專利名稱：電泳顯示面板及其制作方法與電泳顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種顯示面板及其制作方法與顯示裝置，且特別是涉及一種電泳顯示面板及其制作方法與電泳顯示裝置。
背景技術(shù)：
在發(fā)展平面顯示器的同時，市場上對于具有更輕、更薄及可撓曲的特性一直是未來顯示器主要追求的目標，而電泳顯示器為其中一種備受矚目的顯示器?，F(xiàn)有習知的電泳顯示面板的制作方法是先在基板上形成一透明電極層以及一隔墻結(jié)構(gòu)以定義出多個微杯結(jié)構(gòu)，再將顯示介質(zhì)填入微杯結(jié)構(gòu)內(nèi)而形成多個顯示單位胞，其中顯示介質(zhì)中具有黑色電泳液以及多個白色帶電粒子。然后于微杯結(jié)構(gòu)的頂端依序形成保護層與粘著層，之后再于粘著層相對于保護層的一側(cè)設(shè)置主動元件陣列基板，以使兩基板貼合。此時，整體電泳顯示面板的厚度已有0.8毫米(_)。當主動元件陣列基板的各像素電極與透明電極層之間的電場改變時，白色帶電粒子便會根據(jù)電場方向而向上或向下移動，進而使各像素所對應的區(qū)域呈現(xiàn)出黑色或白色。此外，現(xiàn)有習知為了增加電泳顯示面板的顯示品質(zhì)以及擴大其應用范圍，亦會增加彩色濾光片于電泳顯示面板上。然而，彩色濾光片亦須通過光學膠或雙面膠來貼附于電泳顯示面板上。如此一來，貼附于電泳顯示面板上的膜片亦造成電泳顯示裝置的厚度增加，而使用光學膠或雙面膠則會使電泳顯示面板與此膜片之間產(chǎn)生空隙，進而提高電泳顯示裝置整體的反射率損失。有鑒于上述現(xiàn)有的電泳顯示面板及其制作方法存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn)品設(shè)計制造多年豐富的實務(wù)經(jīng)驗以及專業(yè)知識，配合學理的運用，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新的電泳顯示面板及其制作方法與電泳顯示裝置，能夠改進現(xiàn)有的電泳顯示面板及其制作方法，使其更具有實用性。經(jīng)過不斷的研究、設(shè)計，經(jīng)過反復試作樣品及改進后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實用價值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個目的是在于，克服現(xiàn)有的電泳顯示面板存在的缺陷，而提供一種電泳顯示面板，其具有較薄的厚度。本發(fā)明的另一個目的是在于，克服現(xiàn)有的電泳顯示面板制作方法存在的缺陷，而提供一種電泳顯示面板的制作方法，用以制作上述的電泳顯示面板。本發(fā)明的再一個目的是在于，克服現(xiàn)有的電泳顯示面板存在的缺陷，而提供一種電泳顯示裝置，其具有較佳的顯示品質(zhì)。本發(fā)明提出一種電泳顯示面板的制作方法，其包括以下步驟。提供一透明基板。透明基板具有彼此相對的一上表面與一下表面、多個位于上表面的第一凹槽以及多個位于下表面的第二凹槽。 形成一主動元件陣列于透明基板的上表面，其中主動元件陣列覆蓋上表面與第一凹槽。形成一保護層于透明基板的上表面，其中保護層至少覆蓋主動元件陣列。配置多個電泳顯示介質(zhì)于透明基板的下表面，其中電泳顯示介質(zhì)在透明基板的上表面上的正投影與主動元件陣列于透明基板的上表面上的正投影至少部分重疊。形成一透明導電層于透明基板的下表面，其中電泳顯示介質(zhì)位于透明導電層與透明基板的下表面之間。在本發(fā)明的一實施例中，上述的透明基板為一可撓性基板，且透明基板的厚度小于100微米。在本發(fā)明的一實施例中，上述的第一凹槽與第二凹槽彼此相對，而每一第一凹槽與對應的第二凹槽彼此不相連且具有一間隔距離，間隔距離小于80微米。在本發(fā)明的一實施例中，上述的每一第一凹槽的孔徑與每一第二凹槽的孔徑介于0.1微米至800微米之間。在本發(fā)明的一實施例中，上述的電泳顯示介質(zhì)位于第二凹槽內(nèi)，且透明導電層覆蓋電泳顯示介質(zhì)與透明基板的下表面。在本發(fā)明的一實施例中，上述的主動元件陣列包括多條掃描線、多條數(shù)據(jù)線以及多個主動元件。掃描線與數(shù)據(jù)線相交。每一主動元件連接于對應的掃描線與對應的數(shù)據(jù)線。每一主動元件包括一柵極、一覆蓋柵極的柵絕緣層、一配置于柵絕緣層上的半導體通道層、一汲極、一源極以及一配置于源極與半導體通道層之間及汲極與半導體通道層之間的歐姆接觸層。汲極的一部分延伸覆蓋于鄰近的第一凹槽。在本發(fā)明的一實施例中，上述的電泳顯示面板的制作方法，更包括:配置電泳顯示介質(zhì)于透明基板的下表面之前，對透明基板的下表面進行一蝕刻工藝，以使第二凹槽連通第一凹槽，并暴露出位于·第一凹槽內(nèi)的汲極的部分。形成一導電層于透明基板的下表面，其中導電層覆蓋下表面與汲極被暴露出的部分，并暴露出部分下表面。配置電泳顯示介質(zhì)于透明基板的下表面，其中電泳顯不介質(zhì)位于導電層上。形成一絕緣層于透明基板的下表面，其中絕緣層覆蓋電泳顯示介質(zhì)、導電層以及導電層所暴露出的透明基板的部分下表面。