專利名稱：空氣上浮組件及空氣上浮組件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于非接觸地傳送基板等的空氣上浮組件，特別涉及具有降低壓縮空氣的漏出的結(jié)構(gòu)并且可以降低加工、組裝的成本的空氣上浮組件以及空氣上浮組件的制造方法。
背景技術(shù)：
在液晶基板傳送系統(tǒng)等中，使用有用于非接觸地傳送玻璃基板等的空氣上浮組件。
圖3為用于說明空氣上浮組件的圖。圖3所示的空氣上浮組件具有，空氣上浮組件基體21、向空氣上浮組件供給壓縮的空氣的空氣供給口22、成為分配空氣的流路的中空部24、限制空氣流量的節(jié)流部26、使被節(jié)流部26節(jié)流的空氣向被上浮物體41和組件之間流動的噴出部25。
另外，圖4是表示現(xiàn)有的空氣上浮組件的剖面結(jié)構(gòu)的圖。另外，圖4(A)所示的剖面結(jié)構(gòu)，表示從圖4(B)中點劃線所示的X-Y方向切斷的剖面結(jié)構(gòu)。如圖4(A)所示，在現(xiàn)有的空氣上浮組件中，在箱型的器具31上，使用了將空氣向上方噴出的板狀的上蓋32的蓋的結(jié)構(gòu)。
但是，在這樣現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)中存在著這樣的問題。
第一，將壓縮空氣注入到箱型的器具31中時，在與上蓋32和箱型的器具31的開口部接觸的面C容易流出空氣。
第二，為了將空氣過渡到各噴出部25，箱型的器具31需要為中空結(jié)構(gòu)，由于箱型的器具31為利用塊狀材料切削成的結(jié)構(gòu)，加工成本高。
第三，為了不使從箱型的器具31和上蓋32的接觸面漏出空氣，需要利用很多螺栓使箱型的器具31和上蓋32緊密接觸而進行固定，因此組裝工時數(shù)的成本高。
所以，希望提供一種空氣上浮組件，其具有可以容易地降低壓縮空氣的漏出的結(jié)構(gòu)，并且，并且加工、組裝箱型的器具31的中空結(jié)構(gòu)的成本低。
另外，存在著現(xiàn)有技術(shù)的空氣上浮裝置以及空氣上浮式傳送裝置(參照專利文獻1)。在該現(xiàn)有技術(shù)中，利用支持用板材作為載置被上浮物的壁面部件，并且，在該板材的內(nèi)表面上，配置由多孔材料構(gòu)成的空氣分散部件。即，即使支持被上浮物的部件和噴出空氣的部件另外設(shè)置，并且，被上浮物如玻璃板等地需要具有比較大面積的平面精度，也可以充分地支持。另外，通過多孔材料構(gòu)成的空氣分散部件，可以使空氣在支持面整體上均勻并且持續(xù)少量地噴出，因此，例如即使在無塵室內(nèi)上浮玻璃板時，也不會像目前一樣，卷起灰塵，并且也不會從偏離玻璃板的空氣噴出孔漏出空氣導致上浮力不足。
但是，本發(fā)明的目的在于解決從空氣上浮組件的中空部(空氣流路部)漏出空氣的問題，并且實現(xiàn)加工成本的降低，本發(fā)明的目的和結(jié)構(gòu)與所述現(xiàn)有技術(shù)不同。
專利文獻1特開2004-345744號公報。
如上所述，在現(xiàn)有的空氣上浮組件的結(jié)構(gòu)中，從箱型的器具的開口部和蓋的接觸面容易漏出空氣，另外，由于箱型的器具為由塊狀部件切削的結(jié)構(gòu)，因此加工成本高。另外，為了不使從箱型的器具和蓋的接觸面漏出空氣，需要很多的螺栓進行固定而保持緊密接觸，因此存在著組裝工時數(shù)的成本高的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而作出的，其目的在于，提供一種空氣上浮組件以及空氣上浮組件的制造方法，其具有可以降低壓縮空氣的漏出的結(jié)構(gòu)，并且，可以降低加工、組裝的成本。
