放裝置的潔凈度要符合機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)接口 (Standard Mechanical Interface; SM工F)，也就是說(shuō)保持潔凈度在Class 1以下。 因此，在光罩存放裝置與半導(dǎo)體元件存放裝置中充入氣體便是目前解決的 手段之一。然而，為了進(jìn)一步提升產(chǎn)品的良率及降低制造的成本，除了達(dá)到潔凈 度的標(biāo)準(zhǔn)要求之外，還要克服因?yàn)橥鈦?lái)氣體對(duì)于光罩的污染。這樣的外來(lái) 氣體除了大氣以外，還有兩個(gè)來(lái)源，其一是源自于高分子材料所制成的光 罩存放裝置與半導(dǎo)體元件存放裝置本身所釋出的氣體(outgasing)，其二 是源自于殘留在光罩或半導(dǎo)體元件表面的微量化學(xué)溶液所產(chǎn)生的揮發(fā)氣 體。這些非期望氣體會(huì)對(duì)光罩或半導(dǎo)體元件的表面產(chǎn)生霧化作用，使得光 罩或半導(dǎo)體元件無(wú)法再使用而必須報(bào)廢的窘境，使得制造成本增加。在光 罩存放裝置與半導(dǎo)體元件存放裝置中充入氣體是目前解決光罩或半導(dǎo)體 元件霧化的手段之一，其中如何保持充入氣體的潔凈度，是一個(gè)重要的議 題。有鑒于此，本實(shí)用新型所提供的具有過(guò)濾裝置的光罩存放裝置與半導(dǎo) 體元件存放裝置，乃針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)加以改良。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種具有過(guò)濾裝置的光罩存放裝置與半導(dǎo) 體元件存放裝置。為解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，本實(shí)用新型的光罩存放裝置與半導(dǎo)體元件存 放裝置是由第一蓋體與第二蓋體組合而成，形成一內(nèi)部空間可容納光罩或 半導(dǎo)體元件，此光罩存放裝置與半導(dǎo)體元件存放裝置的第二蓋體設(shè)有至少 一孔，用以連通光罩存放裝置與半導(dǎo)體元件存放裝置的內(nèi)部空間以及外部空間，以及一過(guò)濾裝置置于該孔。該過(guò)濾裝置是由過(guò)濾件以及第一部分所 構(gòu)成，其中該第一部分具有通孔與卡制機(jī)構(gòu)，與第二蓋體的嚙合機(jī)構(gòu)卡固， 過(guò)濾件置于第一部分上，用以過(guò)濾空氣中的微塵與雜質(zhì)，而過(guò)濾裝置可再 增設(shè)固定件用以固定過(guò)濾件。因此，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種具有過(guò)濾裝置的光罩存放 裝置與半導(dǎo)體元件存放裝置，可用來(lái)過(guò)濾空氣中的微塵，以避免光罩或半導(dǎo)體元件受到污染。本實(shí)用新型的再一目的在于提供一種具有過(guò)濾裝置的光罩存放裝置 與半導(dǎo)體元件存放裝置，可用來(lái)過(guò)濾空氣中的微塵，以保持光罩存放裝置 或半導(dǎo)體元件存放裝置內(nèi)的潔凈度。本實(shí)用新型一種光罩存放裝置，包含有一第一蓋體； 一第二蓋體，用以與該第一蓋體組合，形成一內(nèi)部空間 可容納光罩，其中該第二蓋體包含有一本體，該本體具有至少一孔及一嚙 合機(jī)構(gòu)；以及， 一過(guò)濾裝置，設(shè)置于該本體，與該本體的孔結(jié)合，該過(guò)濾 裝置包含有 一第一部分，包含有 一通孔對(duì)應(yīng)該本體的孔，以及， 一卡 制機(jī)構(gòu)與該本體的嚙合機(jī)構(gòu)相結(jié)合；以及， 一過(guò)濾件，覆蓋于該第一部分 的通孔。