專利名稱：黑底基板的制造方法、黑底基板和濾色器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及使用黑色感光性抗蝕劑的黑底基板的制造方法、由該方法制造的基板、和使用該基板的濾色器。
背景技術：
濾色器是在透明基板上相互間隔地配置的多個濾色區(qū)域而構成。以前，為了防止從插入了濾色器的液晶顯示板的外周部漏出背面光，在個濾色區(qū)域的外周部形成寬1～10毫米左右的框狀遮光性圖案(黑底)。
通常，黑底多數情況是在透明基板上由微細圖案構成的金屬薄膜形成。例如，通過蒸鍍法、濺射法等真空成膜法在基板上形成鉻、鎳、鋁等金屬或金屬化合物的薄膜之后，通過照相平版印刷法加工該薄膜而形成微細圖案的方法是熟知的。更具體地說，在金屬或金屬化合物的薄膜上涂布光致抗蝕劑、進行干燥、通過光掩模為媒介對該光致抗蝕劑膜照射紫外線，通過顯影形成抗蝕圖案之后，蝕刻金屬或金屬化合物的薄膜，經過抗蝕劑剝離步驟形成黑底。
但是，用上述方法制得的黑底基板因為其制造步驟復雜，制造成本非常高。因此，使用該基板的濾色器的成本也高。另外，黑底的制造中通常使用的金屬的薄膜(例如鉻薄膜)表面的反射率是高的，因此，在透過型液晶顯示器中搭載了具有由金屬薄膜構成的黑底的濾色器的場合，在有強的外來光入射至濾色器上時，顯示品質顯著降低。
鑒于這種情況，正在研究具有使用黑色感光性抗蝕劑形成的黑底的濾色器。
但是，使用上述黑色感光性抗蝕劑形成的黑底同透明基板的密合性是弱的，因此，將具有該黑底的濾色器組裝至液晶顯示板中之后，有時黑底會從與透明基板的界面上剝離下來。
日本國特開平10-133370號公報中，公開了為提高同透明基板的密合性而添加硅烷偶合劑的黑色感光性抗蝕劑。但是，在使用該黑色感光性抗蝕劑的場合，同透明基板的密合性效果得以改善，顯影時，抗蝕劑殘渣殘留在透明基板的不需要部分。另外，在這些抗蝕劑中硅烷偶合劑同空氣中的水分反應，因此不能回收再生抗蝕劑，在經濟上是不利的。
因此，本發(fā)明的目的是提供一種制造黑底基板的方法，該基板具有同透明基板之間有實用上充分的密合性的黑底。
另外，本發(fā)明的另一目的是提供由此種方法制造的基板、和使用該基板的濾色器。
本發(fā)明者為解決上述課題進行了潛心研究，結果發(fā)現，在透明基板上涂布黑色感光性抗蝕劑，以光掩模為媒介從黑色感光性抗蝕劑涂布面?zhèn)日丈浠钚阅芰烤€，顯影形成黑底圖案之后，通過從上述黑色感光性抗蝕劑涂布面的相反側的透明基板側照射活性能量線，可得到具有同透明基板之間有實用上充分的密合性的黑底的黑底基板，從而實現本發(fā)明。
也就是說，本發(fā)明提供一種黑底基板的制造方法，其特征在于，在具有第一主面和該第一主面的相反側的第二主面的透明基板的該第一主面上實質上全面地涂布黑色感光性抗蝕劑，對該涂布的黑色感光性抗蝕劑層，通過光掩模為媒介從前述第一主面?zhèn)日丈涞谝换钚阅芰烤€，將該第一活性能量線照射的黑色感光抗蝕劑層供作顯影處理以形成黑底圖案，其次，對該黑底圖案，從前述第二主面?zhèn)日丈涞诙钚阅芰烤€。
在本發(fā)明中，黑色感光性抗蝕劑，通常包含黑色顏料和活性能量線固化性化合物。
在本發(fā)明中，前述第二活性能量線的線量優(yōu)選是前述第一活性能量線的線量的0.1％～150％。
另外，本發(fā)明提供一種用本發(fā)明的制造方法制造的黑底基板。
本發(fā)明還提供一種濾色器，其特征在于，在本發(fā)明的黑底基板上，形成除黑色以外的至少兩色的濾色區(qū)域。
以下更詳細地說明本發(fā)明。
在本說明書中，黑底基板就是指在透明基板上形成黑底的基板。
