專利名稱：：濾色片的制造方法、濾色片、液晶顯示元件、液晶顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及濾色片的制造方法、濾色片、液晶元件、液晶顯示裝置，尤其涉及在基板上具有呈彼此不同顏色的兩種以上的像素組、構(gòu)成該像素組的各像素彼此由深色的隔離壁隔離、利用噴墨等向隔離壁內(nèi)賦予液滴從而形成的濾色片的制造方法、濾色片、具備該濾色片的液晶顯示元件、具備該液晶顯示元件的液晶顯示裝置。
背景技術(shù)：
：顯示裝置用濾色片是在玻璃等基板上分別將紅色、綠色、藍(lán)色的點狀像素配置成矩陣狀，并用黑矩陣等深色隔離壁劃分其邊界的結(jié)構(gòu)。作為這樣的濾色片的制造方法，以往已知有如下方法(轉(zhuǎn)印方式)使用玻璃等基板作為支撐體，利用1)染色法，2)印刷法，3)通過反復(fù)進(jìn)行已著色的感光性樹脂液的涂敷和曝光以及顯影的著色感光性樹脂液法(著色抗蝕劑法)，4)依次將在臨時支撐體上形成的圖像轉(zhuǎn)印到最終或臨時的支撐體上的方法，5)通過在臨時支撐體上涂敷預(yù)先著色的感光性樹脂液來形成著色層，依次直接在基板上轉(zhuǎn)印該感光性著色層、曝光、顯影，反復(fù)進(jìn)行顏色數(shù)的次數(shù)的方法等，從而形成多色圖像的方法(轉(zhuǎn)印方式)。另外，還已知使用噴墨法形成各像素的方法。這些方法中，盡管著色抗蝕劑法可以位置精密度較高地制作濾色片，但在感光層樹脂液的涂敷中損失較多，經(jīng)濟(jì)上不利。另一方面，盡管使用噴墨法形成各像素的方法的樹脂液的損失較少，經(jīng)濟(jì)上有利，但存在像素的位置精密度差的問題。為了克服這些問題，還提出了通過利用著色抗蝕劑法形成黑矩陣從而形成隔離壁，用噴墨法制作RGB像素的濾色片制造法。但是，如果利用該隔離壁形成法，則隔離壁的表面變粗，出現(xiàn)微細(xì)的凹凸。所以，存在在濾色片上形成的透明電極(ITO)的表面電阻增加的問題。為了防止該問題，有在濾色片上設(shè)置保護(hù)層，賦予平坦性的方法，但存在由于形成多余的層而成本提高的問題。另外，還已知通過用干蝕刻處理隔離壁表面，調(diào)整表面粗糙度(參照特開2001—343518號公報)。在該方法中，需要復(fù)雜的干蝕刻處理，從而處理工序增加，因而不僅消耗制造成本而且難以將隔離壁的表面粗糙度調(diào)整為規(guī)定的粗糙度。專利文獻(xiàn)l:特開2001—343518號公報
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明正是鑒于上述狀況而提出的。即，本發(fā)明提供一種可以以較少的工序穩(wěn)定地調(diào)整隔離壁的表面粗糙度，結(jié)果可以使在濾色片上形成的透明電極(ITO)的表面電阻降低的濾色片的制造方法，用該方法得到的隔離壁的表面粗糙度較少的濾色片，具備該濾色片的液晶顯示元件，具備該液晶顯示元件的液晶顯示裝置。本發(fā)明的第一方式是一種濾色片的制造方法，其是在基板上具有呈彼此不同顏色的兩種以上的像素組，構(gòu)成該像素組的各像素彼此由深色的隔離壁隔離的濾色片的制造方法，其特征在于，該方法包括形成隔離壁的工序、向隔離壁間賦予由著色液體組合物構(gòu)成的液滴從而在隔離壁間形成各像素的工序，在此，形成隔離壁的工序包括在基板上層疊感光性轉(zhuǎn)印材料的工序，和在臨時支撐體上殘留該感光性轉(zhuǎn)印材料的狀態(tài)下對該感光性轉(zhuǎn)印材料進(jìn)行曝光的工序。本發(fā)明的第二方式是一種濾色片的制造方法，其是在基板上具有呈彼此不同顏色的兩種以上的像素組，構(gòu)成該像素組的各像素彼此由深色的隔離壁隔離的濾色片的制造方法，其特征在于，該方法包括形成隔離壁的工序、向隔離壁間賦予由著色液體組合物構(gòu)成的液滴從而在隔離壁間形成各像素的工序，在此，形成隔離壁的工序包括在基板上形成由感光性組合物構(gòu)成的層的工序，和在其上具有阻氧膜層的狀態(tài)下對由感光性組合物構(gòu)成的層進(jìn)行曝光的工序。本發(fā)明的第三方式是一種濾色片的制造方法，其是在基板上具有呈彼此不同顏色的兩種以上的像素組，構(gòu)成該像素組的各像素彼此由深色的隔離壁隔離的濾色片的制造方法，其特征在于，該方法包括形成隔離壁的工序、向隔離壁間賦予由著色液體組合物構(gòu)成的液滴從而在隔離壁間形成各像素的工序，在此，形成隔離壁的工序包括在基板上形成由深色光聚合性組合物構(gòu)成的層的工序，和在貧氧氣氛下對由深色光聚合性組合物構(gòu)成的層進(jìn)行曝光的工序。另外，作為本發(fā)明的另一個方式，提供一種用所述第一方式的濾色片的制造方法制造，隔離壁的表面粗糙度Ra值為6nm以下。進(jìn)而，作為本發(fā)明的另一個方式，提供一種具備所述的任意一種方式的濾色片的液晶顯示元件。進(jìn)而，作為本發(fā)明的另一個方式，提供一種具備所述液晶顯示元件的液晶顯示裝置。利用本發(fā)明的第一方式的濾色片的制造方法，可以不需要復(fù)雜的干蝕刻處理，以在基板上層疊感光性轉(zhuǎn)印材料、在臨時支撐體上殘留該感光性轉(zhuǎn)印材料的狀態(tài)下進(jìn)行曝光這樣簡便的工序，穩(wěn)定地改良隔離壁的表面的微細(xì)凹凸。利用本發(fā)明的第二方式的濾色片的制造方法，可以在基板上的由感光性組合物構(gòu)成的層之上具有阻氧膜層的狀態(tài)下對其進(jìn)行曝光這樣簡便的工序，穩(wěn)定地改良隔離壁的表面的微細(xì)凹凸。利用本發(fā)明的第三方式的濾色片的制造方法，可以在貧氧氣氛下對基板上的由光聚合性組合物構(gòu)成的層進(jìn)行曝光這樣簡便的工序，穩(wěn)定地改良隔離壁的表面的微細(xì)凹凸。因而，利用本發(fā)明，可以較少工序數(shù)且低成本地得到降低ITO的表面電阻的濾色片。具體實施例方式本發(fā)明的濾色片的制造方法，其是在基板上具有呈彼此不同顏色的兩種以上的像素組，構(gòu)成該像素組的各像素彼此由深色的隔離壁隔離的濾色片的制造方法，該方法包括形成隔離壁的工序、向隔離壁間賦予由著色液體組合物構(gòu)成的液滴從而在隔離壁間形成各像素的工序。那么，在某實施方式中，形成隔離壁的工序包括在基板上層疊感光性轉(zhuǎn)印材料的工序，和在臨時支撐體上殘留該感光性轉(zhuǎn)印材料的狀態(tài)下對該感光性轉(zhuǎn)印材料進(jìn)行曝光的工序(以下也稱為"第一實施方式")。另外，在另一個實施方式中，形成隔離壁的工序包括在基板上形成由感光性組合物構(gòu)成的層的工序，和在其上具有阻氧膜層的狀態(tài)下對由感光性組合物構(gòu)成的層進(jìn)行曝光的工序(以下也稱為"第二實施方式")。另外，在另一個實施方式中，形成隔離壁的工序包括在基板上形成由深色光聚合性組合物構(gòu)成的層的工序，和在貧氧氣氛下對由深色光聚合性組合物構(gòu)成的層進(jìn)行曝光的工序(以下也稱為"第三實施方式")。(深色組合物)在第一實施方式的濾色片的制造方法中，基板上的隔離壁(也稱為"深色隔離壁"。)是從使用含有著色劑的感光性組合物(也稱為"深色感光性組合物"或"深色組合物"。)制作的感光性轉(zhuǎn)印材料形成的。另外，在第二實施方式的濾色片的制造方法中，是由含有著色劑的感光性組合物(也稱為"深色感光性組合物"或"深色組合物"。)形成的。在第三實施方式的濾色片的制造方法中，是由含有著色劑的光聚合性組合物(也稱為"深色光聚合性組合物"或"深色組合物"。)形成的。在此，深色組合物是指具有高光學(xué)濃度的組合物，其值優(yōu)選為2.5以上，更優(yōu)選為2.510.0，進(jìn)而優(yōu)選為2.56.0，特別優(yōu)選為3.05.0。另外，該深色組合物如后所述優(yōu)選用光引發(fā)系使其固化，所以在第一實施方式及第二實施方式中，優(yōu)選為光聚合性組合物，在第三實施方式中，為光聚合性組合物。深色組合物相對曝光波長(通常為紫外區(qū)域)的光學(xué)濃度優(yōu)選為2.010.0，更優(yōu)選為2.56.0，最優(yōu)選為3.05.0。如果不到2.0，則可能不會成為理想的隔離壁形狀，如果超過IO.O，則有時不能引發(fā)聚合而難以制作隔離壁本身。(著色劑)作為本發(fā)明中使用的著色劑，具體而言，可以舉出在下述染料、顏料中記載的帶顏色索引(colorindex)(C丄)編號的著色劑。本發(fā)明的深色組合物可以優(yōu)選使用有機(jī)顏料、無機(jī)顏料、染料等，在深色組合物層需要具有遮光性時，除了被稱為炭黑、氧化鈦、四氧化鐵等金屬氧化物粉、金屬硫化物粉、金屬粉的遮光劑以外，還可以使用紅、藍(lán)、綠色等顏料的混合物等?？梢允褂霉闹珓?染料、顏料)。在該公知的著色劑中使用顏料時，可以在深色組合物中均一地分散，所以優(yōu)選。從縮短顯影時間的觀點出發(fā)，所述深色組合物的固體成分中的著色劑的比率優(yōu)選為3070質(zhì)量％，更優(yōu)選為4060質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選為5055質(zhì)量％。作為上述公知的染料或顏料，具體而言，可以優(yōu)選使用特開2005—17716號公報中記載的色材或特開2005—361447號公報中記載的顏料、特開2005-17521號公報中記載的著色劑。在本發(fā)明中，在所述著色劑中，優(yōu)選黑色著色劑。作為黑色著色劑，如果進(jìn)一步例示，可以舉出炭黑、鈦碳、氧化鐵、氧化鈦、石墨等，其中，優(yōu)選炭黑。所述顏料優(yōu)選作為分散液使用。該分散液可以通過將預(yù)先混合所述顏料和顏料分散劑得到的組合物添加并分散到后述的有機(jī)溶劑(或載色劑(vehicle))來配制。所述載色劑是指涂料處于液體狀態(tài)時使顏料分散的介質(zhì)部分，包括為液態(tài)并與所述顏料結(jié)合來加固涂膜的部分(粘合劑)和將其溶解稀釋的成分(有機(jī)溶劑)。作為分散上述顏料時使用的分散機(jī)，沒有特別限制，例如可以舉出朝倉邦造著，"顏料的事典"，第一版，朝倉書店，2000年，438頁中記載的捏合機(jī)(kneader)、輥磨機(jī)(rollmill)、磨碎機(jī)(attritor)、超微磨機(jī)(supermill)、高速分散器(dissolver)、均質(zhì)混合器(homomixer)、砂磨機(jī)(sandmill)等公知的分散機(jī)。進(jìn)而也可以通過該文獻(xiàn)310頁記載的機(jī)械磨碎，利用摩擦力微粉碎顏料。從實現(xiàn)分散穩(wěn)定性的觀點來看，本發(fā)明中使用的著色劑(顏料)優(yōu)選數(shù)均粒徑為0.0010.1nm，更優(yōu)選為0.010.08pm。另夕卜，如果顏料數(shù)均粒徑超過0.1jim，則產(chǎn)生顏料引起的偏振光的消除，對比度降低，不優(yōu)選。另外，在此所說的"粒徑"是指顆粒的電子顯微鏡照片圖像成為相同面積的圓時的直徑，另外，"數(shù)均粒徑"是指對很多顆粒求上述粒徑，其100個的平均值。本發(fā)明中的深色組合物除了上述著色劑以外，優(yōu)選至少含有粘合劑*樹脂*聚合物、聚合引發(fā)劑、單體而成。另外，根據(jù)需要，還可以進(jìn)而含有公知的添加劑，例如增塑劑、填充劑、穩(wěn)定化劑、抗聚合劑、表面活性劑、溶劑、粘附促進(jìn)劑等。進(jìn)而，深色組合物優(yōu)選至少在15(TC以下的溫度下軟化或變得具有粘合性，優(yōu)選為熱塑性。從該觀點出發(fā)，可以通過添加互溶性的增塑劑來改性。(粘合劑樹脂聚合物)作為深色組合物中使用的粘合劑，優(yōu)選在側(cè)鏈具有羧酸基或羧酸鹽基等極性基的聚合物。作為其例子，可以舉出特開昭59—44615號公報、特公昭54—34327號公報、特公昭58—12577號公報、特公昭54—25957號公報、特開昭59—53836號公報及特開昭59—71048號公報中記載的之類的甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、馬來酸共聚物、部分酯化馬來酸共聚物等。另外，也可以舉出側(cè)鏈具有羧酸基的纖維素衍生物。此外，也可以優(yōu)選使用向具有羥基的聚合物附加環(huán)狀酸酐的物質(zhì)。作為特別優(yōu)選的例子，可以舉出美國專利第4139391號說明書中記載的(甲基)丙烯酸芐基酯與(甲基)丙烯酸的共聚物或(甲基)丙烯酸芐基酯與(甲基)丙烯酸與其他單體的多元共聚物。這些具有極性基的粘合劑聚合物可以單獨使用或以與通常的膜形成性聚合物并用的組合物的狀態(tài)使用。(引發(fā)劑)作為使深色組合物固化的方法，通常為使用熱引發(fā)劑的熱引發(fā)系或使用光引發(fā)劑的光引發(fā)系，但在本發(fā)明中，優(yōu)選使用光引發(fā)系。在此使用的光聚合引發(fā)劑是可以利用可見光線、紫外線、遠(yuǎn)紫外線、電子射線、X射線等放射線的照射(也稱為曝光)來產(chǎn)生引發(fā)后述的多官能性單體的聚合的活性種的化合物，可以從公知的光聚合引發(fā)劑或光聚合引發(fā)劑系中適當(dāng)選擇。例如可以舉出含三鹵代甲基化合物、吖啶系化合物、乙酰苯系化合物、雙咪唑(匕、'7一S夕'乂一》)系化合物、三嗪系化合物、苯偶姻系化合物、二苯甲酮系化合物、a—二酮系化合物、多環(huán)醌系化合物、氧雜蒽酮系化合物、重氮系化合物等。具體而言，可以舉出特開2001—117230公報中記載的三卣甲基已取代的三鹵代甲基噁唑衍生物或s—三嗪衍生物、美國專利第4239850號說明書中記載的三鹵代甲基一s—三嗪化合物、美國專利第421297號說明書中記載的三鹵代甲基噁二唑化合物等含三鹵代甲基化合物；9一苯基吖啶、9一吡啶基吖啶、9一吡嗪基吖啶、1，2—雙(9一吖啶基)乙烷、1，3—雙(9一吖啶基)丙垸、1，4一雙(9一吖啶基)丁烷、1，5—雙(9一吖啶基)戊烷、1，6—雙(9一吖啶基)己烷、1，7—雙(9一吖啶基)庚烷、1，8—雙(9一吖啶基)辛烷、1，9—雙(9一吖啶基)壬烷、1，IO—雙(9一吖啶基)癸垸、1,11—雙(9—吖啶基)十一烷、1，12—雙(9一吖啶基)十二烷等雙(9一吖啶基)鏈狀烷烴等吖啶系化合物；6—(對甲氧基苯基)一2，4一雙(三氯甲基)一s—三嗪、6—[對一(N，N—雙(乙氧羰基甲基)氨基)苯基]—2，4—雙(三氯甲基)一s一三嗪等三嗪系化合物；此外，還可以舉出9，IO—二甲基苯并吩嗪(benzphenazine)、米蚩酮、苯甲酮/米蚩酮、六芳基雙咪唑/巰基苯并咪唑、芐基二甲基酮縮醇、噻噸酮/胺、2，2'—雙(2，4一二氯苯基)一4，4，，5，5'—四苯基一1，2'—雙咪唑等。上述中，優(yōu)選從含三鹵代甲基化合物、吖啶系化合物、乙酰苯系化合物、雙咪唑系化合物、三嗪系化合物中選擇的至少一種，特別優(yōu)選含有從含三鹵代甲基化合物及吖啶系化合物中選擇的至少一種。從通用性且低廉的點出發(fā)，含三鹵代甲基化合物、吖啶系化合物也是有用的。作為特別優(yōu)選的引發(fā)劑，作為含三鹵代甲基化合物，可以舉出2—三氯甲基一5—(對苯乙烯基苯乙烯基)一l，3，4—噁二唑，作為吖啶系化合物，可以舉出9一苯基吖啶，進(jìn)而還可以舉出6—[對一(N，N—雙(乙氧羰基甲基)氨基)苯基]一2，4一雙(三氯甲基)一s—三嗪、2—(對丁氧基苯乙烯基)一5—三氯甲基一1，3，4一噁二唑等含三鹵代甲基化合物以及米蚩酮、2，2，一雙(2，4一二氯苯基)一4，4，，5，5'—四苯基一1，2'—雙咪唑、2'—雙咪唑、2，2'—雙(鄰氯苯基)一4，4，，5，5，一四苯基一l，2，一雙咪唑、2，2'—雙(鄰甲氧基苯基)一4，4，，5，5'—四苯基一l，2'—雙咪唑等六芳基雙咪唑。相對粘合劑聚合物以及光聚合性單體的總計量，六芳基雙咪唑化合物優(yōu)選根據(jù)需要以0.525質(zhì)量％、更優(yōu)選以115質(zhì)量％使用。所述光聚合引發(fā)劑可以單獨使用或并用兩種以上。作為所述光聚合引發(fā)劑在深色組合物中的總量，優(yōu)選為深色組合物的全部固體成分(質(zhì)量)的0.120質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0.510質(zhì)量％。如果所述總量不到0.1質(zhì)量°/。，則深色組合物的光固化的效率較低，曝光有時需要長時間，如果超過20質(zhì)量％，則在顯影時，有時容易發(fā)生形成的圖像圖案脫落或在圖案表面產(chǎn)生皺紋。所述光聚合引發(fā)劑也可以并用氫給與體而構(gòu)成。作為該氫供給體，從可以使靈敏度更好的點出發(fā)，優(yōu)選以下定義的硫醇系化合物、胺系化合物等。在此的"氫供給體"是指相對利用曝光從所述光聚合引發(fā)劑產(chǎn)生的自由基，可以供給氫原子的化合物。所述硫醇系化合物是以苯環(huán)或雜環(huán)作為母核，具有1個以上、優(yōu)選l3個、進(jìn)而優(yōu)選12個與該母核直接結(jié)合的巰基的化合物(以下稱為"硫醇系氫供給體")。另外，所述胺化合物是以苯環(huán)或雜環(huán)作為母核，具有1個以上、優(yōu)選13個、進(jìn)而優(yōu)選12個與該母核直接結(jié)合的氨基的化合物(以下稱為"胺系氫供給體")。另外，這些氫供給體也可以同時具有巰基和氨基。作為所述硫醇系氫供給體的具體例，可以舉出2—巰基苯并噻唑、2一巰基苯并噁唑、2—巰基苯并咪唑、2，5—二巰基一1，3，4一噻二唑、2—巰基一2，5—二甲胺基吡啶等。其中，優(yōu)選2—巰基苯并噻唑、2—巰基苯并噁唑，特別優(yōu)選2—巰基苯并噻唑。作為上述胺系氫供給體的具體例，可以舉出4，4'一雙(二甲胺基)二苯甲酮、4，4'一雙(二乙胺基)二苯甲酮、4，4，一二乙胺基乙酰苯、4一二甲胺基苯丙酮、乙基一4一二甲胺基苯甲酸酯、二甲胺基苯甲酸、4一二甲胺基氰苯等。其中，優(yōu)選4，4'一雙(二甲胺基)二苯甲酮、4，4'一雙(二乙胺基)二苯甲酮，特別優(yōu)選4，4'一雙(二乙胺基)二苯甲酮。所述氫供給體可以單獨或混合兩種以上使用，從形成的圖像在顯影時難以從永久支撐體上脫落而且也可以提高強(qiáng)度以及靈敏度的點出發(fā)，優(yōu)選組合使用一種以上硫醇系氫供給體與一種以上胺系氫供給體。作為所述硫醇系氫供給體與胺系氫供給體的組合的具體例，可以舉出2—巰基苯并噻唑/4，4'一雙(二甲胺基)二苯甲酮、2—巰基苯并噻唑/4，4，一雙(二乙胺基)二苯甲酮、2—巰基苯并噁唑/4，4，一雙(二甲胺基)二苯甲酮、2—巰基苯并噁唑/4，4'一雙(二乙胺基)二苯甲酮等。更優(yōu)選的組合為2—巰基苯并噻唑/4，4'一雙(二乙胺基)二苯甲酮、2—巰基苯并噁唑/4,4'一雙(二乙胺基)二苯甲酮，特別優(yōu)選的組合為2—巰基苯并噻唑/4，4'一雙(二乙胺基)二苯甲酮。在組合所述硫醇系氫供給體和胺系氫供給體的情況下，硫醇系氫供給體(M)與胺系氫供給體(A)的質(zhì)量比(M:A)通常優(yōu)選為1:11:4，更優(yōu)選為l:11:3。作為所述氫供給體在深色組合物中的總量，優(yōu)選為深色組合物的全部固體成分(質(zhì)量)的0.120質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0.510質(zhì)量％。在第三實施方式中，相對粘合劑聚合物以及光聚合性單體的總計量，氫供給體優(yōu)選根據(jù)需要以0.525質(zhì)量％、更優(yōu)選115質(zhì)量Q^使用。(單體)作為深色組合物中使用的多官能性單體，可以單獨或與其他單體組合使用下述化合物。