本發(fā)明是為了解決上述問題而作出的，本發(fā)明的空氣上浮組件為通過壓縮空氣的噴出而使被上浮物體上浮的空氣上浮組件，其形成為箱狀并具有，將具有作為空氣流路的中空部的板狀的擠壓型材在與擠壓出方向垂直的方向上切斷并切成希望的長度而得到的中空板材；安裝在該中空板材的兩斷面上并堵住所述中空部的空氣漏出防止蓋，并且，在所述中空板材上加工成形有空氣噴出部和空氣供給口。
在這樣結(jié)構(gòu)的空氣上浮組件中，將具有中空部的鋁等的板狀的擠壓型材切斷為希望的長度，形成中空板材。進而，形成利用空氣漏出蓋堵住中空板材的切斷面的箱狀的結(jié)構(gòu)。然后，在中空板材的表面加工成形噴出部和空氣供給口。
由此，可以將擠壓型材的中空部作為空氣流路而利用。因此，無需通過切削加工進行中空部的形成，降低了材料費及工時數(shù)。另外，堵住中空板材的切斷面的空氣漏出防止蓋也可以減小，減少空氣漏出并削減了固定蓋的螺栓數(shù)。
另外，本發(fā)明的空氣上浮組件，所述擠壓型材的材料為鋁。
通過這樣的結(jié)構(gòu)，由于用鋁作為擠壓型材的材料，因此，容易加工，進而可以制作出輕量、堅固并且耐腐蝕性高的空氣上浮組件。
另外，本發(fā)明的空氣上浮組件，所述擠壓型材的材料為樹脂。
通過這樣的結(jié)構(gòu)，利用樹脂作為擠壓型材的材料，因此，容易加工，進而可以制作出輕量的空氣上浮組件。
另外，本發(fā)明的空氣上浮組件的制造方法，其為通過壓縮后的空氣的噴出上浮被上浮物體的空氣上浮組件的制作方法，其具有如下工序，將具有作為空氣流路的中空部的板狀的擠壓型材在與擠壓出方向垂直的方向上切斷并切成希望的長度的中空板材的第一工序；在所述中空板材上加工成形空氣噴出部及空氣供給口的第二工序；在所述中空板材的兩斷面上安裝空氣漏出防止蓋的第三工序。
通過該方法，將具有中空部的鋁等的板狀的擠壓型材切斷為希望的長度，形成中空板材。形成利用空氣漏出蓋堵住中空板材的切斷面的箱狀的結(jié)構(gòu)。進而，在中空板材的表面加工成形噴出部和空氣供給口。
由此，可以將擠壓型材的中空部作為空氣流路而利用。因此，無需通過切削加工進行中空部的形成，削減了材料費或工時數(shù)。另外，堵住中空板材的切斷面的空氣漏出防止蓋也可以減小，可以減少空氣漏出并削減固定蓋的螺栓數(shù)。
另外，本發(fā)明的空氣上浮組件的制造方法，所述擠壓型材為鋁。
通過該方法，由于將鋁作為擠壓型材的材料，因此，容易加工，進而可以制作出輕量、堅固并且耐腐蝕性高的空氣上浮組件。
另外，本發(fā)明的空氣上浮組件的制作方法，所述擠壓型材為樹脂。
通過該方法，由于將樹脂作為擠壓型材的材料，因此，容易加工，進而可以制作出輕量的空氣上浮組件。
通過擠壓加工形成現(xiàn)有技術(shù)中通過切削加工形成的中空部(空氣流路)，由此，可以削減加工時數(shù)、加工時間。另外，可以減小堵住中空部的蓋，減少空氣漏出并削減固定蓋的螺栓數(shù)，可以降低組裝工時數(shù)。


圖1(A)～(C)是用于說明本發(fā)明的空氣上浮組件的制造方法的圖；圖2(A)～(B)是表示本發(fā)明的空氣上浮組件的剖面結(jié)構(gòu)的圖；圖3是用于說明空氣上浮組件的圖；圖4(A)～(B)是表示現(xiàn)有的空氣上浮組件的剖面結(jié)構(gòu)的圖。
符號說明1，空氣上浮組件；2，中空部；3、4，空氣漏出防止蓋；5、25，噴出部；6、22，空氣供給口；11，鋁擠壓型材；12，中空板材；21，空氣上浮組件基體；24，中空部；26，節(jié)流部；31，箱型的器具；32，上蓋；41，被上浮物體。
具體實施例方式
下面參照

實施本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。
圖1是用于說明本發(fā)明的空氣上浮組件的制造方法的圖。以下，參照附圖，說明本發(fā)明的空氣上浮組件的制造方法。
首先，如圖1(A)所示，準備鋁擠壓成型機成型的鋁擠壓型材11。該鋁擠壓型材11為具有中空部2的形狀，為在箭頭X方向擠壓成型的板狀的鋁材料。將該鋁擠壓型材11切斷為希望的尺寸L，制作出如圖1(B)的作為空氣上浮組件的母材的中空板材12。
