專利名稱：曝光設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種曝光設(shè)備，更具體地，涉及一種裝備有空氣調(diào)節(jié)功能 裝置的曝光設(shè)備，該空氣調(diào)節(jié)功能裝置基于容納設(shè)備主體的容納室的測(cè)量 溫度從空氣調(diào)節(jié)器向容納室供應(yīng)溫度調(diào)整的空氣，用于空氣調(diào)節(jié)。進(jìn)一步地，本發(fā)明涉及一種曝光設(shè)備，其能夠通過(guò)測(cè)量設(shè)備主體中的 主要元件的溫度來(lái)判斷和顯示曝光性能等級(jí)(exposure performance level)。此外，本發(fā)明涉及一種曝光設(shè)備，其能夠響應(yīng)安裝環(huán)境溫度 (installation environment temperature)的變化，來(lái)再指定確保圖像 曝光品質(zhì)的穩(wěn)定溫度。
背景技術(shù)：
一種在主掃描激光將激光照射到沿副掃描方向傳送的感光膜等感光 材料上的同時(shí)，描繪預(yù)定圖案的激光描繪設(shè)備(例如，請(qǐng)參見(jiàn)日本專利申 請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)No. 2002-82446)。通過(guò)將根據(jù)圖像數(shù)據(jù)調(diào)制的光束照射到沿 掃描方向傳送的感光材料上，圖像曝光設(shè)備利用數(shù)字微鏡裝置(digital micromirror device, DMD)等空間光調(diào)制器(SLM)來(lái)執(zhí)行圖像曝光。在激 光描繪設(shè)備等掃描曝光設(shè)備處，或者在圖像曝光設(shè)備處，許多發(fā)熱元件設(shè) 置在曝光室(容納室)中，例如輻射光束的曝光頭、驅(qū)動(dòng)感光材料傳送機(jī) 構(gòu)(例如轉(zhuǎn)鼓、傳送臺(tái)等)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)、控制設(shè)備的相應(yīng)部分的控制板等
發(fā)熱元件。發(fā)熱元件產(chǎn)生的熱量使曝光室的溫度發(fā)生變化。于是，精度會(huì) 被降低，例如感光材料的熱變形(膨脹/收縮)等引起的曝光位置變化。 為了抑制這種精度降低，因此，根據(jù)測(cè)量的曝光室溫度，執(zhí)行空氣調(diào)節(jié)控 制以便從空氣調(diào)節(jié)器向曝光室供應(yīng)溫度調(diào)整的空氣(冷空氣)，并將室溫 保持在預(yù)定范圍。然而，在裝備有上述空氣調(diào)節(jié)功能裝置的曝光設(shè)備中，盡管能夠抑制 曝光室的溫度的較大上升(溫度變化)，但是因?yàn)榘l(fā)熱元件分散布置在曝 光室中，因此難以僅簡(jiǎn)單地通過(guò)供應(yīng)冷空氣到曝光室來(lái)使室溫均勻(chamber temperature uniform),并且會(huì)出現(xiàn)相當(dāng)大的溫度偏差(temperature divergences)。例如，具有這樣一種結(jié)構(gòu)，其中驅(qū)動(dòng)電機(jī)隨沿掃描方向移動(dòng)感光材料 的傳送臺(tái)一起移動(dòng)，曝光頭沿傳送臺(tái)移動(dòng)路徑等一半地設(shè)置，特別易于出 現(xiàn)高溫的驅(qū)動(dòng)電機(jī)、曝光頭等沿掃描方向布置。結(jié)果，沿掃描方向室溫不 均勻，沿掃描方向很可能形成溫度偏差。此外，這種溫度偏差不是恒定的， 室溫沿掃描方向在各位置處稍微變化，這是由于在曝光操作期間曝光室中 的空氣流的狀態(tài)根據(jù)傳送臺(tái)移動(dòng)而變化和由于驅(qū)動(dòng)電機(jī)(發(fā)熱元件)的移 動(dòng)，因此在經(jīng)歷這些輕微室溫變化的、設(shè)備的各部分處會(huì)出現(xiàn)溫度變化。 因此，因?yàn)檠仄毓馐业膾呙璺较虻臏囟绕詈蜏囟茸兓?，在通過(guò)傳 送臺(tái)沿掃描方向傳送的感光材料處，仍會(huì)出現(xiàn)熱變形，這會(huì)導(dǎo)致曝光精度 下降的問(wèn)題。具體地，對(duì)于采用空間光調(diào)制器的圖像曝光設(shè)備，為了以極高精度來(lái) 實(shí)現(xiàn)與要曝光的更高精度的圖像圖案(具有緊密的間距和精度增加的曝光 位置)相對(duì)應(yīng)的高精度圖像曝光，有必要實(shí)施能夠抑制溫度變化的空氣調(diào) 節(jié)，這種溫度變化是由曝光室中的相應(yīng)位置處的溫度偏差或氣流狀態(tài)的變 化導(dǎo)致的。進(jìn)一步地，當(dāng)發(fā)熱元件導(dǎo)電時(shí)，周圍的溫度會(huì)持續(xù)上升。通常，在這 種溫度穩(wěn)定后開(kāi)始曝光處理(即，直到達(dá)到穩(wěn)定溫度后)。這是因?yàn)樵谶_(dá) 到穩(wěn)定溫度(穩(wěn)定狀態(tài))后開(kāi)始曝光處理才能夠確保穩(wěn)定的圖像曝光品質(zhì)。 然而，鑒于用戶要增加生產(chǎn)率，即使不能夠確保圖像曝光品質(zhì)(即使穩(wěn)定 的溫度沒(méi)有達(dá)到)也要需要開(kāi)始圖像曝光。
目前，這種穩(wěn)定溫度在運(yùn)輸調(diào)節(jié)(shipping adjustment)時(shí)指定。 即，穩(wěn)定溫度由運(yùn)輸調(diào)節(jié)時(shí)的安裝環(huán)境溫度決定。因此，如果發(fā)送和安裝 地的環(huán)境溫度極大地不同于運(yùn)輸調(diào)節(jié)時(shí)的安裝環(huán)境溫度時(shí)，則會(huì)出現(xiàn)穩(wěn)定 溫度的可信度較低的問(wèn)題。在這種情況下，運(yùn)輸后，需要再獲取(再指定) 安裝地的環(huán)境溫度中的穩(wěn)定溫度。發(fā)明內(nèi)容考慮到上述情況，本發(fā)明的第一個(gè)目的是提供一種曝光設(shè)備，通過(guò)實(shí) 施抑制沿掃描方向的溫度差異和溫度變化的空氣調(diào)節(jié)，其能夠?qū)崿F(xiàn)高精度 曝光。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第一方面包括曝光單元，其發(fā)射光束 并掃描地曝光感光材料；傳送機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于曝光單元相對(duì)地運(yùn)動(dòng)，并沿 掃描方向傳送感光材料，所述感光材料被配置和保持在配置表面上；容納 室，曝光單元容納在該容納室中，傳送機(jī)構(gòu)可移動(dòng)地容納在該容納室中； 空氣調(diào)節(jié)單元，其向容納室供應(yīng)溫度調(diào)整的空氣，用于空氣調(diào)節(jié)；和通風(fēng) 單元，其設(shè)置在容納室上，并將來(lái)自空氣調(diào)節(jié)單元的空氣在沿掃描方向的 方向上吹動(dòng)。進(jìn)一步地，本發(fā)明的第二方面包括曝光單元，其發(fā)射光束并掃描地 曝光感光材料；傳送機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于曝光單元相對(duì)地運(yùn)動(dòng)，并沿掃描方向 傳送感光材料，所述感光材料被配置和保持在配置表面上；容納室，曝光 單元容納在該容納室中，傳送機(jī)構(gòu)可移動(dòng)地容納在該容納室中；空氣調(diào)節(jié) 單元，其向容納室供應(yīng)溫度調(diào)整的空氣，用于空氣調(diào)節(jié)；室溫測(cè)量?jī)x，其測(cè)量容納室的溫度；控制裝置(控制器)，其根據(jù)溫度測(cè)量?jī)x測(cè)量的溫度來(lái) 控制空氣調(diào)節(jié)單元，并改變空氣的調(diào)整溫度；和通風(fēng)單元，其設(shè)置在容納 室上，并將來(lái)自空氣調(diào)節(jié)單元的空氣在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)。在本發(fā)明的第一方面中，容納室被供應(yīng)有來(lái)自空氣調(diào)節(jié)單元的溫度調(diào) 整的空氣，因此空氣被調(diào)節(jié)。發(fā)射光束并掃描地曝光感光材料的曝光單元 和相對(duì)于曝光單元相對(duì)地運(yùn)動(dòng)并沿掃描方向傳送感光材料的傳送機(jī)構(gòu)可 移動(dòng)地容納在容納室中。進(jìn)一步地，在本發(fā)明的第二方面中，曝光單元和傳送機(jī)構(gòu)可移動(dòng)地容
納在容納室中，容納室被供應(yīng)有來(lái)自空氣調(diào)節(jié)單元的溫度調(diào)整的空氣，因 此空氣被調(diào)節(jié)。由于采用該空氣調(diào)節(jié)，已供應(yīng)到容納室的空氣被通風(fēng)單元在沿掃描方 向的方向上吹動(dòng)。結(jié)果，容納室沿掃描方向的溫度分布更均勻，沿掃描方 向的溫度變化不太可能發(fā)生。結(jié)果，被傳送機(jī)構(gòu)在掃描方向上傳送的感光 材料的熱變形(熱變形是由沿掃描方向的溫度差異和溫度變化引起的)和 隨后的精度損失(例如曝光位置偏離等)被抑制，因此實(shí)現(xiàn)了高精度曝光。進(jìn)一步地，傳送機(jī)構(gòu)上的用于感光材料的、且感光材料配置在其上的 配置表面被在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)的空氣清掃，因此保持了清潔狀 態(tài)，沒(méi)有灰塵等聚集。結(jié)果，傳送機(jī)構(gòu)的配置表面上配置的感光材料的上 升、錯(cuò)誤定位等和感光材料上灰塵等的聚集被抑制，因此防止了這些原因 導(dǎo)致的曝光精度損失。在本發(fā)明的第二方面的曝光設(shè)備中，控制裝置可控制空氣調(diào)節(jié)單元以 便根據(jù)傳送機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)改變空氣調(diào)節(jié)氣流量。在上述結(jié)構(gòu)中，來(lái)自空氣調(diào)節(jié)單元的空氣調(diào)節(jié)氣流量根據(jù)傳送機(jī)構(gòu)的 運(yùn)動(dòng)變化，從而使得當(dāng)傳送機(jī)構(gòu)遠(yuǎn)離流出口 (來(lái)自空氣調(diào)節(jié)單元的空氣通 過(guò)該流出口吹進(jìn)容納室)時(shí)，空氣調(diào)節(jié)氣流量被調(diào)節(jié)得更大，當(dāng)傳送機(jī)構(gòu) 更靠近流出口時(shí)，空氣調(diào)節(jié)氣流量被調(diào)節(jié)得更小?？蛇x地，空氣調(diào)節(jié)氣流 量與傳送機(jī)構(gòu)和流出口之間的距離成比例地連續(xù)(非階梯)或階梯變化。 結(jié)果，容納室中沿掃描方向布置的、設(shè)備的主要元件的熱平衡狀態(tài)能夠被 保持，因此，感光材料的熱變形被抑制，并能夠執(zhí)行高精度曝光。在上述第一和第二方面中任一個(gè)的曝光設(shè)備中，通風(fēng)單元可包括導(dǎo) 管，其將來(lái)自空氣調(diào)節(jié)單元的空氣吹出到容納室；和氣流方向改變構(gòu)件， 其將已經(jīng)從導(dǎo)管吹出的空氣的氣流方向改變成沿掃描方向的方向。在上述結(jié)構(gòu)中，已經(jīng)從空氣調(diào)節(jié)單元吹出的、并通過(guò)導(dǎo)管進(jìn)入空氣調(diào) 節(jié)室的空氣的氣流方向被氣流方向改變構(gòu)件改變成沿掃描方向的方向。結(jié) 果，例如，即使導(dǎo)管的布置位置、吹動(dòng)方向等受到容納室中設(shè)置的設(shè)備的 結(jié)構(gòu)部分的關(guān)聯(lián)限制，從導(dǎo)管吹出的空氣也能夠容易地被氣流方向改變構(gòu) 件改變到在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)。進(jìn)一步地，例如，如果氣流方向改 變構(gòu)件具有可移動(dòng)的形式，它將能夠精細(xì)地調(diào)節(jié)氣流方向。
在上述第一和第二方面中任一個(gè)的曝光設(shè)備中，通風(fēng)單元可包括在沿 掃描方向的方向上將來(lái)自空氣調(diào)節(jié)單元的空氣吹出的導(dǎo)管。從空氣調(diào)節(jié)單元吹出的并通過(guò)導(dǎo)管進(jìn)入容納室的空氣被直接地從導(dǎo) 管在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)。因此，能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)使來(lái)自空氣調(diào)節(jié) 單元的空氣可靠地在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)。進(jìn)一步地，可在導(dǎo)管上設(shè)置直線形部分，該直線形部分以到流出口具 有至少預(yù)定長(zhǎng)度的直線形式形成，空氣從流出口吹出。在上述結(jié)構(gòu)中，因?yàn)閬?lái)自空氣調(diào)節(jié)器的空氣通過(guò)導(dǎo)管的直線形部分并 從流出口吹出，所以流出口之后的空氣的流動(dòng)(吹動(dòng)方向)是穩(wěn)定的，能 夠可靠地在要求的方向(沿掃描方向的方向)上吹動(dòng)或吹到空氣供應(yīng)位置。在上述第一和第二方面中任一個(gè)的曝光設(shè)備中，傳送機(jī)構(gòu)可包括相對(duì) 于配置表面的氣流引導(dǎo)構(gòu)件，所述氣流引導(dǎo)構(gòu)件設(shè)置在沿掃描方向的方向 吹動(dòng)的空氣的流動(dòng)方向的上游側(cè)，并將沿掃描方向的方向吹動(dòng)的空氣引導(dǎo) 到配置表面上。在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)的空氣被設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu)上的氣流引導(dǎo) 構(gòu)件更密集地引導(dǎo)到配置表面上。結(jié)果，配置表面和配置在配置表面上的 感光材料的溫度變化不太可能發(fā)生，提高了溫度穩(wěn)定性。此外，因?yàn)榕渲?表面上的氣流量增加了，氣流對(duì)配置表面的清掃被提高。在上述第一和第二方面中任一個(gè)的曝光設(shè)備中，傳送機(jī)構(gòu)可在這樣的 范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng)，即在基本不改變(被設(shè)定以便基本不變化)曝光單元與傳送機(jī) 構(gòu)之間形成的空間的形狀的范圍內(nèi)。在上述結(jié)構(gòu)中，當(dāng)傳送機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)時(shí)，曝光單元與傳送機(jī)構(gòu)之間形成的 空間的形狀基本不變化。因此，該空間中吹動(dòng)的空氣的流動(dòng)的狀態(tài)基本恒 定，并且曝光單元的空氣冷卻狀態(tài)是穩(wěn)定的。結(jié)果，曝光單元的溫度變化 被抑制，溫度保持恒定，作為溫度變化的結(jié)果的熱變形所引起的曝光位置 (光照位置)精度的降低被抑制。此外，傳送機(jī)構(gòu)傳送的、相對(duì)于曝光單元 相對(duì)地運(yùn)動(dòng)的感光材料的空氣冷卻狀態(tài)也是穩(wěn)定的，因此熱變形被抑制。在上述第一和第二方面中任一個(gè)的曝光設(shè)備中，可還包括設(shè)置在傳 送機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)路徑之上的安裝構(gòu)件；和讀取單元，其安裝在安裝構(gòu)件上， 并讀取表示曝光位置基準(zhǔn)的基準(zhǔn)標(biāo)記，所述基準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)置在感光材料上， 用于相對(duì)于感光材料校正曝光位置，其中，安裝構(gòu)件包括這樣一種形狀，即當(dāng)傳送機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)時(shí)基本不改變沿掃描方向的方向吹動(dòng)的空氣的流動(dòng)的形狀。在上述結(jié)構(gòu)中，讀取表示曝光位置基準(zhǔn)的基準(zhǔn)標(biāo)記的、設(shè)置在感光材 料上的、用于相對(duì)于感光材料校正曝光位置的讀取單元安裝在傳送機(jī)構(gòu)的 運(yùn)動(dòng)路徑上設(shè)置的安裝構(gòu)件上，并且讀取單元設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)路徑 上。這里，即使當(dāng)傳送機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)時(shí)，在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)的空氣的 流動(dòng)(流動(dòng)狀態(tài))基本恒定，而不會(huì)被安裝構(gòu)件改變，并且安裝構(gòu)件和讀 取單元的空氣冷卻狀態(tài)是穩(wěn)定的。結(jié)果，安裝構(gòu)件和讀取單元的溫度變化 被抑制，溫度保持恒定。因此，這種溫度變化所導(dǎo)致的讀取單元的位置偏 離，g卩，基準(zhǔn)標(biāo)記讀取位置的精度損失被抑制。此外，相對(duì)于安裝構(gòu)件和讀取單元相對(duì)地運(yùn)動(dòng)的感光材料的空氣冷卻狀態(tài)是穩(wěn)定的，并且熱變形被 抑制。在上述結(jié)構(gòu)的曝光設(shè)備中，安裝構(gòu)件可還包括阻擋構(gòu)件，所述阻擋構(gòu)件流動(dòng)調(diào)節(jié)(flow-adjust)沿掃描方向的方向吹動(dòng)的空氣。由于具有上述結(jié)構(gòu)，通過(guò)安裝構(gòu)件附近在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)的空氣被阻擋構(gòu)件流動(dòng)調(diào)節(jié)，并且該空氣的流動(dòng)狀態(tài)是穩(wěn)定的。因此，能夠更有效地抑制安裝構(gòu)件的溫度變化和隨后的負(fù)面影響。在上述第一和第二方面中任一個(gè)的曝光設(shè)備中，可還包括讀取單元，其在沿掃描方向的方向上與曝光單元并列設(shè)置，并讀取表示曝光位置基準(zhǔn) 的基準(zhǔn)標(biāo)記，所述基準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)置在感光材料上，用于相對(duì)于感光材料校正曝光位置；和沿掃描方向并呈平面狀的透明隔離構(gòu)件，其設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu) 與曝光單元和讀取單元之間。透明隔離構(gòu)件設(shè)置沿掃描方向并呈平面狀地設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu)與曝光 單元和讀取單元之間，曝光單元發(fā)射來(lái)的光束能夠通過(guò)該透明隔離構(gòu)件， 并且該透明隔離構(gòu)件允許讀取單元讀取設(shè)置在感光材料上的表示曝光位 置基準(zhǔn)的基準(zhǔn)標(biāo)記。結(jié)果，當(dāng)傳送機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)時(shí)，曝光單元和讀取單元周圍 的空間的形狀不變化，吹進(jìn)該空間的空氣的流動(dòng)的狀態(tài)基本恒定，曝光單 元和讀取單元的空氣冷卻狀態(tài)是穩(wěn)定的。結(jié)果，曝光單元的溫度變化被抑 制，溫度保持恒定，作為溫度變化的結(jié)果的曝光單元的熱變形所引起的曝
