專(zhuān)利名稱(chēng)：：偏振分光器件及其制造方法和設(shè)備以及包括其的顯示器的制作方法偏振分光器件及其制造方法和設(shè)備以及包括其的顯示器
技術(shù)領(lǐng)域：
示范實(shí)施例涉及偏振分光器件、包括該器件的顯示器、制造該器件的方法以及制造該器件的設(shè)備，且更具體地涉及線柵型偏振分光器件。
背景技術(shù)：
：通常，用于移動(dòng)電話、PDA、膝上型計(jì)算機(jī)和臺(tái)式計(jì)算機(jī)的監(jiān)視器、LCD電視等中的LCD器件可包括設(shè)置于諸如偏振膜的偏振分光器件之間的液晶層以及為其提供照明的背光單元(BLU)。通常使用二向色偏振膜。但是，二向色偏振膜的局限之處在于光利用率理論上不大于50%,這是因?yàn)槎蛏衲の沾怪庇谕干漭S而偏振的光。由于該原因，提出了反射式偏振分光器件，其可以通過(guò)將偏振光的非透射分量反射回BLU以再利用該分量而增大光利用率。具體而言，提出了線柵型偏振分光器件，該器件可包括"線柵"，例如上面有傳導(dǎo)材料的基本上平行的脊的圖案，其具有比入射光波長(zhǎng)小的節(jié)距，以便使垂直于該柵而偏振的光透射，并且使平行于該柵而偏振的光反射。但是，存在對(duì)制造簡(jiǎn)單且經(jīng)濟(jì)的大尺寸偏振分光器件的需要，該偏振分光器件可用于移動(dòng)電話、個(gè)人數(shù)字助理(PDA)、膝上型計(jì)算機(jī)和臺(tái)式計(jì)算機(jī)的監(jiān)視器、LCD電視等中的液晶顯示器件。
發(fā)明內(nèi)容因此，示范實(shí)施例涉及偏振分光器件、包括該器件的顯示器、制造該器件的方法以及制造該器件的設(shè)備，其基本上克服了一個(gè)或多個(gè)由于相關(guān)技術(shù)的局P艮和缺點(diǎn)所引起的問(wèn)題。因此，實(shí)施例的一個(gè)特征是提供具有依次堆疊的反射部分和吸收部分的偏振分光器件。因此，實(shí)施例的另一特征是提供具有反射部分和吸收部分以及介入的中間部分的偏振分光器件，其中，該中間層的反射率小于反射部分的反射率且大于吸收部分的>^射率。至少一個(gè)上述和其它特征及優(yōu)點(diǎn)可以通過(guò)提供一種偏振分光器件而實(shí)現(xiàn)，該偏振分光器件包括透射M件，其具有基部和該基部上的脊的圖案；以及非透射層，其位于脊上。非透射層可包括光反射部分和光吸收部分。光反射部分和光吸收部分每個(gè)可具有相同的材料成分。光反射部分可具有第一材料成分，且光吸收部分可具有不同于第一材料成分的第二材料成分。第一材料成分可包括金屬，且第二材料成分可包括金屬氧化物和/或碳。非透射層可進(jìn)一步包括在光反射部分和光吸收部分之間的中間部分，中間部分的反射率小于光反射部分的反射率且大于光吸收部分的反射率。光反射部分、中間部分和光吸收部分每個(gè)可具有相同的材料成分。光反射部分可具有第一材料成分，且光吸收部分可具有不同于第一材料成分的第二材料成分。中間層可具有是第一和第二材料成分的混合物的材料成分。光反射部分可以在透射基構(gòu)件和光吸收部分之間。光吸收部分可以在透射基構(gòu)件和光反射部分之間。至少一個(gè)上述和其它特征及優(yōu)點(diǎn)可以通過(guò)提供一種制造偏振分光器件的方法而實(shí)現(xiàn)，該方法包括提供透射基構(gòu)件，該透射基構(gòu)件在1^部上具有脊的圖案；以及在脊上形成非透射層。非透射層可包括光反射部分和光吸收部分。形成非透射層可包括通過(guò)根據(jù)非透射層高度改變沉積角度來(lái)沉積非透射層。光反射部分和光吸收部分每個(gè)可具有相同的材料成分。形成非透射層可包括^目對(duì)于基部的至少兩個(gè)不同的角度施加該材料成分，所述至少兩個(gè)角度中的第一角度對(duì)應(yīng)于光反射部分，且所述至少兩個(gè)角度中的第二角度對(duì)應(yīng)于光吸收部分。形成非透射層可包括從至少兩個(gè)不同的角度范圍施加該材料成分，所述至少兩個(gè)范圍中的第一范圍對(duì)應(yīng)于光反射部分，且所述至少兩個(gè)范圍中的第二范圍對(duì)應(yīng)于光吸收部分。形成光反射部分的沉積子過(guò)程中的沉積角度(9H)可具有925|eH|s91(92<91)的范圍，沉積角度(9H)為相對(duì)于沉積表面的法向的角度，形成光吸收部分的沉積子過(guò)程中的沉積角度(9L)可具有03^I9LI(e3<94)的范圍，沉積角度(9L)為相對(duì)于沉積表面的法向的角度，并且01、92、03和04可滿(mǎn)足下面的條件40o5ei570°，20。se2S500,60°^93<卯°且60ose4<90。。光反射部分可具有第一材料成分,且光吸收部分可具有不同于第一材料成分的第二材料成分。非透射層在光反射部分和光吸收部分之間可進(jìn)一步包括中間部分，中間部分的反射率小于光反射部分的反射率且大于光吸收部分的反射率。形成光反射部分可包括沉積第一材料，形成光吸收部分可包括沉積第二材料，且形成中間部分可包括沉積第一和第二材料的混合物。該方法可包括同時(shí)^M目對(duì)于透射基構(gòu)件的相應(yīng)的第一和第二位置將第一材料和第二材料沉積在透射基構(gòu)件上，并且從第一和第二位置之間的第三位置將第一和第二材料的混合物沉積在透射基構(gòu)件上。該方法可進(jìn)一步包括在第一和第二位置之間提供至少一個(gè)孔，且所述至少一個(gè)孔可配置成調(diào)節(jié)第一和第二材料中的至少一個(gè)的沉積。該方法可包括沿著與脊的延伸方向近似垂直的第一方向?qū)⑼干浠鶚?gòu)件跨過(guò)第一孔并且通過(guò)第一孔將材料沉積在脊上以形成光反射部分，以及沿著第一方向?qū)⑼干浠鶚?gòu)件跨過(guò)第二孔并且通過(guò)第二孔將材料沉積在光反射部分上以形成光吸收部分。該方法可包括沿著與脊的延伸方向近似垂直的第一方向?qū)⑼干銶件跨過(guò)第一孔并且通過(guò)第一孔將材料沉積在脊上以形成光吸收部分，以及沿著第一方向?qū)⑼干浠鶚?gòu)件跨過(guò)第二孔并且通過(guò)第二孔將材料沉積在光吸收部分上以形成光^^射部分。至少一個(gè)上述和其它特征及優(yōu)點(diǎn)可以通過(guò)提供一種包括液晶板、背光單元和偏振分光器件的顯示器件而實(shí)現(xiàn)。偏振分光器件可包括透射，件，其具有基部和該基部上的脊的圖案；以及非透射層，其位于脊上。非透射層可包括光反射部分和光吸收部分。背光單元可設(shè)置成與脊相對(duì)，使得基部在背光單元和脊之間，且光反射部分可以在脊和光吸收部分之間。背光單元可設(shè)置成與基部相對(duì)，使得脊在背光單元和基部之間，且光吸收部分可以在脊和光反射部分之間。至少一個(gè)上述和其它特征及優(yōu)點(diǎn)可以通過(guò)提供一種用于制造偏振分光器件的設(shè)備而實(shí)現(xiàn)，該偏振分光器件包括透射基構(gòu)件，該設(shè)備包括沉積源、配置成將透射基構(gòu)件傳送經(jīng)過(guò)沉積源的傳送組件、以及置于沉積源和透射基構(gòu)件之間的孔，該孑L被配置成調(diào)節(jié)透射基構(gòu)件對(duì)沉積源的暴露。該設(shè)備可被配置成從相對(duì)于透射基構(gòu)件的至少兩個(gè)角度范圍將沉積材料沉積在透射基構(gòu)件上。該孔可被配置成將透射基構(gòu)件對(duì)沉積源的暴露限制在所述至少兩個(gè)角度范圍中的第一范圍內(nèi)，且該設(shè)備可進(jìn)一步包括置于沉積源和透射基構(gòu)件之間的第二孔，該第二孔被配置成將透射基構(gòu)件對(duì)沉積源的暴露限制在所述至少兩個(gè)角度范圍中的第二范圍內(nèi)。沉積源可被配置成在所述至少兩個(gè)角度范圍中的第一范圍內(nèi)將第一沉積材料沉積在透射基構(gòu)件上，且該設(shè)備可進(jìn)一步包括第二沉積源，該第二沉積源被配置成在所述至少兩個(gè)角度范圍中的第二范圍內(nèi)將第二材料沉積在透射基構(gòu)件上。