專利名稱：制造液晶顯示設(shè)備的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及制造液晶顯示設(shè)備的方法，并且更為確切地說，涉及使用常壓分配對齊方法來制造液晶顯示設(shè)備的方法。
背景技術(shù)：
作為音視頻機器和辦公自動機器的顯示設(shè)備，液晶顯示設(shè)備(LCD)因其具有厚度薄、重量輕和低功耗等優(yōu)點而得到廣泛使用。對于這種液晶顯示設(shè)備(以下簡稱為“LCD”)，液晶被填入一對相對放置的襯底之間的隙縫中。由位于每一個襯底上的電極產(chǎn)生的電場控制著液晶分子的對齊方向，并且從而調(diào)制照射到LCD上的光束。這樣，LCD就顯示出圖像。
至于用于向LCD中填充液晶的方法，通常知道有下述幾種方法。
首先，根據(jù)填充液晶的第一現(xiàn)有方法，使用密封材料將相對放置的襯底對齊，只留有一個區(qū)域用作填充液晶的端口(下文中將該端口稱為“填充端口”)。接著，將對齊的襯底放入真空容器中，以便使對齊的襯底處于低壓條件下。因此，當填充端口內(nèi)保持為浸沒于液晶中時，真空容器中的壓強返回到大氣壓強。這就是稱作利用壓強差的方法。
根據(jù)填充液晶的第二現(xiàn)有方法，使用密封材料將相對放置的襯底對齊，只留有那些用作填充端口和用于排出空氣的端口(下文中將后一端口稱為“排氣端口”)的區(qū)域。此后，將填充端口浸沒于液晶中，并且通過排氣端口排出空氣，從而將液晶吸入到其中。
根據(jù)填充液晶的第三現(xiàn)有方法，在壓強已經(jīng)通過真空容器等得到減小的環(huán)境中，在兩個襯底之一上涂敷上密封材料，并且分配了液晶，并且之后將兩個襯底中的另一個在其上對齊。接著，其中放有襯底的壓強返回到大氣壓強，使得密封材料固化(下文中將該方法稱為“真空分配對齊方法”。例如，參見日本專利未決公開正式公報2002-318378)。
根據(jù)填充液晶的第四現(xiàn)有方法，在大氣壓中，在兩個襯底之一上涂敷上密封材料，并且分配了液晶，并且之后將兩個襯底中的另一個在其上對齊。接著，當壓強在增加時，密封材料被固化(下文中將該方法稱為“常壓分配對齊方法”)。
通過利用壓強差或排氣來填充液晶的方法，需要在填充液晶之后使用樹脂等密封填充端口。因此，這會引起一個問題，就是通過填充端口會將氣泡混合到液晶中，并且液晶會被密封材料所污染。
比較填充液晶的方法，真空分配對齊方法能夠大大減少填充液晶的時間，并且能夠減少制造中所需的價值昂貴的液晶量。不過，在低壓條件下用于執(zhí)行分配液晶的處理和對齊襯底的處理需要較大的設(shè)備。另外，由于下面等等原因，真空分配對齊方法會引起LCD可靠性惡化的問題。所分配的液晶擴散地非常迅速，使得液晶在密封材料變干之前與密封材料相接觸。因此，密封材料的組成物質(zhì)溶解到液晶中。形成對照的是，常壓分配對齊不需要將一對襯底保持在低壓條件下，從而能夠簡化制造設(shè)備。另外，液晶的擴散能夠容易得到控制，并且能夠進行視覺的檢查。因此，常壓分配方法具有較好的可使用性特征。
這里，參考圖1和圖2A至2G來講述現(xiàn)有的常壓分配對齊方法。
圖1為流程圖，示出了使用現(xiàn)有的常壓分配對齊方法來制造LCD的方法的部分。圖2A～2G示出了截面處理流程，其中示意性地給出了襯底結(jié)構(gòu)。
首先，制備TFT襯底2和相對襯底3。在TFT襯底2上，形成了諸如薄膜晶體管(TFT)等開關(guān)元件。在相對襯底3上，形成了彩色濾光器和黑色矩陣等。在TFT襯底和相對襯底上分別形成對齊層4之前，對TFT襯底和相對襯底進行使用清潔劑、有機溶劑和純凈水等的濕洗，以及使用紫外輻射(101a和101b)的。在進行這些清洗之后，通過使用熱盤和IR加熱機器等使將襯底干燥(102a和102b)。
接著，通過使用印刷機器在各個襯底的表面上涂敷上作為對齊層4的材料的聚酰亞胺溶液(103a和103b)。之后，通過使用熱盤或IR加熱機器等，將襯底臨時烘烤到大約80℃的溫度。然后，執(zhí)行徹底的烘烤以通過加熱使涂敷有聚酰亞胺溶液的層脫水收縮(104a和104b)，使得形成的對齊層4具有均勻的厚度(如圖2A所示)。
接著，為了控制液晶的對齊方向，通過使用沿著旋轉(zhuǎn)的金屬滾子卷起來的擦拭布，在一個方向上來擦拭各個烘烤后對齊層4的表面的方式，對各個烘烤后對齊層4的表面分別進行擦拭處理(105a和105b)。在這種情況下，如圖2B所示，諸如擦拭布廢線和對齊層4的碎屑等殘留物5粘到各個襯底的表面上。
然后，為了從各個襯底的表面上去除殘留物5，通過超聲波清洗方法或噴霧方法等來清洗這些襯底，這些方法使用的是熱的超純凈水和酒精等(106a和106b)。對于這些清洗步驟，對這些清洗方法施加限制，以便能夠避免損害對齊層的對齊方向。由于這個原因，有些情況下，無法去除的殘留物5仍然保留在各個襯底的表面上(如圖2C所示)。接著，將襯底放入干燥爐中，以便通過熱空氣循環(huán)或IR加熱機器等使襯底干燥(107a和107b)。
之后，通過使用屏幕印刷方法和分配器描畫方法等，將由紫外固化樹脂和熱固化樹脂等制成的密封材料6涂敷在兩個相對的襯底之一上(在這種情況下為TFT襯底2)。另外，將Ag涂敷在襯底上(109)。通過使用濕噴方法或干噴方法，將諸如聚合體珠和石英珠等間隔物7噴到另一個襯底上(在這種情況下為相對襯底3)，并且使間隔物7粘到襯底上(110)(如圖2D所示)。在這種情況下，根據(jù)噴射間隔物7的條件，間隔物7沒有得到充分的分布，并且在有些情況下，凝結(jié)起來使得間隔物7a的凝結(jié)物可以保留在襯底上。