光位置(光束照射位置)精度的降低被抑制。進(jìn)一步地，讀取單元的溫度變 化被抑制，讀取單元的溫度保持穩(wěn)定，作為溫度變化的結(jié)果的讀取單元的 位置偏離，g卩，基準(zhǔn)標(biāo)記讀取位置的精度的降低被抑制。此外，傳送機(jī)構(gòu) 傳送的、相對(duì)于曝光單元相對(duì)地運(yùn)動(dòng)的感光材料的空氣冷卻狀態(tài)也是穩(wěn)定 的，因此熱變形被抑制。進(jìn)一步地，曝光期間，氣體從光束照射的感光材料蒸發(fā)，設(shè)置在曝光 單元和讀取單元上的透鏡等光學(xué)構(gòu)件會(huì)被這些氣體污染。然而，這里因?yàn)?曝光單元和讀取單元被隔離構(gòu)件保護(hù)而不會(huì)受到揮發(fā)氣體污染，因此防止 了光學(xué)構(gòu)件的污染。在上述第一和第二方面中任一個(gè)的曝光設(shè)備中，驅(qū)動(dòng)傳送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng) 單元經(jīng)絕熱構(gòu)件安裝在傳送機(jī)構(gòu)上。在上述結(jié)構(gòu)中，即使傳送機(jī)構(gòu)的連續(xù)運(yùn)動(dòng)弓I起驅(qū)動(dòng)單元的高溫狀態(tài)持 續(xù)，從驅(qū)動(dòng)單元傳導(dǎo)到傳送機(jī)構(gòu)的熱量被絕熱構(gòu)件降低。結(jié)果，傳送機(jī)構(gòu) 的溫度上升(溫度變化)被抑制，傳送機(jī)構(gòu)傳導(dǎo)的熱引起的感光材料的熱 變形被抑制。在上述第一和第二方面中任一個(gè)的曝光設(shè)備中，驅(qū)動(dòng)傳送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng) 單元可暴露和安裝在傳送機(jī)構(gòu)的表面上。在上述結(jié)構(gòu)中，即使傳送機(jī)構(gòu)的連續(xù)運(yùn)動(dòng)引起驅(qū)動(dòng)單元的高溫狀態(tài)持 續(xù)，暴露和安裝在傳送機(jī)構(gòu)的表面上的驅(qū)動(dòng)單元被在沿掃描方向的方向上 吹動(dòng)的空氣有效地冷卻。結(jié)果，驅(qū)動(dòng)單元和傳送機(jī)構(gòu)的溫度上升(溫度變 化)被抑制，傳送機(jī)構(gòu)傳導(dǎo)的熱引起的感光材料的熱變形被抑制。此外，在上述結(jié)構(gòu)的曝光裝置中，傳送機(jī)構(gòu)可包括可移動(dòng)部分，該可 移動(dòng)部分具有配置表面并且能夠上升和下降配置表面，驅(qū)動(dòng)單元被控制裝 置控制用于驅(qū)動(dòng)，并且驅(qū)動(dòng)單元包括步進(jìn)電機(jī)，該步進(jìn)電機(jī)產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)移動(dòng) 部分的驅(qū)動(dòng)力，在步進(jìn)電機(jī)待命時(shí)利用控制裝置實(shí)行電流衰減控制(current-reduction control)。在上述結(jié)構(gòu)中，傳送機(jī)構(gòu)包括可移動(dòng)部分，其被構(gòu)造成使得感光材料 配置在其上的配置表面能夠上升和下降。因此，當(dāng)配置表面上升/下降時(shí)， 能夠?qū)哂胁煌穸鹊亩鄠€(gè)各種感光材料進(jìn)行曝光。進(jìn)一步地，產(chǎn)生驅(qū)動(dòng) 可移動(dòng)部分的驅(qū)動(dòng)力的步進(jìn)電機(jī)被控制裝置控制用于驅(qū)動(dòng)，并且待命期間
供應(yīng)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)電流以預(yù)定量降低，用于降低電流。結(jié)果，待命期間步進(jìn) 電機(jī)產(chǎn)生的熱量被抑制，步進(jìn)電機(jī)傳導(dǎo)的熱引起的傳送機(jī)構(gòu)的溫度上升 (溫度變化)被抑制。此外，在上述結(jié)構(gòu)的曝光設(shè)備中，可在驅(qū)動(dòng)單元的表面上設(shè)置有沿掃 描方向延伸的散熱片。在這種情況下，設(shè)置在表面上的散熱片擴(kuò)大了驅(qū)動(dòng)單元的表面積并提 高了散熱效果。進(jìn)一步地，因?yàn)樵撋崞趻呙璺较蛏涎由欤谘貟呙璺?向的方向上吹動(dòng)的空氣的流動(dòng)將不會(huì)被干擾，這種穩(wěn)定流動(dòng)空氣使輻照效 率上升。進(jìn)一步地，上述結(jié)構(gòu)的曝光設(shè)備可包括流動(dòng)變化控制結(jié)構(gòu)，所述流動(dòng) 變化控制結(jié)構(gòu)實(shí)行控制使得當(dāng)傳送機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)時(shí)沿掃描方向的方向吹動(dòng)的 空氣的、在驅(qū)動(dòng)單元周圍處的流動(dòng)的狀態(tài)基本不變化。在上述結(jié)構(gòu)中，當(dāng)傳送機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)時(shí)，在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)的空 氣的、在驅(qū)動(dòng)單元周圍處的流動(dòng)的狀態(tài)被流動(dòng)變化控制結(jié)構(gòu)控制以便基本 不變化。結(jié)果，驅(qū)動(dòng)單元的空氣冷卻狀態(tài)是穩(wěn)定的，驅(qū)動(dòng)單元傳導(dǎo)的熱引 起的傳送機(jī)構(gòu)的溫度上升(溫度變化)被抑制。更進(jìn)一步地，傳送機(jī)構(gòu)可包括空氣冷卻單元，所述空氣冷卻單元在驅(qū) 動(dòng)單元上吹空氣用于空氣冷卻。在這種情況下，空氣冷卻單元設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu)上并在驅(qū)動(dòng)單元上吹空 氣用于空氣冷卻。結(jié)果，驅(qū)動(dòng)單元的冷卻效果被提高，抑制傳送機(jī)構(gòu)溫度 上升(溫度變化)的效果被提高。在上述第一和第二方面中任一個(gè)的曝光設(shè)備中，傳送機(jī)構(gòu)可設(shè)置有散 熱片，所述散熱片在傳送機(jī)構(gòu)的除了配置表面之外的外周面的至少一部分 上沿掃描方向延伸。在這種情況下，設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu)的除了其上配置感光材料的配置表面 之外的外周面的至少一部分上的散熱片擴(kuò)大了傳送機(jī)構(gòu)的表面積并提高 散熱效果。進(jìn)一步地，因?yàn)樯崞趻呙璺较蛏涎由?，因此，在沿掃描?向的方向上吹動(dòng)的空氣的流動(dòng)將不會(huì)被干擾，這種穩(wěn)定流動(dòng)空氣使散熱效 率上升。在上述第一和第二方面中任一個(gè)的曝光設(shè)備中，傳送機(jī)構(gòu)可設(shè)置有防 熱構(gòu)件，所述防熱構(gòu)件設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu)的除了配置表面之外的外周面的至 少一部分上。因?yàn)榉罒針?gòu)件設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu)的除了其上配置感光材料的配置表面 之外的外周面的至少一部分上，因此經(jīng)防熱構(gòu)件安裝的驅(qū)動(dòng)單元傳導(dǎo)的熱 所引起的溫度上升、設(shè)置在傳送構(gòu)件附近的發(fā)熱構(gòu)件的輻射熱所引起的溫 度上升被抑制。在上述第一和第二方面中任一個(gè)的曝光設(shè)備中，空氣調(diào)節(jié)單元可包括 清潔單元，所述清潔單元清潔吸入的外部空氣，并將清潔單元所清潔的空 氣供應(yīng)到容納室。空氣調(diào)節(jié)單元吸入的外部空氣被清潔單元清潔，并且被清潔的空氣被 供應(yīng)到容納室。結(jié)果，容納室的空氣的清潔度被提高，漂浮在容納室中的 灰塵等對(duì)曝光引起的負(fù)面影響被防止。進(jìn)一步地，因?yàn)樵摫磺鍧嵉目諝庠?沿掃描方向的方向上被吹動(dòng)，因此，防止灰塵污染傳送機(jī)構(gòu)的感光材料配 置表面、傳送機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)路徑等。在上述第一和第二方面中任一個(gè)的曝光設(shè)備中，室溫測(cè)量?jī)x可設(shè)置在 傳送機(jī)構(gòu)的附近。傳送機(jī)構(gòu)附近的溫度被室溫測(cè)量?jī)x測(cè)量，空氣調(diào)節(jié)單元根據(jù)測(cè)量的溫 度執(zhí)行空氣的溫度調(diào)整，容納室是空氣調(diào)節(jié)的。因此，因?yàn)槭褂脗魉蜋C(jī)構(gòu) 附近測(cè)量的溫度來(lái)執(zhí)行容納室的空氣調(diào)節(jié)，因此與配置在傳送機(jī)構(gòu)的配置 表面上的感光材料的溫度相對(duì)應(yīng)的容納室的溫度控制(設(shè)備安裝在其中的 環(huán)境的溫度)可以從外部設(shè)備來(lái)控制，并且能夠使容納室(室溫)的溫度更 接近感光材料的溫度。結(jié)果，設(shè)備安裝環(huán)境和配置在傳送機(jī)構(gòu)上之后的室 溫之間的溫差導(dǎo)致的感光材料的熱變形量被抑制。在上述第二方面的曝光設(shè)備中，空氣調(diào)節(jié)單元可設(shè)置有外部空氣溫度 測(cè)量?jī)x，所述外部空氣溫度測(cè)量?jī)x測(cè)量吸入外部空氣的吸入口處的外部空 氣的溫度，以及控制裝置根據(jù)外部空氣溫度測(cè)量?jī)x測(cè)量的溫度和室溫測(cè)量 儀測(cè)量的溫度來(lái)控制空氣調(diào)節(jié)單元，用于改變空氣的調(diào)整溫度。因?yàn)橥獠靠諝獾臏囟缺辉O(shè)置在空氣調(diào)節(jié)單元的吸入口處的外部空氣 溫度測(cè)量?jī)x測(cè)量，因此能夠獲得曝光前放置感光材料的設(shè)備安裝環(huán)境的溫 度，控制裝置基于外部空氣的測(cè)量溫度和容納室的測(cè)量溫度來(lái)控制空氣調(diào)
節(jié)單元，供應(yīng)到容納室的空氣的調(diào)整溫度被改變。因此，即使當(dāng)設(shè)備安裝 環(huán)境的溫度被用于容納室的空氣調(diào)節(jié)，與配置在傳送機(jī)構(gòu)的配置表面上的 感光材料的溫度相對(duì)應(yīng)的容納室的溫度控制(設(shè)備安裝在其中的環(huán)境的溫 度)可以從外部設(shè)備來(lái)控制。例如，當(dāng)執(zhí)行空氣調(diào)節(jié)使容納室的溫度(室溫) 更接近設(shè)備安裝環(huán)境的溫度時(shí)，設(shè)備安裝環(huán)境和室溫之間的溫差導(dǎo)致的、 配置在傳送機(jī)構(gòu)上的感光材料的熱變形量被抑制。進(jìn)一步地，在這種情況 下，因?yàn)槟軌蛲ㄟ^(guò)外部空氣的測(cè)量溫度來(lái)獲得設(shè)備安裝環(huán)境的溫度，艮P， 感光材料的溫度，而與容納室的室溫測(cè)量無(wú)關(guān)，因此容納室的上述溫度控 制能夠快速地執(zhí)行。在上述第一和第二方面中任一個(gè)的曝光設(shè)備中，可還包括元件容納 室，所述元件容納室與容納室分離地設(shè)置，其中設(shè)備工作時(shí)產(chǎn)生熱量的發(fā) 熱元件容納在元件容納室中。因?yàn)樵O(shè)備工作期間產(chǎn)生熱量的控制板、電源單元等發(fā)熱元件容納在與 容納室分離地設(shè)置的元件容納室中，因此設(shè)置在容納室中的一些發(fā)熱元件 (熱源)可被制得更小。結(jié)果，容納室的溫度變化被抑制，空氣調(diào)節(jié)控制 就更容易，沿掃描方向出現(xiàn)的溫度差異和溫度變化就更容易抑制。上述結(jié)構(gòu)的曝光設(shè)備可還包括蓋體，容納室設(shè)置在蓋體內(nèi)部，設(shè)備主 體容納在蓋體內(nèi)部，其中元件容納室沿蓋體的壁面形成。因?yàn)槿菁{控制板、電源單元等發(fā)熱元件的元件容納室沿內(nèi)部設(shè)置容納 室和容納設(shè)備主體的蓋體的壁面形成，因此控制板、電源單元等能夠被設(shè) 置得靠近設(shè)備主體的控制物品、電源部分等。結(jié)果，它們之間電連接的線 路被縮短，能夠簡(jiǎn)化布線處理和提高布線的抗噪。由于本發(fā)明的曝光設(shè)備具有上述結(jié)構(gòu)，執(zhí)行空氣調(diào)節(jié)以便抑制沿掃描 方向出現(xiàn)的溫度差異、溫度變化等，實(shí)現(xiàn)了高精度曝光。進(jìn)一步地，本發(fā)明的第二目的是提供一種曝光設(shè)備，其能夠根據(jù)用戶 判斷實(shí)現(xiàn)曝光處理和實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)率的提高。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第三方面的曝光設(shè)備包括曝光單元， 其發(fā)射光束并掃描地曝光感光材料；傳送機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于曝光單元相對(duì)地 運(yùn)動(dòng)，并沿掃描方向傳送感光材料；容納室，曝光單元容納在該容納室中， 傳送機(jī)構(gòu)可移動(dòng)地容納在該容納室中；室溫測(cè)量?jī)x，其設(shè)置在容納室的多
個(gè)位置處并測(cè)量多個(gè)位置的溫度；控制裝置，其根據(jù)室溫測(cè)量?jī)x的測(cè)量結(jié) 果來(lái)判斷多個(gè)位置中的每個(gè)位置的溫度穩(wěn)定性的程度；和顯示單元，其顯 示曝光性能等級(jí)，所述曝光性能等級(jí)根據(jù)控制裝置的判斷結(jié)果得出。進(jìn)一步地，上述第三方面的曝光設(shè)備可包括輸入單元，用于根據(jù)顯示 單元顯示的曝光性能等級(jí)來(lái)執(zhí)行曝光開(kāi)始指令。在上述第三方面的曝光設(shè)備中，用戶通過(guò)顯示單元來(lái)識(shí)別曝光性能等 級(jí)。進(jìn)一步地，當(dāng)包括輸入單元時(shí)，用戶能夠根據(jù)其識(shí)別的曝光性能等級(jí) 來(lái)指令曝光開(kāi)始。于是，即使當(dāng)相應(yīng)位置的溫度沒(méi)有穩(wěn)定也能夠執(zhí)行曝光 處理，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率的提高。進(jìn)一步地，在上述第三方面的曝光設(shè)備中，曝光性能等級(jí)可包括直到 能夠曝光的持續(xù)時(shí)間。在這種情況下，直到能夠曝光的持續(xù)時(shí)間被判斷，根據(jù)該持續(xù)時(shí)間， 用戶能夠確定是否一直等到溫度穩(wěn)定后開(kāi)始曝光，還是不等到溫度穩(wěn)定就 開(kāi)始曝光。進(jìn)一步地，上述第三方面的曝光設(shè)備可被構(gòu)造成根據(jù)曝光性能等級(jí)在 曝光開(kāi)始指令之后實(shí)施(曝光開(kāi)始的)再確認(rèn)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，如果在沒(méi)有達(dá)到穩(wěn)定溫度的狀態(tài)下給出錯(cuò)誤的曝光開(kāi) 始指令，能夠刪除該指令，因此防止了錯(cuò)誤的操作。進(jìn)一步地，上述第三方面的曝光設(shè)備可被構(gòu)造成根據(jù)曝光性能等級(jí)在 曝光開(kāi)始指令之后， 一直等到多個(gè)位置的溫度穩(wěn)定之后自動(dòng)地開(kāi)始曝光處 理。在這種情況下，即使在溫度沒(méi)有穩(wěn)定的狀態(tài)下給出錯(cuò)誤的曝光開(kāi)始指 令，在溫度穩(wěn)定前曝光設(shè)備也不開(kāi)始曝光處理。因此防止了錯(cuò)誤的操作， 實(shí)現(xiàn)了保證品質(zhì)的曝光處理。根據(jù)上述方式中的任一方式的本發(fā)明，可根據(jù)用戶判斷執(zhí)行曝光處 理，能夠提供能夠提高生產(chǎn)率的曝光設(shè)備。進(jìn)一步地，本發(fā)明的第三個(gè)目的是提供一種曝光設(shè)備，其能夠響應(yīng)安 裝環(huán)境溫度的變化來(lái)進(jìn)行保證曝光品質(zhì)的穩(wěn)定溫度的再指定。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第四方面的曝光設(shè)備包括曝光單元， 其發(fā)射光束并掃描地曝光感光材料；傳送機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于曝光單元相對(duì)地 運(yùn)動(dòng)，并沿掃描方向傳送感光材料；容納室，曝光單元容納在該容納室中， 傳送機(jī)構(gòu)可移動(dòng)地容納在該容納室中；室溫測(cè)量?jī)x，其設(shè)置在容納室的多 個(gè)位置處并測(cè)量多個(gè)位置的溫度；控制裝置，其根據(jù)室溫測(cè)量?jī)x的測(cè)量結(jié) 果來(lái)判斷多個(gè)位置中的每個(gè)位置的溫度穩(wěn)定性的程度，將被判斷為穩(wěn)定的 溫度與多個(gè)位置中的每個(gè)位置的預(yù)先指定的穩(wěn)定溫度進(jìn)行比較，并判斷多 個(gè)位置中的每個(gè)位置的穩(wěn)定性的狀態(tài)；和改寫裝置，其用于根據(jù)控制裝置 的判斷結(jié)果來(lái)改寫穩(wěn)定溫度。根據(jù)本發(fā)明的第四方面，當(dāng)根據(jù)控制裝置的判斷結(jié)果判斷預(yù)先指定的 穩(wěn)定溫度的再指定是必須的時(shí)，可通過(guò)改寫裝置改寫(再指定)穩(wěn)定溫度。 因此，即使運(yùn)輸調(diào)節(jié)時(shí)的安裝環(huán)境溫度與實(shí)際安裝環(huán)境溫度極大地不同， 也能夠適當(dāng)?shù)仨憫?yīng)。即，利用該曝光設(shè)備，能夠根據(jù)安裝環(huán)境溫度指定最 優(yōu)化的穩(wěn)定溫度，因此對(duì)安裝環(huán)境溫度的變化的適應(yīng)程度被拓寬。進(jìn)一步地，本發(fā)明的第四方面的曝光設(shè)備可包括顯示單元，其顯示穩(wěn) 定溫度的改寫是必需的。由于具有上述結(jié)構(gòu)，用戶能夠容易地確認(rèn)穩(wěn)定溫度的改寫(再指定) 是必需的。進(jìn)一步地，本發(fā)明的第四方面的曝光設(shè)備可包括改變裝置，其用于根據(jù)穩(wěn)定溫度的改寫來(lái)改變?cè)O(shè)備特定參數(shù)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠根據(jù)穩(wěn)定溫度的改寫(再指定)來(lái)改變特定設(shè)備的參數(shù)。因此，對(duì)曝光設(shè)備的安裝環(huán)境溫度的變化的適應(yīng)范圍被拓寬。這里，提及的設(shè)備特定參數(shù)是曝光單元處的光量分布、曝光量、傾斜度、圖像結(jié)合部、放大倍率等。進(jìn)一步地，曝光設(shè)備可包括顯示單元，其顯示參數(shù)的改變是必需的。 在該情況下，用戶能夠容易地確認(rèn)設(shè)備特定參數(shù)的改變是必需的。 根據(jù)上述方式中的任一種的本發(fā)明，提供一種曝光設(shè)備，其能夠響應(yīng)安裝環(huán)境溫度的變化來(lái)進(jìn)行保證圖像曝光品質(zhì)的穩(wěn)定溫度的再指定。


圖1是顯示本發(fā)明第一實(shí)施例的曝光設(shè)備的立體圖；圖2是顯示當(dāng)設(shè)備主體容納在蓋體中時(shí)的、本發(fā)明第一實(shí)施例的曝光