通過(guò)參考附圖詳細(xì)描述示范實(shí)施例，以上和其它目的、特征和其它優(yōu)點(diǎn)將對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言變得更加明顯，在附圖中圖1圖示了偏振分光器件的示范實(shí)施例的透^L示意圖；圖2圖示了沿圖1中的線A-A所取的4黃截面圖；圖3圖示了用于制造偏振分光器件的設(shè)備的示范實(shí)施例的示意圖；圖4圖示了圖3中的部分"a"的放大圖；圖5圖示了圖3中的部分"b"的放大圖；圖6圖示了圖3中的部分"c"的放大圖；圖7圖示了示出沉積材料的及—射率和沉積角度之間的關(guān)系的曲線圖；圖8圖示了偏振分光器件的另一示范實(shí)施例的^l截面示意圖；圖9圖示了用于制造偏振分光器件的設(shè)備的另一示范實(shí)施例的示意圖；以及圖10a和10b分別圖示了偏振分光器件和比較器件的示范實(shí)施例的橫截面示意圖。具體實(shí)施方式在2006年6月28日提交于日本專(zhuān)利局的標(biāo)題為"Polarized-LightSplittingDeviceandManufacturingMethodThereof，的日本專(zhuān)利申請(qǐng)No.2006-178415的全部?jī)?nèi)容通過(guò)引用結(jié)合于此?，F(xiàn)在，將在下文中參考附圖更加全面地描述示范實(shí)施例；但是，示范實(shí)施例可以以不同的形式實(shí)施，而不應(yīng)解釋為局限于這里所闡述的實(shí)施例。相反，提供這些實(shí)施例，以便使4^>開(kāi)是透徹的和完整的，并且將本發(fā)明的范圍全面地傳*本領(lǐng)域技術(shù)人員。在附圖中，為了使說(shuō)明清楚，層和區(qū)的尺度可被夸大。還應(yīng)該理解，當(dāng)一層或元件被稱(chēng)為在另一層或襯底"上"時(shí)，其可直接在另一層或襯底上，或者也可存在介入層。此外，應(yīng)該理解，當(dāng)一層被稱(chēng)為在另一層"下"時(shí)，其可直接在另一層下，也可存在一個(gè)或多個(gè)介入層。另外，還應(yīng)該理解，當(dāng)一層被稱(chēng)為在兩層"之間"時(shí)，其可以是該兩層之間的僅有的層，或者也可存在一個(gè)或多個(gè)介入層。本文中，同樣的標(biāo)號(hào)指示同樣的元件。圖1圖示了才艮據(jù)第一到第四示范實(shí)施例的偏振分光器件IO(20、30、40)的透^L示意圖。偏振分光器件10(20、30、40)可通過(guò)根據(jù)入射光的偏振方向使入射光透射或反射來(lái)分離偏振光分量。偏振分光器件10(20、30、40)可以是具有衍射柵的膜型線槺偏振器(WGP)，該衍射柵具有比入射光波長(zhǎng)小的節(jié)距。偏振分光器件10(20、30、40)可包括透射基構(gòu)件l，例如透射膜，其在其表面上可具有小的凹凸圖案，例如基本上平行的脊的圖案，其中在脊之間具有對(duì)應(yīng)的谷。非透射層2可設(shè)置在其上、透射基構(gòu)件l的凸部分的前端，即脊上。透射基構(gòu)件1可包括多個(gè)柵部lb,即凸(脊)部分，其可以具有預(yù)定寬度W并且可以彼此基本上平行地以節(jié)距為P的柵形成在膜形基部la上(參見(jiàn)圖2和圖8)。這里，柵節(jié)距P可以是很小的間隙，例如比入射光的預(yù)定波長(zhǎng)窄。例如，當(dāng)用在LCD器件中時(shí)，偏振分光器件10可分離可見(jiàn)光范圍內(nèi)的偏振光，例如由BLU產(chǎn)生的光。在這種情況下，柵節(jié)距P可以是可見(jiàn)光波長(zhǎng)的一半或者更小。在一實(shí)施中，柵節(jié)距P可小于約200nm,例如小于約150nm。在另一實(shí)施中，柵節(jié)距P可小于可見(jiàn)光波長(zhǎng)的約五分之一。柵部lb的柵節(jié)距P與寬度W的比率可以是約1到約0.5，即W/P的值可以是約1到約0.5。在一實(shí)施中，W/P的值可以在約土0.3，例如0.5±0.3()的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，這適合特定的應(yīng)用。就此而言，當(dāng)調(diào)節(jié)W/P的值時(shí)，如果W/P的值小于約0.5,則可稍微減小偏振度，并且可增加透射光的量。透射基構(gòu)件1可以由例如被選擇來(lái)使所選波長(zhǎng)范圍內(nèi)的適量光透射的合成樹(shù)脂制成。合成樹(shù)脂可包括例如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚碳酸酯(PC)和/或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。不需要透射基構(gòu)件l的全部表面是平的。優(yōu)選地，該表面的形狀不過(guò)分地阻擋光透射。圖2圖示了根據(jù)第一和第三示范實(shí)施例的沿圖1中的線A-A所取的橫截面圖?，F(xiàn)在，將參考圖1和圖2描述偏振分光器件10的第一示范實(shí)施例。參考圖2，非透射層2可呈現(xiàn)從其下部向上部減小的反射率。反射率的變化可以是逐步的或逐漸的，并且可以是單調(diào)的。更具體而言，非透射層2可沉積在透射基構(gòu)件1上并且可包括提供在柵部lb前或凸表面上的高反射率部分2a以及提供在非透射層2的最上部的低^Jt率部分2b。高反射率部分2a和低反射率部分2b宏觀上可分別表征為反射表面和光吸收表面。但是，高反射率部分2a和低反射率部分2b微觀上可分別表征為非透射層2的執(zhí)行光反射和光吸收的部分。如這里所使用的那樣，光吸收指的是比面向光源的光^Jt部分2a的反射率水平小的反射率水平。低反射率部分2b可允許光在一定程度上被透射。但是，低反射率部分2b可呈現(xiàn)光吸收，使得透射到非透射層2中的光不透射通過(guò)^^射率部分2b。由于該原因，可以例如與低反射率部分2b分開(kāi)地形成光透射保護(hù)涂層。非透射層2的反射率變化可通過(guò)例如改變非透射層2中的沉積材料的量、成分和/或結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)。在一實(shí)施中，反射材料例如鋁可用作沉積材料。非透射層2可通過(guò)在非透射層2的形成期間改變?cè)摬牧系某练e角度使得沉積材料的結(jié)構(gòu)從致密狀態(tài)(反射)到疏松狀態(tài)(吸收)地變化來(lái)形成。鋁可能是尤其合適的，這是因?yàn)槿Q于沉積角度，鋁可呈現(xiàn)顯著的反射率變化。但是，在可見(jiàn)光的波長(zhǎng)范圍內(nèi)，例如^L的其它材料也可呈現(xiàn)期望的反射率變化。在一實(shí)施中，非透射層2可進(jìn)一步包括提供在高反射率部分2a和低反射率部分2b之間并且具有中間反射率的中間部分2c。在非透射層2包括中間部分2c的情況下，中間部分2c可呈現(xiàn)^^射率的漸變。一旦適當(dāng)?shù)卮_定了高反射率部分2a和低反射率部分2b的反射率，就可適當(dāng)?shù)卮_定中間部分2c的^Jt率的變化。例如，可改變?cè)摬牧系牧?、成分?或結(jié)構(gòu)。在形成中間部分2c時(shí)，可能理想的是，考慮中間部分2c對(duì)非透射層2的總強(qiáng)度的影響。在一實(shí)施中，中間部分2c的成分可例如單調(diào)地變化。例如，非透射層2可以以三層結(jié)構(gòu)形成，使得高^(guò)^射率部分2a和低反射率部分2b具有適當(dāng)大的厚度來(lái)執(zhí)行相應(yīng)的反射和吸收功能，并且中間部分2c的成分可以在高反射率部分2a和低反射率部分2b之間平滑變化。在另一實(shí)施中，非透射層2的反射率可以例如如同多層結(jié)構(gòu)一樣逐步地變化。就此而言，可能理想的是，避免例如層之間的邊界處的反射率的大的突變。高Jl射率部分2a的反射率可以是高的，以增大偏振分光器件10的光利用率。此外，低反射率部分2b的反射率可以是低的，以增大偏振分光器件10的對(duì)比度。在一實(shí)施中，低^^射率部分2b的反射率可小于約40%，例如約30%或更小。在工作中，對(duì)于從例如BLU205的光源向透射基構(gòu)件1的柵部lb的后表面行進(jìn)的入射光，偏振分光器件10可以使具有一個(gè)方向上的偏振分量的光透射，但是可以使具有其它方向上的偏振分量的光反射。反射光可^L^射回到光源。