為了制造本發(fā)明的黑底基板，首先，在透明基板的一個表面(第一主面)上實質上全面地涂布黑色感光性抗蝕劑。
作為可在本發(fā)明中使用的透明基板，可使用堿石灰玻璃、低堿硼硅酸玻璃、無堿鋁硼硅酸玻璃之類的玻璃板、和聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚對苯二酸乙二酯之類的樹脂。通常地，黑底對玻璃基板具有密合性低的傾向，因此通過本發(fā)明的方法在玻璃基板上形成黑底時具有許多優(yōu)點。另外，在玻璃基板和樹脂基板的表面上，可以形成由氧化銦、氧化錫之類的透明金屬氧化物材料構成的透明電極以用于液晶驅動。
可用于本發(fā)明的黑色感光性抗蝕劑至少含有黑色顏料和活性能量線固化性化合物。
作為黑色顏料，可以使用碳黑、鈦黑、苯胺黑、蒽酚系黑色顏料、苝系黑色顏料、具體地說，可使用C.I.Pignent black 1、6、7、12、20、31、32等，但是從價格、遮光性方面考慮優(yōu)選使用碳黑。碳黑可以用樹脂等進行表面處理。
黑色感光性抗蝕劑中的黑色顏料的含量以黑色感光性抗蝕劑的總重量為基準優(yōu)選是3～80重量％。黑色顏料的含量不滿3重量％時，黑底的單位膜厚的遮光性具有降低的傾向，而如果超過80重量％，有難以形成薄膜的傾向。
黑色感光性抗蝕劑中，除了黑色顏料之外，為了提高黑色顏料的分散性、調整色調等、可以添加黑色顏料以外的偶氮顏料、酞菁系顏料、蒽系顏料、靛系顏料、perinone系顏料、苝系顏料、酞酮系顏料、二噁嗪系顏料、喹丫酮系顏料、異吲哚滿系顏料、金屬配位化合物系顏料、次甲基·偶氮次甲基系顏料、二氧代吡咯并吡咯系顏料和這些顏料的衍生物。這些黑色顏料之外的顏料相對于黑色顏料，可以40重量％以下的比率使用。
作為在黑色感光性抗蝕劑中含有的活性能量線固化性化合物，可以使用單體、低聚物、感光性樹脂等。
作為活性能量線固化性的單體和低聚物，例如可以示例性地舉出2-羥乙基(甲基)丙烯酸酯、2-羥丙基(甲基)丙烯酸酯、環(huán)己基(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三環(huán)癸烯(甲基)丙烯酸酯、密胺(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯等各種(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酰胺、N-羥基甲基(甲基)丙烯酰胺、苯乙烯、醋酸乙烯酯、丙烯腈。
作為感光性樹脂，可以使用在具有羥基、羧基、氨基之類的反應性取代基的線狀高分子中通過以異氰酸酯基、醛基、環(huán)氧基等為媒介導入(甲基)丙烯酸酯化合物和肉桂酸之類的光交聯基的樹脂。另外，通過羥基烷基(甲基)丙烯酸酯之類具有羥基的(甲基)丙烯酸酯化合物也可將苯乙烯-馬來酸酐共聚物和α-烯烴-馬來酸酐共聚物之類的含有酸酐基的線狀高分子用作半酯化聚合物。
這些活性能量線固化性化合物可以基于黑色感光性抗蝕劑的總重量的1～97重量％的比率使用。
在用于本發(fā)明中的黑色感光性抗蝕劑中，還可含有通過活性能量線不固化的活化能量線非固化性的熱固化性樹脂、熱塑性樹脂。但是，在濾色器的制造步驟中，為了能夠進行高溫加熱的處理，優(yōu)選使用在加熱處理中耐性也好的樹脂。另外，在濾色器的制造步驟中，為了還能夠進行由各種溶劑和藥品進行的處理，優(yōu)選使用耐溶劑性和耐藥品性優(yōu)良的樹脂。