形成透明導電層于透明基板的下表面，其中透明導電層覆蓋絕緣層，且電泳顯示介質(zhì)位于透明導電層與導電層之間。在本發(fā)明的一實施例中，上述的每一第一凹槽的孔徑與每一第二凹槽的孔徑介于0.1微米至800微米之間。在本發(fā)明的一實施例中，上述的每一電泳顯示介質(zhì)包括白紅色膠囊、白綠色膠囊、白藍色膠囊、白黃色膠囊、黑紅色膠囊、黑綠色膠囊、黑藍色膠囊、黑黃色膠囊或黑白色膠囊。本發(fā)明提出一種電泳顯示面板，其包括一透明基板、一主動元件陣列、一保護層、多個電泳顯不介質(zhì)以及一透明導電層。透明基板具有彼此相對的一上表面與一下表面、多個位于上表面的第一凹槽以及多個位于下表面的第二凹槽。主動元件陣列配置于透明基板的上表面，其中主動元件陣列覆蓋上表面與第一凹槽。保護層配置于透明基板的上表面，其中保護層至少覆蓋主動元件陣列。電泳顯示介質(zhì)配置于透明基板的下表面，其中電泳顯示介質(zhì)在透明基板的上表面上的正投影與主動元件陣列于透明基板的上表面上的正投影至少部分重疊。透明導電層配置于透明基板的下表面，且電泳顯示介質(zhì)位于透明導電層與透明基板的下表面之間。在本發(fā)明的一實施例中，上述的透明基板為一可撓性基板，且透明基板的厚度小于100微米。
在本發(fā)明的一實施例中，上述的第一凹槽與第二凹槽彼此相對，而每一第一凹槽與對應的第二凹槽彼此不相連且具有一間隔距離，間隔距離小于80微米。 在本發(fā)明的一實施例中，上述的每一第一凹槽的孔徑與每一第二凹槽的孔徑介于0.1微米至800微米之間。在本發(fā)明的一實施例中，上述的電泳顯示介質(zhì)位于第二凹槽內(nèi)，且透明導電層覆蓋電泳顯示介質(zhì)與透明基板的下表面。在本發(fā)明的一實施例中，上述的主動元件陣列包括多條掃描線、多條數(shù)據(jù)線以及多個主動元件。掃描線與數(shù)據(jù)線相交。每一主動元件連接于對應的掃描線與對應的數(shù)據(jù)線。每一主動元件包括一柵極、一覆蓋柵極的柵絕緣層、一配置于柵絕緣層上的半導體通道層、一汲極、一源極以及一配置于源極與半導體通道層之間及汲極與半導體通道層之間的歐姆接觸層，且汲極的一部分延伸覆蓋于鄰近的第一凹槽。在本發(fā)明的一實施例中，上述的電泳顯示面板更包括一導電層以及一絕緣層。導電層配置于透明基板的下表面，其中第二凹槽連通第一凹槽，并暴露出位于第一凹槽內(nèi)的汲極的部分。導電層覆蓋下表面與汲極被暴露出的部分，并暴露出部分下表面。電泳顯示介質(zhì)位于導電層上。絕緣層配置于透明基板的下表面，其中絕緣層覆蓋電泳顯示介質(zhì)、導電層以及導電層所暴露出 的透明基板的部分下表面。電泳顯示介質(zhì)位于透明導電層與導電層之間。透明導電層覆蓋絕緣層。在本發(fā)明的一實施例中，上述的每一第一凹槽的孔徑與每一第二凹槽的孔徑介于
0.1微米至800微米之間。在本發(fā)明的一實施例中，上述的每一電泳顯示介質(zhì)包括白紅色膠囊、白綠色膠囊、白藍色膠囊、白黃色膠囊、黑紅色膠囊、黑綠色膠囊、黑藍色膠囊、黑黃色膠囊或黑白色膠囊。本發(fā)明提出一種電泳顯示裝置，其包括一電泳顯示面板、一導光板、一粘著層以及一光源。電泳顯不面板包括一透明基板、一主動兀件陣列、一保護層、多個電泳顯不介質(zhì)以及一透明導電層。透明基板具有彼此相對的一上表面與一下表面、多個位于上表面的第一凹槽以及多個位于下表面的第二凹槽。主動元件陣列配置于透明基板的上表面，其中主動元件陣列覆蓋上表面與第一凹槽。保護層配置于透明基板的上表面，其中保護層至少覆蓋主動元件陣列。電泳顯示介質(zhì)配置于透明基板的下表面，其中電泳顯示介質(zhì)在透明基板的上表面上的正投影與主動元件陣列于透明基板之上表面上的正投影至少部分重疊。透明導電層配置于透明基板的下表面，且電泳顯示介質(zhì)位于透明導電層與透明基板的下表面之間。導光板配置于電泳顯示面板上。粘著層配置于導光板與電泳顯示面板之間，其中導光板通過粘著層固定于電泳顯示面板的透明導電層上。光源配置于導光板旁。在本發(fā)明的一實施例中，上述的光源包括一發(fā)光二極管?；谏鲜?，本發(fā)明的有益效果包括:本發(fā)明的電泳顯示面板的設(shè)計是在透明基板的上表面配置主動元件陣列，而在透明基板的下表面配置電泳顯示介質(zhì)，且通過凹槽結(jié)構(gòu)的設(shè)計來薄化透明基板。相較于現(xiàn)有習知通過貼合兩片基板所構(gòu)成的電泳顯示面板而言，本發(fā)明的電泳顯示面板可具有較薄的厚度。為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合所附圖式作詳細說明如下。


圖1A至圖1F為本發(fā)明的一實施例的一種電泳顯示面板的制作方法的示意圖。圖2為本發(fā)明的一實施例的一種電泳顯示面板的剖面示意圖。圖3為本發(fā)明的一實施例的一種電泳顯示裝置的剖面示意圖。圖4A至圖4H為本發(fā)明的另一實施例的一種電泳顯示面板的制作方法的剖面示意圖。圖5為本發(fā)明的另一實施例的一種電泳顯示面板的剖面示意圖。圖6為本發(fā)明的另一實施例的一種電泳顯示裝置的剖面示意圖。主要元件符號說明100a、100b:電泳顯示面板110a、IlOb:透明基板112a、112b:上表面114a、114b:下表面116a、116b:第一凹槽118a、118b:第二凹槽120a、120a’:第一圖案化光阻層120b、120b’:第二圖案化光阻層130a、130b:主動元件陣列132a、132b:掃描線

