專利名稱：在線檢測(cè)裝置及在線檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在線檢測(cè)裝置及在線檢測(cè)方法，并且尤其涉及
一種用于一企測(cè)配向表面的摩〗察配向狀況的在線一企測(cè)裝置及在線枱r 測(cè)方法。
背景技術(shù)：
液晶面;^反(liquid crystal display panel)為目前廣S乏應(yīng)用的顯示 元件。參見(jiàn)圖1，其示出了液晶面板的剖視圖。液晶面板100包括 兩個(gè)酉己向月莫(alignment layer) 110、、液晶層120、津j色濾光片(color filter )基》反130及薄月莫晶體管(thin-film transistor )基一反140。西己向 膜110分別設(shè)置于彩色濾光片基板130及薄膜晶體管基板140。液 晶材料注入彩色濾光片基板130及薄膜晶體管基板140之間，以形 成'液晶層120。
如圖1的局部方文大部分所示，配向月莫110具有多個(gè)相互平4亍的 溝槽111，以4吏液晶層120的液晶分子121依循溝槽111的方向排 列。液晶分子121的排列的一致性會(huì)影響液晶面板100的顯示效果。 換言之，若液晶分子121的排列越趨于一致，液晶面板100的顯示 效果越佳。
雖然目前液晶面板的制作過(guò)程中有通過(guò)#r測(cè)人員手持液晶面 ^!的方式4企測(cè)其是否具有缺陷，然而該種方式需要離線作業(yè)，也就 是才僉測(cè)人員需要從機(jī)臺(tái)中取出液晶面板作4全測(cè)。因此，該種才全測(cè)方
式相應(yīng)地增加了液晶面板的制造成本及時(shí)間。其次，如果液晶面板 的配向膜中存有缺陷，缺陷發(fā)現(xiàn)的時(shí)間往往是在液晶面板已完成的 階段，如果要重新制造另 一 個(gè)液晶面板也同樣提高了生產(chǎn)的成本和時(shí)間。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及一種在線4企測(cè)裝置及在線4企測(cè)方法，其利用在線枱， 測(cè)的方式才企查薄膜的配向表面的摩擦配向狀況。如此一來(lái)，配向表 面若存有缺陷，即可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)并對(duì)應(yīng)處理，以便于進(jìn)行后面的制作 過(guò)程。其次，由于配向表面的問(wèn)題可在薄膜設(shè)置在液晶面板內(nèi)之前 發(fā)現(xiàn)，因此避免了材料及制造時(shí)間的浪費(fèi)。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種在線檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)薄 膜的摩擦配向狀況。薄膜具有配向表面。在線;險(xiǎn)測(cè)裝置包括蒸氣產(chǎn) 生部件、光學(xué)系統(tǒng)及輸送沖幾構(gòu)。蒸氣產(chǎn)生部件朝向薄膜的配向表面 設(shè)置。蒸氣產(chǎn)生部件用于在配向表面上形成蒸氣膜。光學(xué)系統(tǒng)包括 發(fā)光單元、 一企測(cè)單元和顯示單元。發(fā)光單元朝向薄膜i殳置，4吏光線 投射在薄膜上。檢測(cè)單元朝向薄膜設(shè)置，以讀取光線投射在薄膜處 的圖i象。顯示單元與4企測(cè)單元電性連4妄。顯示單元用于顯示圖4象。 輸送機(jī)構(gòu)用于引導(dǎo)薄膜相對(duì)光學(xué)系統(tǒng)移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測(cè)裝置，其中該才企測(cè)單元和該發(fā)光單元分 別設(shè)置于該薄力莫的兩側(cè)，并且該一企測(cè)單元與該發(fā)光單元位于同 一方 向線上，該光線沿該方向線穿透通過(guò)該薄月莫。
根據(jù)本發(fā)明的在線才企測(cè)裝置，其中該發(fā)光單元和該才全測(cè)單元相 對(duì)于該薄膜同步擺動(dòng)，以調(diào)整該方向線與該薄膜的法線間的夾角。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測(cè)裝置，其中該夾角的范圍是0度至90度。
根據(jù)本發(fā)明的在線4僉測(cè)裝置，其中該光線投射到該配向表面，
該輸送才幾構(gòu)包括至少一個(gè)導(dǎo)引滾專侖，i殳置在該薄力莫與該配向表面 相反的一側(cè)，并且該導(dǎo)引滾4侖與該薄膜接觸，該導(dǎo)引滾庫(kù)侖具有反射 表面，該反射表面用于反射該光線。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線檢測(cè)裝置，其中該光線沿方向線穿透通過(guò)該 薄膜與該反射表面接觸。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線4企測(cè)裝置，其中該發(fā)光單元和該4全測(cè)單元分 別相對(duì)該反射表面的法線做圓形軌跡的移動(dòng)，且該發(fā)光單元和該檢 測(cè)單元與該反射表面的法線間具有相同的夾角。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測(cè)裝置，其中該夾角的范圍是0度至90度。
根據(jù)本發(fā)明的在線4企測(cè)裝置，i殳置在暗室中。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測(cè)裝置，還包括千燥部件，朝向該配向 表面設(shè)置，以去除該蒸氣膜。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測(cè)裝置，還包括至少一個(gè)清潔部件，用 于清潔該配向表面。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面， -提供一種在線檢測(cè)方法，用于才企測(cè)薄 膜的摩擦配向狀況。薄膜具有配向表面。首先，a)當(dāng)薄膜移動(dòng)時(shí)， 在薄膜的配向表面上形成蒸氣膜。接著，b)將光線投射到薄膜上。 然后，c)讀取光線投射在薄膜處的圖像。接著，d)顯示圖像。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線斥企測(cè)方法，其中該步驟(b)沿方向線將該 光線投射到該配向表面，并且該光線穿透通過(guò)該薄膜，且該步驟(c)
在與該配向表面相反的一側(cè)讀取該圖像，且讀取該圖像的位置位于 該方向線上。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線4企測(cè)方法，還包括調(diào)整該方向線與該薄膜 的法線間的夾角。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測(cè)方法，其中該夾角的范圍是0度至90度。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線才企測(cè)方法，其中該步驟(b)沿方向線將該 光線^:射到與該配向表面相反的表面，并且該光線穿透通過(guò)該薄 膜，且該步驟(c)在該配向表面的一側(cè)讀取該圖像，并且讀取該 圖^象的位置位于該方向線上。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測(cè)方法，還包括調(diào)整該方向線與該薄膜 的法線間的夾角。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測(cè)方法，其中該夾角的范圍是0度至90度。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線纟僉測(cè)方法，其中該步-驟(b)將該光線4殳射 到該配向表面，該步艱《(c)在該配向表面的側(cè)讀取該圖Y象，在該 步驟(b)和該步驟(c)之間，該在線檢測(cè)方法還包括向反射表 面投射該光線，使產(chǎn)生反射光。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線才全測(cè)方法，其中該光線沿方向線穿透通過(guò)該 薄膜與該反射表面接觸，該在線檢測(cè)方法還包括調(diào)整該方向線與 該反射表面的法線間的夾角。
