專利名稱：反射式液晶顯示器的形成方法及其接合墊的排列結(jié)構(gòu)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及液晶顯示器(LCD)的制造技術，特別是關于一種反射式液晶顯示器(reflective LCD)的形成方法及其接合墊的排列結(jié)構(gòu)。
在一典型的反射式液晶顯示器制程中，如

圖1所示，其包括為制作薄膜晶體管構(gòu)造的第一金屬層制程11、非晶硅島(a-Si island)制程12及第二金屬層制程13，后續(xù)尚包括為提高光使用率的散射層(scattering film)制程(bumping)14、蝕刻接觸窗(contact window)的制程15、沉積銦錫氧化物以形成接合墊的制程16及形成反射層(reflector)的制程17。明顯的，縱使在一反射式裝置中不采取銦錫氧化物供作像素電極，額外一道銦錫氧化物光罩制程以形成接合墊仍是TFT陣列制程中必要的程序。此顯然造成制程復雜且冗長，生產(chǎn)效率亦低。而且在蝕刻接觸窗過程中，分別連接至薄膜晶體管閘極與源/汲極的第一及第二金屬層表面容易沾附殘留化學藥劑，此將造成后續(xù)沉積的銦錫氧化物固著于金屬層的表面時，其接著性和導電性差且接觸電阻大，則其間傳遞信號的效率會降低，造成液晶顯示器的品質(zhì)不良。
本發(fā)明采用的技術方案如下一種反射式液晶顯示器的形成方法，該方法形成反射式液晶顯示器的薄膜晶體管陣列同時形成接合墊，包括有如下步驟形成第一金屬層；形成銦錫氧化物在該第一金屬層上；以該第一金屬層制作閘極、掃描墊及資料墊；制作薄膜晶體管構(gòu)造；形成第二金屬層；以該第二金屬層制作源/汲極及資料線；及形成導電層連接該資料墊及資料線。
上述方法更包括形成反射層。
一種反射式液晶顯示器的形成方法，該方法形成反射式液晶顯示器的薄膜晶體管陣列同時形成接合墊，包括有如下步驟形成第一金屬層；
以該第一金屬層制作閘極及掃描線；制作薄膜晶體管構(gòu)造；形成第二金屬層；形成銦錫氧化物在該第二金屬層上；以該第二金屬層制作源/汲極、掃描墊及資料墊；及形成導電層連接該掃描墊及掃描線。
上述方法更包括形成反射層。
一種反射式液晶顯示器的形成方法，該方法形成反射式液晶顯示器的薄膜晶體管陣列同時形成接合墊，包括有如下步驟形成第一金屬層；形成第一銦錫氧化物在該第一金屬層上；以該第一金屬層制作閘極及掃描線；制作薄膜晶體管構(gòu)造；形成第二金屬層；形成第二銦錫氧化物在該第二金屬層上；以該第二金屬層制作源/汲極及資料線；及形成掃描墊及資料墊的接觸窗。
上述方法更包括形成反射層。
上述方法更包括下列步驟以該第一金屬層制作資料墊；以該第二金屬層制作掃描墊；形成第一導電層連接該掃描墊及掃描線；及形成第二導電層連接該資料墊及資料線。
一種反射式液晶顯示器的接合墊的排列結(jié)構(gòu)，包括第一金屬層，其包括閘極；銦錫氧化物，在該第一金屬層上；
第二金屬層，其包括源/汲極；資料線，連接該源極；掃描墊，由該第一金屬層提供；資料墊，由該第一金屬層提供；及該資料墊及資料線連接。
一種反射式液晶顯示器的接合墊的排列結(jié)構(gòu)，包括第一金屬層，其包括閘極；第二金屬層，其包括源/汲極；銦錫氧化物，在該第二金屬層上；掃描線，連接該閘極；掃描墊，由該第二金屬層提供；資料墊，由該第二金屬層提供；及該掃描墊及掃描線連接。
一種反射式液晶顯示器的接合墊的排列結(jié)構(gòu)，包括第一金屬層，其包括閘極；第一銦錫氧化物，在該第一金屬層上；第二金屬層，其包括源/汲極；第二銦錫氧化物，在該第二金屬層上；以該第一金屬層形成的第一接合墊；及以該第二金屬層形成的第二接合墊。
其中上述第一及第二接合墊分別為掃描墊及資料墊。
上述接合墊的排列結(jié)構(gòu)，更包括掃描線，連接該閘極；資料線，連接該源極；該第二接合墊及掃描線連接；及該第一接合墊及資料線連接。
本發(fā)明的反射式液晶顯示器的形成方法及其接合墊的排列結(jié)構(gòu)，為反射式液晶顯示器制造薄膜晶體管陣列時即同時形成接合墊，減少了一道形成接合墊的銦錫氧化物光罩，簡化了制程。