具體而言，可以舉出(甲基)丙烯酸叔丁酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2—羥丙基酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、2—乙基一2—丁基一丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、聚氧乙基化三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(2—(甲基)丙烯酰氧基乙基)三聚異氰酸酯、1，4一二異丙烯基苯、1，4一二羥基苯二(甲基)丙烯酸酯、癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯、二烯丙基富馬酸酯、偏苯三酸三烯丙基酯、(甲基)丙烯酸月桂基酯、(甲基)丙烯酰胺、亞二甲苯基雙(甲基)丙烯酰胺等。另外，還可以使用(甲基)丙烯酸2—羥乙基酯、(甲基)丙烯酸2一羥丙基酯、聚乙二醇一(甲基)丙烯酸酯等具有羥基的化合物與六亞甲基二異氰酸酯、甲苯二異氰酸酯、二甲苯二異氰酸酯等二異氰酸酯的反應(yīng)物。其中，特別優(yōu)選季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、三(2—丙烯酰氧基乙基)三聚異氰酸酯。作為多官能性單體在深色組合物中的含量，相對深色組合物的全部固體成分(質(zhì)量)，優(yōu)選為580質(zhì)量％，特別優(yōu)選為1070質(zhì)量％。如果所述含量不到5質(zhì)量％，則深色組合物在曝光部對堿顯影液的耐性可能會變差，如果超過80質(zhì)量％，則作為深色組合物時的膠粘性可能會增加，操作性差。(溶劑)在本發(fā)明的深色組合物中，除了上述成分以外，也可以進(jìn)一步使用有機(jī)溶劑。作為有機(jī)溶劑的例子，可以舉出甲基乙基甲酮、丙二醇一甲醚、丙二醇一甲醚乙酸酯、環(huán)己酮、環(huán)己醇、甲基異丁基甲酮、乳酸乙酯、乳酸甲酯、己內(nèi)酰胺等。(表面活性劑)在本發(fā)明中的隔離壁或本發(fā)明中的感光性轉(zhuǎn)印材料中，通過使用后述的縫隙狀噴嘴等而可以在基板或臨時支撐體等上涂敷深色組合物，但也可以通過在該深色組合物中含有適當(dāng)?shù)谋砻婊钚詣┒刂瞥删坏哪ず?，可以有效地防止涂敷不均。作為上述表面活性劑，可以?yōu)選舉出特開2003—337424號公報、特開平11一133600號公報中公開的表面活性劑。另外，表面活性劑相對深色組合物的全部固體成分的含量通常為0.0011%，優(yōu)選為0.010.5%，特別優(yōu)選為0.030.3%。(紫外線吸收劑)在本發(fā)明的深色組合物中也可以根據(jù)需要含有紫外線吸收劑。作為紫外線吸收劑，除了特開平5—72724號公報中記載的化合物以外，還可以舉出水楊酸酯系、苯甲酮系、苯并三唑系、氰基丙烯酸酯系、鎳螯合物系、位阻胺系等。具體而言，可以舉出苯基水楊酸酯、水楊酸4一叔丁基苯基酯、2，4一二叔丁基苯基一3'，5'—二一叔一4'一羥基安息香酸酯、水楊酸4一叔丁基苯基酯、2，4一二羥基二苯甲酮、2—羥基一4一甲氧基苯甲酮、2—羥基一4一正辛氧基苯甲酮、2—(2'—羥基一5，一甲基苯基)苯并三唑、2—(2，一羥基一3，一叔丁基一5，一甲基苯基)一5—氯苯并三唑、乙基一2一氰基一3，3—二苯基丙烯酸酯、2，2'—羥基一4一甲氧基苯甲酮、鎳二丁基二硫代氨基甲酸鹽、雙(2，2，6，6—四甲基一4一吡啶)一癸二酸酯、4一叔丁基苯基水楊酸酯、水楊酸苯基酯、4一羥基一2，2，6，6—四甲基哌嗪縮合物、琥珀酸一雙(2，2，6，6—四甲基一4一哌啶烯基)一酯、2—[2—羥基一3，5—雙(a，a—二甲基芐基)苯基]一2H—苯并三唑、7—{[4一氯一6—(二乙胺基)一5—三嗪一2—?；鵠氨基}一3—苯基香豆素等。此外，相對深色組合物的全部固體成分，紫外線吸收劑的含有量通常為0.515質(zhì)量％，優(yōu)選為112質(zhì)量％，特別優(yōu)選為1.210質(zhì)量％。(熱聚合防止劑，其他)另外，優(yōu)選在本發(fā)明的深色組合物中含有熱聚合防止劑。作為該熱聚合防止劑的例子，可以舉出氫醌、氫醌一甲醚、對甲氧基苯酚、二一叔丁基一對甲酚、鄰苯三酚、叔丁基兒茶酚、苯醌、4，4'一硫代雙(3—甲基一6—叔丁基苯酚)、2，2'—亞甲基雙(4—甲基一6—叔丁基苯酚)、2—巰基苯并咪唑、吩噻嗪等。此外，相對深色組合物的全部固體成分，熱聚合防止劑的含有量通常為0.011質(zhì)量％，優(yōu)選為0.020.7質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0.050.5質(zhì)量%。另外，在本發(fā)明的深色組合物中，除了上述添加劑以外，還可以含有特開平11一133600號公報中記載的"膠粘助劑"或其他添加劑等。(基板)作為構(gòu)成濾色片的基板(永久支撐體)，可以使用金屬性支撐體、金屬粘接支撐體、玻璃、陶瓷、合成樹脂薄膜等?？梢蕴貏e優(yōu)選舉出為透明性且寸法穩(wěn)定性良好的玻璃或合成樹脂薄膜。(隔離壁)在本發(fā)明的第一實施方式的濾色片的制造方法中，如上所述，其特征在于，在形成隔離壁的工序中，在所述基板上層疊后述的感光性轉(zhuǎn)印材料從而轉(zhuǎn)印由深色感光性組合物構(gòu)成的深色感光性樹脂層，然后在臨時支撐體上殘留該感光性轉(zhuǎn)印材料的狀態(tài)下，對感光性轉(zhuǎn)印材料進(jìn)行曝光。艮P，形成該隔離壁的工序包括在基板上轉(zhuǎn)印在臨時支撐體上至少具有由感光性組合物構(gòu)成的層的后述的感光性轉(zhuǎn)印材料的工序。在本發(fā)明的第一實施方式中，對555mn下的隔離壁的光學(xué)濃度沒有特別限定，從提高顯示裝置的對比度的觀點出發(fā)，優(yōu)選2.5以上10以下，更優(yōu)選3.0以上10以下，特別優(yōu)選4.0以上10以下。通過使其在所述2.5以上10以下的范圍，可以得到良好的對比度，所以優(yōu)選。在本發(fā)明的第一實施方式中，由于經(jīng)由臨時支撐體對深色組合物構(gòu)成的深色感光性樹脂層進(jìn)行曝光，所以難以受到氧的影響，可以減小深色隔離壁的表面粗糙度。本發(fā)明中的深色隔離壁的表面粗糙度Ra優(yōu)選較小，但沒有特別限定。其中，從像素間的混色的觀點出發(fā)，深色隔離壁的表面粗糙度Ra值優(yōu)選為6nm以下，更優(yōu)選為5.0nm以下，進(jìn)而優(yōu)選為4.0nm以下，特別優(yōu)選為3.6nm以下。通過使深色隔離壁的表面粗糙度Ra在6nm以下，可以容易阻止沿著深色隔離壁的表面向相鄰的像素移動的著色液體組合物的移動，結(jié)果，可以防止相鄰的像素間的著色液體組合物的移動引起的混色，所以優(yōu)選。所述深色隔離壁的表面粗糙度Ra使用以JISB601測定的值。在本發(fā)明的第一實施方式中，對所述深色隔離壁的高度h(所述深色隔離壁的最高點H與從H向基板垂下的垂線的下部G之間的距離)沒有特別限定，但從防止混色的觀點出發(fā)，優(yōu)選1.8pm以上10^im以下，更優(yōu)選1.9pm以上10pm以下，進(jìn)而優(yōu)選2.0)im以上7nm以下，特別優(yōu)選2.2(im以上5.0pm以下。通過使其在1.8pm以上10nm以下，可以更有效地防止混色。如果高度不到1.8pm，則容易發(fā)生混色，如果超過10pm，則存在難以形成深色隔離壁的趨勢。在本發(fā)明的第二實施方式的濾色片的制造方法中，為了形成隔離壁而在基板上由感光性組合物構(gòu)成的層上設(shè)置阻氧膜層的方法，優(yōu)選(1)在基板上轉(zhuǎn)印在臨時支撐體上至少具有感光性組合物構(gòu)成的層和阻氧膜層的感光性轉(zhuǎn)印材料的方法；或者(2)在基板上涂敷含有感光性組合物的涂敷液從而形成感光性組合物涂敷膜，在其上涂敷阻氧膜的方法。以下，在第二實施方式的濾色片的制造方法中，也可以將(1)方法簡稱為轉(zhuǎn)印方法，將(2)方法簡稱為涂敷方法。在第二實施方式的濾色片的制造方法中所述的阻氧膜層是指具有500cm3/(m2dayatm)以下的氧透過率的層，氧透過率優(yōu)選為100cm3/(m2dayatm)以下，更優(yōu)選為50cm3/(m2dayatm)以下。在第二實施方式中，在阻氧膜層的氧透過率多于500cm3/(m2*day*atm)的情況下，不能有效地阻斷氧，所以難以使隔離壁成為所述需要的形狀。具體而言，第二實施方式中的阻氧層優(yōu)選為以聚乙烯、聚偏二氯乙烯、聚乙烯醇等為主要成分的層，其中，優(yōu)選以聚乙烯醇為主要成分。作為聚乙烯醇，優(yōu)選皂化度為80%以上的聚乙烯醇。作為本發(fā)明的阻氧膜層中的所述聚乙烯醇的含量，優(yōu)選為25質(zhì)量％99質(zhì)量％，更優(yōu)選為50質(zhì)量％90質(zhì)量％，特別優(yōu)選為50質(zhì)量％80質(zhì)量％。另外，根據(jù)需要也可以添加聚乙烯吡咯烷酮、.聚丙烯酰胺等聚合物，但其中優(yōu)選聚乙烯吡咯垸酮。這些聚合物的添加量為整體的140質(zhì)量％，更優(yōu)選1035質(zhì)量％。如果聚乙烯吡咯烷酮的添加量過多，則阻氧性有時變得不充分。在第二實施方式中，由于經(jīng)由阻氧膜層對深色感光性樹脂組合物層進(jìn)行曝光，所以難以受到氧的影響，可以減小深色隔離壁的表面粗糙度。深色隔離壁的表面粗糙度Ra值可以為5.0nm以下，優(yōu)選為4.0nm以下，更優(yōu)選為3.6nm以下。通過使深色隔離壁的表面粗糙度Ra值在5nm以下，可以容易阻止沿著深色隔離壁的表面向相鄰的像素移動的著色液體組合物的移動，結(jié)果，可以防止相鄰的像素間的著色液體組合物的移動引起的混色，所以優(yōu)選。在本發(fā)明的第二實施方式中，所述深色隔離壁的高度h(所述深色隔離壁的最高點H與從H向基板垂下的垂線的下部G之間的距離)優(yōu)選1.8pm以上，更優(yōu)選1.9pm以上10pm以下，更優(yōu)選2.0pm以上7pm以下，特別優(yōu)選2.2(im以上5.0pm以下。通過使其在1.8pm以上10|am以下，可以更有效地防止混色。如果高度不到1.8pm,則容易發(fā)生混色，如果超過10pm，則存在難以形成深色隔離壁的趨勢。在本發(fā)明的第三實施方式的濾色片的制造方法中，貧氧氣氛下是指氧的分壓在0.15氣壓以下的氣氛下，它們具體如下所述。通常大氣(1氣壓)下氧的分壓為0.21氣壓，所以為了將氧的分壓降低至0.15氣壓以下，可以通過(a)減壓曝光時的大氣而成為0.71氣壓以下或者通過(b)相對空氣混合40vol^以上空氣與氧以外的氣體(例如氮或氬等惰性氣體)來實現(xiàn)。對于第三實施方式中的貧氧氣氛，沒有特別限定，可以使用上述任意方法。因而，可以使用惰性氣體氣氛下或者減壓下的任意一種。在使用使所述氧分壓成為0.15氣壓以下的情況下，優(yōu)選為0.10氣壓以下，更優(yōu)選為0.08氣壓以下，特別優(yōu)選為0.05氣壓以下。如果氧分壓高于0.15氣壓，則在隔離壁表面發(fā)生的聚合被氧妨礙，有時會增加表面的粗糙度。對氧分壓的下限沒有特別限制。可以通過為真空或用空氣以外的氣體(例如氮)置換氣氛而使氧分壓實際上成為1，這也是一種優(yōu)選的方法。氧分壓可以使用氧氣分析器測定。所述惰性氣體是指N2、H2、C02等通常的氣體或He、Ne、Ar等稀有氣體。其中，從安全性或獲得容易程度、成本的問題出發(fā)，優(yōu)選利用N2。所述減壓下是指500hPa以下、優(yōu)選100hPa以下的狀態(tài)。在第三實施方式的濾色片的制造方法中，由于在貧氧氣氛下曝光深色組合物層，所以難以受到氧的影響，可以減小深色隔離壁的表面粗糙度。深色隔離壁的表面粗糙度Ra值可以為5nm以下，優(yōu)選為4.0nm以下，更優(yōu)選為3.6nm以下。如果使深色隔離壁的表面粗糙度Ra值在5nm以下，可以容易阻止沿著深色隔離壁的表面向相鄰的像素移動的著色液體組合物的移動，可以防止相鄰的像素間的著色液體組合物的移動引起的混色，所以優(yōu)選。在本發(fā)明的第三實施方式中，所述深色隔離壁的高度h(所述深色隔離壁的最高點H與從H向基板垂下的垂線的下部G之間的距離)優(yōu)選1.8pm以上，更優(yōu)選L9(im以上10|im以下，更優(yōu)選2.0pm以上7.(Vm以下，特別優(yōu)選2.2ium以上5.0jam以下。通過使其在1.8pm以上10pm以下，可以更有效地防止混色。如果高度不到1.8pm,則容易發(fā)生混色，如果超過l(Hrni，則存在難以形成深色隔離壁的趨勢。(第一實施方式中的深色隔離壁的形成)一使用感光性轉(zhuǎn)印材料的深色隔離壁的形成一準(zhǔn)備在臨時支撐體上設(shè)置由深色組合物構(gòu)成的深色感光性樹脂層、進(jìn)而在該層上設(shè)置保護(hù)薄膜的感光性轉(zhuǎn)印材料。根據(jù)需要，在所述深色感光性樹脂層與臨時支撐體之間形成阻氧膜層。首先，剝離除去保護(hù)薄膜，然后在永久支撐體(基板)上貼合露出的深色感光性樹脂層的表面，利用層壓機(jī)等進(jìn)行加熱、加壓進(jìn)而層疊(層疊體)。層壓機(jī)可以使用從以往公知的層壓機(jī)、真空層壓機(jī)等中適當(dāng)?shù)剡x擇的層壓機(jī)，為了進(jìn)一步提高生產(chǎn)率，也可以使用自動切斷壓膜機(jī)(autocutlaminator)。接著，殘留臨時支撐體(不剝離)，以在臨時支撐體的上方使需要的掩模(例如石英曝光掩模)垂直立起的狀態(tài)，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定曝光掩模面與該支撐體之間的距離(例如200pm)，進(jìn)行曝光。作為該曝光，例如用具有超高壓汞燈的近接式曝光機(jī)(例如日立高科技電子工程株式會社制)等，作為曝光量，可以適當(dāng)?shù)剡x擇(例如300mJ/cm2)。接著，除去臨時支撐體，使用規(guī)定的顯影液進(jìn)行顯影處理，得到形成圖案的圖像，接著，根據(jù)需要進(jìn)行水洗處理，得到深色隔離壁。在進(jìn)行所述顯影之前，優(yōu)選利用噴淋噴嘴等噴霧純水，使該深色感光性樹脂層的表面均一地濕潤。作為所述顯影處理中使用的顯影液，可以使用堿性物質(zhì)的稀水溶液，但也可以進(jìn)一步少量添加與水具有混合性的有機(jī)溶劑。作為光照射中使用的光源，可以舉出中壓超高壓汞燈、氙氣燈、金屬鹵化物燈等。作為所述顯影方法中的堿性物質(zhì)，可以舉出堿金屬氫氧化物類(例如氫氧化鈉、氫氧化鉀)、堿金屬碳酸鹽類(例如碳酸鈉、碳酸鉀)、堿金屬碳酸氫鹽類(例如碳酸氫鈉、碳酸氫鉀)、堿金屬硅酸鹽類(例如硅酸鈉、硅酸鉀)、堿金屬正硅酸鹽類(例如正硅酸鈉、正硅酸鉀)、三乙醇胺、二乙醇胺、一乙醇胺、嗎啉、氫氧化四垸基胺類(例如氫氧化四甲基胺)、磷酸三鈉等。堿性物質(zhì)的濃度優(yōu)選為0.0130質(zhì)量％，pH優(yōu)選為814。作為所述"與水具有混合性的有機(jī)溶劑"，例如可以優(yōu)選舉出甲醇、乙醇、2—丙醇、l一丙醇、丁醇、雙丙酮醇、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、乙二醇一正丁基醚、芐醇、丙酮、甲基乙基甲酮、環(huán)己酮、e—己內(nèi)酯、Y一丁內(nèi)酯、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、六甲基磷酰胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、s—己內(nèi)酰胺、N—甲基吡咯烷酮等。與水具有混合性的有機(jī)溶劑的濃度優(yōu)選為0.130質(zhì)量％。進(jìn)而也可以添加公知的表面活性劑，作為該表面活性劑的濃度，優(yōu)選0.0110質(zhì)量。X。所述顯影液可以用作浴液或者用作噴霧液。除去感光性樹脂層的未固化部分的情況下，可以組合在顯影液中用旋轉(zhuǎn)刷或濕潤海綿擦拭等方法。顯影液的液溫度優(yōu)選從通常的室溫左右到4(TC。顯影時間由深色感光性樹脂層的組成、顯影液的堿性或溫度、添加有機(jī)溶劑時其種類和濃度等決定，但通常為10秒2分鐘左右。如果過短，非曝光部的顯影可能變得不充分，同時紫外線的消光度也可能變得不充分，如果過長，則曝光部有時也被蝕刻。在這兩種情況下，都難以使隔離壁形狀成為優(yōu)選形狀。利用該顯影工序，隔離壁形狀被如上所述地形成。另外，顯影液的pH優(yōu)選為813。在顯影槽中設(shè)置輥式輸送機(jī)等，基板水平移動。為了防止受到所述輥式輸送機(jī)的損傷，優(yōu)選在基板的上面形成感光性樹脂?；宄叽绯^l米時，如果水平地輸送基板，則顯影液滯留在基板中央附近，基板中央與周邊部分的顯影差成為問題。為了避免此情況，優(yōu)選使基板斜向傾斜。傾斜角度優(yōu)選為5°30°。另外，如果在顯影前噴霧純水，使感光性樹脂層濕潤，則成為均一的顯影結(jié)果，所以優(yōu)選。另外，顯影后，如果在向基板輕輕地吹空氣(air)從而大致地除去多余的液體的基礎(chǔ)上，實施噴淋水洗，則成為更均一的顯影結(jié)果。另外，在水洗之前，如果利用超高壓清洗噴嘴，以310MPa的壓力，噴射超純水來除去殘余物，則可以得到?jīng)]有殘余物的高質(zhì)量的像。如果在基板上附著水滴時輸送到后工序，則可能會污染工序或在基板上殘留污點，所以優(yōu)選用氣刀除去水分，來除去多余的水或水滴。(第二實施方式以及第三實施方式中的深色隔離壁的形成)在第二實施方式以及第三實施方式中，深色隔離壁的形成可以使用利用涂敷下述深色組合物的方法或者使用感光性轉(zhuǎn)印體的方法的任意一種。一利用涂敷深色組合物的深色隔離壁的形成一首先，清洗基板，然后熱處理該基板，使其表面狀態(tài)穩(wěn)定化。在溫調(diào)該基板之后，涂敷所述深色組合物(深色感光性組合物或深色光聚合性組合物)。接著，干燥溶劑的一部分，使涂敷層的流動性消失之后，進(jìn)行預(yù)烘焙，得到深色樹脂層(深色感光性樹脂層或深色光聚合性樹脂層)。此時，也可以利用EBR(EdgeBeadRemover(光電產(chǎn)業(yè)用光阻洗邊液))等除去基板周圍的不需要的涂敷液。作為所述涂敷，沒有特別限定，可以使用公知的具有縫隙狀噴嘴的玻璃基板用涂敷機(jī)(例如工7工一工77-7公司制，商品名MH一1600)或具有縫隙狀噴嘴的玻璃基板用涂敷機(jī)(平田機(jī)工株式會社制)等?？梢允褂霉母稍镅b置(例如VCD(真空干燥裝置；東京應(yīng)化工業(yè)公司制)等)進(jìn)行所述干燥。作為預(yù)烘焙，沒有特別限定，例如可以通過在12(TC下3分鐘來實現(xiàn)。所述得到的深色樹脂層的膜厚如上所述。此外，在第二實施方式的濾色片的制造方法中，在此，同樣地進(jìn)行，從而在深色感光性樹脂層上形成阻氧層。接著，在使基板和具有圖像圖案的掩模(例如石英曝光掩模)垂直立起的狀態(tài)下，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定曝光掩模面與該深色樹脂層之間的距離(例如200pm)，進(jìn)行曝光。作為該曝光，例如用具有超高壓汞燈的近接式曝光機(jī)(例如日立高科技電子工程株式會社制)等，作為曝光量，可以適當(dāng)?shù)剡x擇(例如300mJ/cm2)。接著，用顯影液進(jìn)行顯影，得到形成圖案的圖像，接著，根據(jù)需要進(jìn)行水洗處理，得到深色隔離壁。在進(jìn)行所述顯影之前，優(yōu)選利用噴淋噴嘴等噴霧純水，使該深色感光性樹脂層的表面均一地濕潤。