本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體元件存放裝置，包含有 一第一蓋體； 一第二 蓋體，用以與該第一蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納半導(dǎo)體元件，其中 該第二蓋體包含有一本體，該本體具有至少一孔及一嚙合機(jī)構(gòu)；以及，一 過(guò)濾裝置，設(shè)置于該本體，與該本體的孔結(jié)合，該過(guò)濾裝置包含有 一第 一部分，包含有 一通孔對(duì)應(yīng)該本體的孔，以及， 一卡制機(jī)構(gòu)與該本體的 嚙合機(jī)構(gòu)相結(jié)合；以及， 一過(guò)濾件，覆蓋于該第一部分的通孔。本實(shí)用新型的有益效果是，提供的一種具有過(guò)濾裝置的光罩存放裝置 與半導(dǎo)體元件存放裝置，可用來(lái)過(guò)濾空氣中的微塵，以避免光罩或半導(dǎo)體 元件受到污染，以保持光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置內(nèi)的潔凈度。


圖1:本實(shí)用新型光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置的示意圖； 圖2:本實(shí)用新型光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置結(jié)合過(guò)濾裝置 的示意圖；圖3A至圖3F:本實(shí)用新型光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置中第一部分與本體的孔卡固的示意圖；圖4:本實(shí)用新型光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置結(jié)合過(guò)濾裝置 的示意圖；圖5A至圖5C:本實(shí)用新型光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置第一 部分、過(guò)濾件與固定件的示意圖；圖6A與圖6B:本本實(shí)用新型光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置結(jié) 合過(guò)濾裝置的示意圖；圖7A至圖7C:本實(shí)用新型光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置中板 件及對(duì)應(yīng)部分的示意圖。主要元件符號(hào)說(shuō)明1過(guò)濾裝置 2第一部分 21卡制機(jī)構(gòu) 4過(guò)濾件 5固定件 51孔隙 6第一蓋體 7第二蓋體 71本體711內(nèi)部712外部 72板件 721第一平面 73對(duì)應(yīng)部分 74縫隙 79嚙合機(jī)構(gòu) A孔 H通孔具體實(shí)施方式
由于本實(shí)用新型揭露一種具有過(guò)濾裝置的光罩存放裝置與半導(dǎo)體元 件存放裝置的結(jié)構(gòu)，其中所利用到的一些光罩或半導(dǎo)體元件或光罩存放裝 置與半導(dǎo)體元件存放裝置的詳細(xì)制造或處理過(guò)程，是利用現(xiàn)有技術(shù)來(lái)達(dá) 成，故在下述說(shuō)明中，并不作完整描述。而且下述內(nèi)文中的圖式，亦并未 依據(jù)實(shí)際的相關(guān)尺寸完整繪制，其作用僅在表達(dá)與本實(shí)用新型特征有關(guān)的 示意圖。請(qǐng)先參閱圖1，此是本實(shí)用新型的光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝 置的示意圖，光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置是由第一蓋體6與第二 蓋體7組合而成，形成可容納光罩或半導(dǎo)體元件的內(nèi)部空間；而在第二蓋 體7有一本體71，本體71上包含有至少一個(gè)孔A，用以連通光罩存放裝 置或半導(dǎo)體元件存放裝置的內(nèi)部空間以及外部空間，孔A設(shè)置有嚙合機(jī)構(gòu) 79，用以與以下所陳述的過(guò)濾裝置l卡固。