設(shè)備的側(cè)視圖；圖3是顯示當(dāng)已經(jīng)容納在蓋體中時(shí)的、本發(fā)明第一實(shí)施例的設(shè)備主體I圖4是顯示本發(fā)明第一實(shí)施例的設(shè)備主體的俯視圖；圖5是顯示當(dāng)已經(jīng)容納在蓋體中時(shí)的、本發(fā)明第一實(shí)施例的設(shè)備主體 的后視圖；圖6是顯示設(shè)置在本發(fā)明第一實(shí)施例的設(shè)備主體處的傳送臺(tái)的立體圖；圖7A是顯示本發(fā)明第一實(shí)施例的傳送臺(tái)的俯視圖； 圖7B是顯示本發(fā)明第一實(shí)施例的傳送臺(tái)的主視圖； 圖7C是顯示本發(fā)明第一實(shí)施例的傳送臺(tái)的圖7B中的線圈部附近的放 大主視圖；圖8A是顯示被本發(fā)明第一實(shí)施例的曝光單元所曝光的曝光圖案的俯 視圖；圖8B是顯示設(shè)置在曝光單元處的多個(gè)排列頭的布置圖案的俯視圖；圖9是顯示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)單元(校準(zhǔn)單元)的立體圖；圖10是顯示當(dāng)圖3的設(shè)備主體的傳送臺(tái)設(shè)置在朝外運(yùn)動(dòng)方向的最下游 位置處時(shí)的、設(shè)備主體的側(cè)視圖；圖11是顯示當(dāng)設(shè)備主體已經(jīng)容納在蓋體中時(shí)的、本發(fā)明第二實(shí)施例的 設(shè)備主體的側(cè)視圖；圖12是顯示當(dāng)圖11的設(shè)備主體的傳送臺(tái)設(shè)置在朝外運(yùn)動(dòng)方向的最下 游位置處時(shí)的、設(shè)備主體的側(cè)視圖；圖13是顯示當(dāng)設(shè)備主體己經(jīng)容納在蓋體中時(shí)的、本發(fā)明第三實(shí)施例的 設(shè)備主體的側(cè)視圖；圖14是顯示當(dāng)設(shè)備主體已經(jīng)容納在蓋體中時(shí)的、本發(fā)明第四實(shí)施例的 設(shè)備主體的側(cè)視圖；圖15是顯示當(dāng)圖14的設(shè)備主體的傳送臺(tái)設(shè)置在朝外運(yùn)動(dòng)方向的最下 游位置處時(shí)的、設(shè)備主體的側(cè)視圖；圖16A是顯示本發(fā)明第五實(shí)施例的設(shè)備主體的后視圖；圖16B是顯示本發(fā)明第五實(shí)施例的設(shè)備主體的主要元件的側(cè)視圖； 圖17是顯示設(shè)置在本發(fā)明第六實(shí)施例的設(shè)備主體處的傳送臺(tái)的立體圖；圖18A是顯示本發(fā)明第七實(shí)施例的傳送臺(tái)的側(cè)視圖； 圖18B是顯示本發(fā)明第七實(shí)施例的傳送臺(tái)的俯視圖；圖19是顯示本發(fā)明第八實(shí)施例的傳送臺(tái)的主視圖； 圖20是顯示本發(fā)明第九實(shí)施例的傳送臺(tái)的主視圖； 圖21是說(shuō)明本發(fā)明第十實(shí)施例的操作的流程圖；圖22是說(shuō)明本發(fā)明第十一實(shí)施例的操作的流程圖。
具體實(shí)施方式
下面，將參考

本發(fā)明的各實(shí)施例的曝光設(shè)備。第一實(shí)施例圖l一5顯示本發(fā)明的第一實(shí)施例的曝光設(shè)備。圖6和7顯示用于感光 材料傳送的傳送臺(tái)，該傳送臺(tái)設(shè)置在本實(shí)施例的曝光設(shè)備處。如圖l一5所示，曝光設(shè)備10具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中設(shè)備主體20容納 在大的蓋體12中。在圖示狀態(tài)下，曝光設(shè)備10設(shè)置在無(wú)塵室等空氣調(diào)節(jié) 環(huán)境中，在無(wú)塵室中，溫度和濕度是受控的，并且除去了漂浮在室中的空 氣中的灰塵、微觀粒子等，以便保持高程度的空氣清潔度。蓋體12具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中使內(nèi)部和外部隔離的多個(gè)面板16被安 裝在框架主體上，通過(guò)將桿狀角度管(角度管)14安裝成框架形式(請(qǐng)參 見(jiàn)圖5)來(lái)形成框架主體。蓋體12的下表面部分是開(kāi)放的，因而形成容納 室13。設(shè)備主體20容納在容納室13中。下部的角度管14設(shè)置在底板 表面上，并連接到和支撐在一對(duì)框架臺(tái)24上。蓋體12由大致立方體蓋主體部分12A和安裝部分12B構(gòu)成。蓋主體部 分12A的內(nèi)部設(shè)置有曝光室(室)15，曝光室15構(gòu)成容納室13的一部分 并且容納設(shè)備主體20的主要元件。安裝部分12B從蓋主體部分12A的 一側(cè)面凸出設(shè)置，用于容納設(shè)備主體20的傳送臺(tái)28等，用于裝載和卸載 傳送臺(tái)28上的線路板等感光材料40。如圖5所示，設(shè)置在蓋主體部分12A的面板16由內(nèi)部面板16A和外
部面板16B構(gòu)成。內(nèi)部面板16A構(gòu)成蓋主體部分12A的內(nèi)壁面并形成曝 光室15。外部面板16B設(shè)置在內(nèi)部面板16A的外側(cè)，與內(nèi)部面板16A之 間具有預(yù)定的間隔，并構(gòu)成蓋主體部分12A的外部設(shè)備表面。因此，蓋體 12的壁面具有兩層結(jié)構(gòu)。元件容納室17設(shè)置在內(nèi)部面板16A和外部面板 16B之間。該元件容納室17是基本密封的薄片狀空穴，并沿蓋體12的壁 面形成。如圖1一3所示，安裝部分12B的上表面設(shè)置得比蓋主體部分12A的 上表面底，并且是指定的以便大致在安裝部分12B前面的工作臺(tái)的齊腰高 處。矩形孔18形成在安裝部分12B的上表面上，并位于與傳送臺(tái)28相 對(duì)應(yīng)的位置處。打開(kāi)和閉合孔18的打開(kāi)/閉合面板19也設(shè)置在安裝部分 12B的上表面上。打開(kāi)/閉合面板19的蓋主體部分12A側(cè)的邊緣通過(guò)未顯 示的鉸鏈安裝到安裝部分12B。打開(kāi)/閉合面板19通過(guò)操作人員手動(dòng)地 繞鉸鏈轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)打開(kāi)和閉合孔18。測(cè)量容納室13的溫度的溫度傳感器72 安裝在打開(kāi)/閉合面板19的后表面處。當(dāng)打開(kāi)/閉合面板19打開(kāi)時(shí)，感光材料配置表面(感光材料配置表面) 28A通過(guò)孔18曝光，感光材料配置表面28A是傳送臺(tái)28的上表面。當(dāng)打 開(kāi)/閉合面板19閉合時(shí)，傳送臺(tái)28被隱藏，溫度傳感器72設(shè)置在傳送 臺(tái)28的上部附近，僅安裝部分12B的下表面部分被幵放。這里，設(shè)置在 傳送臺(tái)28附近的溫度傳感器72可由非接觸型紅外溫度傳感器替換，其用 于在感光材料40被配置到傳送臺(tái)28上之后測(cè)量感光材料40的溫度。容納在上述蓋體12的容納室13中的曝光設(shè)備IO的設(shè)備主體20設(shè)置 有水平臺(tái)22，水平臺(tái)22以矩形厚板形式形成以便用作基部。水平臺(tái)22 支撐在框架臺(tái)24上，構(gòu)成蓋體12的角度管14連接到框架臺(tái)24。如圖所 示，水平臺(tái)22被設(shè)置成從安裝部分12B的內(nèi)部延伸到蓋主體部分12A(曝 光室15)的內(nèi)部。一對(duì)導(dǎo)軌26設(shè)置在水平臺(tái)22的上表面上。導(dǎo)軌26沿水平臺(tái)22的長(zhǎng) 度方向(箭頭Y表示的方向)直線延伸，并且彼此平行地布置。通過(guò)一對(duì)導(dǎo) 軌26，在水平臺(tái)22上形成線性傳送臺(tái)運(yùn)動(dòng)路徑。前述以矩形基架形式形 成的傳送臺(tái)28、平臺(tái)30、上升/下降機(jī)構(gòu)32和測(cè)量單元70作為一個(gè)單 元形成，并設(shè)置在一對(duì)導(dǎo)軌26上。平臺(tái)30可運(yùn)動(dòng)地支撐在傳送臺(tái)28上。
上升/下降機(jī)構(gòu)32上升和下降傳送臺(tái)28。測(cè)量單元70設(shè)置有光量測(cè)量?jī)x、 光束位置探測(cè)器、和攝像機(jī)標(biāo)定用基準(zhǔn)面板，稍后將更詳細(xì)地說(shuō)明。平臺(tái)30具有矩形平板形式。與導(dǎo)軌26滑動(dòng)地接合的四個(gè)腿部34安裝 在平臺(tái)30的下表面的四角的附近。傳送臺(tái)28與平臺(tái)30平行且與平臺(tái)相 距預(yù)定間隔地設(shè)置在平臺(tái)30的上表面上，上升/下降機(jī)構(gòu)32設(shè)置在平臺(tái) 的上表面上。上升/下降機(jī)構(gòu)32在豎直方向(箭頭Z所表示的方向)上運(yùn) 動(dòng)平臺(tái)30。進(jìn)一步地，如圖5和6所示，在圖1一3的紙張后側(cè)的、上升 /下降機(jī)構(gòu)32的側(cè)表面部分處,產(chǎn)生上升和下降操作的驅(qū)動(dòng)力的步進(jìn)電機(jī) (st印per motor) 36從側(cè)表面部分凸出(暴露出)并安裝在那里。傳送臺(tái)28的長(zhǎng)度方向沿導(dǎo)軌26的延伸方向定向，傳送臺(tái)28設(shè)置在 水平臺(tái)22上，與一對(duì)導(dǎo)軌26接合的平臺(tái)30的腿部34相對(duì)導(dǎo)軌26滑動(dòng)。 因此，導(dǎo)軌26引導(dǎo)的且在水平臺(tái)22上以直線形式設(shè)置的傳送臺(tái)運(yùn)動(dòng)路徑 能夠使傳送臺(tái)28在箭頭Y的方向上往復(fù)運(yùn)動(dòng)。26之間，以便用作線性運(yùn)動(dòng)型線性伺服電機(jī)38設(shè)置在水平臺(tái)22的上 表面上，并位于一對(duì)導(dǎo)軌傳送臺(tái)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源。此外，線性編碼器37額 外地設(shè)置在線性伺服電機(jī)38上。線性伺服電機(jī)38由圓棒形定子部分(磁體部分)38A和管狀線圈部分 38B (請(qǐng)參見(jiàn)圖3和5)構(gòu)成。定子部分38A與導(dǎo)軌26平行地沿水平臺(tái) 22的長(zhǎng)度方向(箭頭Y所表示的方向)延伸。線圈部分38B安裝在平臺(tái)30 的下表面上，定子部分38A通過(guò)線圈部分38B插入。如圖7C所示，多個(gè)散熱片38C整體地設(shè)置在線圈部分38B的下表面 和兩側(cè)面上。散熱片38C沿線圈部分38B的軸向(箭頭Y所表示的方向) 延伸(凸出)。設(shè)置在平臺(tái)30的下表面的線圈部分38B以這樣的狀態(tài)被 安裝，即如圖7A-7C所示，其中線圈部分38B的上表面不直接接觸平臺(tái) 30的下表面，而是通過(guò)插入多個(gè)環(huán)形的絕熱襯墊39使線圈部分38B和平 臺(tái)30的下表面之間形成有間隙，線圈部分38B從平臺(tái)30的下表面凸出 (暴露出)。這里，絕熱襯墊39由低導(dǎo)熱性且低熱膨脹性材料形成，例如 玻璃、陶瓷等。在上述線性伺服電機(jī)38處，線圈部分38B的電導(dǎo)形成的磁場(chǎng)與定子 部分38A的磁場(chǎng)之間的磁作用力產(chǎn)生定子部分38A沿線圈部分38B的軸22
向的驅(qū)動(dòng)力。通過(guò)該驅(qū)動(dòng)力，傳送臺(tái)28沿一對(duì)導(dǎo)軌26被引導(dǎo)，并且沿水 平臺(tái)22上的傳送臺(tái)運(yùn)動(dòng)路徑往復(fù)運(yùn)動(dòng)(箭頭Y所表示的方向，請(qǐng)參見(jiàn)圖 10)。這里，圖中的箭頭YA表示傳送臺(tái)28的朝外運(yùn)動(dòng)方向(校準(zhǔn)測(cè)量方 向)，箭頭YB表示返回運(yùn)動(dòng)方向(曝光方向/掃描方向)。在線圈部分38B 隨傳送臺(tái)28相對(duì)于定子部分38A相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，線性編碼器37以對(duì)應(yīng)于 往復(fù)運(yùn)動(dòng)方向的預(yù)定極性向脈沖計(jì)算器輸出脈沖信號(hào)，該脈沖的數(shù)量與運(yùn) 動(dòng)量成正比。根據(jù)線性編碼器37的脈沖信號(hào)來(lái)執(zhí)行傳送臺(tái)28的運(yùn)動(dòng)控 制，例如恒速運(yùn)動(dòng)、反回運(yùn)動(dòng)、停止等。感光材料40是一種由本實(shí)施例的曝光設(shè)備10圖像曝光的曝光物，例 如，印刷電路板等，在該印刷電路板上圖案被圖像曝光用以形成布線圖等。 在設(shè)置在上述傳送臺(tái)28的上表面上的感光材料配置表面上，通過(guò)未圖示 的定位部分，感光材料40被定位于預(yù)定的配置位置。如圖4所示，表示曝光位置基準(zhǔn)的校準(zhǔn)標(biāo)記M多個(gè)地設(shè)置在感光材料 40的角部附近(在本實(shí)施例中，在相應(yīng)角部附近的四個(gè)位置處)。這些校 準(zhǔn)標(biāo)記M例如通過(guò)圓形通孔等形成。進(jìn)一步地，在傳送臺(tái)28的感光材料 配置表面28A中形成有多個(gè)未圖示的槽部分。感光材料40通過(guò)吸附連接 并通過(guò)這些槽部分供應(yīng)的負(fù)壓而被固定在傳送臺(tái)28上。因此，如圖1一4 所示，利用打開(kāi)/閉合面板19執(zhí)行感光材料40在傳送臺(tái)28上的安裝和 移動(dòng)，在傳送臺(tái)28設(shè)置和停止在作為原點(diǎn)位置的、傳送臺(tái)28的運(yùn)動(dòng)路 徑的安裝部分12B側(cè)時(shí)，打開(kāi)/閉合面板19被操作員向上打開(kāi)。一對(duì)支撐柱42直立設(shè)置在水平臺(tái)22的上表面的寬度方向(箭頭X所 表示的方向)的兩端部，并位于設(shè)置于水平臺(tái)22上的傳送臺(tái)運(yùn)動(dòng)路徑的 大致中心位置處。曝光單元44安裝在一對(duì)支撐柱42的一側(cè)(安裝部分 12B側(cè))處的上部。曝光單元44設(shè)置有多個(gè)曝光頭46，曝光頭46從上方 發(fā)射光束來(lái)掃描地曝光感光材料40，感光材料40通過(guò)傳送臺(tái)28的返回 運(yùn)動(dòng)在掃描方向(箭頭YB所表示的方向)上被傳送。校準(zhǔn)單元60安裝在一 對(duì)支撐柱42的另一側(cè)的上部。校準(zhǔn)單元60相對(duì)于感光材料40設(shè)置有多 個(gè)攝像機(jī)62，多個(gè)攝像機(jī)62對(duì)應(yīng)于校準(zhǔn)標(biāo)記M的位置設(shè)置，感光材料40 通過(guò)傳送臺(tái)28的朝外運(yùn)動(dòng)而在校準(zhǔn)測(cè)量方向(箭頭YA所表示的方向)上 傳送，多個(gè)攝像機(jī)62從上方拍攝校準(zhǔn)標(biāo)記M。曝光單元44、校準(zhǔn)單元60
和支撐這些單元的相應(yīng)端部的一對(duì)支撐柱42以門形形式構(gòu)成并設(shè)置在曝 光室15中，如圖1所示，前述門形形式橫跨傳送臺(tái)運(yùn)動(dòng)路徑并允許傳送 臺(tái)28通過(guò)。如圖l一4所示，曝光單元44設(shè)置有單元基座48，單元基座48架設(shè) 在一對(duì)支撐柱42之間，多個(gè)曝光頭46 (例如8個(gè))安裝在單元基座48 上。多個(gè)曝光頭46沿傳送臺(tái)28的運(yùn)動(dòng)方向(箭頭Y所表示的方向)和交 叉方向(箭頭X所表示的方向)、以n行ro列的大致矩陣圖案布置(例如4 行2列)。如圖1和2所示，元件容納室49設(shè)置在蓋主體部分12A的另一側(cè)部。 元件容納室49被構(gòu)成為與曝光室15隔離。在曝光設(shè)備IO工作期間產(chǎn)生 熱量的多個(gè)發(fā)熱元件，例如光源單元50、電源單元74、控制單元76等， 被容納在元件容納室49中。進(jìn)一步地，通風(fēng)風(fēng)扇78安裝在蓋主體部分 12A的側(cè)面(外部面板16B)上。通風(fēng)風(fēng)扇78將元件容納室49中的空氣 排出到外部并抑制元件容納室49中的溫度上升。多個(gè)激光源(半導(dǎo)體激光器)被集成到光源單元50中。從激光源發(fā)射 的激光通過(guò)未圖示的光纖被引導(dǎo)到曝光單元44的曝光頭46。每個(gè)曝光頭46裝備有未圖示的數(shù)字微鏡裝置(DMD)，數(shù)字微鏡裝置用 作空間光調(diào)制器，其在對(duì)應(yīng)于圖像數(shù)據(jù)的每個(gè)像素處調(diào)制光源單元50發(fā) 射的激光。在每個(gè)曝光頭46處，通過(guò)這種DMD在像素單元中調(diào)制光源單 元50的入射光(激光)并作為曝光光束(激光束)發(fā)射。因此，在曝光 設(shè)備10的曝光操作中，當(dāng)傳送臺(tái)28以恒速?gòu)钠毓鈫卧?4的底下通過(guò) 時(shí)，曝光單元44以預(yù)定時(shí)間從曝光頭46向傳送臺(tái)28上的感光材料40 的表面發(fā)射相應(yīng)的光束，并曝光圖像圖案(圖像曝光)。如圖8B所示，被相應(yīng)曝光頭46發(fā)射的光束所曝光的相應(yīng)曝光區(qū)域52 具有矩形形式，該矩形沿掃描方向?yàn)槎踢叄⒁韵鄬?duì)于掃描方向的預(yù)定角 度傾斜。如圖8A所示，對(duì)應(yīng)于傳送臺(tái)28的運(yùn)動(dòng)，通過(guò)每個(gè)曝光頭46在 感光材料40上形成帶狀曝光區(qū)域54。如圖9所示，校準(zhǔn)單元60設(shè)置有單元基座64，單元基座64安裝在一 對(duì)支撐柱42上。如圖3所示，單元基座64以T形截面形成。在單元基座64的曝光單元44側(cè)面處， 一對(duì)導(dǎo)軌66沿與傳送臺(tái)28 的運(yùn)動(dòng)方向(箭頭Y所表示的方向)相交叉的方向(g卩，箭頭X所表示的方 向)延伸設(shè)置。每個(gè)攝像機(jī)被一對(duì)導(dǎo)軌66可滑動(dòng)地引導(dǎo)，并被相應(yīng)的獨(dú)立 設(shè)置的滾珠絲杠機(jī)構(gòu)68驅(qū)動(dòng)， 一未圖示的步進(jìn)電機(jī)等驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)該滾珠 絲杠機(jī)構(gòu)68，每個(gè)攝像機(jī)62在與傳送臺(tái)28的運(yùn)動(dòng)方向相交叉的方向上 獨(dú)立地運(yùn)動(dòng)。進(jìn)一步地，每個(gè)攝像機(jī)62以這樣的姿勢(shì)設(shè)置，其中設(shè)置在 攝像機(jī)主體62A的遠(yuǎn)端的透鏡部分62B朝下地定向，透鏡光軸大致豎直。 環(huán)形閃爍光源(LED閃爍光源)62C安裝在透鏡部分62B的遠(yuǎn)端部分處。因此，當(dāng)感光材料40的校準(zhǔn)標(biāo)記M被拍攝到時(shí)，通過(guò)上述驅(qū)動(dòng)源和 滾珠絲杠機(jī)構(gòu)68，每個(gè)攝像機(jī)62在箭頭X所表示的方向上運(yùn)動(dòng)，并設(shè)置 在相應(yīng)的預(yù)定拍攝位置處。即，透鏡光軸被設(shè)置成匹配這樣一個(gè)位置，即 傳送臺(tái)28傳送的感光材料40的校準(zhǔn)標(biāo)記M將通過(guò)的位置。在校準(zhǔn)標(biāo)記M 已經(jīng)到達(dá)預(yù)定拍攝位置時(shí)，閃爍光源62C發(fā)射光，照射感光材料40并被 感光材料40的上表面反射的閃爍光經(jīng)透鏡部分62B在攝像機(jī)主體62A處 入射。因此，校準(zhǔn)標(biāo)記M被拍攝。如上所述，在曝光單元44的每個(gè)曝光頭46處，光源單元50入射的 激光被DMD調(diào)制，光束被照射到感光材料40，并且執(zhí)行圖像曝光。因?yàn)?在操作期間出現(xiàn)相互干涉，時(shí)間差異等，DMD反射的光束的光量分布和發(fā) 射的光束的光量分布會(huì)在與掃描方向交叉的方向上變得不均勻，將進(jìn)行預(yù) 定曝光量值曝光的感光材料40的各部分的曝光量會(huì)變得偏離預(yù)定曝光量 值。因此，在該曝光設(shè)備10中，為了執(zhí)行明暗調(diào)節(jié)(shading adjustment) 以便使光量分布更均勻和執(zhí)行曝光量調(diào)節(jié)，光量測(cè)量?jī)x(光量測(cè)量裝置) 設(shè)置用于測(cè)量光量分布和DMD發(fā)射的光束的曝光量。許多光學(xué)構(gòu)件、機(jī)械構(gòu)件等設(shè)置在光源和每個(gè)曝光頭46的聚焦平面 之間。結(jié)果，因?yàn)闇囟茸兓鸬臒崤蛎?熱收縮、長(zhǎng)期使用引起的配合 的時(shí)效變化等，曝光頭46的光束所形成的圖像(曝光區(qū)域54)在結(jié)合部 分處會(huì)遭受達(dá)到不能忽視的程度的偏離，這會(huì)降低圖像品質(zhì)。因此，在該 曝光設(shè)備10中，為了校正多個(gè)曝光頭46發(fā)射的光束所形成的圖像之間 的結(jié)合部(曝光區(qū)域52)，用于光束位置方向的基準(zhǔn)板和光探測(cè)器(光束位 置探測(cè)器)被設(shè)置用于探測(cè)光束的曝光位置。此外，在本實(shí)施例的裝備有校準(zhǔn)功能裝置的曝光設(shè)備10中，可通過(guò)