作為所述顯影處理中使用的顯影液，可以使用堿性物質(zhì)的稀水溶液，但也可以進(jìn)一步少量添加與水具有混合性的有機(jī)溶劑。作為光照射中使用的光源，可以舉出中壓超高壓汞燈、氙氣燈、金屬鹵化物燈等。一使用感光性轉(zhuǎn)印材料的深色隔離壁的形成一準(zhǔn)備在臨時支撐體上設(shè)置深色組合物層、進(jìn)而在該層上設(shè)置保護(hù)薄膜的感光性轉(zhuǎn)印材料。根據(jù)需要，在所述深色感光性樹脂層的下層(臨時支撐體與深色組合物層之間)形成阻氧層或熱塑性樹脂層。首先，剝離除去保護(hù)薄膜，然后在永久支撐體(基板)上貼合露出的深色感光性樹脂層的表面，利用層壓機(jī)等進(jìn)行加熱、加壓進(jìn)而層疊(層疊體)。層壓機(jī)可以使用從以往公知的層壓機(jī)、真空層壓機(jī)等中適當(dāng)?shù)剡x擇的層壓機(jī)，為了進(jìn)一步提高生產(chǎn)率，也可以使用自動切斷壓膜機(jī)(autocutlaminator)。接著，除去臨時支撐體，在除去臨時支撐體后的除去面的上方配置需要的光掩模，利用光源照射紫外線，照射后，使用規(guī)定的顯影液進(jìn)行顯影處理，得到形成圖案的圖像，接著，根據(jù)需要進(jìn)行水洗處理，得到深色隔離壁。顯影處理中使用的顯影液及光照射中使用的光源與所述使用涂敷法形成的顯影液及光源相同地使用。作為利用涂敷深色組合物的方法以及后述的使用感光性轉(zhuǎn)印材料的方法中的堿性物質(zhì)，可以舉出堿金屬氫氧化物類(例如氫氧化鈉、氫氧化鉀)、堿金屬碳酸鹽類(例如碳酸鈉、碳酸鉀)、堿金屬碳酸氫鹽類(例如碳酸氫鈉、碳酸氫鉀)、堿金屬硅酸鹽類(例如硅酸鈉、硅酸鉀)、堿金屬正硅酸鹽類(例如正硅酸鈉、正硅酸鉀)、三乙醇胺、二乙醇胺、一乙醇胺、嗎啉、氫氧化四垸基胺類(例如氫氧化四甲基胺)、磷酸三鈉等。堿性物質(zhì)的濃度優(yōu)選為0.0130質(zhì)量％，pH優(yōu)選為814。作為所述"與水具有混合性的有機(jī)溶劑"，例如可以優(yōu)選舉出甲醇、乙醇、2—丙醇、l一丙醇、丁醇、雙丙酮醇、乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、乙二醇一正丁基醚、芐醇、丙酮、甲基乙基甲酮、環(huán)己酮、e—己內(nèi)酯、Y一丁內(nèi)酯、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、六甲基磷酰胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、s—己內(nèi)酰胺、N—甲基吡咯烷酮等。與水具有混合性的有機(jī)溶劑的濃度優(yōu)選為0.130質(zhì)量％。進(jìn)而也可以添加公知的表面活性劑，作為該表面活性劑的濃度，優(yōu)選0.0110質(zhì)量。/^。所述顯影液可以用作浴液或者用作噴霧液。除去深色樹脂層的未固化部分的情況下，可以組合在顯影液中用旋轉(zhuǎn)刷或濕潤海綿擦拭等方法。顯影液的液溫度優(yōu)選從通常的室溫左右到40°C。顯影時間由深色樹脂層的組成、顯影液的堿性或溫度、添加有機(jī)溶劑時其種類和濃度等決定，但通常為10秒2分鐘左右。如果過短，非曝光部的顯影可能變得不充分，同時紫外線的消光度也可能變得不充分，如果過長，則曝光部有時也被蝕刻。在這兩種情況下，都難以使隔離壁形狀成為優(yōu)選形狀。利用該顯影工序，隔離壁形狀被如上所述地形成。另外，顯影液的pH優(yōu)選為813。在顯影槽中設(shè)置輥式輸送機(jī)等，基板水平移動。為了防止受到所述輥式輸送機(jī)的損傷，優(yōu)選在基板的上面形成深色樹脂層?；宄叽绯^l米時，如果水平地輸送基板，則顯影液滯留在基板中央附近，基板中央與周邊部分的顯影差成為問題。為了避免此情況，優(yōu)選使基板斜向傾斜。傾斜角度優(yōu)選為5°30°。另外，如果在顯影前噴霧純水，使深色樹脂層濕潤，則成為均一的顯影結(jié)果，所以優(yōu)選。另外，顯影后，如果在向基板輕輕地吹空氣(air)從而大致地除去多余的液體的基礎(chǔ)上，實施噴淋水洗，則成為更均一的顯影結(jié)果。另外，在水洗之前，如果利用超高壓清洗噴嘴，以310MPa的壓力，噴射超純水來除去殘余物，則可以得到?jīng)]有殘余物的高質(zhì)量的像。如果在基板上附著水滴時輸送到后工序，則可能會污染工序或在基板上殘留污點，所以優(yōu)選用氣刀除去水分，來除去多余的水或水滴。(后曝光)從圖像的截面形狀的控制、圖像硬度的控制、圖像的表面凹凸的控制、圖像的減膜的控制等觀點出發(fā)，優(yōu)選在顯影與熱處理之間實施后曝光。作為后曝光中使用的光源，可以舉出特開2005—3861號公報的段落編號0074中記載的超高壓汞燈、高壓汞燈、金屬鹵化物燈等。從設(shè)備的簡易化和省電力的觀點出發(fā)，后曝光優(yōu)選不經(jīng)由曝光掩模等而直接向基板照射來自超高壓汞燈或金屬鹵化物等光源的光。根據(jù)需要，從兩面實施。另外，曝光量也可以在上面100200mJ/平方厘米、下面1002000mJ/平方厘米的范圍內(nèi)，對應(yīng)上述控制目的適當(dāng)?shù)卣{(diào)整。(熱處理)利用熱處理，可以使本發(fā)明的深色樹脂層中含有的單體或交聯(lián)劑反應(yīng)，來保證圖像的硬度。熱處理的溫度優(yōu)選在15(TC250'C的范圍。在15(TC以下時，硬度變得不充分，在25(TC以上時，樹脂著色，色純度變差。另外，熱處理也可以根據(jù)顏色而改變。另外，也可以在形成全部顏色之后，進(jìn)一步進(jìn)行最終的熱處理，來使硬度穩(wěn)定化。這種情況下，從硬度的點出發(fā)，優(yōu)選用高的溫度(例如240'C)實施。(第一實施方式中的感光性轉(zhuǎn)印材料)在第一實施方式的濾色片的制造方法中，包括使用在臨時支撐體上至少具有由深色組合物構(gòu)成的層而成的感光性轉(zhuǎn)印材料之類的所述方法。使用這樣的材料的情況下，由深色組合物構(gòu)成的深色感光性樹脂層由于被臨時支撐體保護(hù)，所以自動地成為貧氧氣氛下。所以，不必在惰性氣體下或減壓下進(jìn)行曝光工序，所以可以直接利用目前的工序。感光性轉(zhuǎn)印材料是利用在臨時支撐體上涂敷所述深色組合物等方法，來形成以深色組合物為成分的感光性樹脂層的材料。根據(jù)需要，可以賦予保護(hù)薄膜等。在第一實施方式中所述的貧氧氣氛可以為具有例如2000cm3/(m2*day，atm)以下的氧透過率的層被設(shè)置于感光性樹脂層的上部的狀態(tài)，氧透過率優(yōu)選為100cm3/(m2'day*atm)以下，更優(yōu)選為50cm3/(m2dayatm)以下。在第一實施方式中，在氧透過率多于2000cm3/(m2*day*atm)的情況下，不能有效地阻斷氧，所以有時難以使隔離壁成為所述需要的形狀。(第二實施方式中的感光性轉(zhuǎn)印材料)在第二實施方式的濾色片的制造方法中，包括使用在臨時支撐體上，從靠近該臨時支撐體一側(cè)開始依次至少具有阻氧層和由深色感光性組合物構(gòu)成的層而成的感光性轉(zhuǎn)印材料之類的所述方法(所述(1)轉(zhuǎn)印方法)。使用這樣的材料的情況下，由深色感光性組合物構(gòu)成的層由于被阻氧層保護(hù)，所以自動地成為貧氧氣氛下。所以，不必在惰性氣體下或減壓下進(jìn)行曝光工序，所以可以直接利用目前的工序。(第三實施方式中的感光性轉(zhuǎn)印材料)在第三實施方式的濾色片的制造方法中，也可以使用在臨時支撐體上至少具有由深色光聚合性組合物構(gòu)成的層和根據(jù)需要的熱塑性樹脂層而成的感光性轉(zhuǎn)印材料。將其轉(zhuǎn)印到基板上，在基板上形成深色光聚合性組合物，在貧氧氣氛下進(jìn)行曝光。(臨時支撐體)作為所述感光性轉(zhuǎn)印材料中的臨時支撐體，可以從化學(xué)上以及熱上穩(wěn)定、由撓性物質(zhì)構(gòu)成的臨時支撐體中適當(dāng)?shù)剡x擇。具體而言，優(yōu)選亍7口y(注冊商標(biāo))、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯、聚酯等薄片或它們的層疊體。作為所述臨時支撐體的厚度，優(yōu)選為5300pm，更優(yōu)選20150pm。如果該厚度不到5pm，則在剝離顯影前的支撐體時存在容易破損的趨勢，如果超過300pm，則存在析像度降低的趨勢。在上述具體例中，特別優(yōu)選雙向拉伸聚對苯二甲酸乙二醇酯。(第一實施方式中的阻氧層)在第一實施方式的濾色片的制造方法中，可以根據(jù)需要在感光性轉(zhuǎn)印材料的臨時支撐體與感光性樹脂層之間設(shè)置阻氧層。具體而言，第一實施方式中的阻氧層優(yōu)選以聚乙烯、聚偏二氯乙烯、聚乙烯醇等為主要成分的層，其中，優(yōu)選以聚乙烯醇為主要成分。作為聚乙烯醇，優(yōu)選皂化度為80%以上的聚乙烯醇。作為本發(fā)明的阻氧層中的所述聚乙烯醇的含量，優(yōu)選為25質(zhì)量％99質(zhì)量％，更優(yōu)選為50質(zhì)量％90質(zhì)量％，特別優(yōu)選為50質(zhì)量％80質(zhì)量％。另外，根據(jù)需要也可以添加聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酰胺等聚合物，其中，優(yōu)選聚乙烯吡咯烷酮。這些聚合物的添加量優(yōu)選為整體的140質(zhì)量％，更優(yōu)選為1035質(zhì)量％。如果聚乙烯吡咯垸酮的添加量過多，則阻氧性可能會變得不充分。(熱塑性樹脂層)上述感光性轉(zhuǎn)印材料根據(jù)需要也可以具有熱塑性樹脂層。這種熱塑性樹脂層優(yōu)選為堿可溶性，至少含有樹脂成分構(gòu)成，作為該樹脂成分，實際上的軟化點優(yōu)選為8(TC以下。通過設(shè)置這樣的熱塑性樹脂層，在后述的深色隔離壁形成方法中，可以發(fā)揮與永久支撐體之間的良好的粘附性。作為軟化點為8crc以下的堿可溶性的熱塑性樹脂，可以舉出乙烯與丙烯酸酯共聚物的皂化物、苯乙烯與(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、乙烯基甲苯與(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物、聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸丁酯與醋酸乙烯酯等的(甲基)丙烯酸酯共聚物等的皂化物等。在熱塑性樹脂層中可以適當(dāng)?shù)剡x擇使用上述熱塑性樹脂的至少一種，進(jìn)而，也可以使用"塑料性能便覽"(日本塑料工業(yè)連盟，全日本塑料成形工業(yè)連合會編著，工業(yè)調(diào)查會發(fā)行，1968年10月25日發(fā)行)中的軟化點在約8(TC以下的有機(jī)高分子中可溶于堿水溶液的物質(zhì)。另外，對于軟化點為80'C以上的有機(jī)高分子物質(zhì)而言，也可以通過在該有機(jī)高分子物質(zhì)中添加與該高分子物質(zhì)具有互溶性的公知增塑劑，而將實際上的軟化點降至8(TC以下來使用。另外，為了調(diào)節(jié)與臨時支撐體之間的粘接力，在實際上的軟化點不超過8(TC的范圍內(nèi)，也可以在這些有機(jī)高分子物質(zhì)中加入各種聚合物或過冷卻物質(zhì)、粘附改良劑或者表面活性劑、脫模劑等。作為優(yōu)選的增塑劑的具體例，可以舉出聚丙二醇、聚乙二醇、鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二庚酯、鄰苯二甲酸二丁酯、磷酸三甲苯酯、磷酸甲苯基二苯基酯、磷酸聯(lián)苯基二苯基酯。(保護(hù)薄膜)為了避免儲存時的污染或損傷，優(yōu)選在感光性樹脂層或光聚合性樹脂層上設(shè)置保護(hù)薄膜。保護(hù)薄膜可以為與臨時支撐體相同或相似的材料構(gòu)成，但必須容易從感光性樹脂層分離。作為保護(hù)薄膜材料，例如優(yōu)選硅酮紙、聚烯烴或聚四氟乙烯片材。另外，保護(hù)薄膜的厚度通常為440pm優(yōu)選為530pm，特別優(yōu)選為1025pm。(第一實施方式及第二實施方式中的感光性轉(zhuǎn)印材料的制作方法)作為本發(fā)明的第一實施方式及第二實施方式中的感光性轉(zhuǎn)印材料的制作例子，以具有臨時支撐體、熱塑性樹脂層、中間層(阻氧層)、保護(hù)薄膜為例。本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料可以通過如下所述的過程制作，即通過在臨時支撐體上涂敷并干燥己溶解熱塑性樹脂層的添加劑的涂敷液(熱塑性樹脂層用涂敷液)來設(shè)置熱塑性樹脂層，然后在熱塑性樹脂層上涂敷并干燥由不溶解熱塑性樹脂層的溶劑構(gòu)成的阻氧層材料的溶液，然后用不溶解中間層(阻氧層)的溶劑涂敷并干燥、設(shè)置深色感光性樹脂層用涂敷液。另外，也可以準(zhǔn)備在所述臨時支撐體上設(shè)置熱塑性樹脂層及阻氧層的片材以及在保護(hù)薄膜上設(shè)置感光性樹脂層的片材，通過使中間層與深色感光性樹脂層彼此貼合從而使其接觸來制作，進(jìn)而也可以準(zhǔn)備在所述臨時支撐體上設(shè)置熱塑性樹脂層的片材以及在保護(hù)薄膜上設(shè)置感光性樹脂層及阻氧層的片材，通過使熱塑性樹脂層與阻氧層彼此貼合從而使其接觸來制作。另外，可以利用公知的涂敷裝置等進(jìn)行上述制作方法中的涂敷，但在本發(fā)明中，優(yōu)選利用使用縫隙狀噴嘴的涂敷裝置(縫隙涂敷機(jī))進(jìn)行。(第三實施方式中的感光性轉(zhuǎn)印材料的制作方法)本發(fā)明的第三實施方式的濾色片的制造方法中的感光性轉(zhuǎn)印材料例如可以通過如下所述的過程制作，即通過在臨時支撐體上涂敷并干燥已溶解熱塑性樹脂層的添加劑的涂敷液(熱塑性樹脂層用涂敷液)來設(shè)置熱塑性樹脂層，然后涂敷并干燥、設(shè)置深色光聚合性樹脂層用涂敷液。另外，例如也可以準(zhǔn)備在所述臨時支撐體上設(shè)置熱塑性樹脂層的片材以及在保護(hù)薄膜上設(shè)置光聚合性樹脂層的片材，通過使熱塑性樹脂層與深色光聚合性樹脂層彼此貼合從而使其接觸來制作。另外，可以利用公知的涂敷裝置等進(jìn)行上述制作方法中的涂敷，但在本發(fā)明中，優(yōu)選利用使用縫隙狀噴嘴的涂敷裝置(縫隙涂敷機(jī))進(jìn)行。(疏水處理)在本發(fā)明中，優(yōu)選通過在隔離壁上實施疏水處理而所述隔離壁的至少一部分帶有疏水性的狀態(tài)，然后向所述隔離壁間賦予著色液體組合物的液滴。這是為了在其后用噴墨等方法賦予液滴時，不使所述著色液體組合物的液滴(墨液)跨越所述隔離壁而與相鄰的顏色混色等不良情形發(fā)生，所以優(yōu)選。作為所述疏水處理，可以舉出在隔離壁上面涂敷疏水材料的方法、新設(shè)置疏水層的方法、利用等離子處理賦予疏水性的方法、在隔離壁中揉入疏水性物質(zhì)的方法、利用光催化劑賦予疏水性的方法等。以下說明疏水處理的詳細(xì)情況。(1)<將疏水性物質(zhì)揉入隔離壁的方法>作為防止"混色"的手段，包括在利用本發(fā)明的深色組合物(感光性組合物或光聚合性組合物)得到的光致抗蝕劑中含有含氟樹脂(A)來制作隔離壁的方法。本發(fā)明中的所述含氟樹脂(A)優(yōu)選具有下述式1表示的聚氟醚結(jié)構(gòu)構(gòu)成的Rf基(a)和酸性基(b)，酸價為1300mgKOH/g。一(X—O)廣Y…式1式1中，X為碳原子數(shù)為110的2價飽和烴基或碳原子數(shù)為110的已氟化的2價飽和烴基，用n括起來的每個單位表示相同的基團(tuán)或不同的基團(tuán)，Y表示氫原子(只限于與Y相鄰的氧原子的相鄰碳原子沒有結(jié)合氟原子的情況)、碳原子數(shù)為120的1價飽和烴基或碳原子數(shù)為l20的已氟化的l價飽和烴基，n表示250的整數(shù)。其中，式l中的氟原子的總數(shù)為2以上。作為式1中的X、Y的樣式，可以優(yōu)選舉出X為碳原子數(shù)為110的除去1個氫原子并已氟化的亞烷基或碳原子數(shù)為110的已全氟化的亞烷基，用n括起來的每個單位表示相同的基團(tuán)或不同的基團(tuán)，Y表示碳原子數(shù)為120的除去1個氫原子并已氟化的垸基或碳原子數(shù)為120的已全氟化的烷基。作為式1中的X、Y的樣式，可以更優(yōu)選舉出X為碳原子數(shù)為110的已全氟化的亞烷基，用n括起來的每個單位表示相同的基團(tuán)或不同的基團(tuán)，Y表示碳原子數(shù)為120的已全氟化的垸基。通過使X、Y的樣式成為上述樣式，含氟樹脂(A)表現(xiàn)出良好的疏墨液性。在式1中，n表示250的整數(shù)。n優(yōu)選為230，更優(yōu)選為215。如果n為2以上，則墨液掉落性良好。如果n為50以下，則含氟樹脂(A)由具有Rf基(a)的單體和具有酸性基(b)的單體或其他單體的共聚合合成的情況下，單體的互溶性良好。另外，式l表示的聚氟醚結(jié)構(gòu)構(gòu)成的Rf基(a)中的碳原子的總數(shù)優(yōu)選為250，更優(yōu)選為230。在該范圍內(nèi)，含氟樹脂(A)表現(xiàn)出良好的疏墨液性、特別是疏有機(jī)溶劑性。另外，在由具有Rf基(a)的單體和具有酸性基(b)的單體或其他單體的共聚合合成含氟樹脂(A)的情況下，單體的互溶性良好。作為X的具體例，可以舉出一CF2—、一CF2CF2—、一CF2CF2CF2—、一CF2CF(CF3)—、一CF2CF2CF2CF2—、一CF2CF2CF(CF3)—以及一CF2CF(CF3)CF廣。作為Y的具體例，可以舉出一CF3、一CF2CF3、一CF2CHF2—、一(CF2)2CF3、一(CF2)3CF3、一(CF2)4CF3、一(CF2)5CF3、一(CF2)6CF3、一(CF2)7CF3、—(CF2)8CF3、—(CF2)9CF3、一(CF2)UCF3、—(CF2)15CF3。作為式l表示的聚氟醚結(jié)構(gòu)構(gòu)成的Rf基(a)的優(yōu)選樣式，可以舉出式2表示的Rf基(a)。—Cp-,F2(p-D—O一(CpF2p—0)n-i一CqF2q+廣'式2式2中，p表示2或3的整數(shù)，用n括起來的每個單位為相同的基團(tuán)，q表示l20的整數(shù)，n表示250的整數(shù)。作為式2表示的Rf基(a)，具體而言，從合成的容易程度的點出發(fā)，可以優(yōu)選舉出一CF20(CF2CF20)n-iCF3(n為29)、一CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)n^C^Fu(n為26)、一CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)n—AF7(n為26)。含氟樹脂(A)內(nèi)的Rf基(a)全部相同或不同。含氟樹脂(A)中的氟原子的含量優(yōu)選為160%，更優(yōu)選為540%。如果在該范圍內(nèi)，則含氟樹脂(A)表現(xiàn)出良好的疏墨液性，本發(fā)明的深色組合物的顯影性變好。含氟樹脂(A)具有酸性基(b)。作為酸性基(b)，優(yōu)選從羧基、苯酚性羥基以及磺酸基構(gòu)成的組中選擇的至少一個酸性基或其鹽。含氟樹脂(A)的酸價優(yōu)選為1300mgKOH/g，更優(yōu)選為5200mgKOH/g，特別優(yōu)選為10150mgKOH/g。如果在該范圍內(nèi)，則本發(fā)明的深色組合物的顯影性變好。