圖2所示為本發(fā)明第一實施例的液晶顯示器制造流程，其在步驟11’中，于完成第一金屬層后隨即沉積一層銦錫氧化物在第一金屬層上，此第一金屬層包括在TFT結(jié)構(gòu)中的閘極與未來的掃描墊及資料墊，后續(xù)的制程12至17與前述圖1所示的習知制造流程相同，但已毋需步驟16的銦錫氧化物沉積，因此減少一道光罩制程，且銦錫氧化物與第一金屬層之間的固著效果較佳。此形成于第一金屬層上的銦錫氧化物在蝕刻接觸窗后即可直接供作接合墊的接觸層。圖3A、圖3B及圖3C為根據(jù)圖2的制程所獲得的結(jié)構(gòu)剖視圖，其中圖3A為TFT構(gòu)造的示意圖，圖3B為掃描墊構(gòu)造的示意圖，圖3C為資料墊構(gòu)造的示意圖。在圖3A中，薄膜晶體管構(gòu)造與習知技術大致相同，其中閘極20a由第一金屬層20提供，其上沉積有銦錫氧化物21，閘極絕緣層22覆蓋在閘極20a上方，其上形成有非晶硅島23，非晶硅島23的表面形成有供作源/汲極接觸的n+區(qū)域24，而源/汲極由第二金屬層25提供，其上再覆蓋絕緣層26及被覆27，被覆27可提供制作散射層，其上再形成反射層28，反射層28在接觸窗29與第二金屬層25連接。在圖3B中，掃描墊20b由第一金屬層20提供，當接觸窗30形成后，掃描墊20b上已經(jīng)形成有銦錫氧化物21。在圖3C中，資料墊20c仍由第一金屬層20提供，此與典型的液晶顯示器不同，然而資料線25d仍由第二金屬層25提供，資料線25d與資料墊20c之間藉由反射層28連接，反射層28在接觸窗31與資料線25d連接，而在接觸窗32與資料墊20c連接，33為資料墊接觸窗。
本發(fā)明第二實施例的液晶顯示器制造流程，如圖4所示，其大致與圖2的實施例相同，但是在步驟11中，第一金屬層制程與前述圖1所示的習知制程相同，而在步驟13’中，于完成第二金屬層后隨即沉積一層銦錫氧化物在第二金屬層上，此第二金屬層包括在TFT結(jié)構(gòu)中的源/汲極與未來的掃描墊及資料墊，同樣的，此實施例毋需步驟16的銦錫氧化物沉積，因此減少一道光罩制程，且銦錫氧化物與第二金屬層之間的固著效果較佳。此形成于第二金屬層上的銦錫氧化物在蝕刻接觸窗后即可直接供作接合墊的接觸層。圖5A、圖5B及圖5C為根據(jù)圖4的制程所獲得的結(jié)構(gòu)剖視圖，其中圖5A為TFT構(gòu)造的示意圖，圖5B為掃描墊構(gòu)造的示意圖，圖5C為資料墊構(gòu)造的示意圖。在圖5A中，薄膜晶體管構(gòu)造與圖3A大致相同，但是第一金屬層20上并未沉積銦錫氧化物，所以閘極20a上沒有銦錫氧化物，而在第二金屬層25上沉積有銦錫氧化物21，其他結(jié)構(gòu)則與圖3A相同。在圖5B中，掃描墊25b由第二金屬層25提供，此與典型的液晶顯示器不同，然而掃描線20d仍由第一金屬層20提供，掃描線20d與掃描墊25b之間藉由反射層28連接，反射層28在接觸窗34與掃描線20d連接，而在接觸窗35與掃描墊25b連接，30為掃描墊接觸窗。在圖5C中，資料墊25c仍由第二金屬層25提供，當接觸窗33形成后，資料墊25c上已經(jīng)形成有銦錫氧化物21。
圖6為本發(fā)明第三實施例的制造流程，其在步驟11’及13’中，分別于完成第一及第二金屬層后隨即沉積一層銦錫氧化物在第一及第二金屬層上，此第一金屬層包括在TFT結(jié)構(gòu)中的閘極與未來的掃描墊，而第二金屬層包括在TFT結(jié)構(gòu)中的源/汲極與未來的資料墊，其他的步驟仍與習知技術相同，同樣的，此實施例不必在蝕刻接觸窗后為接合墊沉積銦錫氧化物，因此減少一道光罩制程，且銦錫氧化物與第一及第二金屬層之間的固著效果較佳。此形成于第一金屬層上的銦錫氧化物在蝕刻接觸窗后即可直接供作掃描墊的接觸層，而形成于第二金屬層上的銦錫氧化物則在蝕刻接觸窗后直接供作資料墊的接觸層。圖7A、圖7B及圖7C為根據(jù)圖6的制程所獲得的結(jié)構(gòu)剖視圖，其中圖7A為TFT構(gòu)造的示意圖，圖7B為掃描墊構(gòu)造的示意圖，圖7C為資料墊構(gòu)造的示意圖。在圖7A中，薄膜晶體管構(gòu)造與習知技術大致相同，只是在第一金屬層20上沉積有銦錫氧化物21a，而在第二金屬層25上沉積有銦錫氧化物21b。在圖7B中，掃描墊20b仍由第一金屬層20提供，當接觸窗30形成后，掃描墊20b上已經(jīng)形成有銦錫氧化物21a。在圖7C中，資料墊25c仍由第二金屬層25提供，當接觸窗33形成后，資料墊25c上已經(jīng)形成有銦錫氧化物21b。