接著，通過使用用于分配液晶等的分配器在常壓下將液晶8足量地分配在兩個襯底之一(在這種情況下為TFT襯底)上的由密封材料6所包圍的顯示區(qū)域中(如圖2E所示)。之后，放置和與其對齊另一個襯底(在這種情況下為相對襯底)(如圖2F所示)。然后，從各個襯底外部將襯底對相互擠壓在一起，使得密封材料6被壓扁，從而在兩個襯底之間形成期望的隙縫。因此，通過將紫外線光束等從襯底(在這種情況下為TFT襯底)后部照射到密封材料6上，來臨時固化密封材料6。之后，在大約120℃的溫度下對密封材料6加熱，并且從而將其徹底固化(114)(如圖2G所示)。接著，沿在密封材料6(115)的外部的預定部分來切割襯底對。通過上述處理過程形成LCD1。
不過，使用常壓分配對齊方法來制造LCD的上述方法發(fā)生如下所述問題。
第一個問題是液晶板可靠性的惡化，這是由如下機制所造成的。根據(jù)常壓分配對齊方法，每一個處理是在大氣環(huán)境中執(zhí)行的。由于這個原因，例如除了諸如酞酸脂(phthalate ester)和環(huán)硅氧烷(cyclicsiloxane)等有機物質(zhì)之外，還有諸如Na+、K+和Cl-等無機離子殘留物粘附到各個襯底的表面上。例如，如果將無機離子混合到液晶8中，則會引起泄漏等。因此造成可以看見的缺陷，例如除了在LCD的外圍中可見斑點以外，還有應(yīng)用到各個共用電極上的電壓減小。
第二個問題是產(chǎn)量的減小，這是由如下機制所造成的。現(xiàn)有的常壓分配對齊方法不具有在分配液晶之前對各個襯底表面立即進行清洗這一步驟。因此，在有些情況下還保留有殘留物5，諸如無法除去的擦拭布廢線和對齊層的碎屑等，以及諸如在噴射間隔物的步驟中粘附到各個襯底表面上的間隔物7a的聚合物等異物。在其中混合有殘留物5和間隔物7a的聚合物的每一部分中，液晶8的厚度減少了，從而造成諸如可以看見的亮點缺陷(被稱為亮缺陷)等可見缺陷。
第三個問題是另一個產(chǎn)量減小，這是由如下機制所造成的。在完全固化密封材料6的加熱步驟中，在各個襯底(例如，對齊層4)表面上形成的有機物質(zhì)可以被激活，從而造成遷移。因此，例如，對齊層4的對齊方向被打亂順序，這樣就造成諸如可見的亮缺陷(被稱為對齊亮度)等可見缺陷。
本發(fā)明考慮到了上述問題。本發(fā)明的第一個目標是提供制造LCD的方法，其中通過安全地去除無機離子、包括有機物質(zhì)在內(nèi)的灰塵、殘留物和諸如粘附到相對放置的襯底上的間隔物的凝結(jié)物等污染粒子，可以減少可見缺陷，從而提高LCD的可靠性和產(chǎn)量。
另外，本發(fā)明的第二個目標是提供制造LCD的方法，其中通過防止在襯底上形成的有機物質(zhì)的激活，可以減少可見缺陷，從而提高LCD的產(chǎn)量。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明制造LCD的基本方法包括下述步驟。該方法首先包括污染物去除步驟，即通過使用除了在對其中各個對齊層已經(jīng)執(zhí)行擦拭處理的一對襯底進行清洗之外的其他清洗手段，來去除各個對齊層表面上的污染物。另外，該方法包括液晶分配步驟，即將液晶分配在已經(jīng)執(zhí)行污染物去除步驟的該對襯底中至少一個襯底的對齊層上。進而，該方法包括在液晶分配步驟之后將該對襯底相對放置這一步驟和密封液晶這一步驟。
另外，本發(fā)明具有下述特點。本發(fā)明的第一個特點如下。在上述制造LCD的方法中，上述污染物至少為一組無機離子和一組有機物質(zhì)之一，并且上述污染物去除步驟是指在低壓環(huán)境中執(zhí)行對該對襯底進行加熱的真空干燥步驟。
本發(fā)明的第二個特點如下。在上述制造LCD的基本方法中，污染物是指在清洗步驟中不能被去除并且仍然得到保留的污染物粒子。污染物去除步驟是指通過使用在具有預定形狀的噴嘴邊沿附近的產(chǎn)生的氣流來執(zhí)行從該對襯底吸取污染物的吸取處理。
本發(fā)明的第三個特點如下。在上述制造LCD的基本方法中，污染物是指在清洗步驟中不能被去除并且仍然得到保留的污染物粒子。污染物去除步驟是指通過對該對襯底施加超聲波來形成一股氣流并且從而去除污染物的吹風處理。
本發(fā)明的第四個特點如下。上述制造LCD的基本方法進一步包括在執(zhí)行液晶分配步驟之前將粒子間隔物噴射到該對襯底之一上的間隔物噴射步驟。污染物是指在間隔物噴射步驟中粘附到襯底的間隔物的凝結(jié)物，并且污染物去除步驟是指通過使用在具有預定形狀的噴嘴邊沿附近產(chǎn)生的氣流來執(zhí)行從該對襯底吸取間隔物的凝結(jié)物的吸取處理。
本發(fā)明的第五個特點如下。上述制造LCD的基本方法進一步包括在執(zhí)行液晶分配步驟之前將粒子間隔物噴射到該對襯底的至少一個上的間隔物噴射步驟。污染物是指在間隔物噴射步驟中粘附到襯底的間隔物的凝結(jié)物。污染物去除步驟是指通過對該對襯底施加超聲波來形成一股氣流并且從而去除污染物的吹風處理。
本發(fā)明的第六個特點如下。上述制造LCD的基本方法進一步包括在執(zhí)行液晶分配步驟之前將粒子間隔物噴射到該對襯底的至少一個上的間隔物噴射步驟。污染物去除步驟包括在執(zhí)行間隔物噴射步驟之前要執(zhí)行的第一去除子步驟，以及在執(zhí)行間隔物噴射步驟之后要執(zhí)行的第二去除子步驟。第一去除子步驟是指在低壓環(huán)境中執(zhí)行加熱襯底的真空干燥處理。第二去除子步驟是指執(zhí)行通過吸取污染物來去除污染物的吸取處理和通過使用施加了超聲波的氣流來對襯底吹風從而去除污染物的吹風處理中的一個。
本發(fā)明的第七個特點如下。上述制造LCD的基本方法進一步包括在執(zhí)行液晶分配步驟之前在該對襯底的至少一個上形成用于密封的密封材料的密封材料形成步驟。污染物去除步驟包括在執(zhí)行密封材料形成步驟之前要執(zhí)行的第一去除子步驟，以及在執(zhí)行密封材料形成步驟之后要執(zhí)行的第二去除子步驟。第一去除子步驟是指在低壓環(huán)境中執(zhí)行加熱襯底的真空干燥處理。第二去除子步驟是指執(zhí)行通過吸取污染物來去除污染物的吸取處理和通過使用施加了超聲波的氣流來對襯底吹風從而去除污染物的吹風處理中的一個。