例如，參考圖2，當(dāng)光源如BLU205安置在偏振分光器件10下(例如在與顯示器中的LCD板210相對(duì)的側(cè))并且向偏振分光器件10照射光時(shí)，偏振分光器件10的橫磁(TM)波分量3M(其電場(chǎng)振動(dòng)方向垂直于柵方向，即圖2中的左到右，柵方向是脊的延伸方向，垂直于圖2的紙面)可以向上透射通過(guò)柵部lb。另一方面，橫電(TE)波分量3E(其電場(chǎng)振動(dòng)方向平行于柵方向，即圖2的平面的內(nèi)到外)不能透射通過(guò)#^lb而可以被高反射率部分2a反射，使得反射光分量3R返回到光源。反射光分量3R于是可以在該器件中反K射，并再照射到偏振分光器件10上。這樣，因?yàn)榉瓷涔夥至?R可通過(guò)反射^皮再利用，而不是^皮吸收，所以光利用率可增大。同樣，當(dāng)光從外界，即從圖2中的上方照射到偏振分光器件10上時(shí)，TM波分量4M可被透射通過(guò)透射基構(gòu)件1,而TE波分量4E可不被透射。TE波分量4E可至少部分地由低反射率元件2b吸收。這樣，因?yàn)閊Jl射率部分2b可具有相對(duì)低的^^射率，所以一部分光可在低反射率部分2b中被吸收，從而衰減向上反射的光的量并由此增強(qiáng)所顯示圖像的對(duì)比度。當(dāng)偏振分光器件10用在LCD器件中時(shí)，TM波分量4M和TE波分量4E可對(duì)應(yīng)于外部光。在下文中，將描述一種用于制造根據(jù)第一示范實(shí)施例的偏振分光器件10的方法和i殳備。當(dāng)金屬或金屬化合物用作沉積材料時(shí)，沉積材料的反射率可取決于沉積角度。將要描述的方法和設(shè)備采用該特性來(lái)通過(guò)改變沉積角度來(lái)改變非透射層2的反射率。圖3圖示了用于制造偏振分光器件10的設(shè)備的示范實(shí)施例的示意圖，圖4到6分別圖示了圖3中的部分'V，、"b，，和"c，，的放大圖。此外，圖7圖示了示出沉積材料的反射率和沉積角度之間的關(guān)系的曲線圖。在圖7中，橫軸指的是沉積角度(。)，縱軸指的是550nm波長(zhǎng)處的反射率(％)。圖3所示的偏振分光器件制造設(shè)備IOO可用于制造上述偏振分光器件10,并且可包括冷卻鼓5、導(dǎo)輥6和7、沉積源9以及例如沉積罩8的調(diào)節(jié)沉積的孔。沉積罩8可以固定到沉積角度確定構(gòu)件或者可以是沉積角度確定構(gòu)件的一部分。這些部件可包^^在真空室(未示出)中。冷卻鼓5可以冷卻透射基構(gòu)件1以穩(wěn)定其溫度，并且可以沿冷卻鼓5的圓周方向傳送透射基構(gòu)件1。參考圖3，當(dāng)形成偏振分光器件10時(shí)，冷卻鼓5可以由馬達(dá)(未示出)以恒定速度順時(shí)針旋轉(zhuǎn)。冷卻鼓5的轉(zhuǎn)軸可安置在垂直于圖3的紙面的方向上，使得冷卻鼓5的轉(zhuǎn)軸垂直于圖3的紙面而延zf申。導(dǎo)輥6可與冷卻鼓5—起旋轉(zhuǎn)，并且可引導(dǎo)透射基構(gòu)件1向冷卻鼓5的傳送。透射基構(gòu)件1的凹凸圖案(參見(jiàn)圖4)即柵部lb可以沿與冷卻畫(huà)支5的轉(zhuǎn)軸相同的方向延伸，即延伸方向可垂直于圖3的紙面?；縧a可纏繞冷卻鼓5并且通過(guò)冷卻鼓5的旋轉(zhuǎn)來(lái),皮傳送。導(dǎo)輥7可以與冷卻鼓5—^旋轉(zhuǎn)，并且當(dāng)其上形成有非透射層2的透射M件1從冷卻鼓5釋放時(shí)引導(dǎo)其傳送。沉積源9可配置成將沉積材料11沉積在透射基構(gòu)件1上，并且可加熱并且噴射沉積材料ll。在此示范實(shí)施例中，沉積源9可近似位于冷卻鼓5下方的透射基構(gòu)件1傳送路徑的中間。因此，沉積材料ll可向上擴(kuò)散并且可輻射狀地散布。在此示范實(shí)施例中，沉積材料ll的噴射的中軸可基本上位于圖3中的豎直方向上。沉積罩8可位于沉積源9和冷卻鼓5之間，并且可部分地覆蓋冷卻鼓5。沉積罩8可包括一個(gè)或多個(gè)孔。在一實(shí)施中，沉積罩8可包括兩個(gè)孔8a和孔8b，其每個(gè)具有預(yù)定的寬度。當(dāng)透射基構(gòu)件l由冷卻鼓5傳送時(shí)，孔8a和孔8b可確定通過(guò)沉積罩8向透射基構(gòu)件1上噴射沉積材料11的位置?？?a可位于相對(duì)于沉積材料11的噴射的中軸的透射基構(gòu)件1傳送方向的上游側(cè)。如圖5中的部分"b，，的放大圖所示，(當(dāng)透射基構(gòu)件1沿著冷卻鼓5的圓周傳送時(shí)，相對(duì)于透射基構(gòu)件1的法向的)沉積角度可以從法向向傳送方向的下游側(cè)偏移，其中，當(dāng)透射基構(gòu)件1沿著冷卻鼓5被運(yùn)載經(jīng)過(guò)孔8a時(shí)，偏移在一角度范圍內(nèi)變化。沉積角度可以在開(kāi)始于傳送方向的上游側(cè)的角度ei并結(jié)束于傳送方向的下游側(cè)的角度e2的角度范圍內(nèi)變化。在一實(shí)施中，對(duì)于孔8a，ei可大于e2，40。sei^70。，且20。^e2550。?？?b可位于相對(duì)于沉積材料11的噴射的中軸的透射基構(gòu)件1傳送方向的下游側(cè)。如圖6中的"c"的放大部分所示，相對(duì)于沿著冷卻鼓5的圓周傳送的透射基構(gòu)件1的法向的沉積角度可以從法向向傳送方向的上游側(cè)偏移，其中，當(dāng)透射基構(gòu)件l沿著冷卻鼓5被運(yùn)載經(jīng)過(guò)孔8b時(shí)，偏移在一角度范圍內(nèi)變化。沉積角度可以在開(kāi)始于傳送方向的上游側(cè)的角度e3并結(jié)束于傳送方向的下游側(cè)的角度e4的角度范圍內(nèi)變化。在一實(shí)施中，對(duì)于孔8b，93可小于e4,60°^03<卯°，且60°594<卯°。接著，將描述一種使用制造設(shè)備100來(lái)制造偏振分光器件10的方法。透射J^J件1可通過(guò)適當(dāng)?shù)倪^(guò)程例如壓印(imprint)過(guò)程來(lái)制造，以在其上形成柵部lb，例如脊的凹凸圖案。壓印過(guò)程可包括例如使用諸如電子束光刻和/或蝕刻的操作而形成具有精細(xì)結(jié)構(gòu)的主模，并將該模的形狀轉(zhuǎn)錄至塑料膜。與直接通過(guò)使用光刻和蝕刻將膜圖案化來(lái)形成凹凸圖案的方法相比，壓印過(guò)程可提供大目和低成本的優(yōu)點(diǎn)。透射基構(gòu)件1可由導(dǎo)輥6引導(dǎo)并且纏繞冷卻鼓5，其中，柵部lb取向向外，即以冷卻鼓5的徑向方向遠(yuǎn)離冷卻鼓5。透射基構(gòu)件l可沿著冷卻鼓5的圓周傳送。當(dāng)被傳送的透射，件1到達(dá)沉積材料11被噴射通過(guò)孔8a的區(qū)域(圖5中的點(diǎn)Vj時(shí)，第一沉積子過(guò)程可開(kāi)始，其中，被沉積的沉積材料11開(kāi)始形成非透射層2的高^(guò)^射率的下部2a。具體而言，柵部lb的凸表面可以由沉積材料11來(lái)涂覆，沉積材料11從沉積角度01開(kāi)始被噴射通過(guò)孔8a。當(dāng)透射基構(gòu)件1利用冷卻鼓5的旋轉(zhuǎn)來(lái)被傳送跨過(guò)孔8a時(shí)，沉積過(guò)程可持續(xù)進(jìn)行，同時(shí)沉積角度連續(xù)變化直到角度02，從而完成非透射層2的下部2a的形成。這里，當(dāng)透射基構(gòu)件1到達(dá)罩8阻擋沉積材料11的沉積的位置(圖5中的點(diǎn)V2)時(shí)，第一沉積子過(guò)程可結(jié)束。當(dāng)被傳送的透射基構(gòu)件1到達(dá)沉積材料11被噴射通過(guò)孔8b的區(qū)域(圖6中的點(diǎn)V3)時(shí)，第二沉積子過(guò)程可開(kāi)始，其中，被沉積的沉積材料11開(kāi)始形成非透射層2的低反射率的上部2b。具體而言，上部2b可以由沉積材料11形成在第一沉積子過(guò)程中所形成的下部2a上，沉積材料11在開(kāi)始于角度03的沉積角度范圍內(nèi)被噴射通過(guò)空8b。當(dāng)透射1^件1被傳送跨過(guò)該孔時(shí)，沉積過(guò)程可持續(xù)進(jìn)行，同時(shí)沉積角度連續(xù)變化到角度64,從而完成非透射層2的上部2b的形成。