根據(jù)本發(fā)明的在線檢測(cè)方法，其中該夾角的范圍是0度至90度。 才艮據(jù)本發(fā)明的在線才全測(cè)方法，在暗室中才丸4亍。
才艮據(jù)本發(fā)明的在線檢測(cè)方法，還包括去除該蒸氣膜；和清潔 i亥酉己向表面。
為使本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例， 并結(jié)合附圖，4卡詳細(xì)"i兌明々口下
圖1 (現(xiàn)有l(wèi)支術(shù))示出了液晶面^1的剖^L圖。
圖2A示出了根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的在線檢測(cè)裝置的側(cè)視圖。
圖2B示出了圖2A的發(fā)光單元和4企測(cè)單元相對(duì)薄月莫同步擺動(dòng) 的示意圖。
圖3示出了發(fā)光單元和斥企測(cè)單元"i殳置在不同位置的示意圖。 圖4示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的在線檢測(cè)方法的流程圖。 圖5A示出了根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的在線檢測(cè)裝置的側(cè)視圖。
圖5B示出了圖5A的發(fā)光單元和4僉測(cè)單元相對(duì)反射表面的法 線移動(dòng)的示意圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明提供一種在線檢測(cè)裝置及在線檢測(cè)方法，其利用在線檢 測(cè)裝置的蒸氣產(chǎn)生部件、光學(xué)系統(tǒng)及輸送機(jī)構(gòu)相互配合，在線檢測(cè)
薄膜的配向表面的摩擦配向(rubbing)狀況。在本發(fā)明的實(shí)施例中 對(duì)在線;險(xiǎn)測(cè)裝置及利用該在線4企測(cè)裝置的在線一企測(cè)方法作詳細(xì)i兌 明。其次，實(shí)施例中的圖示省略了不必要的組件，并且以較為簡(jiǎn)化 的方式示出了部分的組件，以便于清楚顯示本發(fā)明的才支術(shù)特點(diǎn)。
第一實(shí)施例
參見(jiàn)圖2A,其示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的在線檢測(cè)裝置 200的側(cè)視圖。在線4全測(cè)裝置200用于檢測(cè)薄膜260的摩擦配向狀 況。薄膜260具有配向表面261。在線檢測(cè)裝置200包括蒸氣產(chǎn)生 部件210、光學(xué)系統(tǒng)220及輸送才幾構(gòu)230。
蒸氣產(chǎn)生部件210朝向薄膜260的配向表面261i殳置。蒸氣產(chǎn) 生部件210用于在配向表面261上形成蒸氣月莫211。光學(xué)系統(tǒng)220 包括發(fā)光單元221、檢觀'J單元223和顯示單元225。發(fā)光單元221 朝向薄膜26(H殳置，將光線270 一更射在薄膜260上。4企測(cè)單元223 朝向薄膜260設(shè)置，以讀取光線270投射在薄膜260處的圖像。顯 示單元225與4企測(cè)單元223電性連接。顯示單元225用于顯示圖像。 輸送機(jī)構(gòu)230用于引導(dǎo)薄膜260相對(duì)光學(xué)系統(tǒng)220移動(dòng)。
在本實(shí)施例中，在線一企測(cè)裝置200的蒸氣產(chǎn)生部件210、光學(xué) 系統(tǒng)220和豐lr送才幾構(gòu)230相互酉己合，以連續(xù)地才企測(cè)具有配向表面261 的薄膜260的摩擦配向狀況。在線檢測(cè)裝置200的光學(xué)系統(tǒng)220讀 取薄膜260的圖像并且呈現(xiàn)在顯示單元225上。如此一來(lái)，本實(shí)施 例的在線4企測(cè)裝置200除了具備實(shí)時(shí)檢測(cè)薄膜260的優(yōu)點(diǎn)外，還可 儲(chǔ)存所讀取的圖像，并再利用圖像處理的方式處理圖像，以更清楚 地顯示出薄膜260上的配向缺陷，由此進(jìn)行薄膜260的沖企測(cè)。