本發(fā)明的第八個特點如下。上述制造LCD的基本方法進一步包括在執(zhí)行液晶分配步驟之前在該對襯底的至少一個上形成用于密封的密封材料的密封材料形成步驟。密封材料固化步驟包括在該對襯底之間形成期望的隙縫之后要執(zhí)行的完全固化子步驟，并且該完全固化子步驟是在等于密封材料被固化的最低溫度的溫度下執(zhí)行的。
優(yōu)選情況下，完全固化處理是在大約80℃的溫度下執(zhí)行的。另外，優(yōu)選情況下，密封材料固化處理包括在該對襯底被對齊之后立即要執(zhí)行的臨時固化步驟。
根據(jù)制造本發(fā)明的LCD的方法，下述處理被添加到制造LCD的方法中，通過該處理，液晶在常壓下被分配到一對襯底之一上，并且通過該處理使用密封材料將兩個襯底對齊。所增加的處理是真空干燥處理。它是指在該對襯底上分別形成的對齊層上執(zhí)行的擦拭處理之后的清洗步驟之后，在低壓環(huán)境下加熱該對襯底。
另外，根據(jù)制造本發(fā)明的LCD的方法，下述處理被添加到制造LCD的方法中，通過該處理，液晶在常壓下被分配到該對襯底之一上，并且通過該處理使用密封材料將兩個襯底對齊。所增加的處理是指在常壓下將液晶分配到該對襯底之一上之前要執(zhí)行的吸取處理和吹風處理中的任何一個。吸取處理是指通過使用在具有預定形狀的噴嘴邊沿附近產(chǎn)生的氣流來吸取污染物粒子。吹風處理是指通過使用施加了超聲波的氣流來對該對襯底吹風從而去除污染物粒子。
進而，根據(jù)制造本發(fā)明的LCD的方法，下述修正處理被添加到制造LCD的方法中，在該處理中液晶在常壓下被分配到該對襯底之一上，并且通過使用密封材料將兩個襯底對齊。所增加的修正處理是指固化密封材料的處理。固化密封材料的處理是由在該對襯底對齊之后立即要執(zhí)行的臨時固化子處理和在該對襯底之間形成預期隙縫之后要執(zhí)行的完全固化子處理組成。完全固化子處理是在等于密封材料被固化的最低溫度的溫度下執(zhí)行的。優(yōu)選情況下，完全固化子處理是在大約80℃的溫度下執(zhí)行的。
而且，根據(jù)本發(fā)明制造LCD的方法可以由從真空干燥處理、吸取處理和吹風處理之一以及完全固化處理中挑選的兩個或多個處理構(gòu)成。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，通過添加到使用常壓分配對齊方法來制造LCD的方法的下述處理，可以安全地去除粘附到襯底上的污染物粒子。在對齊層形成之后的清洗步驟和干燥步驟之后，并且在使用密封材料的描畫步驟之前，或者在間隔物噴射步驟之前，在預定低壓環(huán)境下執(zhí)行加熱襯底的真空干燥處理。另外，使用密封材料的描畫步驟之后或在間隔物噴射步驟之后，并且在分配液晶之前，執(zhí)行使用具有特定形狀的噴嘴的吸取步驟和使用施加了超聲波的氣流來對該對襯底吹風的超聲波氣流吹風步驟中的任何一個步驟。這樣可以檢查LCD可靠性的惡化，諸如共用電極的電勢波動，以及在LCD周圍中的斑點，因此能夠減少諸如亮缺陷等可見缺陷，從而提高了產(chǎn)量。進而，本發(fā)明降低了密封材料固化的溫度，從而抑制了在襯底上形成的有機物質(zhì)的激活(遷移)。因此，諸如對齊亮缺陷等可見缺陷得到減少，從而能夠提高產(chǎn)量。


圖1為流程圖，示出了根據(jù)現(xiàn)有的常壓分配對齊方法來制造LCD的步驟的部分；圖2A～2G示出了截面處理流程，其中示出了通過使用現(xiàn)有常壓分配對齊方法來進行處理的各個襯底的結(jié)構(gòu)；圖3為流程圖，示出了通過使用根據(jù)本發(fā)明第一實施例的常壓分配對齊方法來制造LCD的步驟的部分；圖4A～4H為截面處理流程，示出了通過使用根據(jù)本發(fā)明第一實施例的常壓分配對齊方法來進行處理的各個襯底的結(jié)構(gòu)；圖5A～5H為另一個截面處理流程，示出了通過使用根據(jù)本發(fā)明第一實施例的常壓分配對齊方法來進行處理的各個襯底的結(jié)構(gòu)；圖6為描述用于根據(jù)本發(fā)明第一實施例的吸取步驟的真空清潔器所起到的作用的圖；圖7為流程圖，示出了通過使用根據(jù)本發(fā)明第二實施例的常壓分配對齊方法來制造LCD的步驟的部分；圖8為證實根據(jù)本發(fā)明第一實施例的制造方法所起的作用的表；圖9為證實根據(jù)本發(fā)明第一實施例的制造方法所起的作用的另一個表；圖10為證實根據(jù)本發(fā)明第二實施例的制造方法所起到的作用的表；圖11為證實根據(jù)本發(fā)明第二實施例的制造方法所起到的作用的另一個表。
具體實施例方式
下面參考解釋性實施例來講述本發(fā)明。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員都知道，許多可選實施例可以通過本發(fā)明的啟發(fā)來實現(xiàn)，并且本發(fā)明并不限于用于解釋目的的解釋性實施例。
通過回顧現(xiàn)有技術(shù)所述，在常壓下分配液晶的常壓分配對齊方法的優(yōu)勢是能夠簡化制造設(shè)施，并且其另一個優(yōu)勢是能夠容易控制液晶的擴散。相比之下，由于這些處理是在大氣環(huán)境中執(zhí)行的，因此在潔凈房間的空氣中所包含的無機離子和包括有機物質(zhì)在內(nèi)的灰塵容易粘附到襯底上。進而，在有些情況下，當執(zhí)行擦拭處理時粘附到襯底上的殘留物和當噴射間隔物時粘附到襯底上的間隔物的凝結(jié)物將保留在襯底上。這會引起一個問題，即造成可見缺陷，從而惡化LCD的可靠性，并且減少其產(chǎn)量。另外，即使能夠去除這種污染物粒子，通過執(zhí)行用于完全固化密封材料的加熱處理可能會改變諸如對齊層等有機物質(zhì)的狀態(tài)。因此，仍然會造成可見缺陷。