134a、134b:數(shù)據(jù)線136a、136b:主動元件陣列140:保護層150a、150b:電泳顯示介質(zhì)160a、160b:透明導電層170:導電層180:絕緣層200a:電泳顯示裝置210:導光板220:粘著層230:光源G:柵極G1:柵絕緣層CH:半導體通道層0M:歐姆接觸層D、D’:汲極D1、D1’:部分S:源極A、A’:間隔距離P1、P2:孔徑T、T’:厚度
具體實施例方式為進一步闡述本發(fā)明為達成預定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段以及其功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的電泳顯示面板及其制作方法與電泳顯示裝置的具體實施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細說明如后。圖1A至圖1F為本發(fā)明的一實施例的一種電泳顯示面板的制作方法的示意圖。為了方便說明起見，圖1Α、圖1Β、圖1C、圖1D以及圖1F繪示為剖面圖，而圖1E繪示為俯視圖。先參考圖1Α，依照本實施例的電泳顯示面板的制作方法，首先，提供一透明基板110a，其中透明基板IlOa具有彼此相對的一上表面112a與一下表面114a,而上表面112a與下表面114a已分別形成有一第一圖案化光阻層120a與一第二圖案化光阻層120b,且第一圖案化光阻層120a與第二圖案化光阻層120b分別暴露出部分上表面112a與部分下表面114a。于此，形成第一圖案化光阻層120a與第二圖案化光阻層120b的方式例如是通過網(wǎng)版印刷(screen printing)、凹版印刷(gravure printing)或平版印刷(offset printing)涂布光阻層(未繪示)于透明基板IlOa的上表面112a與下表面114a上。接著，再通過曝光與顯影的方式來形成第一圖案化光阻層120a與第二圖案化光阻層120b，其中第一圖案化光阻層120a與第二圖案化光阻層120b可同時制作完成，亦或可先完成第一圖案化光阻層120a的制作后，再進行第二圖案化光阻層120b的制作，在此并不加以限制。于此，透明基板IlOa例如是一可撓性基板，其材質(zhì)例如是玻璃，但本發(fā)明并不以此為限。特別是，本實施例的透明基板IlOa的厚度T例如是小于100微米。接著，請參考圖1B，以第一圖案化光阻層120a及第二圖案化光阻層120b作為蝕刻掩膜，蝕刻透明基板IlOa的上表面112a與下表面114a,而分別于上表面112a與下表面114a形成多個第一凹槽116a與多個第二凹槽118a。于此，第一凹槽116a的深度與第二凹槽118a的深度例如是0.1毫米(mm)以上，且第一凹槽116a與第二凹槽118a彼此相對。特別是，每一第一凹槽116a與對應的第二凹槽118a彼此不相連且具有一間隔距離A，其中此間隔距離A例如是小于80微米。此外，每一第一凹槽116a的孔徑Pl與每一第二凹槽118a的孔徑P2例如是介于0.1微米至800微米之間。需說明的是，在圖1B中所繪示的第一凹槽116a與第二凹槽118a的截面形狀具體化為類V形線性凹槽，但在其他實施例中，第一凹槽116a與第二凹槽118a的截面形狀亦可為U型、矩形或其他適當截面形狀的凹槽，于此并不加以限制。接著，請參考圖1C，移除第一圖案化光阻層120a與第二圖案化光阻層120b，以暴露出透明基板IlOa的上表面112a與下表面114a。至此，已在透明基板IlOa的上表面112a與下表面114a形成第一凹槽116a與第二凹槽118a，而達到薄化部分透明基板IlOa的目的。接著，請同時參考圖1D與圖1E，形成一主動元件陣列130a于透明基板IlOa的上表面112a，其中主動元件陣列130a覆蓋上表面112a與第一凹槽116a。詳細來說，主動元件陣列130a包括 多條掃描線132a、多條數(shù)據(jù)線134a以及多個主動元件陣列136a。掃描線132a與數(shù)據(jù)線134a相交。每一主動元件陣列136a連接于對應的掃描線132a與對應的數(shù)據(jù)線134a。每一主動元件陣列136a包括一柵極G、一覆蓋柵極G的柵絕緣層G1、一配置于柵絕緣層GI上的半導體通道層CH、一汲極D、一源極S以及一配置于源極S與半導體通道層CH之間及汲極D與半導體通道層CH之間的歐姆接觸層0M。于此，汲極D的一部分Dl延伸覆蓋于鄰近的第一凹槽116a。在本實施例中，掃描線132a以及數(shù)據(jù)線134a彼此交越(cross over)設(shè)置。換言之，數(shù)據(jù)線134a的延伸方向與掃描線132a的延伸方向不平行，較佳的是，數(shù)據(jù)線134a的延伸方向與掃描線132a的延伸方向垂直。另外，掃描線132a與數(shù)據(jù)線134a屬于不同的膜層?；趯щ娦缘目剂?，掃描線132a與數(shù)據(jù)線134a —般是使用金屬材料。然，本發(fā)明不限于此，根據(jù)其他實施例，掃描線132a與數(shù)據(jù)線134a也可以使用其他導電材料。