本實(shí)施例的在線4企測(cè)裝置200利用光學(xué)原理4金測(cè)配向表面261 是否具有缺陷。因此，在線沖企測(cè)裝置200優(yōu)選地:沒(méi)置在暗室內(nèi)，以 避免周圍的光線影響4企測(cè)的效果。
在本實(shí)施例中，光學(xué)系統(tǒng)220例如是自動(dòng)光學(xué)4企測(cè)(Auto Optical Inspection, AOI)系統(tǒng)，并且光學(xué)系統(tǒng)220采用穿透式原理 檢測(cè)薄膜260的摩擦配向狀況。因此，如圖2A所示，發(fā)光單元221 及4全測(cè)單元223分別設(shè)置于薄膜260的兩側(cè)。因此，當(dāng)發(fā)光單元221 投射的光線270沿一方向線Dl穿透通過(guò)薄膜260時(shí)，設(shè)置在薄膜 260另 一側(cè)的檢測(cè)單元223讀取光線270投射在薄膜260處的圖像， 以輸出電信號(hào)到顯示單元225。顯示單元225再顯示畫面，以供才全 測(cè)薄膜260的摩擦配向狀況。在本實(shí)施例中，檢測(cè)單元223與發(fā)光 單元221同樣地設(shè)置在方向線Dl上。
在本實(shí)施例中，發(fā)光單元221及^企測(cè)單元223可同步相對(duì)薄膜 260擺動(dòng)，以調(diào)整方向線Dl與薄膜260的法線間的夾角。例如， 參見(jiàn)圖2B，其示出了圖2A的發(fā)光單元221及才企測(cè)單元223相對(duì)薄 膜260同步擺動(dòng)的示意圖。方向線Dl與薄膜260的法線Nl間的 夾角01的范圍可為0度至90度，實(shí)際應(yīng)用中夾角ei的范圍優(yōu)選 地為0度至60度。在本實(shí)施例中，例如利用人工的方式同步擺動(dòng) 發(fā)光單元221及檢測(cè)單元223，以調(diào)整夾角01。
在圖2A中，發(fā)光單元221朝向配向表面261 設(shè)置，才企測(cè)單元 223則朝向與配向表面261相反的表面設(shè)置。然而本實(shí)施例的發(fā)光 單元221也可選擇性地設(shè)置于朝向與配向表面261相反的表面的一 側(cè)。參見(jiàn)圖3，其示出了發(fā)光單元221和檢測(cè)單元223 設(shè)置在不同 位置的示意圖。發(fā)光單元221直接將光線270投射到與配向表面261 相反的表面，以進(jìn)行薄膜260的檢測(cè)。發(fā)光單元221和4全測(cè)單元223 的配置位置端視使用者的需求而定。
繼續(xù)參見(jiàn)圖2A，本實(shí)施例的在線4企測(cè)裝置200還包括干燥部 件240和至少一個(gè)清潔部件250。干燥部件240朝向配向表面261 i殳置，以去除蒸氣月莫211。清潔部件250用于清潔配向表面261。 由于在薄膜260上形成蒸氣膜211會(huì)增加空氣中的粒子(particle ) 附著在薄膜260的可能性，因此清潔部件250可用于去除附著在薄 膜260上的粒子。優(yōu)選地，如圖2A所示，本實(shí)施例的在線;險(xiǎn)測(cè)裝 置200包括兩個(gè)清潔部件250,并且該兩個(gè)清潔部件250分別設(shè)置 于薄膜260的兩側(cè)表面，以清潔配向表面261和與配向表面261相 反的表面。在本實(shí)施例中，清潔部件250例如利用超聲波的4展蕩， 從而對(duì)空氣加壓。接著，將加壓的空氣吹向薄膜260后，再將粒子 4由吸離開薄月莫260的表面，以清潔薄月莫260的表面。