作為可在黑色感光性抗蝕劑中含有的活性能量線非固化性的熱固化性樹脂和熱塑性樹脂，例如可示例性地舉出丁醛樹脂、苯乙烯-馬來酸共聚物、氯化聚乙烯、氯化聚丙烯、聚氯乙烯、氯乙烯-醋酸乙烯酯共聚物、聚醋酸乙烯酯、聚氨酯系樹脂、酚醛樹脂、聚酯樹脂、丙烯酸系樹脂、醇酸樹脂、苯乙烯樹脂、聚酰胺樹脂、橡膠系樹脂、環(huán)化橡膠、環(huán)氧樹脂、纖維素類、聚丁二烯、聚酰亞胺、苯并鳥糞胺樹脂、密胺樹脂、尿素樹脂。這些活性能量線非固化性樹脂相對于活性能量線固化性化合物可以70重量％以下的比率使用。
另外，在通過紫外線照射使黑色感光性抗蝕劑硬化的場合，在黑色感光性抗蝕劑中含有光引發(fā)劑。作為光引發(fā)劑，可以使用4-苯氧基二氯乙酰苯、4-叔丁基-二氯乙酰苯、二乙氧基乙酰苯、1-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙-1-酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁-1-酮等乙酰苯系光引發(fā)劑、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙基醚、芐基二甲醛縮苯乙酮等苯偶姻系、二苯酮系光引發(fā)劑、二苯甲酮、苯甲酰苯甲酸、苯甲酰苯甲酸甲酯、4-苯基二苯酮、羥基二苯酮、丙烯?；酵?、4-苯甲酰-4’-甲基二苯基硫化物等二苯酮系光引發(fā)劑、噻噸酮、2-氯噻噸酮、2-甲基噻噸酮、異丙基噻噸酮、2，4-二異丙基噻噸酮等噻噸酮系光引發(fā)劑、2，4，6-三氯-s-三嗪、2-苯基-4，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-(對甲氧基苯基)-4，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-(對甲苯基)-4，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-胡椒基(pipenyl)-4，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2，4-二(三氯甲基)-6-苯乙烯基-s-三嗪、2-(萘-1-?；?-4，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基-萘-1-?；?-4，6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2，4-三氯甲基-(胡椒基)-6-三嗪、2，4-三氯甲基(4’-甲氧基苯乙烯基)-6-三嗪等三嗪系光引發(fā)劑和咔唑系光引發(fā)劑、咪唑系光引發(fā)劑。光引發(fā)劑可單獨地使用或兩種以上混合使用。這些光引發(fā)劑可以活性能量線固化性化合物的0.01～100重量％的比率使用。
另外，增感劑也可同光引發(fā)劑一起使用。作為這樣的增感劑，例如可以示例性地舉出α-酰氧基酯(acyloxyme ester)、?；⒀趸铩⒓谆交胰┧?、聯苯酰、9，10-菲醌、樟腦醌、甲基蒽醌、4，4’-二乙基異酞酚酮、3，3’，4，4’-四(丁基過氧化羰基)二苯酮、4，4’-二乙基氨基二苯酮等化合物。這些增感劑，可以活性能量線固化性化合物的100重量％以下的比率使用。
為了使得黑色顏料充分地分散、在透明基板上涂布成所需的膜厚，在本發(fā)明中所用的黑色感光性抗蝕劑中可以含有溶劑。作為溶劑，例如可以使用環(huán)己六醇、乙基溶纖劑乙酸酯、丁基溶纖劑乙酸酯、1-甲氧基-2-丙基乙酸酯、二乙二醇二甲基醚、甲基苯、乙二醇二乙醚、二甲苯、甲基溶纖劑、甲基-正戊基酮、丙二醇單甲醚甲苯、甲基乙基酮、醋酸乙酯、甲醇、乙醇、異丙醇、丁醇、異丁酮、石油系溶劑等。這些溶劑，可以單獨使用，或者兩種以上混合使用。溶劑可以95重量％的比率在黑色感光性抗蝕劑中含有。
