專利名稱:一種光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)的制作方法
本實(shí)用新型涉及一種改進(jìn)的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，能實(shí)現(xiàn)非相干光照明。特別適用于各種高倍光學(xué)顯微鏡。
現(xiàn)有的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)由光源、光闌、聚光裝置組成。由于光源燈絲面積和聚光系統(tǒng)孔欄的限制，照明物面的光都是部分相干或完全相干的。這樣當(dāng)微小物體經(jīng)顯微物鏡放大、成象在象面上時(shí)，總有物體的衍射象產(chǎn)生。被觀測物體越小，放大倍數(shù)越高，衍射現(xiàn)象越嚴(yán)重。當(dāng)觀測微米級的微小物體時(shí)，由于衍射效應(yīng)，已難于看清微小物體的邊沿。而對于高倍光學(xué)測量顯微鏡，則無法正確測量。這是使用現(xiàn)有光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)所不可避免的缺陷。
本實(shí)用新型的目的是提供一種改進(jìn)的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)非相干光照明，消除由于相干光或部分相干光照明引起的衍射現(xiàn)象，大大提高光學(xué)顯微鏡的成象質(zhì)量。
本實(shí)用新型的目的是以下列方式實(shí)現(xiàn)的該光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)由光源、光闌、聚光裝置、以及在聚光裝置與物面之間的漫透射板構(gòu)成。從光源發(fā)出的光經(jīng)光闌和聚光裝置后，射到漫透射板上。該漫透射板具有如下特性當(dāng)光照亮該板時(shí)，它可作為一個(gè)由無數(shù)個(gè)點(diǎn)光源組成、光亮度極為均勻的余弦面發(fā)光體。光再從該板射出照明物體。
采用這種光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，照明光可不受聚光照明系統(tǒng)孔欄和光源燈絲大小的影響，實(shí)現(xiàn)非相干光照明，消除由于相干光或部分相干光照明引起的衍射條紋，提高象質(zhì)。同時(shí)能增大顯微鏡聚光照明系統(tǒng)的數(shù)值孔徑、提高照明均勻度，大大有利于光學(xué)顯微鏡的調(diào)焦、觀察和測量。本實(shí)用新型制造使用方便，采用下面要詳述的實(shí)施例結(jié)構(gòu)，其成本比普通的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)幾乎沒有增加。
以下參照附圖，結(jié)合具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
圖1是本實(shí)用新型用在普通顯微鏡上一種具體結(jié)構(gòu)的原理剖面圖。
圖2是本實(shí)用新型用于一種線寬測量裝置上的結(jié)構(gòu)原理圖。
參照圖1，本實(shí)用新型的第一個(gè)實(shí)施例是光源1發(fā)出的光經(jīng)光闌2射入聚光裝置3，光線經(jīng)聚光裝置3會(huì)聚后射向漫透射板5，再經(jīng)漫透射板5散射，照明顯微鏡工作臺(tái)7上的物面8，實(shí)現(xiàn)非相干光照明。漫透射板5用0.1－4mm厚的微晶玻璃制成，最好是0.2－0.5mm厚的微晶玻璃；本實(shí)施例中最好是采用白色微晶玻璃；也可用多塊漫透射板材料疊加而成。漫透射板5安放在聚光鏡筒4內(nèi)，用壓圈6螺紋固緊。也可在光學(xué)顯微鏡上附加零件，將漫透射板5裝成在聚光裝置3與物面8之間能移入移出顯微鏡光路的獨(dú)立活動(dòng)元件。漫透射板5的表面應(yīng)垂直顯微鏡光軸9，聚光鏡筒4除在頂端增加安放漫透射板5的臺(tái)階10外，仍按普通光學(xué)顯微鏡聚光鏡安裝要求設(shè)計(jì)。若顯微鏡需用特定波長的光照明，則只需選用相應(yīng)的光源或增加特定的濾光片。也有可能應(yīng)用只透過特定波長光的微晶玻璃或具有微晶玻璃特性的其它材料制成漫透射板5。
圖2為本實(shí)用新型的第二個(gè)實(shí)施例。其原理與前面敘述的相同。光源1發(fā)出的光經(jīng)第一聚光鏡11、光闌2、反光鏡13，第二聚光鏡12后，會(huì)聚射向漫透射板5，再照明顯微鏡工作臺(tái)7上的物面8，實(shí)現(xiàn)非相干光照明。物體由光度式光電顯微物鏡系統(tǒng)14放大、光電接收。該實(shí)施例的特點(diǎn)在于漫透射板5安裝在顯微鏡工作臺(tái)7內(nèi)，用壓圈6螺紋固緊。也可用其它安裝方法，將漫透射板5做成顯微鏡工作臺(tái)的一部分，在其上放置物體。
本實(shí)用新型還適用于所有帶有顯微物鏡儀器的顯微鏡照明使用。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)由光源[1]、光闌[2]、聚光裝置[3]組成，其特征在于在上述聚光裝置[3]與物面[8]之間有漫透射板[5]。
2.按權(quán)利要求
1所述的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，其特征在于上述漫透射板〔5〕可裝在聚光鏡筒〔4〕內(nèi)或裝在顯微鏡工作臺(tái)〔7〕內(nèi)。
3.按權(quán)利要求
1所述的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，其特征在于上述漫透射板〔5〕可裝成在聚光裝置〔3〕與物面〔8〕之間能移入移出顯微鏡光路的獨(dú)立活動(dòng)元件。
4.按權(quán)利要求
1或2或3所述的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，其特征在于上述漫透射板〔5〕由微晶玻璃制成。
5.按權(quán)利要求
4所述的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，其特征在于微晶玻璃的厚度在0.1－4mm之間。
6.按權(quán)利要求
5所述的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，其特征在于微晶玻璃的厚度在0.2－0.5mm之間。
7.按權(quán)利要求
5或6所述的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，其特征在于微晶玻璃是白色微晶玻璃。
8.按權(quán)利要求
1所述的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，其特征在于上述漫透射板〔5〕可由多塊漫透射板材料疊加而成。
9.按權(quán)利要求
1所述的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，其特征在于上述漫透射板〔5〕可由具有微晶玻璃特性的其它材料制成。
專利摘要
本實(shí)用新型公開了一種光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，能實(shí)現(xiàn)非相干光照明，消除由于相干光或部分相干光照明引起的微小物體衍射現(xiàn)象。該光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)是在由光源、光闌、聚光裝置組成的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)上，增加漫透射板組成。該漫透射板用白色微晶玻璃制成，安裝在聚光裝置和物面之間。這種聚光照明系統(tǒng)特別適用于各種高倍光學(xué)顯微鏡。
文檔編號(hào)G02B21/06GK87202450SQ87202450
公開日1987年12月30日 申請日期1987年2月13日
發(fā)明者杜賢和, 劉劍平, 方仲平 申請人:中國計(jì)量科學(xué)研究院導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan