亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

像素電路、顯示面板及顯示裝置的制作方法

文檔序號:12128219閱讀:200來源:國知局
像素電路、顯示面板及顯示裝置的制作方法

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種像素電路、顯示面板及顯示裝置。



背景技術(shù):

IGZO(indium gallium zinc oxide)是銦鎵鋅氧化物的縮小,非晶IGZO材料是用于新一代薄膜晶體管技術(shù)中的溝道層材料,是金屬氧化物(Oxide)面板技術(shù)的一種。

利用IGZO技術(shù)可以使顯示屏功耗接近OLED(Organic Light Emitting Diode,有機(jī)發(fā)光二極管),但成本更低,厚度也只比OLED高出25%,且分辨率可以達(dá)到全高清(full HD,1920*1080P)乃至超高清(Ultra Definition,分辨率4k*2k)級別程度。

IGZO是目前非常熱門的應(yīng)用于OLED顯示器中驅(qū)動TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶體管)的襯底材質(zhì),相對于LTPS(Low Temperature Poly-silicon,低溫多晶硅)工藝的背板技術(shù),基于IGZO工藝的TFT具有均勻性好,適合大尺寸顯示等優(yōu)點(diǎn);但是IGZO工藝TFT的遷移率較低,而AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diode,有源矩陣有機(jī)發(fā)光二極管)顯示作為電流驅(qū)動的器件,是需要較大的遷移率。

現(xiàn)有技術(shù)一般通過工藝的提高和改進(jìn)來提高IGZO的遷移率,但是其本身具有一定的極限,對于遷移率的提高效果不是很好。

因此,如何提高IGZO工藝TFT的遷移率是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問題。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于提供一種像素電路、顯示面板及顯示裝置,提升IGZO工藝器件的遷移率,從而提高半導(dǎo)體器件的驅(qū)動能力。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種像素電路,包括開關(guān)晶體管、驅(qū)動晶體管、存儲電容以及發(fā)光二極管,其中,所述驅(qū)動晶體管為雙柵結(jié)構(gòu),所述驅(qū)動晶體管的頂柵連接至一第一參考電壓源,所述驅(qū)動晶體管的底柵通過所述開關(guān)晶體管連接至數(shù)據(jù)信號,所述驅(qū)動晶體管的第一電極連接至一第一參考電壓源,所述驅(qū)動晶體管的第二電極通過所述發(fā)光二極管連接至一第二參考電壓源。

可選的,所述驅(qū)動晶體管的第二電極連接至所述發(fā)光二極管的陽極,所述發(fā)光二極管的陰極連接至所述第二參考電壓源。

可選的,所述開關(guān)晶體管的柵極連接至掃描信號,所述開關(guān)晶體管的第一電極連接至數(shù)據(jù)信號,所述開關(guān)晶體管的第二電極連接至所述驅(qū)動晶體管的底柵。

可選的,所述存儲電容的一端連接至所述驅(qū)動晶體管的底柵,所述存儲電容的另一端連接至所述驅(qū)動晶體管的第一電極。

可選的,所述第一電極為源極,所述第二電極為漏極;或者,所述第一電極為漏極,所述第二電極為源極。

可選的,所述驅(qū)動晶體管為金屬氧化物薄膜晶體管。

可選的,所述驅(qū)動晶體管包括依次設(shè)置于基板上的柵極、柵極絕緣層、金屬氧化物半導(dǎo)體層、刻蝕阻擋層、源/漏極、鈍化層以及導(dǎo)電層,其中,所述柵極為底柵,一部分所述源/漏極作為頂柵。

可選的,所述金屬氧化物半導(dǎo)體層為IGZO層。

相應(yīng)的,本發(fā)明還提供一種顯示面板,包括上述的像素電路。

相應(yīng)的,本發(fā)明還提供一種顯示裝置,包括上述的顯示面板。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供的像素電路、顯示面板及顯示裝置,將驅(qū)動晶體管設(shè)置為雙柵結(jié)構(gòu),其中頂柵連接至第一參考電壓源,底柵通過開關(guān)晶體管連接至數(shù)據(jù)信號,第一電極連接至第一參考電壓源,第二電極通過所述開關(guān)晶體管連接至第二參考電壓源,通過將驅(qū)動晶體管的頂柵與第一參考電壓源連接,增加了驅(qū)動晶體管的遷移率,同時(shí)保持漏電流基本沒有變化,從而達(dá)到提升IGZO工藝器件的遷移率,提高半導(dǎo)體器件的驅(qū)動能力的目的。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一實(shí)施例所提供的像素電路的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為本發(fā)明一實(shí)施例所提供的驅(qū)動晶體管的截面圖;

圖3為本發(fā)明一實(shí)施例所提供的Id-Vg曲線示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂,以下結(jié)合說明書附圖,對本發(fā)明的內(nèi)容做進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例,本領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。

其次,本發(fā)明利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述,在詳述本發(fā)明實(shí)例時(shí),為了便于說明,示意圖不依照一般比例局部放大,不應(yīng)對此作為本發(fā)明的限定。