其中，酸價是為了中和lg樹脂所必需的氫氧化鉀的質(zhì)量(單位mg)，在本說明書中，將單位記載為mgKOH/g。含氟樹脂(A)的數(shù)均分子量優(yōu)選為500以上不到20000，更優(yōu)選為2000以上不到15000。如果在該范圍內(nèi)，本發(fā)明的深色組合物的顯影性良好。數(shù)均分子量是利用凝膠滲透色譜發(fā)，以聚苯乙烯為標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)測定的。含氟樹脂(A)是含有基于具有乙烯性雙鍵和所述Rf基(a)的單體的單體單元與基于具有乙烯性雙鍵和所述酸性基(b)的單體的單體單元的共聚物，酸價優(yōu)選為l300mgKOH/g。作為乙烯性雙鍵，可以舉出(甲基)丙烯?；?、乙烯基、烯丙基。作為具有所述乙烯性雙鍵和所述Rf基(a)的單體，可以舉出CH2=CI^COOQ2Rf、CH2=CRiOCOQ'Rf、CH2=CR!OQ!Rf、CH2=CR'CH20(^Rf、CH2:CRiCOOQWS02Rf、CH2二CR!COOQ2NR!CORf、CH2二CR!COOQ2NI^COOQ2Rf、CH2:CR!COOQ20(^Rf等。其中，R1表示氫原子或甲基，(^表示單鍵或碳原子數(shù)為16的2價有機(jī)基，Q2表示碳原子數(shù)為16的2價有機(jī)基。Q1、(^也可以具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)。作為Q、(^的具體例，可以分別獨立地舉出一CH2—、—CH2CH2—、一CH(CH3)—、—CH2CH2CH2—、—C(CH3)2—、~CH(CH2CH3)—、—CH2CH2CH2CH2—、—CH(CH2CH2CH3)—、—CH2(CH2)3CH2—、—CH(CH2CH(CH3)2)—、一CH2CH(OH)CH2—、—CH2CH2NHCOOCH2—、一CH2CH(OH)CH2OCH2—等。其中，從合成的容易程度的觀點出發(fā)，優(yōu)選一CH2—、一CH2CH2—、一CH2CH(OH)CH2—。作為所述具有乙烯性雙鍵和所述Rf基(a)的單體，具體可以舉出以下例子。CH2=CHCOOCH2CF20(CF2CF20)一^3(n為39)、CH2=CHCOOCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)n—AFu(n為26)、CH2=CHCOOCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)n-jCf(n為26)、CH2=C(CH3)COOCH2CH2NHCOOCH2CF20(CF2CF20)『!CF3(n為39)、CH2=C(CH3)COOCH2CH2NHCOOCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)0)n—(sFAn為26)、CH2=C(CH3)COOCH2CH2NHCOOCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)n—!C6F13(n為26)、CH2=C(CH3)COOCH2CH(OH)CH2OCH2CF20(CF2CF20)n一!CFs(n為39)、CH2=C(CH3)COOCH2CH(OH)CH2OCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)『C6F13(n為26)、CH2=C(CH3)COOCH2CH(OH)CH2OCH2CF(CF3)O(CF2CF(CF3)O)n—(n為26)。含氟樹脂(A)中的基于所述具有乙烯性雙鍵和所述Rf基(a)的單體的單體單元的含量優(yōu)選為195摩爾％等，更優(yōu)選為580摩爾％，進(jìn)而優(yōu)選為2060摩爾％。如果在該范圍內(nèi)，則含氟樹脂表現(xiàn)出良好的疏墨液性，本發(fā)明的深色組合物的顯影性變好。作為具有酸性基(b)的單體，可以舉出具有羧基的單體、具有苯酚性羥基的單體、具有磺酸基的單體。作為具有羧基的單體，可以舉出丙烯酸、甲基丙烯酸、乙烯基乙酸、巴豆酸、衣康酸、馬來酸、富馬酸、桂皮酸或它們的鹽。它們可以單獨使用或并用兩種以上。作為具有苯酚性羥基的單體，可以舉出鄰羥基苯乙烯、間羥基苯乙烯、對羥基苯乙烯等。另外，還可以舉出這些苯環(huán)的1個以上氫原子被取代成甲基、乙基、正丁基等烷基，甲氧基、乙氧基、正丁氧基等垸氧基，鹵原子，垸基的l個以上氫原子被取代成鹵原子的鹵代烷基，硝基，氰基，酰胺基的化合物等。它們可以單獨使用或并用兩種以上。作為具有磺酸基的單體，可以舉出乙烯基磺酸、苯乙烯磺酸、(甲基)烯丙基磺酸、2—羥基一3—(甲基)烯丙氧基丙烷磺酸、(甲基)丙烯酸一2—磺基乙基、(甲基)丙烯酸一2—磺基丙基、2—羥基一3—(甲基)丙烯酰氧基丙垸磺酸、2—(甲基)丙烯酰胺一2—甲基丙烷磺酸或它們的鹽等。它們可以單獨使用或并用兩種以上。含氟樹脂中的基于具有酸性基(b)的單體的單體單元的含量優(yōu)選為0.140摩爾％等，更優(yōu)選為0.530摩爾％，進(jìn)而優(yōu)選為120摩爾％。如果在該范圍內(nèi)，則含氟樹脂表現(xiàn)出良好的疏墨液性，深色組合物的顯影性變好。在含氟樹脂是具有基于具有乙烯性雙鍵和Rf基(a)的單體的單體單元與基于具有乙烯性雙鍵和酸性基(b)的單體的單體單元的共聚物的情況下，也可以具有基于不具有Rf基(a)及酸性基(b)的單體(以下也稱為"其他單體"。)的單體單元。作為其他單體，可以舉出烴系烯烴類、乙烯基醚類、異丙烯基醚類、烯丙醚類、乙烯酯類、烯丙酯類、(甲基)丙烯酸酯類、(甲基)丙烯酰胺類、芳香族乙烯化合物、氯烯烴類、氟烯烴類、共軛二烯類。在這些化合物中也可以含有官能團(tuán)，作為該官能團(tuán)，例如可以舉出羥基、羰基、垸氧基、酰胺基等。另外，也可以具有有聚硅氧烷結(jié)構(gòu)的基團(tuán)。其中，基于這些其他單體的單體單元不具有Rf基(a)及酸性基(b)。它們可以單獨使用，也可以并用兩種以上。為了使由本發(fā)明的深色組合物形成的涂膜的耐熱性出色，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸酯類、(甲基)丙烯酰胺類。在含氟樹脂中，基于其他單體的單體單元的比例優(yōu)選為80%摩爾以下，更優(yōu)選為70摩爾％以下。如果在該范圍內(nèi)，則本發(fā)明的深色組合物的顯影性變好。本發(fā)明中的含氟樹脂除了通過合成上述的具有基于具有乙烯性雙鍵和Rf基(a)的單體的單體單元與基于具有乙烯性雙鍵和酸性基(b)的單體的單體單元的共聚物而得到以外，也可以利用使在具有反應(yīng)部位的聚合物中具有Rf基(a)的化合物及/或具有酸性基(b)的化合物發(fā)生反應(yīng)的各種改性方法得到。作為使在具有反應(yīng)部位的聚合物中具有Rf基(a)的化合物發(fā)生反應(yīng)的各種改性方法，例如可以舉出預(yù)先使具有環(huán)氧基的單體共聚合，然后使具有Rf基(a)和羧基的化合物發(fā)生反應(yīng)的方法；預(yù)先使具有環(huán)氧基的單體共聚合，然后使具有Rf基(a)和羥基的化合物發(fā)生反應(yīng)的方法作為具有環(huán)氧基的單體的具體例，可以舉出(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸3，4一環(huán)氧基環(huán)己基甲基酯。作為具有Rf基(a)和羧基的化合物，可以舉出下述式3表示的化合物。HOOC—Cp—iF2(p—d—0—(CpF2p—0)n一廣CqF2q+廣'式3式3中，p表示2或3的整數(shù)，q表示l20的整數(shù)，n表示250的整數(shù)。作為具有Rf基(a)和羥基的化合物，可以舉出下述式4表示的化合物。HOCH2—C"F2(p一"一0—(CpF2p—0)『i一CqF2q+廣.式4式4中，p表示2或3的整數(shù)，q表示l20的整數(shù)，n表示250的整數(shù)。作為使在具有反應(yīng)部位的聚合物中具有酸性基(b)的化合物發(fā)生反應(yīng)的各種改性方法，例如可以舉出預(yù)先使具有羥基的單體共聚合，然后使酸酐發(fā)生反應(yīng)的方法。另外，還可以舉出預(yù)先使具有乙烯性雙鍵的酸酐共聚合，然后使具有羥基的化合物發(fā)生反應(yīng)的方法。作為具有羥基的單體的具體例，可以舉出乙烯基苯酚、(甲基)丙烯酸2—羥乙基酯、(甲基)丙烯酸2—羥丙基酯、(甲基)丙烯酸3—羥丙基酯、(甲基)丙烯酸4一羥丁基酯、(甲基)丙烯酸5—羥戊基酯、(甲基)丙烯酸6—羥己基酯、(甲基)丙烯酸4一羥基環(huán)己基酯、新戊二醇一(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸3—氯一2—羥丙基酯、甘油一(甲基)丙烯酸酯、2—羥乙基乙烯基醚、4一羥丁基乙烯基醚、環(huán)己二醇一乙烯基醚、2—羥乙基烯丙醚、N—羥甲基(甲基)丙烯酰胺、N，N—雙(羥甲基)等。進(jìn)而，作為具有羥基的單體，也可以為末端為羥基的具有聚氧亞烷基鏈的單體。例如，例如可以舉出CH2二CHOCH2C6Hn)OCH20(C2H40)gH(在此，g為l100的整數(shù)，以下相同。)、CH2=CHOC4H80(C2H40)gH、CH2=CHCOOC2H40(C2H40)gH、CH2=C(CH3)COOC2H40(C2H40)gH、CH2=CHCOOC2H40(C2H40)h(C3H60)kH(在此，h為0或1100的整數(shù)，k為l100的整數(shù)，h+k為l101。以下相同。)、CH2=C(CH3)COOC2H40(C2H40)h(C3H60)kH等。它們可以單獨使用或并用兩種以上。作為酸酐的具體例，可以舉出鄰苯二甲酸酐、2—甲基鄰苯二甲酸酐、偏苯三酸酐等。作為具有乙烯性雙鍵的酸酐的具體例，可以舉出馬來酐、衣康酸酐、檸康酸酐、甲基一5—降冰片烯一2，3—二羧酸酐、3，4，5，6—一四氫鄰苯二甲酸酐、cis—l，2，3，6—四氫鄰苯二甲酸酐、2—丁烯一1一基琥珀酸酐(一ylsuccinicanhydride)等。作為具有羥基的化合物，只要是具有1個以上羥基的化合物即可，可以舉出如上所述的具有羥基的單體的具體例或乙醇、l一丙醇、2—丙醇、1—丁醇、乙二醇等醇類，2—甲氧基乙醇、2—乙氧基乙醇、2—丁氧基乙醇等溶纖劑素，2—(2—甲氧基乙氧基)乙醇、2—(2—乙氧基乙氧基)乙醇、2—(2—丁氧基乙氧基)乙醇等卡必醇類等。優(yōu)選在分子內(nèi)具有1個羥基的化合物。它們可以單獨使用或并用兩種以上。含氟樹脂或者成為含氟樹脂的前體的所述具有反應(yīng)部位的聚合物可以通過根據(jù)需要與鏈轉(zhuǎn)移劑一起將單體溶解于溶劑并加熱，加入聚合引發(fā)劑，使其反應(yīng)的方法合成。含氟樹脂(A)的配合量相對深色組合物中的固體成分，優(yōu)選為0.0150質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.130質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0.210質(zhì)量％。如果在該范圍內(nèi)，則深色組合物表現(xiàn)出良好的疏墨液性、墨液掉落性，顯影性變好。(2)<設(shè)置疏水層的方法>作為防止"混色"的手段，包括制作在形成有隔離壁的基板上與隔離壁一致的位置上具有墨液排斥性的隔墻(以下也稱為"疏水層"。)的方法。作為具有墨液排斥性的隔墻，優(yōu)選使用硅酮橡膠層。涂設(shè)于表層的硅酮橡膠層必須具有對著色使用的溶液及墨液的排斥效果。對其沒有特別限定，優(yōu)選以具有通式(1)之類的重復(fù)單元的分子量數(shù)千數(shù)十萬的線狀有機(jī)聚硅氧烷為主要成分的物質(zhì)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula>通式(i)其中，在通式(1)中，n為2以上的整數(shù)，R為碳原子數(shù)為110的烷基、鏈烯基或苯基。通過零散地使這樣的線狀有機(jī)聚硅氧垸發(fā)生交聯(lián)，可以得到硅酮橡膠。交聯(lián)劑為在所謂的室溫(低溫)固化型的硅酮橡膠中使用的乙酸基硅烷、酮肟硅垸、烷氧基硅垸、氨基硅烷(aminosilane)、酰胺硅烷(amidesilane)、鏈烯氧基硅烷(alkenyloxysilane)等，通常作為線狀的有機(jī)聚硅氧烷，與末端為羥基的化合物組合，分別成為脫醋酸型、脫肟型、脫醇型、脫胺型、脫酰胺類、脫酮型的硅酮橡膠。另外，在硅酮橡膠中添加少量的有機(jī)錫化合物等作為催化劑。有時為了粘接感光性樹脂層與硅酮橡膠層而在層間使用各種粘接層，特別優(yōu)選氨基硅垸化合物或有機(jī)鈦酸酯化合物。也可以代替在感光性樹脂層與硅酮橡膠層之間設(shè)置粘接層而向硅酮橡膠層中添加粘接成分。作為該添加粘接成分，可以使用氨基硅烷化合物或有機(jī)鈦酸酯化合物。為了制作隔壁，首先在形成有隔離壁的基板上形成硅酮橡膠層。用于制作隔壁的曝光如下所述地進(jìn)行，即將隔離壁作為掩模，從基板的背側(cè)進(jìn)行，進(jìn)而使照射UV光散射，將入射光放大成大于透過部位，使其作用于感光性樹脂，發(fā)生光反應(yīng)從而可溶化的樹脂部分在硅酮橡膠表層側(cè)的一方更大。可以在這樣曝光之后，用正庚醇/乙醇混合液進(jìn)行顯影，制作具有硅酮橡膠表層的隔壁。(3)<利用等離子處理賦予疏水性的方法>作為防止"混色"的手段，包括在形成有隔離壁的基板上進(jìn)行利用等離子的疏水化處理的方法。作為在本工序中導(dǎo)入的至少含有氟原子的氣體，優(yōu)選使用一種以上從CF4、CHF3、C2F6、SF6、C3F8、C5F8中選擇的鹵素氣體。特別是C5F8(八氟環(huán)戊烯)在臭氧破壞能為0，同時大氣壽命比以往的氣體(CF4:5萬年、C4F8:3200年)相比非常短，為0.98年。因而，地球暖化系數(shù)為90(C02=2時的IOO年累計值)，與以往的氣體(CF4:6500、C4F8:8700)相比非常小，對臭氧層或地球環(huán)境保護(hù)極有效，優(yōu)選在本發(fā)明中使用。進(jìn)而，作為導(dǎo)入氣體，根據(jù)需要，也可以并用氧、氬、氦等氣體。在本工序中，如果使用一種以上從上述CF4、CHF3、C2F6、SF6、C3F8、C5F8中選擇的鹵素氣體與02的混合氣體，則可以控制在本工序中處理的隔離壁表面的疏墨液性的程度。不過，在該混合氣體中，如果02的混合比率超過30%，則利用02的氧化反應(yīng)成為支配性的氧化反應(yīng)，可能妨礙提高疏墨液性的效果，或者，對樹脂的損害變得明顯，所以使用該混合氣體的情況下，優(yōu)選以02的混合比率在30%以下的范圍使用。另外，作為等離子的發(fā)生方法，可以使用低頻放電、高頻放電、微波放電等方式，可以容易地設(shè)定等離子處理時的壓力、氣體流量、放電頻率、處理時間等條件。等離子處理時的壓力優(yōu)選為10100Pa，更優(yōu)選為2080Pa，進(jìn)而優(yōu)選為3050Pa。氣體流量優(yōu)選為40300sccm，更優(yōu)選為50200sccm，進(jìn)而優(yōu)選為60100sccm。輸出功率優(yōu)選為10100W，更優(yōu)選為2090W，進(jìn)而優(yōu)選為3080W。處理時間由上述壓力和輸出功率決定，優(yōu)選為20200sec，更優(yōu)選為20100sec，進(jìn)而優(yōu)選為1050sec。(4)<在隔離壁上面表面涂敷疏水材料的方法>作為防止"混色"的手段，包括在形成有隔離壁的基板上整個表面地涂敷具有疏水性的材料的方法。作為具有疏水性的材料，只要是聚四氟乙烯等氟樹脂、硅橡膠、全氟烷基丙烯酸酯、烴丙烯酸酯、甲基硅氧烷等通常被看作疏水材料而相對著色液體組合物的接觸角為60°以上的化合物即可，沒有特別限定。涂敷所述疏水材料的方法使用直接在溶劑中溶解或分散所述具有疏水性的材料。作為涂敷疏水材料的方法，只要是對基板、隔離壁等沒有影響的方法即可，可以選擇縫隙涂敷、旋涂、浸涂、輥涂等對各材料最適合的方法。本方法可以通過從形成有隔離壁的基板背面?zhèn)冉?jīng)由隔離壁進(jìn)行UV.03處理，選擇性地除去或親水性處理(具有相對著色劑的接觸角在處理前后為30。以上的范圍)隔離壁以外的部分的疏水膜，來涂敷疏水材料。在除去或親水化處理疏水材料的情況下，形成圖案的方法可以選擇激光消融(laserabration)、等離子拋光(plasmaashing)、電暈放電處理等干處理以及使用堿的濕處理等對于材料最適合的方法。另外，在隔離壁上將疏水材料形成為圖案的情況下，發(fā)射(lift-off)法等也是有效的。(5)<利用光催化劑賦予疏水性的方法>作為防止"混色"的手段，包括在形成有隔離壁的基板上利用光催化劑賦予疏水性的方法。首先，配制具有基板和在該基板上形成的光催化劑含有層的光催化劑含有層側(cè)基板以及具有透明基材和在該透明基材上形成的濕潤性變化層的隔離壁形成用基板。接著，以規(guī)定的間隙配置上述光催化劑含有層和濕潤性變化層，例如使用光掩模等，在形成隔離壁的圖案上，從規(guī)定的方向，進(jìn)行照射能量的圖案形成工序。這樣，形成由被照射能量的部分的濕潤性變化層上的濕潤性發(fā)生變化的親水性區(qū)域與沒有照射能量的部分的疏水性區(qū)域構(gòu)成的圖案。接著，在親水性區(qū)域上進(jìn)行涂敷濕水的濕水涂敷工序。除了上述親水性區(qū)域以外的部分為疏水性區(qū)域，所以不附著濕水，而只在親水性區(qū)域可以涂敷濕水。接著，在疏水性區(qū)域進(jìn)行形成隔離壁的工序。此時，除了將要形成隔離壁的疏水性區(qū)域以外的部分被濕水保護(hù)，所以不附著例如形成隔離壁的隔離壁形成用涂敷法等，而只在疏水性區(qū)域可以容易且高精細(xì)地形成隔離壁。接著，進(jìn)行使?jié)袼稍锏臐袼稍锕ば颉Ｈ缓?，通過利用例如噴墨裝置等在上述隔離壁間涂敷形成像素部的像素部形成用涂敷液等，形成像素部，成為濾色片。通過使用上述方法，可以高精細(xì)地形成隔離壁或像素部等著色層。對于上述各工序，分別進(jìn)行說明。1.圖案形成工序首先，對本發(fā)明中的圖案形成工序進(jìn)行說明。本發(fā)明中的圖案形成工序為如下所述的工序，即將具有疏水性而且親墨液性進(jìn)而在伴隨著能量照射的光催化劑的作用下發(fā)生與水的接觸角降低的變化的濕潤性變化層的隔離壁形成用的基板與具有含有光催化劑的光催化劑含有層以及基板的光催化劑含有層側(cè)基板配置成上述濕潤性變化層及上述光催化劑含有層的間隙成為20(^m以下，然后照射能量，在上述隔離壁形成用的基板上形成由親水性區(qū)域及疏水性區(qū)域構(gòu)成的圖案。在本工序中，通過在隔離壁形成用的基板上形成疏水性區(qū)域和隨著照射能量而在光催化劑從作用下發(fā)生濕潤性變化的親水性區(qū)域，在后述的工序中，可以用濕水保護(hù)沒有形成著色部的親水性區(qū)域，這樣，形成高精細(xì)的著色部成為可能。以下對圖案形成工序的各結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。(隔離壁形成用的基板)首先，對本發(fā)明中使用的隔離壁形成用的基板進(jìn)行說明。本發(fā)明中使用的隔離壁形成用的基板只要是具有疏水性而且親墨液性進(jìn)而在伴隨著能量照射的光催化劑的作用下發(fā)生與水的接觸角降低的變化的濕潤性變化層的隔離壁形成用的基板即可，沒有特別限定，也可以在透明基材上形成上述濕潤性變化層。以下對本發(fā)明的隔離壁形成用的基板的各結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。