例如:合金、金屬材料的氮化物、金屬材料的氧化物、金屬材料的氮氧化物、或其它合適的材料)、或是金屬材料與其它導材料的堆疊層。主動元件陣列136a的柵極G與掃描線132a電性連接，源極S與數(shù)據(jù)線134a電性連接。柵極G是設(shè)置在透明基板IlOa的上表面112a上，且柵極G是與掃描線132a屬于同一膜層,且柵極G的材質(zhì)與掃描線132a的材質(zhì)相同或相似。柵極絕緣層GI的材質(zhì)例如是氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或其疊層等介電材料。半導體通道層CH的材質(zhì)例如是非晶硅、N型重摻雜的非晶硅、多晶硅、金屬氧化物半導體或是其他半導體材料。源極S以及汲極D設(shè)置在半導體通道層CH的兩側(cè)。歐姆接觸層OM的材質(zhì)可為經(jīng)摻雜的非晶硅。接著，請再參考圖1D，形成一保護層140于透明基板IlOa的上表面112a，其中保護層140至少覆蓋主動元件陣列136a，而保護層140的材質(zhì)例如是有機絕緣材質(zhì)或包含無機絕緣材質(zhì)及有機絕緣材質(zhì)所構(gòu)成的疊層。之后，請參考圖1F，翻轉(zhuǎn)透明基板110a，以使透明基板IlOa的下表面114a朝上，并于透明基板IlOa的下表面114a上配置多個電泳顯示介質(zhì)150a。特別是，本實施例的電泳顯示介質(zhì)150a位于透明基板IlOa的第二凹槽118a內(nèi)，且電泳顯示介質(zhì)150a在透明基板IlOa的上表面112a上的正投影與主動元件陣列136a于透明基板IlOa的上表面112a上的正投影至少部分重疊。于此，每一電泳顯示介質(zhì)150a例如是白紅色膠囊、白綠色膠囊、白藍色膠囊、白黃色膠囊、黑紅色膠囊、黑綠色膠囊、黑藍色膠囊、黑黃色膠囊或黑白色膠囊。最后，請再參考圖1F,形成一透明導電層160a于透明基板IlOa的下表面114a,其中電泳顯示介質(zhì)150a位于透明導電層160a與透明基板IlOa的下表面114a之間，且透明導電層160a覆蓋電泳顯示介質(zhì)150a與透明基板IlOa的下表面114a。至此，已完成電泳顯示面板IOOa的制作。圖2為本發(fā)明的一實施例的一種電泳顯示面板的剖面示意圖。在結(jié)構(gòu)上，請參考圖2,本實施例的電泳顯示面板IOOa包括透明基板110a、主動元件陣列130a、保護層140、電泳顯不介質(zhì)150a以及透明導電層160a。透明基板IlOa具有彼此相對的上表面112a與下表面114a、位于上表面112a的第一凹槽116a以及位于下表面114a的第二凹槽118a。于此，第一凹槽116a與第二凹槽118a彼此相對，而每一第一凹槽116a與對應的第二凹槽118a彼此不相連且具有例如是小于80微米的間隔距離A。每一第一凹槽116a的孔徑Pl與每一第二凹槽118a的孔徑P2介于0.1微米至800微米之間。此外，透明基板IIOa例如是一可撓性基板，且透明基板IlOa的厚度小于100微米。主動元件陣列130a配置于透明基板IlOa的上表面112a，其中主動元件陣列130a覆蓋上表面112a與第一凹槽116a，且主動元件陣列130a是由掃描 線132a(請參考圖1E)、數(shù)據(jù)線134a(請參考圖1E)以及主動元件陣列136a所構(gòu)成。掃描線132a與數(shù)據(jù)線134a相交，且每一主動元件陣列130a連接于對應的掃描線132a與對應的數(shù)據(jù)線134a。每一主動元件陣列136a包括柵極G、覆蓋柵極G的柵絕緣層G1、配置于柵絕緣層GI上的半導體通道層CH、汲極D、源極S以及配置于源極S與半導體通道層CH之間及汲極D與半導體通道層CH之間的歐姆接觸層0M，且汲極D的部分Dl延伸覆蓋于鄰近的第一凹槽116a。保護層140配置于透明基板IlOa的上表面112a，其中保護層140至少覆蓋主動元件陣列130a。電泳顯示介質(zhì)150a配置于透明基板IlOa的下表面114a，且電泳顯示介質(zhì)150a位于第二凹槽118a內(nèi)，其中電泳顯示介質(zhì)150a在透明基板IlOa的上表面112a上的正投影與主動元件陣列130a于透明基板IlOa的上表面112a上的正投影至少部分重疊。于此，每一電泳顯示介質(zhì)150a例如是白紅色膠囊、白綠色膠囊、白藍色膠囊、白黃色膠囊、黑紅色膠囊、黑綠色膠囊、黑藍色膠囊、黑黃色膠囊或黑白色膠囊。透明導電層160a配置于透明基板IlOa的下表面114a,其中電泳顯不介質(zhì)150a位于透明導電層160a與透明基板IlOa的下表面114a之間，且透明導電層160a覆蓋電泳顯不介質(zhì)150a與透明基板IlOa的下表面114a。由于本實施例的電泳顯示面板IOOa的設(shè)計是在透明基板IlOa的上表面112a配置主動元件陣列130a，而在透明基板IlOa的下表面114a配置電泳顯示介質(zhì)150a，且通過第一凹槽116a與第二凹槽118a的設(shè)計來薄化透明基板110a。因此，相較于現(xiàn)有習知通過貼合兩片基板所構(gòu)成的電泳顯示面板而言，本實施例的電泳顯示面板IOOa可具有較薄的厚度。