本發(fā)明的核心思想在于,將驅(qū)動晶體管設(shè)置為雙柵結(jié)構(gòu),其中頂柵連接至第一參考電壓源,底柵通過開關(guān)晶體管連接至數(shù)據(jù)信號,第一電極連接至第一參考電壓源,第二電極通過所述開關(guān)晶體管連接至第二參考電壓源,通過將驅(qū)動晶體管的頂柵與第一參考電壓源連接,增加了驅(qū)動晶體管的遷移率,同時(shí)保持漏電流基本沒有變化,從而達(dá)到提升IGZO工藝器件的遷移率,提高半導(dǎo)體器件的驅(qū)動能力的目的。

圖1為本發(fā)明一實(shí)施例所提供的像素電路的結(jié)構(gòu)示意圖,如圖1所示,本發(fā)明提出一像素電路,包括開關(guān)晶體管SW、驅(qū)動晶體管DR、存儲電容C以及發(fā)光二極管OLED,其中,所述驅(qū)動晶體管DR為雙柵結(jié)構(gòu),所述驅(qū)動晶體管DR的頂柵連接至一第一參考電壓源VDD,所述驅(qū)動晶體管DR的底柵通過所述開關(guān)晶體管SW連接至數(shù)據(jù)信號VDTAT,所述驅(qū)動晶體管DR的第一電極連接至一第一參考電壓源VDD,所述驅(qū)動晶體管DR的第二電極通過所述發(fā)光二極管OLED連接至一第二參考電壓源VSS。

具體的,所述驅(qū)動晶體管DR的頂柵連接至第一參考電壓源VDD,所述驅(qū)動晶體管DR的底柵連接至所述開關(guān)晶體管SW的第二電極,所述驅(qū)動晶體管DR的第一電極連接至第一參考電壓源VDD,所述驅(qū)動晶體管DR的第二電極連接至所述發(fā)光二極管OLED的陽極,所述發(fā)光二極管OLED的陰極連接至第二參考電壓源VSS。所述開關(guān)晶體管SW的柵極連接至掃描信號SCAN,所述開關(guān)晶體管SW的第一電極連接至數(shù)據(jù)信號VDTAT,所述開關(guān)晶體管SW的第二電極連接至所述驅(qū)動晶體管DR的底柵。所述存儲電容C的一端連接至所述驅(qū)動晶體管DR的底柵,所述存儲電容C的另一端連接至所述驅(qū)動晶體管DR的第一電極。

本實(shí)施例中,所述第一電極為源極,所述第二電極為漏極;或者所述第一電極為漏極,所述第二電極為源極。本發(fā)明所有實(shí)施例中采用的晶體管均可以為薄膜晶體管或場效應(yīng)管或其他特性相同的器件。優(yōu)選的,所述驅(qū)動晶體管DR與所述開關(guān)晶體管SW均為薄膜晶體管,更優(yōu)選的,所述驅(qū)動晶體管DR與所述開關(guān)晶體管SW均為金屬氧化物薄膜晶體管。

本發(fā)明通過將驅(qū)動晶體管的頂柵與第一參考電壓源連接,增加了驅(qū)動晶體管的遷移率,同時(shí)保持漏電流基本沒有變化,從而達(dá)到提升IGZO工藝器件的遷移率,提高半導(dǎo)體器件的驅(qū)動能力的目的。

圖2為本發(fā)明一實(shí)施例所提供的驅(qū)動晶體管的截面圖,如圖2所示,所述驅(qū)動晶體管DR包括依次設(shè)置于基板200上的柵極201、柵極絕緣層202、金屬氧化物半導(dǎo)體層203、刻蝕阻擋層(etch stop layer,ESL)204、源/漏極205、鈍化層(passivation,PVX)206以及導(dǎo)電層207,其中,所述柵極201為底柵,一部分所述源極205或漏極205作為頂柵。

具體的,在所述基板200上形成有柵極材料,通過曝光與刻蝕形成所述柵極201;在所述柵極201以及暴露出的所述基板200上形成有柵極絕緣層202;在所述柵極絕緣層202上形成有金屬氧化物半導(dǎo)體材料,通過曝光與刻蝕形成所述金屬氧化物半導(dǎo)體層203,所述金屬氧化物半導(dǎo)體層203位于所述柵極201的正上方;然后在所述金屬氧化物半導(dǎo)體層203以及暴露出的柵極絕緣層202上形成刻蝕阻擋層204,在所述刻蝕阻擋層204上形成有多個(gè)第一通孔,在所述第一通孔及部分所述刻蝕阻擋層204上沉積有金屬層,形成源/漏極205,所述源/漏極205通過第一通孔與所述金屬氧化物半導(dǎo)體層203相連接;在所述源/漏極205以及暴露出的刻蝕阻擋層204上形成鈍化層206,在所述鈍化層206上形成多個(gè)第二通孔,在所述第二通孔以及部分所述鈍化層206上形成導(dǎo)電層207,所述導(dǎo)電層207通過所述第二通孔與所述源/漏極205相連接;所述導(dǎo)電層207內(nèi)形成有第三通孔,所述第三通孔位于兩個(gè)所述第二通孔之間。