制造LCD的方法包括許多特定步驟，諸如執(zhí)行擦拭處理的步驟，以及執(zhí)行間隔物噴射處理的步驟。有諸如在分別執(zhí)行清洗處理和干燥處理時避免損壞對齊層對齊方向的必要性等多種限制。由于這個原因，有必要掌握在什么步驟下應(yīng)該使用什么清洗方法和什么干燥步驟，以便有效和安全地去除污染物粒子。另外，即使能夠完全去除污染物粒子，由于加熱處理也可能改變諸如對齊層等有機物質(zhì)的狀態(tài)，從而造成可見缺陷。因此，當為加熱處理設(shè)置溫度時，需要注意溫度對其他組成元件的影響。
本發(fā)明人已經(jīng)進行實驗并將上述觀點考慮進去。實驗結(jié)果發(fā)現(xiàn)上述問題能夠通過在擦拭對齊層的處理之后的清洗步驟和干燥步驟之后并且在使用密封材料的描畫步驟之前或在間隔物噴射步驟之前，在低壓環(huán)境下執(zhí)行加熱襯底的真空干燥處理得到解決。另外，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)上述問題可以通過在使用密封材料的描畫步驟之后或在間隔物噴射步驟之后，并且在分配液晶之前，執(zhí)行下述兩個處理得到解決。這兩個處理是指通過使用具有特定形狀的噴嘴來吸取位于各個襯底表面上的污染物粒子的吸取步驟，以及使用施加了超聲波的氣流來對襯底吹風的超聲波吹風步驟。進而，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)上述問題可以通過在溫度為大約80℃的低溫下對密封材料執(zhí)行完全固化處理來解決。下面將參考附圖來對根據(jù)本發(fā)明制造LCD的方法進行詳細講述。
(第一實施例)下面參考圖3和圖4A～4H來對根據(jù)本發(fā)明第一實施例制造LCD的方法進行講述。一般地，LCD包括TFT襯底，其上形成有諸如TFT等開關(guān)器件；以及相對襯底，其上形成有彩色濾光器和黑色矩陣等。對于LCD，在相對放置的各個襯底的表面上形成已經(jīng)執(zhí)行了對齊處理的對齊層。之后，諸如具有預定形狀的聚合體珠和石英(silica)珠等具有絕緣屬性的間隔物分布在兩個襯底的間隔中，從而形成預定隙縫。因此，通過使用由在兩個襯底中的至少一個上形成的電極所產(chǎn)生的電場，LCD控制著密封于隙縫中的液晶的對齊方向，從而顯示出圖像。由于這個原因，一定不要將污染物粒子混合到兩個襯底之間的隙縫中，以便能夠提高LCD的可靠性和產(chǎn)量?？紤]到這一方面，在本實施例中，通過使用下述方法制造出LCD，以便能夠有效地去處在每一個步驟中粘附到襯底上的污染物粒子。
首先，如圖3和圖4A～4H所示，制備TFT襯底2和相對襯底3。在TFT襯底2上，形成諸如TFT等開關(guān)器件。在相對襯底3上，形成彩色濾光器和黑色矩陣等。在TFT襯底和相對襯底上分別形成對齊層4之前，對TFT襯底和相對襯底執(zhí)行物理清洗、濕洗和干洗等(301a和301b)。物理清洗包括超聲波清洗、刷洗和噴霧清洗。濕洗包括使用表面活性劑、清潔劑、有機溶劑和純凈水等化學清洗。干洗包括紫外臭氧清洗、等離子清洗和激光清洗。在進行這些清洗之后，通過使用熱盤和IR加熱機器等使襯底干燥。
接著，襯底對的各襯底的表面用印刷機器涂涂敷用于對齊層的材料，諸如用有機溶劑稀釋過的聚酰亞胺溶液(303a和303b)。此后，利用熱盤或IR加熱機器等在大約80℃的溫度下加熱有機溶劑，并且由此(通過臨時烘烤)使有機溶劑干燥。接著，執(zhí)行通過加熱來脫水使涂敷有聚酰亞胺溶液的層收縮的徹底的烘烤(304a和304b)，使得形成的對齊層4具有均勻的厚度(如圖4A所示)。然后，通過使用繞著旋轉(zhuǎn)的金屬滾子卷起來的諸如棉布和人造絲布等擦拭布在一個方向上來擦拭各個烘烤后對齊層4的表面的方式，在各個烘烤后對齊層4的表面上分別執(zhí)行用于控制液晶的初始對齊方向(預傾角)的擦拭處理，(305a和305b)。在這種情況下，使用擦拭布進行擦拭會產(chǎn)生靜電，從而造成諸如擦拭布廢線和對齊層的碎屑等殘留物5粘附到各個襯底的表面上(如圖4B所示)。
然后，為了從各個襯底的表面上去除諸如擦拭布廢線和對齊層的碎屑等的殘留物5，對這些襯底進行清洗(306a和306b)。在這一點上，如上所述，對于擦拭處理之后要進行的清洗，為了使擦拭處理不損害通過擦拭處理分別提供給對齊層4的對齊特性，不能使用重負載清洗方法。由于這個原因，一般地，使用超聲波清洗方法或噴霧方法等類似方法，這些方法使用的是熱的超純凈水或酒精等。因此，有些情況下無法完全去除殘留物5。
接著，通過使用IR加熱機器等使清洗過的襯底干燥(307a和307b)。在這一點上，根據(jù)常壓分配對齊方法，每一個處理是在潔凈房間的環(huán)境中執(zhí)行的。甚至在潔凈房間中，除了諸如酞酸脂和環(huán)硅氧烷等有機物質(zhì)之外，諸如Na+、K+和Cl-等無機離子也飄浮在大氣中。因此，無機離子和有機物質(zhì)粘附到各個襯底的表面上。例如，如果將無機離子混合到液晶8中，則會引起泄漏等。這是造成可見缺陷的原因，可見缺陷例如除了在LCD的外圍中可以看見斑點以外，還有應(yīng)用到各個共用電極上的電壓減小。