(1)濕潤性變化層首先，對本發(fā)明的隔離壁形成用的基板中使用的濕潤性變化層進(jìn)行說明。本發(fā)明中使用的濕潤性變化層為疏水性而且親墨液性進(jìn)而在伴隨著能量照射的光催化劑的作用下發(fā)生與水的接觸角降低的變化的層。在本發(fā)明中，通過具有上述濕潤性變化層，在形成所述圖案中，使已照射能量的部分成為親水性區(qū)域，使沒有照射能量的部分成為疏水性區(qū)域成為可能。此時，通過使形成著色部的區(qū)域為疏水性區(qū)域，使沒有形成著色部的區(qū)域成為親水性區(qū)域，利用濕水保護(hù)沒有形成著色部的親水性區(qū)域，活化疏水性區(qū)域的親墨液性，只在疏水性區(qū)域，使用作為著色部形成用涂敷液的例如油性的墨液等形成著色部成為可能。在本發(fā)明中，上述濕潤性變化層在照射能量之前的臨界表面張力為20mN/m以上不到50mN/m的范圍，其中，優(yōu)選為35mN/m以上不到50mN/m的范圍內(nèi)。通過使上述臨界表面張力在上述范圍內(nèi)，使在照射能量之前的濕潤性變化層成為具有疏水性而且具有親墨液性的疏水性區(qū)域成為可能。在此，通過使能量照射前的濕潤性變化層成為親墨液性，均一地涂敷形成著色部的著色部形成用涂敷液等成為可能。另外，能量照射前的上述濕潤性變化層與70mN/m的液體的接觸角為50。以上不到120。，其中，優(yōu)選在70。以上不到120。的范圍內(nèi)。這是因為與上述液體的接觸角低于上述范圍的情況下，例如在后述的濕水涂敷工序中，即使在上述疏水性區(qū)域也可能附著濕水，在著色部形成工序中，難以高精細(xì)地形成著色部。另外，在伴隨著照射能量的光催化劑的作用下濕潤性變化的濕潤性變化層的臨界表面張力為50mN/m以上不到75mN/m的范圍，其中，優(yōu)選為60mN/m以上不到75mN/m的范圍內(nèi)。通過使上述臨界表面張力在上述范圍內(nèi)，使在光催化劑的作用下發(fā)生濕潤性改變的濕潤性變化層成為親水性成為可能。另外，濕潤性發(fā)生變化的濕潤性變化層與70mN/m的液體的接觸角為0°以上不到50°，其中，優(yōu)選在0。以上不到40。的范圍內(nèi)。這是因為與上述液體的接觸角高于上述范圍的情況下，親水性不充分，例如在涂敷濕水時，可能彈起，難以利用濕水保護(hù)形成著色部以外的區(qū)域，難以形成高精細(xì)的著色部。此外，在此所述的與液體的接觸角是使用接觸角測定儀(協(xié)和界面科學(xué)(株)制CA—Z型)，測定(從微量注射器滴注液滴30秒之后)與具有各種表面張力的液體的接觸角，從該結(jié)果或者將該結(jié)果繪成曲線圖得到的值。其中，在測定時，作為具有各種表面張力的液體，使用純正化學(xué)株式會社制的潤濕指數(shù)標(biāo)準(zhǔn)液。在此，本發(fā)明中的濕潤性變化層也可以將上述濕潤性變化層形成為在濕潤性變化層中含有氟，進(jìn)而在對濕潤性變化層照射能量時，該濕潤性變化層表面的含氟量在上述光催化劑的作用下，與照射能量前相比降低。如果是具有這樣的特征的濕潤性變化層，可以通過圖案照射能量，容易地形成由氟的含量少的部分構(gòu)成的圖案。在此，氟具有極低的表面能量，所以含有較多氟的物質(zhì)的表面的臨界表面張力變得更小。因而，與氟的含量多的部分的臨界表面張力相比，氟的含量少的部分的表面張力變大。這表明即與氟含量多的部分相比，氟含量少的部分成為親水性區(qū)域。因而，與周圍的表面相比，形成由氟含量少的部分構(gòu)成的圖案成為在疏水性區(qū)域內(nèi)形成親水性區(qū)域的圖案。因此，使用這樣的濕潤性變化層的情況下，通過圖案照射能量，可以容易地在疏水性區(qū)域形成親水性區(qū)域，所以在涂敷形成著色部的著色部形成用涂敷液等時，利用濕水保護(hù)沒有形成該著色部的親水性區(qū)域，只在疏水性且親墨液性的疏水性區(qū)域高精細(xì)地形成著色部成為可能。作為如上所述的含有氟的濕潤性變化層中含有的氟的含量，在將沒有照射能量的疏水性區(qū)域的含氟量設(shè)為100的情況下，照射能量形成的氟含量低的親水性區(qū)域中的氟含量為10以下，優(yōu)選為5以下，特別優(yōu)選為1以下。通過使其在這樣的范圍內(nèi)，可以在已照射能量的親水性區(qū)域與未照射能量的疏水性區(qū)域之間的濕潤性產(chǎn)生較大的差異。因而，容易地只在親水性區(qū)域涂敷濕水成為可能，通過只在疏水性區(qū)域涂敷著色部形成用著色液體組合物等，高精細(xì)地形成著色部成為可能。此外，該降低率以重量為標(biāo)準(zhǔn)。這樣的濕潤性變化層中的含氟量的測定可以使用通常進(jìn)行的各種方法，只要是例如X射線光電子分光法(X—rayPhotoelectronSpectroscopy,也稱為ESCA(化學(xué)分析用電子能譜(ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis))。)、熒光X射線分析法、質(zhì)量分析法等能夠定量地測定表面的氟量的方法即可，沒有特別限定。作為這樣的濕潤性變化層中使用的材料，只要是上述的濕潤性變化層的濕潤性即利用能量照射而在對置的光催化劑含有層中的光催化劑的作用下濕潤性發(fā)生變化的材料而且具有在光催化劑的作用下難以發(fā)生劣化、分解的主鏈的材料即可，沒有特別限定，具體而言，可以舉出聚有機(jī)硅氧烷等。在本發(fā)明中，其中，上述聚有機(jī)硅氧烷優(yōu)選為含有氟烷基的聚有機(jī)硅氧烷。作為這樣的聚有機(jī)硅氧烷，例如可以舉出<1>利用溶膠凝膠反應(yīng)等水解、縮聚氯或烷氧基硅烷等從而發(fā)揮出較大的強(qiáng)度的聚有機(jī)硅氧烷，<2>使疏水性或疏油性出色的反應(yīng)性硅酮交聯(lián)而成的聚有機(jī)硅氧烷等聚有機(jī)硅氧烷。上述(1)的情況下，優(yōu)選為通式Y(jié)nSiX(4-n)(在此，Y表示垸基、氟烷基、乙烯基、氨基、苯基或環(huán)氧基，X表示烷氧基、乙?；螓u素。n為03的整數(shù)。)表示的硅化合物的一種以上的水解縮合物或者作為共水解縮合物的聚有機(jī)硅氧烷。其中，在此用Y表示的基團(tuán)的碳原子數(shù)優(yōu)選在120的范圍內(nèi)，另外，用X表示的烷氧基優(yōu)選為甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基。另外，可以特別優(yōu)選使用含有氟烷基的聚有機(jī)硅氧烷，具體而言，可以舉出下述氟垸基硅烷的一種以上的水解縮合物、共水解縮合物，可以使用通常作為氟系硅烷偶合劑公知的物質(zhì)。CF3(CF2)3CH2CH2Si(OCH3)3、CF3(CF2)5CH2CH2Si(OCH3)3、CF3(CF2)7CH2CH2Si(OCH3)3、CF3(CF2)9CH2CH2Si(OCH3)3、(CF3)2CF(CF2)4CH2CH2Si(OCH3)3、(CF3)2CF(CF2)6CH2CH2Si(OCH3)3、(CF3)2CF(CF2)8CH2CH2Si(OCH3)3、CF3(C6H4)C2H4Si(OCH3)3、CF3(CF2)3(C6H4)C2H4Si(OCH3)3、CF3(CF2)5(C6H4)C^Si(OCH3)3、CF3(CF2)7(C6H4)C2H4Si(OCH3)3、CF3(CF2)3CH2CH2SiCH3(OCH3)2、CF3(CF2)5CH2CH2SiCH3(OCH3)2、CF3(CF2)7CH2CH2SiCH3(OCH3)2、CF3(CF2)9CH2CH2SiCH3(OCH3)2、(CF3)2CF(CF2)4CH2CH2SiCH3(OCH3)2、(CF3)2CF(CF2)6CH2CH2SiCH3(OCH3)2、(CF3)2CF(CF2)8CH2CH2SiCH3(OCH3)2、CF3(C6H4)C2H4SiCH3(OCH3)2、CF3(CF2)3(C6H4)C2H4SiCH3(OCH3)2、CF3(CF2)5(C6H4)C2H4SiCH3(OCH3)2、CF3(CF2)7(C6H4)C2H4SiCH3(OCH3)2、CF3(CF2)3CH2CH2Si(OCH2CH3)3、CF3(CF2)5CH2CH2Si(OCH2CH3)3、CF3(CF2)7CH2CH2Si(OCH2CH3)3、CF3(CF2)9CH2CH2Si(OCH2CH3)3;以及CF3(CF2)7S02N(C2H5)C2H4CH2Si(OCH3)3。通過將如上所述的含氟烷基的聚有機(jī)硅氧垸用作粘合劑，可以極大地提高濕潤性變化層的能量未照射部的疏水性，在全面涂敷濕水的情況下，避免濕水的附著成為可能。另外，上述物質(zhì)為親墨液性，所以作為形成著色部的著色部形成用涂敷液，涂敷油性的墨液等成為可能。另外，在作為能量照射部的親水性區(qū)域附著濕水成為可能。另外，作為上述<2〉的反應(yīng)性硅酮，可以舉出具有下述通式(2)表示的骨架的化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage43</formula>(通式2)其中，在通式(2)中，n為2以上的整數(shù)，R1、f分別為碳原子數(shù)為110的取代或無取代的烷基、鏈烯基、芳基或者氰烷基，以摩爾比整體的40%以下為乙烯基、苯基、鹵素化苯基。另夕卜，R1、W為甲基時，表面能量變得最小，所以優(yōu)選，以摩爾比優(yōu)選甲基為60%以上。另外，在鏈末端或側(cè)鏈，在分子鏈中至少具有1個以上羥基等反應(yīng)性基。另外，也可以與上述聚有機(jī)硅氧烷一起，混合二甲基聚硅氧烷之類的不發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)的穩(wěn)定的聚有機(jī)硅氧烷化合物。在本發(fā)明中，這樣可以將聚有機(jī)硅氧烷等各種材料用于濕潤性變化層，如上所述，在濕潤性變化層中含有氟對于形成濕潤性的圖案是有效的。因而，可以說優(yōu)選在光催化劑的作用下難以發(fā)生劣化，分解的材料中含有氟具體而言在聚有機(jī)硅氧烷材料中含有氟從而成為濕潤性變化層。可以在本發(fā)明中的濕潤性變化層中進(jìn)一步含有表面活性劑。具體而言，可以舉出日光亇《力少X'(株)制NIKKOLBL、BC、BO、BB的各系列等烴系，杜邦(f二求乂)公司制ZONYLFSN、FSO，旭哨子(株)制寸一7口乂S—141、145，大日本油墨(一y年)化學(xué)工業(yè)(株)制乂力、77、乂夕F—141、144，氺才7(株)制7夕一-工卜F—200、F251，夕、V年y工業(yè)(株)制工二夕VyDS—401、402，7y—工厶(株)制7口，一KFC—170、176等氟系或者硅酮系的非離子表面活性劑，另外還可以使用陽離子系表面活性劑、陰離子系表面活性劑、兩性表面活性劑。另外，除了上述表面活性劑以外，也可以在濕潤性變化層中含有聚乙烯醇、不飽和聚酯、丙烯酸樹脂、聚乙烯、鄰苯二甲酸二丙烯酯、乙烯丙烯雙烯單體、環(huán)氧樹脂、苯酚樹脂、聚氨酯、三聚氰胺樹脂、聚碳酸酯、聚氯乙烯、聚酰胺、聚酰亞胺、苯乙烯丁二烯橡膠、氯丁二烯橡膠、聚丙烯、聚丁烯、聚苯乙烯、聚醋酸乙烯、聚酯、聚丁二烯、聚苯并咪唑、聚丙烯腈、表氯醇、聚硫化物、聚異戊二烯等寡聚物，聚合物等。這樣的濕潤性變化層可以通過將上述成分與根據(jù)需要的其他添加劑一起分散于溶劑中，配制涂敷液，在透明基材上涂敷該涂敷液來形成。作為使用的溶劑，優(yōu)選乙醇、異丙醇等醇系有機(jī)溶劑?？梢岳眯俊娡?、浸涂、輥涂、珠涂敷等公知的涂敷方法進(jìn)行涂敷。另外，在含有紫外線固化型的成分的情況下，可以通過照射紫外線進(jìn)行固化處理來形成濕潤性變化層。另外，本發(fā)明中使用的濕潤性變化層只要是用表面的濕潤性可以在光催化劑的作用下發(fā)生變化的材料形成的層，可以為具有自身支持性的材料，也可以為不具有自身支持性的材料。其中，在本發(fā)明中所述"具有自身支持性"是指沒有其他支撐材料而可以以有形的狀態(tài)存在。在濕潤性變化層為具有自身支持性的材料的情況下，例如可以使用由能夠成為濕潤性變化層的材料構(gòu)成的市售的樹脂制薄膜，在經(jīng)濟(jì)方面是有利的。作為這樣的材料，將上述材料制膜而成的材料只要具有自身支持性的材料，可以使用，例如可以舉出聚乙烯、聚碳酸酯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚酯、聚氟乙烯、縮醛樹脂、尼龍、ABS、PTFE、甲基丙烯酸(酯)樹脂、苯酚樹脂、聚偏氟乙烯、聚氧甲烯、聚乙烯醇、聚氯乙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、硅酮等。本發(fā)明中的濕潤性變化層優(yōu)選為沒有自身支持性的濕潤性變化層。這是因為，用上述濕潤性大幅度地變化的材料形成的濕潤性變化層通常具有自身支持性的材料很少。在本發(fā)明中，可以通過使用上述成分的濕潤性變化層，在光催化劑含有層中的光催化劑的作用下，使用作為上述成分的一部分的有機(jī)基的氧化、分解等作用，使能量照射部的濕潤性發(fā)生變化，成為親水性，與能量未照射部的濕潤性產(chǎn)生很大差異。因而，可以使只在親水性區(qū)域涂敷濕水成為可能，另外，容易地只在疏水性區(qū)域形成著色部也變得可能，所以以容易的工序制造已形成高精細(xì)的著色部的濾色片成為可能。此外，如上所述，本發(fā)明中使用的濕潤性變化層只要是在光催化劑的作用下濕潤性發(fā)生變化的層即可，沒有特別限定，特別優(yōu)選為不含有光催化劑的層。例如在濕潤性變化層中含有光催化劑的情況下，在后述的濕水涂敷工序或著色部形成工序中，在明處進(jìn)行作業(yè)的情況下，在因濕水而被高靈敏度化的光催化劑的作用下，濕潤性變化層的濕潤性發(fā)生變化，高精細(xì)地形成著色部可能會變得困難。這是因為，在本發(fā)明中，只要在濕潤性變化層中含有光催化劑，就不必?fù)?dān)心如上所述的問題，所以可以利用簡便的裝置制造濾色片，另外，在后面用作濾色片的情況下，不必?fù)?dān)心經(jīng)時地受到影響，可以長時間毫無問題地使用。在上述(1)(5)的疏水處理方法中，從"工序的簡便"的觀點出發(fā)，特別優(yōu)選(3)利用等離子的疏水處理方法。(各像素的形成)本發(fā)明的濾色片的制造方法是在所述基板上具有利用所述深色隔離壁的制造方法制造的深色隔離壁和具有2種以上顏色的由多種像素構(gòu)成的像素組的濾色片的制造方法，其特征在于，所述多個像素是在形成所述深色隔離壁之后，將著色液體組合物賦予所述深色隔離壁間形成的。艮P，相對利用所述顯影工序在基板上形成的深色隔離壁間的空隙，向該空隙賦予用于形成2種以上像素(例如RGB各像素)的著色液體組合物從而形成具有2種以上顏色的顏色的多種像素。作為向隔離壁間隙侵入該著色液體組合物的方法，可以使用噴墨法或條紋刮刀(《一廿一)涂敷法等公知的涂敷法，經(jīng)濟(jì)上優(yōu)選噴墨法。另外，在這樣形成各像素之前，也可以固定化深色隔離壁的形狀，對其手段沒有特別限定，可以舉出如下所述的手段。即，1)顯影后進(jìn)行再曝光(有時稱為后曝光)、2)顯影后以較低的溫度加熱處理等。在此所述的加熱處理是指在電爐、干燥器等中加熱具有深色隔離壁的基板或者照射紫外線燈。在此，進(jìn)行上述l)時的曝光量如果在大氣下，為5003000mJ/cm2、優(yōu)選為10002000mJ/cm2，另外，同樣進(jìn)行2)時的加熱溫度為50120。C，優(yōu)選為7010(TC左右，其加熱時間為1040分鐘左右。溫度低于50。C的情況下，深色隔離壁的固化可能會沒有進(jìn)展，大于12(TC的情況下，深色隔離壁形狀可能會走樣。作為用于形成各像素而使用的噴墨法，可以使用使墨液熱固化的方法、使其光固化的方法、預(yù)先在基板上形成透明的受像層然后噴出液滴的方法等公知的方法。優(yōu)選在形成各像素之后，設(shè)置進(jìn)行加熱處理(所謂的烘焙處理)的加熱工序。g卩，在電爐、干燥器等中加熱具有在光照射下發(fā)生共聚合的層的基板或者照射紅外線燈。加熱的溫度及時間依賴于深色組合物的組成或形成的層的厚度，但通常從獲得充分的耐溶劑性、耐堿性以及紫外線吸光度的觀點出發(fā)，優(yōu)選以約12(TC約250"C加熱約10分鐘約120分鐘。對這樣形成的濾色片的圖案形狀沒有特別限定，可以為通常的黑矩陣形狀的條紋狀或柵格狀，進(jìn)而也可以為三角陣列狀。(噴墨方式)作為本發(fā)明中使用的噴墨方式，可以采用連續(xù)地噴射帶電的墨液并利用電場控制的方法、使用壓電元件間歇地噴射墨液的方法、加熱墨液并利用其發(fā)泡間歇地噴射的方法等各種方法。使用的墨液可以使用油性或水性的墨液。另外，該墨液中含有的著色材料在染料、顏料中均可以使用，從耐久性的方面出發(fā)，更優(yōu)選顏料的使用。另外，也可以使用公知的濾色片制作中使用的涂敷方式的著色墨液(著色樹脂組合物，例如特開2005—3861號公報記載)或特開平IO—195358號公報中記載的噴墨用組合物?？紤]到著色后的工序，本發(fā)明中的墨液也可以添加在加熱下固化或者在紫外線等能量標(biāo)線的作用下固化的成分。作為在加熱下固化的成分，可以廣泛使用各種熱固化性樹脂，另外作為在能量標(biāo)線的作用下固化的成分，例如可以例示在丙烯酸酯衍生物或甲基丙烯酸酯衍生物中添加光反應(yīng)引發(fā)劑的成分。特別是考慮到耐熱性，更優(yōu)選在分子內(nèi)具有多個丙烯酰基、甲基丙烯?；?。這些丙烯酸酯衍生物、甲基丙烯酸酯衍生物可以優(yōu)選使用為水溶性的化合物，即使在水中為難溶性，也可以進(jìn)行乳液化等使用。這種情況下，可以優(yōu)選使用在上述<深色組合物>的項中舉出的含有顏料等著色劑的深色組合物。另外，作為可以在本發(fā)明中使用墨液，也可以優(yōu)選使用至少含有粘合劑以及含有2官能或3官能的含環(huán)氧基單體的濾色片用熱固化性墨液。本發(fā)明中的濾色片優(yōu)選為用噴墨方式形成像素的濾色片優(yōu)選噴RGB3種顏色墨液形成3種顏色濾色片。該濾色片可以與液晶顯示元件、電泳顯示元件、電致彩色發(fā)光顯示元件、PLZT等組合，用作顯示元件。也可以用于彩色照相機(jī)或其他使用濾色片的用途中。(夕卜涂(overcoat)層)在制作濾色片之后，也可以為了提高耐溶劑性或平坦性而全面地設(shè)置外涂層。外涂層可以保護(hù)墨液R、G、B的固化層，同時使表面平坦。但從工序數(shù)增加的角度出發(fā)，優(yōu)選不設(shè)置。作為形成外涂層的樹脂(OC劑)，可以舉出丙烯酸系樹脂組合物、環(huán)氧樹脂組合物、聚酰亞胺樹脂組合物等。其中，從在可見光區(qū)域的透明性出色、濾色片用光固化性組合物的樹脂成分通常以丙烯酸系樹脂為主要成分、粘附性出色的角度出發(fā)，優(yōu)選丙烯酸系樹脂組合物。作為外涂層的例子，可以舉出特開2003—287618號公報的段落編號中記載的例子，或作為外涂劑的市售品，可以舉出JSR公司制的歐普特馬(才7。卜7—)SS6699G。作為本發(fā)明的顯示裝置，是指液晶顯示裝置、等離子顯示器顯示裝置、EL顯示裝置、CRT顯示裝置等顯示裝置等。顯示裝置的定義或各顯示裝置的說明被記載于例如"電子顯示器設(shè)備(佐佐木昭夫著，(株)工業(yè)調(diào)査會1990年發(fā)行)"、"顯示器設(shè)備(伊吹順章著，產(chǎn)業(yè)圖書(株)平成元年發(fā)行)"等。本發(fā)明的顯示裝置特別優(yōu)選為液晶顯示裝置。對于液晶顯示裝置，例如被記載于"下一代液晶顯示器技術(shù)(內(nèi)田龍男編集，(株)工業(yè)調(diào)査會1994年發(fā)行)"。