這里，當(dāng)透射基構(gòu)件l到達(dá)該罩阻擋沉積材料11的沉積的位置(圖6中的點(diǎn)V4)時(shí)，第二沉積子過(guò)程可結(jié)束。在非透射層2例如通過(guò)沉積過(guò)程而完全形成在透射基構(gòu)件1上之后，帶有非透射層2的透射^I件1可由導(dǎo)輥7傳送出制造設(shè)備100。圖7圖示了示出沉積材料的及—射率和沉積角度之間的關(guān)系的曲線圖。圖7所示的情形是測(cè)量塑料膜(與透射基構(gòu)件1的材料相同)的反射率的實(shí)驗(yàn)結(jié)果，在該塑料膜上通過(guò)改變沉積角度而形成有鋁沉積層。從圖7看出，反射率變化近似對(duì)應(yīng)于該曲線圖中的線200。因此，在沉積表面的法向(沉積角度為0°)上，反射率最大，并且與相對(duì)于法向的傾斜成比例地減小。沒(méi)有受任何特定理論的約束，上述反射率變化被認(rèn)為是因?yàn)楫?dāng)沉積角度小時(shí)，薄膜致密且均勻地形成，而當(dāng)沉積角度大時(shí)，薄膜的成分處于較疏松狀態(tài)。因此，盡管鋁可能是高反射率的，但如果沉積角度大，則對(duì)應(yīng)的鋁沉積樣品可能是暗色的并且可能具有低反射率和低亮度。在一實(shí)施中，第一沉積子過(guò)程可以在柵部lb的凸表面上形成高^(guò)Jt率部分2a，并且可以在高反射率部分2a上形成中間部分2c的一部分(其反射率逐漸減小)。第二沉積子過(guò)程可以形成中間部分2c的剩余部分(其反射率逐漸減小)以及^L^射率部分2b。如上所述，根據(jù)沉積源9和沉積罩8之間的位置關(guān)系，孔8a可用于形成高反射率部分2a，且孔8b可用于形成低反射率部分2b。在一實(shí)施中，如果沉積角度02設(shè)置為等于沉積角度e3(02=93),則中間部分2c可以形成為使得其反射率逐漸且連續(xù)地變化。在另一實(shí)施中，如果沉積角度02"i更置為小于沉積角度03(92<03)，則中間部分2c可以形成為使得反射率不連續(xù)地變化，該不連續(xù)由及^射率不同的表面的分界面來(lái)形成。應(yīng)該理解，反射率的該不連續(xù)可顯著小于高反射率部分2a的反射率與低反射率部分2b的反射率的差。在這種情形下，因?yàn)椴贿B續(xù)表面可由同一材料制成，并且與將高反射率部分2a的結(jié)構(gòu)與低^^射率部分2b的不同結(jié)構(gòu)直接相組合相比，結(jié)構(gòu)不一致性可相對(duì)小，所以，所得結(jié)構(gòu)的脆度可降低，部分2a和部分2b之間的粘附力可增大，并且可利于制造。沉積過(guò)程可通過(guò)才艮據(jù)沉積層的層高改變沉積角度來(lái)執(zhí)行。沉積部分2a和2b可使用同一沉積材料ll來(lái)形成，并且其反射率可逐漸變化。同樣，沉積過(guò)程可分成可具有不同的沉積角度范圍的第一和第二沉積子過(guò)程。因此，與例如單個(gè)連續(xù)沉積過(guò)程相比，>^射率顯著變化的沉積層可容易地形成。另外，由于非透射層2可由同一沉積材料形成，所以，甚至在非透射層2由不同的第一和第二沉積子過(guò)程來(lái)形成的情況下，由此形成的邊界處的結(jié)構(gòu)整體性也可增強(qiáng)。此外，即使沉積角度可能不連續(xù)地變化，沉積層的整體性也可提高，這可幫助避免諸如柵崩塌的問(wèn)題，使能夠形成可靠的線柵偏振器(WGP)。在上述實(shí)施中，對(duì)于孔8a,20°se2S50°，且對(duì)于孔8b，60°^3^0°。同樣，如上所述，在另一實(shí)施中，沉積角度92可設(shè)置為等于沉積角度03(02=03)。還應(yīng)該理解，在又一實(shí)施中，可能理想的是設(shè)置92>93，使得按需要，相應(yīng)的沉積子過(guò)程可包括共同的角度范圍，即它們可重疊。在下文中，將描述沉積角度對(duì)非透射層2和柵的形狀的影響。當(dāng)將非透射層2沉積在形成有具有小于光波長(zhǎng)的節(jié)距的凹凸(脊-谷)圖案的柵部lb的凸表面(脊部)上時(shí)，沉積層的形狀可根據(jù)沉積角度而改變。因此，可能難以將柵的形狀形成為具有期望的輪廓。具體而言，如果沉積角度太小，則兩個(gè)相鄰柵部lb上的沉積層可變得相連，使得凹部(即入射光透射通過(guò)的介入的谷部)被阻擋或部分阻擋。另一方面，如果沉積角度太大，則在沉積層處可產(chǎn)生偏斜，并且可形成偏倚的柵。因此，可能理想的是，考慮沉積角度對(duì)柵形狀的影響而設(shè)置沉積角度的范圍。在下面的表l中，示出了在以固定的沉積角度在透射基構(gòu)件1上形成具有相同厚度的沉積層之后所產(chǎn)生的反射率和柵形狀。沉積角度被確定為與透射基構(gòu)件1的法向的差。在"柵形狀"的列中，最優(yōu)選的柵形狀用'T，表示，可能理想的其它柵形狀用"2"表示，可能包括不理想特性的柵形狀用"3"表示。關(guān)于柵形狀的具體注釋在"外觀"列中描述。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>如表l所述，產(chǎn)生最優(yōu)選和理想的柵形狀的沉積角度在約30°到約60°的范圍內(nèi)。參考圖7，約30°到約60°的沉積角度范圍分別對(duì)應(yīng)于約67°/o到約40%的反射率范圍。以上結(jié)果是從在以恒定沉積角度進(jìn)行沉積的條件下進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)中獲得的。當(dāng)通過(guò)改變沉積角度進(jìn)行沉積時(shí)，為了4吏沉積材料覆蓋整個(gè)沉積表面并且形成理想的反射表面，形成薄膜所需的時(shí)間取決于沉積條件。因此，薄膜形成時(shí)間的起始或結(jié)束點(diǎn)處的沉積角度可不對(duì)薄膜的特征產(chǎn)生相當(dāng)大的影響。因此，上述角度范圍可適當(dāng)?shù)財(cái)U(kuò)展到例如20°到70°的范圍。在某些情況下，超過(guò)70。的沉積角度可導(dǎo)致膜的偏斜。但是，當(dāng)沉積膜的厚度薄時(shí)，這可以避免或者可以是不顯著的。在該示范實(shí)施例中，因?yàn)榈谝怀练e子過(guò)程在不產(chǎn)生柵的傾斜的范圍內(nèi)執(zhí)行，然后第二沉積子過(guò)程在大沉積角度的M下執(zhí)行，所以，在大沉積角度的范圍內(nèi)的層的高度變低，且可能可以使用比圖7所示的實(shí)驗(yàn)結(jié)果中使用的角度范圍寬的角度范圍來(lái)形成優(yōu)良的柵形狀。在其它實(shí)施中，可能還可以在形成優(yōu)良的柵形狀的同時(shí)將沉積角度84設(shè)置為卯°，正如下面更詳細(xì)描述的那樣。因此，應(yīng)該理解，用于ei、e2、e3和04的角度范圍可以相對(duì)于沉積子過(guò)程的沉積角度的上限和下限而調(diào)整。圖8圖示了才艮據(jù)第二和第四示范實(shí)施例的沿圖1中的線A-A所取的橫截面圖。將結(jié)合圖8描述偏振分光器件20的第二實(shí)施例。參考圖8，此示范實(shí)施例的偏振分光器件20可被配置成使得上述第一示范實(shí)施例的偏振分光器件10的非透射層2，在柵部lb上上/下顛倒。根據(jù)第二示范實(shí)施例的偏振分光器件20可蜂皮配置成與BLU205—起l吏用，該BLU205設(shè)置在膜的具有凹凸圖案的側(cè)，即設(shè)置在結(jié)合圖2在上面描述的構(gòu)造的相對(duì)側(cè)。偏振分光器件20可構(gòu)造成使得當(dāng)光向非透射層2'照射時(shí)，TM波分量3M被透射通過(guò)偏振分光器件20，TE波分量3E被高反射率部分2a，反射，并JL^射光分量3R被引導(dǎo)回到例如BLU的光源。通過(guò)將例如BLU205的光源設(shè)置成面向非透射層2，，偏振分光器件20可以用在LCD器件中，其中，此示范實(shí)施例的偏振分光器件20與第一示范實(shí)施例的偏振分光器件10具有相同的工作效果。此外，可能理想的是，將非透射層2，設(shè)置在內(nèi)側(cè)，如圖8所示。