考慮到這些，在本實施例中，將這樣干燥的襯底放進真空干燥爐中，如圖3中的步驟(308a和308b)所示。例如，在真空干燥爐中壓強的減小不大于1Pa的條件下，在將襯底上的溫度設(shè)置為100℃～120℃的范圍內(nèi)對襯底加熱不少于一個小時。通過執(zhí)行這種真空干燥處理(308a和308b)，能夠有效地去除無機離子和包括有機物質(zhì)在內(nèi)的灰塵等類似物。順便提及，在這種情況下，真空干燥處理(308a和308b)是在襯底被干燥(307a和307b)之后執(zhí)行的。不過，在清洗襯底(306a和306b)之后可以立即執(zhí)行真空干燥處理(308a和308b)。
接著，通過使用分配器等，在兩個襯底之一(在這種情況下為TFT襯底2)上使用由樹脂等制成的并通過紫外光束和熱量進行固化的密封材料6，來執(zhí)行描畫，例如，寬度為0.3mm～0.4mm，并且高度為30μm～40μm，從而限定了液晶被密封的區(qū)域?？梢允褂没旌闲兔芊獠牧献鳛檫@種密封材料6，該混合型材料是由紫外固化樹脂和熱固化樹脂的混合物制成的。另外，使用密封材料6形成圖形的方法并不限于通過使用分配器進行涂敷，還可以通過使用屏幕印刷系統(tǒng)來進行涂敷。接著，涂敷上例如銀(Ag)等用于布線的材料，以便電氣連接TFT襯底上的電極和相對襯底上的電極(309)。
另外，為了控制襯底之間的隙縫，通過使用濕噴射方法或干噴射方法將諸如聚合體珠和石英珠等間隔物7噴射到這兩個襯底中另一個襯底(在這種情況下為相對襯底3)的顯示區(qū)域上，從而使間隔物7粘附到襯底(310)上(如圖4D所示)。濕噴射方法是指噴射由間隔物7與諸如水和酒精等溶劑的混合物組成的溶液，并且然后干燥和去除溶劑。干噴射方法是指通過使用由壓縮的干氮等組成的氣流直接噴射粉狀間隔物7。在這些情況下，如上所述，根據(jù)噴射間隔物7的狀態(tài)，也有一些情況是其中間隔物7噴射得不均勻，使得間隔物7a發(fā)生凝結(jié)。
接著，將要分配液晶。根據(jù)制造LCD的現(xiàn)有方法，在分配液晶之前(5至10分鐘)不馬上清洗襯底。由于這個原因，有些情況下仍然保留有諸如擦拭布廢線和碎屑等在擦拭處理之后的清洗步驟中不能被去除的殘留物5，并且在其他一些情況下，也可能保留有在噴射間隔物7時所生成的諸如間隔物7a的凝結(jié)物等污染物粒子。如果這種殘留物被保留，則在保留有殘留物的部分液晶的厚度將變化。因此，可能會引起諸如可見的亮點缺陷(亮缺陷)等可見缺陷。
考慮到這些，在本實施例中，為了能夠安全地去除這些污染物粒子，執(zhí)行了通過使用被稱為真空清潔器的吸取機器的處理(下文中稱為“吸取處理”)或者通過使用被稱為US清潔器的超聲波氣流生成機器的處理(下文中稱為“超聲波氣流吹風處理”)(311a和311b)。
上述真空清潔器具有噴嘴9，其邊沿被處理成特定形狀，如圖6所示。另外，通過將噴嘴9內(nèi)部的氣壓減小到例如等于或低于1Pa，在繞著噴嘴9的邊沿處產(chǎn)生了快速的氣流。從而，能夠吸取粘附到襯底上的污染物粒子。在本實施例中，為了有效地去除殘留物5和間隔物7a的凝結(jié)物，要把每一個襯底和噴嘴9之間的距離設(shè)置為大約1mm或短于1mm。吹氣壓力被設(shè)置為大約6KPa。工作臺的速度被設(shè)置為大約100mm/sec。在這些條件下，噴嘴9在每一個襯底上前后來回移動大約6次。另外，US清潔器用于吹風應(yīng)用了超聲波的諸如純凈空氣和氮氣等的氣體。因此與常規(guī)吹風處理相比，US清潔器能夠安全地去除粘附到襯底上的污染物粒子。通過以這種方式執(zhí)行吸取處理和超聲波氣流吹風處理，能夠安全地去除殘留物5和間隔物7a的凝結(jié)物，從而能夠保持各個襯底表面的清潔，如圖4E所示。順便說一下，在本實施例中，除了執(zhí)行真空干燥處理和超聲波氣流吹風處理的結(jié)合以外，還執(zhí)行真空干燥處理和吸取處理的結(jié)合。不過，可以僅執(zhí)行這兩個結(jié)合中的任何一個。可選地，可以執(zhí)行包括真空干燥處理、吸取處理和超聲波氣流吹風處理在內(nèi)的所有處理。
接著，通過使用用于分配液晶的分配器等，以在密封材料6的壓縮狀態(tài)下將液晶8填充到襯底之間的隙縫中的方式，來將足夠的液晶8分配到由位于TFT襯底上的密封材料6所包圍的預定內(nèi)部區(qū)域中(312)(如圖4F所示)。
之后，以其上分配了液晶8的表面和其上分配了間隔物7的表面相對放置的方式，來放置TFT襯底和相對襯底。從而，對齊了TFT襯底和相對襯底(313)(如圖4G所示)。然后，從兩個襯底中每一個的后部照射出紫外線束，從而臨時固化了密封材料6(314)。接著，通過從兩個襯底的外部添加大約0.1N/mm2的負載來壓縮密封材料6。同時，加熱該對襯底，從而完全固化密封材料6。因此，液晶8得到密封(如圖4H所示)。之后，沿著由密封材料6所包圍區(qū)域的外部的預定部分來切割TFT襯底2和相對襯底3(315)。以這種方式，形成了LCD 1。
需要指出的是，所提供的描述示出了根據(jù)本實施例制造LCD的方法的例子。用于除了真空干燥處理(308a和308b)、吸取處理和超聲波氣流吹風處理(311a和311b)之外的處理步驟的條件等并不限于上述各條件。換句話說，可以省略掉干燥步驟(307a和307b)等?？蛇x情況下，可以根據(jù)需要來添加除了上述步驟之外的步驟。圖3和圖4A～4H示出的情況是在TFT襯底2上執(zhí)行使用密封材料6的描畫和在TFT襯底2上分配液晶8而在相對襯底3上噴射間隔物7。不過，可以在相對襯底3上進行使用密封材料6的描畫并且可以在相對襯底3上分配液晶8而在TFT襯底2上噴射間隔物7。另外，如圖5A～5H所示，可以在兩個襯底之一(在這種情況下為TFT襯底)上進行使用密封材料6的描畫，并且還可以在同一個襯底上噴射間隔物7(或使用其中混合有間隔物7的密封材料6來涂敷同一個襯底)。進而，對在干燥步驟(307a和307b)之后立即執(zhí)行真空干燥處理(308a和308b)的配置，以及在分配液晶(312)之前立即執(zhí)行一組吸取處理和一組超聲波氣流吹風處理中的任何一種的配置進行了講述。不過，在干燥步驟(307a和307b)之后或在液晶分配(312)之前可立即同時執(zhí)行真空干燥處理和吸取處理的結(jié)合，以及真空干燥處理和超聲波氣流吹風處理的結(jié)合。
