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電光波導(dǎo)光學(xué)相位調(diào)制器列陣及其制備方法

文檔序號(hào):2778930閱讀:250來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:電光波導(dǎo)光學(xué)相位調(diào)制器列陣及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及光學(xué)相位調(diào)制器,特別是一種采用電光效應(yīng)的波導(dǎo)型光學(xué)相位調(diào)制器列陣及其制備方法。該器件是光學(xué)相控陣的核心部件,屬于光學(xué)工程領(lǐng)域,主要應(yīng)用于需要使光束在空間高速掃描應(yīng)用的場(chǎng)合。
背景技術(shù)
在激光光電子的許多應(yīng)用中,需要光束在空間掃描。傳統(tǒng)的方法是采用一個(gè)轉(zhuǎn)鏡或振鏡。這種采用機(jī)械運(yùn)動(dòng)的方法所獲得的掃描速度和精度比較低。為了提高掃描速度,減小器件的體積和重量,適應(yīng)空間應(yīng)用的需要,人們正在對(duì)光學(xué)相控陣技術(shù)進(jìn)行深入的研究。光學(xué)相控陣是一種使光束波面的光相位產(chǎn)生周期性調(diào)制的光學(xué)器件。其基本原理如圖1所示。當(dāng)相位調(diào)制器列陣1的各個(gè)單元獲得一個(gè)在空間上線性分布的隨時(shí)間變化的相位時(shí),將使光束波面在空間發(fā)生偏轉(zhuǎn),產(chǎn)生光束掃描的效果。在這一技術(shù)中,沒有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件,因此可以獲得很高的掃描速度。光學(xué)相控陣技術(shù)的關(guān)鍵是一個(gè)相位調(diào)制器列陣。人們已經(jīng)利用不同的材料和技術(shù),演示了光學(xué)相控陣性能。
在先技術(shù)之一,(P.F.Mcmanamon,et.al.Proceedings of the IEEE,1996,Vol.84,No.2,pp268-298)采用液晶制作相位調(diào)制器列陣。它具有驅(qū)動(dòng)電壓低、列陣周期小(光束掃描角度大)等優(yōu)點(diǎn),但是調(diào)制速度低、熱穩(wěn)定性差、工作波長(zhǎng)范圍受限制。在先技術(shù)之二,(E.Shekel,et.al.,LEOS2002,paper WA2)采用AlGaAs半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)材料作波導(dǎo)型相位調(diào)制器列陣,該結(jié)構(gòu)具有調(diào)制速度高,列陣周期小等優(yōu)點(diǎn),但是光束耦合效率低,列陣尺寸規(guī)模小,光功率受限制,工作波長(zhǎng)范圍小。在先技術(shù)之三,(R.A.Meyer,APPLIED OPTICS,1972,Vol.11,No.3,pp613-616)采用電光晶體做相位調(diào)制器,它具有調(diào)制速度快等優(yōu)點(diǎn),但存在工作電壓高、材料成本高等缺點(diǎn)。針對(duì)晶體材料價(jià)格高,體積小的問題,人們已經(jīng)和正在開發(fā)具有電光效應(yīng)的透明陶瓷材料。其中摻鑭鋯鈦酸鉛(PLZT)是一種倍受重視的材料。在先技術(shù)之四,(J.A.Thomas et.al.OPTICSLETTERS,1995,Vol.20,No.13,pp1510-1512)利用PLZT材料的橫向電光效應(yīng)制作相位調(diào)制器列陣1,其結(jié)構(gòu)如圖2所示。由于利用橫向電光效應(yīng),在光路上具有相位調(diào)制作用的距離很短,因此要求工作電壓很高。同時(shí),由于采用了叉指電極的結(jié)構(gòu),列陣每一個(gè)單元的尺寸比較大,因此光束偏轉(zhuǎn)的角度比較小。在先技術(shù)之五,(Q.W.Song et.al.,APPLIEDOPTICS,1996,Vol.35,No.17,pp3155-3162)采用PLZT材料的縱向電光效應(yīng)制作相位調(diào)制器列陣1,其結(jié)構(gòu)如圖3所示。該結(jié)構(gòu)用透明電極施加電壓,在光路上的材料都具有電光效應(yīng)。但是,在該結(jié)構(gòu)中,電極的尺寸與光路的長(zhǎng)短也存在矛盾,即增大光路長(zhǎng)度時(shí),必須增大電極線度,否則列陣單元之間的串?dāng)_會(huì)產(chǎn)生不利影響。因此列陣單元的尺寸不能降下來(lái),以致光束偏轉(zhuǎn)的角度也比較小。同時(shí),在采用PLZT的在先技術(shù)四和五中,PLZT都是以體塊材料的形式使用,因此工作電壓都比較高。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述在先技術(shù)的問題,本發(fā)明提出一種波導(dǎo)型電光材料相位調(diào)制器列陣及其制備方法。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下一種電光波導(dǎo)光學(xué)相位調(diào)制器列陣,特征在于其構(gòu)成自下而上依次是襯底、下電極、電光薄膜波導(dǎo)和上電極,所述的電光薄膜波導(dǎo)包括下包層、電光波導(dǎo)層和上包層,所述的上包層和電光波導(dǎo)層被多條直線形隔離溝隔成多條條形列陣結(jié)構(gòu),所述的上電極呈多條條形電極結(jié)構(gòu),所述的下電極為接地電極;所述的上電極的條形電極通過電極引線分別與驅(qū)動(dòng)電壓源相連,該驅(qū)動(dòng)電壓源再與計(jì)算機(jī)相連。
所述的隔離溝的深度自上電極、上包層、達(dá)電光波導(dǎo)層底部,但是不隔斷下電極。
所述的電光波導(dǎo)光學(xué)相位調(diào)制器列陣的制備方法,其特征在于包括下列步驟(1)在襯底材料上生長(zhǎng)下電極材料,該襯底材料的基本要求是同電光波導(dǎo)材料具有良好的熱膨脹系數(shù)的匹配,所述的電極材料是以金、鉑為主的合金材料,或具有導(dǎo)電性的化合物材料;(2)在下電極材料上生長(zhǎng)下包層材料;(3)在下包層材料上制備電光波導(dǎo)材料,所述的下包層材料的折射率應(yīng)低于電光波導(dǎo)材料的折射率;(4)在電光波導(dǎo)材料上面生長(zhǎng)上包層材料,該上包層材料與下包層材料相同;(5)在上包層材料上生長(zhǎng)上電極材料,該上電極材料與下電極材料相同;(6)采用半導(dǎo)體器件平面工藝的光刻技術(shù)制備隔離溝,形成包括上電極在內(nèi)的多條條形列陣結(jié)構(gòu);(7)在垂直于條形電極的方向切割成片子,該片子自下而上依次是襯底、下電極、下包層、電光波導(dǎo)層、上包層和上電極,所述的上電極具有多條條形列陣結(jié)構(gòu),經(jīng)研磨并拋光切割端面,蒸鍍相應(yīng)波長(zhǎng)的增透膜;
(8)在上電極的各個(gè)條形電極上點(diǎn)焊電極引線,并完成列陣器件的封裝。
所述生長(zhǎng)的方法為真空蒸發(fā)方法、濺射方法、或溶膠—凝膠方法。
所述的電光波導(dǎo)材料是透明的電光陶瓷材料;采用溶膠—凝膠和燒結(jié)工藝制備,也可以用真空濺射和蒸發(fā)工藝制備。
所述的電光波導(dǎo)材料是電光晶體,采用芯片鍵合工藝與襯底和電極材料融合在一起,然后采用機(jī)械加工、拋光的工藝將晶體材料減薄到波導(dǎo)所需要的厚度。
本發(fā)明的相位調(diào)制器列陣的優(yōu)點(diǎn)是1、由于采用薄膜材料,減小了電極間距,在獲得相同電光效應(yīng)的要求下,工作電壓可以大大降低。
2、采用條形波導(dǎo)結(jié)構(gòu),光束行進(jìn)方向與電極平行,相比在先技術(shù),工作距離大為增加。因此在獲得相同相移的要求下,所需要的電光雙折射可以相應(yīng)地減小,從而也可大大降低工作電壓。
3、采用波導(dǎo)結(jié)構(gòu)和工藝,在光束側(cè)向排列的列陣單元之間的間距可以大大減小,因而可以增加列陣密度,帶來(lái)增大光束掃描的角度范圍的好處。
4、采用電光陶瓷和電光晶體材料的電光雙折射效應(yīng),與液晶和半導(dǎo)體材料相比,具有穩(wěn)定性好、調(diào)制速度快、工作波長(zhǎng)范圍大等優(yōu)點(diǎn)。


圖1是光學(xué)相控陣的基本原理;圖2是采用橫向電光效應(yīng)結(jié)構(gòu)的示意圖;圖3是采用縱向電光效應(yīng)結(jié)構(gòu)的示意圖;圖4是本發(fā)明的電光波導(dǎo)相位調(diào)制器列陣的基本結(jié)構(gòu)示意圖;圖5是圖4部分結(jié)構(gòu)放大示意圖;
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。
