專利名稱：一種可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種光刻設(shè)備，尤其涉及一種在光刻領(lǐng)域內(nèi)的可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置。
背景技術(shù)：
在光學(xué)儀器及光學(xué)設(shè)備中，鏡片的安裝精度和溫度對(duì)鏡片造成的熱效應(yīng)影 響，使得鏡頭對(duì)物體的成像像質(zhì)變差，為了解決這一問題， 一般采用一個(gè)可動(dòng) 鏡片，通過調(diào)節(jié)可動(dòng)鏡片來補(bǔ)償安裝誤差和熱效應(yīng)誤差。在光刻設(shè)備中，投影 物鏡是一種高精度的光學(xué)成像系統(tǒng)，使用時(shí)，鏡片對(duì)環(huán)境的熱效應(yīng)影響要求很 嚴(yán)格，單純的依靠控制環(huán)境溫度來控制熱效應(yīng)影響，在實(shí)際中很難操作，難以 實(shí)現(xiàn)。采用上述的可動(dòng)鏡片的方法，來補(bǔ)償溫度變化對(duì)鏡片熱效應(yīng)的影.響，是 一種常用的做法?？蓜?dòng)鏡片的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)一般釆用絲母絲桿，蝸輪蝸桿和滾珠絲桿等，雖然絲母絲桿調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，緊湊，成本低，但移動(dòng)精度和定位精度較低；蝸輪 蝸桿調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)工作平穩(wěn)，結(jié)構(gòu)緊湊，但加工困難，并且精度低；滾珠絲桿相對(duì) 絲母絲桿精度稍高，但成本較高。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所提供的可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置，結(jié)構(gòu)緊湊，成本較低，調(diào)整定位 的幅度4交大，并且定位準(zhǔn)確。 .為解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型一種可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置包括底座、鏡 片、座鏡片、凸輪機(jī)構(gòu)、滑動(dòng)導(dǎo)軌組件和拉伸彈簧，其中凸輪機(jī)構(gòu)固定在底座 上，鏡片座安裝在凸輪機(jī)構(gòu)的上方，鏡片固定在鏡片座上，滑動(dòng)導(dǎo)軌組件垂直 于底座和鏡片座，對(duì)稱布置在凸輪機(jī)構(gòu)的兩側(cè)，拉伸彈簧安裝在底座和鏡片座 之間。
其中凸輪機(jī)構(gòu)包括，軸承座、旋轉(zhuǎn)裝置，聯(lián)軸器、主動(dòng)輪、主動(dòng)輪軸承、 凸輪、凸輪軸承、凸輪座和軸，其中旋轉(zhuǎn)裝置通過連軸器與主動(dòng)輪相連接，主 動(dòng)輪通過主動(dòng)輪軸承固定在軸承座上，凸輪與軸相連接，軸通過軸承固定在凸 輪座上，凸輪座固定在鏡片座上，其中旋轉(zhuǎn)裝置可以是旋轉(zhuǎn)電機(jī)或者旋轉(zhuǎn)手輪。其中滑動(dòng)導(dǎo)軌組件包括導(dǎo)軌座、導(dǎo)軌、滑塊連接架和滑塊，其中導(dǎo)軌固定 在導(dǎo)軌座上，導(dǎo)軌座固定在底座上，滑塊固定在滑塊連接架上，滑塊連接架固 定在鏡片座上。其中底座還包括三個(gè)凸臺(tái)，位于底座的下方。本實(shí)用新型由于采用了以上技術(shù)特征，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以'下優(yōu)點(diǎn)和積極效果1、 采用了拉伸彈簧，提高了調(diào)解精度和調(diào)整幅度；2、 采用了凸輪結(jié)構(gòu)，保證了可動(dòng)鏡片的Z向位移精度。