優(yōu)選的是，在本發(fā)明中使用的黑色感光性抗蝕劑通過離心分離、燒結過濾器、膜過濾器等手段，除去5微米以上的粗大粒子、優(yōu)選是1微米以上的粗大粒子、更優(yōu)選是0.5微米以上的粗大粒子和混入的灰塵。
調制溶劑顯影型或堿顯影型的黑色感光性抗蝕劑可以通過旋涂法、縫涂法、輥涂法等涂布方法涂布在玻璃板等透明基板上。
所涂布的黑色感光性抗蝕劑層的厚度優(yōu)選是使得最終得到的黑底的厚度為0.1～5微米的范圍的厚度，更優(yōu)選是使得最終得到的黑底的厚度為能實現涂布性和遮光性的平衡的0.4～2微米的范圍的厚度。
涂布后，基板上的感光性抗蝕劑可以干燥以調整涂布基板的操作、圖案的形狀。干燥是使用減壓干燥、常壓風干、加熱干燥等，干燥至所需的溶劑殘留量。干燥后，基板上的黑色抗蝕劑層中可以殘留0～25重量％的溶劑。
在如上所述的透明基板的第一主面上涂布黑色感光性抗蝕劑之后，對黑色感光性抗蝕劑層，通過以光掩模為媒介(選擇性地)從第一主面?zhèn)日丈涞谝换钚阅芰烤€，將被第一活性能量線照射的該黑色感光性抗蝕劑層供作顯影處理而形成黑底。
作為第一活性能量線，可以使用電子線、紫外線、400～500納米的可見光。對于電子線的線源，可以使用熱電子發(fā)射槍、場致發(fā)射槍等。另外，對于紫外線和400～500納米的可見光的線源(光源)，例如可以使用高壓水銀燈、超高壓水銀燈、金屬鹵化物燈、稼燈、氙燈、碳弧燈等。具體地說，作為點光源，從輝度穩(wěn)定性方面看，多數使用氙水銀燈。當然，在本發(fā)明使用的黑色感光性抗蝕劑中含有的活性能量線固化性化合物是通過所述第一活性能量線固化得到的。
第一活性能量線的線量是可適宜地設定在5～1000mJ的范圍內，優(yōu)選是工程上易于管理的50～300mJ的范圍。
再者，為了提高通過第一活性能量線的曝光感度、涂布黑色感光性抗蝕劑、干燥后，通過在該黑色感光性抗蝕劑層上涂布水溶性或堿水溶性樹脂例如聚乙烯醇或水溶性丙烯酸酯樹脂、干燥，形成防止通過氧引起的聚合抑制的膜之后，可以從透明基板的第一主面?zhèn)日丈涞谝换钚阅芰烤€。
為了對經第一活性能量線照射的黑色感光性抗蝕劑層顯影以形成黑底，可以將具有經第一活性能量線照射的黑色感光性抗蝕劑層的透明基板浸漬在由溶劑或堿性液構成的顯影液中，或者可以將如此的顯影液通過噴霧器噴霧至黑色感光性抗蝕劑層整個表面上，通過顯影液除去黑色感光性抗蝕劑層的未照射部、即未固化部分，從而形成所需的黑底圖案。
作為顯影液使用的溶劑，可使用上述的能夠添加至黑色感光性抗蝕劑中的溶劑。另外，作為顯影液使用的堿性液，可使用碳酸鈉、氫氧化鈉等水溶液或二甲基芐胺、三乙二醇胺等液狀有機堿。在顯影液中，也可添加消泡劑和表面活性劑。
對于通過這樣顯影形成的黑底，通過以透明基板為媒介，從透明基板的第二主面?zhèn)日丈涞诙钚阅芰烤€。
作為第二活性能量線的線光源，不僅可以使用第一活性能量線的線源，而且也可以使用各種熒光燈。
第二活性能量線的線量，優(yōu)選是第一能量線的線量的0.1～150％。如果第二活性能量線的線量是第一活性能量線的線量的0.1％以下，則得不到充分的密合性，如果超過150％，則使密合性改善的效果降低。更優(yōu)選的第二活性能量線的線量是第一活性能量線的線量的0.1～90％以便能夠以較少的能量得到實用上充分的效果，特別優(yōu)選的第二活性能量線的線量是第一活性能量線的線量的0.1～60％以利于工程上管理。
雖然通過第二活性能量線的照射提高和黑底圖案的透明基板的密合性的構造是不明確的，但是如果提高第二活性能量線的線量，則同黑底的透明基板的密合性提高的效果降低，因此與僅僅通過活性能量線的線量的增加而促進固化是不同的，據認為是由于透明基板和黑底的密合面的某個地方的固化狀態(tài)變化引起的。