以下就依照本發(fā)明第 一 實(shí)施例的在線;險(xiǎn)測(cè)方法作 一說(shuō)明，本實(shí) 施例的在線檢測(cè)方法例如利用上述的在線檢測(cè)裝置200來(lái)檢測(cè)薄膜 260的配向表面261的摩擦配向狀況。同時(shí)參見(jiàn)圖2A及圖4，圖4 示出了根據(jù)本發(fā)明第 一 實(shí)施例的在線檢測(cè)方法的流程圖。
首先，在步-驟1001中，當(dāng)薄月莫260移動(dòng)時(shí)，在配向表面261 上形成蒸氣膜211。本實(shí)施例中利用蒸氣產(chǎn)生部件210來(lái)形成蒸氣 膜211，且利用輸送機(jī)構(gòu)230引導(dǎo)薄膜260移動(dòng)。在該步驟中，在 配向表面261上形成蒸氣膜211是為了更清楚地凸顯配向表面261 的擊矢陷，以纟是高4企測(cè)的步文果。
接著，在步驟1003中，^投射光線270到薄膜260上。本實(shí)施 例利用發(fā)光單元221沿著方向線Dl投射光線270到薄膜260上。
然后，在步驟1005中，讀取光線270投射在薄膜260處的圖 ^像。由于本實(shí)施例利用穿透式原理檢測(cè)薄膜260，因此當(dāng)光線270 穿透通過(guò)薄膜260后，步驟1005是利用纟全測(cè)單元223在相對(duì)發(fā)光 單元221的薄膜260的一側(cè)讀耳又圖4象。當(dāng)然，該在線4企測(cè)方法的步
驟1003也可選4奪性地將光線270才殳射到與配向表面261相反的表 面，^。it匕，步—驟1005則^于應(yīng)i也于酉己向表面261的側(cè)讀耳又圖l象。
接著，在步驟1007中，顯示圖像，以供4企測(cè)薄膜260的摩擦 配向狀況。在本實(shí)施例中，步驟1007利用顯示單元225顯示圖像。 然后，在步驟1009中，去除蒸氣膜211。由于步驟1001在配向表 面261上形成蒸氣膜211，因此步驟1009是為了干燥配向表面261, 以便于后面制作過(guò)程的進(jìn)行。本實(shí)施例利用朝向配向表面261的干 燥部件240去除蒸氣膜211。
才妄著，在步-驟1011中，清潔配向表面261。由于步駛A1001在 薄膜260上形成蒸氣膜211會(huì)增加粒子附著到薄膜260的可能性， 因此步驟1011的扭J亍可去除附著在薄膜260上的粒子。本實(shí)施例 利用至少一個(gè)清潔部件250清潔薄膜260的表面，如此一來(lái)，即可 接著進(jìn)行諸如貼附薄膜260的制作過(guò)程。
在本實(shí)施例中，在線4全測(cè)方法還可選沖奪性:t也包4舌調(diào)整方向線與 薄膜的法線間的夾角的步驟，以從不同的角度投射光線到薄膜上并 檢測(cè)薄膜的摩擦配向狀況。如圖2B所示，發(fā)光單元221及檢測(cè)單 元223可相對(duì)薄膜260同步擺動(dòng)，以調(diào)整方向線Dl與薄膜260的
法線N1的夾角ei。該步驟可根據(jù)檢測(cè)的需求不斷地在檢測(cè)中執(zhí)行，
以提高檢測(cè)的準(zhǔn)確性。在本實(shí)施例中，夾角01的范圍可為0度至 90度，實(shí)際應(yīng)用中夾角01的范圍優(yōu)選地是O度至60度。上述即為
依照本發(fā)明第 一 實(shí)施例的在線檢測(cè)方法的流程。
在本實(shí)施例中，在線檢測(cè)裝置200和在線4企測(cè)方法用于在薄膜 260的制作過(guò)程中，實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)可能存在于配向表面261的缺陷。此 夕卜，本實(shí)施例的發(fā)光單元221及檢測(cè)單元223可依據(jù)需求同步擺動(dòng)， 以才是供,人不同方向4全測(cè)薄膜260的摩4察配向狀況。如此一來(lái)，薄月莫 260若存有缺陷即可立即發(fā)現(xiàn)，以避免材料的浪費(fèi)。其次，本實(shí)施
例的光學(xué)系統(tǒng)220利用讀取薄膜260的圖像，并且對(duì)圖像做圖像處 理的方式?jīng)_企測(cè)薄月莫260的配向表面261是否具有擊夾陷。如此一來(lái)， 肉眼無(wú)法辨別的配向表面261的缺陷即可透過(guò)光學(xué)系統(tǒng)220辨別出