運(yùn)動(dòng)期間的旋轉(zhuǎn)、俯仰和/和偏轉(zhuǎn)來(lái)導(dǎo)致校準(zhǔn)單元60的每個(gè)攝像機(jī)62的 姿勢(shì)變化，在攝像機(jī)62設(shè)置在拍攝位置時(shí)，透鏡部分62B的光軸中心可 從適當(dāng)位置移動(dòng)。結(jié)果，由于這些影響，當(dāng)校準(zhǔn)功能裝置用于校正曝光位 置和執(zhí)行圖像曝光時(shí)，曝光位置可被錯(cuò)誤地定位，而偏離正確的位置，并 且偏離超出公差范圍。因此，在該曝光設(shè)備10中，為了校正校準(zhǔn)功能裝 置(校準(zhǔn)功能裝置的精度受攝像機(jī)62的姿勢(shì)變化引起的光軸變化影響)， 設(shè)置了攝像機(jī)校正用基準(zhǔn)板。攝像機(jī)校正基準(zhǔn)板多個(gè)地設(shè)置有被攝像機(jī)62 拍攝的校準(zhǔn)標(biāo)記。光量測(cè)量?jī)x、光束位置探測(cè)器和攝像機(jī)校正基準(zhǔn)板被構(gòu)造成整體地設(shè) 置在測(cè)量單元70上，測(cè)量單元70安裝在傳送臺(tái)28的前側(cè)部分上。光量 測(cè)量操作(用于明暗調(diào)節(jié)和曝光量調(diào)節(jié))、和光束的曝光位置探測(cè)操作(用 于校正曝光頭46發(fā)射的光束所形成的圖像的結(jié)合部)以曝光操作之間的 預(yù)定時(shí)間執(zhí)行(例如，在感光材料上的預(yù)定數(shù)量的曝光操作之后)。校準(zhǔn) 功能裝置的校正在制造、維護(hù)等時(shí)刻，和/或在曝光操作之間的預(yù)定時(shí)間 執(zhí)行。如圖l所示，曝光設(shè)備10設(shè)置有空氣調(diào)節(jié)器80，空氣調(diào)節(jié)器80調(diào)節(jié) 蓋體12內(nèi)部的容納室13的空氣，設(shè)備主體20容納在蓋體12的容納室 13中。空氣調(diào)節(jié)器80通過(guò)圓形管形導(dǎo)管82與蓋體12中的曝光室15連 接。通過(guò)經(jīng)過(guò)安裝環(huán)境的空氣(外部空氣)，調(diào)節(jié)器80收集灰塵、微觀粒 子等，將空氣調(diào)節(jié)成預(yù)定溫度和濕度，并把空氣排出到導(dǎo)管82，前述空氣 通過(guò)吸入口 84、內(nèi)置HEPA過(guò)濾器(高效率微?？諝膺^(guò)濾器)88吸入從而 被清潔。溫度傳感器86安裝在吸入口 84處。溫度傳感器86測(cè)量要被吸 入空氣調(diào)節(jié)器80的外部空氣的溫度。如圖3所示，導(dǎo)管82的遠(yuǎn)端部分82A安裝在曝光室15的內(nèi)壁表面15A 處，內(nèi)壁表面15A與設(shè)置曝光單元44的附近的內(nèi)壁表面相對(duì)。遠(yuǎn)端部分 82A設(shè)置在內(nèi)壁表面15A的上部位置處，如圖4所示，大致位于曝光室15 的寬度方向(箭頭X所表示的方向)的中心。導(dǎo)管82的流出口 82B形成為 環(huán)形開(kāi)口，并朝下地定向以便從空氣調(diào)節(jié)器80大致垂直朝下地吹冷卻空 氣。進(jìn)一步地，導(dǎo)管82的遠(yuǎn)端部分82A形成有直線形部分。該直線形部 分的長(zhǎng)度被設(shè)定成預(yù)定尺寸(到流出口 82B的長(zhǎng)度為L(zhǎng))。
在空氣調(diào)節(jié)器80處，從導(dǎo)管82的流出口 82B吹出的冷卻空氣的流速、 流量等是可調(diào)節(jié)的。在本實(shí)施例中，流出口 82B處的流速被設(shè)定為9.4 m/s，流量(體積流量)被設(shè)定為10 mVmin。進(jìn)一步地，在本實(shí)施例的導(dǎo) 管82處，遠(yuǎn)端部分82A的長(zhǎng)度(L)(直線形部分)被設(shè)定為至少30cm， 流出口 82B的直徑(D)被設(shè)定為15cm。氣流方向改變板90設(shè)置在導(dǎo)管82的流出口 82B的下面，該氣流方向 改變板90以矩形板形狀形成。如圖4所示，氣流方向改變板90的寬度尺 寸大致等于傳送臺(tái)28的寬度尺寸，并且大致居中地設(shè)置在曝光室15的 寬度方向上，從而使得氣流方向改變板90的中心部分大致位于導(dǎo)管82 的流出口 82B的直接下方。如圖3所示，氣流方向改變板90的一長(zhǎng)邊部 分(基端部分)通過(guò)鉸鏈92安裝到曝光室15的內(nèi)壁表面15A，并且繞 鉸鏈92轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)一步地，氣流方向改變板90的遠(yuǎn)端側(cè)由角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu) 94支撐，并且可通過(guò)角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)94的手動(dòng)操作來(lái)調(diào)節(jié)傾斜角度。因此，氣流方向改變板90的傾斜角度被調(diào)節(jié)以便從基端側(cè)向遠(yuǎn)端側(cè) 以預(yù)定角度(例如，大約45。)、沿朝向曝光室15的內(nèi)部的方向傾斜向下。 在這種狀態(tài)下，遠(yuǎn)端部分以不妨礙傳送臺(tái)28的運(yùn)動(dòng)的高度設(shè)置。因此， 已從導(dǎo)管82的流出口 82B朝下吹的并供應(yīng)到曝光室15的冷卻空氣的吹 動(dòng)方向被氣流方向改變板90改變成大致水平方向，并在沿掃描方向的方 向上吹動(dòng)(箭頭YB所表示的方向)。進(jìn)一步地，如圖3和4所示，阻擋板96設(shè)置在傳送臺(tái)28的一側(cè)。如 圖6所示，阻擋板96由薄金屬片等制造，并呈矩形板形狀，沿長(zhǎng)度方向 被突然彎折。阻擋板96具有用作阻擋板主體部分96A的角度部分和用作 安裝板部分96B的另一部分，阻擋板主體部分96A和安裝板部分96B被設(shè) 置成分隔開(kāi)。安裝板部分96B的遠(yuǎn)端部分(后端部分)安裝在平臺(tái)30的 前端部分，并且阻擋板96設(shè)置在傳送臺(tái)28的前面。如圖4所示，阻擋板96的寬度尺寸大約是傳送臺(tái)28的寬度尺寸的一 半，并且相對(duì)于傳送臺(tái)28 (平臺(tái)30)大致居中地設(shè)置在寬度方向上。進(jìn) 一步地，如圖3所示，從平臺(tái)30向前凸出的安裝板部分96B大致水平地 布置。設(shè)置在安裝板部分96B的上方的阻擋板主體部分96A被設(shè)置成從 基端側(cè)(角度部分側(cè))向遠(yuǎn)端部分以預(yù)定角度(例如，大約45°)、在朝向 傳送臺(tái)28的方向上向上傾斜。當(dāng)傳送臺(tái)28設(shè)置在如圖3和4所示的原 點(diǎn)位置時(shí)，阻擋板96大致設(shè)置在校準(zhǔn)單元60處設(shè)置的攝像機(jī)62的正下 方。如圖IO所示，當(dāng)傳送臺(tái)28運(yùn)動(dòng)到曝光室15中時(shí)，阻擋板9與測(cè)量 單元70 —起向前移動(dòng)到凹穴15B中，該凹穴15B凹陷到構(gòu)成曝光室15 的內(nèi)壁表面15A的下部中。因此，當(dāng)傳送臺(tái)28停止在原點(diǎn)位置時(shí)，并且在原點(diǎn)位置和曝光室15 之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)，冷卻空氣沿掃描方向吹向傳送臺(tái)28，沿傳送臺(tái)運(yùn)動(dòng)路 徑的中間流動(dòng)的氣流被阻擋板96引導(dǎo)向傳送臺(tái)28的上表面(感光材料 配置表面28A)，并沿掃描方向流動(dòng)通過(guò)傳送臺(tái)28。靜態(tài)可移除裝置(離子發(fā)生器)98設(shè)置在位于原點(diǎn)位置處的傳送臺(tái)28 前部上方，跨越傳送臺(tái)28的寬度方向。靜態(tài)可移除裝置98由中空管形流 出部分98A和離子產(chǎn)生部分98B構(gòu)成，離子產(chǎn)生部分98B向流出部分98A 供應(yīng)離子化空氣。在離子產(chǎn)生部分98B處，接地接和放電接之間出現(xiàn)的電 暈放電產(chǎn)生離子。這些離子通過(guò)通風(fēng)源被供應(yīng)到流出部分98A，并且這些 離子化空氣被從流出部分98A吹向傳送臺(tái)28的感光材料配置表面28A。 因此，傳送臺(tái)28所傳送的感光材料40在靜態(tài)可移除裝置98的下方通過(guò)， 由于靜電而附到感光材料40上的灰塵被從流出部分98A吹出的離子化 空氣去除，并與感光材料40分離和被空氣吹掉。如圖l所示，曝光設(shè)備IO設(shè)置有控制器IOO (控制裝置)，其控制設(shè) 備主體20、空氣調(diào)節(jié)器80等?？刂破?00與設(shè)置在設(shè)備主體20上的上 述步進(jìn)電機(jī)36、線性編碼器37和線性伺服電機(jī)38，曝光單元44的曝 光頭46，攝像機(jī)62和校準(zhǔn)單元60的攝像機(jī)運(yùn)動(dòng)用驅(qū)動(dòng)源，測(cè)量單元70， 負(fù)壓供應(yīng)裝置，設(shè)置在容納室13中的溫度傳感器72，靜態(tài)可移除裝置98， 光源單元50，設(shè)置在元件容納室49中的電源單元74和控制單元76，空 氣調(diào)節(jié)器80，溫度傳感器86等連接?？刂破鱅OO控制它們的相應(yīng)操作。進(jìn)一步地，如圖5所示，多個(gè)控制電路板102(控制電路板102A—102E) 容納在蓋體12的前述元件容納室17中。這些控制電路板102固定到相 應(yīng)的基座104并安裝在內(nèi)部面板16A的外側(cè)表面上，并且與控制器100 連接?？刂齐娐钒?02包括控制設(shè)備主體20的曝光單元44、攝像機(jī)62、 靜態(tài)可移除裝置98等與控制器100結(jié)合的電路板。這些電路板靠近相應(yīng) 的控制物品設(shè)置。通風(fēng)扇106安裝在蓋體12上部設(shè)置的外部面板16B 上。通風(fēng)扇106將元件容納室17中的空氣(高溫空氣)排出到外部，并 抑制元件容納室17中的溫度上升。接下來(lái)，對(duì)于具有如上所述構(gòu)造的曝光設(shè)備10，將說(shuō)明容納室13的 空氣調(diào)節(jié)操作(室溫控制操作)、感光材料40上的曝光操作和效果。對(duì)于在電源被關(guān)閉的非操作狀態(tài)下的曝光設(shè)備10，設(shè)置在設(shè)備主體 20上的傳送臺(tái)28設(shè)置在圖l一4所示的原點(diǎn)位置處。在該狀態(tài)下，當(dāng)操 作員操作控制器100并打開(kāi)曝光設(shè)備10的電源時(shí)，電通過(guò)設(shè)備主體20 的電源部分導(dǎo)通，并產(chǎn)生熱量，因此容納室13中的空氣被溫暖，溫度逐 漸上升。進(jìn)一步地，因?yàn)樯仙?下降傳送臺(tái)的步進(jìn)電機(jī)36、移動(dòng)傳送臺(tái)的 線性伺服電機(jī)38的線圈部分38B、曝光單元44和校準(zhǔn)單元60等在曝 光期間特別易于產(chǎn)生高溫的元部件沿掃描方向布置，因此室溫沿掃描方向 變得不均勻，因此沿掃描方向很可能形成溫度差異。一空氣調(diào)節(jié)操作一在電源打開(kāi)后，當(dāng)操作員從控制器100或手動(dòng)操作幵始空氣調(diào)節(jié)操作 時(shí)，空氣調(diào)節(jié)器80運(yùn)行?？諝庹{(diào)節(jié)器80使通過(guò)吸入口 84吸入的外部空 氣通過(guò)內(nèi)置HEPA過(guò)濾器88來(lái)清潔，并將空氣調(diào)節(jié)到預(yù)定溫度和濕度以 便產(chǎn)生用于空氣調(diào)節(jié)的冷卻空氣(冷空氣)，并把冷卻空氣排到導(dǎo)管82。冷卻空氣從導(dǎo)管82的流出口 82B被大致垂直朝下地吹(圖3中的箭 頭AR1)，其流速和流量已經(jīng)被控制器IOO預(yù)先指定，并且該冷卻空氣被 供應(yīng)到曝光室15。已經(jīng)從導(dǎo)管82垂直吹出的冷卻空氣的吹動(dòng)方向被氣流 方向改變板90改變成大致水平方向，然后冷卻空氣在沿掃描方向的方向 上被吹動(dòng)(圖3中的箭頭AR2)。根據(jù)冷卻空氣的流動(dòng)，已滯留在曝光室15內(nèi)的上部的周圍空氣(高 溫空氣)也在沿掃描方向的方向(圖3中的箭頭AR3和AR4)上流動(dòng)。此 外，在曝光室15的內(nèi)下部，冷卻空氣在沿掃描方向的方向上被吹動(dòng)并吹 向傳送臺(tái)28，沿傳送臺(tái)運(yùn)動(dòng)路徑的中間流動(dòng)的氣流沿阻擋板96向上流動(dòng) 并在曝光單元44的下面被引導(dǎo)(圖3中的箭頭AR5和AR6)。因此，根據(jù) 這些空氣的流動(dòng)，冷卻空氣沿掃描方向進(jìn)一步吹動(dòng)，通過(guò)校準(zhǔn)單元60和
曝光單元44的下面(圖3中的箭頭AR7)，通過(guò)傳送臺(tái)28的感光材料配 置表面28A(圖3中的箭頭AR8)，直至到達(dá)傳送臺(tái)28的后端部分，冷卻 空氣的吹動(dòng)方向被改變成沿安裝部分12B的內(nèi)壁表面朝下(圖3中的箭頭 AR9)。在曝光室15內(nèi)的下部，沿傳送臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向的兩側(cè)部分吹動(dòng)的冷卻空 氣在沿掃描方向的方向上在測(cè)量單元70的兩側(cè)處和下面流動(dòng)(圖3中的 箭頭ARIO)，并繼續(xù)沿水平臺(tái)22和平臺(tái)30之間的掃描方向流動(dòng)，并沿 升/下降機(jī)構(gòu)32的兩側(cè)流動(dòng)。通過(guò)那之后，氣流的流動(dòng)方向自然地改變成 沿安裝部分12B的內(nèi)壁表面朝下(圖3中的箭頭AR11)。因此，從傳送臺(tái) 28的上方朝下流動(dòng)的氣流和從上升/下降機(jī)構(gòu)32的兩側(cè)以及平臺(tái)的下側(cè) 面朝下流動(dòng)的氣流匯集，通過(guò)安裝部分12B的下表面部分開(kāi)口，并排出到 外部(圖3中的箭頭AR12)。控制器100根據(jù)溫度傳感器72測(cè)量的溫度和溫度傳感器86測(cè)量的 外部空氣溫度來(lái)獲取容納室13的溫度，并獲取無(wú)塵室等設(shè)備安裝環(huán)境的 溫度，溫度傳感器72設(shè)置在容納室13中傳送臺(tái)28的上方附近，溫度傳 感器86設(shè)置在空氣調(diào)節(jié)器80的吸入口 84，曝光設(shè)備IO安裝在無(wú)塵室 等設(shè)備安裝環(huán)境中并且感光材料40在曝光前被安置。基于測(cè)量的溫度， 控制器100執(zhí)行供應(yīng)到容納室13 (曝光室15)的空氣的溫度調(diào)整(空氣 調(diào)節(jié)控制)。具體地，空氣調(diào)節(jié)器80被控制，并且空氣調(diào)節(jié)器80產(chǎn)生的 冷卻空氣的溫度被調(diào)節(jié)，從而使得容納室13的溫度(傳送臺(tái)附近的溫度) 與設(shè)備安裝環(huán)境的溫度大致相同，或者與設(shè)備安裝環(huán)境的溫度之差在預(yù)定 的溫差范圍內(nèi)(例如土0.2。C)。結(jié)果，容納室13的室溫，特別是傳送臺(tái) 28上部附近的溫度，被恒定地保持成與設(shè)備安裝環(huán)境的溫度相同，或者與 設(shè)備安裝環(huán)境的溫度之差在預(yù)定的溫差范圍內(nèi)。因此，在曝光設(shè)備IO的空氣調(diào)節(jié)操作中，因?yàn)楣?yīng)到曝光室15的冷 卻空氣被在沿掃描方向的方向上在包括曝光室15的容納室13中吹動(dòng)，因 此容納室13沿掃描方向的溫度分布基本均勻，沿掃描方向的溫度變化很 少出現(xiàn)。進(jìn)一步地，在曝光室15中，室中的空氣被吹動(dòng)的冷卻空氣所循 環(huán)，整個(gè)室中的溫度上升被抑制。因此，設(shè)備主體20的發(fā)熱部分被空氣 冷卻，溫度上升被抑制。此外，漂浮在容納室13內(nèi)部空氣中的灰塵被排出到室外，使得室內(nèi)的空氣保持高清潔度。同時(shí)，在曝光設(shè)備IO的元件容納室49中，在電源打開(kāi)后，光源單元 50、電源單元74和控制單元76導(dǎo)電并發(fā)熱，室中的空氣被溫暖，溫度 上升。在元件容納室49處，通風(fēng)扇78工作并把室中高溫空氣排出到外 部，室溫和發(fā)熱元件的溫度上升被抑制。進(jìn)一步地，在元件容納室17中， 控制電路板102導(dǎo)電并發(fā)熱，室中的空氣被溫暖，溫度上升。但是通風(fēng)扇 106工作，將室中的高溫空氣排出到外部，因此室溫和發(fā)熱元件的溫度上 升被抑制。一曝光操作一在執(zhí)行上述空氣調(diào)節(jié)操作的狀態(tài)下執(zhí)行曝光設(shè)備10的曝光操作。對(duì) 于曝光操作，首先，對(duì)應(yīng)于感光材料40用圖案的圖像數(shù)據(jù)被輸入到控制 器IOO，控制器100將圖像數(shù)據(jù)暫時(shí)存儲(chǔ)在內(nèi)置的存儲(chǔ)器中。圖像數(shù)據(jù)是 對(duì)應(yīng)于構(gòu)成圖像的每個(gè)像素用的兩個(gè)亮度值(density values)(點(diǎn)的記 錄或不記錄)的數(shù)據(jù)。然后，為了設(shè)定已經(jīng)放置在設(shè)備安裝環(huán)境中的曝光物品的感光材料 40，在曝光設(shè)備10處，操作員向上打開(kāi)安裝部分12B的打幵/閉合面板 19，并將感光材料40配置在設(shè)備主體20的傳送臺(tái)28上。這里，其上將被本實(shí)施例的曝光設(shè)備IO執(zhí)行圖像曝光的感光材料40 可以為感光環(huán)氧樹(shù)脂等光刻膠己經(jīng)被涂布到電路板、玻璃板等上的材料； 印刷電路板等圖案、液晶顯示元件等被(圖像曝光)形成到其上的材料； 層壓用于干燥膜的材料。在制造過(guò)程中粘附的灰塵等沒(méi)有被完全去除但僅很少量的狀態(tài)下，感 光材料40被引導(dǎo)到設(shè)備安裝環(huán)境中。在這種情況下，當(dāng)在把感光材料40 設(shè)置到傳送臺(tái)28的期間操作員手接觸感光材料40時(shí)，或者當(dāng)振動(dòng)被施 加到感光材料40時(shí)，灰塵很可能從感光材料40落下并進(jìn)入容納室13中。然而，在本實(shí)施例的曝光設(shè)備10上，當(dāng)打開(kāi)/閉合面板19打開(kāi)時(shí)， 沿掃描方向吹過(guò)傳送臺(tái)28的冷卻空氣通過(guò)安裝部分12B的孔18被排出 到外部(圖3中的箭頭AR13)。因此，從感光材料40落下的灰塵將被氣流 吹走，而不會(huì)進(jìn)入容納室13中。進(jìn)一步地，即使灰塵浸入容納室13中， 在下落到傳送臺(tái)28上之前，也會(huì)被上述冷卻空氣吹到傳送臺(tái)28的后部， 并被傳送臺(tái)后部的朝下流動(dòng)的氣流排出到室的外部(圖3中的箭頭AR9和 AR12)。