專(zhuān)利名稱(chēng)：深紫外、可見(jiàn)、近紅外偏振器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種偏振器，尤其涉及一種深紫外、可見(jiàn)、近紅外偏振器。
背景技術(shù)：
通用的冰洲石(Calcite)偏振器的適用最低波長(zhǎng)只能達(dá)到350nm，而目前普通的α-BBO偏振器雖然能達(dá)到200nm，但無(wú)法覆蓋寬的波長(zhǎng)范圍，只能分段為200-270nm，300-700nm，＞700nm。由于半導(dǎo)體行業(yè)，對(duì)涂層厚度檢測(cè)的精度要求越來(lái)越高，這就要求測(cè)試這種微厚度的橢偏儀能覆蓋從深紫外到近紅外的檢測(cè)能力，而要實(shí)現(xiàn)這個(gè)功能，主要的限制就是橢偏儀的關(guān)鍵部件——偏振器。
現(xiàn)有的Glan Thompson(格蘭湯姆森)偏振器通常只用冰洲石做材料，由于材料本身的原因，他不能用于深紫外。α-BBO雖然可以在深紫外有很好的通過(guò)，但想做成Glan Thompson必須克服三個(gè)問(wèn)題①角度設(shè)計(jì)要合理且恰到好處，②要有一種膠可以在紫外有很高的透射率，③膠的折射率要能與a-BBO材料的折射率有很好的匹配。但是至今都沒(méi)有人能解決這三個(gè)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種能覆蓋190-950nm波長(zhǎng)光的深紫外、可見(jiàn)、近紅外偏振器。
本發(fā)明的技術(shù)方案如下本發(fā)明的偏振器包括晶體材料和膠，其特征在于所述的晶體材料為α-BBO晶體材料；所述的膠在紫外有很高的透射率、且膠的折射率能與α-BBO晶體材料的折射率有很好的匹配；將α-BBO晶體材料做成兩個(gè)形狀構(gòu)造完全相同的、切角為59.6±2度的雙折射材料，在兩個(gè)α-BBO晶體材料的斜面間設(shè)有膠。
本發(fā)明的偏振器可以覆蓋波長(zhǎng)為190-950nm的深紫外、可見(jiàn)和近紅外光，這是目前其他偏振器不能做到的。且本發(fā)明還具有很高的紫外透過(guò)率，可達(dá)大于＞50％；高的消光比，達(dá)5×10^-6；大的接收角，接收角＞15度。本發(fā)明充份利用α-BBO高紫外透過(guò)率的優(yōu)點(diǎn)，當(dāng)設(shè)計(jì)兩α-BBO晶體切角為59.6±2度時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)在190nm-950nm范圍使o光(正常光，大折射率)在膠合介面的入射角大于全反角而產(chǎn)生反射，同時(shí)使有e光(非常光，小折射率)在膠合介面的入射角小于全反角而能透過(guò)膠層，這樣從出射面出來(lái)的光即為偏振光。


圖1是本發(fā)明的α-BBO晶體材料形狀為梯形的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本發(fā)明的α-BBO晶體材料形狀為三角形的結(jié)構(gòu)示意圖。
標(biāo)號(hào)說(shuō)明1晶體材料、2膠、α切角。
具體實(shí)施例方式如圖1、2所示本發(fā)明的偏振器包括晶體材料1和膠2，其特征在于所述的晶體材料1為α-BBO晶體材料；所述的膠2的折射率為1.39-1.43，且膠2的折射率能與α-BBO晶體材料的折射率有很好的匹配；將α-BBO晶體材料1做成兩個(gè)尺寸相同，光軸方向相同的帶直角的梯形或三角形結(jié)構(gòu)，梯形或三角形的斜邊與底邊的夾角為α-BBO晶體材料的切角α，切角α為59.6±2度。
加工過(guò)程組成偏振器的兩塊晶體是完全相同的(尺寸相同，光軸方向相同)三角形。在加工過(guò)程中，我們先從α-BBO毛坯中選出質(zhì)量最好的部按照設(shè)計(jì)的光軸方向，尺寸切出一塊方塊，然后再沿對(duì)角切成兩個(gè)三角形。把兩塊拼在一起，一起加工拋光斜面和短邊直角面，以保證兩塊有完全相的角度；拋光好后進(jìn)行涂膠，將兩塊晶體沿斜面膠合在一起，膠合時(shí)要注意保證兩端面的平行度。膠合后對(duì)兩端面進(jìn)行再次拋光，最后鍍膜。
本產(chǎn)品的主要用途主要用于橢偏儀，光譜分析儀，作為其中激光起偏的部件。
權(quán)利要求
1.一種深紫外、可見(jiàn)、近紅外偏振器，它包括晶體材料(1)和膠(2)，其特征在于所述的晶體材料(1)為α-BBO晶體材料；所述的膠(2)在紫外有很高的透射率、且膠(2)的折射率能與α-BBO晶體材料(1)的折射率有很好的匹配；將α-BBO晶體材料(1)做成兩個(gè)形狀構(gòu)造完全相同的、切角α為59.6±2度的雙折射材料，在兩個(gè)α-BBO晶體材料(1)的斜面間設(shè)有膠(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的深紫外、可見(jiàn)、近紅外偏振器，其特征在于所述的膠(2)的折射率為1.39-1.43。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的深紫外、可見(jiàn)、近紅外偏振器，其特征在于將α-BBO晶體材料(1)做成兩個(gè)尺寸相同，光軸方向相同的帶直角的梯形或三角形結(jié)構(gòu)，梯形或三角形的斜邊與一直角邊的夾角為α-BBO晶體材料(1)的切角α。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種深紫外、可見(jiàn)、近紅外偏振器，它包括晶體材料和膠，所述的晶體材料為α－BBO晶體材料；所述的膠在紫外有很高的透射率、且膠的折射率能與α－BBO晶體材料的折射率有很好的匹配；將α－BBO晶體材料做成兩個(gè)形狀構(gòu)造完全相同的、切角為59.6±2度的雙折射材料，在兩個(gè)α－BBO晶體材料的斜面間設(shè)有膠。本發(fā)明的偏振器可以覆蓋波長(zhǎng)為190－950nm的深紫外、可見(jiàn)和近紅外光，這是目前其他偏振器不能做到的。且本發(fā)明還具有很高的紫外透過(guò)率，可達(dá)大于＞50％；高的消光比，達(dá)5×10
文檔編號(hào)G02B5/30GK1713006SQ20051001875
公開(kāi)日2005年12月28日 申請(qǐng)日期2005年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月20日
發(fā)明者黃木旺, 吳秀榕 申請(qǐng)人:福州福特科光電有限公司