專利名稱：能夠調(diào)整高度的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)部件。本發(fā)明尤其涉及光學(xué)部件的對(duì)準(zhǔn)。
背景技術(shù)：
光纖通信系統(tǒng)允許以極高的速率長(zhǎng)距離地傳輸數(shù)據(jù)。為獲得高的性能，在這些系統(tǒng)中使用的光學(xué)部件之間的有效光耦合是很重要的。在光纖通信系統(tǒng)中光學(xué)部件之間的有效光耦合經(jīng)常需要精確調(diào)整、對(duì)準(zhǔn)和固定部件以達(dá)到小于1微米的公差水平。光纖對(duì)準(zhǔn)問題在本領(lǐng)域中已被了解，并且已經(jīng)作出大量的努力來解決這些問題。許多的對(duì)準(zhǔn)安裝座和固定方法被公開在現(xiàn)有技術(shù)中。這些方法包括激光焊接、釬焊，以及使用粘接劑以固定對(duì)準(zhǔn)安裝座。
便于對(duì)準(zhǔn)并隨后通過激光焊接固定光纖的夾子和套筒系統(tǒng)是已知的。用于在已經(jīng)通過激光焊接初步固定光纖之后微調(diào)光纖對(duì)準(zhǔn)的過程也已經(jīng)被使用。在被稱作“激光錘打”的過程中，后續(xù)的激光焊縫移動(dòng)夾子的位置，并且允許微調(diào)光纖。可選的是，在通過激光焊接進(jìn)行初始的對(duì)準(zhǔn)并且固定之后，可以通過使夾子機(jī)械變形而對(duì)光纖進(jìn)行微調(diào)。
對(duì)準(zhǔn)光學(xué)部件的另一方法是使用一些超出所需調(diào)整范圍的焊料。在焊料被熔化的同時(shí)對(duì)準(zhǔn)光學(xué)部件，并且通過固化焊料而使光學(xué)部件固定。能夠進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以獲得行星運(yùn)動(dòng)的雙偏心套筒對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)也已經(jīng)被使用。用于對(duì)準(zhǔn)光纖的另一種方法使用傾斜的、平面光纖適配器。光纖適配器接合類似的傾斜的、平面基礎(chǔ)件，以最小化焊料的量。
盡管使用現(xiàn)有的安裝座以及諸如激光焊接、釬焊和使用粘合劑固定對(duì)準(zhǔn)安裝座等固定方法獲得了一些成功，但仍然存在對(duì)這樣一種光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座的需求，所述光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座允許高度調(diào)整，并且在固定過程中使“結(jié)合后移動(dòng)(post-bond shift)”最小化。由于在固定或安裝過程中結(jié)合材料或安裝結(jié)構(gòu)的尺寸變化，引起“結(jié)合后移動(dòng)”。由此，需要具有高度可調(diào)性且能使結(jié)合后移動(dòng)誤差最小化的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座。

發(fā)明內(nèi)容
用于調(diào)整光學(xué)部件的高度的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座包括適于容納光學(xué)部件的部件安裝座。安裝座中的光學(xué)部件的高度能夠根據(jù)需要被調(diào)整和被固定。
附圖簡(jiǎn)述

圖1是光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座的透視圖；圖2A、2B和2C是圖1的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座的前視圖，示出了光纖的高度調(diào)整；圖3是圖1的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座的俯視圖，其中光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座被調(diào)整以將來自激光器的光耦合到光纖中；圖4是圖1的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座的側(cè)視圖，其中光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座被調(diào)整以將來自激光器的光耦合到光纖中；圖5是光纖激光源的透視圖；圖6是激光焊接的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座的前視圖；圖7是光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座的另一方面的分解透視圖；圖8是圖7的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座的前視圖；圖9是圖7和8的樞軸支撐件的仰視圖；圖10是光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座的前視圖，其中樞軸表面直接接合基底。