當(dāng)上升/下降機(jī)構(gòu)32工作時(shí)，通過(guò)步進(jìn)電機(jī)36的驅(qū)動(dòng)力，傳送臺(tái)28 的感光材料配置表面28A上升和下降(在圖1的箭頭Z的方向上)，步進(jìn) 電機(jī)36被控制器100控制。因此，能夠給具有不同厚度的多個(gè)不同的感 光材料實(shí)行一致的曝光。對(duì)于上升/下降傳送臺(tái)的步進(jìn)電機(jī)36,控制器 IOO執(zhí)行電流衰減控制(current-reduction control),其在脈沖信號(hào)中 斷期間(待命狀態(tài))使供應(yīng)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)電流降低預(yù)定量(例如，大約50%)。 結(jié)果，待命期間步進(jìn)電機(jī)36的發(fā)熱被抑制。在操作員已經(jīng)完成與要曝光的感光材料40相對(duì)應(yīng)的傳送臺(tái)28的指 定高度后，通過(guò)控制器100的輸入操作，操作員將感光材料40設(shè)定在停 止在原點(diǎn)位置的傳送臺(tái)28的感光材料配置表面28A上，閉合打開(kāi)/閉合 面板19，并通過(guò)控制器100執(zhí)行開(kāi)始曝光操作的控制。于是，通過(guò)控制 器100控制負(fù)壓供應(yīng)裝置去工作，感光材料40通過(guò)吸附被附接并保持在 傳送臺(tái)28上。然后，控制器100控制線性伺服電機(jī)38用于驅(qū)動(dòng)，其上保持感光材 料40的傳送臺(tái)28開(kāi)始沿導(dǎo)軌26以恒速在校準(zhǔn)測(cè)量方向(alignment measurement direction)(箭頭YA所表示的方向，它是朝外運(yùn)動(dòng)方向)。 當(dāng)感光材料40根據(jù)傳送臺(tái)28的運(yùn)動(dòng)通過(guò)靜態(tài)可移除裝置98的下面時(shí)， 控制器100控制靜態(tài)可移除裝置98去工作，通過(guò)靜電粘附到感光材料 40的灰塵被從靜態(tài)可移除裝置98吹來(lái)的空氣去除，因而曝光表面被清掃 干凈。通過(guò)空氣吹掃已從感光材料40清潔的灰塵然后被沿掃描方向吹過(guò) 傳送臺(tái)28的冷卻空氣吹到傳送臺(tái)的后部，并被排出到室的外部。傳送臺(tái)28繼續(xù)運(yùn)動(dòng)，當(dāng)感光材料40通過(guò)校準(zhǔn)單元60的下面時(shí)，控 制器100控制攝像機(jī)62。利用攝像機(jī)62，感光材料40的校準(zhǔn)標(biāo)記M被 拍攝，并執(zhí)行校準(zhǔn)測(cè)量。在該校準(zhǔn)測(cè)量中，通過(guò)攝像機(jī)62的直接下方的校準(zhǔn)標(biāo)記M(在透鏡部 分62B的光軸上)被攝像機(jī)62以預(yù)定時(shí)間分別拍攝。拍攝的圖像數(shù)據(jù)，即 包括基準(zhǔn)位置數(shù)據(jù)的圖像數(shù)據(jù)被輸出到控制器IOO，其中校準(zhǔn)標(biāo)記M表示 曝光位置基準(zhǔn)?？刂破?00通過(guò)以下數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算處理根據(jù)校準(zhǔn)標(biāo)記M (基準(zhǔn)位置 數(shù)據(jù))的輸入圖像數(shù)據(jù)建立的圖像中的標(biāo)記位置、標(biāo)記間距離；當(dāng)校準(zhǔn)標(biāo)記M被拍攝時(shí)的傳送臺(tái)28的位置，其根據(jù)線性編碼器37的脈沖信號(hào)建 立；和攝像機(jī)62的位置?？刂破?00獲取如下數(shù)據(jù)傳送臺(tái)28上的感光材料40的配置位置誤差；感光材料40相對(duì)于運(yùn)動(dòng)方向的傾斜誤差；感光材料40的尺寸精度誤差等。并且控制器100計(jì)算感光材料40的曝 光表面上的適當(dāng)曝光位置。因此，在稍后說(shuō)明的曝光單元44進(jìn)行圖像曝 光時(shí)，曝光位置補(bǔ)償?shù)男Ｕ?校準(zhǔn))被執(zhí)行用于使控制信號(hào)的圖像曝光與 適當(dāng)?shù)钠毓馕恢孟嗥ヅ?，前述控制信?hào)是基于存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的曝光圖案 的圖像數(shù)據(jù)產(chǎn)生的。當(dāng)感光材料40通過(guò)校準(zhǔn)單元60的下面，如圖10所示，當(dāng)傳送臺(tái)28 到達(dá)朝外運(yùn)動(dòng)方向的最下游位置時(shí)校準(zhǔn)測(cè)量被完成，控制器IOO控制線性 伺服電機(jī)38反向驅(qū)動(dòng)。這里，當(dāng)傳送臺(tái)28在校準(zhǔn)測(cè)量方向行進(jìn)時(shí)，并且當(dāng)傳送臺(tái)28設(shè)置在 圖10中的最下游位置時(shí)，上述空氣調(diào)節(jié)操作被繼續(xù)。因此，冷卻空氣在 容納室13的掃描方向上恒定地中吹動(dòng)，并吹過(guò)傳送臺(tái)28。因此，即使當(dāng) 傳送臺(tái)28運(yùn)動(dòng)，沿容納室13的掃描方向的溫度分布被保持在大致均勻的 狀態(tài)下，沿掃描方向的溫度變化不會(huì)發(fā)生，主要元件保持穩(wěn)定溫度。通過(guò)線性伺服電機(jī)38的在相反方向上的驅(qū)動(dòng)，已到達(dá)朝外運(yùn)動(dòng)方向 的最下游位置的傳送臺(tái)28逆向運(yùn)動(dòng)，并開(kāi)始沿導(dǎo)軌26在掃描方向上(箭 頭YB所表示的方向，它是返回運(yùn)動(dòng)方向)以恒速運(yùn)動(dòng)。根據(jù)傳送臺(tái)28 的該運(yùn)動(dòng)，當(dāng)感光材料40通過(guò)曝光單元44的下面并且曝光表面的圖像 曝光區(qū)域到達(dá)曝光開(kāi)始位置時(shí)，控制器IOO控制的曝光單元44的曝光頭 46發(fā)射曝光光束，并在感光材料40的曝光表面上開(kāi)始圖像曝光。這里，控制器IOO讀取存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的圖像數(shù)據(jù)，并基于圖像數(shù)據(jù) 產(chǎn)生曝光頭46用控制信號(hào)。使曝光光束的光量分布均勻的前述明暗調(diào)節(jié) 和曝光量的調(diào)節(jié)，和相對(duì)于感光材料40的曝光位置偏離的校正已經(jīng)通過(guò) 校準(zhǔn)測(cè)量獲得，它們被施加到這些驅(qū)動(dòng)信號(hào)。因此，根據(jù)這些產(chǎn)生的和校 正的控制信號(hào)控制曝光頭46的DMD。
控制器100控制光源單元50發(fā)射激光。當(dāng)激光照射到每個(gè)曝光頭46 的DMD上時(shí)，在DMD的每個(gè)像素處調(diào)制的曝光光束被從曝光頭46照射到 感光材料40，感光材料40的曝光表面在多個(gè)像素單元處(曝光區(qū)域)曝 光，多個(gè)像素的數(shù)量與應(yīng)用的DMD的像素?cái)?shù)量大致相等。因此，與傳送臺(tái) 28—起以恒速運(yùn)動(dòng)的感光材料40被曝光單元44掃描地曝光，并且?guī)?曝光區(qū)域54 (見(jiàn)圖8)被每個(gè)曝光頭46形成。當(dāng)感光材料40通過(guò)曝光單元44的下面并且圖像曝光結(jié)束時(shí)，傳送臺(tái) 28在線性伺服電機(jī)38的驅(qū)動(dòng)力的作用下繼續(xù)運(yùn)動(dòng)到掃描方向的下游側(cè)。 因此，傳送臺(tái)28沿返回運(yùn)動(dòng)方向返回到最下游位置處的原點(diǎn)位置并停止， 從負(fù)壓供應(yīng)裝置到傳送臺(tái)28的頂部的負(fù)壓供應(yīng)被關(guān)閉，感光材料40上 的曝光操作結(jié)束。操作員打開(kāi)安裝部分12B的打開(kāi)/閉合面板19并從傳送臺(tái)28移除被 曝光的感光材料40。如果繼續(xù)曝光，操作員將新的(未曝光的)感光材 料40配置到傳送臺(tái)28上，關(guān)閉打開(kāi)/閉合面板19，并根據(jù)控制器100 執(zhí)行控制來(lái)再次開(kāi)始曝光操作。通過(guò)重復(fù)曝光操作步驟，多個(gè)感光材料40 薄片可連續(xù)地被曝光設(shè)備10曝光，因此連續(xù)地制造被曝光的感光材料 40。正如上述，在本實(shí)施例的曝光設(shè)備10中，利用空氣調(diào)節(jié)操作、通過(guò) 從空氣調(diào)節(jié)器80到容納室13(曝光室15)的導(dǎo)管82供應(yīng)的冷卻空氣通過(guò) 氣流方向改變板90在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)。因此，容納室13沿掃 描方向的溫度分布是均勻的，沿掃描方向的溫度變化很難發(fā)生。結(jié)果，由 于沿掃描方向的溫度差異和溫度變化、通過(guò)傳送臺(tái)28沿掃描方向的方向 往復(fù)傳送的感光材料40的熱變形和精度的降低被抑制。于是，實(shí)現(xiàn)了高 精度曝光。進(jìn)一步地，傳送臺(tái)28的感光材料配置表面28A和配置在感光材料配 置表面28A上的感光材料40被在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)的冷卻空氣 所清掃，并且保持這種不聚集灰塵的清潔狀態(tài)。結(jié)果，防止了配置在感光 材料配置表面28A上的感光材料40的上升定位錯(cuò)誤和感光材料40上的 灰塵聚集，因此防止了這些原因?qū)е碌钠毓饩鹊膿p失。具體地，這里， 因?yàn)楸磺鍧嵉睦鋮s空氣從空氣調(diào)節(jié)器80供應(yīng)，容納室13中的空氣清潔程
度被提高，漂浮在容納室13中的灰塵對(duì)曝光的負(fù)面影響被防止。進(jìn)一步 地，因?yàn)楸磺鍧嵉睦鋮s空氣在沿掃描方向的方向上被吹動(dòng)，因此能夠更可 靠地防止傳送臺(tái)28的感光材料配置表面28A、測(cè)量單元70和傳送臺(tái)運(yùn) 動(dòng)路徑、和曝光單元44、校準(zhǔn)單元60等的灰塵等污染。進(jìn)一步地，利用本實(shí)施例，從導(dǎo)管82朝下吹的冷卻空氣的吹動(dòng)方向被 氣流方向改變板90改變成沿掃描方向的方向。因此，例如，即使導(dǎo)管82 的安裝位置、吹動(dòng)方向等受到設(shè)置在容納室13中的設(shè)備結(jié)構(gòu)部分的相關(guān) 限制，從導(dǎo)管82吹出的空氣能夠容易地被前述氣流方向改變板90改變成 在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)。進(jìn)一步地，如果氣流方向改變板90具有傾 斜角可調(diào)節(jié)的可移動(dòng)型結(jié)構(gòu)，如本實(shí)施例，那么可以精細(xì)地調(diào)節(jié)吹動(dòng)方向。進(jìn)一步地，在本實(shí)施例中，因?yàn)閬?lái)自空氣調(diào)節(jié)器80的冷卻空氣通過(guò) 導(dǎo)管82的遠(yuǎn)端部分82A(直線形部分)并從流出口 82B吹出，繼續(xù)到達(dá)流 出口 82B的空氣的流動(dòng)(吹動(dòng)方向)是穩(wěn)定，因此能夠在所要求的方向上 精確地吹動(dòng)(向氣流方向改變板90)。如同本實(shí)施例中，以前述提及的流 速(9.4 m/s)和流量(10 mVmin)，通過(guò)將導(dǎo)管82的直性形部分的長(zhǎng)度 設(shè)置成30cm以上，能夠獲得上述效果。然而，因?yàn)榱魉俸土髁靠筛鶕?jù)調(diào) 節(jié)條件適當(dāng)?shù)刂付?，因此，為了獲取滿意效果，例如，即使流速和流量大 于上述數(shù)值，可優(yōu)選地將以直線形狀形成的導(dǎo)管82的遠(yuǎn)端部分82A的長(zhǎng) 度(L)變得更長(zhǎng)。進(jìn)一步地，在本實(shí)施例中，因?yàn)樽钃醢?6設(shè)置在傳送臺(tái)28的前側(cè)， 即，相對(duì)于在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)的冷卻空氣的流動(dòng)方向的感光材料 配置表面28A的上游側(cè)，更多的冷卻空氣將被引導(dǎo)通過(guò)配置表面。因此， 感光材料配置表面28A和配置在感光材料配置表面28A上的感光材料 40的溫度變化將不可能發(fā)生，溫度穩(wěn)定性上升。此外，通過(guò)增加通過(guò)感光 材料配置表面28A的氣流量，可提高對(duì)感光材料配置表面28A的吹掃清 潔。進(jìn)一步地，當(dāng)傳送臺(tái)28設(shè)置在原點(diǎn)位置時(shí)，傳送臺(tái)28 (測(cè)量單元70) 和曝光單元44之間的空間形狀不大于傳送臺(tái)28運(yùn)動(dòng)期間的空間形狀。 當(dāng)傳送臺(tái)28和曝光單元44之間的空間形狀以這種方式變化時(shí)，在該空 間中吹動(dòng)的空氣量和流動(dòng)狀態(tài)不改變，曝光單元44的空氣冷卻的狀態(tài)可35
能會(huì)改變。然而，在本實(shí)施例中，當(dāng)傳送臺(tái)28設(shè)置在原點(diǎn)位置時(shí)，上述 阻擋板96將更多的沿掃描方向吹向傳送臺(tái)28的冷卻空氣引導(dǎo)到曝光單 元44的下面。因此，曝光單元44下面吹動(dòng)的空氣的流動(dòng)狀態(tài)和量與傳 送臺(tái)28運(yùn)動(dòng)期間大致相同。因此，抑制了傳送臺(tái)28的運(yùn)動(dòng)引起的曝光 單元44的空氣冷卻的狀態(tài)變化，防止了溫度變化，抑制溫度變化，這種 溫度變化會(huì)造成曝光單元44 (曝光頭46)的熱變形，該熱變形會(huì)引起曝 光位置(曝光頭46的光束照射位置)精度的降低。此外，也抑制了傳送臺(tái) 28傳送的并相對(duì)于曝光單元44相對(duì)地運(yùn)動(dòng)的感光材料40的空氣冷卻狀 態(tài)的變化，防止了熱變形。進(jìn)一步地，在本實(shí)施例中，多個(gè)攝像機(jī)62安裝在單元基座64上并位 于傳送臺(tái)運(yùn)動(dòng)路徑上，多個(gè)攝像機(jī)62讀取設(shè)置在感光材料40上的校準(zhǔn)標(biāo) 記M，用于校正感光材料40上的曝光位置。單元基座64具有T型橫截面， 除了上部之外是平坦的，具體地，具有下部側(cè)沒(méi)有突出的形狀。因此，即 使當(dāng)傳送臺(tái)28在單元基座64下面往復(fù)運(yùn)動(dòng)，如圖3和10的區(qū)域B (虛 線矩形)處所顯示，在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)的冷卻空氣的流動(dòng)(流動(dòng) 狀態(tài))大致恒定，而不被單元基座64改變，因此單元基座64和攝像機(jī)62 的空氣冷卻的狀態(tài)穩(wěn)定。因此，因?yàn)閱卧?4被設(shè)定成即使當(dāng)傳送臺(tái)28運(yùn)動(dòng)時(shí)在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)的空氣的流動(dòng)大致不改變的形狀，因此，抑制了單元基座 64和攝像機(jī)62的溫度變化，它們的溫度保持恒定，因此抑制了溫度變化 引起的攝像機(jī)62的位置偏離，即抑制了校準(zhǔn)標(biāo)記M的讀取位置的精度的 降低。此外，傳送臺(tái)28傳送的、相對(duì)于單元基座64和攝像機(jī)62相對(duì)地 運(yùn)動(dòng)的感光材料40的空氣冷卻的狀態(tài)是穩(wěn)定的，因此它們的熱變形被抑 制。進(jìn)一步地，單元基座64的兩端部分被一對(duì)支撐柱42支撐，單元基座 64與該對(duì)支撐柱42—起設(shè)置構(gòu)成門型結(jié)構(gòu)，該門型結(jié)構(gòu)橫跨在傳送臺(tái)運(yùn) 動(dòng)方向上。在單元基座64的下方，在單元基座64下相對(duì)設(shè)置的該對(duì)支撐 柱42用作阻擋部分(阻擋構(gòu)件)，該阻擋部分流動(dòng)調(diào)節(jié)(flow-adjusts) 在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)的冷卻空氣。即，如圖6所示，通過(guò)單元基座 64的附近、在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)的冷卻空氣(箭頭AR14)在相對(duì)的
支撐柱42之間通過(guò)。因此，抑制了傳播到外側(cè)的湍流、分流等，流動(dòng)被 控制。結(jié)果， 一對(duì)支撐柱42間通過(guò)的冷卻空氣的流動(dòng)狀態(tài)是穩(wěn)定的，因 此有效地抑制了單元基座64的溫度變化和其導(dǎo)致的負(fù)面效果。進(jìn)一步地，在本實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)傳送臺(tái)28的線性伺服電機(jī)38的線圈 部分38B經(jīng)絕熱襯墊39安裝在支撐傳送臺(tái)28的平臺(tái)30上(見(jiàn)圖7)。 因此，例如，即使因?yàn)閭魉团_(tái)28連續(xù)地被驅(qū)動(dòng)而使線圈部分38B連續(xù)地 處于高溫狀態(tài)，由于存在絕熱襯墊39，通過(guò)平臺(tái)30和上升/下降機(jī)構(gòu)32 從線圈部分38B傳導(dǎo)到傳送臺(tái)28的熱量的數(shù)量被降低。結(jié)果，抑制了傳 送臺(tái)28的溫度上升(溫度變化)，從傳送臺(tái)28傳導(dǎo)的熱引起的感光材料 40的熱變形被抑制。進(jìn)一步地，因?yàn)榫€圈部分38B被安裝以便在平臺(tái)30的下表面露出， 所以即使由于傳送臺(tái)28連續(xù)被驅(qū)動(dòng)而使溫度上升，自然地，如圖7A所示， 線圈部分38B被平臺(tái)30的下表面?zhèn)鹊脑谘貟呙璺较虻姆较蛏洗祫?dòng)的冷 卻空氣有效地冷卻(箭頭AR15)。因此，線圈部分38B和傳送臺(tái)28的溫 度上升被抑制，通過(guò)傳送臺(tái)28的傳導(dǎo)熱引起的感光材料40的熱變形被 抑制。進(jìn)一步地，線圈部分38B的表面區(qū)域被擴(kuò)大，并通過(guò)設(shè)置在線圈部分 38B的下表面和兩側(cè)面的散熱片38C提高散熱。更進(jìn)一步地，因?yàn)樯崞?38C在掃描方向上延伸，在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)的冷卻空氣的流動(dòng)將 不會(huì)被被干擾，通過(guò)穩(wěn)定流動(dòng)的空氣，散熱效率上升。此外，因?yàn)榫€圈部 分38B的上表面(安裝表面)和平臺(tái)30的下表面之間通過(guò)前述插入的絕 熱襯墊39而形成間隙，因此冷卻空氣也在線圈部分38B的上表面?zhèn)韧ㄟ^(guò)。 因此，能夠散熱(冷卻)的線圈部分38B的表面區(qū)域進(jìn)一步增加，散熱效 率則進(jìn)一步上升。進(jìn)一步地，關(guān)于上升和下降傳送臺(tái)28的步進(jìn)電機(jī)36，因?yàn)椴竭M(jìn)電機(jī) 36被安裝成在上升/下降機(jī)構(gòu)32的側(cè)表面部分露出，如圖6所示，因此 步進(jìn)電機(jī)36被在沿掃描方向的方向上、沿上升/下降機(jī)構(gòu)32的側(cè)表面吹 動(dòng)的冷卻空氣有效地冷卻(箭頭AR16)。結(jié)果，抑制了步進(jìn)電機(jī)36和傳 送臺(tái)28的溫度上升，通過(guò)傳送臺(tái)28的傳導(dǎo)熱引起的感光材料40的熱變 形被抑制。