在根據(jù)本實施例制造LCD的方法中，在以上述方式進行擦拭處理之后的清洗步驟和干燥步驟之后，執(zhí)行真空干燥處理。進而，在使用密封材料進行描畫之后或在噴射間隔物之后執(zhí)行吸取處理或超聲波氣流吹風處理，從而能夠安全地去除諸如無機離子和包括有機物質(zhì)在內(nèi)的灰塵等粘附到襯底上的污染物粒子，以及其保留在襯底上的殘留物5和間隔物7a的凝結(jié)物。結(jié)果，可以防止面板的可靠性因各個共用電極電壓的波動而發(fā)生惡化和襯底外圍中的斑點等，并且還能夠減少亮缺陷。因此，可以提高產(chǎn)量。
接下來，為了檢查根據(jù)本發(fā)明第一實施例的制造方法的效果，計算了當執(zhí)行吸取處理時所引起的污染物粒子的數(shù)目和當不執(zhí)行吸取處理時所引起的污染物粒子的數(shù)目。另外，還計算了當執(zhí)行真空干燥處理時所引起的可見缺陷(亮缺陷)的數(shù)目和當不執(zhí)行真空干燥處理時所引起的可見缺陷(亮缺陷)的數(shù)目。結(jié)果如圖8和圖9所示。
如圖8所示，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)通過使用真空清潔器來執(zhí)行吸取處理，在面板上引起的殘留物的數(shù)目減少到不執(zhí)行吸取處理時面板上引起的殘留物的數(shù)目的大約一半。因此，已經(jīng)證實根據(jù)本實施例的吸取處理對于提高產(chǎn)量具有積極影響。而且，如圖9所示，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)在只執(zhí)行了加熱處理的樣品中所引起的可見缺陷的數(shù)目大約為在不加熱就執(zhí)行干燥處理的樣品中所引起的可見缺陷的數(shù)目的一半，并且在執(zhí)行了根據(jù)本實施例的真空干燥處理的樣品中所引起的可見缺陷的數(shù)目為在不加熱就執(zhí)行干燥處理的樣品中所引起的可見缺陷的數(shù)目的三分之一(從1.2至0.4)。因此，已經(jīng)證實根據(jù)本實施例的真空干燥處理對提高產(chǎn)量具有積極作用。
(第二實施例)接下來，參考圖7來講述根據(jù)本發(fā)明第二實施例制造LCD的方法。圖7為流程圖，示出了根據(jù)第二實施例制造LCD的處理的部分。
使用根據(jù)第一實施例的上述制造方法能夠提高面板的可靠性并且增加產(chǎn)量。不過，例如即使去除了位于各個襯底表面上的污染物粒子，例如，諸如形成于TFT襯底2和相對襯底3上的對齊層等有機物質(zhì)隨著溫度上升而被激活和遷移。例如，已經(jīng)知道，作為激活和產(chǎn)物的結(jié)果，對齊層的初始對齊方向改變了，結(jié)果產(chǎn)生了諸如造成LCD部分明亮顯示的缺陷(這被稱為對齊亮缺陷)等可見缺陷?？紤]到這一點，根據(jù)第二實施例，將密封材料完全固化的溫度設(shè)置得較低，從而抑制了上述可見缺陷的形成。下面參考圖7來講述實現(xiàn)這一點的具體方法。
與第一實施例的情況一樣，通過使用預定濕清洗方法或預定干清洗方法來清潔TFT襯底2和相對襯底3(701a和701b)。接著，通過使用熱盤或IR加熱機器等來干燥襯底(702a和702b)。之后，通過使用印刷機器，將諸如使用有機溶劑稀釋了的聚酰亞胺溶液等用于對齊層的材料涂敷在各個襯底的表面上(703a和703b)。然后，通過使用熱盤或IR加熱機器等在大約80℃的溫度下對襯底進行臨時烘烤。因此，執(zhí)行用于通過加熱脫水來集中被聚酰亞胺所涂敷的層的完全烘烤(704a和704b)，以便形成的對齊層4具有具有均勻的厚度。
接著，為了控制液晶的初始對齊方向(預傾角)，以僅使用繞著旋轉(zhuǎn)的金屬滾子卷起來的擦拭布來在一個方向上對各個烘烤后對齊層4的表面進行擦拭的方式，在各個烘烤后對齊層4的表面上分別執(zhí)行擦拭處理(705a和705b)。
之后，為了從各個襯底的表面上去除諸如擦拭布廢線和對齊層的碎屑等殘留物5，對襯底進行清洗(706a和706b)。接著，通過使用IR加熱機器等來干燥經(jīng)過清潔的襯底(707a和707b)。然后，為了去除從環(huán)境中粘附到襯底上的無機離子和包括有機物質(zhì)的灰塵，將經(jīng)過干燥的襯底放入真空干燥爐中，并且執(zhí)行真空干燥處理(708a和708b)，例如，在真空干燥爐中的壓強減小到等于或小于1Pa的條件下，以將襯底上的溫度設(shè)置為100℃～120℃的范圍內(nèi)對襯底加熱大于一個小時。
接著，通過使用分配器等，在兩個襯底之一(在這種情況下為TFT襯底2)上使用由通過紫外光束和熱量進行固化的樹脂等制成的密封材料6來執(zhí)行描畫。之后，在襯底上涂敷Ag，用于電氣連接TFT襯底上的電極和相對襯底上的電極(709)。
另外，為了控制襯底之間的隙縫，通過使用濕噴射方法或干噴射方法將諸如聚合體珠和石英珠等間隔物7噴射到這兩個襯底中另一個襯底(在這種情況下為相對襯底3)的顯示區(qū)域上。順便說一句，在使用濕噴射方法的情況下，溶劑被去除，并且間隔物7被粘附到相對襯底3上(710)。
接著，為了去除諸如擦拭布廢線和碎屑等不能在擦拭處理之后的清洗步驟中去除的殘留物5，以及諸如在噴射間隔物7時形成的間隔物7a的凝結(jié)物等污染物粒子，執(zhí)行了通過使用諸如真空清潔器等吸取機器的吸取處理和通過使用諸如US清潔器等用于生成超聲波氣流的機器的超聲波氣流吹風處理中的任何一個(711a和711b)。