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明涉及光學(xué)部件的精密對(duì)準(zhǔn)。更具體地，本發(fā)明提供改進(jìn)的能夠調(diào)整高度的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座。如文中所使用的“高度”是在離開支撐結(jié)構(gòu)的方向上的距離，其中在一些實(shí)施例中，支撐結(jié)構(gòu)可以包括襯底。諸如光纖、透鏡、準(zhǔn)直儀和檢測(cè)器等光學(xué)部件在對(duì)準(zhǔn)期間能夠通過轉(zhuǎn)動(dòng)、樞轉(zhuǎn)或傾斜光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座中的適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)部件安裝座而被升高或降落。在該高度調(diào)節(jié)以及光學(xué)部件的其他自由度中的對(duì)準(zhǔn)的過程中，光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座的各個(gè)元件之間的堅(jiān)固支撐被保持。由此，在固定期間由于結(jié)合材料的尺寸改變而總是會(huì)產(chǎn)生的結(jié)合后移動(dòng)所引起的對(duì)準(zhǔn)誤差被極大地減小。另一方面，非常薄的結(jié)合材料層被涂在光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座的各個(gè)元件之間。由于結(jié)合材料的薄度，固定期間發(fā)生的結(jié)合后移動(dòng)再次被顯著地減小。
圖1是光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座10的透視圖。示例性光學(xué)部件——光纖18被連接到部件安裝座14。部件安裝座14具有圓柱形樞軸表面15，所述樞軸表面15接合樞軸支撐件12的V形槽(socket)28。在部件安裝座14中的抓持結(jié)構(gòu)26可以包括孔或其他形狀，所述孔或其他形狀有助于抓持者或操作者定位并且對(duì)準(zhǔn)部件安裝座14。在樞軸支撐件12中的抓持結(jié)構(gòu)24可以包括有助于抓持者或操作者定位并且對(duì)準(zhǔn)樞軸支撐件12的孔或其他形狀。
圖2A、2B和2C示出怎樣通過沿θZ方向轉(zhuǎn)動(dòng)部件安裝座14來沿Y方向升高或降低光纖18的高度。在圖2A中，光纖18的芯的高度為Y0，并且從部件安裝座14的樞軸位置P偏移。樞軸位置P是延伸出和延伸入圖2A、2B和2C的平面的線，并且位于樞軸表面15的曲率中心。通過沿圖2B所示的正的θZ方向旋轉(zhuǎn)部件安裝座14，部件安裝座14圍繞樞軸位置P樞轉(zhuǎn)，并且光纖18的芯升至高度Y1。通過沿圖2C所示的負(fù)的θZ方向旋轉(zhuǎn)部件安裝座14，光纖18的芯被降低至高度Y2。光纖18的芯位置能夠通過相對(duì)于基底16分別沿X和Z方向平移樞軸支撐件12而沿X和Z方向被調(diào)整。光纖18的θY對(duì)準(zhǔn)可以通過相對(duì)于基底16圍繞Y軸線轉(zhuǎn)動(dòng)樞軸支撐件12而被調(diào)整。在部件安裝座14中的V形凹槽30支撐光纖18。光纖18的θZ對(duì)準(zhǔn)能夠通過在光纖18被固定至部件安裝座14之前，使在V形凹槽30中的光纖18圍繞Z軸線旋轉(zhuǎn)而被調(diào)整。
部件安裝座14的樞軸表面15沿兩個(gè)接觸線20接合V形槽28。當(dāng)部件安裝座14圍繞樞軸位置P旋轉(zhuǎn)時(shí)，接觸線20被保持，如圖2A、2B和2C所示。接觸線20支撐部件安裝座14，并且在槽28與樞軸表面15之間形成堅(jiān)固支撐。諸如環(huán)氧樹脂或焊料等結(jié)合材料可被涂在部件安裝座14與槽28之間的間隙32中。由于樞軸表面15在接觸線20處接合槽28，因此結(jié)合材料的任何收縮產(chǎn)生作用以將部件安裝座14牢固地固定至槽28。然而，由于在樞軸表面15與V形凹槽28之間已經(jīng)有堅(jiān)固支撐，因此結(jié)合材料的收縮對(duì)光纖18對(duì)準(zhǔn)的影響可以忽略不計(jì)。