本發(fā)明的濾色器是在以上述方法制造的黑底基板上，形成黑色以外的至少兩色的濾色區(qū)域。濾色區(qū)域的顏色是可從藍色、綠色、紅色、黃色、品紅色、橙色、紫色等之中選擇的大約2～6色。同色系的顏色，可以形成濃度不同的濾色區(qū)域。
作為向黑底基板上形成濾色區(qū)域的方法，可列舉出凹版膠印印刷法、無水膠印印刷法、絲網印刷法、使用溶劑顯影型或堿顯影型著色抗蝕劑的照相平版印刷法、通過膠體粒子的電泳在透明導電膜上電沉積形成著色材料的電沉積法、使在轉印膜的表面上預先形成的濾色區(qū)域層轉印至黑底基板上的轉印法等。
為了使得僅僅通過重復印刷和干燥就能圖案化，作為濾色器的制造方法，印刷法應當是低成本、且批量生產性優(yōu)良。另外，通過印刷技術的發(fā)展，可以進行高尺寸精度的和平滑度的微細圖案的印刷。在通過印刷法制造濾色器的場合，印刷機上的油墨的流動性的控制是重要的，也可通過分散劑或體質顏料調整油墨粘度。
使用溶劑顯影型或堿顯影型著色抗蝕劑的黑底法是在黑底基板上通過旋轉涂布、狹縫涂布、輥涂等涂布方法涂布著色抗蝕劑，其次通過以光掩模為媒介進行紫外線曝光，用溶劑或堿顯影液沖洗未曝光部形成所需的圖案之后，對其它的顏色重復同樣的操作而制造濾色器的方法。該制造方法可制造比上述印刷法精度更高的濾色器。
著色抗蝕劑含有在本發(fā)明中使用的黑色感光性抗蝕劑中含有的黑色顏料之外的所需顏色的著色劑抗蝕劑。作為著色劑，可使用各種耐受性優(yōu)良的色劑，但是從耐光性、耐熱性和耐溶劑性的觀點看優(yōu)選使用顏料，從光吸收能的大小看特別優(yōu)選使用有機顏料。以下，用顏色指數示出了代表性的顏料的具體例。
作為黃色的著色劑，可列舉出Pigment Yellow 12，13，14，20，24，83，86，93，94，109，110，117，125，137，138，139，147，148，153，154，166，173等。
作為橙色的著色劑，可列舉出Pigment Orange 13，31，36，38，40，42，43，5l，55，59，61，64，65等。
作為紅色和品紅色的著色劑，可列舉出Pigment Red 9，97，122，123，144，149，166，168，177，190，192，215，216，224，254，255等。
作為紫色的著色劑，可列舉出Pigment Violet 19，23，29，32，33，36，37，38等。
作為藍色和青色的著色劑，可列舉出Pigment Blue 15(15，15∶1，15∶2，15∶3，15∶4，15∶6等)，21、22、60、64等。
作為綠色的著色劑，可列舉出Pigment Green 7，10，36，47等。
這些著色劑，可以組合使用兩種以上以得到所需的顏色。
以下，基于實施例說明本發(fā)明，但是本發(fā)明不限制于此。另外，以下的實施例和比較例中，“份”表示重量份，“％”表示重量％。
(丙烯酸樹脂溶液的調制)
將800份環(huán)己酮加入至反應容器中，在向反應容器中注入氮氣的同時，加熱至100℃，在該溫度下，在1小時之內滴下由60.0份苯乙烯、60.0份甲基丙烯酸、65.0份甲基丙烯酸甲酯、65.0份甲基丙烯酸丁酯和10.0份偶氮二異丁腈組成的混合物，進一步在100℃下反應3小時之后，加入2.0份偶氮二異丁腈溶解在50份環(huán)己酮中所得的溶液，進一步在100℃下繼續(xù)反應1小時，從而合成樹脂溶液。冷卻至室溫以后，抽取約2克樹脂溶液，在180℃下加熱干燥20分鐘，測定不揮發(fā)成分，根據這個測定結果，添加環(huán)己酮使得最初合成的樹脂溶液中不揮發(fā)成分是20％，從而調制成所需的丙烯酸酯樹脂溶液。另外，丙烯酸酯樹脂的重均分子量是40000。