圖1為一種可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置的立體圖； 圖2為一種可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置的平面圖； 圖3為凸輪機(jī)構(gòu)剖視圖；圖4為滑塊導(dǎo)軌組件的結(jié)構(gòu)圖。 '具體實(shí)施方式
結(jié)合附圖1、 2、 3、 4對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的介紹該可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置主要包括底座l，凸輪機(jī)構(gòu)2，兩個(gè)Z向滑動(dòng)導(dǎo)軌組 件3,預(yù)緊彈簧4，鏡片固定座5，鏡片6,其中凸輪機(jī)構(gòu)2固定在底座1上， 鏡片座5安裝在凸輪機(jī)構(gòu)2的上方，鏡片6固定在鏡片座5上，滑動(dòng)導(dǎo)軌組件3 垂直于底座1和鏡片座5，對(duì)稱布置在凸輪機(jī)構(gòu)2的兩側(cè)，拉伸彈簧4安裝在底 座1和鏡片座5之間。其中底座1是該可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置的基礎(chǔ)，它有三個(gè)高精度的凸臺(tái)'101位 于底座1的下端，凸臺(tái)101是該可動(dòng)鏡片滑塊導(dǎo)軌3的安裝基準(zhǔn)。凸輪機(jī)構(gòu)包括，軸承座201、旋轉(zhuǎn)電機(jī)202，聯(lián)軸器203、軸承蓋204、主 動(dòng)輪軸承205、主動(dòng)輪206、軸用彈性擋圈207、凸輪208、軸承蓋209、凸輪軸 承210、軸211、軸用彈性擋圏212、套筒213、凸輪座214和緊定螺釘215,其 中主動(dòng)輪206通過聯(lián)軸器203與旋轉(zhuǎn)電機(jī)202連接，主動(dòng)輪206通過主動(dòng)輪軸 承205固定在軸承座201上，軸承座201固定在底座1上，主動(dòng)輪軸承205的 端面用軸承蓋204和軸用彈性擋圈207軸向固定；凸輪208通過緊定螺釘215 與軸211連接，軸211通過凸輪軸承210固定在凸輪座214上，凸輪座214固 定在鏡片座5上，凸輪軸承210的兩端分別用套筒213和軸承蓋209和軸用彈 性擋圏212作軸向固定。為了增強(qiáng)整個(gè)機(jī)構(gòu)的調(diào)節(jié)穩(wěn)定性，在底座1和鏡片座5之間增加了兩個(gè)滑 塊導(dǎo)軌3裝置，使得整個(gè)調(diào)節(jié)過程變成有軌直線調(diào)節(jié)。滑動(dòng)導(dǎo)軌組件3包括導(dǎo)軌座301、導(dǎo)軌302、滑塊連接架303和滑塊4，其 中兩個(gè)滑塊導(dǎo)軌組件3垂直于底座1和鏡片座5安裝，對(duì)稱布置在凸輪機(jī)構(gòu)2 的兩邊，導(dǎo)軌302固定在導(dǎo)軌座301上，導(dǎo)軌座301固定在底座l上，滑塊304 固定在滑塊連接架303上，滑塊連接架303固定在鏡片座5上。為了提高調(diào)節(jié)精度在底座1和鏡片座5之間加了 4個(gè)拉伸彈簧4，防止運(yùn)動(dòng) 過程中產(chǎn)生間隙，提高調(diào)節(jié)精度。本可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置的使用方法是1 、 旋轉(zhuǎn)電機(jī)202通過連軸器203與主動(dòng)輪206連接，帶動(dòng)主動(dòng)輪206 一起旋轉(zhuǎn)；2、 主動(dòng)輪206通過摩擦帶動(dòng)凸輪208 —起旋轉(zhuǎn)，由于凸輪208.的偏心 結(jié)構(gòu)，使得凸輪208的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成凸輪座214的直線運(yùn)動(dòng)。本凸輪機(jī)構(gòu)采用凸輪的線性原理，可將其位差設(shè)計(jì)的很小，則Z向位移就 容易控制的很準(zhǔn)確，從而保證了可動(dòng)鏡片的Z向位移精度，并且近年來隨著數(shù) 控機(jī)床和計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與制造的廣泛應(yīng)用，使得凸輪輪廓的精確加工也比較 容易。該可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置，不但操作簡(jiǎn)單，而且可以有效地減少補(bǔ)償安裝誤差 和熱效應(yīng)誤差。