樞軸支撐件12在維持樞軸支撐件12與基底16之間的堅(jiān)固支撐的兩個(gè)接觸平面22處接觸基底16。諸如環(huán)氧樹脂或焊料等結(jié)合材料可以涂在樞軸支撐件12與基底16之間的間隙34中。由于樞軸支撐件12在接觸面22處被支撐在基底16上，因此結(jié)合材料的任何收縮產(chǎn)生將樞軸支撐件12緊固地固定至基底16的作用。然而，由于在樞軸支撐件12與基底16之間已經(jīng)有堅(jiān)固支撐，因此結(jié)合材料的收縮對(duì)光纖18對(duì)準(zhǔn)的影響可以忽略不計(jì)。另一方面，基底16可以具有上凸的突起，用于支撐樞軸支撐件12以及維持間隙34。在另一方面中，三個(gè)小的、扁平的支座或三個(gè)小的球形突出可以形成在樞軸支撐件12或基底16中，用于維持間隙34并且將樞軸支撐件12支撐在基底16上。
樞軸表面15可以被固定至槽28，樞軸支撐件12可以通過諸如粘結(jié)劑或焊料等適當(dāng)?shù)慕Y(jié)合材料被固定至基底16。部件安裝座14、樞軸支撐件12和基底16可以是透明的以允許適當(dāng)?shù)妮椛洌员憷弥T如粘接劑或通過激光焊接將樞軸表面15固定至槽28，并將樞軸支撐件12固定至基底16。部件安裝座14、樞軸支撐件12和基底16可以是諸如金屬、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體或塑料等適當(dāng)?shù)牟牧匣蜻@些材料的組合，并且具有涂層以便于結(jié)合。樞軸支撐件12能夠包括彎曲的樞軸表面，部件安裝座14可被構(gòu)造成帶有槽，所述槽允許部件安裝座14樞轉(zhuǎn)并且允許對(duì)光纖18進(jìn)行高度調(diào)整。部件安裝座14、樞軸支撐件12和基底16也可以通過模塑制成。
在另一方面中，在接觸線20和接觸面22處可以涂敷非常薄的結(jié)合材料層。薄的結(jié)合材料層可以分別用作樞軸表面15與槽28之間以及樞軸支撐件12與基底16之間的潤(rùn)滑劑，使得調(diào)整變得容易。結(jié)合材料層應(yīng)該較薄，使得固化或固定期間結(jié)合層的尺寸改變小于最終的對(duì)準(zhǔn)精度需求。在該方面中，結(jié)合層的厚度比光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座10的Y方向的高度可調(diào)性的范圍小很多。
有益地利用光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座10的示例性光纖激光源被示出在圖3-5中。然而，本發(fā)明可應(yīng)用于其他光學(xué)器件和其他類型的光學(xué)部件。
圖3是基底16的俯視圖，圖4是基底16的側(cè)視圖。激光器40、監(jiān)測(cè)光電二極管42和熱敏電阻44也安裝至基底16上。為了獲得從激光器40輸出至光纖18的高的耦合效率，激光器40可以被激勵(lì)，光纖18的芯可以相對(duì)于激光器40的發(fā)射面被有效地對(duì)準(zhǔn)。光纖18的輸出被檢測(cè)器(未示出)檢測(cè)，并且光纖18可以沿X、Y、Z、θY和θZ方向被對(duì)準(zhǔn)，如上參考圖2A、2B和2C所示，以便優(yōu)化激光器40與光纖18之間的光耦合。光纖18的尖端形狀也可以被設(shè)置為形成透鏡，以便提高耦合效率。
光纖激光源58的透視圖示出在圖5中?；?6被安裝在封裝50中。電引線52提供與操作激光源58所需的外部電路之間的連接。在封裝50中的絲焊焊盤51允許進(jìn)行絲焊，從而將激光器40、監(jiān)測(cè)光電二極管44和熱敏電阻46電連接至電引線52。光纖18被進(jìn)給通過套圈54?？?6允許激光源58的安裝。蓋子可以被釬焊、焊接或粘結(jié)結(jié)合以密封封裝50的頂部，玻璃、焊料或粘結(jié)劑的密封劑可以形成在光纖18與套圈54之間。
在另一方面中，部件安裝座14、樞軸支撐件12和基底16可以由適當(dāng)?shù)牟牧现瞥桑T如不銹鋼或科瓦鐵鎳鈷合金等，并且通過激光焊接焊接在一起，諸如利用脈沖Nd:YAG激光器。角焊縫可以形成在焊接位置23和25，如圖6所示。優(yōu)選的是，焊接位置23被同時(shí)制成，并且相等的能量和能量密度被施加到焊接位置23。這樣在熔池冷卻時(shí)可減小部件安裝座14相對(duì)于樞軸支撐件12的任何移動(dòng)。優(yōu)選的是，焊接位置25也被同時(shí)制成，并且相等的能量和能量密度被施加到焊接位置25。這樣在熔池冷卻時(shí)減小樞軸支撐件12相對(duì)于基底16的任何移動(dòng)。