先請(qǐng)參閱圖4和圖5,圖4是本發(fā)明的電光波導(dǎo)相位調(diào)制器列陣的基本結(jié)構(gòu)示意圖,圖5是圖4部分結(jié)構(gòu)放大示意圖,由圖可見,本發(fā)明電光波導(dǎo)光學(xué)相位調(diào)制器列陣的構(gòu)成自下而上依次是襯底2、下電極3、電光薄膜波導(dǎo)1和上電極4,所述的電光薄膜波導(dǎo)1包括下包層11、電光波導(dǎo)層10和上包層12,所述的上包層12和電光波導(dǎo)層10被多條直線形隔離溝13隔成多條條形列陣結(jié)構(gòu),所述的上電極4呈多條條形電極結(jié)構(gòu),所述的下電極3為接地電極;所述的上電極4的條形電極通過電極引線41分別與驅(qū)動(dòng)電壓源5相連,該驅(qū)動(dòng)電壓源5再與計(jì)算機(jī)6相連。
所述的隔離溝13的深度自上電極4、上包層12、達(dá)電光波導(dǎo)層10底部,但是不隔斷下電極3。
所述的電光波導(dǎo)光學(xué)相位調(diào)制器列陣的制備方法,包括下列步驟(1)在襯底材料上生長(zhǎng)下電極材料,該襯底材料的基本要求是同電光波導(dǎo)材料具有良好的熱膨脹系數(shù)的匹配,所述的電極材料是以金、鉑為主的合金材料,或具有導(dǎo)電性的化合物材料;(2)在下電極材料上生長(zhǎng)下包層材料;(3)在下包層材料上制備電光波導(dǎo)材料,所述的下包層材料的折射率應(yīng)低于電光波導(dǎo)材料的折射率;(4)在電光波導(dǎo)材料上面生長(zhǎng)上包層材料,該上包層材料與下包層材料相同;(5)在上包層材料上生長(zhǎng)上電極材料,該上電極材料與下電極材料相同;(6)采用半導(dǎo)體器件平面工藝的光刻技術(shù)制備隔離溝,形成包括上電極在內(nèi)的多條條形列陣結(jié)構(gòu);
(7)在垂直于條形電極的方向切割成片子,該片子自下而上依次是襯底、下電極、下包層、電光波導(dǎo)層、上包層和上電極,所述的上電極具有多條條形列陣結(jié)構(gòu),經(jīng)研磨并拋光切割端面,蒸鍍相應(yīng)波長(zhǎng)的增透膜;(8)在上電極的各個(gè)條形電極上點(diǎn)焊電極引線,并完成列陣器件的封裝。
所述生長(zhǎng)的方法為真空蒸發(fā)方法、濺射方法、或溶膠—凝膠方法。
所述的電光波導(dǎo)材料是透明的電光陶瓷材料;采用溶膠—凝膠和燒結(jié)工藝制備,也可以用真空濺射和蒸發(fā)工藝制備。
所述的電光波導(dǎo)材料是電光晶體,采用芯片鍵合工藝與襯底和電極材料融合在一起,然后采用機(jī)械加工、拋光的工藝將晶體材料減薄到波導(dǎo)所需要的厚度。
所述的隔離溝13采用半導(dǎo)體器件平面工藝的光刻方法來(lái)制備,在上電極4上制備多條形列陣結(jié)構(gòu)。對(duì)于不同化學(xué)性質(zhì)的電光材料,要采用不同的光刻步驟和工藝。對(duì)于沒有腐蝕困難的材料可以采用常規(guī)光刻工藝實(shí)現(xiàn)。對(duì)于難以腐蝕的材料,可以采用圖形凸印(Imprinting)的工藝直接制備在尚未燒結(jié)的溶膠—凝膠材料上;也可以采用剝離技術(shù)(Lift-off)先制作光刻膠的圖形,再制備有關(guān)波導(dǎo)層的材料,然后用溶劑去除光刻膠,同時(shí)去除其上面的材料,留下需要的圖形;也可采用幾種不同工藝相結(jié)合的方法來(lái)制備。
本發(fā)明的電光波導(dǎo)相位調(diào)制器列陣的實(shí)施例1是采用摻鑭鋯鈦酸鉛(PLZT)材料制備。PLZT是一種集壓電、鐵電、電光、光致伸縮等特性于一體的鐵電透明陶瓷材料。它在可見和近紅外波段范圍內(nèi)都有很好的透明度。通過組分設(shè)計(jì)可以獲得線性電光系數(shù)優(yōu)于LiNbO3單晶十幾倍,或者具有很強(qiáng)的二次電光特性的PLZT透明材料。目前國(guó)內(nèi)外已經(jīng)獲得PLZT材料的二次電光系數(shù)可達(dá)10-16~10-15m2/V2量級(jí)。利用其電控雙折射效應(yīng),可以實(shí)現(xiàn)對(duì)入射光的相位、強(qiáng)度、偏振的控制。PLZT可以采用化學(xué)合成和高溫?zé)Y(jié)方法制備,獲得體塊材料,再作進(jìn)一步的加工。PLZT薄膜材料可以采用溶劑—凝膠技術(shù)制備,也可以采用真空濺射方法制備。
權(quán)利要求