然后，通過使用用于分配液晶的分配器等，以在密封材料6的壓縮狀態(tài)下液晶8填充到襯底之間的隙縫中的方式，來將足夠的液晶8分配(712)到由TFT襯底上的密封材料6所包圍的預定內(nèi)部區(qū)域中。之后，將其上分配了液晶8的表面和其上分配了間隔物7的表面的相對放置的方式，來放置TFT襯底和相對襯底，從而對齊了TFT襯底和相對襯底(713)。然后，密封材料6被固化(714)。
固化密封材料6的步驟包括用于臨時固定該對襯底的臨時固化和用于完全固定該對襯底的完全固化?，F(xiàn)有的臨時固化是在當使用紫外線束照射進行加熱或當將溫度設(shè)置為大約80℃進行加熱時執(zhí)行的。另外，現(xiàn)有的完全固化是通過在大約120℃的溫度下加熱大約一個小時來執(zhí)行的。
不過，當想要使密封材料6完全固化時，對密封材料6進行加熱的溫度較高一些。由于這個原因，諸如形成于各個襯底上的對齊層4等有機物質(zhì)被激活，使得遷移發(fā)生。遷移使得例如對齊層4的對齊特性失常。因此，由于這種失常，造成了諸如可見的亮缺陷等可見缺陷。另外，已知在預定的溫度下，液晶8將從向列液晶相轉(zhuǎn)變?yōu)楦飨蛲?isotropic)液晶相(相變溫度TNI)。通過這種相變，當密封材料6被固化的溫度超過相變溫度后，液晶8的化學結(jié)構(gòu)將會改變。由于這個原因，需要檢查一下密封材料6被完全固化的溫度，以便該溫度等于或低于相變溫度。另一方面，如果用于完全固化的溫度等于或低于密封材料6中所包含的聚合引發(fā)劑的反應(yīng)溫度，則密封材料6不固化，使得該對襯底不能被牢固地固定在一起。
考慮到這一點，通過改變用于固化的溫度和用于固化的時間長度來計算所引起的可見缺陷(對齊亮缺陷)的數(shù)目，以便能夠確定用于完全固化密封材料6的優(yōu)化溫度。結(jié)果如圖10所示。
如圖10所示，當用于固化的溫度等于和高于90℃時，會產(chǎn)生可見缺陷，而在80℃時執(zhí)行更長時間的固化也不會產(chǎn)生可見缺陷。順便說一句，對于熱固化型環(huán)氧密封材料6，由于聚合引發(fā)劑的反應(yīng)溫度為80℃，因此用于固化的溫度不能夠等于或低于80℃。因此，在本實施例中，使用了相變溫度高于80℃的液晶8，并且對密封材料6在大約80℃的溫度下加熱更長時間(八個小時)，從而抑制了可見缺陷的產(chǎn)生。
之后，沿著預定部分(715)來切割TFT襯底2和相對襯底3。這樣，就得到LCD 1。
如上所述，在密封材料6能夠完全固化和液晶8的相變能夠得到阻止的情況下，用于固化密封材料6的溫度被設(shè)置得盡可能地低。通過此舉，能夠抑制諸如在各個襯底上形成的對齊層等有機物質(zhì)的激活，從而防止發(fā)生遷移。因此，可以抑制由于對齊層4的對齊特性失常所引起的可見缺陷。
接下來，為所制備的每一個下述樣品計算了引起可見缺陷的數(shù)目，以便能夠檢查通過根據(jù)本實施例的降低固化密封材料的溫度和通過根據(jù)第一實施例進行真空干燥處理所引起的效果。結(jié)果如圖11所示。
如圖11所示，在溫度為125℃時固化的密封材料6的每一個樣品中產(chǎn)生了大量的可見缺陷，無論對該樣品是否已經(jīng)執(zhí)行了真空干燥處理。相比之下，在溫度為80℃時固化的密封材料6的每一個樣品中沒有產(chǎn)生可見缺陷，無論對該樣品是否已經(jīng)執(zhí)行了真空干燥處理。通過這一觀察，已經(jīng)證實可見缺陷的數(shù)目通過降低密封材料6所能完全固化的溫度而得到減少。另外，在將固化溫度設(shè)置為80℃的條件下，沒有產(chǎn)生可見缺陷，無論是否已經(jīng)執(zhí)行了真空干燥處理。進而，在已經(jīng)執(zhí)行了真空干燥處理的樣品(23個樣品)中的任何一個樣品中沒有不產(chǎn)生可見缺陷的。這樣，通過降低執(zhí)行完全固化的溫度并且同時通過執(zhí)行真空干燥處理，幾乎能夠完全防止可見缺陷的發(fā)生。
顯然可以認為，每一個上述實施例可以被應(yīng)用到任意一個具有兩個相對放置的襯底中間插入有液晶這種結(jié)構(gòu)的液晶顯示面板。顯然還可以認為，每一個上述實施例可以被應(yīng)用到任何類型的液晶顯示面板，諸如為兩個襯底的每一個都提供了透明電極并且通過在襯底之間的垂直方向上使用電場來驅(qū)動液晶的TN模式LCD，以及為兩個襯底之一提供了梳狀電極并且通過在梳狀電極之間使用電場來驅(qū)動液晶的IPS模式LCD。
如上所述，使用根據(jù)本發(fā)明的常壓分配對齊方法來制造LCD的方法具有如下作用。
本發(fā)明的第一個作用是，可以抑制諸如各個共用電極的電勢波動的面板可靠性的惡化和LCD外圍中的斑點等，以便能夠減少諸如亮缺陷等可見缺陷，從而提高了產(chǎn)量。
第一個作用的原因是，通過執(zhí)行真空干燥處理，以及吸取處理和超聲波氣流吹風處理中的任何一個，可以安全地去除粘附到襯底上的污染物粒子(無機離子，包括有機物質(zhì)在內(nèi)的灰塵，諸如擦拭布廢線和對齊層的碎屑等殘留物，以及間隔物的凝結(jié)物等)。在預定低壓環(huán)境下用于加熱各個襯底的真空干燥處理是在對齊層形成之后的清洗步驟和干燥步驟之后，并且在使用密封材料的描畫之前，或者在間隔物噴射之前執(zhí)行的。另外，分別在使用密封材料的描畫之后或在間隔物噴射之后，并且在分配液晶之前，在襯底上執(zhí)行使用諸如真空清潔器等具有特定形狀的噴嘴的吸取機器的吸取處理。在使用密封材料的描畫之后或在間隔物噴射之后，并且在分配液晶之前，在各個襯底上執(zhí)行通過使用諸如用于使用施加了超聲波的氣流對樣品進行吹風的US清潔器等來進行的超聲波氣流吹風處理。