權(quán)利要求1. 一種可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置，包括底座(1)、鏡片座(5)和鏡片(6)，其特征在于該可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置還包括凸輪機(jī)構(gòu)(2)、滑動(dòng)導(dǎo)軌組件(3)和拉伸彈簧(4)，其中凸輪機(jī)構(gòu)固定在底座(1)上，鏡片座(5)安裝在凸輪機(jī)構(gòu)(2)的上方，鏡片(6)固定在鏡片座(5)上，滑動(dòng)導(dǎo)軌組件(3)垂直于底座(1)和鏡片座(5)，對(duì)稱布置在凸輪機(jī)構(gòu)(2)的兩側(cè)，拉伸彈簧(4)安裝在底座(1)和鏡片座(5)之間。
2、 如權(quán)利要求1所述的一種可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置，其特征在于，所述的凸輪機(jī)構(gòu) 包括，軸承座(201)、旋轉(zhuǎn)裝置(202)，聯(lián)軸器(203 )、主動(dòng)輪(206)、主動(dòng) 輪軸承(205 )、凸輪(208)、凸輪軸承(210)、凸輪座(214)和軸(211 ),其 中旋轉(zhuǎn)電機(jī)(202)通過連軸器(203 )與主動(dòng)輪(206)相連接，主動(dòng)輪(206) 通過主動(dòng)輪軸承(205 )固定在軸承座(201)上，凸輪(208)與軸"11 )相 連接，軸(211)通過軸承(210)固定在凸輪座(214)上，凸輪座(214)固 定在鏡片座(5)上。
3、 如權(quán)利要求2所述的一種可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置，其特征在于所述的旋轉(zhuǎn)裝置 (202)可以是旋轉(zhuǎn)電機(jī)或者旋轉(zhuǎn)手輪。
4、 如權(quán)利要求1所述的一種可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置，其特征在于所述的滑動(dòng)導(dǎo)軌組 件(3)包括導(dǎo)軌座(301)、導(dǎo)軌(302)、滑塊連接架(303 )和滑塊(4 )，其 中導(dǎo)軌(302)固定在導(dǎo)軌座(301)上，導(dǎo)軌座(301)固定在底座(1)上， 滑塊(304)固定在滑塊連接架(303 )上，滑塊連接架(303 )固定在鏡片座(5) 上。 '
5、 如權(quán)利要求1所述的一種可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置，其特征在于所述的底座(1) 還包括三個(gè)凸臺(tái)(101 ),位于底座(1 )的下方。
專利摘要一種可動(dòng)鏡片調(diào)整裝置，包括底座(1)、鏡片座(5)、鏡片(6)、凸輪機(jī)構(gòu)(2)、滑動(dòng)導(dǎo)軌組件(3)和拉伸彈簧(4)，其中凸輪機(jī)構(gòu)固定在底座(1)上，鏡片座(5)安裝在凸輪機(jī)構(gòu)(2)的上方，鏡片(6)固定在鏡片座(5)上，滑動(dòng)導(dǎo)軌組件(3)垂直于底座(1)和鏡片座(5)，對(duì)稱布置在凸輪機(jī)構(gòu)(2)的兩側(cè)，拉伸彈簧(4)安裝在底座(1)和鏡片座(5)之間。本實(shí)用新型調(diào)整定位的幅度較大，Z向位移精度較高，能有效的減少補(bǔ)償安裝誤差和熱效應(yīng)誤差。
文檔編號(hào)G02B7/02GK201081770SQ20072007489
公開日2008年7月2日 申請(qǐng)日期2007年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月21日
發(fā)明者朱岳彬, 王春蘭, 袁志揚(yáng) 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司