如上所述，能夠使用光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座10沿X、Y、Z、θY和θZ方向調(diào)整光纖18或其他光學(xué)元件的位置，以保持堅(jiān)固支撐。本發(fā)明的另一實(shí)施例示出在圖7-9中，該實(shí)施例附加地允許諸如光纖準(zhǔn)直儀等光學(xué)元件沿θX方向被調(diào)整，并且保持堅(jiān)固支撐。圖7是光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座60的分解透視圖，圖8是光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座60的前視圖。示例性光學(xué)部件——光纖準(zhǔn)直儀66通過V形凹槽76或其他適當(dāng)?shù)陌惭b技術(shù)被固定至部件安裝座64。光纖準(zhǔn)直儀66從部件安裝座64的樞軸位置P偏移。部件安裝座64具有球形的樞軸表面65，該樞軸表面65能夠接合樞軸支撐件62且允許部件安裝座64圍繞樞軸位置P沿θX、θY和θZ方向旋轉(zhuǎn)或轉(zhuǎn)動(dòng)。在該方面中，樞軸位置P是位于樞軸表面65的曲率中心處的點(diǎn)。樞軸支撐件62被示出具有接合樞軸表面65的孔形槽74。槽74還可以被斜切或是允許部件安裝座64沿θX、θY和θZ方向轉(zhuǎn)動(dòng)的圓錐形凹陷。樞軸表面65形成與樞軸支撐件62的圓形線接觸。圖9是樞軸支撐件62的仰視圖，示出了接觸基底72的樞軸支撐件62底部上的三個(gè)小支座68。
通過圍繞樞軸位置P沿θZ方向旋轉(zhuǎn)部件安裝座64，準(zhǔn)直儀66在Y方向上的高度被調(diào)整。通過相對(duì)于基底72分別沿X和Z方向平移樞軸支撐件62，沿X和Z方向調(diào)整準(zhǔn)直儀66。通過分別沿θX和θY方向旋轉(zhuǎn)部件安裝座64完成在θX和θY方向上的調(diào)整。可以通過在準(zhǔn)直儀66被固定至部件安裝座64之前旋轉(zhuǎn)在V形凹槽76中的準(zhǔn)直儀66來在θZ方向上調(diào)整準(zhǔn)直儀66。
可以通過諸如粘結(jié)劑或焊料等適當(dāng)?shù)慕Y(jié)合材料，將樞軸表面65固定至槽74，并且將樞軸支撐件62固定至基底72。部件安裝座64、樞軸支撐件62和基底72可以是透明的以允許適當(dāng)?shù)妮椛?，從而諸如通過粘結(jié)劑或激光焊接將樞軸表面65固定至槽74以及將樞軸支撐件固定至基底72。部件安裝座64、樞軸支撐件62和基底72可以是諸如金屬、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體或塑料等適當(dāng)?shù)牟牧匣蜻@些材料的組合，并且具有涂層以便于結(jié)合。部件安裝座64、樞軸支撐件62和基底76也可以通過模塑制成。樞軸支撐件62可包括彎曲的樞軸表面，并且部件安裝座64可以被構(gòu)造成具有槽，所述槽允許部件安裝座64樞轉(zhuǎn)并且允許對(duì)光纖準(zhǔn)直儀66進(jìn)行高度調(diào)整。非常薄的結(jié)合材料層可以選擇性地涂敷在樞軸表面65與槽74之間的支撐位置以及支座68與基底72之間的支撐位置70處。薄的結(jié)合材料層可以用作潤(rùn)滑劑使調(diào)整變得容易。結(jié)合材料層應(yīng)該較薄，以便固化或固定期間結(jié)合層的尺寸改變小于最終的對(duì)準(zhǔn)精度需求。結(jié)合層的厚度比光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座60的Y方向高度可調(diào)性的范圍小很多。
在另一方面中，樞軸表面可以直接接合基底。如圖10所示。光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座80包括部件保持件84和球形樞軸86。樞軸86結(jié)合基底88。示例性光學(xué)部件——透鏡82被固定至部件保持件84。通過沿θZ方向樞轉(zhuǎn)部件保持件84，調(diào)節(jié)透鏡82在Y方向上的高度。也可以通過分別沿X、Z、θX和θY方向移動(dòng)部件保持件84而沿X、Z、θX和θY方向調(diào)整透鏡82的位置。樞軸86可以通過諸如粘結(jié)劑或焊料等適當(dāng)?shù)慕Y(jié)合材料被固定至基底88。樞軸86和基底88可以是諸如金屬、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體或塑料適當(dāng)?shù)牟牧匣蜻@些材料的組合，并且具有涂層以便于結(jié)合。在另一方面中，樞軸86和基底88由金屬制成，諸如不銹鋼、科瓦鐵鎳鈷合金或英瓦合金等。然后，可以通過電阻焊接或激光焊接將樞軸86固定至基底88。