以上所述較佳實施例的目的在于闡明本發(fā)明，而無意對本發(fā)明進行限定，基于以上的說明或從本發(fā)明的實施例學習而作修改或變化是可能的，故本發(fā)明的技術思想企圖應由本案的權(quán)利要求范圍及其均等來決定。
權(quán)利要求
1.一種反射式液晶顯示器的形成方法，其特征在于該方法形成反射式液晶顯示器的薄膜晶體管陣列同時形成接合墊，包括有如下步驟形成第一金屬層；形成銦錫氧化物在該第一金屬層上；以該第一金屬層制作閘極、掃描墊及資料墊；制作薄膜晶體管構(gòu)造；形成第二金屬層；以該第二金屬層制作源/汲極及資料線；及形成導電層連接該資料墊及資料線。
2.如權(quán)利要求1所述的反射式液晶顯示器的形成方法，其特征在于更包括形成反射層。
3.一種反射式液晶顯示器的形成方法，其特征在于該方法形成反射式液晶顯示器的薄膜晶體管陣列同時形成接合墊，包括有如下步驟形成第一金屬層；以該第一金屬層制作閘極及掃描線；制作薄膜晶體管構(gòu)造；形成第二金屬層；形成銦錫氧化物在該第二金屬層上；以該第二金屬層制作源/汲極、掃描墊及資料墊；及形成導電層連接該掃描墊及掃描線。
4.如權(quán)利要求3所述的反射式液晶顯示器的形成方法，其特征在于更包括形成反射層。
5.一種反射式液晶顯示器的形成方法，其特征在于該方法形成反射式液晶顯示器的薄膜晶體管陣列同時形成接合墊，包括有如下步驟形成第一金屬層；形成第一銦錫氧化物在該第一金屬層上；以該第一金屬層制作閘極及掃描線；制作薄膜晶體管構(gòu)造；形成第二金屬層；形成第二銦錫氧化物在該第二金屬層上；以該第二金屬層制作源/汲極及資料線；及形成掃描墊及資料墊的接觸窗。
6.如權(quán)利要求5所述的反射式液晶顯示器的形成方法，其特征在于更包括形成反射層。
7.如權(quán)利要求5所述的反射式液晶顯示器的形成方法，其特征在于更包括下列步驟以該第一金屬層制作資料墊；以該第二金屬層制作掃描墊；形成第一導電層連接該掃描墊及掃描線；及形成第二導電層連接該資料墊及資料線。
8.一種反射式液晶顯示器的接合墊的排列結(jié)構(gòu)，其特征在于包括第一金屬層，其包括閘極；銦錫氧化物，在該第一金屬層上；第二金屬層，其包括源/汲極；資料線，連接該源極；掃描墊，由該第一金屬層提供；資料墊，由該第一金屬層提供；及該資料墊及資料線連接。
9.一種反射式液晶顯示器的接合墊的排列結(jié)構(gòu)，其特征在于包括第一金屬層，其包括閘極；第二金屬層，其包括源/汲極；銦錫氧化物，在該第二金屬層上；掃描線，連接該閘極；掃描墊，由該第二金屬層提供；資料墊，由該第二金屬層提供；及該掃描墊及掃描線連接。
10.一種反射式液晶顯示器的接合墊的排列結(jié)構(gòu)，其特征在于包括第一金屬層，其包括閘極；第一銦錫氧化物，在該第一金屬層上；第二金屬層，其包括源/汲極；第二銦錫氧化物，在該第二金屬層上；以該第一金屬層形成的第一接合墊；及以該第二金屬層形成的第二接合墊。
11.如權(quán)利要求10所述的反射式液晶顯示器的接合墊的排列結(jié)構(gòu)，其特征在于其中該第一及第二接合墊分別為掃描墊及資料墊。
12.如權(quán)利要求10所述的反射式液晶顯示器的接合墊的排列結(jié)構(gòu)，其特征在于更包括掃描線，連接該閘極；資料線，連接該源極；該第二接合墊及掃描線連接；及該第一接合墊及資料線連接。
全文摘要
一種反射式液晶顯示器的形成方法及其接合墊的排列結(jié)構(gòu)，其在為反射式液晶顯示器制作薄膜晶體管構(gòu)造時，直接在第一或第二金屬層上形成銦錫氧化物，使得為掃描墊或資料墊蝕刻接觸窗后即可直接獲得接合墊，因而減少一道形成接合墊的銦錫氧化物光罩，簡化了制程。
文檔編號G02F1/136GK1459655SQ0212025
公開日2003年12月3日 申請日期2002年5月17日 優(yōu)先權(quán)日2002年5月17日
發(fā)明者徐宏輝, 林文堅 申請人:元太科技工業(yè)股份有限公司