對本發(fā)明可以適用的液晶顯示裝置沒有特別限制，例如可以適用于所述"下一代液晶顯示器技術(shù)"中記載的各種方式的液晶顯示裝置。本發(fā)明在這些中特別相對彩色TFT方式的液晶顯示裝置是有效的。對于彩色TFT方式的液晶顯示裝置，例如被記載于"彩色TFT液晶顯示器(共立出版(株)1996年發(fā)行)"。進(jìn)而本發(fā)明當(dāng)然也可以適用于IPS等橫電場驅(qū)動方式、MVA等像素分割方式等視角被擴(kuò)大的液晶顯示裝置。對于這些方式，例如被記載于"EL、PDP、LCD顯示器技術(shù)與市場的最新動向(東利研究中心(東l/!J廿一^七y夕一)調(diào)查研究部門2001年發(fā)行)"的43頁。液晶顯示裝置除了濾色片以外，由電極基板、偏振光薄膜、相位差薄膜、背光燈、間隔件(spacer)、視角補(bǔ)償薄膜等各種構(gòu)件構(gòu)成。本發(fā)明的黑矩陣可以適用于由這些公知的構(gòu)件構(gòu)成的液晶顯示裝置。對于這些構(gòu)件，例如記載于"'94液晶顯示器外圍材料化學(xué)藥品(chemicals)的市場(島健太郎(株)、乂一工厶、乂一(CMC)1994年發(fā)行)"、"2003液晶相關(guān)市場的現(xiàn)狀與將來展望(下巻)(表良吉(株)富士季美樂(年乂，))總研2003年發(fā)行)"。本發(fā)明的濾色片可以在例如電視、個人電腦、液晶投影儀、游戲機(jī)、移動電話等便攜終端、數(shù)碼相機(jī)、汽車導(dǎo)航儀等用途沒有特別限制地優(yōu)選適用。以下舉出實施例對本發(fā)明進(jìn)行更具體地說明。本發(fā)明不被這些實施例所限定。此外，只要不是特別斷定，及"份"表示"質(zhì)量。/^"及"質(zhì)量份"，"分子量"是指重均分子量。A.第一實施方式實施例Al在厚度為16pm的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(帝人杜邦薄膜株式會社制，亍卜口y(注冊商標(biāo))G2)臨時支撐體上，使用縫隙狀噴嘴，涂敷、干燥下述深色組合物K1。這樣，在臨時支撐體上設(shè)置干燥膜厚2.2pm的深色感光性樹脂層，最后壓粘保護(hù)薄膜(厚12pm聚丙烯薄膜)。這樣制作臨時支撐體和深色感光性樹脂層成為一體的深色感光性轉(zhuǎn)印材料，樣品名為深色感光性轉(zhuǎn)印材料K1。深色組合物可以通過如下所述得到，即首先通過量取下述深色組合物Kl配方中記載的量的炭黑分散液、丙二醇一甲醚乙酸酯，在溫度24。C(士2。C)下混合，以150rpm攪拌IO分鐘，接著，量取甲基乙基甲酮、粘合劑P—l、氫醌一甲醚、DPHA液、2，4一雙(三氯甲基)一6—[4'一(N，N—雙乙氧基羰基甲基氨基)一3，一溴苯基]一s—三嗪、表面活性劑1，在溫度25。C(土2。C)下依次添加，在溫度40。C(土2。C)下150rpm下攪拌30分鐘。<深色組合物配方K1>炭黑分散液丙二醇一甲醚乙酸酯甲基乙基甲酮粘合劑P—1氫醌一甲醚DPHA液25份8份53份9.1份0,002份4.2份2，4一雙(三氯甲基)一6—[4，一(N，N—雙乙氧基羰基甲基氨78/22摩爾比的無規(guī)共聚27%73%聚合物(甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸二72/28摩爾比的無規(guī)共聚物，分子量3.7萬)6.72%丙二醇一甲醚乙酸酯79.53%〈粘合劑P—1〉*聚合物(甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯糜物，分子量3.8萬)丙二醇一甲醚乙酸酯〈DPHA液>二季戊四醇六丙烯酸酯(含有抗聚合劑MEHQ500ppm，日本化藥(株)帝ij，商品名KAYARADDPHA)76%丙二醇一甲醚乙酸酯24%<表面活性劑1>下述結(jié)構(gòu)物130%基)一3，一溴苯基]一s一三嗪0,16份表面活性劑10.045份<炭黑分散液>炭黑(迪克森(f夕、、、7廿)公司制Nipex35)13.1%下述分散劑0.65%[化3]分散劑甲基乙基甲酮結(jié)構(gòu)物l<formula>formulaseeoriginaldocumentpage51</formula>PO:環(huán)氧丙烷，EO:環(huán)氧乙烷)(隔離壁的形成)利用噴淋，向無堿玻璃基板上噴出20秒已調(diào)整為25°。的玻璃洗滌劑液，同時用具有尼龍毛的旋轉(zhuǎn)刷清洗，純水噴淋清洗之后，利用噴淋，噴出有機(jī)硅垸偶合劑液(N—卩(氨基乙基)Y—氨基丙基三甲氧基硅烷0.3質(zhì)量％水溶液，商品名KBM603,信越化學(xué)工業(yè)(株)制)20秒，用純水噴淋清洗。用基板預(yù)備加熱裝置，在100'C下加熱該基板2分鐘。從所述深色感光性轉(zhuǎn)印材料Kl除去保護(hù)薄膜，使用層合機(jī)((株)日立工業(yè)(Y乂夕'7卜y^f父)制(LamicII型))，向上述以10(TC加熱2分鐘的基板，以橡膠輥溫度130°C、線壓100N/cm、輸送速度2.2m/分鐘層壓。不剝離臨時支撐體，用具有超高壓汞燈的近接式曝光機(jī)(日立高科技電子工程(株)制)，以臨時支撐體與掩模(具有圖像圖案的石英曝光掩模)垂直立起的狀態(tài)，設(shè)定曝光掩模面與該臨時支撐體之間的距離為200|im，以曝光量70mJ/cn^進(jìn)行圖案曝光。接著，在剝離所述臨時支撐體之后，用噴淋噴嘴噴霧純水，使深色感光性樹脂層Kl的表面均一地濕潤之后，以23。C、80秒、扁平噴嘴壓力0.04MPa，用KOH系顯影液(KOH，含有非離子表面活性劑，商品名CDK—1，富士膠片電子綜合材料(7一/l/厶工P夕卜口二夕77亍U了/kX)公司制)進(jìn)行噴淋顯影，得到圖案結(jié)構(gòu)圖像。接著，用超高壓清洗噴嘴，在9.8MPa的壓力下噴射超純水，除去殘余物，在大氣下、曝光量2000mJ/cm2，進(jìn)行后曝光，進(jìn)行220°C30分鐘的加熱處理，得到光學(xué)濃度4.5的隔離壁。用接觸膜厚計(Tencor公司制觸針式表面粗糙度計PIO，JISB0601)測定這樣得到的隔離壁的表面凹凸，結(jié)果表面粗糙度值Ra為6.0nm，隔離壁的高度為2.0(im。對于本發(fā)明中的實施例以及比較例的所述隔離壁的光學(xué)濃度(以下也稱為"透過光學(xué)濃度"。)，如下所述地測定。.使用利用實施例及比較例形成了深色隔離壁的材料，在透明基板上形成相同厚度的層，不曝光成圖案狀，除此以外，經(jīng)歷與各實施例及比較例相同的工序，得到測定用的樣品(膜狀)。接著，使用分光光度計(島津制作所制，UV—2100)，以555nm測定所述樣品的透過光學(xué)濃度(OD)。用相同的方法另外測定玻璃基板的透過光學(xué)濃度(0DC)，將從OD減去ODo所得的值作為深色隔離壁的透過光學(xué)濃度。在形成隔離壁的基板上，使用陰極(cathode)偶聯(lián)方式平行平板型等離子處理裝置，在以下的條件下，進(jìn)行等離子疏水化處理。使用氣體CF4氣體流量80sccm壓力40PaRF功率50W處理時間30sec[像素用著色墨液組合物的配制]下述成分中，首先混合顏料、高分子分散劑及溶劑，使用3根輥和砂磨機(jī)(beadsmill)，得到顏料分散液。用高速分散器等充分地攪拌該顏料分散液，并同時每次少量地添加其他材料，配制紅色(R)像素用著色墨液組合物(也可以簡稱為"墨液"。)。<紅色像素用著色墨液組合物的組成>顏料(C.I.顏料紅254)5份高分子分散劑(AVECIA公司制乂/l^八。一724000)l份粘合劑(甲基丙烯酸縮水甘油酯一苯乙烯共聚物)3份第一環(huán)氧樹脂(酚醛清漆型環(huán)氧樹脂，油化殼公司制工匕?！骋徊?54)2份上述成分中，使用JIS—K6768中規(guī)定的濕潤試驗中所示的標(biāo)準(zhǔn)液，使作為溶劑的3—乙氧基丙酸乙酯的液滴接觸，測定30秒后的接觸角(e)，相對利用奇斯曼曲線(-77乂7°口:y卜)的曲線圖求得的臨界表面張力為30mN/m的試片的表面的接觸角為18°，而且相對臨界表面張力為70mN/m的試片的表面的接觸角為0°。另外，在同樣的試驗中，作為第二環(huán)氧樹脂的新戊二醇二縮水甘油醚的臨界表面張力為30mN/m的試片表面的接觸角為37°,而且相對臨界表面張力為70mN/m的試片表面的接觸角為0°。進(jìn)而，代替上述組成中的C丄顏料紅254，使用同量C丄顏料綠36，除此以外，與紅色(R)像素部著色墨液組合物的情況相同地進(jìn)行，配制綠色(G)紅色像素用著色墨液組合物。進(jìn)而，代替上述組成中的C丄顏料紅254，使用同量C丄顏料藍(lán)15:6，除此以外，與紅色(R)像素部著色墨液組合物的情況相同地進(jìn)行，配制藍(lán)色(B)像素用著色墨液組合物。(像素的形成)接著，使用上述記載的R、G、B像素用著色墨液組合物，在上述得到的圖像形成用基板的用隔離壁區(qū)分的區(qū)域內(nèi)(被凸部包圍的凹部)，使用噴墨方式的記錄裝置，噴出需要濃度的墨液組合物，制作由R、G、B的圖案構(gòu)成的濾色片。在23(TC烤箱中，烘焙30分鐘圖像著色后的濾色片，使黑矩陣、各像素均完全地固化。這樣得到的濾色片的構(gòu)成各像素的墨液恰好容納于隔離壁間隙中，找不到成為與相鄰像素的混色等缺陷的不良。這可能是因為通過使用本發(fā)明，隔離壁表面的墨液的濕潤性降低。第二環(huán)氧樹脂(新戊二醇二縮水甘油醚)固化劑(苯偏三酸)溶劑3—乙氧基丙酸乙酯5份4份80份在利用上述得到的濾色片基板的R像素、G像素及B像素以及黑矩陣上，利用濺射進(jìn)一步形成銦錫氧化物(ITO:IndiumTinOxide)的透明電極。另外，再準(zhǔn)備玻璃基板作為對置基板，向濾色片基板的透明電極上及對置基板上分別用PVA模式用抗蝕阻劑(etchingresist),實施圖案形成。測定該已形成ITO的濾色片的ITO電阻(三菱油化"口k7夕"，用四探針法測定片材電阻)，結(jié)果為12Q/口。接著，在相當(dāng)于所述ITO的透明電極上的隔離壁的上部的部分設(shè)置光敏間隙材(photospacer)，其上進(jìn)一步設(shè)置聚酰亞胺構(gòu)成的取向膜。然后，在相當(dāng)于周圍設(shè)置成包圍濾色片的像素組的黑矩陣外框的位置，印刷環(huán)氧樹脂的密封劑，滴下PVA模式用液晶，使其與對置基板貼合后，向己貼合的基板進(jìn)行熱處理，使密封劑固化。在這樣得到的液晶單元的兩面上，貼上(株)三立磁(寸乂^、7，)制的偏振片HLC2—2518。接著，構(gòu)成冷陰極管的背光燈(backlight),配置在設(shè)有上述偏振片的液晶單元的成為背面的一側(cè)，作為液晶顯示裝置。實施例A2將在實施例Al中使用的臨時支撐體變更成厚度為50pm的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(帝人杜邦薄膜株式會社制，x卜口y(注冊商標(biāo))G2)，除此以外，用與實施例Al同樣的方法，作成帶ITO透明電極的濾色片。這樣得到的濾色片的構(gòu)成各像素的墨液恰好容納于深色隔離壁間隙中，找不到成為與相鄰像素的混色等缺陷的不良。這可能是因為通過使用本發(fā)明，隔離壁表面的墨液的濕潤性降低。另外，測定濾色片的ITO電阻(三菱油化"口l/7夕"，用四探針法測定片材電阻)，結(jié)果為17Q/口。結(jié)果如表l所示。實施例A3在實施例A1中，將等離子疏水化處理變更成以下方法，除此以外，與實施例A1同樣地進(jìn)行，制作帶隔離壁、ITO透明電極的濾色片，進(jìn)行同樣的評價。結(jié)果如表1所示。[利用涂敷法的疏水化處理]使用縫隙狀噴嘴，以膜厚2pm，在形成有隔離壁的基板上，涂敷預(yù)先內(nèi)添0.5質(zhì)量％(相對感光性樹脂的固體成分)氟系表面活性劑的堿可溶的感光性樹脂(八年7卜-亇八。y公司制，正型光致抗蝕劑AZP4210)，在溫風(fēng)循環(huán)干燥機(jī)中進(jìn)行9(TC、30分鐘的熱處理。接著，以110mJ/cm2(38mW/cm2X2.9秒)的曝光量，從形成有隔離壁的基板背面，經(jīng)由隔離壁，進(jìn)行曝光。接著，在無機(jī)堿顯影液(八年7卜-卞/《乂公司制，AZ400Kx^口、7,—，1:4)中浸漬、搖動80秒，然后在純水中沖洗處理3060秒，在隔離壁上形成疏水性樹脂層。形成疏水性樹脂層之后的像素內(nèi)外的表面能量在像素外(樹脂層上)為1015dyne/cm，在像素內(nèi)(玻璃基板上)為55dyne/cm左右。比較例Al在實施例A1中，剝離臨時支撐體，然后將曝光掩模面與深色感光性樹脂層之間的距離設(shè)定成200pm，變更成圖案曝光的方法，除此以外，與實施例A1同樣地，制作帶隔離壁、ITO的透明電極的濾色片，進(jìn)行相同的評價。結(jié)果如表1所示。比較例A2在比較例A1中，在進(jìn)行等離子疏水化處理之前，補(bǔ)加下述的"干蝕刻處理"，除此以外，用與比較例A1相同的方法，制作帶隔離壁、ITO的透明電極的濾色片，進(jìn)行相同的評價。結(jié)果如表l所示。在形成隔離壁的上述基板(帶隔離壁的基板)上，按照特開2001—343518號公報的段落編號，使用陰極(cathode)偶聯(lián)方式平行平板型等離子處理裝置，在以下的條件下，進(jìn)行干蝕刻處理。使用氣體02氣體流量80sccm壓力8PaRF功率150W處理時間30sec與實施例Al同樣地在著色R、G、B像素之后，以相同的條件進(jìn)行烘焙之后，墨液跨越隔離壁，發(fā)生與相鄰像素的混色。另外，與實施例同樣地測定ITO電阻，結(jié)果為24Q/口。對在上述得到的實施例以及比較例的帶隔離壁、ITO透明電極的濾色片，用下述方法進(jìn)行與相鄰像素的混色評價。一與相鄰像素的混色評價一用光學(xué)顯微鏡，從厚度方向像素形成側(cè)，目視觀察所述濾色片，對混色進(jìn)行評價?；焐脑u價標(biāo)準(zhǔn)為在像素內(nèi)可見顏色的混雜而且觀察濾色片(光學(xué)元件)內(nèi)的ioo個像素同時在深色隔離壁上面殘留墨液的情況，為有混色，不是上述情況時為沒有混色。[表l]_<table>tableseeoriginaldocumentpage56</column></row><table>利用本發(fā)明的第一實施方式的濾色片的制造方法的實施例A1A3的濾色片也沒有混色，ITO電阻值低。另一方面，比較例A1A2的濾色片可見混色，ITO電阻值也低。從顯示良好的顯示特性的觀點出發(fā)，ITO電阻值越低越好。B.第二實施方式實施例B1用UV清洗裝置清洗無堿玻璃基板之后，使用清洗劑刷洗，進(jìn)而用超純水進(jìn)行超聲波清洗。12(TC下熱處理基板3分鐘，使表面狀態(tài)穩(wěn)定化。冷卻基板，溫調(diào)至23'C之后，用具有縫隙狀噴嘴的玻璃基板用涂敷機(jī)(coater)(FAS亞洲公司制，商品名MH—1600)，涂敷下述記載的組成構(gòu)成的深色感光性組合物K1。接著，用VCD(真空干燥裝置，東京應(yīng)化工業(yè)公司制)，干燥溶劑的一部分30秒，使涂敷層的流動性消失，然后在12(TC下預(yù)烘焙(prebake)3分鐘，得到膜厚2.2pm的感光層Kl。[深色感光性組合物的配制]深色感光性組合物可以通過如下所述得到，即首先通過量取下述深色感光性組合物K1配方中記載的量的炭黑分散液、丙二醇一甲醚乙酸酯，在溫度24。C(士2。C)下混合，以150rpm攪拌IO分鐘，接著，量取甲基乙基甲酮、粘合劑P—1、氫醌一甲醚、DPHA液、2，4一雙(三氯甲基)—6—[4，一(N，N—雙乙氧基羰基甲基)氨基一3，一溴苯基]一s—三嗪、表面活性劑，在溫度25。C(±2°C)下依次添加，在溫度40。C(±2°C)下以150rpm攪拌30分鐘。<深色感光性組合物配方K1>炭黑分散液丙二醇一甲醚乙酸酯甲基乙基甲酮粘合劑P—1*氫醌一甲醚DPHA液2，4一雙(三氯甲基)一6—[4，—氨基一3，一溴苯基]一s—三嗪表面活性劑<炭黑分散液>*炭黑(迪克森(X夕、、:y廿)公司制Nipex35)13.1%*分散劑0.65%25份8份53份9.1份0.002份4.2份(N，N—雙乙氧基羰基甲基)0.16份0.045份<formula>formulaseeoriginaldocumentpage58</formula>聚合物(甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸二72/28摩爾比的無規(guī)共聚物，分子量3.7萬)6.72°%丙二醇一甲醚乙酸酯79.53%〈粘合劑P—1〉聚合物(甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸=78/22摩爾比的無規(guī)共聚物，分子量3.8萬)27%.丙二醇一甲醚乙酸酯73%〈DPHA液>二季戊四醇六丙烯酸酯(含有抗聚合劑MEHQ500ppm，日本化藥(株)制，商品名76%KAYARADDPHA)丙二醇一甲醚乙酸酯<表面活性劑1>下述結(jié)構(gòu)物1甲基乙基甲酮結(jié)構(gòu)物l—(CH2—CH)40—<formula>formulaseeoriginaldocumentpage58</formula>(n二6，x=55，y=5，Mw=33940，Mw/Mn二2.55PO:環(huán)氧丙烷，E0:環(huán)氧乙垸)接著，在感光層Kl上涂敷、干燥有下述組成構(gòu)成的阻氧層用涂敷液，設(shè)置膜厚為1.6微米的阻氧層P1。<阻氧層用涂敷液配方P1〉PVA205(聚乙烯醇，(株)庫里拉(夕，k)制，皂化度二88%，聚合度550)用具有超高壓汞燈的近接式曝光機(jī)(日立高科技電子工程公司制)，以基板與掩模(具有圖像圖案的石英曝光掩模)垂直立起的狀態(tài)，設(shè)定曝光掩模面與阻氧層Pl之間的距離為200pm，以曝光量70mJ/cn^進(jìn)行圖案曝光。接著，用噴淋噴嘴噴霧純水，使深色感光層Kl的表面均一地濕潤之后，以23。C、80秒、扁平噴嘴壓力0.04MPa，用KOH系顯影液(KOH，含有非離子表面活性劑，商品名CDK—1，富士膠片電子綜合材料(7j少厶工^夕卜口二夕77亍y7W乂')公司制)進(jìn)行噴淋顯影，得到圖案結(jié)構(gòu)圖像。接著，用超高壓清洗噴嘴，在9.8MPa的壓力下噴射超純水，除去殘余物，在大氣下、曝光量2000mJ/cm2，進(jìn)行后曝光，進(jìn)行22CTC30分鐘的加熱處理，得到光學(xué)濃度4.5的隔離壁。用接觸膜厚計(Tencor公司制觸針式表面粗糙度計P10)測定這樣得到的隔離壁的表面凹凸，結(jié)果Ra為2.2nm，隔離壁的高度為2.0|im。對于光學(xué)濃度，使用利用實施例及比較例形成了深色隔離壁的材料，在透明基板上形成相同厚度的層，不曝光成圖案狀，除此以外，經(jīng)歷與各實施例及比較例相同的工序，得到測定用的樣品(膜狀)。使用分光光度計(島津制作所制，UV—2100)，以555nm測定其透過光學(xué)濃度(OD)。32.2份*聚乙烯吡咯垸酮(愛格日本公司制，K一30)蒸餾水甲醇14.9份524份429份用相同的方法另外測定玻璃基板的透過光學(xué)濃度(ODo)，將從OD減去ODo所得的值作為深色隔離壁的透過光學(xué)濃度。在形成隔離壁的基板上，使用陰極偶聯(lián)方式平行平板型等離子處理裝置，在以下的條件下，進(jìn)行等離子疏水化處理。使用氣體CF4氣體流量80sccm壓力40PaRF功率50W處理時間30sec—像素用著色墨液的配制一下述成分中，首先混合顏料、高分子分散劑及溶劑，使用3根輥和砂磨機(jī)，得到顏料分散液。用高速分散器等充分地攪拌該顏料分散液，并同時每次少量地添加其他材料，配制紅色(R)像素用著色墨液組合物。