當(dāng)透射基構(gòu)件1設(shè)置在偏振分光器件20的外側(cè)時(shí)，透射基構(gòu)件1可由這樣的材料制成，其具有低雙折射率并且甚至當(dāng)對(duì)其施加變形過(guò)程如拉長(zhǎng)時(shí)也不散射偏振光。因此，可能優(yōu)選的是，透射M件1不重散射由偏振分光器件20的功能所分離的偏振光。當(dāng)使用制造設(shè)備100來(lái)制造偏振分光器件20時(shí)，僅僅通過(guò)將第一示范實(shí)施例的第一沉積子過(guò)程的沉積角度的條件與第二沉積子過(guò)程的沉積角度的M交換，即將上述第一和第二子過(guò)程顛倒，就可以容易地制造偏振分光器件20。例如，沉積罩8的布置可被配置成使得此第二示范實(shí)施例的沉積角度ei、e2、e3和e4分別對(duì)應(yīng)于第一示范實(shí)施例的沉積角度e4、03、02和61?？商孢x地，透射基構(gòu)件1的傳送方向可通過(guò)將冷卻鼓5逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)而顛倒，沉積罩8a和8b的布置可左/右顛倒(參考圖3)等。因?yàn)閮H僅高反射率部分2a，和低反射率部分2b，相對(duì)于透射基構(gòu)件1的位置關(guān)系不同于第一示范實(shí)施例，所以，此第二示范實(shí)施例的非透射層2，可具有與第一示范實(shí)施例的非透射層2相同的工作效果。根據(jù)此第二示范實(shí)施例的制造方法可具有這樣的特征，其中，因?yàn)楫?dāng)形成非透射層2的上部2a，(圖8中的下側(cè))時(shí)的沉積角度小于當(dāng)形成偏振分光器件10時(shí)的沉積角度，所以，在非透射層2的上部2a，不產(chǎn)生柵形傾斜。在結(jié)合圖2和圖8描述的第一和第二示范實(shí)施例中，偏振光膜制造設(shè)備100可通過(guò)支撐基部la的后表面，在與小凹凸圖案的延伸方向垂直的方向上連續(xù)傳送光透射基底1，其中光透射基底1的柵部lb以在所述延伸方向上延伸的所述凹凸圖案形成，并且非透射層2、2，可沉積在凈皮傳送的光透射基底1上。該制造設(shè)備可包括與光透射基底1相對(duì)設(shè)置的至少一個(gè)沉積源9、可設(shè)置在沉積源9和基構(gòu)件1之間的沉積角度確定構(gòu)件、以及沿著基構(gòu)件1的傳送方向的用于沉積源9的兩個(gè)或更多孔8a、8b。使用制造設(shè)備100，可通過(guò)沿著基構(gòu)件1的傳送方向^目對(duì)小值到相對(duì)大值地、或者^(guò)M目對(duì)大值到相對(duì)小值地改變相對(duì)于基構(gòu)件1的法向的沉積角度，來(lái)執(zhí)行沉積過(guò)程。將沉積角度確定構(gòu)件與單個(gè)沉積源9和對(duì)應(yīng)于單個(gè)沉積源9的兩個(gè)孔8a、8b—起使用，可產(chǎn)生以相對(duì)小的沉積角度形成的高反射率沉積部分2a、2a，以及以相對(duì)大的沉積角度形成的低u^射率沉積部分2b、2b，。可通過(guò)按從高反射率到低1^射率的順序或者顛倒的順序?qū)⒏叻瓷渎食练e部分2a、2a，和低^^^射率沉積部分2b、2b，布置在，件1的傳送路徑上，來(lái)執(zhí)行兩個(gè)沉積子過(guò)程，使得當(dāng)基構(gòu)件1在傳送方向上移動(dòng)時(shí)，非透射層2、2，的成分從高^(guò)^射率向低^^射率或者從低反射率向高反射率變化。這樣，偏振分光器件IO、20的相應(yīng)反射率部分2a、2a，和2b、2b，可沿著基構(gòu)件1的傳送方向依次形成。在下文中，將描述根據(jù)第三示范實(shí)施例的偏振分光器件30，其中，使用多種材料來(lái)制造該器件。再次參考圖2,根據(jù)第三示范實(shí)施例的偏振分光器件30可包括高反射率部分2A、低反射率部分2B和中間部分2C，而不是根據(jù)第一示范實(shí)施例的偏振分光器件10的高反射率部分2a、低反射率部分2b和中間部分2c。在以下描述中，為了避免重復(fù)，將僅僅描述器件30及其制造與第一實(shí)施例的器件及其制造顯著不同的那些方面。在第三示范實(shí)施例中，可通過(guò)改變沉積材料的量和/或成分來(lái)實(shí)現(xiàn)非透射層2的反射率的逐漸變化。與第一示范實(shí)施例類(lèi)似，在可見(jiàn)光波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有高及一射率的金屬材料例如鋁或銀可用作高反射率部分2A的沉積材料。具有比高反射率部分2A低的反射率的材料和/或具有光吸收性的材料可用作低反射率部分2B的沉積材料。例如，低反射率部分2B的沉積材料可包括一種或多種具有相對(duì)低反射率的金屬、金屬氧化物、碳等。中間部分2C可由高反射率部分2A和低反射率部分2B的沉積材料的混合物來(lái)實(shí)施。因此，中間部分2C的及^射率可具有介于高反射率部分2A的反射率和>^^射率部分2B的反射率之間的值。通常，當(dāng)沉積不同的材料時(shí)，層之間的粘附力可能是弱的，脆度可能增大，并且制造可能變得困難。但是，根據(jù)第三示范實(shí)施例，在高反射率部分2A和低反射率部分2B之間的中間部分2C中，高反射率部分2A的材料與低反射率部分2B的材料的成分比率可逐漸變化。這樣，可減弱或防止層之間的粘附力的減小。根據(jù)第三示范實(shí)施例的非透射層2"可包括上層2B和下層2A，其可包括具有不同量和/或成分的不同沉積材料；以及上層2B和下層2A之間的中間層2C，其可包括具有不同量和/或成分的不同沉積材料的混合物。在這種情形下，即使上層2B和下層2A由具有不同量和/或成分的不同沉積材料制成，但由于中間層2C可由不同沉積材料的混合物制成并且提供在上層2B和下層2A之間，所以也可以避免不同量/成分的材料的表面之間的顯著不連續(xù)性。因此，非透射層2"的整體性可得以加強(qiáng)，這可減少或消除諸如柵崩塌的缺陷，從而產(chǎn)生高度可靠的偏振分光器件30。在下文中，將參考圖9描述用于制造偏振分光器件30的方法和詔:備110。圖9圖示了用于制造偏振分光器件30的設(shè)備IIO的示范實(shí)施例的示意圖。參考圖9，制造設(shè)備110可用于制造偏振分光器件30并且可包括高反射率材料沉積源15和低o^射率材料沉積源16,而不是用于第一示范實(shí)施例的制造設(shè)備100的單個(gè)沉積源9。設(shè)備110可進(jìn)一步包括沉積罩12和罩板14，而不是用于第一示范實(shí)施例的制造設(shè)備100的沉積罩8。在以下描述中，為了避免重復(fù)，將僅僅描述方法和設(shè)備110與第一示范實(shí)施例的方法和i殳備顯著不同的那些方面。高^(guò)^射率材料沉積源15和低1^射率材料沉積源16可加熱并且噴射相應(yīng)的沉積材料17和18,沉積材料17和18分別用于形成高反射率部分2A和低反射率部分2B。高反射率材料沉積源15和低反射率材料沉積源16可分別位于透射基構(gòu)件l的傳送路徑的上游側(cè)和下游側(cè)、彼此相對(duì)、在冷卻鼓5下方。因此，沉積材料17可向上并向左傾斜地?cái)U(kuò)散，并且可向傳送方向的上游側(cè)輻射狀地散布。沉積材料18可向上并向右傾斜地?cái)U(kuò)散，并且可向傳送方向的下游側(cè)輻射狀地散布。在一實(shí)施中，高反射率材料沉積源15和低反射率材料沉積源16可基本上彼此對(duì)稱(chēng)地設(shè)置。沉積罩12可位于沉積源15及16和冷卻鼓5之間，并且可部分地覆蓋冷卻鼓5。孔12a、12b和12c可以以預(yù)定寬度形成在沉積罩12中，通過(guò)孔12a、12b和12c，沉積材料17和18可被噴射到透射基構(gòu)件1上。孑L12a、12b和12c可以按從傳送方向的上游側(cè)到傳送方向的下游側(cè)的順序設(shè)置?？?2a可位于相對(duì)于沉積材料17的噴射的中軸的傳送方向的上游側(cè)，而孔12c可位于相對(duì)于沉積材料18的噴射的中軸的傳送方向的下游側(cè)。同樣，孑Ll2b可位于相對(duì)于沉積材料17的噴射的中軸的傳送方向的下游側(cè)，以及相對(duì)于沉積材料18的噴射的中軸的傳送方向的上游側(cè)。軍板14可固定地設(shè)置在孔12b的中間以將孔12b分成右和左部分12A和12B，即傳送方向的上游側(cè)的上游孔12A以及傳送方向的下游側(cè)的下游孔12B。