再者，由于本實施例的電泳顯示介質(zhì)150a配置于透明基板IlOa的第二凹槽118a內(nèi)，且電泳顯示介質(zhì)150a在透明基板IlOa的上表面112a上的正投影與主動元件陣列130a在透明基板IlOa的上表面112a上的正投影至少部分重疊。因此，主動元件陣列136a的汲極D的部分Dl可通過介于電泳顯示介質(zhì)150a與汲極D的部分Dl之間已薄化的透明基板110a(即第一凹槽116a與第二凹槽118a的所在位置)來驅(qū)動電泳顯示介質(zhì)150a，而產(chǎn)生白色、黑色或彩色的顯示效果。此時，電泳顯示介質(zhì)150a所需的驅(qū)動電壓也會因薄化的透明基板IlOa的設(shè)計而降低。圖3為本發(fā)明的一實施例的一種電泳顯示裝置的剖面示意圖。請參考圖3，本實施例的電泳顯不裝置200a包括前述實施例的電泳顯不面板100a、一導光板210、一粘著層220以及一光源230。電泳顯示面板IOOa請參考前述實施例的說明，此處不再贅述。導光板210配置于電泳顯示面板IOOa上。粘著層220配置于導光板210與電泳顯示面板IOOa之間，其中導光板210通過粘著層220固定于電泳顯不面板IOOa的透明導電層160a上。光源230配置于導光板210旁，其中光源230例如是一發(fā)光二極管。由于本實施例的電泳顯示面板IOOa具有厚度較薄的特性，因此當導光板210通過粘著層220配置于電泳顯不面板IOOa上,且光源230設(shè)置于此導光板210旁時,具有前光源的電泳顯示裝置200a亦可具有較薄的厚度，且導光板210及光源230的設(shè)計亦會提升反射式的電泳顯示面板IOOa的顯示亮度。在此必須說明的是，下述實施例沿用前述實施例的元件標號與部分內(nèi)容，其中采用相同的標號來表示相同或近似的元件，并且省略了相同技術(shù)內(nèi)容的說明。關(guān)于省略部分的說明可參考前述實施例，下述實施例不再重復贅述。

圖4A至圖4H為本發(fā)明的另一實施例的一種電泳顯示面板的制作方法的剖面示意圖。為了方便說明起見，圖4A、圖4B、圖4C、圖4D、圖4F、圖4G及圖4H繪示為剖面圖，而圖4E繪示為俯視圖。先參考圖4A，依照本實施例的電泳顯示面板的制作方法，首先，提供一透明基板110b，其中透明基板IlOb具有彼此相對的一上表面112b與一下表面114b，且上表面112b與下表面114b已分別形成有一第一圖案化光阻層120a’與一第二圖案化光阻層120b’。于此，形成第一圖案化光阻層120a’與第二圖案化光阻層120b’的方式如同前述實施的第一圖案化光阻層120a與第二圖案化光阻層120b的形成方式，且透明基板IlOb的材質(zhì)與前述實施例的透明基板IlOa的材質(zhì)相同，于此不再重復贅述。特別是，本實施例的透明基板IlOb的厚度T’例如是小于100微米。請參考圖4B，以第一圖案化光阻層120a’及第二圖案化光阻層120b’作為蝕刻掩膜，蝕刻透明基板IlOb的上表面112b與下表面114b,而分別于上表面112b與下表面114b形成多個第一凹槽116b與多個第二凹槽118b。于此，第一凹槽116b的深度與第二凹槽118b的深度例如是0.1毫米(mm)以上，且第一凹槽116b與第二凹槽118b彼此相對。特別是，每一第一凹槽116b與對應的第二凹槽118b彼此不相連且具有一間隔距離A’，其中此間隔距離A’例如是小于80微米。此外，每一第一凹槽116b的孔徑P1’與每一第二凹槽118b的孔徑P2’例如是介于0.1微米至800微米之間。需說明的是，在圖1B中所繪示的第一凹槽116b與第二凹槽118b的截面形狀具體化為類V形線性凹槽，但在其他實施例中，第一凹槽116b與第二凹槽118b的截面形狀亦可為U型、矩形或其他適當截面形狀的凹槽，于此并不加以限制。接著，請參考圖4C，移除第一圖案化光阻層120a’與第二圖案化光阻層120b’，以暴露出透明基板IlOb的上表面112b與下表面114b。至此，已在透明基板IlOb的上表面112b與下表面114b形成第一凹槽116b與第二凹槽118b，而達到薄化部分透明基板IlOb的目的。接著，請同時參考圖4D與圖4E，形成一主動元件陣列130b在透明基板IlOb的上表面112b，其中主動元件陣列130b覆蓋上表面112b與第一凹槽116b。詳細來說，主動元件陣列130b包括多條掃描線132b、多條數(shù)據(jù)線134b以及多個主動元件陣列136b。掃描線132b與數(shù)據(jù)線134b相交。每一主動元件136b連接于對應的掃描線132b與對應的數(shù)據(jù)線134b。每一主動元件136b與前述實施的主動元件陣列136a相似，其差異之處僅在于:本實施例的汲極D’的部份D1’會延伸覆蓋于鄰近的第一凹槽116b，且從第一凹槽116b再延伸覆蓋至相鄰的另一主動元件136b所位在位置的透明基板IlOb的上表面112b。接著，請再參考圖4D，形成一保護層140于透明基板IlOb的上表面112b，其中保護層140至少覆蓋主動元件陣列136b，而保護層140的材質(zhì)例如是有機絕緣材質(zhì)或包含無機絕緣材質(zhì)及有機絕緣材質(zhì)所構(gòu)成的疊層。接著，請參考圖4F，翻轉(zhuǎn)透明基板110b，以使透明基板IlOb的下表面114b朝上，并對透明基板IlOb的下表面114b進行一蝕刻工藝，以使第二凹槽118b連通第一凹槽116b,而暴露出位于第一凹槽116b內(nèi)的汲極D’的部分D1’。