此外，因?yàn)橥ㄟ^(guò)控制器100驅(qū)動(dòng)控制步進(jìn)電機(jī)36,以便在待命時(shí)降 低電流，因此待命期間發(fā)熱被抑制。結(jié)果，從步進(jìn)電機(jī)36的傳導(dǎo)熱引起 的傳送臺(tái)28的溫度上升(溫度變化)被抑制。進(jìn)一步地，在本實(shí)施例中，溫度傳感器72測(cè)量傳送臺(tái)28附近的溫度， 并且根據(jù)測(cè)量的溫度來(lái)執(zhí)行空氣調(diào)節(jié)器80供應(yīng)到容納室13 (曝光室15) 的冷卻空氣的溫度調(diào)整，空氣調(diào)節(jié)器80由控制器100控制。因此，因?yàn)?使用傳送臺(tái)附近的測(cè)量溫度來(lái)執(zhí)行容納室13的空氣調(diào)節(jié)，因此能夠響應(yīng) 已設(shè)在傳送臺(tái)28上的感光材料40的溫度(即設(shè)備安裝環(huán)境的溫度)從設(shè) 備外部進(jìn)行溫度調(diào)整，例如，能夠使容納室13 (室溫)的溫度更接近感光 材料40的溫度。結(jié)果，在配置在傳送臺(tái)28上之后、設(shè)備安裝環(huán)境和室 溫之間的溫度差異所導(dǎo)致的感光材料40的熱變形量被抑制。此外，通過(guò)溫度傳感器86的外部空氣的測(cè)量溫度，來(lái)獲取曝光前感 光材料40被放置在其中的設(shè)備安裝環(huán)境的溫度，溫度傳感器86設(shè)置在 空氣調(diào)節(jié)器80的吸入口 84處，并且控制器100控制的空氣調(diào)節(jié)器80 向容納室13供應(yīng)的空氣的調(diào)整溫度根據(jù)外部空氣的測(cè)量溫度和容納室13 的測(cè)量溫度改變。因此，通過(guò)利用用于容納室13的空氣調(diào)節(jié)的設(shè)備安裝 環(huán)境的溫度，能夠響應(yīng)已經(jīng)從設(shè)備外部配置到傳送臺(tái)28的感光材料40 的溫度(設(shè)備安裝環(huán)境的溫度)來(lái)控制容納室13的溫度，正如本實(shí)施例， 當(dāng)執(zhí)行空氣調(diào)節(jié)以便使容納室13的溫度(室溫)更接近設(shè)備安裝環(huán)境的溫 度時(shí)，設(shè)備安裝環(huán)境和室溫之間的溫差引起的配置在傳送臺(tái)28上的感光 材料40的熱變形量被抑制。進(jìn)一步地，在這種情況下，因?yàn)橥ㄟ^(guò)外部空 氣的測(cè)量溫度來(lái)獲取設(shè)備安裝環(huán)境的溫度，即感光材料40的溫度，而于 設(shè)置在傳送臺(tái)28附近的溫度傳感器72的容納室13的室溫的測(cè)量無(wú)關(guān)， 因此能夠快速地執(zhí)行容納室13的上述溫度控制。進(jìn)一步地，在本實(shí)施例中，在設(shè)備工作期間發(fā)熱的光源單元50、電源 單元74和控制單元76被容納在元件容納室49中，元件容納室49與容 納室13分離獨(dú)立設(shè)置，并且在設(shè)備工作期間發(fā)熱的控制電路板102被容 納在元件容納室17中，元件容納室17沿蓋體12的壁面形成并獨(dú)立于容 納室13。因此， 一些設(shè)置在容納室13中的發(fā)熱元件(熱源)可制得更小。 結(jié)果，容納室13中的溫度變化被抑制，并且調(diào)節(jié)控制更簡(jiǎn)單，沿感光材
料40的掃描方向出現(xiàn)的溫度差異和溫度變化更容易抑制。此外，因?yàn)槿?納控制電路板102的元件容納室17沿容納設(shè)備主體20的蓋體12的壁 面形成，容納室13設(shè)置在設(shè)備主體20內(nèi)部，因此能夠?qū)⒖刂齐娐钒?02 設(shè)置得更接近設(shè)備主體20的被控制部分、電源部分等。結(jié)果，它們之間 的電連接線路變得更短，因此能夠簡(jiǎn)化布線處理和提高布線的抗噪性能。第二實(shí)施例第二實(shí)施例的特征包括了與第一實(shí)施例相關(guān)的曝光設(shè)備10中的調(diào)節(jié) 空氣流量控制技術(shù)，該調(diào)節(jié)空氣流量控制技術(shù)控制空氣調(diào)節(jié)器80和改變 與曝光操作中傳送臺(tái)28的運(yùn)動(dòng)相對(duì)應(yīng)的空氣調(diào)節(jié)氣流量(air conditioning airflow amount)。下面，將說(shuō)明與第二實(shí)施例相關(guān)的曝光設(shè)備10的空氣調(diào) 節(jié)操作(空氣調(diào)節(jié)氣流量控制操作)。在本實(shí)施例中，控制器100控制空氣調(diào)節(jié)器80并改變與曝光操作中 傳送臺(tái)28的運(yùn)動(dòng)相對(duì)應(yīng)的空氣調(diào)節(jié)氣流量。更具體地，如圖11所示，當(dāng)傳送臺(tái)28設(shè)置在原點(diǎn)位置(與導(dǎo)管82 的流出口 82B相距最遠(yuǎn)的位置)時(shí)，空氣調(diào)節(jié)器80吹到導(dǎo)管82的冷卻 空氣的氣流量變得更大(箭頭AR21)，即從導(dǎo)管82的流出口 82B吹到曝 光室15的冷卻空氣的流量變得更大。如圖12所示，當(dāng)傳送臺(tái)28設(shè)置在 朝外運(yùn)動(dòng)方向的最下游位置(靠近導(dǎo)管82的流出口 82B)的附近時(shí)，上 述空氣調(diào)節(jié)氣流量變得更小(箭頭AR22)。進(jìn)一步地，在原點(diǎn)位置能夠?qū)⒖諝庹{(diào)節(jié)氣流量設(shè)置成最大值，在最下 游位置將空氣調(diào)節(jié)氣流量設(shè)置成最小值，在傳送臺(tái)28在原點(diǎn)位置與最下 游位置之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)期間，與傳送臺(tái)28朝外運(yùn)動(dòng)離開(kāi)原點(diǎn)位置的運(yùn)動(dòng)相 對(duì)應(yīng)，從最大值向最小值降低空氣調(diào)節(jié)氣流量，并且與傳送臺(tái)28返回運(yùn) 動(dòng)離開(kāi)最下游位置的運(yùn)動(dòng)相對(duì)應(yīng)，從最小值向最大值增加空氣調(diào)節(jié)氣流 量。由于空氣調(diào)節(jié)氣流量的增加/降低，因此空氣調(diào)節(jié)氣流量能夠與傳送 臺(tái)28的運(yùn)動(dòng)距離成比例地連續(xù)(非階段)或階段地改變(與流出口 82B 相對(duì)獨(dú)立)?？蛇x地，可預(yù)先進(jìn)行測(cè)試，在運(yùn)動(dòng)路徑的多個(gè)點(diǎn)上設(shè)置傳送 臺(tái)28，當(dāng)每個(gè)點(diǎn)處氣流量改變時(shí)，測(cè)量裝置的各個(gè)部分的溫度變化和性 能變化和傳送臺(tái)28上的感光材料40的熱變形量，并尋找使這種變化量
最小的最優(yōu)空氣調(diào)節(jié)氣流量控制條件，并根據(jù)該條件改變空氣調(diào)節(jié)氣流 量。進(jìn)一步地，當(dāng)通過(guò)測(cè)試獲得的空氣調(diào)節(jié)氣流量控制條件被轉(zhuǎn)換成數(shù)據(jù)時(shí)并被預(yù)先存儲(chǔ)在控制器100的存儲(chǔ)器中，利用這些數(shù)據(jù)，控制器100能 夠?qū)諝庹{(diào)節(jié)器80進(jìn)行氣流量控制。根據(jù)上面的說(shuō)明，在本實(shí)施例中，當(dāng)傳送臺(tái)28設(shè)置在曝光操作的原 點(diǎn)位置側(cè)時(shí)，從導(dǎo)管82的流出口 82B吹出并沿容納室13的掃描方向吹 的冷卻空氣的氣流量(流量)變得更大并且空氣壓力加強(qiáng)，當(dāng)傳送臺(tái)28 設(shè)置最下游位置側(cè)時(shí)，冷卻空氣的氣流量變得更小并且空氣壓力消弱。結(jié) 果，在容納室13中沿掃描方向排列的設(shè)備的主要元件的熱平衡狀態(tài)被保 持，感光材料40的熱變化被抑制，實(shí)現(xiàn)更高的曝光精度。第三實(shí)施例第三實(shí)施例的特征是與第一實(shí)施例相關(guān)的曝光設(shè)備10中的從空氣調(diào) 節(jié)器80向曝光室15供應(yīng)冷卻空氣的導(dǎo)管的結(jié)構(gòu)的變化。下面將說(shuō)明第 三實(shí)施例的曝光設(shè)備的結(jié)構(gòu)。如圖13所示，在本實(shí)施例中，曝光室15中不存在第一實(shí)施例所描述 的氣流方向改變板90，但是導(dǎo)管110的遠(yuǎn)端部分IIOA設(shè)置在凹穴15B 的后壁面15C上，導(dǎo)管110將冷卻空氣從空氣調(diào)節(jié)器80引導(dǎo)進(jìn)曝光室 15。本實(shí)施例的導(dǎo)管110的遠(yuǎn)端部分110A以直線形式形成并大致水平地 設(shè)置，導(dǎo)管110通過(guò)凹穴15B的后壁面15C向內(nèi)稍微凸出。迸一步地， 流出口 110B朝向阻擋板96定向，并被構(gòu)造成沿大致水平方向吹出冷卻 空氣。在該導(dǎo)管110處，也與第一實(shí)施例相似，遠(yuǎn)端部分110A(直線形部 分)的長(zhǎng)度(到流出口 110B的長(zhǎng)度)被設(shè)定成預(yù)定尺寸(例如，30cm或 更大)。根據(jù)上述，在本實(shí)施例中，通過(guò)第一實(shí)施例的空氣調(diào)節(jié)操作，通過(guò)導(dǎo) 管110從空氣調(diào)節(jié)器80吹到曝光室15中的冷卻空氣從導(dǎo)管110的流出 口 IIOB直接地在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)。結(jié)果，與第一實(shí)施例相似，沿容納室13的掃描方向的溫度分布是均勻 的，并且沿掃描方向的溫度變化不太可能出現(xiàn)。因此，通過(guò)傳送臺(tái)28在沿掃描方向的方向上往復(fù)被傳送的感光材料40的熱變形(其由沿掃描方 向的溫度差異和溫度變化引起)和隨后的精度降低(例如曝光位置的偏離 等)被抑制。因此，與第一實(shí)施例相似的效果，例如能夠獲得高精度曝光。 進(jìn)一步地，在本實(shí)施例的情況下，也因?yàn)楣?yīng)到曝光室15的冷卻空氣通 過(guò)導(dǎo)管110的遠(yuǎn)端部分110A(直線形部分，其被設(shè)定成預(yù)定長(zhǎng)度尺寸)， 并通過(guò)流出口 110B吹出，流出口 110B之后的空氣的流動(dòng)(吹動(dòng)方向) 是穩(wěn)定的，能夠精確地在所要求的方向(沿掃描方向的方向)上吹動(dòng)。此外，在本實(shí)施例中，能夠利用簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)、可靠地將來(lái)自空氣調(diào)節(jié)器80 的冷卻空氣在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)，其中不需要?dú)饬鞣较蚋淖儼宓?。一第四?shí)施例一第四實(shí)施例的特征是具有與第一實(shí)施例大致相同結(jié)構(gòu)的曝光設(shè)備，該 結(jié)構(gòu)使得在曝光操作中傳送臺(tái)的運(yùn)動(dòng)不會(huì)改變曝光單元44的空氣冷卻的 狀態(tài)。下面將說(shuō)明第四實(shí)施例的曝光設(shè)備的結(jié)構(gòu)和傳送臺(tái)的操作。如圖14所示，在本實(shí)施例中，傳送臺(tái)120 (其以矩形基架形式形成 用于傳送感光材料40)被制得沿運(yùn)動(dòng)方向(箭頭Y所表示的方向)的長(zhǎng)度 比第一實(shí)施例的傳送臺(tái)28沿運(yùn)動(dòng)方向的長(zhǎng)度長(zhǎng)。當(dāng)傳送臺(tái)120設(shè)置在圓 點(diǎn)位置時(shí)，感光材料配置表面120A的前端部分沿俯視方向在曝光單元44 上延伸(與曝光單元44重疊)。進(jìn)一步地，如圖15所示，當(dāng)傳送臺(tái)120設(shè)置在朝外運(yùn)動(dòng)方向的最下 游位置時(shí),感光材料配置表面120A的后端部分沿俯視方向在曝光單元44 上延伸(與曝光單元44重疊)。根據(jù)上述，在本實(shí)施例中，當(dāng)傳送臺(tái)120停止在原點(diǎn)位置時(shí)(圖14 的狀態(tài))時(shí)，在曝光操作中當(dāng)傳送臺(tái)120設(shè)置在最下游位置時(shí)(圖15的 狀態(tài))，在原點(diǎn)位置和最下游位置之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)期間，曝光單元44和傳送 臺(tái)120之間形成的間隙C的形狀基本不變化。因此，因?yàn)楫?dāng)傳送臺(tái)120 運(yùn)動(dòng)時(shí)曝光單元44和傳送臺(tái)120之間設(shè)置的間隙的形狀基本不變化，因 此間隙C處吹動(dòng)的冷卻空氣的流動(dòng)狀態(tài)基本恒定，并且曝光單元44的空 氣冷卻的狀態(tài)是穩(wěn)定的。結(jié)果，曝光單元44處的溫度變化被抑制，溫度 保持恒定，曝光單元44的熱變形(溫度變化的結(jié)果)引起的曝光位置精
度的降低被抑制。此外，通過(guò)傳送臺(tái)120相對(duì)于曝光單元44被相對(duì)地傳 送的感光材料40的空氣冷卻的狀態(tài)也是穩(wěn)定的，因此它的熱變形被抑制。 此外，對(duì)于本實(shí)施例，如圖14和15所示，能夠獲得上述效果，而沒(méi) 有象第一實(shí)施例那樣在傳送臺(tái)前面設(shè)置阻擋板96來(lái)抑制曝光單元44的 空氣冷卻的狀態(tài)的變化，這是有利的。一第五實(shí)施例一第五實(shí)施例被構(gòu)成為使得曝光單元44的空氣冷卻的狀態(tài)不會(huì)根據(jù)曝 光操作中的傳送臺(tái)的運(yùn)動(dòng)而變化，第五實(shí)施例的結(jié)構(gòu)不同于第四實(shí)施例。 下面，將說(shuō)明第五實(shí)施例的曝光設(shè)備。如圖16A和16B所示，在本實(shí)施例中，透明玻璃制隔離板130沿掃描 方向(傳送臺(tái)28的運(yùn)動(dòng)方向)設(shè)置在曝光單元44和校準(zhǔn)單元60的攝像 機(jī)62所在一側(cè)與傳送臺(tái)28 (測(cè)量單元70)所在的另一側(cè)之間，前述一 側(cè)和另一側(cè)并排布置。隔離板130的兩個(gè)外側(cè)端部安裝在一對(duì)支撐板132 上并由其支撐， 一對(duì)支撐板132設(shè)置在一對(duì)導(dǎo)軌26的外側(cè)，隔離板130 大致水平地布置。因此，隔離板130具有沿掃描方向的水平形式。曝光單 元44的曝光頭46照射來(lái)的曝光光束能夠通過(guò)透明的隔離板130，攝像 機(jī)62能夠通過(guò)透明的隔離板130捕獲感光材料40的校準(zhǔn)標(biāo)記M。因此，在本實(shí)施例中，因?yàn)橥该鞯母綦x板130沿掃描方向以水平形式 設(shè)置在曝光單元44、校準(zhǔn)單元60、攝像機(jī)62與傳送臺(tái)28之間，因此， 當(dāng)傳送臺(tái)28運(yùn)動(dòng)時(shí)曝光單元44和校準(zhǔn)單元60的外周邊處的空間的形 狀不會(huì)變化，同時(shí)保持了這樣的狀態(tài)，即不會(huì)妨礙曝光單元44的曝光頭 46照射來(lái)的曝光光束對(duì)感光材料40的曝光，和不會(huì)妨礙攝像機(jī)62讀取 感光材料40的校準(zhǔn)標(biāo)記M。結(jié)果，這些間隙處吹動(dòng)的冷卻空氣的流動(dòng)的 狀態(tài)(圖16B中的箭頭AR51)是大致恒定的，曝光單元44和校準(zhǔn)單元60 的空氣冷卻的狀態(tài)是穩(wěn)定的。因此，曝光單元44的溫度變化被抑制，溫度保持恒定，曝光單元44 的熱變形(溫度變化的結(jié)果)引起的曝光位置精度的降低被抑制。進(jìn)一步 地，校準(zhǔn)單元60的溫度變化被抑制，并且溫度保持恒定，因此溫度變化 導(dǎo)致的校準(zhǔn)單元60的位置偏離(即，校準(zhǔn)標(biāo)記M的讀取位置的精度的降
低)被抑制。此外，通過(guò)傳送臺(tái)28相對(duì)于曝光單元44和校準(zhǔn)單元60 被相對(duì)地傳送的感光材料40的空氣冷卻的狀態(tài)是穩(wěn)定的，因此熱變形被 抑制。
進(jìn)一步地，在曝光中，在曝光光束照射的地方，氣體從感光材料40 蒸發(fā)，設(shè)置在曝光頭46和攝像機(jī)62上的透鏡會(huì)被這些氣體污染，這會(huì)導(dǎo) 致透射失敗的問(wèn)題。然而，在本實(shí)施例中，因?yàn)槠毓鈫卧?4和校準(zhǔn)單元60 受到隔離板130的保護(hù)而不受揮發(fā)氣體的影響，因此防止了曝光頭46和 攝像機(jī)62的透鏡的污染和應(yīng)用的負(fù)面影響。
一第六實(shí)施例一
第六實(shí)施例在第一實(shí)施例的曝光設(shè)備10的設(shè)備主體20上設(shè)置有流 動(dòng)變化控制結(jié)構(gòu)(flow change-governing structure)。流動(dòng)變化控制結(jié) 構(gòu)實(shí)行控制使得當(dāng)傳送臺(tái)28運(yùn)動(dòng)時(shí)傳送臺(tái)驅(qū)動(dòng)源周圍的冷卻空氣的流動(dòng) 的狀態(tài)基本不變化。下面將說(shuō)明第六實(shí)施例的曝光設(shè)備的結(jié)構(gòu)。
如圖17所示，在本實(shí)施例中， 一對(duì)閉合板140與平臺(tái)30的長(zhǎng)度方向 (掃描方向)平行地布置并安裝在平臺(tái)30的下表面的兩側(cè)部分，平臺(tái)30 形成作為具有傳送臺(tái)28的單元。該對(duì)閉合板140閉合形成在相應(yīng)腿部34 之間的開(kāi)口。進(jìn)一步地，一對(duì)屏蔽板142與導(dǎo)軌26的延伸方向(傳送臺(tái)28 的運(yùn)動(dòng)方向)平行地布置，并自立地設(shè)置在傳送臺(tái)運(yùn)動(dòng)路徑上，位于設(shè)置 在原點(diǎn)位置的傳送臺(tái)28的前部(朝外運(yùn)動(dòng)方向的下游側(cè))，且位于一對(duì)導(dǎo) 軌26上運(yùn)動(dòng)的傳送臺(tái)28的兩側(cè)(外側(cè))處。
由于具有上述結(jié)構(gòu)，在本實(shí)施例中， 一對(duì)屏蔽板142和一對(duì)閉合板 140控制通過(guò)安裝在平臺(tái)30 (其是傳送臺(tái)驅(qū)動(dòng)源)的下表面的線圈部分 38B的周圍的、在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)的冷卻空氣的流動(dòng)狀態(tài)，以便 當(dāng)傳送臺(tái)28在導(dǎo)軌26上移動(dòng)時(shí)冷卻空氣的流動(dòng)狀態(tài)基本不變化。結(jié)果， 線圈部分38B的空氣冷卻的狀態(tài)是穩(wěn)定的，它的溫度變化被抑制，線圈部 分38B的傳導(dǎo)熱引起的傳送臺(tái)28的溫度上升(溫度變化)被抑制。因此， 傳送臺(tái)28的傳導(dǎo)熱引起的感光材料40的熱變形被抑制，所以能夠執(zhí)行 高精度的曝光。
一第七實(shí)施例一
第七實(shí)施例在第一實(shí)施例的傳送臺(tái)28處設(shè)置有空氣冷卻單元，該空 氣冷卻單元在傳送臺(tái)驅(qū)動(dòng)源處吹冷卻空氣并冷卻傳送臺(tái)驅(qū)動(dòng)源。下面將說(shuō) 明第七實(shí)施例的傳送臺(tái)的結(jié)構(gòu)。
如圖18A和18B所示，在本實(shí)施例中，兩個(gè)通風(fēng)扇150安裝在平臺(tái)30 的下表面處，平臺(tái)30形成為具有傳送臺(tái)28的單元。通風(fēng)扇150相對(duì)于 線圈部分38B設(shè)置在前側(cè)(冷卻空氣流動(dòng)方向的上游側(cè))。兩個(gè)通風(fēng)扇150 吹動(dòng)以增加流動(dòng)方向上的流速，即，在線圈部分38B處，增加沿掃描方向 流動(dòng)的冷卻空氣的流速。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在本實(shí)施例中，因?yàn)閺膬蓚€(gè)通風(fēng)扇150吹來(lái)的冷卻空 氣冷卻了線圈部分38B，所以提高了線圈部分38B的冷卻效果，提高了 抑制傳送臺(tái)28的溫度上升(溫度變化)的效果。