如圖1(C)所示，在中空板材12的面上進行噴出部5的孔加工，并且，在背面進行用于設(shè)置空氣供給口(未圖示)的加工，另外，在希望的部分進行研磨等的表面處理。
在加工結(jié)束后，通過螺栓固定等的方法安裝用于防止從中空部2的空氣漏出的空氣漏出防止蓋3、4，由此，完成空氣上浮組件。
另外，圖2為表示本發(fā)明的空氣上浮組件的剖面結(jié)構(gòu)的圖。另外，圖2(A)表示的剖面結(jié)構(gòu)，表示在圖2(B)的點劃線所示的X-Y方向切斷的剖面結(jié)構(gòu)。
如圖2(A)所示，在中空板材12上，通過螺栓7安裝堵住中空部2的空氣漏出防止蓋3、4。另外，通過孔加工在中空板材12的表面設(shè)置多個噴出部5，另外，在中空板材12的背面設(shè)置空氣供給口6。
在上述結(jié)構(gòu)中，從空氣供給口6向中空部2供給壓縮后的空氣，該空氣將中空部2作為流路從噴出部5噴出向外部。
這樣，在本發(fā)明的空氣上浮組件1中，利用鋁的擠壓加工材料成形中空板材12，將該中空板材12的中空部2作為空氣流路利用。由此，無需切削加工形成中空部2，可以削減材料費及工時數(shù)。另外，可以減小堵住中空部2的空氣漏出防止蓋3、4，可以減少空氣漏出并削減固定蓋的螺栓數(shù)。
另外，在圖1以及圖2所示的例子中，對通過鋁擠壓加工形成中空板材12的例子進行了說明。但也可以通過鋁以外的材料(例如，樹脂等)形成中空板材。另外，除鋁擠壓加工以外，可以通過鑄造形成中空板材。
以上，說明了本發(fā)明的實施方式，但本發(fā)明的空氣上浮組件不限于上述圖示例，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)可以增加各種變更。
在本發(fā)明中，通過擠壓加工形成了現(xiàn)有技術(shù)中利用切削加工形成的中空部(空氣流路)，起到了降低空氣漏出并減少加工數(shù)、加工時間的效果。本發(fā)明，在空氣上浮組件以及空氣上浮組件的制造方法等上是有用的。
權(quán)利要求
1.一種空氣上浮組件，其通過噴出的壓縮空氣上浮被上浮物體，其特征在于，形成為箱狀并具有將具有作為空氣流路的中空部的板狀的擠壓型材在與擠壓出方向垂直的方向上切斷并切成希望的長度而得到的中空板材；安裝在所述中空板材的兩斷面上并堵住所述中空部的空氣漏出防止蓋，在所述中空板材上加工形成有空氣噴出部和空氣供給口。
2.如權(quán)利要求1所述的空氣上浮組件，其特征在于，所述擠壓型材的材料為鋁。
3.如權(quán)利要求1所述的空氣上浮組件，其特征在于，所述擠壓型材的材料為樹脂。
4.一種空氣上浮組件的制造方法，其通過噴出的壓縮空氣上浮被上浮物體，其特征在于，具有以下工序?qū)⒕哂凶鳛榭諝饬髀返闹锌詹康陌鍫畹臄D壓型材在與擠壓出方向垂直的方向上切斷并切出希望的長度的中空板材的第一工序；在所述中空板材上加工成形空氣噴出部及空氣供給口的第二工序；在所述中空板材的兩斷面上安裝空氣漏出防止蓋的第三工序。
5.如權(quán)利要求4所述的空氣上浮組件的制造方法，其特征在于，所述擠壓型材的材料為鋁。
6.如權(quán)利要求4所述的空氣上浮組件的制造方法，其特征在于，所述擠壓型材的材料為樹脂。
全文摘要
一種空氣上浮組件及空氣上浮組件的制造方法，具有降低壓縮空氣的漏出的結(jié)構(gòu)，并可以減少加工、組裝的成本，將具有中空部的鋁等的擠壓型材(11)在與擠壓出方向(X)垂直的方向上切斷為希望的長度(L)，形成中空板材(12)。具有利用空氣漏出蓋(3、4)堵住中空板材(12)的切斷面的箱狀的結(jié)構(gòu)。進而，在中空板材的表面加工成形噴出部(5)和空氣供給口。
文檔編號G02F1/1333GK101028894SQ200710005368
公開日2007年9月5日 申請日期2007年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月2日
發(fā)明者鈴木健介 申請人:神鋼電機株式會社