接著，請參考圖4G,形成一導電層170于透明基板IlOb的下表面114b,其中導電層170覆蓋下表面114b與汲極D’被暴露出的部分D1’，并暴露出透明基板IlOb的部分下表面114b。于此，導電層170的材質(zhì)例如是透明導電材料或非透明導電材料，于此并不加以限制。接著，請參考圖4H，配置電泳顯示介質(zhì)`150b于透明基板IlOb的下表面114b，其中電泳顯不介質(zhì)150b位于導電層170上,且電泳顯不介質(zhì)150b在透明基板IlOb的上表面112b上的正投影與主動元件陣列136b于透明基板IlOb的上表面112b上的正投影至少部分重疊。于此，每一電泳顯示介質(zhì)150b例如是白紅色膠囊、白綠色膠囊、白藍色膠囊、白黃色膠囊、黑紅色膠囊、黑綠色膠囊、黑藍色膠囊、黑黃色膠囊或黑白色膠囊。之后，請再參考圖4H，形成一絕緣層180于透明基板IlOb的下表面114b，其中絕緣層180覆蓋電泳顯示介質(zhì)150b、導電層170以及導電層170所暴露出的透明基板IlOb的部分下表面114b。最后，形成一透明導電層160b于透明基板IlOb的下表面114b,其中透明導電層160b覆蓋絕緣層180,且電泳顯不介質(zhì)150b位于透明導電層160a與導電層170之間。至此，已完成電泳顯示面板IOOb的制作。圖5為本發(fā)明的另一實施例的一種電泳顯不面板的局部俯視不意圖。在結(jié)構(gòu)上，請參考圖5,本實施例的電泳顯示面板IOOb包括透明基板110b、主動元件陣列130b、保護層140、電泳顯示介質(zhì)150b、透明導電層160b、導電層170以及絕緣層180。透明基板IlOb具有彼此相對的上表面112b與下表面114b、位于上表面112b的第一凹槽116b以及位于下表面114b的第二凹槽118b。于此，第一凹槽116b與第二凹槽118b彼此相對，且每一第一凹槽116b的孔徑P1’與每一第二凹槽118b的孔徑P2’介于0.1微米至800微米之間。此夕卜，透明基板IlOb例如是一可撓性基板，且透明基板IlOb的厚度小于100微米。主動元件陣列130b配置于透明基板IlOb的上表面112b，其中主動元件陣列130b覆蓋上表面112b與第一凹槽116b，且主動元件陣列130b是由掃描線132b (請參考圖4E)、數(shù)據(jù)線134b (請參考圖4E)以及主動元件136b所構(gòu)成。掃描線132b與數(shù)據(jù)線134b相交,且每一主動元件陣列130b連接于對應的掃描線132b與對應的數(shù)據(jù)線134b。每一主動元件136b包括柵極G、覆蓋柵極G的柵絕緣層G1、配置于柵絕緣層G工上的半導體通道層CH、汲極D’、源極S以及配置于源極S與半導體通道層CH之間及汲極D’與半導體通道層CH之間的歐姆接觸層0M，且汲極D’的部分D1’延伸覆蓋于鄰近的第一凹槽116b，并從此第一凹槽116b再延伸覆蓋于相鄰的另一主動元件136b所在位置的透明基板IlOb的上表面112b。保護層140配置于透明基板IlOb的上表面112b，其中保護層140至少覆蓋主動元件陣列130b。導電層170配置于透明基板IlOb的下表面114b，其中第二凹槽118b連通第一凹槽116b，并暴露出位于第一凹槽116b內(nèi)的汲極D’的部分D1’，且導電層170覆蓋透明基板IlOb的下表面114b與汲極D’被暴露出的部分D1’，并暴露出部分下表面114b。電泳顯示介質(zhì)150b配置于透明基板IlOb的下表面114b,且電泳顯不介質(zhì)150b位于導電層170上,其中電泳顯示介質(zhì)150b在透明基板IlOb的上表面112b上的正投影與主動元件陣列130b于透明基板IlOb的上表面112b上的正投影至少部分重疊。于此，每一電泳顯示介質(zhì)150b例如是白紅色膠囊、白綠色膠囊、白藍色膠囊、白黃色膠囊、黑紅色膠囊、黑綠色膠囊、黑藍色膠囊、黑黃色膠囊或黑白色膠囊。絕緣層180配置于透明基板IlOb的下表面114b，其中絕緣層180覆蓋電泳顯不介質(zhì)150b、導電層170以及導電層170所暴露出的透明基板IlOb的部分下表面114b。透明導電層160b配置于透明基板IlOb的下表面114b，其中透明導電層160b覆蓋絕緣層180，且電泳顯示介質(zhì)150b位于透明導電層160b與導電層170之間。
由于本實施例的電泳顯示面板IOOb的設(shè)計是在透明基板IlOb的上表面112b配置主動元件陣列130b，而在透明基板IlOb的下表面114b配置電泳顯示介質(zhì)150b，且通過第一凹槽116b與第二凹槽118b的設(shè)計來薄化透明基板110b。因此，相較于現(xiàn)有習知通過貼合兩片基板所構(gòu)成的電泳顯示面板而言，本實施例的電泳顯示面板IOOb可具有較薄的厚度。再者，由于本實施例是通過位于透光基板IlOb的上表面112b上的第一凹槽116b內(nèi)的汲極D’的部分D1’來與位于透光基板IlOb的下表面114b上的導電層170電性連接，借此驅(qū)動位于導電層170上的電泳顯示介質(zhì)150b，而產(chǎn)生白色、黑色或彩色的顯示效果。此時，電泳顯示介質(zhì)150a所需的驅(qū)動電壓也會因透明基板IlOb的第一凹槽116b連通第二凹槽118b的設(shè)計而降低。