接著，請(qǐng)參閱圖2，過(guò)濾裝置1設(shè)置于光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存 放裝置的第二蓋體7，與第二蓋體7的本體71的孔A結(jié)合；過(guò)濾裝置1 是由第一部分2與過(guò)濾件4組合而成，第一部分2具有一個(gè)對(duì)應(yīng)于本體71的孔A的通孔H，以及一個(gè)與本體7嚙合機(jī)構(gòu)79卡固的卡制機(jī)構(gòu)21;過(guò)濾件4覆蓋于第一部分2的通孔H上，當(dāng)空氣流通過(guò)該通孔H時(shí)，可由過(guò) 濾件4過(guò)濾空氣中的微塵與雜質(zhì)。其中，第一部分2的卡制機(jī)構(gòu)21，與本體71的嚙合機(jī)構(gòu)79相卡固， 其型態(tài)如圖3A至圖3F所示；卡制機(jī)構(gòu)21可以是至少一對(duì)卡勾，如圖3A 所示，或者如圖3B所示，是環(huán)狀卡勾；嚙合機(jī)構(gòu)79可以如圖3C所示， 為至少一對(duì)槽體，或如圖3D所示，為環(huán)狀的槽體；不論卡制機(jī)構(gòu)21為一 對(duì)卡勾或環(huán)狀卡勾，嚙合機(jī)構(gòu)79為至少一對(duì)槽體或環(huán)狀槽體，卡制機(jī)構(gòu) 21與嚙合機(jī)構(gòu)79均得互相卡固；又其卡固的方式亦有不同實(shí)施方式，當(dāng) 第一部分2是自本體71面對(duì)內(nèi)部空間的內(nèi)部711向相對(duì)于內(nèi)部之外部712 穿設(shè)，與本體71的孔A結(jié)合時(shí)，卡制機(jī)構(gòu)21與嚙合機(jī)構(gòu)79卡固的方式 如圖3E所示；或者第一部分2是自本體的外部712向內(nèi)部711穿設(shè)，與 本體71的孔A結(jié)合時(shí)，卡制機(jī)構(gòu)21與嚙合機(jī)構(gòu)79的卡固即如圖3F所示。 卡制機(jī)構(gòu)21與嚙合機(jī)構(gòu)79卡固的方向不同，端視使用者的需求。接著，過(guò)濾裝置1可再增設(shè)固定件5以固定過(guò)濾件4，如圖4所示， 固定件5具有至少一個(gè)孔隙51可供空氣流通。而固定件5設(shè)置的方式， 可包覆于第一部分2上，如圖5A與圖5C所示；或卡設(shè)于第一部分2上， 如圖5B所示；而固定件5可大致覆蓋該過(guò)濾件4，如圖5B與圖5C所示； 或者亦可僅框住該過(guò)濾件4，如圖5A所示，端視使用的需要。再者，如圖6A與圖6B所示，光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置的 第二蓋體7可再設(shè)置板件72于本體71的上，而為使本體71的孔A保持 連通光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置的內(nèi)部空間以及外部空間的功 能，在板件72相對(duì)應(yīng)于本體71的孔A處設(shè)置一個(gè)具有至少一個(gè)縫隙74 的對(duì)應(yīng)部分73。板件72具有大致平坦的第一表面721，對(duì)應(yīng)部分73可凸 設(shè)于第一表面721，如圖7A所示；或凹設(shè)于第一表面721，如圖7B所示; 亦可與第一表面721共平面，如圖7C所示。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用以限定本實(shí)用新 型的申請(qǐng)專(zhuān)利權(quán)利；同時(shí)以上的描述，對(duì)于熟知本技術(shù)領(lǐng)域的專(zhuān)門(mén)人士應(yīng) 可明了及實(shí)施，因此其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變 或修飾，均應(yīng)包含在下述的申請(qǐng)專(zhuān)利范圍中。