(黑色感光性抗蝕劑的調制)將8份碳黑(Degussa公司制“Pritex 75”)、0.5份分散劑、24份上述的丙烯酸酯樹脂溶液、和40份環(huán)己酮均勻地混合，采用直徑為1毫米的玻璃珠、用砂磨機分散5小時之后，通過5微米的過濾器濾過而調制成黑色顏料分散體。
將由72.5份上述制得的黑色顏料分散體、5.4份三丙烯酸三羥甲基丙酯(新中村化學社制“NKェステルATMPT”)、0.3份光引發(fā)劑(Ciba Geigy公司制“Irgacure 907”)、0.2份增感劑(保土ケ谷化學社制“EAB-F”)、和21.6份環(huán)己酮組成的混合物均勻地攪拌混合后，用1微米的過濾器濾過而調制成堿顯影型黑色感光性抗蝕劑。
實施例1在100毫米×100毫米、1.1毫米厚的玻璃基板上，使用旋轉涂布器涂布上述黑色感光性抗蝕劑，在70℃下干燥20分鐘?？刮g劑的干燥膜厚是1.0微米。使用超高壓水銀燈、以掩膜為媒介，從抗蝕劑涂布面?zhèn)日丈涔饬繛?00mJ的紫外線(第一活性能量線)。將該涂布基板在2％的碳酸鈉水溶液中浸漬約20秒而進行顯影，形成黑底圖案。
其次，使用高壓水銀燈從抗蝕劑涂布面?zhèn)日丈涔饬繛?0mJ的紫外線(第二活性能量線)。之后，在230℃下加熱1小時，制作成黑底基板。
比較例1除了不進行作為第二活性能量線的紫外線照射之外，與實施例1同樣地制作成黑底基板。
實施例2～5除了將作為第二活性能量線的紫外線的照射條件變更成表1中所示的條件之外，與實施例1同樣地制作成黑底基板。
實施例6～7除了將碳黑變更成Cabot Corporation制的“Monarch 280”、將光引發(fā)劑變更成BASF公司制的“Lucirin TP0”之外，與實施例1同樣地制作成黑底基板。
比較例2除了不進行作為第二活性能量線的紫外線照射之外，與實施例6同樣地制作成黑底基板。
針對上述各實施例和各比較例得到的黑底基板，使用壓力鍋試驗器，在120℃、100％RH、2大氣壓的條件下放置50小時后，基于JIS K5400的基盤目附著性試驗方法評價密合性，計算100個基盤目中的剝離個數。結果示于表1中。
表1

(紅色感光性抗蝕劑的調制)將20份紅色顏料C.I.Pigment Red 254(Ciba Geigy公司制“イルガフオ一レツド B-CF”)、108份上述丙烯酸酯、和100份環(huán)己酮均勻地混合，使用直徑為1毫米的玻璃珠，用砂磨機分散5小時后，用5微米的過濾器濾過而調制成紅色顏料分散體。
將由288份上述制得的紅色顏料分散體、13份三丙烯酸三羥甲基丙酯(新中村化學社制“NKェステルATMPT”)、3份光引發(fā)劑(Ciba Geigy公司制“Irgacure 907”)、1份增感劑(保土ケ谷化學社制“EAB-F”)、和153份環(huán)己酮組成的混合物均勻地攪拌混合后，用1微米的過濾器濾過而調制成紅色抗蝕劑。
(綠色感光性抗蝕劑的調制)將11份綠色顏料C.I.Pigment Green 36(東洋油墨制造株式會社制“リオノ一ルグリ一ン6YK”)、8份黃色顏料C.I.Pigment Yellow 150(ノバイェル社制“フ アンチョンフア一ストイェ口-Y-5668”)、102份上述丙烯酸酯、14份三丙烯酸三羥甲基丙酯(新中村化學社制“NKェステルATMPT”)、4份光引發(fā)劑(Ciba Geigy公司制“Irgacure 907”)、2份增感劑(保土ケ谷化學社制“EAB-F”)、和257份環(huán)己酮混合，與上述紅色感光性抗蝕劑同樣地調制成綠色抗蝕劑。