如果上游側(cè)的孔12b的一端定義為邊緣Sl，下游側(cè)的孔12b的另一端定義為邊緣S3，且冷卻鼓5側(cè)的罩板14的一端定義為邊緣S2，那么，上游孔12A可由邊緣Sl和S2限定，且下游孔12B可由邊緣S2和邊緣S3限定。還可提供一個(gè)或多個(gè)罩板13來(lái)防止沉積材料17和18擴(kuò)散到孔12a和12c之外。通過(guò)沿透射基構(gòu)件1的傳送方向安置兩個(gè)沉積源15和16并且將沉積角度確定構(gòu)件的孔12b設(shè)置在兩個(gè)相鄰沉積源15、16之間，使得從沉積源15和16噴射的不同沉積材料17和18在孔12b處混合，根據(jù)此示范實(shí)中間沉積子過(guò)程。因此，可容易地由從兩個(gè)相鄰沉積源15和16噴射的沉積材料17和18的混合物來(lái)形成中間部分2C。使用偏振光膜制造設(shè)備IIO的沉積方法可包括第一沉積子過(guò)程、第二沉積子過(guò)程和第三沉積子過(guò)程，其分別在對(duì)應(yīng)于孔12a、12c和12b的位置執(zhí)行。在第一沉積子過(guò)程(其對(duì)應(yīng)于第一示范實(shí)施例的第一沉積子過(guò)程)中，沉積材料17可通過(guò)孔12a擴(kuò)散，并且高反射率部分2A可由高反射率材料形成。在第二沉積子過(guò)程(其對(duì)應(yīng)于第一示范實(shí)施例的第二沉積子過(guò)程)中，沉積材料18可通過(guò)孔12c擴(kuò)散并且可沉積在由第三沉積子過(guò)程(在下面描述)形成的沉積層的最上部上。結(jié)果，低反射率部分2B可由低反射率沉積材料18形成。在第三沉積子過(guò)程中，沉積材料17可通過(guò)上游孔12A擴(kuò)散，同時(shí)，沉積材料18可通過(guò)下游孔18B擴(kuò)散。因此，沉積材料17和沉積材料18的混合物可被沉積以形成可具有漸變結(jié)構(gòu)的中間層2C。此時(shí)，根據(jù)孔12A和12B的相應(yīng)沉積角度和/或?qū)挾龋筛淖兂练e材料的沉積位置和/或沉積材料的量。這樣，通過(guò)調(diào)節(jié)上游側(cè)孔12A和下游側(cè)孔12B的寬度和/或位置，沉積材料17和18的混合比率可沿著傳送方向調(diào)節(jié)。通過(guò)這種調(diào)節(jié)，中間部分2C的成分比率可祐:控制并且可以以例如逐漸的方式變化。可大范圍地調(diào)節(jié)組分變化。然而，可能理想的是，避免對(duì)中間部分2C的強(qiáng)度有影響的材料表面之間的不連續(xù)性。例如，當(dāng)基構(gòu)件l從上游側(cè)向下游側(cè)行進(jìn)時(shí)，中間部分2C的成分比率可變化為使得沉積材料17的組分比率逐漸減小而沉積材料18的組分比率逐漸增大。在一實(shí)施中，如上面結(jié)合第一示范實(shí)施例所述，例如鋁的低<>^射率材料18可呈現(xiàn)根據(jù)沉積角度改變的反射率。這樣，低反射率部分2B可形成為4吏得>^射率以與第一示范實(shí)施例的第二沉積子過(guò)程類(lèi)似的方式逐漸變低。在這種情形下，材料17和18可相同。反射率的逐漸變化可通過(guò)改變材料的量和/或成分來(lái)實(shí)現(xiàn)。當(dāng)使用反射率根據(jù)沉積角度顯著變化的材料時(shí)，可能理想的是，以類(lèi)似于第一示范實(shí)施例的方式調(diào)節(jié)沉積角度范圍。分別由孔12a和下游側(cè)孔12B限定的沉積角度的范圍每個(gè)可等于由第一實(shí)施例的孔8a限定的沉積角度的范圍。類(lèi)似地，分別由孔12c和上游側(cè)孔12A限定的沉積角度的范圍每個(gè)可等于由第一示范實(shí)施例的孔8b限定的沉積角度的范圍(參見(jiàn)圖5和6中指示孔和沉積角度的標(biāo)號(hào))。在另一實(shí)施中，沉積材料18可具有很大程度上與沉積角度無(wú)關(guān)的固有低反射率，使得形成在其整個(gè)厚度內(nèi)具有恒定反射率的低反射率部分2B。在這種情形下，可適當(dāng)調(diào)節(jié)沉積角度。這種固有低反射率材料可包括例如金屬氧化物和/或碳。接著，將結(jié)合圖8描述第四示范實(shí)施例，其中，通過(guò)將非透射層2的形成順序顛倒，形成非透射層2"。參考圖8，偏振光膜40可構(gòu)造成使得如上所述的偏振分光器件30的非透射層2"上/下顛倒。這樣，偏振分光器件40可構(gòu)造成使得根據(jù)第三示范實(shí)施例的偏振分光器件30的非透射層2"的高反射率部分2A、低反射率部分2B和中間部分2C由第四示范實(shí)施例的非透射層2，，，的高反射率部分2A，、低反射率部分2B，和中間部分2C，所代替。即，第四示范實(shí)施例可將第一示范實(shí)施例的部分的順序與第三示范實(shí)施例的變化的材料成分相組合。第四示范實(shí)施例的偏振分光器件40可具有與第二實(shí)施例相同的工作效果，并且可具有提供在相對(duì)于外部的柵部lb后表面的基部la，使得柵部lb面向例如BLU的光源。通過(guò)逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)冷卻鼓5將透射基構(gòu)件1的傳送方向顛倒，或者通過(guò)將高反射率材料沉積源15、低^^射率材料沉積源16、沉積罩12和罩板14的位置左/右顛倒，偏振分光器件40可由圖9所示的制造設(shè)備110來(lái)制造。在下文中，將連同比較1和2，描述根據(jù)上述示范實(shí)施例形成的線柵偏振器的特定實(shí)例1-4。實(shí)例l使用厚度為lOOjim的^t苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜作為透射基構(gòu)件1，并且WGP如上面結(jié)合第一示范實(shí)施例所描述的那樣來(lái)制造。首先，條形柵部lb以150nm的柵節(jié)距P、75nm的寬度W、150nm的高度形成在透射基構(gòu)件1上。柵部lb的這個(gè)形狀對(duì)于以下實(shí)例2到4也是通用的。4吏用鋁作為沉積材料11，其從用于沉積的沉積源9噴射。參考圖5和圖6，沉積角度ei、92、e3和94分別i更置為-60°、-30°、-60°和-90。。在沉積過(guò)程的前階段，首先形成高反射率部分2a，并形成中間部分2c，其成分根據(jù)沉積角度的改變而從高反射率部分2a到低反射率部分2b地逐漸變化。在沉積過(guò)程的后階段，形成低^Jt率部分2b。非透射層2的高度是150mn。結(jié)果，制造了諸如圖2中所示的偏振分光器件10的WGP。當(dāng)該WGP用于LCD電視的LCD器件的較低偏振光膜時(shí)，測(cè)得亮室(300Lx)對(duì)比度為1000:1。實(shí)例2使用厚度為lOOjim的聚碳酸酯(PC)膜作為透射基構(gòu)件1,并且WGP如上面結(jié)合第二示范實(shí)施例所描述的那樣來(lái)制造。柵部lb的柵節(jié)距P、寬度W和高度與實(shí)例1中相同。使用鋁作為沉積材料ll，其從沉積源9噴射。參考圖5和圖6，沉積角度G1、62、03和94分別設(shè)置為卯。、60。、300和600。在沉積過(guò)程的前階段，首先形成低>^射率部分2b，，并隨后形成中間部分2c，，其成分根據(jù)沉積角度的改變而從^L^射率部分2b，到高反射率部分2a，地逐漸變化。在沉積過(guò)程的后階段，形成高反射率部分2a，。非透射層2，的高度是150nm。結(jié)果，制造了諸如圖8中所示的偏振分光器件20的WGP。當(dāng)這個(gè)上/下顛倒的WGP用于LCD電視的LCD器件的較低偏振光膜時(shí)，測(cè)得亮室(300Lx)對(duì)比度為IOOO'.I。實(shí)例34吏用厚度為100nm的PET膜作為透射基構(gòu)件1，并且WGP如上面結(jié)合第三示范實(shí)施例所描述的那樣來(lái)制造。柵部lb的柵節(jié)距P、寬度W和高度與實(shí)例l中相同。使用鋁作為從高反射率材料沉積源15噴射的沉積材料17，并且使用碳作為從^o^射率材料沉積源16噴射的沉積材料18。沉積角度ei、92、03和e4分別設(shè)置為-60。