來(lái)，以增力口才全測(cè)的準(zhǔn)確度。
第二實(shí)施例
本實(shí)施例的在線檢測(cè)裝置與第 一 實(shí)施例的在線檢測(cè)裝置的差 異在于光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方式。參見(jiàn)圖5A,其示出了^^艮據(jù)本發(fā)明第 二實(shí)施例的在線4僉測(cè)裝置300的側(cè);現(xiàn)圖。在本實(shí)施例中，光學(xué)系統(tǒng) 320采用反射式原理才全測(cè)薄膜360的摩擦配向狀況，因該光學(xué)系統(tǒng) 320的發(fā)光單元321及才企測(cè)單元323 i殳置于薄月莫360的同一側(cè)。
此外，本實(shí)施例的專lr送才幾構(gòu)330也配合光學(xué)系統(tǒng)320的i殳計(jì)只于 應(yīng)地調(diào)整配置的方式。在本實(shí)施例中，如圖5A所示，輸送機(jī)構(gòu)330 例如包括至少一個(gè)導(dǎo)引滾輪331。導(dǎo)引滾輪331配置在薄膜360與 配向表面361相反的一側(cè)并且接觸薄膜360。導(dǎo)引滾輪331除了用 于導(dǎo)引薄膜360移動(dòng)之外，導(dǎo)引滾輪331具有一反射表面331a,發(fā) 光單元321和4僉測(cè)單元323皆朝向反射表面331a設(shè)置，以利用反 射表面331a反射光線370。發(fā)光單元321投射的光線370沿一方向 線D2穿透通過(guò)薄膜360，以接觸反射表面331a。光線370由反射 表面331a反射形成反射光373，沖企測(cè)單元323則4妄收反射光373, 也就是說(shuō)，檢測(cè)單元323讀取光線370投射在薄膜360上的圖像。 接著，檢測(cè)單元323將該圖像利用電信號(hào)的方式輸出至顯示單元 325,以供4企測(cè)薄力莫360的配向表面361是否具有在夬陷。
其次，輸送機(jī)構(gòu)330還可例如包括另外三個(gè)導(dǎo)引滾輪333、 335 和337,導(dǎo)引滾輪333、 335和337也用于引導(dǎo)薄膜360移動(dòng)。導(dǎo)引 滾輪333、 335和337可配合在線一企測(cè)裝置300的空間配置的方式
擺置。至于蒸氣產(chǎn)生部件310、干燥部件340及清潔部件350的用 途都與第 一實(shí)施例中所才是及的相同，因此在此省略不再贅述。
在本實(shí)施例中，發(fā)光單元321和才全測(cè)單元323可分別相對(duì)反射 表面331a的法線N2作圓形4九跡的移動(dòng)。例如，參見(jiàn)圖5B,其示 出了圖5A的發(fā)光單元321和4企測(cè)單元323相對(duì)反射表面331a的法 線N2移動(dòng)的示意圖。圖5B是以虛線表示發(fā)光單元321和檢測(cè)單元 323移動(dòng)前的〗立置，并且以實(shí)線表示發(fā)光單元321和4全測(cè)單元323 移動(dòng)后的位置。在本實(shí)施例中，發(fā)光單元321和;險(xiǎn)測(cè)單元323與反 射表面331a的法線N2間具有相同的夾角02。在本實(shí)施例中，夾 角02的范圍可為0度至90度，實(shí)際應(yīng)用中夾角02的范圍優(yōu)選地 是0度至60度。
依照本發(fā)明第二實(shí)施例的在線檢測(cè)裝置300也應(yīng)用依照第 一 實(shí) 施例的在線;險(xiǎn)測(cè)方法來(lái)纟全測(cè)薄膜360。也就是i兌，在線一全測(cè)裝置300 可依照?qǐng)D4的步驟1001至步驟1011來(lái)實(shí)時(shí)檢測(cè)薄膜360的摩擦配 向狀況，其詳細(xì)的步驟在此省略不再贅述。