盡管已經(jīng)參考優(yōu)選實(shí)施例描述了本發(fā)明，然而本領(lǐng)域技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到，在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，能夠在形式和細(xì)節(jié)上有所改變。諸如透鏡、檢測(cè)器和光源等其他光學(xué)部件可以通過本發(fā)明被精確對(duì)準(zhǔn)。很多光學(xué)部件可以被預(yù)先裝配在一起，然后通過本發(fā)明作為單個(gè)裝置被對(duì)準(zhǔn)。諸如光纖多路分解器和光學(xué)放大器等其他光學(xué)器件可以使用本發(fā)明的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座。樞軸表面不必是球形的或圓柱形的，但應(yīng)該是彎曲的以便在部件安裝座被樞轉(zhuǎn)時(shí)允許光學(xué)部件的高度被調(diào)整。部件安裝座可以具有槽，并且樞軸支撐件可以具有樞軸表面。可以通過各向異性地蝕刻適當(dāng)取向的單晶硅來制造槽。
本發(fā)明能夠通過樞轉(zhuǎn)光學(xué)部件安裝座在對(duì)準(zhǔn)期間使光學(xué)部件升高或降低。在該高度調(diào)整及光學(xué)部件在其他自由度上的對(duì)準(zhǔn)期間，樞軸表面與槽之間的堅(jiān)固支撐被保持。由此，結(jié)合后移動(dòng)所引起的對(duì)準(zhǔn)誤差被顯著減小。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，用于調(diào)整光學(xué)部件相對(duì)于襯底的高度，包括部件安裝座，其適于容納光學(xué)部件，所述部件安裝座具有樞軸表面；以及樞軸支撐件，其被構(gòu)造用于接合部件安裝座的樞軸表面，以改變光學(xué)部件相對(duì)于襯底的高度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述樞軸支撐件包括槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述槽包括V形凹槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述部件安裝座包括圓柱形樞軸表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述槽包括孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述部件安裝座包括球形樞軸表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述孔被斜切。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，包括結(jié)合材料，用于將部件安裝座緊固地固定到樞軸支撐件。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述結(jié)合材料包括粘結(jié)劑。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述結(jié)合材料包括焊料。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述部件安裝座被焊接至樞軸支撐件。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，與光學(xué)部件相互作用的光大致平行于襯底的平面被導(dǎo)向。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述光耦合至另一個(gè)被安裝至襯底的光學(xué)部件。
14.一種光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，用于調(diào)整光學(xué)部件相對(duì)于襯底的高度，包括帶有彎曲樞軸表面的光學(xué)部件安裝座，所述光學(xué)部件安裝座適于容納光學(xué)部件，所述樞軸表面的曲率中心確定樞軸點(diǎn)；以及樞軸支撐件，其適于接合光學(xué)部件安裝座的樞軸表面，以改變光學(xué)部件相對(duì)于襯底的高度。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述光學(xué)部件從所述樞軸點(diǎn)偏移。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述彎曲樞軸表面是圓柱形的。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述彎曲樞軸表面是球形的。