一第八實(shí)施例一
第八實(shí)施例在第一實(shí)施例的傳送臺(tái)28 (平臺(tái)30)處設(shè)置有散熱片。 下面將說(shuō)明第八實(shí)施例的傳送臺(tái)的結(jié)構(gòu)。
如圖19所示，在本實(shí)施例中，多個(gè)散熱片30A整體地設(shè)置在平臺(tái)30 的下表面處，平臺(tái)30形成為具有傳送臺(tái)28的單元。散熱片30A在平臺(tái) 30的長(zhǎng)度方向(掃描方向)上延伸。
由于具有上述結(jié)構(gòu)，在本實(shí)施例中，散熱片30A增大了平臺(tái)30的表 面積并提高了散熱效果，散熱片30A多個(gè)地設(shè)置在平臺(tái)30的下表面處。 進(jìn)一步地，因?yàn)樯崞?0A在掃描方向上延伸，所以在沿掃描方向的方向 上吹動(dòng)的冷卻空氣的流動(dòng)將不會(huì)被擾動(dòng)，穩(wěn)定流動(dòng)的空氣提高了散熱效 率。因此，提高了平臺(tái)30 (平臺(tái)30會(huì)因線圈部分38B的傳導(dǎo)熱而溫度 上升)的冷卻效果，提高了抑制傳送臺(tái)28的溫度上升(溫度變化)的效果
一第九實(shí)施例一
第九實(shí)施例在第一實(shí)施例的傳送臺(tái)28(平臺(tái)30)處設(shè)置有防熱構(gòu)件。 下面將說(shuō)明第九實(shí)施例的傳送臺(tái)的結(jié)構(gòu)。
如圖20所示，在本實(shí)施例中，不銹鋼金屬板形成的防熱板160安裝
在平臺(tái)30的下表面處，平臺(tái)30形成為具有傳送臺(tái)28的單元。線圈部分 38B經(jīng)防熱板160安裝到平臺(tái)30的下表面。
由于具有上述結(jié)構(gòu)，在本實(shí)施例中，防熱板160抑制了線圈部分38B (線圈部分38B經(jīng)防熱板160安裝到平臺(tái)30的下表面)的傳導(dǎo)熱引起 的平臺(tái)30和傳送臺(tái)28的溫度上升，并抑制了設(shè)置在平臺(tái)30附近的發(fā)熱 元件的輻射熱引起的平臺(tái)30和傳送臺(tái)28的溫度上升。
基于上面，本發(fā)明己經(jīng)詳細(xì)說(shuō)明了上述第一至第九實(shí)施例。然而，本 發(fā)明不限于這些實(shí)施例，在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)可采用各種其它方式。
例如，對(duì)于上述實(shí)施例，已經(jīng)說(shuō)明了空氣調(diào)節(jié)操作(室溫調(diào)節(jié)操作) 的示例，其中測(cè)量容納室13的室溫和設(shè)備安裝環(huán)境的溫度，并基于測(cè)量 的溫度來(lái)控制空氣調(diào)節(jié)器80以便調(diào)節(jié)冷卻空氣的溫度。然而，空氣調(diào)節(jié) 操作不限于此，也可以從空氣調(diào)節(jié)器80向容納室13供應(yīng)調(diào)節(jié)成預(yù)定溫 度的冷卻空氣。
進(jìn)一步地，關(guān)于掃描方向，已經(jīng)說(shuō)明了作為傳送機(jī)構(gòu)的、用于傳送感 光材料的傳送臺(tái)在水平方向上傳送的示例，因此掃描方向是水平方向。然 而，掃描方向不限于此，豎直方向也可用作掃描方向，只要傳送機(jī)構(gòu)在豎 直方向上運(yùn)動(dòng)。進(jìn)一步地，關(guān)于感光材料的傳送方向(傳送臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向)， 已經(jīng)說(shuō)明了在用于校準(zhǔn)測(cè)量和曝光的相反方向上往復(fù)傳送的示例。然而， 也可以是單向傳送，其中感光材料僅在一個(gè)方向上傳送，校準(zhǔn)測(cè)量和曝光 相繼地進(jìn)行。
進(jìn)一步地，已經(jīng)說(shuō)明了這樣的示例，其中，在通過(guò)上述實(shí)施例中的曝 光設(shè)備10對(duì)感光材料40進(jìn)行曝光操作中，當(dāng)傳送臺(tái)28運(yùn)動(dòng)時(shí)感光材料 40執(zhí)行掃描曝光。然而，曝光操作不限于這種掃描曝光類型?？蛇x地，感 光材料40可移動(dòng)到原點(diǎn)曝光位置、停止、并僅在預(yù)定曝光區(qū)域進(jìn)行曝光， 在曝光之后，感光材料40可移動(dòng)到下一個(gè)曝光位置，再次停止、并僅在 下一個(gè)預(yù)定曝光位置進(jìn)行曝光。因此，曝光操作也可以這種方式進(jìn)行感 光材料40移動(dòng)一〉停止在曝光位置一〉圖像曝光一〉移動(dòng)一〉等。
進(jìn)一步地，用于將從導(dǎo)管吹出的冷卻空氣氣改變到沿掃描方向的方向 的流方向改變構(gòu)件不限于這種機(jī)械裝置，例如不限于第一實(shí)施例中說(shuō)明的 氣流方向改變板90的形式?？蛇x地，氣流方向改變構(gòu)件可形成為電子裝
置，例如鼓風(fēng)機(jī)等，或機(jī)械裝置和電子裝置的組合結(jié)構(gòu)。
進(jìn)一步地，如第一實(shí)施例所述，為了具有當(dāng)傳送臺(tái)28運(yùn)動(dòng)時(shí)基本不 改變?cè)谘貟呙璺较虻姆较蛏洗祫?dòng)的冷卻空氣的流動(dòng)的形狀，校準(zhǔn)測(cè)量用攝 像機(jī)62安裝在其處的校準(zhǔn)單元60的單元基座64的截面形狀具有T型形 狀，同時(shí)增加截面模量(sectional modulus)和加固強(qiáng)度(剛性)。然而， 單元基座64的截面形狀不限于此。例如，如果能夠確保強(qiáng)度，增加厚度 等，則也可使用I型形狀(平坦形狀)等。
迸一步地，如上述第一實(shí)施例所述，測(cè)量容納室13的溫度的溫度傳 感器72設(shè)置在打開(kāi)/閉合面板19的后表面處并位于在傳送臺(tái)28的附 近。然而，溫度傳感器的安裝位置不限于此。例如，如圖6所示的溫度傳 感器73，溫度傳感器可安裝在平臺(tái)30上，并位于傳送臺(tái)28的前側(cè)附近。 在這種情況下，根據(jù)溫度傳感器73，曝光單元44和校準(zhǔn)單元60附近的 和傳送臺(tái)28的室溫成為被測(cè)量溫度，使用該測(cè)量的溫度信息來(lái)執(zhí)行容納 室13的溫度控制。即，通過(guò)執(zhí)行空氣調(diào)節(jié)，曝光單元44和校準(zhǔn)單元60 附近的溫度變化被抑制，因此能夠抑制它們的性能變化。此外，容納室13 的溫度測(cè)量位置不限于單個(gè)位置。也可以是多個(gè)位置。因此，能夠根據(jù)多 個(gè)位置測(cè)量的溫度信息來(lái)執(zhí)行容納室13的溫度控制。
進(jìn)一步地，如第一實(shí)施例所述，線性伺服電機(jī)38 (線性伺服電機(jī)38 是傳送臺(tái)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源)的線圈部分38B經(jīng)絕熱襯墊39安裝在傳送臺(tái) 28 (平臺(tái)30)處。步進(jìn)電機(jī)36 (步進(jìn)電機(jī)36是傳送臺(tái)上升/下降的驅(qū)動(dòng) 源)可相似地經(jīng)絕熱襯墊等安裝在傳送臺(tái)28(上升/下降機(jī)構(gòu)32)上。進(jìn) 一步地，這里，構(gòu)成感光材料配置表面28A的傳送臺(tái)28被制得能夠上升 和下降，傳送臺(tái)28(感光材料配置表面28A)用作可移動(dòng)部分。步進(jìn)電機(jī) 36產(chǎn)生移動(dòng)該可移動(dòng)部分的驅(qū)動(dòng)力，并且在待命時(shí)電流被降低。例如，如 果另一個(gè)可移動(dòng)部分被設(shè)置在傳送臺(tái)上并且步進(jìn)電機(jī)被用作它的驅(qū)動(dòng)源， 則電流衰減控制可相似地應(yīng)用到該步進(jìn)電機(jī)，發(fā)熱相應(yīng)地被抑制。
進(jìn)一步地，對(duì)于上述實(shí)施例的曝光設(shè)備10，已經(jīng)說(shuō)明配備有作為空 間光調(diào)制元件的DMD的曝光頭。然而，除了這種反射型空間光調(diào)制元件外， 也可采用傳播型空間光調(diào)制元件(如LCD等)。例如，可使用微電子機(jī)械 裝置(MEMS: microelectro-mechanical systems)型空間光調(diào)制元件(SLM:spatial light modulator),通過(guò)電光效應(yīng)調(diào)制傳播光的光學(xué)元件(PLZT 元件)，液晶開(kāi)關(guān)(FIX: liquid crystal shutters)等液晶開(kāi)關(guān)陣列， 和除了 MEMS型元件之外的空間光調(diào)制元件。這里，MEMS是微系統(tǒng)的術(shù)語(yǔ)， 在該微系統(tǒng)中，基于IC制造工藝、利用微加工技術(shù)來(lái)集成這些微小的傳 感器、執(zhí)行器和控制電路。MEMS型空間光調(diào)制元件是指空間光調(diào)節(jié)器， 利用靜電力通過(guò)機(jī)電操作來(lái)驅(qū)動(dòng)該空間光調(diào)節(jié)器。此外，可利用通過(guò)排列 多個(gè)光柵光閥(GLV: grating light valves)而構(gòu)成兩維的空間光調(diào)制 元件。在采用這些反射型空間光調(diào)制元件(例如GLV)、傳播型空間光調(diào) 制元件(例如LCD)等的結(jié)構(gòu)中，除了上述激光器外，可用燈作為光源。進(jìn)一步地，作為上述實(shí)施例中的光源(光源單元50),可采用配備有 多個(gè)多路激光光源(multiplex laser light sources)的光纖陣列光源 (fiber array light source)和多個(gè)光發(fā)射點(diǎn)以兩維布置的光源(例如， 激光器二極管陣列，有機(jī)電致發(fā)光陣列等)，在光纖陣列光源中排列有多 個(gè)光纖光源，每個(gè)光纖光源配備有單個(gè)光纖，該單個(gè)光纖發(fā)射由具有一個(gè) 光發(fā)射點(diǎn)的單個(gè)半導(dǎo)體激光器輸入的激光。進(jìn)一步地，在上述曝光設(shè)備10中，可采用光子模式感光材料(其通 過(guò)曝光直接記錄信息)和熱模式感光材料(其通過(guò)曝光產(chǎn)生熱并通過(guò)熱來(lái) 記錄信息)中任一種。在采用光子模式感光材料的情況下，GaN基半導(dǎo)體 激光器、波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換固體激光器(wavelength-conversion solid state lasers)等被應(yīng)用于激光器設(shè)備上，在采用熱模式感光材料的情況下， AlGaAs基半導(dǎo)體激光器(紅外激光器)或固體激光器被應(yīng)用在激光器設(shè) 備上。進(jìn)一步地，本發(fā)明不限于上述圖像曝光設(shè)備，這些圖像曝光設(shè)備采用 空間光調(diào)制器并根據(jù)感光材料處的圖像數(shù)據(jù)發(fā)射調(diào)制的光束來(lái)執(zhí)行圖像 曝光，感光材料在掃描方向上傳送。例如，能夠?qū)⒈景l(fā)明應(yīng)用于掃描曝光 設(shè)備，該掃描曝光設(shè)備在副掃描方向上傳送感光材料，同時(shí)發(fā)射主掃描激 光來(lái)描繪預(yù)定圖案。一第十實(shí)施例一第十實(shí)施例涉及本發(fā)明的第三個(gè)方面。下面將說(shuō)明本實(shí)施例的曝光設(shè)47
備的結(jié)構(gòu)。如圖3和4所示，在該曝光設(shè)備10中，作為溫度測(cè)量?jī)x的溫 度傳感器58安裝在多個(gè)主要元件的周邊。這里，主要元件是指曝光頭46、 攝像機(jī)62、傳送臺(tái)28、線性編碼器37和測(cè)量單元70。溫度傳感器58 安裝在多個(gè)位置，包括傳送臺(tái)28和曝光頭46中的至少一個(gè)，例如，如 圖3和4所述，單元基座48的上表面，單元基座64的下表面，傳送臺(tái)28 的下表面，攝像機(jī)校正基準(zhǔn)板的端部等(在本實(shí)施例中，溫度傳感器58 安裝在所有上述主要元件處)。進(jìn)一步地，溫度傳感器58連接到控制器100?？刂破?00(控制裝置) 判斷每個(gè)主要元件的溫度穩(wěn)定性的程度，即，相應(yīng)主要元件處測(cè)量的溫度 是否構(gòu)成穩(wěn)定溫度。這里的穩(wěn)定溫度是指能夠保證曝光設(shè)備IO中圖像曝 光品質(zhì)的溫度。當(dāng)所有主要元件已經(jīng)達(dá)到穩(wěn)定溫度時(shí)開(kāi)始執(zhí)行圖像曝光， 這樣高精確地曝光得到高精度圖像。該穩(wěn)定溫度是相對(duì)于預(yù)定中心值 (0°C)具有公差范圍(土A。C)的溫度。此外，如圖1所示，控制器100設(shè)置有用作顯示單元的顯示面板108 和用作輸入單元的鍵盤。曝光性能等級(jí)(確保曝光品質(zhì)的程度，其根據(jù)控 制器100的判斷結(jié)果獲得)通過(guò)數(shù)字、文字、字符、顏色等顯示在顯示面 板108上。鍵盤101是用戶根據(jù)顯示的曝光性能等級(jí)確定的指令項(xiàng)目(曝 光開(kāi)始指令等)能夠被輸入的結(jié)構(gòu)。這里，顯示的曝光性能等級(jí)至少包括直到能夠曝光的等待持續(xù)時(shí)間。 可根據(jù)等待持續(xù)時(shí)間的長(zhǎng)度來(lái)估計(jì)曝光開(kāi)始時(shí)間。即，能夠判斷是否等到 保證圖像曝光品質(zhì)的穩(wěn)定溫度達(dá)到才執(zhí)行曝光，還是沒(méi)有等到達(dá)到穩(wěn)定溫 度就執(zhí)行曝光(為了提高生產(chǎn)率)。進(jìn)一步地，顯示的曝光性能等級(jí)的顯 示單元不限于顯示面板108，例如，能夠通過(guò)依序點(diǎn)亮未圖示的多個(gè)LED 來(lái)顯示曝光性能等級(jí)，或者通過(guò)聲音等來(lái)表達(dá)曝光性能等級(jí)。將說(shuō)明具有上述結(jié)構(gòu)的曝光設(shè)備10的操作、主要元件的溫度穩(wěn)定性 程度的判斷、和感光材料40上曝光的操作。容納室13中的每個(gè)主要元件的溫度被溫度傳感器58測(cè)量。g卩，基于 圖21的流程圖來(lái)說(shuō)明。首先，在步驟S1，溫度傳感器58測(cè)量曝光頭46、 攝像機(jī)62、傳送臺(tái)28、線性編碼器37、和測(cè)量單元70 (攝像機(jī)校正基 準(zhǔn)板)附近的溫度。
然后，在步驟S2，作為判斷裝置的控制器100進(jìn)行判斷，判斷測(cè)量 的溫度是否在穩(wěn)定溫度(而不是判斷容納室13中的溫度是否穩(wěn)定)。在步 驟S3，在顯示面板108上顯示基于上述判斷能夠保證的曝光性能等級(jí)。艮fl，顯示面板108顯示曝光性能等級(jí)，例如，根據(jù)該曝光性能等級(jí)可 以理解的是，所述主要元件處于穩(wěn)定溫度，所以能夠在保證圖像品質(zhì)的狀 態(tài)下進(jìn)行圖像曝光。盡管不能保證圖像品質(zhì)，也能夠在當(dāng)曝光頭46、攝 像機(jī)62和傳送臺(tái)28處于穩(wěn)定溫度而不是所有主要元件處于穩(wěn)定溫度時(shí) 的狀態(tài)下進(jìn)行圖像曝光。對(duì)于可能的曝光，要等一段時(shí)間(？？分鐘)直 到主要元件、至少曝光頭46、攝像機(jī)62和傳送臺(tái)28達(dá)到穩(wěn)定溫度。如上所述，穩(wěn)定溫度(0土A。 C)是曝光設(shè)備10中的圖像曝光品質(zhì)能 夠被保證的溫度。因此，總是期望當(dāng)主要元件達(dá)到穩(wěn)定溫度時(shí)執(zhí)行圖像曝 光。然而，如果在曝光設(shè)備IO的安裝環(huán)境已經(jīng)改變的狀態(tài)下執(zhí)行曝光， 當(dāng)驅(qū)動(dòng)和曝光在該天首次執(zhí)行時(shí)，或者當(dāng)驅(qū)動(dòng)和曝光已經(jīng)執(zhí)行了長(zhǎng)時(shí)間 時(shí)，這需要一定時(shí)間直到主要元件達(dá)到穩(wěn)定溫度。如果在一些主要元件沒(méi)有達(dá)到穩(wěn)定溫度的情況下開(kāi)始曝光過(guò)程，曝光 圖像上會(huì)出現(xiàn)輕微的位置偏離，這導(dǎo)致曝光品質(zhì)難以保證。然而，如果一 直等到主要元件達(dá)到穩(wěn)定溫度的狀態(tài)增加了一系列處理步驟，可導(dǎo)致生產(chǎn) 率下降。于是，在步驟S4，激活曝光開(kāi)始指令。在步驟S5根據(jù)顯示面板 108上顯示的項(xiàng)目選擇隨后的處理(曝光性能等級(jí))。艮口，如果所有主要元件已經(jīng)達(dá)到穩(wěn)定溫度(穩(wěn)定狀態(tài))，在步驟S6， 根據(jù)步驟4的曝光開(kāi)始指令開(kāi)始曝光處理。然而，如果多個(gè)主要元件中即 使一個(gè)沒(méi)有達(dá)到穩(wěn)定溫度(穩(wěn)定狀態(tài))，那么在步驟S7，選擇和執(zhí)行三個(gè) 模式中的一個(gè)。用戶可在曝光性能等級(jí)已經(jīng)在步驟S3中顯示之后并且在 步驟S4的曝光開(kāi)始指令之前、通過(guò)鍵盤101的預(yù)先輸入來(lái)選擇要執(zhí)行的 模式。對(duì)于這里的三種模式，例如，下面考慮的(1)-(3)。具體地，在(1)中， 根據(jù)步驟S4的曝光開(kāi)始指令來(lái)開(kāi)始曝光處理。在(2)中，在已經(jīng)達(dá)到穩(wěn)定 溫度(曝光性能確保狀態(tài))后自動(dòng)地開(kāi)始曝光處理。在(3)中，用戶開(kāi)始 曝光處理，同時(shí)沒(méi)有達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)的事實(shí)被顯示，或再確認(rèn)顯示被顯示， 當(dāng)用戶重復(fù)曝光開(kāi)始指令時(shí)開(kāi)始曝光處理。 現(xiàn)在，在選擇模式(2)的情況下，由于沒(méi)有達(dá)到穩(wěn)定溫度，曝光處理 將不開(kāi)始。因此，防止了錯(cuò)誤操作，實(shí)現(xiàn)了具有保證的圖像品質(zhì)的曝光處 理。進(jìn)一步地，在選擇模式(3)的情況下，如果錯(cuò)誤地開(kāi)始曝光，這該指 令可以被刪除。因此，相似地防止了錯(cuò)誤操作。不管怎樣，由于具有這種 結(jié)構(gòu)，增加了用戶判斷曝光開(kāi)始的自由度。BP，因?yàn)榧词乖跊](méi)有達(dá)到穩(wěn)定 溫度的狀態(tài)、在不要求特定精度的情況下，也能夠開(kāi)始曝光處理，所以實(shí) 現(xiàn)了生產(chǎn)率的提高。進(jìn)一步地，在第十實(shí)施例中，主要元件(曝光頭46、攝像機(jī)62、傳 送臺(tái)28、線性編碼器37和測(cè)量單元70)的周邊的溫度被測(cè)量，根據(jù)這 些溫度(與穩(wěn)定溫度的差)確定曝光性能等級(jí)并顯示。因此，用戶能夠根 據(jù)顯示的曝光性能等級(jí)判斷是否開(kāi)始曝光處理。即，即使穩(wěn)定溫度沒(méi)有達(dá) 到(當(dāng)不能保證圖像曝光品質(zhì)時(shí))，也能夠強(qiáng)制地開(kāi)始曝光處理。因此， 在不需要特定精度、生產(chǎn)率優(yōu)先的情況下，能夠提高生產(chǎn)率。一第十一實(shí)施例一第十一實(shí)施例涉及本發(fā)明的第四個(gè)方面。下面將說(shuō)明本實(shí)施例的曝光 設(shè)備的結(jié)構(gòu)。這里，將忽略與第十實(shí)施例的用作溫度測(cè)量?jī)x的溫度傳感器 58的相同說(shuō)明。如圖1所示，控制器100設(shè)置有用作顯示單元的顯示面板108和用作 改寫裝置的鍵盤101?？刂破?00 (控制裝置)的判斷結(jié)果顯示在顯示面 板108上，這種結(jié)構(gòu)能夠使用戶容易地識(shí)別這些判斷結(jié)果。這里，顯示的 判斷結(jié)果至少包括穩(wěn)定溫度和實(shí)際測(cè)量溫度之間的差。鍵盤101是能夠根 據(jù)顯示的判斷結(jié)果進(jìn)行改寫控制的結(jié)構(gòu)，用于穩(wěn)定溫度等的再次指定?，F(xiàn)在，將說(shuō)明穩(wěn)定溫度。該穩(wěn)定溫度是運(yùn)輸前在安裝環(huán)境溫度中預(yù)先 調(diào)節(jié)的溫度。通常地，曝光設(shè)備IO將安裝在設(shè)置有空氣調(diào)節(jié)設(shè)備的室內(nèi) 環(huán)境中，例如無(wú)塵室等。因此，主要元件能夠在運(yùn)輸前調(diào)節(jié)的穩(wěn)定溫度(保 證圖像曝光品質(zhì)的狀態(tài))下操作。然而，取決于曝光設(shè)備IO實(shí)際安裝的 環(huán)境溫度，有時(shí)穩(wěn)定溫度不能簡(jiǎn)單地達(dá)到。在這種情況下，即使當(dāng)主要元件實(shí)際上達(dá)到完全保證圖像曝光品質(zhì)的 溫度，因?yàn)檫\(yùn)輸前指定的穩(wěn)定溫度(初始溫度)不能達(dá)到，這會(huì)判斷圖像