進而，本發(fā)明的第二個作用是，能夠減少諸如對齊亮缺陷等可見缺陷，從而能夠提高產(chǎn)量。
第二個作用的原因是，參考密封材料的聚合的反應(yīng)溫度和液晶的相變溫度，密封材料完全固化的溫度被設(shè)置得盡可能地低，因此能夠抑制在襯底上形成的有機物質(zhì)被激活(遷移)。
明顯地，本發(fā)明并不限于上述實施例，只要不偏離本發(fā)明的范圍和精神主旨，可以對其進行修正和變化。
權(quán)利要求
1.一種制造液晶顯示設(shè)備的方法，包括如下步驟制備一對襯底，其上分別形成了用于液晶顯示的對齊層；對該對襯底的每一個對齊層執(zhí)行擦拭處理；清洗步驟，對執(zhí)行了擦拭處理的該對襯底的每一個進行清洗；污染物去除步驟，在清洗之后通過使用除了清洗之外的其他手段去除各個對齊層表面上的污染物；液晶分配步驟，將液晶分配在已經(jīng)執(zhí)行污染物去除步驟的該對襯底中至少一個襯底的對齊層上；以及在液晶分配步驟之后，將該對襯底相對放置，并且密封液晶。
2.如權(quán)利要求1所述的制造液晶顯示設(shè)備的方法，其中污染物為一組無機離子和一組有機物質(zhì)中的任何一個，并且污染物去除步驟是指在低壓環(huán)境中執(zhí)行加熱該對襯底的真空干燥處理。
3.如權(quán)利要求1所述的制造液晶顯示設(shè)備的方法，其中污染物是指在清洗步驟中不能被去除并且仍然保留的污染物粒子，并且污染物去除步驟是指通過使用在具有預定形狀的噴嘴邊沿附近產(chǎn)生的氣流來執(zhí)行用于吸取污染物的吸取處理。
4.如權(quán)利要求1所述的制造液晶顯示設(shè)備的方法，其中污染物是指在清洗步驟中不能被去除并且仍然保留的污染物粒子，并且污染物去除步驟是指通過施加了超聲波的氣流吹風該對襯底來執(zhí)行用于去除污染物的吹風處理。
5.如權(quán)利要求1所述的制造液晶顯示設(shè)備的方法，進一步包括間隔物噴射步驟，在執(zhí)行液晶分配步驟之前將粒子間隔物噴射到該對襯底的至少一個上，其中污染物是在間隔物噴射步驟中粘附到該對襯底上的間隔物的凝結(jié)物，并且污染物去除步驟是指通過使用在具有預定形狀的噴嘴邊沿附近產(chǎn)生的氣流來執(zhí)行用于吸取間隔物的凝結(jié)物的吸取處理。
6.如權(quán)利要求1所述的制造液晶顯示設(shè)備的方法，進一步包括間隔物噴射步驟，在執(zhí)行液晶分配步驟之前將粒子間隔物噴射到該對襯底的至少一個上，其中污染物是在間隔物噴射步驟中粘附到該對襯底上的間隔物的凝結(jié)物，并且污染物去除步驟是指通過施加了超聲波的氣流吹風該對襯底來執(zhí)行用于去除間隔物的凝結(jié)物的吹風處理。
7.如權(quán)利要求1所述的制造液晶顯示設(shè)備的方法，進一步包括間隔物噴射步驟，在執(zhí)行液晶分配步驟之前將粒子間隔物噴射到該對襯底的至少一個上，其中污染物去除步驟包括在執(zhí)行間隔物噴射步驟之前要執(zhí)行的第一去除子步驟，以及在執(zhí)行間隔物噴射步驟之后要執(zhí)行的第二去除子步驟，并且其中第一去除子步驟是指在低壓環(huán)境中執(zhí)行用于加熱襯底的真空干燥處理，并且第二去除子步驟是指執(zhí)行用于吸取和去除污染物的吸取處理和用于使用施加了超聲波的氣流對襯底進行吹風的吹風處理中的任何一個。
8.如權(quán)利要求1所述的制造液晶顯示設(shè)備的方法，進一步包括密封材料形成步驟，在執(zhí)行液晶分配步驟之前，在該對襯底的至少一個上形成用于密封的密封材料，其中污染物去除步驟包括在密封材料形成步驟之前要執(zhí)行的第一去除子步驟，以及在密封材料形成步驟之后要執(zhí)行的第二去除子步驟，并且其中第一去除子步驟是指在低壓環(huán)境中執(zhí)行用于加熱襯底的真空干燥處理，并且第二去除子步驟是指執(zhí)行用于吸取和去除污染物的吸取處理和用于使用施加了超聲波的氣流對襯底進行吹風的吹風處理中的任何一個。
9.如權(quán)利要求1所述的制造液晶顯示設(shè)備的方法，進一步包括密封材料形成步驟，在液晶分配步驟之前在該對襯底的至少一個上形成用于密封的密封材料，其中用于固化密封材料的處理包括在該對襯底之間形成期望的隙縫之后要執(zhí)行的完全固化子處理，并且該完全固化子處理是在使固化材料硬化的最低溫度下執(zhí)行的。
10.如權(quán)利要求9所述的制造液晶顯示設(shè)備的方法，其中完全固化子處理是在大約80℃的溫度下執(zhí)行的。
11.如權(quán)利要求9所述的制造液晶顯示設(shè)備的方法，進一步包括在該對襯底被結(jié)合之后立即要進行的執(zhí)行臨時固化處理的步驟。
12.如權(quán)利要求10所述的制造液晶顯示設(shè)備的方法，進一步包括在該對襯底被結(jié)合之后立即要進行的執(zhí)行臨時固化處理的步驟。
全文摘要
公開了一種使用液晶分配對齊方法來制造液晶顯示設(shè)備的方法，包括的步驟有在對已經(jīng)執(zhí)行了擦拭處理的對齊層進行清潔之后，通過對襯底執(zhí)行真空干燥處理來去除無機離子等；以及在分配液晶之前，通過執(zhí)行用于使用具有特定形狀的噴嘴來吸取異物的處理和用于通過使用施加了超聲波的氣體對異物進行吹風的處理中的任何一個來去除異物。另外，為了防止有機物質(zhì)的激活(遷移)而降低了密封材料被完全固化的溫度，以由此減少諸如對齊亮缺陷等可見缺陷。
文檔編號G02F1/1339GK1645194SQ20051000386
公開日2005年7月27日 申請日期2005年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月19日
發(fā)明者元松俊彥 申請人:Nec液晶技術(shù)株式會社