圖6為本發(fā)明的另一實施例的一種電泳顯示裝置的剖面示意圖。請參考圖6，本實施例的電泳顯不裝置200b包括前述實施例的電泳顯不面板100b、一導光板210、一粘著層220以及一光源230。電泳顯示面板IOOb請參考前述實施例的說明，此處不再贅述。導光板210配置于電泳顯示面板IOOb上。粘著層220配置于導光板210與電泳顯示面板IOOb之間，其中導光板210通過粘 著層220固定于電泳顯不面板IOOb的透明導電層160b上。光源230配置于導光板210旁，其中光源230例如是一發(fā)光二極管。
由于本實施例的電泳顯示面板IOOb具有厚度較薄的特性，因此當導光板210通過粘著層220配置于電泳顯不面板IOOb上,且光源230設(shè)置于此導光板210旁時,具有前光源的電泳顯示裝置200b亦可具有較薄的厚度，且導光板210及光源230的設(shè)計會提升反射式的電泳顯示面板IOOb的顯示亮度。綜上所述，本發(fā)明的電泳顯示面板的設(shè)計是于透明基板的上表面配置主動元件陣列，而于透明基板的下表面配置電泳顯示介質(zhì)，且通過凹槽結(jié)構(gòu)的設(shè)計來薄化透明基板。相較于現(xiàn)有習知通過貼合兩片基板所構(gòu)成的電泳顯示面板而言，本發(fā)明的電泳顯示面板可具有較薄的厚度。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭示如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當可利用上述揭示的方法及技術(shù)內(nèi)容作出些許的更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍 內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種電泳顯不面板的制作方法,其特征在于包括: 提供一透明基板，該透明基板具有彼此相對的一上表面與一下表面、多個位于該上表面的第一凹槽以及多個位于該下表面的第二凹槽； 形成一主動元件陣列于該透明基板的該上表面，其中該主動元件陣列覆蓋該上表面與上述第一凹槽； 形成一保護層于該透明基板的該上表面，其中該保護層至少覆蓋該主動元件陣列； 配置多個電泳顯示介質(zhì)于該透明基板的該下表面，其中上述電泳顯示介質(zhì)在該透明基板的該上表面上的正投影與該主動元件陣列于該透明基板的該上表面上的正投影至少部分重疊；以及 形成一透明導電層于該透明基板的該下表面，其中上述電泳顯示介質(zhì)位于該透明導電層與該透明基板的該下表面之間。
2.如權(quán)利要求1所述的電泳顯示面板的制作方法，其特征在于其中該透明基板為一可撓性基板，且該透明基板的厚度小于100微米。
3.如權(quán)利要求1所述的電泳顯示面板的制作方法，其特征在于其中上述第一凹槽與上述第二凹槽彼此相對，而各該第一凹槽與對應的該第二凹槽彼此不相連且具有一間隔距離，該間隔距離小于80微米。
4.如權(quán)利要求3所述的電泳顯示面板的制作方法，其特征在于其中各該第一凹槽的孔徑與各該第二凹槽的孔徑介于0.1微米至800微米之間。
5.如權(quán)利要求4所述的電泳顯示面板的制作方法，其特征在于其中上述電泳顯示介質(zhì)位于上述第二凹槽內(nèi)，且該透明導電層覆蓋上述電泳顯示介質(zhì)與該透明基板的該下表面。
6.如權(quán)利要求1所述 的電泳顯示面板的制作方法，其特征在于其中該主動元件陣列包括多條掃描線、多條數(shù)據(jù)線以及多個主動元件，上述掃描線與上述數(shù)據(jù)線相交，各該主動元件連接于對應的該掃描線與對應的該數(shù)據(jù)線，且各該主動元件包括一柵極、一覆蓋該柵極的柵絕緣層、一配置于該柵絕緣層上的半導體通道層、一汲極、一源極以及一配置于該源極與該半導體通道層之間及該汲極與該半導體通道層之間的歐姆接觸層，且該汲極的一部分延伸覆蓋于鄰近的該第一凹槽。
7.如權(quán)利要求6所述的電泳顯示面板的制作方法，其特征在于更包括: 配置上述電泳顯示介質(zhì)于該透明基板的該下表面之前，對該透明基板的該下表面進行一蝕刻工藝，以使上述第二凹槽連通上述第一凹槽，并暴露出位于上述第一凹槽內(nèi)的上述汲極的上述部分；以及 形成一導電層于該透明基板的該下表面，其中該導電層覆蓋該下表面與上述汲極被暴露出的上述部分，并暴露出部分該下表面； 配置上述電泳顯示介質(zhì)于該透明基板的該下表面，其中上述電泳顯示介質(zhì)位于該導電層上； 形成一絕緣層于該透明基板的該下表面，其中該絕緣層覆蓋上述電泳顯示介質(zhì)、該導電層以及該導電層所暴露出的該透明基板的部分該下表面；以及 形成該透明導電層于該透明基板的該下表面，其中該透明導電層覆蓋該絕緣層，且上述電泳顯示介質(zhì)位于該透明導電層與該導電層之間。
8.如權(quán)利要求7所述的電泳顯示面板的制作方法，其特征在于其中各該第一凹槽的孔徑與各該第二凹槽的孔徑介于0.1微米至800微米之間。
9.如權(quán)利要求1所述的電泳顯示面板的制作方法，其特征在于其中各該電泳顯示介質(zhì)包括白紅色膠囊、白綠色膠囊、白藍色膠囊、白黃色膠囊、黑紅色膠囊、黑綠色膠囊、黑藍色膠囊、黑黃色膠囊或黑白色膠囊。