、-30。、60°和卯°。在沉積過(guò)程的前階段，首先形成由鋁制成的高反射率部分2A，并隨后形成中間部分2C，其中，鋁和碳混合，并且混合物的成分比率從高反射率部分2A到低反射率部分2B地逐漸變化。在沉積過(guò)程的后階段，形成由碳制成的低反射率部分2B。非透射層2"的高度是150nm。結(jié)果，制造了諸如圖2中所示的偏振分光器件30的WGP。當(dāng)該WGP用于LCD電視的LCD器件的較低偏振光膜時(shí)，測(cè)得亮室(300Lx)對(duì)比度為1000:1。實(shí)例4使用厚度為lOOjim的PC膜作為透射基構(gòu)件1，并且WGP由根據(jù)本發(fā)明笫二實(shí)施例的示范性修改的偏振分光器件制造方法來(lái)制造。柵部lb的柵節(jié)距P、寬度W和高度與實(shí)例1中相同。在圖9所示的制造設(shè)備中，高反射率材料沉積源15和低反射率材料沉積源16的位置被交換，使得在低反射率材料18從低>^射率沉積源16沉積之后，高反射率材料17從高反射率沉積源15沉積。沉積角度91、92、03和04分別設(shè)置為-60。、-30。、60。和卯。。使用鋁作為從高反射率材料沉積源15噴射的沉積材料，并且使用碳作為從低反射率沉積源16噴射的沉積材料。在沉積過(guò)程的前階段，首先形成由碳制成的低反射率部分2B，，并隨后形成中間部分2c，，其中，鋁和碳混合，并且成分比率從^^射率部分2B，到高反射率部分2A，地逐漸變化。在沉積過(guò)程的后階段，形成由鋁制成的高反射率部分2A，。非透射層2，"的高^(guò)Al50mn。結(jié)果，制造了諸如圖8中所示的偏振分光器件40的WGP。當(dāng)該上/下顛倒的WGP用于LCD電視的LCD器件的較低偏振光膜時(shí)，測(cè)得亮室(300Lx)對(duì)比度為1000:1。比較l參考圖10a,使用厚度為100nm的PET膜50作為光透射基底，并且圖10a中所示的WGP根據(jù)以下過(guò)程來(lái)制造。1.將每個(gè)具有l(wèi)OOnm厚度的鋁和碳沉積并且重疊在PET膜50的表面上。2.將抗蝕劑涂覆在沉積層上，并且通過(guò)光刻和蝕刻形成抗蝕劑中的線和間隔。3.使用抗蝕劑作為^^莫來(lái)蝕刻鋁層和碳層。4.剝落殘留在沉積層上的抗蝕劑。通過(guò)以上過(guò)程制造的WGP具有150nm的柵節(jié)距P和75nm的柵寬度W。柵的總高度是200nm，鋁層51的厚度是100nm,碳層52的厚度是IOO腿。當(dāng)該WGP用于LCD電視的LCD器件的較低偏振光膜時(shí)，測(cè)得亮室(300Lx)對(duì)比度為1000:1。比較2參考圖10b，使用厚度為lOOjim的PET膜50作為光透射基底，并且圖10b中所示的WGP根據(jù)以下過(guò)程來(lái)制造1.將具有150nm厚度的鋁層沉積在PET膜50的表面上。2.將抗蝕劑涂覆在沉積的鋁層上，并且通過(guò)光刻和蝕刻形成抗蝕劑中的線和間隔。3.使用抗蝕劑作為掩才莫來(lái)蝕刻鋁層。4.剝落殘留在沉積層上的抗蝕劑。通過(guò)以上過(guò)程制造的WGP的鋁層53的柵具有150nm的柵節(jié)距P、75nm的柵寬度W和150nm的柵高度。當(dāng)該WGP用于LCD電視的LCD器件的較低偏振光膜時(shí)，測(cè)得亮室(300Lx)對(duì)比度為500:1。下面的表2中總結(jié)了上面的實(shí)例1到4以及比較1和2的評(píng)估結(jié)果。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage26</column></row><table>當(dāng)與比較l相比較時(shí)，實(shí)例1到4的WGP可更容易地制造，同時(shí)呈現(xiàn)與比較l相同的對(duì)比性能。而且，可將沉積層的高度保持為低，并且可通過(guò)在高反射率部分和低反射率部分之間形成中間漸變部分，來(lái)將柵的強(qiáng)度保持為普通。而且，當(dāng)與比較2相比較時(shí)，實(shí)例1到4的WGP可更容易地制造，同時(shí)呈現(xiàn)較高的對(duì)比度。這樣，根據(jù)本發(fā)明諸實(shí)施例的偏振分光器件可用作具有高對(duì)比效果和性能的^^射型偏振分光元件。如上所述，偏振分光器件、包括該器件的顯示器、制造該器件的方法以及制造該器件的設(shè)備可提供一種這樣的器件，其中，通過(guò)改變沉積材料的成分和/或結(jié)構(gòu)在柵部上形成沉積層，使得光入射側(cè)的反射率相對(duì)于入射光為高并且反射率在入射光的透射方向上變得相對(duì)低。因此，偏振分光器件可呈現(xiàn)高的對(duì)比效果并且沉積層的強(qiáng)度可得以增強(qiáng)，同時(shí)即^^制造大尺寸偏振分光器件也提高制造效率和可靠性。這里，已公開(kāi)了本發(fā)明的示范性實(shí)施例，盡管采用了特定術(shù)語(yǔ)，但它們僅在一般的和描述的意義上使用和闡述，而并非目的在于限制。例如，在實(shí)施例描述第一構(gòu)件相對(duì)于第二構(gòu)件移動(dòng)的情況下，應(yīng)該理解這種運(yùn)動(dòng)是相對(duì)的，并且第二構(gòu)件可相對(duì)于第一構(gòu)件移動(dòng)，或者兩個(gè)構(gòu)件都可移動(dòng)。在上述示范實(shí)施例中，解釋了可對(duì)應(yīng)于單個(gè)沉積源形成兩個(gè)孔并且可由單個(gè)沉積源執(zhí)行沉積子過(guò)程的兩個(gè)階段。沉積角度可由沉積角度確定構(gòu)件來(lái)改變并且沉積層可具有逐漸變化的^^射率。但是，應(yīng)該理解，對(duì)應(yīng)于單個(gè)沉積源的孔的數(shù)目并不限于兩個(gè)。例如，根據(jù)所需的>^射率量值，一個(gè)孔可與一個(gè)沉積源配對(duì)，可^供多對(duì)孔和沉積源等。如上所述的偏振光膜制造設(shè)備可通過(guò)支撐柵部的后表面，在第二方向上連續(xù)傳送光透射基底，其中該光透射基底的柵部具有在與第二方向垂直的第一方向上延伸的小凹凸圖案，并且沉積層可沉積在被傳送的光透射基底上。該制造設(shè)備可包括至少一個(gè)沉積源，其可與光透射基底相對(duì)設(shè)置；以及沉積角度確定構(gòu)件，其可設(shè)置在沉積源和基構(gòu)件之間，且其可具有沿著基構(gòu)件傳送方向的用于每個(gè)沉積源的一個(gè)或多個(gè)孔。使用該制造設(shè)備，可通過(guò)沿著基構(gòu)件的傳送方向^目對(duì)小值到相對(duì)大值地、或者^(guò)目對(duì)大值到相對(duì)小值地改變相對(duì)于基構(gòu)件的法向的沉積角度，來(lái)執(zhí)4亍沉積過(guò)程。因此，可形成反射率根據(jù)沉積角度的改變而逐漸變化的沉積層。沉積角度的最佳范圍可根據(jù)如上所述的及Jt率和柵形狀之間的關(guān)系來(lái)確定。而且，在以上描述中，解釋了偏振分光器件制造設(shè)備可包括一個(gè)或兩個(gè)沉積源。但是，應(yīng)該理解，該制iti殳備可具有三個(gè)或更多個(gè)沉積源，其可用于制造反射率在多層內(nèi)逐漸變化的偏振分光器件。而且，在以上描述中，解釋了例如使用罩板，中央孔可分成上游側(cè)孔和下游側(cè)孔12B，使得第一和第二沉積材料可通過(guò)中央孔以期望比率混合，但是，應(yīng)該理解，該制造設(shè)備的結(jié)構(gòu)可修改成使得罩板被省略并且中央孔7>共地用于高反射材料沉積源和低反射材料沉積源兩者。而且，在以上描述中，解釋了透射基構(gòu)件1可沿著冷卻鼓5的外表面被傳送。但是，應(yīng)該理解，傳送路徑并不限于圓周形狀。傳送路徑可以以非圓形曲線形狀、直線形狀、虛線形狀等來(lái)形成，并且沉積罩和沉積源可安置在傳送路徑上。而且，在以上描述中，解釋了沉積材料噴射范圍內(nèi)的沉積角度可根據(jù)透射基構(gòu)件的移動(dòng)而變化。但是，應(yīng)該理解，沉積角度可通it^目對(duì)于透射基構(gòu)件移動(dòng)沉積罩或沉積源、或者通過(guò)改變沉積材料的噴射方向等來(lái)改變。