由于本實(shí)施例的在線檢測(cè)裝置300是利用反射式原理檢測(cè)薄膜 360的摩擦配向狀況，因該步驟1003及步驟1005分別利用設(shè)置于 薄膜360同一側(cè)的發(fā)光單元321和4企測(cè)單元323來(lái)4殳射光線370到 薄膜360上并讀取投射在薄膜360的圖像。其次，由于本實(shí)施例的 發(fā)光單元321和4企測(cè)單元323可分別相對(duì)反射表面331a的法線N2 作圓形軌跡的移動(dòng)，因此，應(yīng)用本實(shí)施例的在線;險(xiǎn)測(cè)裝置300進(jìn)4亍 檢測(cè)時(shí)，除了圖4所述的步驟外，還可進(jìn)行調(diào)整發(fā)光單元321和檢 測(cè)單元323的步艱《，以調(diào)整方向線D2與反射表面331a的法線N2 間的夾角02。如此一來(lái)，光線370可以不同的方向投射到薄膜360 上，以檢測(cè)配向表面361的摩擦配向狀況。當(dāng)然，該步驟可才艮據(jù)沖企 測(cè)的需求不斷地在4企測(cè)中才丸4亍，以才是高4企測(cè)的準(zhǔn)確度。
本發(fā)明上述實(shí)施例所，坡露的在線;險(xiǎn)測(cè)裝置及在線一全測(cè)方法可 連續(xù)地檢測(cè)薄膜的配向表面，以確認(rèn)配向表面是否具有缺陷。此夕卜， 在線4僉測(cè)裝置及在線才僉測(cè)方法可選才奪性地利用穿透式原理或反射 式原理檢測(cè)薄膜的配向表面的摩擦配向狀況。如此一來(lái)，不但可以 增加一企測(cè)的準(zhǔn)確性，若配向表面存有在夾陷，也可實(shí)時(shí)發(fā)3見(jiàn)并7于應(yīng)處 理，以便于進(jìn)行后面的制作過(guò)程。其次，在檢測(cè)薄膜時(shí)，不需要另 外花費(fèi)人力和時(shí)間取出薄膜，節(jié)省了薄膜的制造成本。至于在線檢 測(cè)裝置的光學(xué)系統(tǒng)通過(guò)讀耳又薄膜的圖<象，并且對(duì)圖傳 歐圖^f象處理的 檢測(cè)方式檢測(cè)薄膜，以增加辨別配向表面的缺陷的能力，并相對(duì)提 高檢測(cè)的可靠度。
綜上所述，雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例披露如上，然其并非用 于限定本發(fā)明。本領(lǐng)域才支術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的姊青神和范圍內(nèi)， 可作各種的更改與修飾。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍依所附的權(quán)利要 求所限定的范圍為準(zhǔn)。
符號(hào)說(shuō)明
100:液晶面板
110:配向月莫
111:溝槽
120:液晶層
121:'液晶分子
130:彩色濾光片基板
140:薄膜晶體管基板
200、 300:在線4企測(cè)裝置
210、 310:蒸氣產(chǎn)生部4牛
211、 311:蒸氣膜
220、 320:光學(xué)系統(tǒng)
221、 321:發(fā)光單元
223、 323:才企測(cè)單元
225、 325:顯示單元
230、 330:輸送才幾構(gòu) 250、 350:清潔部4牛 261、 361:配向表面 331、 333、 335、 337: 373:反射光 Nl、 N2:法線
240、 340:干燥部件 260、 360:薄月莫 270、 370:光線 導(dǎo)引滾輪 331a:反射表面 Dl、 D2:方向線 91、 02:夾角
權(quán)利要求
1. 一種在線檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)薄膜的摩擦配向狀況，所述薄膜具有配向表面，所述在線檢測(cè)裝置包括蒸氣產(chǎn)生部件，朝向所述薄膜的所述配向表面設(shè)置，所述蒸氣產(chǎn)生部件用于在所述配向表面上形成蒸氣膜；光學(xué)系統(tǒng)，包括發(fā)光單元，朝向所述薄膜設(shè)置，使光線投射在所述薄膜上；檢測(cè)單元，朝向所述薄膜設(shè)置，以讀取所述光線投射在所述薄膜處的圖像；和顯示單元，與所述檢測(cè)單元電性連接，所述顯示單元用于顯示所述圖像；以及輸送機(jī)構(gòu)，用于引導(dǎo)所述薄膜相對(duì)所述光學(xué)系統(tǒng)移動(dòng)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的在線檢測(cè)裝置，其中所述檢測(cè)單元和所 述發(fā)光單元分別設(shè)置于所述薄膜的兩側(cè)，并且所述檢測(cè)單元與 所述發(fā)光單元位于同 一方向線上，所述光線沿所述方向線穿透 通過(guò)所述薄膜。