10.一種電泳顯示面板，其特征在于包括: 一透明基板，具有彼此相對的一上表面與一下表面、多個位于該上表面的第一凹槽以及多個位于該下表面的第二凹槽； 一主動元件陣列，配置于該透明基板的該上表面，其中該主動元件陣列覆蓋該上表面與上述第一凹槽； 一保護層，配置于該透明基板的該上表面，其中該保護層至少覆蓋該主動元件陣列； 多個電泳顯示介質(zhì)，配置于該透明基板的該下表面，其中上述電泳顯示介質(zhì)在該透明基板的該上表面上的正投影與該主動元件陣列于該透明基板的該上表面上的正投影至少部分重疊；以及 一透明導電層，配置于該透明基板的該下表面，且上述電泳顯示介質(zhì)位于該透明導電層與該透明基板的該下表面之間。
11.如權(quán)利要求10所述的電泳顯示面板，其中該透明基板為一可撓性基板，且該透明基板的厚度小于100微米。
12.如權(quán)利要求10所述的電泳顯示面板，其特征在于其中上述第一凹槽與上述第二凹槽彼此相對，而各該第一 凹槽與對應的該第二凹槽彼此不相連且具有一間隔距離，該間隔距離小于80微米。
13.如權(quán)利要求12所述的電泳顯示面板，其特征在于其中各該第一凹槽的孔徑與各該第二凹槽的孔徑介于0.1微米至800微米之間。
14.如權(quán)利要求13所述的電泳顯示面板，其特征在于其中上述電泳顯示介質(zhì)位于上述第二凹槽內(nèi)，且該透明導電層覆蓋上述電泳顯示介質(zhì)與該透明基板的該下表面。
15.如權(quán)利要求10所述的電泳顯示面板，其特征在于其中該主動元件陣列包括多條掃描線、多條數(shù)據(jù)線以及多個主動元件，上述掃描線與上述數(shù)據(jù)線相交，各該主動元件連接于對應的該掃描線與對應的該數(shù)據(jù)線，且各該主動元件包括一柵極、一覆蓋該柵極的柵絕緣層、一配置于該柵絕緣層上的半導體通道層、一汲極、一源極以及一配置于該源極與該半導體通道層之間及該汲極與該半導體通道層之間的歐姆接觸層，且該汲極的一部分延伸覆蓋于鄰近的該第一凹槽。
16.如權(quán)利要求15所述的電泳顯示面板，其特征在于更包括: 一導電層，配置于該透明基板的該下表面，其中上述第二凹槽連通上述第一凹槽，并暴露出位于上述第一凹槽內(nèi)的上述汲極的上述部分，而該導電層覆蓋該下表面與上述汲極被暴露出的上述部分，并暴露出部分該下表面，且上述電泳顯示介質(zhì)位于該導電層上；以及 一絕緣層，配置于該透明基板的該下表面，其中該絕緣層覆蓋上述電泳顯示介質(zhì)、該導電層以及該導電層所暴露出的該透明基板的部分該下表面，而上述電泳顯示介質(zhì)位于該透明導電層與該導電層之間，且該透明導電層覆蓋該絕緣層。
17.如權(quán)利要求16所述的電泳顯示面板，其特征在于其中各該第一凹槽的孔徑與各該第二凹槽的孔徑介于0.1微米至800微米之間。
18.如權(quán)利要求10所述的電泳顯示面板，其特征在于其中各該電泳顯示介質(zhì)包括白紅色膠囊、白綠色膠囊、白藍色膠囊、白黃色膠囊、黑紅色膠囊、黑綠色膠囊、黑藍色膠囊、黑黃色膠囊或黑白色膠囊。
19.一種電泳顯示裝置，其特征在于包括: 一電泳顯不面板，包括: 一透明基板，具有彼此相對的一上表面與一下表面、多個位于該上表面的第一凹槽以及多個位于該下表面的第二凹槽； 一主動元件陣列，配置于該透明基板的該上表面，其中該主動元件陣列覆蓋該上表面與上述第一凹槽； 一保護層，配置于該透明基板的該上表面，其中該保護層至少覆蓋該主動元件陣列； 多個電泳顯示介質(zhì)，配置于該透明基板的該下表面，其中上述電泳顯示介質(zhì)在該透明基板的該上表面上的正投影與該主動元件陣列于該透明基板的該上表面上的正投影至少部分重疊；以及 一透明導電層，配置于該透明基板的該下表面，且上述電泳顯示介質(zhì)位于該透明導電層與該透明基板的該下表面之間； 一導光板，配置于該電泳顯不面板上； 一粘著層，配置于該導光板與該電泳顯示面板之間，其中該導光板通過該粘著層固定于該電泳顯示面板的該透明導電層上；以及 一光源，配置于該導光板旁。
20.如權(quán)利要求19所述的電泳顯示裝置，其特征在于其中該光源包括一發(fā)光二極管。
全文摘要
本發(fā)明是有關(guān)于一種電泳顯示面板及其制作方法與電泳顯示裝置。電泳顯示面板包括一透明基板、一主動元件陣列、一保護層、多個電泳顯示介質(zhì)以及一透明導電層。透明基板具有相對的一上表面與一下表面、多個位于上表面的第一凹槽及多個位于下表面的第二凹槽。主動元件陣列配置于透明基板的上表面且覆蓋上表面與第一凹槽。保護層配置于透明基板的上表面。保護層至少覆蓋主動元件陣列。電泳顯示介質(zhì)配置于透明基板的下表面。電泳顯示介質(zhì)與主動元件陣列在透明基板的上表面上的正投影至少部分重疊。透明導電層配置于透明基板的下表面。電泳顯示介質(zhì)位于透明導電層與透明基板的下表面之間。
文檔編號G09G3/34GK103246120SQ201210113789
公開日2013年8月14日 申請日期2012年4月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月10日
發(fā)明者駱伯遠 申請人:元太科技工業(yè)股份有限公司