<紅色像素用著色墨液的組成>顏料(C.I.顏料紅254)5份'高分子分散劑(AVECIA公司制乂少7八。一724000)l份粘合劑(甲基丙烯酸縮水甘油酯一苯乙烯共聚物)3份第一環(huán)氧樹脂(酚醛清漆型環(huán)氧樹脂，上述成分中，使用JIS—K6768中規(guī)定的濕潤試驗中所示的標(biāo)準(zhǔn)液，使作為溶劑的3—乙氧基丙酸乙酯的液滴接觸，測定30秒后的接觸角(e)，相對利用奇斯曼曲線(^77乂7°口、_y卜)的曲線圖求得的臨界表面張力為30mN/m的試片的表面的接觸角為18°，而且相對臨界表面張力為70mN/m的試片的表面的接觸角為0°。另外，在同樣的試驗中，作為第二環(huán)氧樹脂的新戊二醇二縮水甘油醚的臨界表面張力為30mN/m的試片表面的接觸角為37°，而且相對臨界表面張力為70mN/m的試片表面的接觸角為0°。，第二環(huán)氧樹脂(新戊二醇二縮水甘油醚)固化劑(苯偏三酸)*溶劑3—乙氧基丙酸乙酯油化殼公司制工匕。〕一卜154)2份5份4份80份進(jìn)而，代替上述組成中的C.I.顏料紅254，使用同量C丄顏料綠36，除此以外，與紅色像素用著色墨液組合物的情況相同地進(jìn)行，配制綠色(G)紅色像素用著色墨液組合物。進(jìn)而，代替上述組成中的C丄顏料紅254，使用同量C丄顏料藍(lán)15:6，除此以外，與紅色像素用著色墨液組合物的情況相同地進(jìn)行，配制藍(lán)色(B)像素用著色墨液組合物。接著，使用上述記載的R、G、B像素用著色墨液，在上述得到的圖像形成用基板的用隔離壁區(qū)分的區(qū)域內(nèi)(被凸部包圍的凹部)，使用噴墨方式的記錄裝置，噴出需要濃度的墨液組合物，制作由R、G、B的圖案構(gòu)成的濾色片。在23(TC烤箱中，烘焙30分鐘圖像著色后的濾色片，使黑矩陣、各像素均完全地固化。這樣得到的濾色片的構(gòu)成各像素的墨液恰好容納于隔離壁間隙中，找不到成為與相鄰像素的混色等缺陷的不良。這可能是因為通過使用本發(fā)明，隔離壁表面的墨液的濕潤性出乎預(yù)料地降低了。在利用上述得到的濾色片基板的R像素、G像素及B像素以及黑矩陣上，利用濺射進(jìn)一步形成銦錫氧化物(ITO:IndiumTinOxide)的透明電極。另外，再準(zhǔn)備玻璃基板作為對置基板，向濾色片基板的透明電極上及對置基板上分別實施PVA模式用圖案形成。測定該己形成ITO的濾色片的ITO電阻(三菱油化"口l^7夕"，用四探針法測定片材電阻)，結(jié)果為12Q/口。在相當(dāng)于所述ITO的透明電極上的隔離壁的上部的部分設(shè)置光敏間隙材，其上進(jìn)一步設(shè)置聚酰亞胺構(gòu)成的取向膜。然后，在相當(dāng)于周圍設(shè)置成包圍濾色片的像素組的黑矩陣外框的位置，印刷環(huán)氧樹脂的密封劑，同時滴下PVA模式用液晶，使其與對置基板貼合后，向已貼合的基板進(jìn)行熱處理，使密封劑固化。在這樣得到的液晶單元的兩面上，貼上(株)三立磁(廿y]j、乂，)制的偏振片HLC2—2518。接著，構(gòu)成冷陰極管的背光燈，配置在設(shè)有上述偏振片的液晶單元的成為背面的一側(cè)，作為液晶顯示裝置。實施例B2[感光性轉(zhuǎn)印材料的制作]在厚度為75pm的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜臨時支撐體上，使用縫隙狀噴嘴，涂敷、干燥下述配方H1構(gòu)成的熱塑性樹脂層用涂敷液。接著，涂敷、干燥由上述配方P1構(gòu)成的中間層用涂敷液。進(jìn)而，涂敷、干燥所述深色感光性組合物K1。這樣，在臨時支撐體上設(shè)置干燥膜厚14.6pm的熱塑性樹脂層和干燥膜厚為1.6pm的中間層、干燥膜厚為2.2pm的深色感光性樹脂層，最后壓粘保護(hù)薄膜(厚12pm聚丙烯薄膜)。這樣制作臨時支撐體和熱塑性樹脂層、中間層(阻氧膜)、黑矩陣(K)的深色感光性樹脂層成為一體的深色感光性轉(zhuǎn)印材料，樣品名為深色感光性轉(zhuǎn)印材料K1。<熱塑性樹脂層用涂敷液配方H1〉甲醇11.1份'丙二醇一甲醚乙酸酯6.36份甲基乙基甲酮52.4份甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸2—乙基己基酯/甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸共聚物(共聚合組成比(摩爾比)=55/11.7/4.5/28.8，分子量=10萬，Tg—70°C)5.83傷、*苯乙烯/丙烯酸共聚物(共聚合組成比(摩爾比)=63/37，分子量=1萬，Tg—100°C)13.6份向雙酚A脫水縮合2當(dāng)量季戊四醇一甲基丙烯酸酯所得的化合物新中村化學(xué)工業(yè)(株)制2，2—雙[4一(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基兩烷9.1份所述表面活性劑10.54份利用噴淋，向無堿玻璃基板上噴出20秒已調(diào)整為25'C的玻璃洗滌劑液，同時用具有尼龍毛的旋轉(zhuǎn)刷清洗，純水噴淋清洗之后，利用噴淋，噴出有機(jī)硅烷偶合劑液(N—卩(氨基乙基)Y一氨基丙基三甲氧基硅垸0.3質(zhì)量％水溶液，商品名KBM603，信越化學(xué)工業(yè)(株)制)20秒，用純水噴淋清洗。用基板預(yù)備加熱裝置，在10(TC下加熱該基板2分鐘，送至下一個層壓機(jī)。在剝離所述深色感光性轉(zhuǎn)印材料Kl的保護(hù)薄膜之后，使用層合機(jī)((株)日立工業(yè)(,乂夕'7卜U一乂)制(LamicII型))，向上述加熱至IO(TC的基板，以橡膠輥溫度130'C、線壓100N/cm、輸送速度2.2m/分鐘層壓。在與熱塑性樹脂層的界面剝離臨時支撐體之后，用具有超高壓汞燈的近接式曝光機(jī)(日立高科技電子工程(株)制)，以基板與掩模(具有圖像圖案的石英曝光掩模)垂直立起的狀態(tài)，設(shè)定曝光掩模面與該熱塑性樹脂層之間的距離為200pm，以曝光量70mJ/cn^進(jìn)行圖案曝光。接著，利用0.5XKOH水溶液進(jìn)行顯影，除去深色感光層的未曝光部分及其下的中間層、熱塑性樹脂層，在玻璃基板上得到黑矩陣圖案樣的深色隔離壁。接著，在大氣下，利用對準(zhǔn)器(aligner)，以曝光量2000mJ/cm2，對基板的表面到基板的全面進(jìn)行后曝光，進(jìn)行220。C30分鐘的熱處理，得到光學(xué)濃度4.5的隔離壁。用接觸膜厚計(Tencor公司制觸針式表面粗糙度計P10)測定這樣得到的深色隔離壁的表面凹凸，結(jié)果Ra為2.1nm，隔離壁的高度為2.0pm。接著，用與實施例B1相同的的方法實施等離子處理之后，使用噴墨裝置，作成R、G、B的像素，作成帶ITO透明電極的濾色片。這樣得到的濾色片的構(gòu)成各像素的墨液恰好容納于深色隔離壁間隙中，找不到成為與相鄰像素的混色等缺陷的不良。這可能是因為通過使用本發(fā)明，隔離壁表面的墨液的濕潤性出乎預(yù)料地降低了。另外，測定濾色片的ITO電阻(三菱油化"口^7夕"；用四探針法測定片材電阻)，結(jié)果為腦/口。實施例B3中間層的膜厚為0.4,，除此以外，與實施例B1同樣地進(jìn)行，制作帶隔離壁、ITO透明電極的濾色片，進(jìn)行同樣的評價。結(jié)果如表2所示。此外，Ra為3.5nm，隔離壁的高度為2.0pm。實施例B4中間層的膜厚為0.2pm，將等離子疏水處理化方法變更成以下方法，除此以外，與實施例B1同樣地進(jìn)行，制作帶隔離壁、ITO透明電極的濾色片，進(jìn)行同樣的評價。結(jié)果如表2所示。此外，Ra為4.7nm，隔離壁的高度為2.0nm。使用縫隙狀噴嘴，以膜厚2pm，在形成有隔離壁的基板上，涂敷預(yù)先內(nèi)添0.5質(zhì)量％(相對感光性樹脂的固體成分)氟系表面活性劑(住友3M公司制，7口，一KFC—430)的堿可溶的感光性樹脂(八年7卜"亇八°y公司制，正型光致抗蝕劑AZP4210)，在溫風(fēng)循環(huán)干燥機(jī)中進(jìn)行90°C、30分鐘的熱處理。接著，以110mJ/cm2(38mW/cn^X2.9秒)的曝光量，從形成有隔離壁的基板背面，經(jīng)由隔離壁，進(jìn)行曝光。接著，在無機(jī)堿顯影液(八年7卜-卞八。y公司制，AZ400Kf^口y八。一，L.4)中浸漬、搖動80秒，然后在純水中沖洗處理3060秒，在隔離壁上形成疏水性樹脂層，由此在像素內(nèi)外設(shè)置表面能量差異。形成疏水性樹脂層之后，像素內(nèi)外的表面能量在像素外(樹脂層上)為1015dyne/cm，在像素內(nèi)(玻璃基板上)為55dyne/cm左右。實施例B5在實施例B1中，不進(jìn)行等離子疏水化處理，除此以外，與實施例B1同樣地，制作帶隔離壁、ITO的透明電極的濾色片，進(jìn)行相同的評價。比較例B1不使用實施例B1的阻氧層，除此以外，進(jìn)行與實施例B1完全相同的處理、操作，制作帶隔離壁、ITO的透明電極的濾色片，進(jìn)行相同的評價。這樣得到的深色隔離壁的光學(xué)濃度為4.5。Ra為8.0nm，隔離壁的高度為2.0|im。接著，與實施例B1同樣地在著色R、G、B像素之后，以相同的條件進(jìn)行烘焙之后，墨液跨越隔離壁，發(fā)生與相鄰像素的混色。另外，與實施例同樣地測定ITO電阻，結(jié)果為22Q/口，隔離壁表面的平坦性Ra為8.0nm。比較例B2在比較例B1中，在進(jìn)行等離子疏水化處理之前，補(bǔ)加下述的"干蝕刻處理"，除此以外，用與比較例B1相同的方法，制作帶隔離壁、ITO的透明電極的濾色片，進(jìn)行相同的評價。[干蝕刻處理]在形成隔離壁的上述基板(帶隔離壁的基板)上，按照特開2001—343518號公報的段落編號00980099，使用陰極(cathode)偶聯(lián)方式平行平板型等離子處理裝置，在以下的條件下，進(jìn)行干蝕刻處理。使用氣體02氣體流量80sccm壓力8PaRF功率150W處理時間30sec進(jìn)而，結(jié)束上述干蝕刻處理之后，在相同的裝置內(nèi)，對帶隔離壁的基板，用與比較例B1相同的條件，實施等離子處理。接著，與實施例B1同樣地在著色R、G、B像素之后，以相同的條件進(jìn)行烘焙之后，墨液跨越隔離壁，發(fā)生與相鄰像素的混色。另外，與實施例同樣地測定ITO電阻，結(jié)果為24Q/口。以上的結(jié)果如表2所示。其中，用光學(xué)顯微鏡，從厚度方向像素形成側(cè)進(jìn)行觀察，對混色進(jìn)行評價。對于混色，在像素內(nèi)是否可見顏色的混雜，觀察光學(xué)元件內(nèi)的100個像素同時是否在深色隔離壁上面殘留墨液。利用第二實施方式的濾色片的制造方法的實施例B1B3的濾色片也沒有混色或者略微有，ITO電阻值低。比較例B1B2的濾色片可見混色。從顯示良好的顯示特性的觀點出發(fā)，ITO電阻值越低越好。進(jìn)而，從對實施例B5與實施例Bl的比較可知，在本發(fā)明中，通過并用阻氧層與疏水處理，不僅簡單地防止混色，而且ITO電阻也有效。<table>tableseeoriginaldocumentpage66</column></row><table>c.第三實施方式實施例Cl用uv清洗裝置清洗無堿玻璃基板之后，使用清洗劑刷洗，進(jìn)而用超純水進(jìn)行超聲波清洗。12(TC下熱處理基板3分鐘，使表面狀態(tài)穩(wěn)定化。冷卻基板，溫調(diào)至23t:之后，用具有縫隙狀噴嘴的玻璃基板用涂敷機(jī)(coater)(FAS亞洲公司制，商品名MH—1600)，涂敷下述表記載的組成構(gòu)成的深色光聚合性組合物K1。接著，用VCD(真空干燥裝置，東京應(yīng)化工業(yè)公司制)，干燥溶劑的一部分30秒，使涂敷層的流動性消失，然后在120。C下預(yù)烘焙3分鐘，得到膜厚2pm的感光層Kl。[深色光聚合性組合物的制法]深色光聚合性組合物可以通過如下所述得到，即首先通過量取下述深色光聚合性組合物配方中記載的量的炭黑分散液、丙二醇一甲醚乙酸200680020341.9說明書第62/72頁酯，在溫度24。C(±2°C)下混合，以150rpm攪拌IO分鐘，接著，量取甲基乙基甲酮、粘合劑P—l、氫醌一甲醚、DPHA液、2，4一雙(三氯甲基)一6—[4，一(N，N—雙乙氧基羰基甲基)氨基一3，一溴苯基]一s一三嗪、表面活性劑，在溫度25。C(±2°C)下依次添加，在溫度4(TC(±2°C)下150rpm下攪拌30分鐘。<深色光聚合性組合物配方1>炭黑分散液丙二醇一甲醚乙酸酯甲基乙基甲酮粘合劑P—1*氫醌一甲醚DPHA液2，4一雙(三氯甲基)一6—[4，一氨基—3，—溴苯蜀—s—三嗪表面活性劑<炭黑分散液>*炭黑(迪克森(f7、廿)公司制Nipex35).分散劑0.65%[化7]25份8份53份9.1份0.002份4.2份(N，N—雙乙氧基羰基甲基)0.16份0.045份13.1%<formula>formulaseeoriginaldocumentpage67</formula>*聚合物(甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸=72/28摩爾比的無規(guī)共聚物，分子量3.7萬)6.72%丙二醇一甲醚乙酸酯79.53°%〈粘合劑P—1〉聚合物(甲基丙烯酸芐基酯/甲基丙烯酸=78/22摩爾比的無規(guī)共聚物，分子量3.8萬)27%.丙二醇一甲醚乙酸酯73%〈DPHA液>二季戊四醇六丙烯酸酯(含有抗聚合劑MEHQ500ppm，日本化藥(株)制，商品名76%KAYARADDPHA)丙二醇一甲醚乙酸酯<表面活性劑1>下述結(jié)構(gòu)物1甲基乙基甲酮結(jié)構(gòu)物l<formula>formulaseeoriginaldocumentpage68</formula>(n=6，x=55,y=5，Mw二33940，Mw/Mn=2.55PO:環(huán)氧丙垸，EO:環(huán)氧乙烷)用具有超高壓汞燈的近接式曝光機(jī)(日立高科技電子工程公司制)，以基板與掩模(具有圖像圖案的石英曝光掩模)垂直立起的狀態(tài)，設(shè)定曝光掩模面與感光層Kl之間的距離為20(Hmi，在氮氣氛下，以曝光量70mJ/cr^進(jìn)行圖案曝光。接著，用噴淋噴嘴噴霧純水，使深色感光層Kl的表面均一地濕潤之后，以23。C、80秒、扁平噴嘴壓力0.04MPa，用KOH系顯影液(KOH，含有非離子表面活性劑，商品名CDK—1，富士膠片電子綜合材料(7,少厶工k夕卜口二夕77亍!J7WX、)公司制)進(jìn)行噴淋顯影，得到圖案結(jié)構(gòu)圖像。接著，用超高壓清洗噴嘴，在9.8MPa的壓力下噴射超純水，除去殘余物，在大氣下、曝光量2000mJ/cm2，進(jìn)行后曝光，進(jìn)行22(TC30分鐘的加熱處理，得到光學(xué)濃度4.5的隔離壁。用接觸膜厚計(Tencor公司制觸針式表面粗糙度計P10)測定這樣得到的隔離壁的表面凹凸，結(jié)果Ra為3.5微米，隔離壁的高度為2.0,[等離子疏水化處理]在形成隔離壁的基板上，使用陰極偶聯(lián)方式平行平板型等離子處理裝置，在以下的條件下，進(jìn)行等離子疏水化處理。使用氣體CF4氣體流量80sccm壓力40PaRF功率50W處理時間30sec一像素用著色墨液的配制一下述成分中，首先混合顏料、高分子分散劑及溶劑，使用3根輥和砂磨機(jī)，得到顏料分散液。用高速分散器等充分地攪拌該顏料分散液，并同時每次少量地添加其他材料，配制紅色(R)像素用著色墨液組合物。<紅色像素用著色墨液的組成>*顏料(C.I.顏料紅254)5份'高分子分散劑(AVECIA公司制y少7/《一724000)l份粘合劑(甲基丙烯酸縮水甘油酯一苯乙烯共聚物)3份第一環(huán)氧樹脂(酚醛清漆型環(huán)氧樹脂，上述成分中，使用JIS—K6768中規(guī)定的濕潤試驗中所示的標(biāo)準(zhǔn)液，使作為溶劑的3—乙氧基丙酸乙酯的液滴接觸，測定30秒后的接觸角(e)，油化殼公司制工匕。3—卜154)2份5份4份80份，第二環(huán)氧樹脂(新戊二醇二縮水甘油醚)固化劑(苯偏三酸)*溶劑3—乙氧基丙酸乙酯相對利用奇斯曼曲線(-77^7°口:y卜)的曲線圖求得的臨界表面張力為30mN/m的試片的表面的接觸角為18°，而且相對臨界表面張力為70mN/m的試片的表面的接觸角為0°。另外，在同樣的試驗中，作為第二環(huán)氧樹脂的新戊二醇二縮水甘油醚的臨界表面張力為30mN/m的試片表面的接觸角為37°，而且相對臨界表面張力為70mN/m的試片表面的接觸角為0°。進(jìn)而，代替上述組成中的C.I.顏料紅254，使用同量C.I.顏料綠36，除此以外，與紅色像素用著色墨液組合物的情況相同地進(jìn)行，配制綠色(G)紅色像素用著色墨液組合物。進(jìn)而，代替上述組成中的C.I.顏料紅254，使用同量C.I.顏料藍(lán)15:6，除此以外，與紅色像素用著色墨液組合物的情況相同地進(jìn)行，配制藍(lán)色(B)像素用著色墨液組合物。接著，使用上述記載的R、G、B像素用著色墨液，在上述得到的圖像形成用基板的用隔離壁區(qū)分的區(qū)域內(nèi)(被凸部包圍的凹部)，使用噴墨方式的記錄裝置，噴出需要濃度的墨液組合物，制作由R、G、B的圖案構(gòu)成的濾色片。在23(TC烤箱中，烘焙30分鐘圖像著色后的濾色片，使黑矩陣、各像素均完全地固化。這樣得到的濾色片的構(gòu)成各像素的墨液恰好容納于隔離壁間隙中，找不到成為與相鄰像素的混色等缺陷的不良。這可能是因為通過使用本發(fā)明，隔離壁表面的墨液的濕潤性出乎預(yù)料地降低了。(液晶顯示裝置)在利用上述得到的濾色片基板的R像素、G像素及B像素以及黑矩陣上，利用濺射進(jìn)一步形成銦錫氧化物(ITO:IndiumTinOxide)的透明電極。另外，再準(zhǔn)備玻璃基板作為對置基板，向濾色片基板的透明電極上及對置基板上分別實施PVA模式用圖案形成。測定該已形成ITO的濾色片的ITO電阻(三菱油化"口l/7夕"，用四探針法測定片材電阻)，結(jié)果為14Q/口。在相當(dāng)于所述ITO的透明電極上的隔離壁的上部的部分設(shè)置光敏間隙材，其上進(jìn)一步設(shè)置聚酰亞胺構(gòu)成的取向膜。然后，在相當(dāng)于周圍設(shè)置成包圍濾色片的像素組的黑矩陣外框的位置，印刷環(huán)氧樹脂的密封劑，同時滴下PVA模式用液晶，使其與對置基板貼合后，向已貼合的基板進(jìn)行熱處理，使密封劑固化。在這樣得到的液晶單元的兩面上，貼上(株)三立磁(廿yii7、乂)制的偏振片HLC2—2518。接著，構(gòu)成冷陰極管的背光燈，配置在設(shè)有上述偏振片的液晶單元的成為背面的一側(cè)，作為液晶顯示裝置。實施例C2將實施例Cl的在氮氣氛下曝光的工序變更成減壓至0.7氣壓(氧分壓0.15氣壓)的環(huán)境下曝光的工序，除此以外，與實施例C1同樣地作成隔離壁、濾色片，進(jìn)行相同的評價。結(jié)果如表3所示。其中，隔離壁的高度為2.0|im。氧分壓使用飯島電子工業(yè)制氧氣分析器G—102型測定。實施例C3將實施例Cl的感光層Kl變更成下述K2，除此以外，與實施例Cl作成隔離壁、濾色片，進(jìn)行相同的評價。其中，隔離壁的高度為2.0pm。結(jié)果如表3所示。K2作成<深色光聚合性組合物配方>炭黑分散液(迪克森公司制Nipex35)丙二醇一甲醚乙酸酯25份甲基乙基甲酮粘合劑P—1氫醌一甲醚DPHA液高靈敏度引發(fā)劑所述表面活性劑1<高靈敏度引發(fā)劑〉2，2'—雙(鄰氯苯基)一4，4，8份53份9.1份0.002份4.2份1.6份10.045份一四苯基雙咪唑1.6g0.6g2—巰基苯并噻唑?qū)嵤├鼵4將等離子疏水化處理方法變更成以下方法，除此以外，與實施例Cl制作帶隔離壁、ITO透明電極的濾色片，進(jìn)行相同的評價。