所述基板200例如是玻璃基板、塑料基板或不銹鋼基板,所述基板的形狀可為平面、曲面或其他不規(guī)則形狀。所述柵極絕緣層202采用的材料例如為氧化物、氮化物或氧氮化合物。所述刻蝕阻擋層(etch stop layer,ESL)采用的材料例如為氧化物、氮化物或氧氮化合物。所述源/漏極205和導(dǎo)電層207可以為采用鉻(Cr)、鎢(W)、鈦(Ti)、鉈(Ta)、鉬(Mo)、鋁(Al)、銅(Cu)等金屬或合金的單層膜,也可以為采用由多層金屬薄膜構(gòu)成的復(fù)合薄膜,例如,Mo/Cu/Mo的復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)。所述鈍化層(passivation,PVX)206采用的材料例如為氧化物、氮化物或氧氮化合物。所述驅(qū)動晶體管DR的頂柵(一部分所述源/漏極205)連接至第一參考電壓源VDD,底柵通過開關(guān)晶體管SW連接至數(shù)據(jù)信號VDATA,通過頂柵與第一參考電壓源的連接,增加了驅(qū)動晶體管的遷移率,同時(shí)保持漏電流基本沒有變化,從而達(dá)到提升IGZO工藝器件的遷移率,提高半導(dǎo)體器件的驅(qū)動能力的目的。

圖3為本發(fā)明一實(shí)施例所提供的Id-Vg曲線示意圖,如圖3所示,橫坐標(biāo)為電壓Vg,縱坐標(biāo)為電流Ig,其中(1)為采用本發(fā)明所述的像素電路的IGZO工藝TFT器件的Id-Vg曲線,(2)為現(xiàn)有技術(shù)中普通的IGZO工藝TFT器件的Id-Vg曲線,并且兩個(gè)IGZO工藝TFT器件的溝道具有相同的寬長比。從圖3中可以看出,與普通的IGZO工藝TFT器件相比,本發(fā)明所述的像素電路的IGZO工藝TFT器件擁有較高的電子遷移率。

相應(yīng)的,本發(fā)明還提供一種顯示面板,所述顯示面板包括上述的像素電路。

本實(shí)施例的顯示面板中具有上述的像素電路,故將驅(qū)動晶體管設(shè)置為雙柵結(jié)構(gòu),其中頂柵連接至第一參考電壓源,底柵通過開關(guān)晶體管連接至數(shù)據(jù)信號,第一電極連接至第一參考電壓源,第二電極通過所述開關(guān)晶體管連接至第二參考電壓源,通過將驅(qū)動晶體管的頂柵與第一參考電壓源連接,增加了驅(qū)動晶體管的遷移率,同時(shí)保持漏電流基本沒有變化,從而達(dá)到提升IGZO工藝器件的遷移率,提高半導(dǎo)體器件的驅(qū)動能力的目的。

相應(yīng)的,本發(fā)明還提供一種顯示裝置,所述顯示裝置包括上述的顯示面板。

本實(shí)施例中的顯示裝置具有上述的顯示面板,故將驅(qū)動晶體管設(shè)置為雙柵結(jié)構(gòu),其中頂柵連接至第一參考電壓源,底柵通過開關(guān)晶體管連接至數(shù)據(jù)信號,第一電極連接至第一參考電壓源,第二電極通過所述開關(guān)晶體管連接至第二參考電壓源,通過將驅(qū)動晶體管的頂柵與第一參考電壓源連接,增加了驅(qū)動晶體管的遷移率,同時(shí)保持漏電流基本沒有變化,從而達(dá)到提升IGZO工藝器件的遷移率,提高半導(dǎo)體器件的驅(qū)動能力的目的。

綜上所述,本發(fā)明提供的像素電路、顯示面板及顯示裝置,將驅(qū)動晶體管設(shè)置為雙柵結(jié)構(gòu),其中頂柵連接至第一參考電壓源,底柵通過開關(guān)晶體管連接至數(shù)據(jù)信號,第一電極連接至第一參考電壓源,第二電極通過所述開關(guān)晶體管連接至第二參考電壓源,通過將驅(qū)動晶體管的頂柵與第一參考電壓源連接,增加了驅(qū)動晶體管的遷移率,同時(shí)保持漏電流基本沒有變化,從而達(dá)到提升IGZO工藝器件的遷移率,提高半導(dǎo)體器件的驅(qū)動能力的目的。

上述描述僅是對本發(fā)明較佳實(shí)施例的描述,并非對本發(fā)明范圍的任何限定,本發(fā)明領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾,均屬于權(quán)利要求書的保護(hù)范圍。

當(dāng)前第1頁1 2 3 
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點(diǎn)贊!
1