1.一種電光波導(dǎo)光學(xué)相位調(diào)制器列陣,特征在于其構(gòu)成自下而上依次是襯底(2)、下電極(3)、電光薄膜波導(dǎo)(1)和上電極(4),所述的電光薄膜波導(dǎo)(1)包括下包層(11)、電光波導(dǎo)層(10)和上包層(12),所述的上包層(12)和電光波導(dǎo)層(10)被多條直線形隔離溝(13)隔成多條條形列陣結(jié)構(gòu),所述的上電極(4)呈多條條形電極,所述的下電極(3)為接地電極;所述的上電極(4)的條形電極通過電極引線(41)分別與驅(qū)動(dòng)電壓源(5)相連,該驅(qū)動(dòng)電壓源(5)再與計(jì)算機(jī)(6)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電光波導(dǎo)光學(xué)相位調(diào)制器列陣,其特征在于所述的隔離溝(13)的深度自上電極(4)、上包層(12)、達(dá)電光波導(dǎo)層(10)底部,但是不隔斷下電極(3)。
3.權(quán)利要求1所述的電光波導(dǎo)光學(xué)相位調(diào)制器列陣的制備方法,其特征在于包括下列步驟(1)在襯底材料上生長(zhǎng)下電極材料,該襯底材料的基本要求是同電光波導(dǎo)材料具有良好的熱膨脹系數(shù)的匹配,所述的電極材料是以金、鉑為主的合金材料,或具有導(dǎo)電性的化合物材料;(2)在下電極材料上生長(zhǎng)下包層材料;(3)在下包層材料上制備電光波導(dǎo)材料,所述的下包層材料的折射率應(yīng)低于電光波導(dǎo)材料的折射率;(4)在電光波導(dǎo)材料上面生長(zhǎng)上包層材料,該上包層材料與下包層材料相同;(5)在上包層材料上生長(zhǎng)上電極材料,該上電極材料與下電極材料相同;(6)采用半導(dǎo)體器件平面工藝的光刻技術(shù)制備隔離溝,形成包括上電極在內(nèi)的多條條形列陣結(jié)構(gòu);(7)在垂直于條形電極的方向切割成片子,該片子自下而上依次是襯底、下電極、下包層、電光波導(dǎo)層、上包層和上電極,所述的上電極具有多條條形列陣結(jié)構(gòu),經(jīng)研磨并拋光切割端面,蒸鍍相應(yīng)波長(zhǎng)的增透膜;(8)在上電極的各個(gè)條形電極上點(diǎn)焊電極引線,并完成列陣器件的封裝。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電光波導(dǎo)光學(xué)相位調(diào)制器列陣的制備方法,其特征在于所述生長(zhǎng)的方法為真空蒸發(fā)方法、濺射方法、或溶膠—凝膠方法。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電光波導(dǎo)光學(xué)相位調(diào)制器列陣的制備方法,其特征在于所述的電光波導(dǎo)材料是透明的電光陶瓷材料;采用溶膠—凝膠和燒結(jié)工藝制備,也可以用真空濺射和蒸發(fā)工藝制備。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電光波導(dǎo)光學(xué)相位調(diào)制器列陣的制備方法,其特征在于所述的電光波導(dǎo)材料是電光晶體,采用芯片鍵合工藝與襯底和電極材料融合在一起,然后采用機(jī)械加工、拋光的工藝將晶體材料減薄到波導(dǎo)所需要的厚度。
全文摘要
一種波導(dǎo)型電光材料相位調(diào)制器列陣及其制備方法,該電光波導(dǎo)光學(xué)相位調(diào)制器列陣的構(gòu)成自下而上依次是襯底、下電極、電光薄膜波導(dǎo)和上電極,所述的電光薄膜波導(dǎo)包括下包層、電光波導(dǎo)層和上包層,所述的上包層和電光波導(dǎo)層被多條直線形隔離溝隔成多條條形列陣結(jié)構(gòu),所述的上電極呈多條條形電極結(jié)構(gòu),所述的下電極為接地電極;所述的上電極的條形電極通過電極引線分別與驅(qū)動(dòng)電壓源相連,該驅(qū)動(dòng)電壓源再與計(jì)算機(jī)相連。其制備方法包括上述各層材料的生長(zhǎng)、光刻制備隔離溝、切割、端面研磨拋光、鍍?cè)鐾改?、點(diǎn)焊電極引線等步驟。
文檔編號(hào)G02F1/035GK1721919SQ20051002579
公開日2006年1月18日 申請(qǐng)日期2005年5月13日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月13日
發(fā)明者董作人, 方祖捷, 瞿榮輝, 劉峰, 葉青, 秦世博 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
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