結(jié)果如表3所不。使用縫隙狀噴嘴，以膜厚2pm，在形成有隔離壁的基板上，涂敷預(yù)先內(nèi)添0.5質(zhì)量％(相對感光性樹脂的固體成分)氟系表面活性劑(住友3M公司制，7口，一KFC—430)的堿可溶的感光性樹脂(八年7卜-卞八°乂公司制，正型光致抗蝕劑AZP4210)，在溫風(fēng)循環(huán)干燥機(jī)中進(jìn)行90°C、30分鐘的熱處理。接著，以110mJ/cm2(38mW/cm2X2.9秒)的曝光量，從形成有隔離壁的基板背面，經(jīng)由隔離壁，進(jìn)行曝光。接著，在無機(jī)堿顯影液(八年7卜-卞八。y公司制，AZ400Kf^口、;/A—，1:4)中浸漬、搖動80秒，然后在純水中沖洗處理3060秒，在隔離壁上形成疏水性樹脂層，由此在像素內(nèi)外設(shè)置表面能量差異。形成疏水性樹脂層之后，像素內(nèi)外的表面能量在像素外(樹脂層上)為1015dyne/cm，在像素內(nèi)(玻璃基板上)為55dyne/cm左右。實施例C5在實施例C1中，不進(jìn)行等離子疏水化處理，除此以外，與實施例C1同樣地，制作帶隔離壁、ITO的透明電極的濾色片，進(jìn)行相同的評價。比較例Cl將實施例C1的在氮氣氛下曝光的工序變更成減壓至大氣壓(氧分壓0.21氣壓)下曝光的工序，除此以外，與實施例C1同樣地作成隔離壁、濾色片，進(jìn)行相同的評價。氧分壓使用飯島電子工業(yè)制氧氣分析器G—102比較例C2將比較例Cl的氮氣氛下曝光的工序變更成減壓至大氣壓(氧分壓0.21氣壓)下曝光的工序，進(jìn)而在進(jìn)行等離子疏水化處理之前，補(bǔ)加下述的"干蝕刻處理"，除此以外，用與實施例Cl相同的方法，制作帶隔離壁、ITO的透明電極的濾色片，進(jìn)行相同的評價。[干蝕刻處理]在形成隔離壁的上述基板(帶隔離壁的基板)上，按照特開2001—343518號公報的段落編號00980099，使用陰極(cathode)偶聯(lián)方式平行平板型等離子處理裝置，在以下的條件下，進(jìn)行干蝕刻處理。使用氣體02氣體流量80sccm壓力8PaRF功率150W處理時間30sec進(jìn)而，結(jié)束上述干蝕刻處理之后，在相同的裝置內(nèi)，對帶隔離壁的基板，用與比較例C1相同的條件，實施等離子處理。接著，與實施例C1同樣地在著色R、G、B像素之后，以相同的條件進(jìn)行烘焙之后，墨液跨越隔離壁，發(fā)生與相鄰像素的混色。另外，與實施例Cl同樣地測定ITO電阻，結(jié)果為24Q/口。此外，在表3中，深色的評價是用光學(xué)顯微鏡，從厚度方向像素形成側(cè)進(jìn)行觀察，對混色進(jìn)行評價。對于混色，在像素內(nèi)是否可見顏色的混雜，觀察光學(xué)元件內(nèi)的100個像素同時是否在深色隔離壁上面殘留墨液。對于光學(xué)濃度，使用利用實施例及比較例形成了深色隔離壁的材料，在透明基板上形成相同厚度的層，不曝光成圖案狀，除此以外，經(jīng)歷與各實施例及比較例相同的工序，得到測定用的樣品(膜狀)。使用分光光度計(島津制作所制，UV—2100)，以555nm測定其透過光學(xué)濃度(OD)。用相同的方法另外測定玻璃基板的透過光學(xué)濃度(OD0)。將從OD減去ODo所得的值作為深色隔離壁的透過光學(xué)濃度。從表3可知，利用第三實施方式的濾色片的制造方法的實施例ClC5的濾色片也沒有混色或者略微有，ITO電阻值低。另一方面，比較例C1C2的濾色片可見混色，ITO電阻值高。從顯示良好的顯示特性的觀點出發(fā)，ITO電阻值越低越好。<table>tableseeoriginaldocumentpage74</column></row><table>以下描述本發(fā)明的實施方式。不過，本發(fā)明不被這些所限定。<1>一種濾色片的制造方法，其是在基板上具有呈彼此不同顏色的兩種以上的像素組，構(gòu)成該像素組的各像素彼此由深色的隔離壁隔離的濾色片的制造方法，其特征在于，該方法包括形成隔離壁的工序、向隔離壁間賦予由著色液體組合物構(gòu)成的液滴從而在隔離壁間形成各像素的工序，在此，形成隔離壁的工序包括在基板上層疊感光性轉(zhuǎn)印材料的工序，和在臨時支撐體上殘留該感光性轉(zhuǎn)印材料的狀態(tài)下對該感光性轉(zhuǎn)印材料進(jìn)行曝光的工序。<2>根據(jù)<1>所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述形成隔離壁的工序包括在基板上轉(zhuǎn)印在臨時支撐體上至少具有由感光性組合物構(gòu)成的層的感光性轉(zhuǎn)印材料的工序。<3>根據(jù)<2〉所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述感光性組合物為光聚合性組合物。<4>根據(jù)<1〉<3>中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，在所述隔離壁的至少一部分帶有疏水性的狀態(tài)下向隔離壁間賦予所述液滴。<5>根據(jù)<4>所述的濾色片的制造方法，其特征在于，利用等離子處理，使所述隔離壁的至少一部分成為帶有疏水性的狀態(tài)。<6>根據(jù)<1><5>中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述隔離壁的高度為1.8pm以上10pm以下。<7>根據(jù)<1><6>中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述隔離壁在555nm下的光學(xué)濃度為2.5以上10以下。<8>—種濾色片，其特征在于，用0〈7〉中任意一項所述的制造方法制造，隔離壁的表面粗糙度Ra值為6nm以下。<9>一種液晶顯示元件，其是具備<8>所述的濾色片的液晶顯示元件。<10>—種液晶顯示裝置，其是具備<9>所述的液晶顯示元件的液晶顯示裝置。<11>一種濾色片的制造方法，其是在基板上具有呈彼此不同顏色的兩種以上的像素組，構(gòu)成該像素組的各像素彼此由深色的隔離壁隔離的濾色片的制造方法，其特征在于，該方法包括形成隔離壁的工序、向隔離壁間賦予由著色液體組合物構(gòu)成的液滴從而在隔離壁間形成各像素的工序，在此，形成隔離壁的工序包括在基板上形成由感光性組合物構(gòu)成的層的工序，和在其上具有阻氧膜層的狀態(tài)下對由感光性組合物構(gòu)成的層進(jìn)行曝光的工序。<12>根據(jù)<11>所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述形成隔離壁的工序包括在基板上轉(zhuǎn)印在臨時支撐體上至少具有由感光性組合物構(gòu)成的層和阻氧膜的感光性轉(zhuǎn)印材料的工序。<13>根據(jù)<11>所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述形成隔離壁的工序包括在基板上涂敷含有感光性組合物的涂敷液從而形成感光性組合物涂敷膜，在其上涂敷阻氧膜的工序。<14>根據(jù)<11><13>中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，在所述隔離壁的至少一部分帶有疏水性的狀態(tài)下向隔離壁間賦予所述液滴。<15>根據(jù)<14>所述的濾色片的制造方法，其特征在于，利用等離子處理，使所述隔離壁的至少一部分成為帶有疏水性的狀態(tài)。<16>根據(jù)<11><15>中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述隔離壁的高度為1.8pm以上10pm以下。<17>根據(jù)<11><16>中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述隔離壁的光學(xué)濃度為2.5以上10以下。<18>根據(jù)<11><17>中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述感光性組合物為光聚合性組合物。<19>一種濾色片，其特征在于，用<11><18>中任意一項所述的制造方法制造，隔離壁的表面粗糙度Ra值為5nm以下。<20>—種液晶顯示元件，其是具備<19>所述的濾色片的液晶顯示元件。<21>—種液晶顯示裝置，其是具備<20>所述的液晶顯示元件的液晶顯示裝置。<22>—種濾色片的制造方法，其是在基板上具有呈彼此不同顏色的兩種以上的像素組，構(gòu)成該像素組的各像素彼此由深色的隔離壁隔離的濾色片的制造方法，其特征在于，該方法包括形成隔離壁的工序、向隔離壁間賦予由著色液體組合物構(gòu)成的液滴從而在隔離壁間形成各像素的工序，在此，形成隔離壁的工序包括在基板上形成由深色光聚合性組合物構(gòu)成的層的工序，和在貧氧氣氛下對由深色光聚合性組合物構(gòu)成的層進(jìn)行曝光的工序。<23〉根據(jù)<22>所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述貧氧氣氛下為惰性氣體氣氛下或減壓下。<24>根據(jù)<22>或<23>所述的濾色片的制造方法，其特征在于，在所述隔離壁的至少一部分帶有疏水性的狀態(tài)下向隔離壁間賦予所述液滴。<25>根據(jù)<24>所述的濾色片的制造方法，其特征在于，利用等離子處理，使所述隔離壁的至少一部分成為帶有疏水性的狀態(tài)。<26>根據(jù)<22><25>中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述隔離壁的高度為1.8pm以上10pm以下。<27>根據(jù)<22><26>中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述隔離壁的光學(xué)濃度為2.5以上10以下。<28>根據(jù)<22><27>中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述深色光聚合性組合物為含有雙咪唑化合物作為光聚合引發(fā)劑。<29>根據(jù)<28>所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述雙咪唑化合物為2，2'—雙(鄰氯苯基)一4，4'，5，5'—四苯基雙咪唑。<30>—種濾色片，其特征在于，用<22><29>中任意一項所述的制造方法制造，隔離壁的表面粗糙度Ra值為5nm以下。<31>—種液晶顯示元件，其是具備<30>所述的濾色片的液晶顯示元件。<32>—種液晶顯示裝置，其是具備<31>所述的液晶顯示元件的液晶顯示裝置。通過參照，將特愿2005—119059、特愿2005—331813、特愿2005—119055、特愿2005—331814以及特愿2005—288837的內(nèi)容引入本說明書中。權(quán)利要求1.一種濾色片的制造方法，其是在基板上具有呈彼此不同顏色的兩種以上像素組，構(gòu)成該像素組的各像素彼此由深色的隔離壁隔離的濾色片的制造方法，其特征在于，該方法包括形成隔離壁的工序、向隔離壁間賦予由著色液體組合物構(gòu)成的液滴從而在隔離壁間形成各像素的工序，其中形成隔離壁的工序包括在基板上層疊感光性轉(zhuǎn)印材料的工序；和在臨時支撐體上殘留該感光性轉(zhuǎn)印材料的狀態(tài)下對該感光性轉(zhuǎn)印材料進(jìn)行曝光的工序。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述形成隔離壁的工序包括將在臨時支撐體上至少具有由感光性組合物構(gòu)成的層的感光性轉(zhuǎn)印材料轉(zhuǎn)印在基板上的工序。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述感光性組合物為光聚合性組合物。4.根據(jù)權(quán)利要求13中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，在所述隔離壁的至少一部分帶有疏水性的狀態(tài)下向隔離壁間賦予所述液滴。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾色片的制造方法，其特征在于，利用等離子處理，使所述隔離壁的至少一部分成為帶有疏水性的狀態(tài)。6.根據(jù)權(quán)利要求15中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述隔離壁的高度為1.8pm以上10pm以下。7.根據(jù)權(quán)利要求16中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述隔離壁在555nm下的光學(xué)濃度為2.5以上10以下。8.—種濾色片，其特征在于，用權(quán)利要求17中任意一項所述的制造方法制造，隔離壁的表面粗糙度Ra值為6nm以下。9.一種液晶顯示元件，其是具備權(quán)利要求8所述的濾色片的液晶顯示元件。10.—種液晶顯示裝置，其是具備權(quán)利要求9所述的液晶顯示元件的液晶顯示裝置。11.一種濾色片的制造方法，其是在基板上具有呈彼此不同顏色的兩種以上像素組，構(gòu)成該像素組的各像素彼此由深色的隔離壁隔離的濾色片的制造方法，其特征在于，該方法包括形成隔離壁的工序、向隔離壁間賦予由著色液體組合物構(gòu)成的液滴從而在隔離壁間形成各像素的工序，其中形成隔離壁的工序包括在基板上形成由感光性組合物構(gòu)成的層的工序；和在所述由感光性組合物構(gòu)成的層上具有阻氧膜層的狀態(tài)下對由感光性組合物構(gòu)成的層進(jìn)行曝光的工序。12.根據(jù)權(quán)利要求ll所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述形成隔離壁的工序包括將在臨時支撐體上至少具有由感光性組合物構(gòu)成的層和阻氧膜的感光性轉(zhuǎn)印材料轉(zhuǎn)印在基板上的工序。13.根據(jù)權(quán)利要求ll所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述形成隔離壁的工序包括在基板上涂敷含有感光性組合物的涂敷液從而形成感光性組合物涂敷膜，在所述感光性組合物涂敷膜上涂敷阻氧膜的工序。14.根據(jù)權(quán)利要求1113中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，在所述隔離壁的至少一部分帶有疏水性的狀態(tài)下向隔離壁間賦予所述液滴。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的濾色片的制造方法，其特征在于，利用等離子處理，使所述隔離壁的至少一部分成為帶有疏水性的狀態(tài)。16.根據(jù)權(quán)利要求1115中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述隔離壁的高度為Upm以上lOpm以下。17.根據(jù)權(quán)利要求1116中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述隔離壁的光學(xué)濃度為2.5以上10以下。18.根據(jù)權(quán)利要求1117中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述感光性組合物為光聚合性組合物。19.一種濾色片，其特征在于，用權(quán)利要求1118中任意一項所述的制造方法制造，且隔離壁的表面粗糙度Ra值為5nm以下。20.—種液晶顯示元件，其是具備權(quán)利要求19所述的濾色片的液晶顯示元件。21.—種液晶顯示裝置，其是具備權(quán)利要求20所述的液晶顯示元件的液晶顯示裝置。22.—種濾色片的制造方法，其是在基板上具有呈彼此不同顏色的兩種以上像素組，構(gòu)成該像素組的各像素彼此由深色的隔離壁隔離的濾色片的制造方法，其特征在于，該方法包括形成隔離壁的工序、向隔離壁間賦予由著色液體組合物構(gòu)成的液滴從而在隔離壁間形成各像素的工序，其中形成隔離壁的工序包括在基板上形成由深色光聚合性組合物構(gòu)成的層的工序；和在貧氧氣氛下對由深色光聚合性組合物構(gòu)成的層進(jìn)行曝光的工序。23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述貧氧氣氛下為惰性氣體氣氛下或減壓下。24.根據(jù)權(quán)利要求22或23所述的濾色片的制造方法，其特征在于，在所述隔離壁的至少一部分帶有疏水性的狀態(tài)下向隔離壁間賦予所述液滴。25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的濾色片的制造方法，其特征在于，利用等離子處理，使所述隔離壁的至少一部分成為帶有疏水性的狀態(tài)。26.根據(jù)權(quán)利要求2225中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述隔離壁的高度為1.8pm以上10,以下。27.根據(jù)權(quán)利要求2226中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述隔離壁的光學(xué)濃度為2.5以上10以下。28.根據(jù)權(quán)利要求2227中任意一項所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述深色光聚合性組合物為含有雙咪唑化合物作為光聚合引發(fā)劑。29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的濾色片的制造方法，其特征在于，所述雙咪唑化合物為2，2，—雙(鄰氯苯基)一4，4'，5，5'—四苯基雙咪唑。30.—種濾色片，其特征在于，用權(quán)利要求2229中任意一項所述的制造方法制造，且隔離壁的表面粗糙度Ra值為5nm以下。31.—種液晶顯示元件，其是具備權(quán)利要求30所述的濾色片的液晶顯示元件。32.—種液晶顯示裝置，其是具備權(quán)利要求31所述的液晶顯示元件的液晶顯示裝置。全文摘要本發(fā)明提供一種濾色片的制造方法，其是一種在基板上具有呈彼此不同顏色的兩種以上的像素組，構(gòu)成該像素組的各像素彼此由深色的隔離壁隔離的濾色片的制造方法，其特征在于，該方法包括形成隔離壁的工序、向隔離壁間賦予由著色液體組合物構(gòu)成的液滴從而在隔離壁間形成各像素的工序，在此，形成隔離壁的工序包括在基板上層疊感光性轉(zhuǎn)印材料的工序以及在臨時支撐體上殘留該感光性轉(zhuǎn)印材料的狀態(tài)下進(jìn)行曝光的工序；或者在基板上形成由感光性組合物構(gòu)成的層的工序以及在其上具有阻氧膜層的狀態(tài)下對由感光性組合物構(gòu)成的層進(jìn)行曝光的工序；或者在基板上形成由深色光聚合性組合物構(gòu)成的層的工序以及在貧氧氣氛下對由深色光聚合性組合物構(gòu)成的層進(jìn)行曝光的工序。另外，還提供利用該方法得到的濾色片、具備該濾色片的液晶顯示元件以及具備該液晶顯示元件的液晶顯示裝置。文檔編號G02B5/20GK101194191SQ20068002034公開日2008年6月4日申請日期2006年4月17日優(yōu)先權(quán)日2005年4月15日發(fā)明者伊藤英明,柏木大助申請人:富士膠片株式會社