(藍色感光性抗蝕劑的調制)將30份藍色顏料C.I.Pigment Blue 15∶6(東洋油墨制造株式會社制“リオノ一ノルブル-ES”)、97份上述丙烯酸酯、18份三丙烯酸三羥甲基丙酯(新中村化學社制“NKェステルATMPT”)、4份光引發(fā)劑(Ciba Geigy公司制“Irgacure 907”)、2份增感劑(保土ケ谷化學社制“EAB-F”)、和267份環(huán)己酮混合，與上述紅色感光性抗蝕劑同樣地調制成藍色抗蝕劑。
實施例8～12在實施例1～3和6～7中制成的黑底基板上，與上述黑色感光性抗蝕劑同樣地涂布紅色感光性抗蝕劑，干燥。其次，通過以具有寬100微米的條紋狀的開口部的光掩模為媒介，從涂布面?zhèn)日丈渥贤饩€(曝光)，用5％的碳酸鈉水溶液沖洗未曝光部分，在230℃下用熱風爐烘烤30分鐘，從而在黑底基板上形成寬為100微米的條紋狀的濾紅色區(qū)域。
其次，使用綠色感光性抗蝕劑和上述藍色感光性抗蝕劑，與濾紅色區(qū)域同樣地，依次在黑底基板上形成濾綠色區(qū)域和濾藍色區(qū)域，從而形成濾色器。
比較例3～4除了將黑底基板變更成在比較例1、2中制成的之外，與實施例8同樣地制成濾色器。
對于實施例和比較例中制成的濾色器，評價黑底部分的密合性。而且，密合性的評價是按照與黑底基板的評價同樣地進行。結果是示于表2中。
表2

如上所述，通過本發(fā)明，可以制造與實用性充分的透明基板具有密合性的黑底基板。另外，通過使用本發(fā)明的方法制造的黑底基板，可提供與黑底和透明基板的密合性良好的濾色器。
權利要求
1.一種黑底基板的制造方法，其特征在于，在具有第一主面和該第一主面的相反側的第二主面的透明基板的該第一主面上實質上全面地涂布黑色感光性抗蝕劑，對該涂布的黑色感光性抗蝕劑層，通過光掩模為媒介從前述第一主面?zhèn)日丈涞谝换钚阅芰烤€，將該第一活性能量線照射的黑色感光抗蝕劑層供作顯影處理以形成黑底圖案，其次，對該黑底圖案，從前述第二主面?zhèn)日丈涞诙钚阅芰烤€。
2.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述黑色感光性抗蝕劑包含黑色顏料和活性能量線固化性化合物。
3.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述第二活性能量線的線量是所述第一活性能量線的0.1％～150％。
4.由權利要求1～3任一項所述的方法制造的黑底基板。
5.一種濾色器，其特征在于，在權利要求4所述的黑底基板上，形成黑色以外的至少兩色的濾光區(qū)域。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種黑底基板的制造方法，其特征在于，在具有第一主面和該第一主面的相反側的第二主面的透明基板的該第一主面上實質上全面地涂布黑色感光性抗蝕劑，對該涂布的黑色感光性抗蝕劑層，通過光掩模為媒介從前述第一主面?zhèn)日丈涞谝换钚阅芰烤€，將該第一活性能量線照射的黑色感光抗蝕劑層供作顯影處理以形成黑底圖案，其次，對該黑底圖案，從前述第二主面?zhèn)日丈涞诙钚阅芰烤€。另外，本發(fā)明還公開了通過該方法制得的黑底基板、和使用該黑底基板的濾色器。
文檔編號G02F1/1335GK1420384SQ0215224
公開日2003年5月28日 申請日期2002年11月21日 優(yōu)先權日2001年11月21日
發(fā)明者木村秀一, 齊藤健, 田中英世, 宮村護嗣, 山田和則 申請人:東洋油墨制造株式會社