因此，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，在不背離下面的權(quán)利要求所闡述的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可進(jìn)行形式和細(xì)節(jié)的各種變化，包括將上述示范實(shí)施例的各個(gè)方面相結(jié)合。權(quán)利要求1.一種偏振分光器件，包括透射基構(gòu)件，其具有基部和所述基部上的脊的圖案；以及所述脊上的非透射層，其中，所述非透射層包括光反射部分，以及光吸收部分。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件，其中，所述光>^射部分和所述光吸收部分每個(gè)具有相同的材料成分。3.根據(jù)權(quán)利要求l所述的器件，其中所述光反射部分具有第一材料成分，并且所述光吸收部分具有不同于所述第一材料成分的第二材料成分。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的器件，其中，所述第一材料成分包括金屬，并且所述第二材料成分包括金屬氧化物和/或碳。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件，其中，所述非透射層進(jìn)一步包括在所述光反射部分和所述光吸收部分之間的中間部分，所述中間部分的反射率小于所述光反射部分的反射率且大于所述光吸收部分的反射率。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的器件，其中，所述光^^射部分、所述中間部分和所述光吸收部分每個(gè)具有相同的材料成分。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的器件，其中所述光反射部分具有第一材料成分，并且所述光吸收部分具有不同于所述第一材料成分的第二材料成分。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的器件，其中，所述中間部分具有是所述第一和第二材料成分的混合物的材料成分。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件，其中，所述光^^射部分在所述透射基構(gòu)件和所述光吸收部分之間。10.根據(jù)權(quán)利要求l所述的器件，其中，所述光吸收部分在所述透射基構(gòu)件和所述光反射部分之間。11.一種用于制造偏振分光器件的方法，包括提供在基部上具有脊的圖案的透射基構(gòu)件；并且在所述脊上形成非透射層，其中，所述非透射層包括光反射部分，以及光吸收部分。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，形成所述非透射層包括通過(guò)根據(jù)所述非透射層高度改變沉積角度來(lái)沉積所述非透射層。13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述光反射部分和所述光吸收部分每個(gè)具有相同的材料成分。14.祁4t權(quán)利要求13所述的方法，其中，形成所述非透射層包括從相對(duì)于所述基部的至少兩個(gè)不同的角度施加所述材料成分，所述至少兩個(gè)角度中的第一角度對(duì)應(yīng)于所述光反射部分，并且所述至少兩個(gè)角度中的第二角度對(duì)應(yīng)于所述光吸收部分。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中形成所述非透射層包括從至少兩個(gè)不同的角度范圍施加所述材料成分，所述至少兩個(gè)范圍中的第一范圍對(duì)應(yīng)于所述光反射部分，并且所述至少兩個(gè)范圍中的第二范圍對(duì)應(yīng)于所述光吸收部分。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中形成所述光反射部分的沉積子過(guò)程中的沉積角度(9H)具有02s|0H|￡ei(92<01)的范圍，所述沉積角度(9H)為相對(duì)于沉積表面的法向的角度，形成所述光吸收部分的沉積子過(guò)程中的沉積角度(0L)具有03￡I9LI(93<04)的范圍，所述沉積角度(0L)為相對(duì)于沉積表面的法向的角度，并且91、92、93和e4滿(mǎn)足下面的條件<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>且<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>。17.根據(jù)權(quán)利要求ll所述的方法，其中所述光反射部分具有第一材料成分，并且所述光吸收部分具有不同于所述第一材料成分的第二材料成分。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，所述非透射層進(jìn)一步包括在所述光反射部分和所述光吸收部分之間的中間部分，所述中間部分的反射率小于所述光反射部分的反射率且大于所述光吸收部分的反射率。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中形成所述光反射部分包括沉積第一材料，形成所述光吸收部分包括沉積第二材料，并且形成所述中間部分包括沉積所述第一和第二材料的混合物。20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，所述方法包括同時(shí)M目對(duì)于所述透射基構(gòu)件的相應(yīng)的第一和第二位置，將所述第一材料和所述第二材料沉積在所^射基構(gòu)件上，并且從所述第一和第二位置之間的第三位置，將所述第一和第二材料的混合物沉積在所述透射基構(gòu)件上。21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，進(jìn)一步包括在所述第一和第二位置之間提供至少一個(gè)孔，所述至少一個(gè)孔被配置成調(diào)節(jié)所述第一和第二材料中的至少一個(gè)的沉積。22.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述方法包括將所述透射基構(gòu)件沿近似垂直于所述脊的延伸方向的第一方向跨過(guò)第一孔，并且通過(guò)所述第一孔將材料沉積在所述脊上以形成所述光反射部分；并且將所述透射基構(gòu)件沿所述第一方向跨過(guò)第二孔，并且通過(guò)所述第二孔將材料沉積在所述光反射部分上以形成所述光吸收部分。23.根據(jù)權(quán)利要求ll所述的方法，其中，所述方法包括將所述透射基構(gòu)件沿近似垂直于所述脊的延伸方向的第一方向跨過(guò)第一孔，并且通過(guò)所述第一孔將材料沉積在所述脊上以形成所述光吸收部分；并且將所述透射基構(gòu)件沿所述第一方向跨過(guò)第二孔，并且通過(guò)所述第二孔將材料沉積在所述光吸收部分上以形成所述光反射部分。24.—種顯示器件，包括液晶板；背光單元；以及偏振分光器件，其中，所述偏振分光器件包括具有基部和所述基部上的脊的圖案的透射基構(gòu)件，以及所述脊上的非透射層，其中，所述非透射層包括光>^射部分，以及光吸收部分。25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的顯示器器件，其中所述背光單元與所述脊相對(duì)設(shè)置，使得所M部在所述背光單元和所述脊之間，并且所述光>^射部分在所述脊和所述光吸收部分之間。26.根據(jù)權(quán)利要求24所述的顯示器器件，其中所迷背光單元與所述基部相對(duì)設(shè)置，使得所述脊在所述背光單元和所述基部之間，并且所述光吸收部分在所述脊和所述光^^射部分之間。全文摘要一種偏振分光器件，包括具有基部和所述基部上的脊的圖案的透射基構(gòu)件以及所述脊上的非透射層，其中，所述非透射層包括光反射部分和光吸收部分。文檔編號(hào)G02F1/13GK101334497SQ20071012752公開(kāi)日2008年12月31日申請(qǐng)日期2007年6月28日優(yōu)先權(quán)日2007年6月28日發(fā)明者佐藤敦,永田佳秀,渡邊一十六,金志優(yōu)申請(qǐng)人:第一毛織株式會(huì)社