權(quán)利要求1.一種光罩存放裝置，其特征在于包含有一第一蓋體；一第二蓋體，用以與該第一蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩，其中該第二蓋體包含有一本體，該本體具有至少一孔及一嚙合機(jī)構(gòu)；以及一過(guò)濾裝置，設(shè)置于該本體，與該本體的孔結(jié)合，該過(guò)濾裝置包含有一第一部分，包含有一通孔對(duì)應(yīng)該本體的孔，以及一卡制機(jī)構(gòu)與該本體的嚙合機(jī)構(gòu)相結(jié)合；以及一過(guò)濾件，覆蓋于該第一部分的通孔。
2. 如權(quán)利要求1所述的光罩存放裝置，其特征在于，還包含有一固 定件，用以固定該過(guò)濾件。
3. 如權(quán)利要求2所述的光罩存放裝置，其特征在于，該固定件具有至少一孔隙供空氣流通。
4. 如權(quán)利要求2所述的光罩存放裝置，其特征在于，該固定件覆蓋 該過(guò)濾件。
5. 如權(quán)利要求2所述的光罩存放裝置，其特征在于，該固定件框住 該過(guò)濾件。
6. 如權(quán)利要求2所述的光罩存放裝置，其特征在于，該固定件包覆 該第一部分。
7. 如權(quán)利要求2所述的光罩存放裝置，其特征在于，該固定件卡設(shè) 于該第一部分。
8. 如權(quán)利要求1所述的光罩存放裝置，其特征在于，該第一部分的卡制機(jī)構(gòu)為至少一卡勾。
9.如權(quán)利要求8所述的光罩存放裝置，其特征在于，該本體的嚙合部分為至少一對(duì)槽體與該卡勾結(jié)合，使該本體與該第一部分卡固。
10.如權(quán)利要求8所述的光罩存放裝置，其特征在于，該本體的嚙合部分為一環(huán)狀槽體與該卡勾結(jié)合，使該本體與該第一部分卡固。
11. 如權(quán)利要求8所述的光罩存放裝置，其特征在于，該卡勾為至 少一對(duì)。
12. 如權(quán)利要求8所述的光罩存放裝置，其特征在于，該卡勾為環(huán)狀。
13. 如權(quán)利要求1所述的光罩存放裝置，其特征在于，該第二蓋體 另包含有一板件，設(shè)于該本體上面對(duì)該內(nèi)部空間，該板件具有一對(duì)應(yīng)部分 對(duì)應(yīng)于該本體的孔。
14. 如權(quán)利要求13所述的光罩存放裝置，其特征在于，該板件的對(duì) 應(yīng)部分具有至少一縫隙。
15. 如權(quán)利要求13所述的光罩存放裝置，其特征在于，該板件具有 一平坦的第一表面，該板件的對(duì)應(yīng)部分凸設(shè)或凹設(shè)于該第一表面或與該第一表面共平面。
16. —種半導(dǎo)體元件存放裝置，其特征在于，包含有一第一蓋體；一第二蓋體，用以與該第一蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納半導(dǎo) 體元件，其中該第二蓋體包含有一本體，該本體具有至少一孔及一嚙合機(jī) 構(gòu)；以及一過(guò)濾裝置，設(shè)置于該本體，與該本體的孔結(jié)合，該過(guò)濾裝置包含有一第一部分，包含有一通孔對(duì)應(yīng)該本體的孔，以及3一卡制機(jī)構(gòu)與該本體的嚙合機(jī)構(gòu)相結(jié)合；以及 一過(guò)濾件，覆蓋于該第一部分的通孔。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種具有過(guò)濾裝置的光罩存放裝置與半導(dǎo)體元件存放裝置。光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置是由第一蓋體與第二蓋體組合而成，形成一內(nèi)部空間可容納光罩或半導(dǎo)體元件，此光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置的第二蓋體設(shè)有至少一孔，用以連通光罩存放裝置或半導(dǎo)體元件存放裝置的內(nèi)部空間以及外部空間，以及一過(guò)濾裝置覆蓋該孔。
文檔編號(hào)G03F1/66GK201117643SQ20072019359
公開(kāi)日2008年9月17日 申請(qǐng)日期2007年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月15日
發(fā)明者葉柏堅(jiān) 申請(qǐng)人:家登精密工業(yè)股份有限公司