曝光品質(zhì)不能保證，導(dǎo)致生產(chǎn)率的降低。因此，如上所述，曝光設(shè)備10被構(gòu)造成能夠進(jìn)行穩(wěn)定溫度的再指定(改寫)。這里，穩(wěn)定溫度的改寫不限于通過(guò)鍵盤101輸入來(lái)改寫。通過(guò)控制器100自動(dòng)地改寫穩(wěn)定溫度的結(jié)構(gòu)也可以。進(jìn)一步地，根據(jù)穩(wěn)定溫度的再指定(改寫)，曝光設(shè)備IO的設(shè)備特定參數(shù)也可以改變。這里將要控制的設(shè)備特定參數(shù)是光量分布和曝光量、曝光頭46的傾斜度和圖像的結(jié)合部(曝光區(qū)域52)、放大倍率等。如果需 要改變，這種特定參數(shù)也通過(guò)控制器100判斷并顯示在顯示面板108上。 因此，能夠用鍵盤101執(zhí)行適當(dāng)?shù)母淖?，鍵盤101也用作改變裝置。對(duì)于具有上述結(jié)構(gòu)的曝光設(shè)備10的操作，將說(shuō)明主要元件的溫度穩(wěn) 定性的程度判斷、穩(wěn)定溫度的再指定(改寫)、感光材料40上的曝光操作 等。溫度傳感器58測(cè)量容納室13(曝光室15)中的每個(gè)主要元件的溫度。 即，根據(jù)流程圖22來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。首先，在步驟S1，溫度傳感器58測(cè)量 曝光頭46、攝像機(jī)62、傳送臺(tái)28、線性編碼器37、和測(cè)量單元70 (攝 像機(jī)校正基準(zhǔn)板)附近的溫度。然后，在步驟S2，作為判斷裝置的控制器 100進(jìn)行判斷，判斷測(cè)量的溫度是否在穩(wěn)定溫度(而不是判斷容納室13 中的溫度是否穩(wěn)定)。然后，在步驟S3，如果主要元件的被測(cè)量的溫度位于初始指定的穩(wěn)定 溫度(在0土anc的范圍)時(shí)，不執(zhí)行再指定(改寫)。然而，如果再多次 測(cè)量后即使有一個(gè)主要元件沒(méi)有達(dá)到穩(wěn)定溫度(與穩(wěn)定溫度的差沒(méi)有消 失)，則判斷運(yùn)輸前(運(yùn)輸調(diào)節(jié)時(shí))的安裝環(huán)境溫度不同于曝光設(shè)備10 的實(shí)際安裝環(huán)境溫度，在步驟S4，顯示面板108顯示需要進(jìn)行穩(wěn)定溫度 的再指定(改寫)。當(dāng)需要進(jìn)行穩(wěn)定溫度的再指定(改寫)的事實(shí)已經(jīng)顯示在顯示面板 108上時(shí)，在步驟S5，用作改寫裝置的鍵盤101被操作，執(zhí)行穩(wěn)定溫度的再獲取和再指定(改寫)。具體地，通過(guò)相隔預(yù)定時(shí)間量來(lái)測(cè)量多個(gè)溫度， 根據(jù)測(cè)量的溫度計(jì)算新的穩(wěn)定溫度，從而獲取新的穩(wěn)定溫度。因此，通過(guò) 鍵盤101輸入新獲取的穩(wěn)定溫度，并將它再指定成實(shí)際安裝環(huán)境溫度用的 穩(wěn)定溫度。
現(xiàn)在，通常由維護(hù)工程師來(lái)執(zhí)行該操作，但是該結(jié)構(gòu)能夠利用控制器100自動(dòng)地進(jìn)行再指定(改寫)。進(jìn)一步地，只要安裝環(huán)境不再改變，則這種再指定(改寫)的穩(wěn)定溫度不會(huì)變化，所以通常是單次調(diào)節(jié)設(shè)定。不管如何，利用這種結(jié)構(gòu)，可增加曝光設(shè)備io的環(huán)境溫度的變化余量(適應(yīng)性范圍)。進(jìn)一步地，可相應(yīng)地改變?cè)O(shè)備特定參數(shù)。例如，通過(guò)光量測(cè)量?jī)x來(lái)測(cè) 量光量的變化并執(zhí)行明暗和曝光量的再調(diào)節(jié)(改變)，和根據(jù)光束位置探 測(cè)基準(zhǔn)板和光探測(cè)器來(lái)校正(改變)光束曝光位置和圖像結(jié)合部(曝光區(qū)域52)、曝光頭46的傾斜度、放大倍率等。也可通過(guò)鍵盤101輸入來(lái)實(shí) 現(xiàn)特定參數(shù)的這種改變。進(jìn)一步地，在第十一實(shí)施例中，主要元件(曝光頭46、攝像機(jī)62、 傳送臺(tái)28、線性編碼器37和測(cè)量單元70)的周邊溫度被測(cè)量，如果測(cè) 量溫度和穩(wěn)定溫度之間的差持久不消失，則判斷運(yùn)輸調(diào)節(jié)時(shí)的安裝環(huán)境溫 度和實(shí)際安裝環(huán)境溫度極大地不同，能夠再指定(改寫)穩(wěn)定溫度。艮P, 曝光設(shè)備IO的安裝環(huán)境溫度的使用性范圍被拓寬。因此，總能夠根據(jù)實(shí) 際安裝環(huán)境溫度、在適當(dāng)?shù)姆€(wěn)定溫度下(保證圖像曝光品質(zhì)的狀態(tài)下)實(shí)現(xiàn) 曝光處理。工業(yè)應(yīng)用性本發(fā)明應(yīng)用于配備有空氣調(diào)節(jié)功能裝置的曝光設(shè)備，空氣調(diào)節(jié)功能裝 置從空氣調(diào)節(jié)器向容納曝光設(shè)備主體的容納室供應(yīng)溫度調(diào)整的空氣，并使 容納室中沿掃描方向的溫度分布均勻，和抑制掃描方向上的溫度變化。
權(quán)利要求
1.一種曝光設(shè)備，包括曝光單元，其發(fā)射光束并掃描地曝光感光材料；傳送機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于曝光單元相對(duì)地運(yùn)動(dòng)，并沿掃描方向傳送感光材料，所述感光材料被配置和保持在配置表面上；容納室，曝光單元和傳送機(jī)構(gòu)容納在該容納室中；空氣調(diào)節(jié)單元，其向容納室供應(yīng)溫度調(diào)整的空氣，用于空氣調(diào)節(jié)；和通風(fēng)單元，其設(shè)置在容納室上，并將來(lái)自空氣調(diào)節(jié)單元的空氣在沿掃描方向的方向上吹動(dòng)。
2. —種曝光設(shè)備，包括曝光單元，其發(fā)射光束并掃描地曝光感光材料；傳送機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于曝光單元相對(duì)地運(yùn)動(dòng)，并沿掃描方向傳送感光材 料，所述感光材料被配置和保持在配置表面上；容納室，曝光單元和傳送機(jī)構(gòu)容納在該容納室中； 空氣調(diào)節(jié)單元，其向容納室供應(yīng)溫度調(diào)整的空氣，用于空氣調(diào)節(jié)； 室溫測(cè)量?jī)x，其測(cè)量容納室的溫度；控制裝置，其根據(jù)溫度測(cè)量?jī)x測(cè)量的溫度來(lái)控制空氣調(diào)節(jié)單元，并改 變空氣的調(diào)整溫度；和通風(fēng)單元，其設(shè)置在容納室上，并將來(lái)自空氣調(diào)節(jié)單元的空氣在沿掃 描方向的方向上吹動(dòng)。
3. 如權(quán)利要求2所述的曝光設(shè)備，其中控制裝置控制空氣調(diào)節(jié)單元以便根據(jù)傳送機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)來(lái)改變空氣調(diào)節(jié)氣流量。
4. 如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備，其中通風(fēng)單元包括 導(dǎo)管，其將來(lái)自空氣調(diào)節(jié)單元的空氣吹出到容納室；和 氣流方向改變構(gòu)件，其將己經(jīng)從導(dǎo)管吹出的空氣的氣流方向改變成沿掃描方向的方向。
5. 如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備，其中通風(fēng)單元包括導(dǎo)管，所述導(dǎo) 管在沿掃描方向的方向上將來(lái)自空氣調(diào)節(jié)單元的空氣吹出。
6. 如權(quán)利要求4所述的曝光設(shè)備，其中在導(dǎo)管上設(shè)置有直線形部分， 所述直線形部分以到流出口具有至少預(yù)定長(zhǎng)度的直線形式形成，空氣從所 述流出口吹出。
7. 如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備，其中傳送機(jī)構(gòu)包括相對(duì)于配置表 面的氣流引導(dǎo)構(gòu)件，所述氣流引導(dǎo)構(gòu)件設(shè)置在沿掃描方向的方向吹動(dòng)的空 氣的流動(dòng)方向的上游側(cè)，并將沿掃描方向的方向吹動(dòng)的空氣引導(dǎo)到配置表 面上。
8. 如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備，其中傳送機(jī)構(gòu)在這樣的范圍內(nèi)運(yùn) 動(dòng)，即在基本不改變曝光單元與傳送機(jī)構(gòu)之間形成的空間的形狀的范圍 內(nèi)。
9. 如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備，還包括 設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)路徑之上的安裝構(gòu)件；禾口讀取單元，其安裝在安裝構(gòu)件上并讀取表示曝光位置基準(zhǔn)的基準(zhǔn)標(biāo) 記，用于相對(duì)于感光材料校正曝光位置，所述基準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)置在感光材料上，其中，安裝構(gòu)件包括這樣一種形狀，即當(dāng)傳送機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)時(shí)基本不改變 沿掃描方向的方向吹動(dòng)的空氣的流動(dòng)狀態(tài)的形狀。
10. 如權(quán)利要求9所述的曝光設(shè)備，其中安裝構(gòu)件包括阻擋構(gòu)件，所 述阻擋構(gòu)件流動(dòng)調(diào)節(jié)沿掃描方向的方向吹動(dòng)的空氣。
11. 如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備，還包括讀取單元，其在沿掃描方向的方向上與曝光單元并列設(shè)置并讀取表示 曝光位置基準(zhǔn)的基準(zhǔn)標(biāo)記，用于相對(duì)于感光材料校正曝光位置，所述基準(zhǔn) 標(biāo)記設(shè)置在感光材料上；和沿掃描方向呈平面狀的透明隔離構(gòu)件，其設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu)與曝光單元 和讀取單元之間。
12. 如權(quán)利要求2所述的曝光設(shè)備，其中驅(qū)動(dòng)傳送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)單元經(jīng) 絕熱構(gòu)件安裝在傳送機(jī)構(gòu)上。
13. 如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備，其中驅(qū)動(dòng)傳送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)單元暴 露和安裝在傳送機(jī)構(gòu)的表面上。
14. 如權(quán)利要求12所述的曝光設(shè)備，其中傳送機(jī)構(gòu)包括可移動(dòng)部分， 驅(qū)動(dòng)單元被控制裝置控制用于驅(qū)動(dòng)，并且驅(qū)動(dòng)單元包括步進(jìn)電機(jī)，該步進(jìn) 電機(jī)產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)部分的驅(qū)動(dòng)力，以及控制裝置在步進(jìn)電機(jī)待命時(shí)執(zhí)行電流衰減控制。
15. 如權(quán)利要求12所述的曝光設(shè)備，其中在驅(qū)動(dòng)單元的表面上設(shè)有 沿掃描方向延伸的散熱片。
16. 如權(quán)利要求12所述的曝光設(shè)備，還包括流動(dòng)變化控制結(jié)構(gòu)，所 述流動(dòng)變化控制結(jié)構(gòu)實(shí)行控制使得當(dāng)傳送機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)時(shí)沿掃描方向的方向 吹動(dòng)的空氣的、在驅(qū)動(dòng)單元周圍處的流動(dòng)的狀態(tài)基本不變化。
17. 如權(quán)利要求12所述的曝光設(shè)備，其中傳送機(jī)構(gòu)包括空氣冷卻單 元，所述空氣冷卻單元在驅(qū)動(dòng)單元上吹空氣用于空氣冷卻。
18. 如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備，其中傳送機(jī)構(gòu)設(shè)置有散熱片，所 述散熱片在傳送機(jī)構(gòu)的除了配置表面之外的外周面的至少一部分上沿掃 描方向延伸。
19. 如權(quán)利要求l所述的曝光設(shè)備，其中傳送機(jī)構(gòu)設(shè)置有防熱構(gòu)件， 所述防熱構(gòu)件位于傳送機(jī)構(gòu)的除了配置表面之外的外周面的至少一部分 上。
20. 如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備，其中空氣調(diào)節(jié)單元包括清潔單元， 所述清潔單元清潔吸入的外部空氣，并將清潔單元所清潔的空氣供應(yīng)到容 納室。
21. 如權(quán)利要求2所述的曝光設(shè)備，其中室溫測(cè)量?jī)x設(shè)置在傳送機(jī)構(gòu) 的附近。
22. 如權(quán)利要求2所述的曝光設(shè)備，其中空氣調(diào)節(jié)單元設(shè)置有外部空氣溫度測(cè)量?jī)x，所述外部空氣溫度測(cè)量?jī)x 在吸入外部空氣的吸入口處測(cè)量外部空氣的溫度，以及控制裝置根據(jù)外部空氣溫度測(cè)量?jī)x測(cè)量的溫度和室溫測(cè)量?jī)x測(cè)量的 溫度來(lái)控制空氣調(diào)節(jié)單元，用于改變空氣的調(diào)整溫度。
23. 如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備，還包括元件容納室，所述元件容 納室與容納室分離地設(shè)置，其中設(shè)備工作時(shí)產(chǎn)生熱量的發(fā)熱元件容納在元 件容納室中。
24. 如權(quán)利要求23所述的曝光設(shè)備，還包括蓋體，容納室設(shè)置在蓋 體內(nèi)部，設(shè)備主體容納在蓋體內(nèi)部，其中元件容納室沿蓋體的壁面形成。
25. —種曝光設(shè)備，包括曝光單元，其發(fā)射光束并掃描地曝光感光材料；傳送機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于曝光單元相對(duì)地運(yùn)動(dòng)，并沿掃描方向傳送感光材料；容納室，曝光單元和傳送機(jī)構(gòu)容納在該容納室中；室溫測(cè)量?jī)x，其設(shè)置在容納室的多個(gè)位置處并測(cè)量多個(gè)位置的溫度；控制裝置，其根據(jù)室溫測(cè)量?jī)x的測(cè)量結(jié)果來(lái)判斷多個(gè)位置中的每個(gè)位 置的溫度穩(wěn)定性的程度；和顯示單元，其顯示曝光性能等級(jí)，所述曝光性能等級(jí)根據(jù)控制裝置的 判斷結(jié)果得出。
26. 如權(quán)利要求25所述的曝光設(shè)備，還包括輸入單元，用于根據(jù)顯 示單元顯示的曝光性能等級(jí)來(lái)執(zhí)行曝光開(kāi)始指令。
27. 如權(quán)利要求25所述的曝光設(shè)備，其中曝光性能等級(jí)包括直到能夠曝光的持續(xù)時(shí)間。
28. 如權(quán)利要求26所述的曝光設(shè)備，其中輸入單元被構(gòu)造成能夠使用戶實(shí)施在與曝光開(kāi)始指令相關(guān)的多個(gè)不同模式的選擇，所述模式包括根 據(jù)曝光性能等級(jí)、在曝光開(kāi)始指令之后要求用戶再確認(rèn)的模式。
29. 如權(quán)利要求26所述的曝光設(shè)備，其中輸入單元被構(gòu)造成能夠使 用戶實(shí)施在與曝光開(kāi)始指令相關(guān)的多個(gè)不同模式的選擇，所述模式包括在 曝光開(kāi)始指令之后、根據(jù)曝光性能等級(jí)、在等到多個(gè)位置中的所有位置的 溫度穩(wěn)定后自動(dòng)地開(kāi)始曝光處理的模式。
30. —種曝光設(shè)備，包括曝光單元，其發(fā)射光束并掃描地曝光感光材料；傳送機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于曝光單元相對(duì)地運(yùn)動(dòng)，并沿掃描方向傳送感光材料；容納室，曝光單元和傳送機(jī)構(gòu)容納在該容納室中； 室溫測(cè)量?jī)x，其設(shè)置在容納室的多個(gè)位置處并測(cè)量多個(gè)位置的溫度； 控制裝置，其根據(jù)室溫測(cè)量?jī)x的測(cè)量結(jié)果來(lái)判斷多個(gè)位置中的每個(gè)位 置的溫度穩(wěn)定性的程度，將被判斷為穩(wěn)定的溫度與多個(gè)位置中的每個(gè)位置 的預(yù)先指定的穩(wěn)定溫度進(jìn)行比較，并判斷多個(gè)位置中的每個(gè)位置的穩(wěn)定性 的狀態(tài)；禾口改寫裝置，其用于根據(jù)控制裝置的判斷結(jié)果來(lái)改寫穩(wěn)定溫度。
31. 如權(quán)利要求30所述的曝光設(shè)備，還包括顯示單元，其顯示穩(wěn)定 溫度的改寫是必需的。
32. 如權(quán)利要求30所述的曝光設(shè)備，還包括改變裝置，其用于根據(jù)穩(wěn)定溫度的改寫來(lái)改變?cè)O(shè)備特定參數(shù)。
33. 如權(quán)利要求32所述的曝光設(shè)備，還包括顯示單元，其顯示參數(shù)的改變是必需的。
全文摘要
一種容納曝光設(shè)備(10)的設(shè)備主體(20)的蓋體(12)的容納室(13)(曝光室15)，來(lái)自空氣調(diào)節(jié)器的冷卻空氣對(duì)該容納室(13)進(jìn)行空氣調(diào)節(jié)。感光材料(40)設(shè)置在容納室(13)中的傳送臺(tái)(28)上并在掃描方向上傳送。從導(dǎo)管(82)的流出口(82B)吹進(jìn)曝光室(15)的冷卻空氣被氣流方向改變板(90)沿掃描方向吹動(dòng)。冷卻空氣使容納室(13)沿掃描方向的溫度分布變得均勻。實(shí)現(xiàn)了抑制沿掃描方向發(fā)生的溫度偏差和溫度變化。
文檔編號(hào)G03F7/20GK101167020SQ20068001452
公開(kāi)日2008年4月23日 申請(qǐng)日期2006年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月28日
發(fā)明者弘田浩之, 橋口昭浩, 福井隆史 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社