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的在線檢測(cè)裝置，其中所述發(fā)光單元和所 述才企測(cè)單元相對(duì)于所述薄膜同步擺動(dòng)，以調(diào)整所述方向線與所 述薄膜的法線間的夾角。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的在線檢測(cè)裝置，其中所述夾角的范圍是 0度至90度。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的在線檢測(cè)裝置，其中所述光線投射到所述配向表面，所述^r送才幾構(gòu)包括至少一個(gè)導(dǎo)引滾4侖，設(shè)置在所述薄膜與所述配向表面相 反的一側(cè)，并且所述導(dǎo)引滾輪與所述薄膜接觸，所述導(dǎo)引滾輪 具有反射表面，所述反射表面用于反射所述光線。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的在線檢測(cè)裝置，其中所述光線沿一方向 線穿透通過(guò)所述薄膜與所述反射表面接觸。
7. 4艮據(jù)7&利要求6所述的在線片企測(cè)裝置，其中所述發(fā)光單元和所 述才企測(cè)單元分別相對(duì)所述反射表面的法線啦支圓形4九跡的移動(dòng)， 且所述發(fā)光單元和所述4企測(cè)單元與所述反射表面的法線間具 有相同的夾角。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的在線檢測(cè)裝置，其中所述夾角的范圍是 0度至90度。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的在線檢測(cè)裝置，設(shè)置在暗室中。
10. —種在線纟企測(cè)方法，用于檢測(cè)薄膜的摩擦配向狀況，所述薄膜 具有配向表面，所述在線;險(xiǎn)測(cè)方法包括(a) 當(dāng)所述薄膜移動(dòng)時(shí)，在所述薄"莫的所述配向表面上 形成蒸氣膜；(b) 將光線投射到所述薄膜上；(c) 讀耳又所述光線沖殳射在所述薄膜處的圖^f象；以及(d) 顯示所述圖像。
全文摘要
一種在線檢測(cè)裝置及在線檢測(cè)方法。在線檢測(cè)裝置用于檢測(cè)薄膜的摩擦配向狀況。薄膜具有配向表面。在線檢測(cè)裝置包括蒸氣產(chǎn)生部件、光學(xué)系統(tǒng)和輸送機(jī)構(gòu)。蒸氣產(chǎn)生部件朝向薄膜的配向表面設(shè)置。蒸氣產(chǎn)生部件用于在配向表面上形成蒸氣膜。光學(xué)系統(tǒng)包括發(fā)光單元、檢測(cè)單元和顯示單元。發(fā)光單元朝向薄膜設(shè)置，使光線投射在薄膜上。檢測(cè)單元朝向薄膜設(shè)置，讀取光線投射在薄膜處的圖像。顯示單元與檢測(cè)單元電性連接。顯示單元用于顯示圖像。輸送機(jī)構(gòu)用于引導(dǎo)薄膜相對(duì)光學(xué)系統(tǒng)移動(dòng)。在線檢測(cè)方法包括當(dāng)該薄膜移動(dòng)時(shí)，在該薄膜的該配向表面上形成蒸氣膜；將光線投射到該薄膜上；讀取該光線投射到該薄膜處的圖像；以及顯示該圖像。
文檔編號(hào)G02F1/13GK101363973SQ200710140118
公開日2009年2月11日 申請(qǐng)日期2007年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月6日
發(fā)明者吳建宏, 莊雅杰, 楊昆炫 申請(qǐng)人:達(dá)信科技股份有限公司