18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述樞軸支撐件包括槽。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述槽包括V形凹槽。
20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述槽包括孔。
21.根據(jù)權(quán)利要求14所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，包括結(jié)合材料，所述結(jié)合材料將光學(xué)部件安裝座緊固地固定到樞軸支撐件。
22.根據(jù)權(quán)利要求20所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述結(jié)合材料包括粘結(jié)劑。
23.根據(jù)權(quán)利要求20所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述結(jié)合材料包括焊料。
24.根據(jù)權(quán)利要求14所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述部件安裝座被緊固地固定至樞軸支撐件。
25.根據(jù)權(quán)利要求14所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，與光學(xué)部件相互作用的光大致平行于襯底的平面被導(dǎo)向。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，其中，所述光耦合至另一個(gè)被安裝至襯底的光學(xué)部件。
27.一種光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座，用于調(diào)整光學(xué)部件相對(duì)于襯底的高度，包括光學(xué)部件安裝座，其適用于容納光學(xué)部件，并且進(jìn)一步具有槽；以及帶有彎曲樞軸表面的樞軸支撐件，所述彎曲樞軸表面被構(gòu)造用于接合光學(xué)部件安裝座的槽，以改變光學(xué)部件相對(duì)于襯底的高度。
28.一種用于調(diào)整光學(xué)部件相對(duì)于襯底的高度的方法，包括獲得適于容納光學(xué)部件的光學(xué)部件安裝座；將光學(xué)部件安裝座放置在樞軸支撐件中；樞轉(zhuǎn)在樞軸支撐件中的光學(xué)部件安裝座，以改變光學(xué)部件相對(duì)于襯底的高度。
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的方法，其中，所述光學(xué)部件安裝座具有球形表面。
30.根據(jù)權(quán)利要求28所述的方法，其中，包括固定光學(xué)部件安裝座，以將光學(xué)部件固定在希望的高度處。
31.根據(jù)權(quán)利要求30所述的方法，其中，所述固定包括結(jié)合。
32.根據(jù)權(quán)利要求28所述的方法，其中，與光學(xué)部件相互作用的光大致平行于襯底的平面被導(dǎo)向。
33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的方法，其中，所述光耦合至另一個(gè)被安裝至襯底的光學(xué)部件。
全文摘要
一種光學(xué)對(duì)準(zhǔn)安裝座(10)，用于調(diào)整光學(xué)部件(18)的高度，包括部件安裝座(14)，其適用于容納光學(xué)部件(18)。所述部件安裝座具有樞軸表面，所述樞軸表面被例如包括V形凹槽的樞軸支撐件接合。安裝座(14)中的光學(xué)部件(18)的高度能夠根據(jù)需要被調(diào)整和固定。
文檔編號(hào)G02B6/38GK1675572SQ03819579
公開日2005年9月28日 申請(qǐng)日期2003年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月20日
發(fā)明者蒂莫西·A·什昆尼斯, 約翰·P·科尼賽克, 邁克爾·克尼佩爾 申請(qǐng)人:賽博光學(xué)公司